JP2002283200A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JP2002283200A JP2002283200A JP2001088548A JP2001088548A JP2002283200A JP 2002283200 A JP2002283200 A JP 2002283200A JP 2001088548 A JP2001088548 A JP 2001088548A JP 2001088548 A JP2001088548 A JP 2001088548A JP 2002283200 A JP2002283200 A JP 2002283200A
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- JP
- Japan
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- polishing
- holding device
- ferrule
- holding
- cover
- Prior art date
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- Withdrawn
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 略直方体状に形成されたフェルール部材のう
ち対向する両側の端面のそれぞれを研磨処理する際、作
業性良く研磨処理できる研磨装置を提供する。 【解決手段】 研磨装置Sは、略円盤状に形成され、複
数のフェルール部材70を保持する保持装置1と、保持
装置1に保持されたフェルール部材70の接合端面7
1,72に対して接触可能な位置に設けられた研磨盤2
と、研磨盤2を回転する駆動装置3と、保持装置1と同
心状に設けられ、この保持装置1を覆うカバー部5とを
備えている。そして、略円盤状に形成された保持装置1
の上面及び下面のそれぞれにはカバー部5と連結可能な
連結部8a,8bが設けられている。
ち対向する両側の端面のそれぞれを研磨処理する際、作
業性良く研磨処理できる研磨装置を提供する。 【解決手段】 研磨装置Sは、略円盤状に形成され、複
数のフェルール部材70を保持する保持装置1と、保持
装置1に保持されたフェルール部材70の接合端面7
1,72に対して接触可能な位置に設けられた研磨盤2
と、研磨盤2を回転する駆動装置3と、保持装置1と同
心状に設けられ、この保持装置1を覆うカバー部5とを
備えている。そして、略円盤状に形成された保持装置1
の上面及び下面のそれぞれにはカバー部5と連結可能な
連結部8a,8bが設けられている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は研磨装置に関し、フ
ェルール部材を研磨処理するのに好適な研磨装置に関す
るものである。
ェルール部材を研磨処理するのに好適な研磨装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】光アクセス網を構築するためには、高密
度で多心の光ファイバと、光ファイバどうしを迅速に接
続できる接続技術とが必要である。光ファイバを迅速に
接続できるフェルール部材として、従来よりMT形光コ
ネクタ(JIS C 5981)に用いられる多心光フ
ァイバコネクタフェルール(以下、「MT形光コネク
タ」と称する)がある。
度で多心の光ファイバと、光ファイバどうしを迅速に接
続できる接続技術とが必要である。光ファイバを迅速に
接続できるフェルール部材として、従来よりMT形光コ
ネクタ(JIS C 5981)に用いられる多心光フ
ァイバコネクタフェルール(以下、「MT形光コネク
タ」と称する)がある。
【0003】MT形光コネクタを用いた光ファイバどう
しの接続においては、MT形光コネクタの接合端面どう
しを突き合わせて接合するため、この接合端面を所定の
面精度に加工する必要がある。そのため、従来より、研
磨装置を用いてこのMT形光コネクタの接合端面を所定
の面精度に加工することが行われている。
しの接続においては、MT形光コネクタの接合端面どう
しを突き合わせて接合するため、この接合端面を所定の
面精度に加工する必要がある。そのため、従来より、研
磨装置を用いてこのMT形光コネクタの接合端面を所定
の面精度に加工することが行われている。
【0004】図5は、MT形光コネクタ50の突き合わ
せ接続用の接合端面55を研磨する研磨装置の一例を示
す要部拡大側面図である。図5において、研磨装置SJ
は、被研磨部材であるフェルール部材(光コネクタ)5
0を保持する保持装置60と、この保持装置60と対向
する位置に設けられ、上面に研磨面67aを備えている
円盤状の研磨盤67と、この研磨盤67を軸線Lまわり
に回転する駆動装置(不図示)とを備えている。保持装
置60は、研磨盤67に対して所定の間隔を有しつつ不
図示の支持部に支持されているプレート状の保持部本体
62と、この保持部本体62の端部に設けられ、MT形
光コネクタ50を保持部本体62に対して固定する部材
固定部64と、MT形光コネクタ50の上方への移動を
規制する上側固定部69とを備えている。保持部本体6
2の側部には、この保持部本体62の厚さ方向にわたっ
て貫通する部材収納溝66が形成されており、研磨処理
されるべきMT形光コネクタ50はこの部材収納溝66
に収納されるようになっている。
せ接続用の接合端面55を研磨する研磨装置の一例を示
す要部拡大側面図である。図5において、研磨装置SJ
は、被研磨部材であるフェルール部材(光コネクタ)5
0を保持する保持装置60と、この保持装置60と対向
する位置に設けられ、上面に研磨面67aを備えている
円盤状の研磨盤67と、この研磨盤67を軸線Lまわり
に回転する駆動装置(不図示)とを備えている。保持装
置60は、研磨盤67に対して所定の間隔を有しつつ不
図示の支持部に支持されているプレート状の保持部本体
62と、この保持部本体62の端部に設けられ、MT形
光コネクタ50を保持部本体62に対して固定する部材
固定部64と、MT形光コネクタ50の上方への移動を
規制する上側固定部69とを備えている。保持部本体6
2の側部には、この保持部本体62の厚さ方向にわたっ
て貫通する部材収納溝66が形成されており、研磨処理
されるべきMT形光コネクタ50はこの部材収納溝66
に収納されるようになっている。
【0005】部材固定部64は、保持部本体62の側部
