JP2002251855A - 微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ及び該スライダの製造方法 - Google Patents
微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ及び該スライダの製造方法Info
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
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- G11B7/0925—Electromechanical actuators for lens positioning
- G11B7/0937—Piezoelectric actuators
-
- G—PHYSICS
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- G11B7/22—Apparatus or processes for the manufacture of optical heads, e.g. assembly
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ヘッド素子の製造工程を変更することなく変
位部の質量低減化を図れ、充分な変位量を得ることので
きる微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ
及びこのヘッドスライダの製造方法を提供する。 【解決手段】 少なくとも１つのヘッド素子をＡＢＳと
は略垂直方向の一方の面上に有している薄い平板形状の
ヘッド部と、ヘッド部のこの一方の面とは反対側の他方
の面側に位置していると共にヘッド部に一体的に固着さ
れており、ヘッド素子の微小位置決めを行うためのアク
チュエータ部とを備えている。
位部の質量低減化を図れ、充分な変位量を得ることので
きる微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ
及びこのヘッドスライダの製造方法を提供する。 【解決手段】 少なくとも１つのヘッド素子をＡＢＳと
は略垂直方向の一方の面上に有している薄い平板形状の
ヘッド部と、ヘッド部のこの一方の面とは反対側の他方
の面側に位置していると共にヘッド部に一体的に固着さ
れており、ヘッド素子の微小位置決めを行うためのアク
チュエータ部とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド素
子又は光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用ア
クチュエータ付きヘッドスライダ及びこのヘッドスライ
ダの製造方法に関する。
子又は光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用ア
クチュエータ付きヘッドスライダ及びこのヘッドスライ
ダの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、サスペンション
の先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転
する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、こ
の磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子
により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気ディスクか
らの再生が行われる。
の先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転
する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、こ
の磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子
により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気ディスクか
らの再生が行われる。
【０００３】近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高
密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方
向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごとき
ボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる
制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難
しくなってきている。
密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方
向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごとき
ボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる
制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難
しくなってきている。
【０００４】磁気ヘッドの精密位置決めを実現する手段
の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさ
らに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ
機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置
決めを、そのアクチュエータによって行う技術である
（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−
３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参
照）。
の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさ
らに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ
機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置
決めを、そのアクチュエータによって行う技術である
（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−
３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参
照）。
【０００５】この種のアクチュエータとして、ロードビ
ーム型アクチュエータ、ピギーバック型アクチュエータ
等の種々の構造のものが存在する。
ーム型アクチュエータ、ピギーバック型アクチュエータ
等の種々の構造のものが存在する。
【０００６】ロードビーム型アクチュエータは、サスペ
ンションのロードビーム上に２つのＰＺＴを搭載し、こ
れらＰＺＴを互いに補助し合うように駆動してロードビ
ームを変位させこれに取り付けられている磁気ヘッドス
ライダを微小変位させるものである。
ンションのロードビーム上に２つのＰＺＴを搭載し、こ
れらＰＺＴを互いに補助し合うように駆動してロードビ
ームを変位させこれに取り付けられている磁気ヘッドス
ライダを微小変位させるものである。
【０００７】一方、ピギーバック型アクチュエータは、
サスペンションに固定される一方の端部と、磁気ヘッド
スライダに固定される他方の端部と、これら端部を連結
するピラー状の変位発生部とをＰＺＴによりＩ字形状に
一体形成してなるものであり、ＰＺＴを駆動することに
よって磁気ヘッドスライダ全体を直接的に微小変位させ
るものである。
サスペンションに固定される一方の端部と、磁気ヘッド
スライダに固定される他方の端部と、これら端部を連結
するピラー状の変位発生部とをＰＺＴによりＩ字形状に
一体形成してなるものであり、ＰＺＴを駆動することに
よって磁気ヘッドスライダ全体を直接的に微小変位させ
るものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の微小精
密位置決め用アクチュエータは、サスペンション全体又
は磁気ヘッドスライダ全体を変位させるものであるた
め、変位部の質量が大きく、このため、アクチュエー
タを構成する材料に非常に大きな変位発生力を持つもの
を用いなければならないので材料が特定されてしまう、
大きな変位を発生するためアクチュエータに高い駆動
電圧を印加する必要があるので、磁気ヘッド素子の電磁
変換特性に悪影響を与えるおそれがある、使用する材
料及び構造が特定されてしまうので駆動部の形状や駆動
方向等が決まってしまい、アクチュエータ形状の設計に
おける自由度が非常に低い、機械的共振が比較的低い
周波数で発生するためサスペンションの振動特性が悪化
する、等の種々の問題が生じていた。
密位置決め用アクチュエータは、サスペンション全体又
は磁気ヘッドスライダ全体を変位させるものであるた
め、変位部の質量が大きく、このため、アクチュエー
タを構成する材料に非常に大きな変位発生力を持つもの
を用いなければならないので材料が特定されてしまう、
大きな変位を発生するためアクチュエータに高い駆動
電圧を印加する必要があるので、磁気ヘッド素子の電磁
変換特性に悪影響を与えるおそれがある、使用する材
料及び構造が特定されてしまうので駆動部の形状や駆動
方向等が決まってしまい、アクチュエータ形状の設計に
おける自由度が非常に低い、機械的共振が比較的低い
周波数で発生するためサスペンションの振動特性が悪化
する、等の種々の問題が生じていた。
【０００９】また、従来の微小精密位置決め用アクチュ
エータは、磁気ヘッドスライダ全体を動かして磁気ヘッ
ド素子を微小変位させるものであるため、磁気ヘッド素
子を変位させるとスライダの浮上面（ＡＢＳ）も姿勢変
化する可能性があり、浮上特性に悪影響を生じさせるこ
とが考えられる。
エータは、磁気ヘッドスライダ全体を動かして磁気ヘッ
ド素子を微小変位させるものであるため、磁気ヘッド素
子を変位させるとスライダの浮上面（ＡＢＳ）も姿勢変
化する可能性があり、浮上特性に悪影響を生じさせるこ
とが考えられる。
【００１０】変位部の質量を低減化するために、アクチ
ュエータを磁気ヘッドスライダ内部に埋め込んだ構造も
提案されている（植松 幸弘、「磁気ディスク装置とピ
ギーバックアクチュエータ」、エレクトロニクス、ｐ
ｐ．４６〜４８、１９９８年９月号）。
ュエータを磁気ヘッドスライダ内部に埋め込んだ構造も
