JPH09248749A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPH09248749A JPH09248749A JP8054887A JP5488796A JPH09248749A JP H09248749 A JPH09248749 A JP H09248749A JP 8054887 A JP8054887 A JP 8054887A JP 5488796 A JP5488796 A JP 5488796A JP H09248749 A JPH09248749 A JP H09248749A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- polisher
- workpiece
- magnetic
- magnetic field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】不特定形状の加工物の仕上げ研磨加工に適し
た、小型の研磨装置を提供する。 【構成】本研磨装置は、磁性体粒子１２を均一に含有す
るポリシャ１１を有する研磨工具と、磁性体粒子１２に
力を与える磁場を印加する電磁石５０とを備える。尚、
電磁石５０と研磨工具とは、研磨工具の周囲に所定の方
向の磁場が印加されるように配置されている。このポリ
シャ１１は、電磁石５０に印加された磁場が磁性体粒子
１２に及ぼす力によって変形する。従って、鉄心５２
ａ，５２ｂの形状を変え、更に、研磨加工中に、電磁石
５０のコイル５１ａ，５１ｂに流れる電流を制御するこ
とによって、ポリシャ１１の作業面の曲率と研磨圧と
を、加工物の表面形状の曲率に応じて自在に変えること
ができる。
た、小型の研磨装置を提供する。 【構成】本研磨装置は、磁性体粒子１２を均一に含有す
るポリシャ１１を有する研磨工具と、磁性体粒子１２に
力を与える磁場を印加する電磁石５０とを備える。尚、
電磁石５０と研磨工具とは、研磨工具の周囲に所定の方
向の磁場が印加されるように配置されている。このポリ
シャ１１は、電磁石５０に印加された磁場が磁性体粒子
１２に及ぼす力によって変形する。従って、鉄心５２
ａ，５２ｂの形状を変え、更に、研磨加工中に、電磁石
５０のコイル５１ａ，５１ｂに流れる電流を制御するこ
とによって、ポリシャ１１の作業面の曲率と研磨圧と
を、加工物の表面形状の曲率に応じて自在に変えること
ができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、あらゆる曲率のレ
ンズの仕上げ研磨加工に適した研磨装置に関する。
ンズの仕上げ研磨加工に適した研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】高度な形状精度を要求される光学素子等
の仕上研磨加工には、図６に示すような、タール等を主
成分とするピッチや、発泡ポリウレタン等を主成分とす
る研磨用パッド等をポリシャ１１として用いた研磨工具
が使用されることが多い。そして、通常、このようなポ
リシャ１１の作業面１１Ａには、溝やピット１１ａ等が
形成されており、研磨加工中に補給される遊離砥粒が加
工物の表面との間で適当に保持されるようになってい
る。
の仕上研磨加工には、図６に示すような、タール等を主
成分とするピッチや、発泡ポリウレタン等を主成分とす
る研磨用パッド等をポリシャ１１として用いた研磨工具
が使用されることが多い。そして、通常、このようなポ
リシャ１１の作業面１１Ａには、溝やピット１１ａ等が
形成されており、研磨加工中に補給される遊離砥粒が加
工物の表面との間で適当に保持されるようになってい
る。
【０００３】ところで、この種の研磨工具のポリシャ１
１の作業面１１Ａは、特定の形状に適した曲率と径とに
精度良く整形されている。つまり、１つの研磨工具の用
途は、限定された形状の研磨面の研磨加工に限られてい
る。従って、表面形状の曲率及び径が異なる数種のレン
ズを研磨する場合には、各レンズの曲率と径とに適した
研磨工具をそれぞれ準備しなければならないという不都