に固定されているブラケット64aと、このブラケット
64aに螺着されているネジ部64bと、このネジ部6
4bの先端に設けられている押さえブロック64cとを
備えている。そして、部材固定部64によってMT形光
コネクタ50を保持部本体62に固定するためには、M
T形光コネクタ50を部材収納溝66に収納した後、ブ
ラケット64aに螺着されているネジ部64bをねじ込
むことによって、押さえブロック64cがMT形光コネ
クタ50を部材収納溝66内面に押圧固定するようにな
っている。このとき、押さえブロック64cは略直方体
状に形成され、押さえブロック64cのうちMT形光コ
ネクタ50を押圧する側の端面は平坦に形成されてお
り、押さえブロック64cは、MT形光コネクタ50の
フェルール本体51に設けられているつば部53と係合
するようになっている。MT形光コネクタ50は、つば
部53を用いて研磨装置SJに対して位置決めされてい
る。
に固定されているブラケット64aと、このブラケット
64aに螺着されているネジ部64bと、このネジ部6
4bの先端に設けられている押さえブロック64cとを
備えている。そして、部材固定部64によってMT形光
コネクタ50を保持部本体62に固定するためには、M
T形光コネクタ50を部材収納溝66に収納した後、ブ
ラケット64aに螺着されているネジ部64bをねじ込
むことによって、押さえブロック64cがMT形光コネ
クタ50を部材収納溝66内面に押圧固定するようにな
っている。このとき、押さえブロック64cは略直方体
状に形成され、押さえブロック64cのうちMT形光コ
ネクタ50を押圧する側の端面は平坦に形成されてお
り、押さえブロック64cは、MT形光コネクタ50の
フェルール本体51に設けられているつば部53と係合
するようになっている。MT形光コネクタ50は、つば
部53を用いて研磨装置SJに対して位置決めされてい
る。
【0006】そして、上述したような研磨装置SJを用
いてMT形光コネクタ50の接合端面55を研磨するた
めには、保持装置60でMT形光コネクタ50を保持す
るとともに、この保持部60に保持されたMT形光コネ
クタ50の接合端面55を研磨盤67の研磨面67aに
接触させる。そして、この状態で駆動装置によって研磨
盤67を回転駆動することにより、MT形光コネクタ5
0の接合端面55が研磨される。
いてMT形光コネクタ50の接合端面55を研磨するた
めには、保持装置60でMT形光コネクタ50を保持す
るとともに、この保持部60に保持されたMT形光コネ
クタ50の接合端面55を研磨盤67の研磨面67aに
接触させる。そして、この状態で駆動装置によって研磨
盤67を回転駆動することにより、MT形光コネクタ5
0の接合端面55が研磨される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年におい
て光伝送機器などにおいて、光コネクタと内部光素子と
の介在物として、図6に示すようなフェルール部材70
が用いられるようになっている。このフェルール部材7
0は、MT形光コネクタのつば部分を削除した形状であ
り、ガイドピン位置決め方式の略直方体ブロック状に形
成されたフェルール本体75と、ガイドピンを挿入嵌合
するための2本平行に設けられたガイドピン穴73と、
2本のガイドピン穴73どうしの間に互いに平行に設け
られ、光ファイバを挿入するための光ファイバ穴74と
を備えている。そして、フェルール部材70のうち、図
6中、上下両端面が突き合わせ接続用の接合端面71、
72となっており、ガイドピン穴73及び光ファイバ穴
74は、1対の接合端面71、72間にわたって貫通す
るように形成されている。
て光伝送機器などにおいて、光コネクタと内部光素子と
の介在物として、図6に示すようなフェルール部材70
が用いられるようになっている。このフェルール部材7
0は、MT形光コネクタのつば部分を削除した形状であ
り、ガイドピン位置決め方式の略直方体ブロック状に形
成されたフェルール本体75と、ガイドピンを挿入嵌合
するための2本平行に設けられたガイドピン穴73と、
2本のガイドピン穴73どうしの間に互いに平行に設け
られ、光ファイバを挿入するための光ファイバ穴74と
を備えている。そして、フェルール部材70のうち、図
6中、上下両端面が突き合わせ接続用の接合端面71、
72となっており、ガイドピン穴73及び光ファイバ穴
74は、1対の接合端面71、72間にわたって貫通す
るように形成されている。
【0008】しかしながら、図5に示したような研磨装
置SJを用いて図6に示したようなフェルール部材70
の接合端面71、72を研磨しようとすると、一方の接
合端面71を研磨処理した後、一旦、フェルール部材7
0を保持装置60から取り外し、もう一方の接合端面7
2と研磨面67aとが対面するように付け替えるといっ
た作業が必要であった。このように、従来の研磨装置S
Jを用いて2つの研磨対象面を有するフェルール部材7
0を研磨しようとすると、保持装置60に対するフェル
ール部材70の着脱作業といった煩雑な作業を行わなけ
ればならず作業効率が低かった。
置SJを用いて図6に示したようなフェルール部材70
の接合端面71、72を研磨しようとすると、一方の接
合端面71を研磨処理した後、一旦、フェルール部材7
0を保持装置60から取り外し、もう一方の接合端面7
2と研磨面67aとが対面するように付け替えるといっ
た作業が必要であった。このように、従来の研磨装置S
Jを用いて2つの研磨対象面を有するフェルール部材7
0を研磨しようとすると、保持装置60に対するフェル
ール部材70の着脱作業といった煩雑な作業を行わなけ
ればならず作業効率が低かった。
【0009】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たもので、略直方体状に形成されたフェルール部材のう
ち対向する両側の端面のそれぞれを研磨処理する際、作
業性良く研磨処理できる研磨装置を提供することを目的
とする。
たもので、略直方体状に形成されたフェルール部材のう
ち対向する両側の端面のそれぞれを研磨処理する際、作
業性良く研磨処理できる研磨装置を提供することを目的
とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項1に記載の研磨装置は、所定の部材のうち対
向する両側の端面のそれぞれを研磨する研磨装置におい
て、略円盤状に形成され、端部の複数位置に前記部材を
それぞれ保持する保持装置と、前記保持装置に保持され
