JP2002283216A5 - - Google Patents

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【0006】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、磁界内に配置したワークの表面を磁区に沿って磁力結合された多数の磁性砥粒からなる粒子ブラシにより研磨する磁気研磨方法において、前記粒子ブラシとワークとの間を上下方向および水平方向(前後あるいは左右方向、もしくは前後方向および左右方向)に同時に振動あるいは揺動させて磁気研磨する楕円振動により相対運動させることを特徴とする。また本発明は、前記各方向の個々の振動振幅、振動数は工作物の寸法・形状に応じて適宜選択制御されることを特徴とする。また本発明は、前記ワークが磁性材である場合には、磁性体を核として周囲に非磁性層を被覆した磁性砥粒を用いたことを特徴とする。また本発明は、前記磁性砥粒に遊離砥粒と加工液を加えたことを特徴とする。また本発明は、磁極間に形成される閉磁気回路の磁区を横断して配設されワークを載置するテーブルと、前記磁区に沿って磁力結合された多数の磁性砥粒からなる粒子ブラシを前記ワークの表面に摺接するように構成した磁気研磨装置において、前記磁極とテーブル間を楕円振動により相対運動させるように構成したことを特徴とする。また本発明は、前記磁極を回転自在に構成するとともに、前記テーブルを上下方向および水平方向(前後あるいは左右方向、もしくは前後方向および左右方向)に同時に振動あるいは揺動自在に構成したことを特徴とする。また本発明は、スプリング装置により原位置に復元可能に構成された前記テーブルを、カム機構等を介したモータ駆動によって上下方向および水平方向に振動あるいは揺動自在に構成したことを特徴とする。また本発明は、前記楕円振動活用の磁気研磨方法または磁気研磨装置に使用する磁性砥粒であって、該磁性砥粒径を1とした場合に、磁気異方性を有する磁性体を核としてその表面に0.1〜0.5程度の厚さの非磁性層を被覆して構成したことを特徴とする。また本発明は、前記磁性体の核を、磁性ステンレス鋼、鉄、ニッケル等の強磁性材料、あるいは永久磁石により構成したことを特徴とする。また本発明は、前記非磁性層として、プラスチック、ゴム等の軟質材料あるいは切れ刃をもつセラミックス等の硬質材料を用いたことを特徴とする。また本発明は、前記非磁性層に研磨材を含有させたことを特徴とする。また本発明は、前記磁性砥粒を微粒化し、この磁性砥粒群に粘弾性材料を混入して磁気粘弾性的な挙動を与えるようにし、その挙動を磁場印加により磁気制御できることを特徴とし、これらを課題解決のための手段とするものである。

Claims (12)

  1. 磁界内に配置したワークの表面を磁区に沿って磁力結合された多数の磁性砥粒からなる粒子ブラシにより研磨する磁気研磨方法において、前記粒子ブラシとワークとの間を上下方向および水平方向(前後あるいは左右方向、もしくは前後方向および左右方向)に同時に振動あるいは揺動させて磁気研磨する楕円振動により相対運動させることを特徴とする楕円振動活用の磁気研磨方法。
  2. 前記各方向の個々の振動振幅、振動数は工作物の寸法・形状に応じて適宜選択制御されることを特徴とする請求項1に記載の楕円振動活用の磁気研磨方法。
  3. 前記ワークが磁性材である場合には、磁性体を核として周囲に非磁性層を被覆した磁性砥粒を用いたことを特徴とする請求項1または2に記載の楕円振動活用の磁気研磨方法。
  4. 前記磁性砥粒に遊離砥粒と加工液を加えたことを特徴とする請求項3に記載の楕円振動活用の磁気研磨方法。
  5. 磁極間に形成される閉磁気回路の磁区を横断して配設されワークを載置するテーブルと、前記磁区に沿って磁力結合された多数の磁性砥粒からなる粒子ブラシを前記ワークの表面に摺接するように構成した磁気研磨装置において、前記磁極とテーブル間を楕円振動により相対運動させるように構成したことを特徴とする楕円振動活用の磁気研磨装置。
  6. 前記磁極を回転自在に構成するとともに、前記テーブルを上下方向および水平方向(前後あるいは左右方向、もしくは前後方向および左右方向)に同時に振動あるいは揺動自在に構成したことを特徴とする請求項5に記載の楕円振動活用の磁気研磨装置。
  7. スプリング装置により原位置に復元可能に構成された前記テーブルを、カム機構等を介したモータ駆動によって上下方向および水平方向に振動あるいは揺動自在に構成したことを特徴とする請求項6に記載の楕円振動活用の磁気研磨装置。
  8. 前記請求項1ないし4のいずれか記載の楕円振動活用の磁気研磨方法または請求項5ないし7のいずれか記載の楕円振動活用の磁気研磨装置に使用する磁性砥粒であって、該磁性砥粒径を1とした場合に、磁気異方性を有する磁性体を核としてその表面に0.1〜0.5程度の厚さの非磁性層を被覆して構成したことを特徴とする磁性砥粒。
  9. 前記磁性体の核を、磁性ステンレス鋼、鉄、ニッケル等の強磁性材料、あるいは永久磁石により構成したことを特徴とする請求項8に記載の磁性砥粒。
  10. 前記非磁性層として、プラスチック、ゴム等の軟質材料あるいは切れ刃をもつセラミックス等の硬質材料を用いたことを特徴とする請求項8または9に記載の磁性砥粒。
  11. 前記非磁性層に研磨材を含有させたことを特徴とする請求項8ないし10のいずれかに記載の磁性砥粒。
  12. 前記磁性砥粒を微粒化し、この磁性砥粒群に粘弾性材料を混入して磁気粘弾性的な挙動を与えるようにし、その挙動を磁場印加により磁気制御できることを特徴とする請求項8ないし11のいずれかに記載の磁性砥粒。
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