合が生じる。
１の作業面１１Ａは、特定の形状に適した曲率と径とに
精度良く整形されている。つまり、１つの研磨工具の用
途は、限定された形状の研磨面の研磨加工に限られてい
る。従って、表面形状の曲率及び径が異なる数種のレン
ズを研磨する場合には、各レンズの曲率と径とに適した
研磨工具をそれぞれ準備しなければならないという不都
合が生じる。
【０００４】また、研磨加工の進行に伴ってポリシャ１
１の作業面１１Ａが徐々に変形するので、研磨加工中
に、適宜、ポリシャ１１の作業面１１Ａに摺り合せ処理
を施すことによって、転写性能に代表される研磨性能の
回復を図ることが、加工精度を維持するために取るべき
定石とされている。ところが、この煩雑な摺り合せ処理
に費やされる多大な時間が製造効率の低下と製造コスト
の増大に直結するという問題を生じる。
１の作業面１１Ａが徐々に変形するので、研磨加工中
に、適宜、ポリシャ１１の作業面１１Ａに摺り合せ処理
を施すことによって、転写性能に代表される研磨性能の
回復を図ることが、加工精度を維持するために取るべき
定石とされている。ところが、この煩雑な摺り合せ処理
に費やされる多大な時間が製造効率の低下と製造コスト
の増大に直結するという問題を生じる。
【０００５】そこで、こうした問題を解決する装置とし
て、図７に示すような、特開昭５８−７７４４７７号公
報記載の表面研磨装置が知られている。これは、電磁石
７０により印加された磁場が磁性流体７２に及ぼす力を
利用して、ポリシャ７３の作業面の曲率と研磨圧とを制
御する装置である。詳細には、加工盤７５の円形溝７６
と、ポリシャ（片面に研磨布が貼付られた板状のゴム）
とによって形成された空洞部に磁性流体７２が充填され
ており、且つ、ポリシャ７３の作業面に対して垂直な方
向に磁場が印加されるように、電磁石７０の鉄心７３
ａ，７３ｂが、それぞれ、ポリシャの上下に配置されて
いる。従って、研磨加工中、コイル７４ａ，７４ｂに流
れる電流を制御すれば、磁場中での磁性流体７２の移動
によって、ポリシャ７３を自在に変形させることができ
る。また、電磁石７０の鉄心７３ａ，７３ｂにポリシャ
側の形状を変えることによっても、ポリシャの変形形状
を制御することができる。つまり、ポリシャ７３の作業
面の曲率と研磨圧とを自在に変えることができるので、
研磨工具を交換することなく、曲率の異なる種々のレン
ズに対して良好な仕上げ研磨加工を施すことができる。
この際、摺り合せ処理を施す必要がなくなるのはいうま
でもない。
て、図７に示すような、特開昭５８−７７４４７７号公
報記載の表面研磨装置が知られている。これは、電磁石
７０により印加された磁場が磁性流体７２に及ぼす力を
利用して、ポリシャ７３の作業面の曲率と研磨圧とを制
御する装置である。詳細には、加工盤７５の円形溝７６
と、ポリシャ（片面に研磨布が貼付られた板状のゴム）
とによって形成された空洞部に磁性流体７２が充填され
ており、且つ、ポリシャ７３の作業面に対して垂直な方
向に磁場が印加されるように、電磁石７０の鉄心７３
ａ，７３ｂが、それぞれ、ポリシャの上下に配置されて
いる。従って、研磨加工中、コイル７４ａ，７４ｂに流
れる電流を制御すれば、磁場中での磁性流体７２の移動
によって、ポリシャ７３を自在に変形させることができ
る。また、電磁石７０の鉄心７３ａ，７３ｂにポリシャ
側の形状を変えることによっても、ポリシャの変形形状
を制御することができる。つまり、ポリシャ７３の作業
面の曲率と研磨圧とを自在に変えることができるので、
研磨工具を交換することなく、曲率の異なる種々のレン
ズに対して良好な仕上げ研磨加工を施すことができる。
この際、摺り合せ処理を施す必要がなくなるのはいうま
でもない。
【０００６】尚、本表面研磨装置は、加工盤７５の回転
に伴う、ポリシャ７３の作業面と加工物Ａの表面との摺
動によって、加工物Ａの表面に研磨加工を施すものであ
る。
に伴う、ポリシャ７３の作業面と加工物Ａの表面との摺
動によって、加工物Ａの表面に研磨加工を施すものであ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記特開昭