た前記部材の前記端面に対して接触可能な位置に設けら
れた研磨盤と、前記研磨盤を回転する駆動装置と、前記
保持装置と同心状に設けられ、この保持装置を覆うカバ
ー部とを備え、略円盤状に形成された前記保持装置の上
面及び下面のそれぞれに、前記カバー部と連結可能な連
結部を設けたことを特徴とする。
め、請求項1に記載の研磨装置は、所定の部材のうち対
向する両側の端面のそれぞれを研磨する研磨装置におい
て、略円盤状に形成され、端部の複数位置に前記部材を
それぞれ保持する保持装置と、前記保持装置に保持され
た前記部材の前記端面に対して接触可能な位置に設けら
れた研磨盤と、前記研磨盤を回転する駆動装置と、前記
保持装置と同心状に設けられ、この保持装置を覆うカバ
ー部とを備え、略円盤状に形成された前記保持装置の上
面及び下面のそれぞれに、前記カバー部と連結可能な連
結部を設けたことを特徴とする。
【0011】本発明によれば、略円盤状に形成された保
持装置の端部で複数の部材を保持することにより、この
部材のうち一方の端面を研磨盤によって同時に効率良く
研磨処理することができる。このとき、保持装置は上面
に設けられた連結部を介してカバー部に連結されてい
る。そして、前記一方の端面に対する研磨処理が終了し
たら、保持装置の上面側の連結部とカバー部との連結を
解き、複数の部材を保持した状態で保持装置の上下面を
切り替え、保持装置の下面に設けられている連結部とカ
バー部とを連結することにより、部材のうちもう一方の
端面と研磨盤とを対面させることができる。このよう
に、保持装置の上面及び下面のそれぞれに、カバー部と
連結可能な連結部を設けたことにより、複数の部材を保
持したままで、一方の端面に対する研磨処理と、もう一
方の端面に対する研磨処理との切り替えを、保持装置全
体をうら返すだけで容易に行うことができる。したがっ
て、部材の対向する両側の端面のそれぞれを作業性良く
研磨処理することができる。また、保持装置を覆うカバ
ー部を設けたことにより、保持装置に保持された部材と
研磨盤との間に対する異物の侵入を防止することができ
るので、安定した研磨処理を行うことができる。
持装置の端部で複数の部材を保持することにより、この
部材のうち一方の端面を研磨盤によって同時に効率良く
研磨処理することができる。このとき、保持装置は上面
に設けられた連結部を介してカバー部に連結されてい
る。そして、前記一方の端面に対する研磨処理が終了し
たら、保持装置の上面側の連結部とカバー部との連結を
解き、複数の部材を保持した状態で保持装置の上下面を
切り替え、保持装置の下面に設けられている連結部とカ
バー部とを連結することにより、部材のうちもう一方の
端面と研磨盤とを対面させることができる。このよう
に、保持装置の上面及び下面のそれぞれに、カバー部と
連結可能な連結部を設けたことにより、複数の部材を保
持したままで、一方の端面に対する研磨処理と、もう一
方の端面に対する研磨処理との切り替えを、保持装置全
体をうら返すだけで容易に行うことができる。したがっ
て、部材の対向する両側の端面のそれぞれを作業性良く
研磨処理することができる。また、保持装置を覆うカバ
ー部を設けたことにより、保持装置に保持された部材と
研磨盤との間に対する異物の侵入を防止することができ
るので、安定した研磨処理を行うことができる。
【0012】請求項2に記載の研磨装置は、請求項1に
記載の研磨装置において、前記カバー部を前記保持装置
とともに前記研磨盤に対して接近・離間方向に移動する
移動装置を備えることを特徴とする。
記載の研磨装置において、前記カバー部を前記保持装置
とともに前記研磨盤に対して接近・離間方向に移動する
移動装置を備えることを特徴とする。
【0013】本発明によれば、カバー部を保持装置とと
もに研磨盤に対して接近・離間方向に移動する移動装置
を設けたことにより、例えば、一方の端面に対する研磨
処理が終了したら、この保持装置をカバー部とともに研
磨盤から離間させることにより、保持装置と研磨盤との
間には広いスペースが形成されるので、保持装置の上下
面の切り替え作業、すなわち、部材のもう一方の端面と
研磨盤とを対面させる作業を作業性良く行うことができ
る。
もに研磨盤に対して接近・離間方向に移動する移動装置
を設けたことにより、例えば、一方の端面に対する研磨
処理が終了したら、この保持装置をカバー部とともに研
磨盤から離間させることにより、保持装置と研磨盤との
間には広いスペースが形成されるので、保持装置の上下
面の切り替え作業、すなわち、部材のもう一方の端面と
研磨盤とを対面させる作業を作業性良く行うことができ
る。
【0014】請求項3に記載の研磨装置は、請求項1又
は2に記載の研磨装置において、前記部材はフェルール
部材であり、前記フェルール部材は、略直方体状に形成
され、対向する両側の端面のそれぞれに前記光ファイバ
を露出するように保持するフェルール本体を備えること
を特徴とする。
は2に記載の研磨装置において、前記部材はフェルール
部材であり、前記フェルール部材は、略直方体状に形成
され、対向する両側の端面のそれぞれに前記光ファイバ
を露出するように保持するフェルール本体を備えること
を特徴とする。
【0015】本発明によれば、図6に示したような略直
方体状のフェルール部材の2つの接合端面のそれぞれを
作業性良く研磨することができる。
方体状のフェルール部材の2つの接合端面のそれぞれを
作業性良く研磨することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の研磨装置の一実施
形態について図1〜図3を参照しながら説明する。図1
は本発明の研磨装置Sの全体概略側面図である。図2は
研磨装置Sの要部拡大図であって図2(a)は側面図、
図2(b)は上方から見た平面図である。図3は、研磨
装置Sを構成する保持装置1を上方から見た平面図であ
る。なお、本実施形態における研磨対象部材は図6に示
したフェルール部材70であり、以下の説明において適
宜図6を用いる。
形態について図1〜図3を参照しながら説明する。図1
は本発明の研磨装置Sの全体概略側面図である。図2は
研磨装置Sの要部拡大図であって図2(a)は側面図、
図2(b)は上方から見た平面図である。図3は、研磨
装置Sを構成する保持装置1を上方から見た平面図であ
る。なお、本実施形態における研磨対象部材は図6に示
したフェルール部材70であり、以下の説明において適
宜図6を用いる。
【0017】図1、図2、図3において、研磨装置S
は、研磨対象部材であるフェルール部材70を保持する