提案されている（植松 幸弘、「磁気ディスク装置とピ
ギーバックアクチュエータ」、エレクトロニクス、ｐ
ｐ．４６〜４８、１９９８年９月号）。
【００１１】しかしながら、この構造は、磁気ヘッド素
子を集積製造する際にアクチュエータ構造をも同時に集
積する必要があり、磁気ヘッド素子の製造工程を根本か
ら大きく変えることが要求されるため採用することは非
常に難しい。しかも、アクチュエータの変位量が非常に
小さいため、実用的でない。
子を集積製造する際にアクチュエータ構造をも同時に集
積する必要があり、磁気ヘッド素子の製造工程を根本か
ら大きく変えることが要求されるため採用することは非
常に難しい。しかも、アクチュエータの変位量が非常に
小さいため、実用的でない。
【００１２】従って本発明は、従来技術の上述した問題
点を解消するものであり、その目的は、ヘッド素子の製
造工程を変更することなく変位部の質量低減化を図れる
微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ及び
このヘッドスライダの製造方法を提供することにある。
点を解消するものであり、その目的は、ヘッド素子の製
造工程を変更することなく変位部の質量低減化を図れる
微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ及び
このヘッドスライダの製造方法を提供することにある。
【００１３】本発明の他の目的は、ヘッド素子の製造工
程を変更することなく充分な変位量を得ることのできる
微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ及び
このヘッドスライダの製造方法を提供することにある。
程を変更することなく充分な変位量を得ることのできる
微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ及び
このヘッドスライダの製造方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも１つのヘッド素子をＡＢＳとは略垂直方向の一方の
面上に有している薄い平板形状のヘッド部と、ヘッド部
のこの一方の面とは反対側の他方の面側に位置している
と共にヘッド部に一体的に固着されており、ヘッド素子
の微小位置決めを行うためのアクチュエータ部とを備え
た微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダが
提供される。
とも１つのヘッド素子をＡＢＳとは略垂直方向の一方の
面上に有している薄い平板形状のヘッド部と、ヘッド部
のこの一方の面とは反対側の他方の面側に位置している
と共にヘッド部に一体的に固着されており、ヘッド素子
の微小位置決めを行うためのアクチュエータ部とを備え
た微小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダが
提供される。
【００１５】ヘッド部をＡＢＳとは略垂直方向の一方の
面上にヘッド素子を設けた薄い平板形状に形成し、その
薄い平板形状の反対面側でアクチュエータ部が一体的に
固着されているため、アクチュエータ部の駆動する変位
部の質量が非常に小さくなり、しかもヘッド素子は通常
の製造工程でヘッド部に形成可能である。また、アクチ
ュエータ部は、ヘッド部に固着される独立構造であるた
め、充分な変位量のものを用意することができる。
面上にヘッド素子を設けた薄い平板形状に形成し、その
薄い平板形状の反対面側でアクチュエータ部が一体的に
固着されているため、アクチュエータ部の駆動する変位
部の質量が非常に小さくなり、しかもヘッド素子は通常
の製造工程でヘッド部に形成可能である。また、アクチ
ュエータ部は、ヘッド部に固着される独立構造であるた
め、充分な変位量のものを用意することができる。
【００１６】ＡＢＳがアクチュエータ部に形成されてい
ることが好ましい。
ることが好ましい。
【００１７】アクチュエータ部が、ヘッド部の他方の面
に固着されていることことが好ましい。この場合、アク
チュエータ部が、基材部と、基材部上に積層されたアク
チュエータ層とを有しており、アクチュエータ層の基材
部とは反対側の面がヘッド部の他方の面に固着されてい
ることがより好ましい。この場合、ＡＢＳが、基材部に
形成されていることもより好ましい。
に固着されていることことが好ましい。この場合、アク
チュエータ部が、基材部と、基材部上に積層されたアク
チュエータ層とを有しており、アクチュエータ層の基材
部とは反対側の面がヘッド部の他方の面に固着されてい
ることがより好ましい。この場合、ＡＢＳが、基材部に
形成されていることもより好ましい。
【００１８】アクチュエータ部が、ヘッド部の両側端部
に固着されていることも好ましい。この場合、アクチュ
エータ部が、駆動信号に従って変位する先端部にヘッド
部の両側端部が固着された１対の可動アーム部と、可動
アーム部間に離隔して設けられた静止部とを備えている
ことがより好ましい。この場合、ＡＢＳが静止部に形成
されていることがさらに好ましい。静止部にＡＢＳが形
成されていれば、ヘッド部が変位した際にもＡＢＳの姿
勢が変わらないため、安定した浮上特性を維持すること
ができる。
に固着されていることも好ましい。この場合、アクチュ
エータ部が、駆動信号に従って変位する先端部にヘッド
部の両側端部が固着された１対の可動アーム部と、可動
アーム部間に離隔して設けられた静止部とを備えている
ことがより好ましい。この場合、ＡＢＳが静止部に形成
されていることがさらに好ましい。静止部にＡＢＳが形
成されていれば、ヘッド部が変位した際にもＡＢＳの姿
勢が変わらないため、安定した浮上特性を維持すること
ができる。
【００１９】この場合、支持機構に固定される基部を備
えており、可動アーム部が基部からＡＢＳに沿って突出
していることが好ましい。また、可動アーム部が、アー
ム部材と、アーム部材の面上に積層又は接着された圧電
素子部材とを備えていることもより好ましい。
えており、可動アーム部が基部からＡＢＳに沿って突出
していることが好ましい。また、可動アーム部が、アー
ム部材と、アーム部材の面上に積層又は接着された圧電
素子部材とを備えていることもより好ましい。
【００２０】本発明によれば、さらに、ヘッド素子用基
板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、この
一方の面とは反対側の他方の面を研削することによって
薄いヘッド素子用基板を形成し、薄いヘッド素子用基板
を複数の部材に切断分離し、切断分離して得た各部材の
他方の面側に位置するように、微小位置決めアクチュエ
ータ部を形成した部材をこの切断分離して得た各部材に
一体的に固着する、微小位置決め用アクチュエータ付き
ヘッドスライダの製造方法が提供される。
板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、この
一方の面とは反対側の他方の面を研削することによって
薄いヘッド素子用基板を形成し、薄いヘッド素子用基板
を複数の部材に切断分離し、切断分離して得た各部材の
他方の面側に位置するように、微小位置決めアクチュエ
ータ部を形成した部材をこの切断分離して得た各部材に
一体的に固着する、微小位置決め用アクチュエータ付き
ヘッドスライダの製造方法が提供される。
【００２１】ヘッド素子用基板のヘッド素子を形成した
面とは反対側の面を研削することによって薄くした後、
これを複数の部材に切断分離し、この切断分離して得た
各部材の反対面側でアクチュエータ部を形成した部材を
一体的に固着しているため、ヘッド素子を通常の製造工
程でヘッド素子用基板に形成可能であるにもかかわらず
アクチュエータ部の駆動する変位部の質量を非常に小さ
くすることができる。また、アクチュエータ部用の部材
を別個に作成し、これをヘッド素子の存在する部材に固
着する構造であるため、アクチュエータ部として充分な
変位量のものを用意することができる。
面とは反対側の面を研削することによって薄くした後、
これを複数の部材に切断分離し、この切断分離して得た
各部材の反対面側でアクチュエータ部を形成した部材を
一体的に固着しているため、ヘッド素子を通常の製造工
程でヘッド素子用基板に形成可能であるにもかかわらず
アクチュエータ部の駆動する変位部の質量を非常に小さ
くすることができる。また、アクチュエータ部用の部材
を別個に作成し、これをヘッド素子の存在する部材に固
着する構造であるため、アクチュエータ部として充分な
変位量のものを用意することができる。
【００２２】薄いヘッド素子用基板を個々のヘッド部に
切断分離し、切断分離して得たヘッド部の他方の面側に
位置するように、アクチュエータ部をこの切断分離して
得たヘッド部に一体的に固着してヘッドスライダを得る
ことが好ましい。
切断分離し、切断分離して得たヘッド部の他方の面側に
位置するように、アクチュエータ部をこの切断分離して
得たヘッド部に一体的に固着してヘッドスライダを得る
ことが好ましい。
【００２３】この場合、基材部上にアクチュエータ層が
設けられているアクチュエータ部のこのアクチュエータ
層側の面を切断分離して得たヘッド部の他方の面に固着
してヘッドスライダを得ることが好ましい。
設けられているアクチュエータ部のこのアクチュエータ
層側の面を切断分離して得たヘッド部の他方の面に固着
してヘッドスライダを得ることが好ましい。
【００２４】または、駆動信号に従って変位する先端部
を有する１対の可動アーム部と、可動アーム部間に離隔
して設けられた静止部とを備えたアクチュエータ部を用
意し、このアクチュエータ部の可動アーム部の先端部に
切断分離して得たヘッド部の側端部を固着してヘッドス
ライダを得ることが好ましい。この場合、アクチュエー
タ部が、支持機構に固定するための基部から可動アーム
部が突出するように形成されていることがより好まし
い。さらに、可動アーム部が、アーム部材の面上に圧電
素子部材を積層又は接着して形成されていることがより
好ましい。
を有する１対の可動アーム部と、可動アーム部間に離隔
して設けられた静止部とを備えたアクチュエータ部を用
意し、このアクチュエータ部の可動アーム部の先端部に
切断分離して得たヘッド部の側端部を固着してヘッドス
ライダを得ることが好ましい。この場合、アクチュエー
タ部が、支持機構に固定するための基部から可動アーム
部が突出するように形成されていることがより好まし
い。さらに、可動アーム部が、アーム部材の面上に圧電
素子部材を積層又は接着して形成されていることがより
好ましい。
【００２５】薄いヘッド素子用基板を複数のヘッド素子
が列状に並ぶ複数の第１のバー部材に切断分離し、第１
のバー部材の他方の面側に位置するように、複数のアク
チュエータ部が列状に並ぶ第２のバー部材を第１のバー
部材に一体的に固着した後、これを切断分離して個々の
ヘッドスライダを得ることも好ましい。
が列状に並ぶ複数の第１のバー部材に切断分離し、第１
のバー部材の他方の面側に位置するように、複数のアク