５７−１６３０５５号公報記載の表面研磨装置は、加工
物の径の８〜１０倍程度の径のポリシャ７３を使用する
必要があるため、おのずと、装置自体も巨大なものとな
らざるを得ない。
５７−１６３０５５号公報記載の表面研磨装置は、加工
物の径の８〜１０倍程度の径のポリシャ７３を使用する
必要があるため、おのずと、装置自体も巨大なものとな
らざるを得ない。
【０００８】そこで、本発明は、小型で、かつ、あらゆ
る曲率の加工物表面の仕上げ研磨加工に適した研磨装置
を提供することを目的とする。
る曲率の加工物表面の仕上げ研磨加工に適した研磨装置
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、ポリシャと加工物の表面とを摺動させて
前記加工物の表面を研磨する研磨装置であって、磁場か
ら与えられる力によって前記加工物の表面の形状に倣っ
て変形する前記ポリシャと前記ポリシャに前記力を与え
る磁場を印加する印加手段とを備えることを特徴とする
研磨装置を提供する。
に、本発明は、ポリシャと加工物の表面とを摺動させて
前記加工物の表面を研磨する研磨装置であって、磁場か
ら与えられる力によって前記加工物の表面の形状に倣っ
て変形する前記ポリシャと前記ポリシャに前記力を与え
る磁場を印加する印加手段とを備えることを特徴とする
研磨装置を提供する。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照しなが
ら、本発明に係る実施の一形態について説明する。
ら、本発明に係る実施の一形態について説明する。
【００１１】最初に、図１により、本実施の形態に係る
研磨工具の構成を説明する。
研磨工具の構成を説明する。
【００１２】本研磨工具は、非磁性体で形成された台皿
１０と、台皿１０の片面に形成されたポリシャ１１とを
備える。
１０と、台皿１０の片面に形成されたポリシャ１１とを
備える。
【００１３】さて、このポリシャ１１の内部には、磁性
体粒子１２が一様に分散している。従って、図２に示す
ように、ポリシャ１１に磁石２０を近付けると、ポリシ
ャ１１に含有されている磁性体粒子１２が磁石４０に引
き付けられるので、ポリシャ１１は所定の方向（矢印Ａ
で示す方向）に変形する。
体粒子１２が一様に分散している。従って、図２に示す
ように、ポリシャ１１に磁石２０を近付けると、ポリシ
ャ１１に含有されている磁性体粒子１２が磁石４０に引
き付けられるので、ポリシャ１１は所定の方向（矢印Ａ
で示す方向）に変形する。
【００１４】尚、このような研磨工具は、従来技術の欄
で説明した研磨工具と同様な手順に従って容易に作成す
ることができる。即ち、磁性体粒子１２を混練させた樹
脂を、所望の形状の型等で覆った台皿１０に注入し、任
意の磁場中で硬化させれば、所望の形状のポリシャ１１
が形成される。
で説明した研磨工具と同様な手順に従って容易に作成す
ることができる。即ち、磁性体粒子１２を混練させた樹
脂を、所望の形状の型等で覆った台皿１０に注入し、任
意の磁場中で硬化させれば、所望の形状のポリシャ１１
が形成される。
【００１５】ところで、保磁力の強い磁性体粒子を混練
させた樹脂を適当な方向の磁場の中で硬化させてポリシ
ャ１１を作成すれば、ポリシャ１１の内部には磁性体粒
子の残留磁化による磁区構造（例えば、図３に示すよう
な磁区構造）が形成されるので、ポリシャ１１は磁気的
に分極する。このようなポリシャ１１であれば、近付け
る磁極を適当に変えることによって、変形を双方向に与
えることができる。例えば、図３に示したポリシャ１１
は、表面磁極がＮ極となっているので、磁石のＳ極が近
付くと、図２の矢印Ａで示す方向に変形し、磁石のＮ極
が近付くと、図４の矢印Ｂで示す方向に変形する。尚、
このタイプのポリシャ１１を使用する際に、遊離砥粒と
して適当な磁性体粒子を使用すれば、ポリシャ１１の表
面磁極の影響によって、遊離砥粒がポリシャ１１に吸着
されるので、遊離砥粒がポリシャ１１に適当に保持され
るという効果を得ることができる。