保持装置1と、保持装置1に対して対向する位置に所定
間隔を有して配置されている研磨盤2と、この研磨盤2
を回転する駆動装置3と、保持装置1を覆うカバー部5
とを備えている。
は、研磨対象部材であるフェルール部材70を保持する
保持装置1と、保持装置1に対して対向する位置に所定
間隔を有して配置されている研磨盤2と、この研磨盤2
を回転する駆動装置3と、保持装置1を覆うカバー部5
とを備えている。
【0018】研磨盤2は円盤状に形成されており、ベー
ス部4上に載置されている。研磨盤2の上面には研磨シ
ートが貼り付けられた研磨面2aが設けられている。駆
動装置3は、例えばモータによって構成されておりベー
ス部4内部に配置されている。研磨盤2と駆動装置3と
は連結しており、駆動装置3を駆動することにより、研
磨盤2は図1中、例えば軸線Lまわりに回転するように
なっている。
ス部4上に載置されている。研磨盤2の上面には研磨シ
ートが貼り付けられた研磨面2aが設けられている。駆
動装置3は、例えばモータによって構成されておりベー
ス部4内部に配置されている。研磨盤2と駆動装置3と
は連結しており、駆動装置3を駆動することにより、研
磨盤2は図1中、例えば軸線Lまわりに回転するように
なっている。
【0019】保持装置1は、研磨盤2に対して所定の間
隔を有して配置されている略円盤状の保持部本体8と、
この保持部本体8の端部に設けられ、フェルール部材7
0を保持部本体8に対して固定する部材固定部9とを備
えている。図3に示すように、部材固定部9は、略円盤
状に形成されている保持部本体8の端部の複数位置に所
定間隔で設けられている。したがって、略円盤状に設け
られた保持装置1は、端部の複数位置のそれぞれに複数
のフェルール部材70をそれぞれ保持する構成となって
いる。
隔を有して配置されている略円盤状の保持部本体8と、
この保持部本体8の端部に設けられ、フェルール部材7
0を保持部本体8に対して固定する部材固定部9とを備
えている。図3に示すように、部材固定部9は、略円盤
状に形成されている保持部本体8の端部の複数位置に所
定間隔で設けられている。したがって、略円盤状に設け
られた保持装置1は、端部の複数位置のそれぞれに複数
のフェルール部材70をそれぞれ保持する構成となって
いる。
【0020】カバー部5は平面視円盤状に形成されてい
る。このカバー部5は側方断面視で下向きのコ字状に形
成されており、保持装置1全体を覆うように形成されて
いる。このとき、保持装置1とカバー部5とは同心状に
配置されている。
る。このカバー部5は側方断面視で下向きのコ字状に形
成されており、保持装置1全体を覆うように形成されて
いる。このとき、保持装置1とカバー部5とは同心状に
配置されている。
【0021】図2(a)に示すように、カバー部5の内
側中央部には、下向きに突設され保持部本体8の上面側
に配置されるボルト部(連結部)8aが設けられてい
る。一方、保持部本体8の中央部には貫通穴が形成され
ており、ボルト部8aが挿入可能となっている。図2
(a)において、保持部本体8の貫通穴に挿入され保持
部本体8の上面側に配置されたボルト部8aにはナット
部(連結部)8bが螺着されている。ナット部8bは保
持部本体8の下面側に配置されている。これらボルト部
8aとナット部8bとの螺着によって、カバー部5と保
持部本体8(すなわち保持装置1)とが連結されてい
る。すなわち、保持部本体8の上面を支持するようにボ
ルト部8aが設けられ、保持部本体8の下面を支持する
ようにナット部8bが設けられ、これらを螺着すること
によって保持部本体8は固定される。
側中央部には、下向きに突設され保持部本体8の上面側
に配置されるボルト部(連結部)8aが設けられてい
る。一方、保持部本体8の中央部には貫通穴が形成され
ており、ボルト部8aが挿入可能となっている。図2
(a)において、保持部本体8の貫通穴に挿入され保持
部本体8の上面側に配置されたボルト部8aにはナット
部(連結部)8bが螺着されている。ナット部8bは保
持部本体8の下面側に配置されている。これらボルト部
8aとナット部8bとの螺着によって、カバー部5と保
持部本体8(すなわち保持装置1)とが連結されてい
る。すなわち、保持部本体8の上面を支持するようにボ
ルト部8aが設けられ、保持部本体8の下面を支持する
ようにナット部8bが設けられ、これらを螺着すること
によって保持部本体8は固定される。
【0022】図1に示すように、ベース部4上に立設し
ている支柱12上にはヘッド部10が固定されている。
ヘッド部10内には昇降レバー11aに接続されたシャ
フト11bが設けられている。そして、昇降レバー11
aを上下方向に操作することによって、シャフト11b
に連結されているカバー部5が、保持装置1とともに研
磨盤2に対して接近・離間する方向に移動されるように
なっている。このように、昇降レバー11aとシャフト
11bとによって、カバー部5を保持装置1とともに研
磨盤2に対して接近・離間方向に移動する移動装置11
が構成されている。
ている支柱12上にはヘッド部10が固定されている。
ヘッド部10内には昇降レバー11aに接続されたシャ
フト11bが設けられている。そして、昇降レバー11
aを上下方向に操作することによって、シャフト11b
に連結されているカバー部5が、保持装置1とともに研
磨盤2に対して接近・離間する方向に移動されるように
なっている。このように、昇降レバー11aとシャフト
11bとによって、カバー部5を保持装置1とともに研
磨盤2に対して接近・離間方向に移動する移動装置11
が構成されている。
【0023】図2に示すように、保持部本体8の側部に
は、この保持部本体8の厚さ方向にわたって貫通する部
材収納溝17が形成されている。研磨処理されるべきフ
ェルール部材70はこの部材収納溝17に収納されるよ
うになっている。保持部本体8に対してフェルール部材
70を固定する部材固定部9は、保持部本体8の側部に
固定されているブラケット9aと、このブラケット9a
に螺着されているネジ部9bと、このネジ部9bの先端
に設けられている係合部材9cとを備えている。ネジ部
9bは、該ネジ部9bのうちブラケット9a外側に突出
した端部に固定されたツマミ9dを回転することで簡単
に回転操作することができる。
は、この保持部本体8の厚さ方向にわたって貫通する部
材収納溝17が形成されている。研磨処理されるべきフ
ェルール部材70はこの部材収納溝17に収納されるよ
うになっている。保持部本体8に対してフェルール部材