チュエータ部が列状に並ぶ第２のバー部材を第１のバー
部材に一体的に固着した後、これを切断分離して個々の
ヘッドスライダを得ることも好ましい。
【００２６】この場合、基材部上にアクチュエータ層を
設けられている第２のバー部材のアクチュエータ層側の
面を第１のバー部材の他方の面に固着した後、これを切
断分離して個々のヘッドスライダを得ることが好まし
い。
設けられている第２のバー部材のアクチュエータ層側の
面を第１のバー部材の他方の面に固着した後、これを切
断分離して個々のヘッドスライダを得ることが好まし
い。
【００２７】または、駆動信号に従って変位する先端部
を有する１対の可動アーム部領域と、可動アーム部領域
間に離隔して設けられた静止部領域とを有する第２のバ
ー部材を用意し、第２のバー部材の可動アーム部領域の
先端部に第１のバー部材の側端部を固着した後、これを
切断分離して個々のヘッドスライダを得ることも好まし
い。この場合、第２のバー部材が、支持機構に固定する
ための基部領域から可動アーム部領域が突出するように
形成されていることがより好ましい。さらに、可動アー
ム部領域が、アーム部材の面上に圧電素子部材を積層又
は接着して形成されていることも好ましい。
を有する１対の可動アーム部領域と、可動アーム部領域
間に離隔して設けられた静止部領域とを有する第２のバ
ー部材を用意し、第２のバー部材の可動アーム部領域の
先端部に第１のバー部材の側端部を固着した後、これを
切断分離して個々のヘッドスライダを得ることも好まし
い。この場合、第２のバー部材が、支持機構に固定する
ための基部領域から可動アーム部領域が突出するように
形成されていることがより好ましい。さらに、可動アー
ム部領域が、アーム部材の面上に圧電素子部材を積層又
は接着して形成されていることも好ましい。
【００２８】本発明によれば、またさらに、ヘッド素子
用基板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、
この一方の面とは反対側の他方の面を研削することによ
って薄いヘッド素子用基板を形成し、薄いヘッド素子用
基板の他方の面に複数の微小位置決めアクチュエータ部
を形成したアクチュエータ用基板を一体的に固着した
後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得る微
小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダの製造
方法が提供される。
用基板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、
この一方の面とは反対側の他方の面を研削することによ
って薄いヘッド素子用基板を形成し、薄いヘッド素子用
基板の他方の面に複数の微小位置決めアクチュエータ部
を形成したアクチュエータ用基板を一体的に固着した
後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得る微
小位置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダの製造
方法が提供される。
【００２９】ヘッド素子用基板のヘッド素子を形成した
面とは反対側の面を研削することによって薄くし、その
反対側面に複数のアクチュエータ部を形成したアクチュ
エータ用基板を一体的に固着した後、これを切断分離し
て個々のヘッドスライダを得ているため、ヘッド素子を
通常の製造工程でヘッド素子用基板に形成可能であるに
もかかわらずアクチュエータ部の駆動する変位部の質量
を非常に小さくすることができる。また、アクチュエー
タ用基板を別個に作成し、これをヘッド素子用基板に固
着する構造であるため、アクチュエータ部として充分な
変位量のものを用意することができる。
面とは反対側の面を研削することによって薄くし、その
反対側面に複数のアクチュエータ部を形成したアクチュ
エータ用基板を一体的に固着した後、これを切断分離し
て個々のヘッドスライダを得ているため、ヘッド素子を
通常の製造工程でヘッド素子用基板に形成可能であるに
もかかわらずアクチュエータ部の駆動する変位部の質量
を非常に小さくすることができる。また、アクチュエー
タ用基板を別個に作成し、これをヘッド素子用基板に固
着する構造であるため、アクチュエータ部として充分な
変位量のものを用意することができる。
【００３０】基材部上にアクチュエータ層が設けられて
いるアクチュエータ用基板のアクチュエータ層側の面を
薄いヘッド素子用基板の他方の面に固着した後、これを
切断分離して個々のヘッドスライダを得ることが好まし
い。
いるアクチュエータ用基板のアクチュエータ層側の面を
薄いヘッド素子用基板の他方の面に固着した後、これを
切断分離して個々のヘッドスライダを得ることが好まし
い。
【００３１】以上の製造方法において、個々のヘッドス
ライダのアクチュエータ部にＡＢＳを形成することが好
ましい。
ライダのアクチュエータ部にＡＢＳを形成することが好
ましい。
【００３２】本発明によれば、さらに、ヘッド素子用基
板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、ヘッ
ド素子用基板を複数の部材に切断分離し、切断分離して
得た各部材の一方の面とは反対側の他方の面を研削する
ことによって薄い部材を得、薄い部材の他方の面側に位
置するように、微小位置決めアクチュエータ部を形成し
た部材を薄い部材に一体的に固着する微小位置決め用ア
クチュエータ付きヘッドスライダの製造方法が提供され
る。
板の一方の面上に複数のヘッド素子を形成した後、ヘッ
ド素子用基板を複数の部材に切断分離し、切断分離して
得た各部材の一方の面とは反対側の他方の面を研削する
ことによって薄い部材を得、薄い部材の他方の面側に位
置するように、微小位置決めアクチュエータ部を形成し
た部材を薄い部材に一体的に固着する微小位置決め用ア
クチュエータ付きヘッドスライダの製造方法が提供され
る。
【００３３】ヘッド素子用基板を複数の部材に切断分離
した後、ヘッド素子を形成した面とは反対側の面を研削
することによってこの部材を薄くし、その薄くした部材
のこの反対面側でアクチュエータ部を形成した部材を一
体的に固着しているため、ヘッド素子を通常の製造工程
でヘッド素子用基板に形成可能であるにもかかわらずア
クチュエータ部の駆動する変位部の質量を非常に小さく
することができる。また、アクチュエータ部用の部材を
別個に作成し、これをヘッド素子の存在する部材に固着
する構造であるため、アクチュエータ部として充分な変
位量のものを用意することができる。
した後、ヘッド素子を形成した面とは反対側の面を研削
することによってこの部材を薄くし、その薄くした部材
のこの反対面側でアクチュエータ部を形成した部材を一
体的に固着しているため、ヘッド素子を通常の製造工程
でヘッド素子用基板に形成可能であるにもかかわらずア
クチュエータ部の駆動する変位部の質量を非常に小さく
することができる。また、アクチュエータ部用の部材を
別個に作成し、これをヘッド素子の存在する部材に固着
する構造であるため、アクチュエータ部として充分な変
位量のものを用意することができる。
【００３４】以上述べたヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素
子であることも好ましい。
子であることも好ましい。
【００３５】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態とし
て、微小位置決め用アクチュエータ付き磁気ヘッドスラ
イダを表す斜視図である。
て、微小位置決め用アクチュエータ付き磁気ヘッドスラ
イダを表す斜視図である。
【００３６】同図において、１０は例えば厚さが５０μ
ｍと非常に薄い基板１０ａ上に薄膜磁気ヘッド素子１０
ｂ及びその端子電極１０ｃを含む厚さが３５〜５０μｍ
程度の薄膜層１０ｄが形成されている磁気ヘッド部、１
１はこの磁気ヘッド部１０の素子集積面（表面）の反対
側の面（裏面）に例えば接着により固着されたアクチュ
エータ部をそれぞれ示している。
ｍと非常に薄い基板１０ａ上に薄膜磁気ヘッド素子１０
ｂ及びその端子電極１０ｃを含む厚さが３５〜５０μｍ
程度の薄膜層１０ｄが形成されている磁気ヘッド部、１
１はこの磁気ヘッド部１０の素子集積面（表面）の反対
側の面（裏面）に例えば接着により固着されたアクチュ
エータ部をそれぞれ示している。
【００３７】アクチュエータ部１１は薄いアクチュエー
タ層１１ａが基材部１１ｂに積層された構成となってお
り、このアクチュエータ層１１ａの基材部１１ｂとは反
対側の面が磁気ヘッド部１０の裏面に固着されている。
アクチュエータ部１１の図にて隠れている下面、即ち磁
気ヘッド部１０の素子集積面と略垂直方向の面には、Ａ
ＢＳが形成されている。
タ層１１ａが基材部１１ｂに積層された構成となってお
り、このアクチュエータ層１１ａの基材部１１ｂとは反
対側の面が磁気ヘッド部１０の裏面に固着されている。
アクチュエータ部１１の図にて隠れている下面、即ち磁
気ヘッド部１０の素子集積面と略垂直方向の面には、Ａ
ＢＳが形成されている。
【００３８】磁気ヘッド部１０の基板１０ａとしては、
従来より一般的に用いられているアルティック（Ａｌ２
Ｏ３−ＴｉＣ）基板が使用されているが、その厚さ（磁
気ヘッドスライダの前後方向に沿った長さ）が非常に薄
く形成されている。磁気ヘッド部１０の薄膜磁気ヘッド
素子１０ｂ及びその端子電極１０ｃは、従来と同様の薄
膜集積工程で形成されている。
従来より一般的に用いられているアルティック（Ａｌ２
Ｏ３−ＴｉＣ）基板が使用されているが、その厚さ（磁
気ヘッドスライダの前後方向に沿った長さ）が非常に薄
く形成されている。磁気ヘッド部１０の薄膜磁気ヘッド
素子１０ｂ及びその端子電極１０ｃは、従来と同様の薄
膜集積工程で形成されている。
【００３９】アクチュエータ部１１は、本実施形態で
は、比較的厚い（従来より一般的に用いられているアル
ティック基板と同等の厚さの）ジルコニア基材１１ｂ上
に例えば静電型構造のアクチュエータ層１１ａが半導体
集積技術で形成されている。後述するように、このアク
チュエータ部１１は、磁気ヘッド部１０と別個に作成さ
れるので、静電型構造のものの他に圧電型構造、磁歪型
構造、電磁誘導型構造又はその他のいかなる構造のもの
であっても容易に適用可能である。
は、比較的厚い（従来より一般的に用いられているアル
ティック基板と同等の厚さの）ジルコニア基材１１ｂ上
に例えば静電型構造のアクチュエータ層１１ａが半導体
集積技術で形成されている。後述するように、このアク
チュエータ部１１は、磁気ヘッド部１０と別個に作成さ
れるので、静電型構造のものの他に圧電型構造、磁歪型
構造、電磁誘導型構造又はその他のいかなる構造のもの
であっても容易に適用可能である。
【００４０】磁気ヘッド部１０及びアクチュエータ部１
１を合わせた本実施形態の磁気ヘッドスライダの寸法