させた樹脂を適当な方向の磁場の中で硬化させてポリシ
ャ１１を作成すれば、ポリシャ１１の内部には磁性体粒
子の残留磁化による磁区構造（例えば、図３に示すよう
な磁区構造）が形成されるので、ポリシャ１１は磁気的
に分極する。このようなポリシャ１１であれば、近付け
る磁極を適当に変えることによって、変形を双方向に与
えることができる。例えば、図３に示したポリシャ１１
は、表面磁極がＮ極となっているので、磁石のＳ極が近
付くと、図２の矢印Ａで示す方向に変形し、磁石のＮ極
が近付くと、図４の矢印Ｂで示す方向に変形する。尚、
このタイプのポリシャ１１を使用する際に、遊離砥粒と
して適当な磁性体粒子を使用すれば、ポリシャ１１の表
面磁極の影響によって、遊離砥粒がポリシャ１１に吸着
されるので、遊離砥粒がポリシャ１１に適当に保持され
るという効果を得ることができる。
【００１６】さて、ここで、参考として、各部を形成す
る材料に適した物質の名称を具体的に挙げておく。
る材料に適した物質の名称を具体的に挙げておく。
【００１７】ａ．ポリシャ１１を形成する樹脂…天然ゴ
ム、シリコンゴム、ポリウレタン、ポリエステル等。
ム、シリコンゴム、ポリウレタン、ポリエステル等。
【００１８】ｂ．磁性体粒子…マグネタイト、フェライ
ト、コバルト、ニッケル合金等。
ト、コバルト、ニッケル合金等。
【００１９】ｃ．台皿１０を形成する非磁性体…真鍮、
アルミニウム等。
アルミニウム等。
【００２０】ここで例示した樹脂及び磁性体粒子を使用
する場合には、磁性体粒子の粒径を数μｍ〜数１０μｍ
程度とし、ポリシャ１１に占める磁性体粒子の容積比率
を約１０ｖｏｌ％とすれば、後述の電磁石５０によって
印加される磁場におかれたポリシャ１１には、本実施の
形態において目的とすべき変形が適当に与えられる。
尚、磁性体粒子の粒径及び、ポリシャ１１に占める磁性
体粒子の容積比率は、上記各値に限定されるものではな
い。
する場合には、磁性体粒子の粒径を数μｍ〜数１０μｍ
程度とし、ポリシャ１１に占める磁性体粒子の容積比率
を約１０ｖｏｌ％とすれば、後述の電磁石５０によって
印加される磁場におかれたポリシャ１１には、本実施の
形態において目的とすべき変形が適当に与えられる。
尚、磁性体粒子の粒径及び、ポリシャ１１に占める磁性
体粒子の容積比率は、上記各値に限定されるものではな
い。
【００２１】次に、図５により、本実施の形態に係る研
磨装置の構成について説明する。但し、研磨工具と加工
物Ａとに相対的な運動を与える機構は、通常の研磨装置
等と同様な構成であるため、ここでは、本研磨装置の特
徴とする構成（即ち、ポリシャ１１に本実施の形態にお
いて目的とすべき変形を与えるための構成）を中心に説
明することにする。従って、図５には、ここでの説明に
おいて必要とされる構成のみが示してある。
磨装置の構成について説明する。但し、研磨工具と加工
物Ａとに相対的な運動を与える機構は、通常の研磨装置
等と同様な構成であるため、ここでは、本研磨装置の特
徴とする構成（即ち、ポリシャ１１に本実施の形態にお
いて目的とすべき変形を与えるための構成）を中心に説
明することにする。従って、図５には、ここでの説明に
おいて必要とされる構成のみが示してある。
【００２２】さて、本研磨装置は、図１を用いて説明し
た研磨工具と、研磨工具の周囲に磁場を印加する電磁石
５０とを備える。ここで電磁石５０と研磨工具との位置
関係は、研磨工具の周囲に印加すべき磁場の方向によっ
て決定されている。即ち、本実施の形態では、コイル５
１ａ，５１ｂに流れる電流の磁気作用による磁場が、加
工物Ａの表面ａに対して垂直な方向に印加されるよう
に、研磨工具２１と加工物Ａは、磁極となる鉄心５２
ａ、５２ｂ（強磁性体）との間に配置される。尚、この
位置関係が常に保持されるように、研磨工具と電磁石５
０は、一体となって、加工物Ａに対して相対的に移動す
る。
た研磨工具と、研磨工具の周囲に磁場を印加する電磁石
５０とを備える。ここで電磁石５０と研磨工具との位置
関係は、研磨工具の周囲に印加すべき磁場の方向によっ
て決定されている。即ち、本実施の形態では、コイル５