70を固定する部材固定部9は、保持部本体8の側部に
固定されているブラケット9aと、このブラケット9a
に螺着されているネジ部9bと、このネジ部9bの先端
に設けられている係合部材9cとを備えている。ネジ部
9bは、該ネジ部9bのうちブラケット9a外側に突出
した端部に固定されたツマミ9dを回転することで簡単
に回転操作することができる。
【0024】部材固定部9によってフェルール部材70
を保持部本体8に固定する際には、フェルール部材70
を部材収納溝17に配置した後、ブラケット9aに螺着
されているネジ部9bをねじ込み、係合部材9cの端面
でコネクタ70を部材収納溝17側に押圧する。
を保持部本体8に固定する際には、フェルール部材70
を部材収納溝17に配置した後、ブラケット9aに螺着
されているネジ部9bをねじ込み、係合部材9cの端面
でコネクタ70を部材収納溝17側に押圧する。
【0025】図6に示すように、フェルール部材70
は、プラスチック材料からなるフェルール本体75と、
このフェルール本体75に形成され、互いに平行に設け
られた貫通穴である2つのガイドピン穴73と、この2
つのガイドピン穴73の間に互いに平行に設けられ、光
ファイバが挿入される4つの光ファイバ穴74とを備え
ている。フェルール部材70のフェルール本体75は略
直方体状に形成されている。このフェルール本体75
は、光ファイバ穴74に挿入された光ファイバを保持す
るようになっている。このとき、保持された光ファイバ
は、略直方体状に形成されているフェルール本体75の
うち対向する接合端面(端面)71と接合端面(端面)
72とに露出するように保持される。接合端面71と接
合端面72とは互いに平行となっている。
は、プラスチック材料からなるフェルール本体75と、
このフェルール本体75に形成され、互いに平行に設け
られた貫通穴である2つのガイドピン穴73と、この2
つのガイドピン穴73の間に互いに平行に設けられ、光
ファイバが挿入される4つの光ファイバ穴74とを備え
ている。フェルール部材70のフェルール本体75は略
直方体状に形成されている。このフェルール本体75
は、光ファイバ穴74に挿入された光ファイバを保持す
るようになっている。このとき、保持された光ファイバ
は、略直方体状に形成されているフェルール本体75の
うち対向する接合端面(端面)71と接合端面(端面)
72とに露出するように保持される。接合端面71と接
合端面72とは互いに平行となっている。
【0026】次に、上述したような構成を備える研磨装
置Sによってフェルール部材70の接合端面71、72
を研磨する方法について説明する。
置Sによってフェルール部材70の接合端面71、72
を研磨する方法について説明する。
【0027】まず、研磨処理すべきフェルール部材70
を保持部本体8に設けられた部材収納溝17に収納す
る。部材収納溝17にフェルール部材70を収納した
ら、部材固定部9のうち、ブラケット9aに螺着されて
いるネジ部9bを保持部本体8に向けてねじ込む。フェ
ルール部材70は係合部材9cによって部材収納溝17
内面に押圧されて固定される。そして、複数のフェルー
ル部材70のそれぞれが複数設けられている部材固定部
9のそれぞれに保持される。こうして、保持装置1は複
数のフェルール部材70を保持する。
を保持部本体8に設けられた部材収納溝17に収納す
る。部材収納溝17にフェルール部材70を収納した
ら、部材固定部9のうち、ブラケット9aに螺着されて
いるネジ部9bを保持部本体8に向けてねじ込む。フェ
ルール部材70は係合部材9cによって部材収納溝17
内面に押圧されて固定される。そして、複数のフェルー
ル部材70のそれぞれが複数設けられている部材固定部
9のそれぞれに保持される。こうして、保持装置1は複
数のフェルール部材70を保持する。
【0028】このとき、保持部本体8の厚さはほぼ一様
であり、フェルール部材70は部材固定部9の係合部材
9cによって、接合端面71、72を保持部本体8から
上下方向に所定量突出した状態で位置決めされるように
設定されている。フェルール部材70のそれぞれは、図
2(a)及び図4(a)に示すように、接合端面72と
研磨盤2の研磨面2aとが接するように位置決めされ
る。
であり、フェルール部材70は部材固定部9の係合部材
9cによって、接合端面71、72を保持部本体8から
上下方向に所定量突出した状態で位置決めされるように
設定されている。フェルール部材70のそれぞれは、図
2(a)及び図4(a)に示すように、接合端面72と
研磨盤2の研磨面2aとが接するように位置決めされ
る。
【0029】フェルール部材70の接合端面72と研磨
盤2の研磨面2aとが接触したら、駆動装置3を駆動し
て、研磨盤2を回転する。研磨盤2の回転によって、フ
ェルール部材70の接合端面72は研磨される。
盤2の研磨面2aとが接触したら、駆動装置3を駆動し
て、研磨盤2を回転する。研磨盤2の回転によって、フ
ェルール部材70の接合端面72は研磨される。
【0030】フェルール部材70の接合端面72に対す
る研磨処理が終了したら、移動装置11によって、図4
(b)に示すように、カバー部5を保持装置1とともに
研磨盤2から離間するように上昇する。保持装置1と研
磨盤2との間にはスペースが生じる。
る研磨処理が終了したら、移動装置11によって、図4
(b)に示すように、カバー部5を保持装置1とともに
研磨盤2から離間するように上昇する。保持装置1と研
磨盤2との間にはスペースが生じる。
【0031】次いで、ボルト部8aとナット部8bとの
螺合を解いてカバー部5と保持部本体8とを分離する。
そして、図4(c)に示すように、保持装置1全体をう
ら返す。すなわち、保持装置1の上面と下面とを切り替
える。すると、図4(c)に示すように、フェルール部
材70の接合端面71と研磨盤2とが対面するように配
置される。
螺合を解いてカバー部5と保持部本体8とを分離する。
そして、図4(c)に示すように、保持装置1全体をう
ら返す。すなわち、保持装置1の上面と下面とを切り替
える。すると、図4(c)に示すように、フェルール部
材70の接合端面71と研磨盤2とが対面するように配
置される。
【0032】保持装置1の上面と下面との切り替えが終
わったら、ボルト部8aを保持部本体8の貫通穴に挿入
し、ボルト部8aとナット部8bとを螺着する。こうし
て、カバー部5と保持装置1とが連結される。カバー部
5と保持装置1とが連結されたら、移動装置11を操作
してカバー部5を保持装置1とともに下降する。する
と、図4(d)に示すように、保持装置1に保持されて