は、例えば１．２５ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍと従
来のものとほぼ同じであり、またその外観形状もほぼ同
じである。
１を合わせた本実施形態の磁気ヘッドスライダの寸法
は、例えば１．２５ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍと従
来のものとほぼ同じであり、またその外観形状もほぼ同
じである。
【００４１】図示しない電極を介してアクチュエータ層
１１ａに駆動電圧が印加されると、このアクチュエータ
層１１ａは矢印１２に示すように横方向に直線的に変位
する。その結果、磁気ヘッド部１０も同様に横方向に直
線的に変位して磁気ヘッド素子１０ｂの精密位置決めが
行われる。
１１ａに駆動電圧が印加されると、このアクチュエータ
層１１ａは矢印１２に示すように横方向に直線的に変位
する。その結果、磁気ヘッド部１０も同様に横方向に直
線的に変位して磁気ヘッド素子１０ｂの精密位置決めが
行われる。
【００４２】可動部である磁気ヘッド部１０が薄く質量
が非常に小さいため、微小な力でも充分な変位を発生す
ることができる。なお、変位するのは磁気ヘッド部１０
のみであり、アクチュエータ部１１の基材１１ｂに設け
られたＡＢＳは全く変位しない。従って、ＡＢＳの姿勢
が変わらないため、安定した浮上特性を常に維持するこ
とができる。
が非常に小さいため、微小な力でも充分な変位を発生す
ることができる。なお、変位するのは磁気ヘッド部１０
のみであり、アクチュエータ部１１の基材１１ｂに設け
られたＡＢＳは全く変位しない。従って、ＡＢＳの姿勢
が変わらないため、安定した浮上特性を常に維持するこ
とができる。
【００４３】可動部の質量が非常に小さいことによっ
て、低電圧駆動型のアクチュエータを使用することが
可能となり磁気ヘッド素子の電磁変換特性に悪影響を与
えるようなことがなくなる、変位発生力の小さな材
料、構造によるアクチュエータを選択することが可能と
なる、アクチュエータの設計における自由度が高くな
る、機械的共振周波数が高くなるためサスペンション
の振動特性を阻害することがなくなる、等の利便が得ら
れる。
て、低電圧駆動型のアクチュエータを使用することが
可能となり磁気ヘッド素子の電磁変換特性に悪影響を与
えるようなことがなくなる、変位発生力の小さな材
料、構造によるアクチュエータを選択することが可能と
なる、アクチュエータの設計における自由度が高くな
る、機械的共振周波数が高くなるためサスペンション
の振動特性を阻害することがなくなる、等の利便が得ら
れる。
【００４４】図２は本実施形態における磁気ヘッドスラ
イダの製造工程の一部のフローチャートであり、図３は
本実施形態及び後述するその変更態様における磁気ヘッ
ドスライダの製造工程の一部を説明する図である。以下
これらの図を用いて本実施形態における磁気ヘッドスラ
イダの製造方法を説明する。
イダの製造工程の一部のフローチャートであり、図３は
本実施形態及び後述するその変更態様における磁気ヘッ
ドスライダの製造工程の一部を説明する図である。以下
これらの図を用いて本実施形態における磁気ヘッドスラ
イダの製造方法を説明する。
【００４５】まず、従来と同様の厚さのアルティックウ
エハ３０を用意し（ステップＳ１）、このアルティック
ウエハ３０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端子
電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することによ
り、表面に磁気ヘッド素子等の薄膜層３１が設けられた
ウエハ３２を得る（ステップＳ２）。
エハ３０を用意し（ステップＳ１）、このアルティック
ウエハ３０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端子
電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することによ
り、表面に磁気ヘッド素子等の薄膜層３１が設けられた
ウエハ３２を得る（ステップＳ２）。
【００４６】次いで、この素子集積後のウエハ３２の裏
面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分
の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ３３を得る
（ステップＳ３）。現在の加工機であれば、この程度の
薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研削
できるかもしれない。
面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分
の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ３３を得る
（ステップＳ３）。現在の加工機であれば、この程度の
薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研削
できるかもしれない。
【００４７】なお、あらかじめ薄いウエハ上に薄膜磁気
ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪
曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなる
ため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪
曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなる
ため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
【００４８】その後、この薄いウエハ３３を切断分離し
て個々のピース状態の磁気ヘッド部３４を得る（ステッ
プＳ４）。
て個々のピース状態の磁気ヘッド部３４を得る（ステッ
プＳ４）。
【００４９】一方、従来のアルティックウエハとほぼ同
様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ３５を用意し
（ステップＳ５）、このウエハ３５上に多数の静電型の
アクチュエータ素子を半導体集積技術で形成することに
より、表面にアクチュエータ層３６の形成されたウエハ
３７を得る（ステップＳ６）。
様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ３５を用意し
（ステップＳ５）、このウエハ３５上に多数の静電型の
アクチュエータ素子を半導体集積技術で形成することに
より、表面にアクチュエータ層３６の形成されたウエハ
３７を得る（ステップＳ６）。
【００５０】次いで、このウエハ３７を切断分離して個
々のピース状態のアクチュエータ部３８を得る（ステッ
プＳ７）。この切断分離する過程で、例えば複数のアク
チュエータ部が列状に並ぶバー部材の状態で、アクチュ
エータ部の底面にＡＢＳが形成される。
々のピース状態のアクチュエータ部３８を得る（ステッ
プＳ７）。この切断分離する過程で、例えば複数のアク
チュエータ部が列状に並ぶバー部材の状態で、アクチュ
エータ部の底面にＡＢＳが形成される。
【００５１】その後、個々のピース状態の磁気ヘッド部
３４の裏面に個々のピース状態のアクチュエータ部３８
のアクチュエータ層３６表面を樹脂接着剤で接着するか
又はガラスボンディングで接着することにより、個々の
磁気ヘッドスライダ３９を得る（ステップＳ８）。
３４の裏面に個々のピース状態のアクチュエータ部３８
のアクチュエータ層３６表面を樹脂接着剤で接着するか
又はガラスボンディングで接着することにより、個々の
磁気ヘッドスライダ３９を得る（ステップＳ８）。
【００５２】図４は図２の実施形態の変更態様における
磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャート
であり、以下、図３及び図４を用いてこの変更態様にお
ける磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。
磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャート
であり、以下、図３及び図４を用いてこの変更態様にお
ける磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。
【００５３】まず、従来と同様の厚さのアルティックウ
エハ３０を用意し（ステップＳ１１）、このアルティッ
クウエハ３０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端
子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することによ
り、表面に磁気ヘッド素子の薄膜層３１が設けられたウ
エハ３２を得る（ステップＳ１２）。
エハ３０を用意し（ステップＳ１１）、このアルティッ
クウエハ３０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端
子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することによ
り、表面に磁気ヘッド素子の薄膜層３１が設けられたウ
エハ３２を得る（ステップＳ１２）。
【００５４】次いで、この素子集積後のウエハ３２の裏
面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分
の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ３３を得る
（ステップＳ１３）。現在の加工機であれば、この程度
の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研
削できるかもしれない。
面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分
の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ３３を得る
（ステップＳ１３）。現在の加工機であれば、この程度
の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研
削できるかもしれない。
【００５５】なお、あらかじめ薄いウエハ上に薄膜磁気
ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪
曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなる
ため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪
曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなる
ため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
【００５６】その後、この薄いウエハ３３を切断分離し
て複数の磁気ヘッド部が列状に並ぶバー部材４０を得る
（ステップＳ１４）。
て複数の磁気ヘッド部が列状に並ぶバー部材４０を得る
（ステップＳ１４）。
【００５７】一方、従来のアルティックウエハとほぼ同
様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ３５を用意し
（ステップＳ１５）、このウエハ３５上に多数の静電型
のアクチュエータ素子を半導体集積技術で形成すること
により、表面にアクチュエータ層３６の形成されたウエ
ハ３７を得る（ステップＳ１６）。
様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ３５を用意し
（ステップＳ１５）、このウエハ３５上に多数の静電型
のアクチュエータ素子を半導体集積技術で形成すること
により、表面にアクチュエータ層３６の形成されたウエ
ハ３７を得る（ステップＳ１６）。
【００５８】次いで、このウエハ３７を切断分離して複
数のアクチュエータ部が列状に並ぶバー部材４１を得る
（ステップＳ１７）。このバー部材の状態で、アクチュ
エータ部の底面にＡＢＳが形成される。
数のアクチュエータ部が列状に並ぶバー部材４１を得る
（ステップＳ１７）。このバー部材の状態で、アクチュ
エータ部の底面にＡＢＳが形成される。
【００５９】その後、磁気ヘッド部のバー部材４０の裏
面にアクチュエータ部のバー部材４１のアクチュエータ
層３６表面を樹脂接着剤で接着するか又はガラスボンデ
ィングで接着することにより、複数の磁気ヘッドスライ
ダが列状に並ぶバー部材４２を得る（ステップＳ１
８）。次いで、このバー部材４２を分離切断することに
より個々のピース状態の磁気ヘッドスライダ３９を得る
（ステップＳ１９）。
面にアクチュエータ部のバー部材４１のアクチュエータ
層３６表面を樹脂接着剤で接着するか又はガラスボンデ
ィングで接着することにより、複数の磁気ヘッドスライ
ダが列状に並ぶバー部材４２を得る（ステップＳ１
８）。次いで、このバー部材４２を分離切断することに
より個々のピース状態の磁気ヘッドスライダ３９を得る
（ステップＳ１９）。
【００６０】図５は図２の実施形態の他の変更態様にお
ける磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャ
ートであり、以下、図３及び図５を用いてこの変更態様
における磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。
ける磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャ
ートであり、以下、図３及び図５を用いてこの変更態様
における磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。
【００６１】まず、従来と同様の厚さのアルティックウ
エハ３０を用意し（ステップＳ２１）、このアルティッ
クウエハ３０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端
子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することによ
り、表面に磁気ヘッド素子の薄膜層３１が設けられたウ
エハ３２を得る（ステップＳ２２）。
エハ３０を用意し（ステップＳ２１）、このアルティッ
クウエハ３０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端
子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することによ
り、表面に磁気ヘッド素子の薄膜層３１が設けられたウ
エハ３２を得る（ステップＳ２２）。
【００６２】次いで、この素子集積後のウエハ３２の裏
面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分
の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ３３を得る
（ステップＳ２３）。現在の加工機であれば、この程度
の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研
削できるかもしれない。
面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分
の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ３３を得る
（ステップＳ２３）。現在の加工機であれば、この程度
の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研
削できるかもしれない。
【００６３】なお、あらかじめ薄いウエハ上に薄膜磁気
ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪
曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなる
ため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪
曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなる
ため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
【００６４】一方、従来のアルティックウエハとほぼ同
様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ３５を用意し
（ステップＳ２４）、このウエハ３５上に多数の静電型
のアクチュエータ素子を半導体集積技術で形成すること
により、表面にアクチュエータ層３６の形成されたウエ
ハ３７を得る（ステップＳ２５）。
様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ３５を用意し
（ステップＳ２４）、このウエハ３５上に多数の静電型
のアクチュエータ素子を半導体集積技術で形成すること
により、表面にアクチュエータ層３６の形成されたウエ
ハ３７を得る（ステップＳ２５）。
【００６５】次いで、磁気ヘッド部のウエハ３３の裏面
にアクチュエータ部のウエハ３５のアクチュエータ層３
６表面を樹脂接着剤で接着するか又はガラスボンディン
グで接着することにより、ウエハ４３を得る（ステップ
Ｓ２６）。
にアクチュエータ部のウエハ３５のアクチュエータ層３
６表面を樹脂接着剤で接着するか又はガラスボンディン
グで接着することにより、ウエハ４３を得る（ステップ
Ｓ２６）。
【００６６】その後、このウエハ４３を切断分離するこ
とにより個々のピース状態の磁気ヘッドスライダ３９を
得る（ステップＳ２７）。この切断分離する過程で、例
えば複数の磁気ヘッドスライダが列状に並ぶバー部材の
状態で、アクチュエータ部の底面にＡＢＳが形成され
る。
とにより個々のピース状態の磁気ヘッドスライダ３９を
得る（ステップＳ２７）。この切断分離する過程で、例
えば複数の磁気ヘッドスライダが列状に並ぶバー部材の
状態で、アクチュエータ部の底面にＡＢＳが形成され
る。
【００６７】なお、以上述べた実施形態及びその変更態
様においては、バー部材の状態でアクチュエータ部の底
面にＡＢＳが形成されているが、個々のピース状態にあ
るアクチュエータ部又は磁気ヘッドスライダの底面にＡ
ＢＳを形成するようにしても良い。
様においては、バー部材の状態でアクチュエータ部の底
面にＡＢＳが形成されているが、個々のピース状態にあ
るアクチュエータ部又は磁気ヘッドスライダの底面にＡ
ＢＳを形成するようにしても良い。
【００６８】また、上述した実施形態及びその変更態様
においては、素子集積後のウエハ３２の裏面を研削して
磁気ヘッド部を薄くしているが、複数の磁気ヘッド部が
列状に並ぶバー部材又は個々のピース状態の磁気ヘッド
部の裏面を研削して薄くするようにしても良いことは明
らかである。
においては、素子集積後のウエハ３２の裏面を研削して
磁気ヘッド部を薄くしているが、複数の磁気ヘッド部が
列状に並ぶバー部材又は個々のピース状態の磁気ヘッド
部の裏面を研削して薄くするようにしても良いことは明
らかである。
【００６９】図６は本発明の他の実施形態として、微小
位置決め用アクチュエータ付き磁気ヘッドスライダを表
す分解斜視図であり、図７はこの実施形態における磁気
ヘッドスライダをＡＢＳ側から見た平面図である。
位置決め用アクチュエータ付き磁気ヘッドスライダを表
す分解斜視図であり、図７はこの実施形態における磁気
ヘッドスライダをＡＢＳ側から見た平面図である。
【００７０】これらの図において、６０は例えば厚さが
５０μｍと非常に薄い基板６０ａ上に薄膜磁気ヘッド素
子６０ｂ及びその端子電極を含む厚さが３５〜５０μｍ
程度の薄膜層６０ｄが形成されている磁気ヘッド部、６
１はこの磁気ヘッド部６０の素子集積面（表面）の反対
側の面（裏面）側に位置しており、磁気ヘッド部６０の
両側端に例えば接着により固着されたアクチュエータ部
をそれぞれ示している。
５０μｍと非常に薄い基板６０ａ上に薄膜磁気ヘッド素
子６０ｂ及びその端子電極を含む厚さが３５〜５０μｍ
程度の薄膜層６０ｄが形成されている磁気ヘッド部、６
１はこの磁気ヘッド部６０の素子集積面（表面）の反対
側の面（裏面）側に位置しており、磁気ヘッド部６０の
両側端に例えば接着により固着されたアクチュエータ部
をそれぞれ示している。
【００７１】アクチュエータ部６１は、基部６１ａと、
この基部６１ａに対して略垂直を保った状態で前方に伸
びている１対の可動アーム部６１ｂ及び６１ｃと、可動
アーム部６１ｂ及び６１ｃ間に離隔して設けられてお
り、基部６１ａに対して略垂直を保った状態で前方に伸
びている静止部６１ｄとを備えている。可動アーム部６
１ｂ及び６１ｃの先端部を磁気ヘッド部６０の両側端に
例えば接着することにより、磁気ヘッド部６０とアクチ
ュエータ部６１とが固着されている。
この基部６１ａに対して略垂直を保った状態で前方に伸
びている１対の可動アーム部６１ｂ及び６１ｃと、可動
アーム部６１ｂ及び６１ｃ間に離隔して設けられてお
り、基部６１ａに対して略垂直を保った状態で前方に伸
びている静止部６１ｄとを備えている。可動アーム部６
１ｂ及び６１ｃの先端部を磁気ヘッド部６０の両側端に
例えば接着することにより、磁気ヘッド部６０とアクチ
ュエータ部６１とが固着されている。
【００７２】静止部６１ｄの図に示す方の面、即ち磁気
ヘッド部６０の素子集積面と略垂直方向の面には、ＡＢ
Ｓ６１ｅが形成されている。