１ａ，５１ｂに流れる電流の磁気作用による磁場が、加
工物Ａの表面ａに対して垂直な方向に印加されるよう
に、研磨工具２１と加工物Ａは、磁極となる鉄心５２
ａ、５２ｂ（強磁性体）との間に配置される。尚、この
位置関係が常に保持されるように、研磨工具と電磁石５
０は、一体となって、加工物Ａに対して相対的に移動す
る。
【００２３】従って、研磨加工中、電磁石５０のコイル
５１ａ，５１ｂに流れる電流を制御すれば、ポリシャ１
１を自在に変形させることができる。つまり、加工物Ａ
の表面形状に応じてポリシャ１１の作業面の形状（即
ち、作業面の曲率及び面積）を変えることができると共
に、研磨圧の微調節を行うことができる。例えば、図３
に示した研磨工具（ポリシャ１１の作業面にＮ極が形成
されている場合）を使用する場合には、加工物Ａ側にＳ
極が形成され、且つ、台皿１０側にＮ極が形成されるよ
うに、電磁石５０で磁場を印加すれば、前述の磁場の影
響を受けてポリシャ１１の中央部分が窪むので、ポリシ
ャ１１の作業面の形状を、凸面の研磨に適した凹面にす
ることができる。これとは逆に凹面を研磨する場合に
は、加工物Ａ側にＮ極が形成され、且つ、台皿側にＳ極
が形成されるように、電磁石５０で磁場を印加すれば、
前述の磁場の影響を受けてポリシャ１１の中央部分が突
出するので、研磨ポリシャ１１の作業面の形状を、凹面
の研磨に適した凸面にすることができる。また、このと
きのポリシャ１１の変形に伴う作業面の面積変化を利用
すれば、様々な大きさの加工物Ａの研磨加工に対応する
こともできる。そして、研磨圧を調整するには、電磁石
に供給される電流量を制御することにより、磁場の強度
を調整すればよい。即ち、大きな研磨圧を必要とする場
合には、ポリシャ１１に含有されている磁性体粒子１２
を、より大きな力で引き付けるために、大きな電流を電
磁石５０に供給すればよい。これとは逆に、小さな研磨
圧を必要とする場合には、小さな電流を電磁石５０に供
給すればよい。
５１ａ，５１ｂに流れる電流を制御すれば、ポリシャ１
１を自在に変形させることができる。つまり、加工物Ａ
の表面形状に応じてポリシャ１１の作業面の形状（即
ち、作業面の曲率及び面積）を変えることができると共
に、研磨圧の微調節を行うことができる。例えば、図３
に示した研磨工具（ポリシャ１１の作業面にＮ極が形成
されている場合）を使用する場合には、加工物Ａ側にＳ
極が形成され、且つ、台皿１０側にＮ極が形成されるよ
うに、電磁石５０で磁場を印加すれば、前述の磁場の影
響を受けてポリシャ１１の中央部分が窪むので、ポリシ
ャ１１の作業面の形状を、凸面の研磨に適した凹面にす
ることができる。これとは逆に凹面を研磨する場合に
は、加工物Ａ側にＮ極が形成され、且つ、台皿側にＳ極
が形成されるように、電磁石５０で磁場を印加すれば、
前述の磁場の影響を受けてポリシャ１１の中央部分が突
出するので、研磨ポリシャ１１の作業面の形状を、凹面
の研磨に適した凸面にすることができる。また、このと
きのポリシャ１１の変形に伴う作業面の面積変化を利用
すれば、様々な大きさの加工物Ａの研磨加工に対応する
こともできる。そして、研磨圧を調整するには、電磁石
に供給される電流量を制御することにより、磁場の強度
を調整すればよい。即ち、大きな研磨圧を必要とする場
合には、ポリシャ１１に含有されている磁性体粒子１２
を、より大きな力で引き付けるために、大きな電流を電
磁石５０に供給すればよい。これとは逆に、小さな研磨
圧を必要とする場合には、小さな電流を電磁石５０に供
給すればよい。
【００２４】尚、ポリシャ１１の中央部分の変形が著し
いのは、電磁石５０により印加される磁場が、ポリシャ
１１の中央部分で最も強くなり、ここから離れるに従っ
て次第に弱くなるためである。
いのは、電磁石５０により印加される磁場が、ポリシャ
１１の中央部分で最も強くなり、ここから離れるに従っ
て次第に弱くなるためである。
【００２５】このように、本実施の形態に係る研磨装置
によれば、加工物Ａの表面形状に応じて、ポリシャ１１
の作業面の曲率と研磨圧を変えることができるため、あ