いるフェルール部材70の接合端面71と研磨盤2の研
磨面2aとが接触する。この状態で駆動装置3を駆動す
ることにより研磨盤2が回転し、フェルール部材70の
接合端面71に対する研磨処理が行われる。
わったら、ボルト部8aを保持部本体8の貫通穴に挿入
し、ボルト部8aとナット部8bとを螺着する。こうし
て、カバー部5と保持装置1とが連結される。カバー部
5と保持装置1とが連結されたら、移動装置11を操作
してカバー部5を保持装置1とともに下降する。する
と、図4(d)に示すように、保持装置1に保持されて
いるフェルール部材70の接合端面71と研磨盤2の研
磨面2aとが接触する。この状態で駆動装置3を駆動す
ることにより研磨盤2が回転し、フェルール部材70の
接合端面71に対する研磨処理が行われる。
【0033】なお、このフェルール部材70を保持する
保持装置1と研磨面2aとの離間距離は、フェルール部
材70に対する研磨面2aの押圧力が所望の値となるよ
うに予め設定されている。移動装置11は、この予め設
定された設定値に基づいてカバー部5及び保持装置1の
移動を行う。
保持装置1と研磨面2aとの離間距離は、フェルール部
材70に対する研磨面2aの押圧力が所望の値となるよ
うに予め設定されている。移動装置11は、この予め設
定された設定値に基づいてカバー部5及び保持装置1の
移動を行う。
【0034】以上説明したように、略円盤状に形成され
た保持装置1の端部の複数位置でフェルール部材70を
保持することにより、研磨盤2によって接合端面71,
72を効率良く研磨処理することができる。そして、一
方の接合端面72を研磨処理する際には、保持装置1と
カバー部5とをボルト部8aとナット部8bとの螺着に
よって連結する。そして、一方の接合端面72に対する
研磨処理が終了したら、ボルト部8aとナット部8bと
の螺合を解いて保持装置1とカバー部5とを分離し、複
数のフェルール部材70を保持した状態で保持装置1を
うら返して保持装置1の上面と下面とを切り替え、保持
部本体8の貫通穴にボルト部8aを挿入するとともにボ
ルト部8aとナット部8bとを螺着して保持装置1とカ
バー部5とを連結することにより、フェルール部材70
のうちもう一方の接合端面71と研磨盤2とを対面させ
て研磨処理することができる。このように、保持装置1
とカバー部5とを連結可能なボルト部8a及びナット部
8bからなる連結部を設けたことにより、複数のフェル
ール部材70を保持したままで、一方の接合端面72に
対する研磨処理と、もう一方の接合端面72に対する研
磨処理との切り替えを、保持装置1全体をうら返すだけ
で容易に行うことができる。したがって、フェルール部
材70の対向する両側の接合端面71、72のそれぞれ
を作業性良く研磨処理することができる。
た保持装置1の端部の複数位置でフェルール部材70を
保持することにより、研磨盤2によって接合端面71,
72を効率良く研磨処理することができる。そして、一
方の接合端面72を研磨処理する際には、保持装置1と
カバー部5とをボルト部8aとナット部8bとの螺着に
よって連結する。そして、一方の接合端面72に対する
研磨処理が終了したら、ボルト部8aとナット部8bと
の螺合を解いて保持装置1とカバー部5とを分離し、複
数のフェルール部材70を保持した状態で保持装置1を
うら返して保持装置1の上面と下面とを切り替え、保持
部本体8の貫通穴にボルト部8aを挿入するとともにボ
ルト部8aとナット部8bとを螺着して保持装置1とカ
バー部5とを連結することにより、フェルール部材70
のうちもう一方の接合端面71と研磨盤2とを対面させ
て研磨処理することができる。このように、保持装置1
とカバー部5とを連結可能なボルト部8a及びナット部
8bからなる連結部を設けたことにより、複数のフェル
ール部材70を保持したままで、一方の接合端面72に
対する研磨処理と、もう一方の接合端面72に対する研
磨処理との切り替えを、保持装置1全体をうら返すだけ
で容易に行うことができる。したがって、フェルール部
材70の対向する両側の接合端面71、72のそれぞれ
を作業性良く研磨処理することができる。
【0035】また、保持装置1を覆うカバー部5を設け
たことにより、保持装置1に保持されたフェルール部材
70と研磨盤2の研磨面2aとの間に対する異物の侵入
を防止することができるので、安定した研磨処理を行う
ことができる。
たことにより、保持装置1に保持されたフェルール部材
70と研磨盤2の研磨面2aとの間に対する異物の侵入
を防止することができるので、安定した研磨処理を行う
ことができる。
【0036】カバー部5を保持装置1とともに研磨盤2
に対して接近・離間方向に移動する移動装置11を設け
たことにより、一方の接合端面72に対する研磨処理が
終了したら、この保持装置1をカバー部5とともに研磨
盤2から離間させることにより、保持装置1と研磨盤2
との間に広いスペースを形成することができる。したが
って、保持装置1の上下面の切り替え作業、すなわち、
フェルール部材70のもう一方の接合端面71と研磨盤
2とを対面させる作業を作業性良く行うことができる。
に対して接近・離間方向に移動する移動装置11を設け
たことにより、一方の接合端面72に対する研磨処理が
終了したら、この保持装置1をカバー部5とともに研磨
盤2から離間させることにより、保持装置1と研磨盤2
との間に広いスペースを形成することができる。したが
って、保持装置1の上下面の切り替え作業、すなわち、
フェルール部材70のもう一方の接合端面71と研磨盤
2とを対面させる作業を作業性良く行うことができる。
【0037】なお、本実施形態における研磨装置Sは、
フェルール部材を研磨対象としているが、両面研磨処理
を必要とする各種部材を研磨対象とすることができる。
フェルール部材を研磨対象としているが、両面研磨処理
を必要とする各種部材を研磨対象とすることができる。
【0038】本実施形態においては、保持装置1はフェ
ルール部材70を保持部本体8の面方向と接合端面7
1、72とが平行になるように保持する構成であるが、
傾斜して保持することも可能である。
ルール部材70を保持部本体8の面方向と接合端面7
1、72とが平行になるように保持する構成であるが、
傾斜して保持することも可能である。
【0039】なお、本実施形態において、フェルール部
材70のフェルール本体75のうち、係合部材9cに押
圧される面や部材収納溝17の内面に接する面に、所定
の形状を有する溝部を形成しておくことができる。この