ヘッド部６０の素子集積面と略垂直方向の面には、ＡＢ
Ｓ６１ｅが形成されている。
【００７３】磁気ヘッド部６０の基板６０ａとしては、
従来より一般的に用いられているアルティック（Ａｌ２
Ｏ３−ＴｉＣ）基板が使用されているが、その厚さ（磁
気ヘッドスライダの前後方向に沿った長さ）が非常に薄
く形成されている。磁気ヘッド部６０の薄膜磁気ヘッド
素子６０ｂ及びその端子電極等は、従来と同様の薄膜集
積工程で形成されている。
従来より一般的に用いられているアルティック（Ａｌ２
Ｏ３−ＴｉＣ）基板が使用されているが、その厚さ（磁
気ヘッドスライダの前後方向に沿った長さ）が非常に薄
く形成されている。磁気ヘッド部６０の薄膜磁気ヘッド
素子６０ｂ及びその端子電極等は、従来と同様の薄膜集
積工程で形成されている。
【００７４】アクチュエータ部６１は、本実施形態で
は、断面がＥ字形状のジルコニア基材から主として形成
されている。このアクチュエータ部６１の可動アーム部
６１ｂ及び６１ｃは、それぞれ、アーム部材の側面に圧
電型構造のアクチュエータ層６１ｆ及び６１ｇを半導体
集積技術、厚膜積層技術又は印刷技術等で設けることに
よって形成されている。後述するように、このアクチュ
エータ部６１は、磁気ヘッド部６０と別個に作成される
ので、圧電型構造のものの他に静電型構造、磁歪型構
造、電磁誘導型構造又はその他のいかなる構造のもので
あっても容易に適用可能である。
は、断面がＥ字形状のジルコニア基材から主として形成
されている。このアクチュエータ部６１の可動アーム部
６１ｂ及び６１ｃは、それぞれ、アーム部材の側面に圧
電型構造のアクチュエータ層６１ｆ及び６１ｇを半導体
集積技術、厚膜積層技術又は印刷技術等で設けることに
よって形成されている。後述するように、このアクチュ
エータ部６１は、磁気ヘッド部６０と別個に作成される
ので、圧電型構造のものの他に静電型構造、磁歪型構
造、電磁誘導型構造又はその他のいかなる構造のもので
あっても容易に適用可能である。
【００７５】磁気ヘッド部６０及びアクチュエータ部６
１を合わせた本実施形態の磁気ヘッドスライダの外形寸
法は、例えば１．２５ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍと
従来のものとほぼ同じである。
１を合わせた本実施形態の磁気ヘッドスライダの外形寸
法は、例えば１．２５ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍと
従来のものとほぼ同じである。
【００７６】図示しない電極を介してアクチュエータ層
６１ｆ及び６１ｇに駆動電圧が印加されると、可動アー
ム部６１ｂ及び６１ｃは矢印６２に示すように横方向に
直線的に変位する。その結果、磁気ヘッド部６０も同様
に横方向に直線的に変位して磁気ヘッド素子６０ｂの精
密位置決めが行われる。
６１ｆ及び６１ｇに駆動電圧が印加されると、可動アー
ム部６１ｂ及び６１ｃは矢印６２に示すように横方向に
直線的に変位する。その結果、磁気ヘッド部６０も同様
に横方向に直線的に変位して磁気ヘッド素子６０ｂの精
密位置決めが行われる。
【００７７】可動部である磁気ヘッド部６０が薄く質量
が非常に小さいため、微小な力でも充分な変位を発生す
ることができる。なお、変位するのは磁気ヘッド部６０
のみであり、アクチュエータ部６１の静止部６１ｄに設
けられたＡＢＳ６１ｅは全く変位しない。従って、ＡＢ
Ｓ６１ｅの姿勢が変わらないため、安定した浮上特性を
常に維持することができる。
が非常に小さいため、微小な力でも充分な変位を発生す
ることができる。なお、変位するのは磁気ヘッド部６０
のみであり、アクチュエータ部６１の静止部６１ｄに設
けられたＡＢＳ６１ｅは全く変位しない。従って、ＡＢ
Ｓ６１ｅの姿勢が変わらないため、安定した浮上特性を
常に維持することができる。
【００７８】可動部の質量が非常に小さいことによっ
て、低電圧駆動型のアクチュエータを使用することが
可能となり磁気ヘッド素子の電磁変換特性に悪影響を与
えるようなことがなくなる、変位発生力の小さな材
料、構造によるアクチュエータを選択することが可能と
なる、アクチュエータの設計における自由度が高くな
る、機械的共振周波数が高くなるためサスペンション
の振動特性を阻害することがなくなる、等の利便が得ら
れる。
て、低電圧駆動型のアクチュエータを使用することが
可能となり磁気ヘッド素子の電磁変換特性に悪影響を与
えるようなことがなくなる、変位発生力の小さな材
料、構造によるアクチュエータを選択することが可能と
なる、アクチュエータの設計における自由度が高くな
る、機械的共振周波数が高くなるためサスペンション
の振動特性を阻害することがなくなる、等の利便が得ら
れる。
【００７９】図８は本実施形態における磁気ヘッドスラ
イダの製造工程の一部のフローチャートであり、図９は
本実施形態及び後述するその変更態様における磁気ヘッ
ドスライダの製造工程の一部を説明する図、図１０は本
実施形態及び後述するその変更態様におけるアクチュエ
ータ部の製造工程の一部を説明する図である。以下これ
らの図を用いて本実施形態における磁気ヘッドスライダ
の製造方法を説明する。
イダの製造工程の一部のフローチャートであり、図９は
本実施形態及び後述するその変更態様における磁気ヘッ
ドスライダの製造工程の一部を説明する図、図１０は本
実施形態及び後述するその変更態様におけるアクチュエ
ータ部の製造工程の一部を説明する図である。以下これ
らの図を用いて本実施形態における磁気ヘッドスライダ
の製造方法を説明する。
【００８０】まず、従来と同様の厚さのアルティックウ
エハ９０を用意し（ステップＳ３１）、このアルティッ
クウエハ９０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端
子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することによ
り、表面に磁気ヘッド素子等の薄膜層９１が設けられた
ウエハ９２を得る（ステップＳ３２）。
エハ９０を用意し（ステップＳ３１）、このアルティッ
クウエハ９０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端
子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することによ
り、表面に磁気ヘッド素子等の薄膜層９１が設けられた
ウエハ９２を得る（ステップＳ３２）。
【００８１】次いで、この素子集積後のウエハ９２の裏
面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分
の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ９３を得る
（ステップＳ３３）。現在の加工機であれば、この程度
の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研
削できるかもしれない。
面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分
の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ９３を得る
（ステップＳ３３）。現在の加工機であれば、この程度
の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研
削できるかもしれない。
【００８２】なお、あらかじめ薄いウエハ上に薄膜磁気
ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪
曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなる
ため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪
曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなる
ため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
【００８３】その後、この薄いウエハ９３を切断分離し
て複数の磁気ヘッド部が列状に並ぶバー部材９４を得る
（ステップＳ３４）。次いで、各バー部材９４を切断分
離して個々のピース状態の磁気ヘッド部９５を得る（ス
テップＳ３５）。
て複数の磁気ヘッド部が列状に並ぶバー部材９４を得る
（ステップＳ３４）。次いで、各バー部材９４を切断分
離して個々のピース状態の磁気ヘッド部９５を得る（ス
テップＳ３５）。
【００８４】一方、従来のアルティックウエハとほぼ同
様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ９６を用意し
（ステップＳ３６）、このウエハ９６を切断分離して複
数のバー部材９７を作成する（ステップＳ３７）。
様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ９６を用意し
（ステップＳ３６）、このウエハ９６を切断分離して複
数のバー部材９７を作成する（ステップＳ３７）。
【００８５】次いで、各の外形加工を行い、基部、この
基部に対して略垂直を保った状態で前方に伸びている１
対のアーム部材、及び基部に対して略垂直を保った状態
で前方に伸びている静止部に対応する部分を有する断面
がＥ字形状のジルコニア基材９８を形成する（ステップ
Ｓ３８）。このジルコニア基材９８のアーム部材の側面
に圧電型構造のアクチュエータ層９９を形成してアクチ
ュエータ用バー部材１００を得る（ステップＳ３９）。
次いで、このアクチュエータ用バー部材１００を切断分
離して個々のピース状態のアクチュエータ部１０１を得
る（ステップＳ４０）。
基部に対して略垂直を保った状態で前方に伸びている１
対のアーム部材、及び基部に対して略垂直を保った状態
で前方に伸びている静止部に対応する部分を有する断面
がＥ字形状のジルコニア基材９８を形成する（ステップ
Ｓ３８）。このジルコニア基材９８のアーム部材の側面
に圧電型構造のアクチュエータ層９９を形成してアクチ
ュエータ用バー部材１００を得る（ステップＳ３９）。
次いで、このアクチュエータ用バー部材１００を切断分
離して個々のピース状態のアクチュエータ部１０１を得
る（ステップＳ４０）。
【００８６】その後、個々のピース状態の磁気ヘッド部
９５の両側端を個々のピース状態のアクチュエータ部１
０１の先端部で挟むように樹脂接着剤で接着するか又は
ガラスボンディングで接着して固着することにより、個
々の磁気ヘッドスライダ１０２を得る（ステップＳ４
１）。この磁気ヘッドスライダ１０２の静止部にＡＢＳ
を形成することによって、最終的な磁気ヘッドスライダ
１０３が得られる（ステップＳ４２）。
９５の両側端を個々のピース状態のアクチュエータ部１
０１の先端部で挟むように樹脂接着剤で接着するか又は