らゆる曲率のレンズに対して、良好な仕上げ研磨加工を
施すことができる。その際、ポリシャ１１の作業面に摺
り合せ処理を施す必要がないのはいうまでもない。ま
た、ポリシャ１１の変形により作業面の面積を自在に変
えることができるため、様々な大きさの加工物Ａの研磨
加工に本研磨装置を適用することができる。また、電磁
石５０の鉄心５２ａ、５２ｂの形状を変更すれば、ポリ
シャ１１の作業面が、曲率に勾配のある非曲面とするこ
とも可能であるので、本研磨装置は、非球面レンズ等の
仕上げ研磨加工にも適用することができる。尚、遊離砥
粒を保持するための溝やピットをポリシャ１１の表面に
形成しておけば、より一層効果的である。
によれば、加工物Ａの表面形状に応じて、ポリシャ１１
の作業面の曲率と研磨圧を変えることができるため、あ
らゆる曲率のレンズに対して、良好な仕上げ研磨加工を
施すことができる。その際、ポリシャ１１の作業面に摺
り合せ処理を施す必要がないのはいうまでもない。ま
た、ポリシャ１１の変形により作業面の面積を自在に変
えることができるため、様々な大きさの加工物Ａの研磨
加工に本研磨装置を適用することができる。また、電磁
石５０の鉄心５２ａ、５２ｂの形状を変更すれば、ポリ
シャ１１の作業面が、曲率に勾配のある非曲面とするこ
とも可能であるので、本研磨装置は、非球面レンズ等の
仕上げ研磨加工にも適用することができる。尚、遊離砥
粒を保持するための溝やピットをポリシャ１１の表面に
形成しておけば、より一層効果的である。
【００２６】また、使用するポリシャ１１の径は、加工
物Ａの径のおよそ２倍程度であればよいので、装置自体
が巨大化することはない。
物Ａの径のおよそ２倍程度であればよいので、装置自体
が巨大化することはない。
【００２７】また、本研磨装置を研磨加工工程に導入す
れば、ポリシャ１１の作業面の摺り合せ処理が不要とな
ることに伴う経済面の効果、即ち生産効率の向上と製造
コストの低減を達成するができる。
れば、ポリシャ１１の作業面の摺り合せ処理が不要とな
ることに伴う経済面の効果、即ち生産効率の向上と製造
コストの低減を達成するができる。
【００２８】ところで、本実施の形態では電磁石５０を
使用しているが、これに換えて永久磁石を使用しても構
わない。但し、永久磁石を使用する場合には、印加され
る磁場の方向と強度を制御するための機構を別途設ける
必要がある。例えば、永久磁石をポリシャ１１に近付け
る方向によって磁場の方向が定まることと、ポリシャ１
１と永久磁石との間隔によってポリシャ１１の周辺の磁
場の強度が定まることを利用するならば、ポリシャ１１
に対して永久磁石を移動させる機構等を設けて、永久磁
石とポリシャ１１との位置関係を制御すればよい。
使用しているが、これに換えて永久磁石を使用しても構
わない。但し、永久磁石を使用する場合には、印加され
る磁場の方向と強度を制御するための機構を別途設ける
必要がある。例えば、永久磁石をポリシャ１１に近付け
る方向によって磁場の方向が定まることと、ポリシャ１
１と永久磁石との間隔によってポリシャ１１の周辺の磁
場の強度が定まることを利用するならば、ポリシャ１１
に対して永久磁石を移動させる機構等を設けて、永久磁
石とポリシャ１１との位置関係を制御すればよい。
【００２９】
【発明の効果】本発明に係る研磨装置によれば、ポリシ
ャの作業面が加工物の表面形状に倣って適宜変形するた
め、ポリシャの作業面に面出し処理を施さなくとも、あ
らゆる曲率のレンズに対して、良好な仕上げ研磨加工を
施すことができる。そして、加工物の材質や表面形状に
応じて研磨圧を微調整すれば、より良好な仕上げ研磨加
工を施すことができる。
ャの作業面が加工物の表面形状に倣って適宜変形するた
め、ポリシャの作業面に面出し処理を施さなくとも、あ
らゆる曲率のレンズに対して、良好な仕上げ研磨加工を
施すことができる。そして、加工物の材質や表面形状に
応じて研磨圧を微調整すれば、より良好な仕上げ研磨加
工を施すことができる。
【００３０】また、本研磨装置は、大型のポリシャを必
要としないので、装置自体が大型になることがない。