場合、係合部材9cや部材収納溝17の内面の形状を、
フェルール本体75に形成した溝部の形状と対応させて
おく。こうすることにより、保持装置1に対するフェル
ール部材70の位置決め動作を精度良く安定して行うこ
とができるとともに、研磨処理中における保持装置1の
フェルール部材70に対する保持を安定化することがで
きる。
材70のフェルール本体75のうち、係合部材9cに押
圧される面や部材収納溝17の内面に接する面に、所定
の形状を有する溝部を形成しておくことができる。この
場合、係合部材9cや部材収納溝17の内面の形状を、
フェルール本体75に形成した溝部の形状と対応させて
おく。こうすることにより、保持装置1に対するフェル
ール部材70の位置決め動作を精度良く安定して行うこ
とができるとともに、研磨処理中における保持装置1の
フェルール部材70に対する保持を安定化することがで
きる。
【0040】本実施形態においては、カバー部5と保持
装置1との連結は、カバー部5に設けられたボルト部8
aとナット部8bとの螺着によって実現されているが、
カバー部5と保持装置1との連結が容易に解除でき、且
つ、研磨処理中にはカバー部5と保持装置1とを安定し
て連結する手段であればどのような構成でもよい。
装置1との連結は、カバー部5に設けられたボルト部8
aとナット部8bとの螺着によって実現されているが、
カバー部5と保持装置1との連結が容易に解除でき、且
つ、研磨処理中にはカバー部5と保持装置1とを安定し
て連結する手段であればどのような構成でもよい。
【0041】本実施形態においては、カバー部5と保持
装置1との連結は、ボルト部8aとナット部8bとの螺
着によって実現されているため、研磨盤2の回転方向は
ボルト部8aとナット部8bとの螺合が解除されない方
向に回転されることが好ましい。
装置1との連結は、ボルト部8aとナット部8bとの螺
着によって実現されているため、研磨盤2の回転方向は
ボルト部8aとナット部8bとの螺合が解除されない方
向に回転されることが好ましい。
【0042】本実施形態において、移動装置11は手動
で駆動されるように説明したが、アクチュエータなどの
所定の駆動装置を用いてもよい。
で駆動されるように説明したが、アクチュエータなどの
所定の駆動装置を用いてもよい。
【0043】本実施形態においては、研磨盤2を回転す
ることにより研磨処理が行われる構成であるが、カバー
部5及び保持装置1側に駆動装置を連結し、カバー部5
及び保持装置1を研磨盤2に対して回転するようにして
もよい。あるいは、研磨盤2と、カバー部5及び保持装
置1とを同時に回転するようにしてもよい。
ることにより研磨処理が行われる構成であるが、カバー
部5及び保持装置1側に駆動装置を連結し、カバー部5
及び保持装置1を研磨盤2に対して回転するようにして
もよい。あるいは、研磨盤2と、カバー部5及び保持装
置1とを同時に回転するようにしてもよい。
【0044】本実施形態においては、シャフト11bの
支持によって保持装置1と研磨盤2とが所定間隔を有す
るようになっているが、保持装置1の中央部に研磨盤2
に対して突出する支持部を設け、この支持部によって保
持装置1と研磨盤2との間隔を設定するようにしてもよ
い。この場合、保持装置1の支持部が当接する研磨盤の
一部を平滑面とし、保持装置1の支持部と研磨盤の平滑
面とが摺動可能としておく。更に、保持装置1の上面の
中央部に第1固定用穴を形成しておくとともにこの第1
固定用穴から離間した位置にも第2固定用穴を形成して
おき、この第1、第2固定用穴に挿入可能なように、ヘ
ッド部10からカバー部5の内側につながるように形成
された第1シャフトと第2シャフトとを設けておく。す
なわち、これらカバー部5の内側に保持装置1に向かっ
て第1,第2シャフトを一体に形成しておく。なお、研
磨盤2のうち保持装置1の支持部が当接しない部分は研
磨面2aとなっており、したがって、保持装置1に保持
されたフェルール部材70は研磨面2aと対面するよう
になっている。そして、研磨処理を行う際には、カバー
部5と一体に形成されている第1シャフト及び第2シャ
フトを下降して、保持装置1に設けられている第1固定
用穴及び第2固定用穴にそれぞれ挿入し、保持装置1を
研磨盤2に対して押さえつける。そして、研磨盤2を回
転する。このとき、保持装置1の上面中央部に形成され
ている第1固定用穴に挿入される第1シャフトは保持装
置1に対するピボット軸となっており、第2固定用穴に
挿入される第2シャフトは保持装置1に対する回り止め
軸となっている。また、保持装置1の支持部と研磨盤2
の平滑面とは摺動するので、研磨盤2は回転を妨げられ
ることなく、フェルール部材70に対する研磨処理を行
うことができる。
支持によって保持装置1と研磨盤2とが所定間隔を有す
るようになっているが、保持装置1の中央部に研磨盤2
に対して突出する支持部を設け、この支持部によって保
持装置1と研磨盤2との間隔を設定するようにしてもよ
い。この場合、保持装置1の支持部が当接する研磨盤の
一部を平滑面とし、保持装置1の支持部と研磨盤の平滑
面とが摺動可能としておく。更に、保持装置1の上面の
中央部に第1固定用穴を形成しておくとともにこの第1
固定用穴から離間した位置にも第2固定用穴を形成して
おき、この第1、第2固定用穴に挿入可能なように、ヘ
ッド部10からカバー部5の内側につながるように形成
された第1シャフトと第2シャフトとを設けておく。す
なわち、これらカバー部5の内側に保持装置1に向かっ
て第1,第2シャフトを一体に形成しておく。なお、研
磨盤2のうち保持装置1の支持部が当接しない部分は研
磨面2aとなっており、したがって、保持装置1に保持
されたフェルール部材70は研磨面2aと対面するよう
になっている。そして、研磨処理を行う際には、カバー
部5と一体に形成されている第1シャフト及び第2シャ
フトを下降して、保持装置1に設けられている第1固定
用穴及び第2固定用穴にそれぞれ挿入し、保持装置1を
研磨盤2に対して押さえつける。そして、研磨盤2を回
転する。このとき、保持装置1の上面中央部に形成され
ている第1固定用穴に挿入される第1シャフトは保持装
置1に対するピボット軸となっており、第2固定用穴に
挿入される第2シャフトは保持装置1に対する回り止め
軸となっている。また、保持装置1の支持部と研磨盤2
の平滑面とは摺動するので、研磨盤2は回転を妨げられ
ることなく、フェルール部材70に対する研磨処理を行
うことができる。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に記載の
研磨装置によれば、略円盤状に形成された保持装置の端
部で複数の部材を保持することにより、この部材のうち
一方の端面を研磨盤によって同時に効率良く研磨処理す
ることができる。このとき、保持装置は上面に設けられ
た連結部を介してカバー部に連結されている。そして、
前記一方の端面に対する研磨処理が終了したら、保持装
置の上面側の連結部とカバー部との連結を解き、複数の
部材を保持した状態で保持装置の上下面を切り替え、保
持装置の下面に設けられている連結部とカバー部とを連
結することにより、部材のうちもう一方の端面と研磨盤
とを対面させることができる。このように、保持装置の
上面及び下面のそれぞれに、カバー部と連結可能な連結
部を設けたことにより、複数の部材を保持したままで、
一方の端面に対する研磨処理と、もう一方の端面に対す
る研磨処理との切り替えを、保持装置全体をうら返すだ
けで容易に行うことができる。したがって、部材の対向
する両側の端面のそれぞれを作業性良く研磨処理するこ
とができる。また、保持装置を覆うカバー部を設けたこ
とにより、保持装置に保持された部材と研磨盤との間に
対する異物の侵入を防止することができるので、安定し
た研磨処理を行うことができる。
研磨装置によれば、略円盤状に形成された保持装置の端
部で複数の部材を保持することにより、この部材のうち
一方の端面を研磨盤によって同時に効率良く研磨処理す
ることができる。このとき、保持装置は上面に設けられ
た連結部を介してカバー部に連結されている。そして、
前記一方の端面に対する研磨処理が終了したら、保持装
置の上面側の連結部とカバー部との連結を解き、複数の
部材を保持した状態で保持装置の上下面を切り替え、保
持装置の下面に設けられている連結部とカバー部とを連
結することにより、部材のうちもう一方の端面と研磨盤
とを対面させることができる。このように、保持装置の
上面及び下面のそれぞれに、カバー部と連結可能な連結
部を設けたことにより、複数の部材を保持したままで、
一方の端面に対する研磨処理と、もう一方の端面に対す
る研磨処理との切り替えを、保持装置全体をうら返すだ
けで容易に行うことができる。したがって、部材の対向
する両側の端面のそれぞれを作業性良く研磨処理するこ
とができる。また、保持装置を覆うカバー部を設けたこ
とにより、保持装置に保持された部材と研磨盤との間に
対する異物の侵入を防止することができるので、安定し
た研磨処理を行うことができる。
【0046】請求項2に記載の研磨装置によれば、カバ
ー部を保持装置とともに研磨盤に対して接近・離間方向
に移動する移動装置を設けたことにより、例えば、一方
の端面に対する研磨処理が終了したら、この保持装置を
カバー部とともに研磨盤から離間させることにより、保
持装置と研磨盤との間には広いスペースが形成されるの
で、保持装置の上下面の切り替え作業、すなわち、部材
のもう一方の端面と研磨盤とを対面させる作業を作業性
良く行うことができる。
ー部を保持装置とともに研磨盤に対して接近・離間方向
に移動する移動装置を設けたことにより、例えば、一方
の端面に対する研磨処理が終了したら、この保持装置を
カバー部とともに研磨盤から離間させることにより、保
持装置と研磨盤との間には広いスペースが形成されるの
で、保持装置の上下面の切り替え作業、すなわち、部材
のもう一方の端面と研磨盤とを対面させる作業を作業性
良く行うことができる。
【0047】請求項3に記載の研磨装置によれば、略直
方体状のフェルール部材の2つの接合端面のそれぞれを
作業性良く研磨することができる。
方体状のフェルール部材の2つの接合端面のそれぞれを
作業性良く研磨することができる。
【図1】 本発明の研磨装置の一実施形態を示す概略側
面図である。
面図である。
【図2】 図1の要部拡大図であって、(a)は側面
図、(b)は上方から見た平面図である。
図、(b)は上方から見た平面図である。
【図3】 本発明の研磨装置のうち保持装置を上方から
見た平面図である。
見た平面図である。
【図4】 本発明の研磨装置による研磨処理の手順を説
明するための図である。
明するための図である。
【図5】 従来の研磨装置を説明するための図である。
【図6】 略直方体状に形成されたフェルール部材を説
明するための図である。
明するための図である。
1…保持装置、2…研磨盤、3…駆動装置、5…カバー
部、8a、8b…連結部、11…移動装置、70…フェ
ルール部材(部材)、71,72…接合端面、75…フ
ェルール本体(部材)、S…研磨装置。
部、8a、8b…連結部、11…移動装置、70…フェ
ルール部材(部材)、71,72…接合端面、75…フ
ェルール本体(部材)、S…研磨装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H036 QA20 3C034 AA08 AA13 BB72 BB75 BB76 3C043 BC00 DD05 3C049 AB04 CA01 CA07
Claims (3)
- 【請求項1】 所定の部材(70)のうち対向する両側
の端面(71,72)のそれぞれを研磨する研磨装置
(S)において、 略円盤状に形成され、端部の複数位置に前記部材をそれ
ぞれ保持する保持装置(1)と、 前記保持装置に保持された前記部材の前記端面に対して
接触可能な位置に設けられた研磨盤(2)と、 前記研磨盤を回転する駆動装置(3)と、 前記保持装置と同心状に設けられ、この保持装置を覆う
カバー部(5)とを備え、 略円盤状に形成された前記保持装置の上面及び下面のそ
れぞれに、前記カバー部と連結可能な連結部(8a,8
b)を設けたことを特徴とする研磨装置。 - 【請求項2】 前記カバー部を前記保持装置とともに前
記研磨盤に対して接近・離間方向に移動する移動装置
(11)を備えることを特徴とする請求項1に記載の研
磨装置。 - 【請求項3】 前記部材はフェルール部材(70)であ
り、 前記フェルール部材は、略直方体状に形成され、対向す
る両側の端面(71,72)のそれぞれに前記光ファイ
バを露出するように保持するフェルール本体(75)を
備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001088548A JP2002283200A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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