ガラスボンディングで接着して固着することにより、個
々の磁気ヘッドスライダ１０２を得る（ステップＳ４
１）。この磁気ヘッドスライダ１０２の静止部にＡＢＳ
を形成することによって、最終的な磁気ヘッドスライダ
１０３が得られる（ステップＳ４２）。
【００８７】図１１は図６の実施形態の変更態様におけ
る磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャー
トであり、以下、図９〜図１１を用いてこの変更態様に
おける磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。
る磁気ヘッドスライダの製造工程の一部のフローチャー
トであり、以下、図９〜図１１を用いてこの変更態様に
おける磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。
【００８８】まず、従来と同様の厚さのアルティックウ
エハ９０を用意し（ステップＳ５１）、このアルティッ
クウエハ９０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端
子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することによ
り、表面に磁気ヘッド素子等の薄膜層９１が設けられた
ウエハ９２を得る（ステップＳ５２）。
エハ９０を用意し（ステップＳ５１）、このアルティッ
クウエハ９０上に多数の薄膜磁気ヘッド素子及びその端
子電極を従来と同様の薄膜集積技術で形成することによ
り、表面に磁気ヘッド素子等の薄膜層９１が設けられた
ウエハ９２を得る（ステップＳ５２）。
【００８９】次いで、この素子集積後のウエハ９２の裏
面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分
の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ９３を得る
（ステップＳ５３）。現在の加工機であれば、この程度
の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研
削できるかもしれない。
面を研削し、集積した素子の厚さを含まないウエハ部分
の厚さが数十μｍ程度の非常に薄いウエハ９３を得る
（ステップＳ５３）。現在の加工機であれば、この程度
の薄さまで研削が可能であるが、将来は、さらに薄く研
削できるかもしれない。
【００９０】なお、あらかじめ薄いウエハ上に薄膜磁気
ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪
曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなる
ため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
ヘッド素子を集積することも可能であるが、ウエハの歪
曲等の問題の生じる恐れがあり、集積工程が難しくなる
ため、集積後に裏面を研削することが望ましい。
【００９１】その後、この薄いウエハ９３を切断分離し
て複数の磁気ヘッド部が列状に並ぶバー部材９４を得る
（ステップＳ５４）。
て複数の磁気ヘッド部が列状に並ぶバー部材９４を得る
（ステップＳ５４）。
【００９２】一方、従来のアルティックウエハとほぼ同
様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ９６を用意し
（ステップＳ５５）、このウエハ９６を切断分離して複
数のバー部材９７を作成する（ステップＳ５６）。
様の厚さの比較的厚いジルコニアウエハ９６を用意し
（ステップＳ５５）、このウエハ９６を切断分離して複
数のバー部材９７を作成する（ステップＳ５６）。
【００９３】次いで、各の外形加工を行い、基部、この
基部に対して略垂直を保った状態で前方に伸びている１
対のアーム部材、及び基部に対して略垂直を保った状態
で前方に伸びている静止部に対応する部分を有する断面
がＥ字形状のジルコニア基材９８を形成する（ステップ
Ｓ５７）。このジルコニア基材９８のアーム部材の側面
に圧電型構造のアクチュエータ層９９を形成してアクチ
ュエータ用バー部材１００を得る（ステップＳ５８）。
基部に対して略垂直を保った状態で前方に伸びている１
対のアーム部材、及び基部に対して略垂直を保った状態
で前方に伸びている静止部に対応する部分を有する断面
がＥ字形状のジルコニア基材９８を形成する（ステップ
Ｓ５７）。このジルコニア基材９８のアーム部材の側面
に圧電型構造のアクチュエータ層９９を形成してアクチ
ュエータ用バー部材１００を得る（ステップＳ５８）。
【００９４】次いで、バー部材９４の両側端をアクチュ
エータ用バー部材１００の先端部で挟むように樹脂接着
剤で接着するか又はガラスボンディングで接着して固着
することにより、磁気ヘッドスライダのバー部材１０４
を得る（ステップＳ５９）。
エータ用バー部材１００の先端部で挟むように樹脂接着
剤で接着するか又はガラスボンディングで接着して固着
することにより、磁気ヘッドスライダのバー部材１０４
を得る（ステップＳ５９）。
【００９５】その後、バー部材１０４を切断分離して個
々のピース状態の磁気ヘッドスライダ１０２を得る（ス
テップＳ６０）。この磁気ヘッドスライダ１０２の静止
部にＡＢＳを形成することによって、最終的な磁気ヘッ
ドスライダ１０３が得られる（ステップＳ６１）。
々のピース状態の磁気ヘッドスライダ１０２を得る（ス
テップＳ６０）。この磁気ヘッドスライダ１０２の静止
部にＡＢＳを形成することによって、最終的な磁気ヘッ
ドスライダ１０３が得られる（ステップＳ６１）。
【００９６】なお、以上述べた実施形態及びその変更態
様においては、ジルコニアウエハ９６を切断分離して複
数のバー部材９７を作成しているが、ジルコニア材料を
バー部材の形状に成型して焼結することにより、バー部
材１０５を直接的に作成するようにしても良い。さら
に、ジルコニア材料を断面がＥ字形状となるように成型
して焼結することにより、ジルコニア基材１０６を直接
的に作成するようにしても良い。
様においては、ジルコニアウエハ９６を切断分離して複
数のバー部材９７を作成しているが、ジルコニア材料を
バー部材の形状に成型して焼結することにより、バー部
材１０５を直接的に作成するようにしても良い。さら
に、ジルコニア材料を断面がＥ字形状となるように成型
して焼結することにより、ジルコニア基材１０６を直接
的に作成するようにしても良い。
【００９７】また、上述した実施形態及びその変更態様
においては、素子集積後のウエハ９２の裏面を研削して
磁気ヘッド部を薄くしているが、複数の磁気ヘッド部が
列状に並ぶバー部材又は個々のピース状態の磁気ヘッド
部の裏面を研削して薄くするようにしても良いことは明
らかである。
においては、素子集積後のウエハ９２の裏面を研削して
磁気ヘッド部を薄くしているが、複数の磁気ヘッド部が
列状に並ぶバー部材又は個々のピース状態の磁気ヘッド
部の裏面を研削して薄くするようにしても良いことは明
らかである。
【００９８】以上、薄膜磁気ヘッド素子の微小位置決め
用アクチュエータを用いて本発明を説明したが、本発明
は、このようなアクチュエータにのみ限定されるもので
はなく、薄膜磁気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素子
等のヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータにも適
用可能である。
用アクチュエータを用いて本発明を説明したが、本発明
は、このようなアクチュエータにのみ限定されるもので
はなく、薄膜磁気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素子
等のヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータにも適
用可能である。
【００９９】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
【０１００】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、ヘッド部をＡＢＳとは略垂直方向の一方の面上にヘ
ッド素子を設けた薄い平板形状に形成し、その薄い平板
形状の反対面側でアクチュエータ部が一体的に固着され
ているため、アクチュエータ部の駆動する変位部の質量
が非常に小さくなり、しかもヘッド素子は通常の製造工
程でヘッド部に形成可能である。また、アクチュエータ
部は、ヘッド部に固着される独立構造であるため、充分
な変位量のものを用意することができる。
ば、ヘッド部をＡＢＳとは略垂直方向の一方の面上にヘ
ッド素子を設けた薄い平板形状に形成し、その薄い平板
形状の反対面側でアクチュエータ部が一体的に固着され
ているため、アクチュエータ部の駆動する変位部の質量
が非常に小さくなり、しかもヘッド素子は通常の製造工
程でヘッド部に形成可能である。また、アクチュエータ
部は、ヘッド部に固着される独立構造であるため、充分
な変位量のものを用意することができる。
【０１０１】さらに、本発明によれば、ヘッド素子用基
板のヘッド素子を形成した面とは反対側の面を研削する
ことによって薄くした後、これを複数の部材に切断分離
し、この切断分離して得た各部材の反対面側でアクチュ
エータ部を形成した部材を一体的に固着しているため、
ヘッド素子を通常の製造工程でヘッド素子用基板に形成
可能であるにもかかわらずアクチュエータ部の駆動する
変位部の質量を非常に小さくすることができる。また、
アクチュエータ部用の部材を別個に作成し、これをヘッ
ド素子の存在する部材に固着する構造であるため、アク
チュエータ部として充分な変位量のものを用意すること
ができる。
板のヘッド素子を形成した面とは反対側の面を研削する
ことによって薄くした後、これを複数の部材に切断分離
し、この切断分離して得た各部材の反対面側でアクチュ
エータ部を形成した部材を一体的に固着しているため、
ヘッド素子を通常の製造工程でヘッド素子用基板に形成
可能であるにもかかわらずアクチュエータ部の駆動する
変位部の質量を非常に小さくすることができる。また、
アクチュエータ部用の部材を別個に作成し、これをヘッ
ド素子の存在する部材に固着する構造であるため、アク
チュエータ部として充分な変位量のものを用意すること
ができる。
【図１】本発明の一実施形態として、微小位置決め用ア
クチュエータ付き磁気ヘッドスライダを表す斜視図であ
る。
クチュエータ付き磁気ヘッドスライダを表す斜視図であ
る。
【図２】図１の実施形態における磁気ヘッドスライダの
製造工程の一部のフローチャートである。
製造工程の一部のフローチャートである。
【図３】図１の実施形態及びその種々の変更態様におけ
る磁気ヘッドスライダの製造工程の一部を説明する図で
ある。
る磁気ヘッドスライダの製造工程の一部を説明する図で