要としないので、装置自体が大型になることがない。
【００３１】また、本研磨装置を研磨加工工程に導入す
れば、ポリシャの作業面の面出し処理が不要となること
に伴う経済面の効果、即ち生産効率の向上と製造コスト
の低減を達成するができる。
れば、ポリシャの作業面の面出し処理が不要となること
に伴う経済面の効果、即ち生産効率の向上と製造コスト
の低減を達成するができる。
【図１】本発明の実施の一態様に係る研磨工具の部分断
面図である。
面図である。
【図２】磁場の中における、本発明の実施の一形態に係
る研磨工具のポリシャの変形を説明するための図であ
る。
る研磨工具のポリシャの変形を説明するための図であ
る。
【図３】本発明の実施の一態様に係る研磨工具の内部に
形成される磁区構造を説明するための図である。
形成される磁区構造を説明するための図である。
【図４】磁化の中における、本発明の実施の一態様に係
る研磨工具のポリシャの変形を説明するための図であ
る。
る研磨工具のポリシャの変形を説明するための図であ
る。
【図５】本発明の実施の一態様に係る研磨装置の構成を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図６】従来の研磨工具の部分断面図である。
【図７】従来の研磨装置の構成を説明するための図であ
る。
る。
１０…台皿 １１…ポリシャ １２…磁性体粒子 ５０…電磁石
Claims (3)
- 【請求項１】研磨材と加工物の表面とを摺動させて前記
加工物の表面を研磨する研磨装置であって、 磁界から与えられる力によって前記加工物の表面の形状
に倣って変形する前記研磨材と、 前記研磨材に前記力を与える磁場を印加する印加手段と
を備えることを特徴とする研磨装置。 - 【請求項２】研磨材と加工物の表面とを摺動させて前記
加工物の表面を研磨する研磨装置であって、 混入された磁性体粒子に与えられる力によって前記加工
物の表面の形状に倣って変形する前記研磨材と、前記磁
性体粒子に前記力を与える磁場を印加する印加手段とを
備えることを特徴とする研磨装置。 - 【請求項３】請求項２記載の研磨装置であって、 遊離砥粒として供給された磁性体粒子を吸着する磁極が
前記研磨材の表面に形成されるように、前記研磨材に混
入された磁性体粒子は、所定の方向の磁性を有すること
を特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8054887A JPH09248749A (ja) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8054887A JPH09248749A (ja) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09248749A true JPH09248749A (ja) | 1997-09-22 |
Family
ID=12983110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8054887A Pending JPH09248749A (ja) | 1996-03-12 | 1996-03-12 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09248749A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002068217A1 (fr) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Sachiko Kodama | Afficheur de forme cubique |
| CN110064997A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-07-30 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 用于薄壁异形曲面的磁致固态流变效应抛光装置及方法 |