ある。
【図４】図１の実施形態の一変更態様における磁気ヘッ
ドスライダの製造工程の一部のフローチャートである。
ドスライダの製造工程の一部のフローチャートである。
【図５】図１の実施形態の他の変更態様における磁気ヘ
ッドスライダの製造工程の一部のフローチャートであ
る。
ッドスライダの製造工程の一部のフローチャートであ
る。
【図６】本発明の他の実施形態として、微小位置決め用
アクチュエータ付き磁気ヘッドスライダを表す分解斜視
図である。
アクチュエータ付き磁気ヘッドスライダを表す分解斜視
図である。
【図７】図６の実施形態における磁気ヘッドスライダを
ＡＢＳ側から見た平面図である。
ＡＢＳ側から見た平面図である。
【図８】図６の実施形態における磁気ヘッドスライダの
製造工程の一部のフローチャートである。
製造工程の一部のフローチャートである。
【図９】図６の実施形態及びその種々の変更態様におけ
る磁気ヘッドスライダの製造工程の一部を説明する図で
ある。
る磁気ヘッドスライダの製造工程の一部を説明する図で
ある。
【図１０】図６の実施形態及びその種々の変更態様にお
けるアクチュエータ部の製造工程の一部を説明する図で
ある。
けるアクチュエータ部の製造工程の一部を説明する図で
ある。
【図１１】図６の実施形態の一変更態様における磁気ヘ
ッドスライダの製造工程の一部のフローチャートであ
る。
ッドスライダの製造工程の一部のフローチャートであ
る。
１０、３４、６０、９５ 磁気ヘッド部 １０ａ、６０ａ 基板 １０ｂ、６０ｂ 薄膜磁気ヘッド素子 １０ｃ 端子電極 １０ｄ、３１、６０ｄ、９１ 薄膜層 １１、６１、３８、１０１ アクチュエータ部 １１ａ、３６、６１ｆ、６１ｇ、９９ アクチュエータ
層 １１ｂ 基材部 ３０、９０ アルティックウエハ ３２、３７、９２ ウエハ ３３、９３ 薄いウエハ ３５、９６ ジルコニアウエハ ３９、１０２、１０３ 磁気ヘッドスライダ ４０、４１、４２、９４、９７、１００、１０４、１０
５ バー部材 ６１ａ 基部 ６１ｂ、６１ｃ 可動アーム部 ６１ｄ 静止部 ６１ｅ ＡＢＳ ９８、１０６ ジルコニア基材
層 １１ｂ 基材部 ３０、９０ アルティックウエハ ３２、３７、９２ ウエハ ３３、９３ 薄いウエハ ３５、９６ ジルコニアウエハ ３９、１０２、１０３ 磁気ヘッドスライダ ４０、４１、４２、９４、９７、１００、１０４、１０
５ バー部材 ６１ａ 基部 ６１ｂ、６１ｃ 可動アーム部 ６１ｄ 静止部 ６１ｅ ＡＢＳ ９８、１０６ ジルコニア基材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 本田 隆 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティー ディーケイ株式会社内 (72)発明者 太田 憲和 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティー ディーケイ株式会社内 (72)発明者 白石 一雅 香港新界葵涌葵豊街38−42號 新科工業中 心 新科實業有限公司内 Ｆターム(参考） 5D042 LA01 MA15 NA02 PA01 PA05 PA09 RA04 5D059 AA01 BA01 CA18 DA19 DA31 EA02 5D096 NN03 NN07
Claims (27)
- 【請求項１】 少なくとも１つのヘッド素子を浮上面と
は略垂直方向の一方の面上に有している薄い平板形状の
ヘッド部と、該ヘッド部の該一方の面とは反対側の他方
の面側に位置していると共に該ヘッド部に一体的に固着
されており、前記ヘッド素子の微小位置決めを行うため
のアクチュエータ部とを備えたことを特徴とする微小位
置決め用アクチュエータ付きヘッドスライダ。 - 【請求項２】 前記浮上面が、前記アクチュエータ部に
形成されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッ
ドスライダ。 - 【請求項３】 前記アクチュエータ部が、前記ヘッド部
の前記他方の面に固着されていることを特徴とする請求
項１又は２に記載のヘッドスライダ。 - 【請求項４】 前記アクチュエータ部が、基材部と、該
基材部上に積層されたアクチュエータ層とを有してお
り、該アクチュエータ層の該基材部とは反対側の面が前
記ヘッド部の前記他方の面に固着されていることを特徴
とする請求項３に記載のヘッドスライダ。 - 【請求項５】 前記浮上面が、前記基材部に形成されて
いることを特徴とする請求項４に記載のヘッドスライ
ダ。 - 【請求項６】 前記アクチュエータ部が、前記ヘッド部
の両側端部に固着されていることを特徴とする請求項１
又は２に記載のヘッドスライダ。 - 【請求項７】 前記アクチュエータ部が、駆動信号に従
って変位する先端部に前記ヘッド部の前記両側端部が固
着された１対の可動アーム部と、該可動アーム部間に離
隔して設けられた静止部とを備えていることを特徴とす
る請求項６に記載のヘッドスライダ。 - 【請求項８】 前記浮上面が、前記静止部に形成されて
いることを特徴とする請求項７に記載のヘッドスライ
ダ。 - 【請求項９】 支持機構に固定される基部を備えてお
り、前記可動アーム部が該基部から前記浮上面に沿って
突出していることを特徴とする請求項７又は８に記載の
ヘッドスライダ。 - 【請求項１０】 前記可動アーム部が、アーム部材と、
該アーム部材の面上に積層又は接着された圧電素子部材
とを備えていることを特徴とする請求項７から９のいず
れか１項に記載のヘッドスライダ。 - 【請求項１１】 前記ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子
であることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１
項に記載のヘッドスライダ。 - 【請求項１２】 ヘッド素子用基板の一方の面上に複数
のヘッド素子を形成した後、該一方の面とは反対側の他
方の面を研削することによって薄いヘッド素子用基板を
形成し、該薄いヘッド素子用基板を複数の部材に切断分
離し、切断分離して得た各部材の前記他方の面側に位置
するように、微小位置決めアクチュエータ部を形成した
部材を該切断分離して得た各部材に一体的に固着するこ
とを特徴とする微小位置決め用アクチュエータ付きヘッ
ドスライダの製造方法。 - 【請求項１３】 前記薄いヘッド素子用基板を個々のヘ
ッド部に切断分離し、該切断分離して得たヘッド部の前
記他方の面側に位置するように、アクチュエータ部を該
切断分離して得たヘッド部に一体的に固着してヘッドス
ライダを得ることを特徴とする請求項１２に記載の製造
方法。 - 【請求項１４】 基材部上にアクチュエータ層が設けら
れている前記アクチュエータ部の該アクチュエータ層側
の面を前記切断分離して得たヘッド部の前記他方の面に
固着してヘッドスライダを得ることを特徴とする請求項
１３に記載の製造方法。 - 【請求項１５】 駆動信号に従って変位する先端部を有
する１対の可動アーム部と、該可動アーム部間に離隔し
て設けられた静止部とを備えた前記アクチュエータ部を
用意し、該アクチュエータ部の該可動アーム部の先端部
に前記切断分離して得たヘッド部の側端部を固着してヘ
ッドスライダを得ることを特徴とする請求項１３に記載
の製造方法。 - 【請求項１６】 前記アクチュエータ部が、支持機構に
固定するための基部から前記可動アーム部が突出するよ
うに形成されていることを特徴とする請求項１５に記載
の製造方法。 - 【請求項１７】 前記可動アーム部が、アーム部材の面
上に圧電素子部材を積層又は接着して形成されているこ
とを特徴とする請求項１５又は１６に記載の製造方法。 - 【請求項１８】 前記薄いヘッド素子用基板を複数のヘ
ッド素子が列状に並ぶ複数の第１のバー部材に切断分離
し、該第１のバー部材の前記他方の面側に位置するよう
に、複数のアクチュエータ部が列状に並ぶ第２のバー部
材を該第１のバー部材に一体的に固着した後、これを切
断分離して個々のヘッドスライダを得ることを特徴とす
る請求項１２に記載の製造方法。 - 【請求項１９】 基材部上にアクチュエータ層を設けら
れている前記第２のバー部材の該アクチュエータ層側の
面を前記第１のバー部材の前記他方の面に固着した後、
これを切断分離して個々のヘッドスライダを得ることを
特徴とする請求項１８に記載の製造方法。 - 【請求項２０】 駆動信号に従って変位する先端部を有
する１対の可動アーム部領域と、該可動アーム部領域間
に離隔して設けられた静止部領域とを有する前記第２の
バー部材を用意し、該第２のバー部材の該可動アーム部
領域の先端部に前記第１のバー部材の側端部を固着した
後、これを切断分離して個々のヘッドスライダを得るこ
とを特徴とする請求項１８に記載の製造方法。 - 【請求項２１】 前記第２のバー部材が、支持機構に固
定するための基部領域から前記可動アーム部領域が突出
するように形成されていることを特徴とする請求項２０
に記載の製造方法。 - 【請求項２２】 前記可動アーム部領域が、アーム部材
の面上に圧電素子部材を積層又は接着して形成されてい
ることを特徴とする請求項２０又は２１に記載の製造方
法。 - 【請求項２３】 ヘッド素子用基板の一方の面上に複数
のヘッド素子を形成した後、該一方の面とは反対側の他
方の面を研削することによって薄いヘッド素子用基板を
形成し、該薄いヘッド素子用基板の前記他方の面に複数
の微小位置決めアクチュエータ部を形成したアクチュエ
ータ用基板を一体的に固着した後、これを切断分離して
個々のヘッドスライダを得ることを特徴とする微小位置
決め用アクチュエータ付きヘッドスライダの製造方法。 - 【請求項２４】 基材部上にアクチュエータ層が設けら
れている前記アクチュエータ用基板の該アクチュエータ
層側の面を前記薄いヘッド素子用基板の前記他方の面に
固着した後、これを切断分離して個々のヘッドスライダ
を得ることを特徴とする請求項２３に記載の製造方法。 - 【請求項２５】 個々のヘッドスライダの前記アクチュ
エータ部に浮上面を形成することを特徴とする請求項１
３から２４のいずれか１項に記載の製造方法。 - 【請求項２６】 ヘッド素子用基板の一方の面上に複数
のヘッド素子を形成した後、該ヘッド素子用基板を複数
の部材に切断分離し、切断分離して得た各部材の該一方
の面とは反対側の他方の面を研削することによって薄い
部材を得、該薄い部材の前記他方の面側に位置するよう
に、微小位置決めアクチュエータ部を形成した部材を該
薄い部材に一体的に固着することを特徴とする微小位置
決め用アクチュエータ付きヘッドスライダの製造方法。 - 【請求項２７】 前記ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子
であることを特徴とする請求項１２から２６のいずれか
１項に記載の製造方法。
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