-
1996
- 1996-03-12 JP JP8054887A patent/JPH09248749A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002068217A1 (fr) * | 2001-02-27 | 2002-09-06 | Sachiko Kodama | Afficheur de forme cubique |
| CN110064997A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-07-30 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 用于薄壁异形曲面的磁致固态流变效应抛光装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104308671B (zh) | 一种磁流变抛光装置与方法 | |
| US20170352460A1 (en) | Magnetic field generation apparatus of magnetorheological polishing device | |
| CN102909643B (zh) | 磁场分布均匀化的小直径永磁体球形抛光头及该永磁体球形抛光头结构参数优化设计方法 | |
| JPH0777704B2 (ja) | 微小研磨方法 | |
| US20220234158A1 (en) | Controllable magnetic field-assisted finishing apparatus for inner surface and method | |
| CN105014484A (zh) | 磁流变抛光设备的磁场发生装置 | |
| Suzuki et al. | Magnetic field-assisted polishing—application to a curved surface | |
| JPH09248749A (ja) | 研磨装置 | |
| US5547119A (en) | Electrical machine and method of manufacturing the electrical machine | |
| JPH07266236A (ja) | 研削研磨工具およびその製造方法 | |
| JP2003062747A (ja) | 磁性流体利用の加工方法およびその装置 | |
| JP3846052B2 (ja) | 磁気研磨装置および磁気研磨方法 | |
| JP2007210073A (ja) | 磁気研磨装置及び磁気研磨加工用工具 | |
| JPS6239172A (ja) | 磁気研磨装置 | |
| JP2010214505A (ja) | 変動磁場を利用した粒子分散型混合機能性流体の形状復元力の増大方法とこれを利用した研磨装置および研磨法 | |
| CN104999344A (zh) | 一种磁流变抛光设备的磁场发生装置 | |
| JP2005168692A (ja) | 永久磁石対向型磁気回路およびその磁場を調整する方法 | |
| JPH0788758A (ja) | 研磨具の面圧均一化装置 | |
| JP2005144643A (ja) | 磁気研磨用研磨材、加工液および磁気研磨用研磨材の製造方法 | |
| JP2000225555A (ja) | 研磨加工用治工具及び研磨加工方法 | |
| JPH0310643Y2 (ja) | ||
| JPS61125762A (ja) | 工具の研摩方法 | |
| JPH04365553A (ja) | 磁気研磨用ヘッドおよびそれを使用した自動磁気研磨装置 | |
| KR101205903B1 (ko) | 자기유변유체를 이용한 소형연마장치 | |
| JP2005193319A (ja) | 加工圧制御が不要な研磨方法および研磨剤 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |