JP2002249204A - 高層収納棚及びそのメンテナンス方法 - Google Patents

高層収納棚及びそのメンテナンス方法

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JP2002249204A
JP2002249204A JP2001045100A JP2001045100A JP2002249204A JP 2002249204 A JP2002249204 A JP 2002249204A JP 2001045100 A JP2001045100 A JP 2001045100A JP 2001045100 A JP2001045100 A JP 2001045100A JP 2002249204 A JP2002249204 A JP 2002249204A
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rise
accommodation
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shelf
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JP2001045100A
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Inventor
Tsuyoshi Matsumoto
剛志 松本
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Shinko Electric Co Ltd
Original Assignee
Shinko Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高層収納棚の高さに関係なく、また、移載ロ
ボットの停止位置に関係なく、メンテナンス用の足場を
形成することができるプラットホームを備えた高層収納
棚及びそのメンテナンス方法を提供する。 【解決手段】 ワークを収納する収納部2を上下左右に
複数配列した収納棚3が、前記収納部2の開口側が対向
するように配置され、前記各収納棚3の間に設けられた
空間4を、前記収納部2に面して上下左右に移動し、前
記ワークを前記収納部2に出し入れするクレーン式の移
載ロボット5と、を備えた高層収納棚であって、前記ワ
ークの前記収納部2への収納トラブルの発生時や、前記
移載ロボット5のメンテナンス時の際に足場となるプラ
ットホーム6、7が設けられ、前記プラットホーム6、
7を上下自在に移動可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
品等を保管する高層収納棚及びそのメンテナンス方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】半導体製品の製造工程において、半導体
製品を各工程間或いは各工程中に自動搬送するために
は、半導体製品を輸送する搬送装置と、これら半導体製
品を一時的に保管する収納棚が不可欠である。
【0003】近年、歩留りの向上、製品コストの低減を
目的として、半導体ウェハーサイズが大きくなる傾向に
あり、これを保管する収納棚も大きくなる傾向にある。
これら、半導体ウェハーを扱う工程は、クリーンルーム
内で行われている。クリーンルーム内での工程は、床面
積に比例してランニングコストがかさむため、クリーン
ルーム内の保管棚は、平面的に大きくできず、高さ方向
に伸ばすことで、収納棚の床面積を大きくせずに、半導
体ウェハーの収納面積を広げている。そして、この種の
収納棚には、各収納部に半導体ウェハー等のワークを出
し入れする移載ロボットが設けられている。
【0004】この移載ロボットのメンテナンスや、ワー
クの収納時のトラブル等の際にメンテナンスを行う時、
特に、高い位置でのメンテナンスの時は、脚立や、予め
高層収納棚に折りたたんで取り付けられた足場となるプ
ラットホーム等を展開して足場としてメンテナンスが行
われている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、移載ロ
ボットの停止位置によっては、脚立を立てたり、折りた
たまれているプラットホームを展開することが困難な場
合がある。また、脚立に乗っての作業等の場合、作業者
の作業効率も悪く、安全上の問題もある。
【0006】本発明は、前記課題に鑑みなされたもので
あり、高層収納棚の高さに関係なく、また、移載ロボッ
トの停止位置に関係なく、メンテナンス用の足場を形成
することができるプラットホームを備えた高層収納棚及
びそのメンテナンス方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の請求項1に記載の高層収納棚は、ワークを収
納する収納部を上下左右に複数配列した収納棚が、前記
収納部の開口側が対向するように配置され、前記各収納
棚の間に設けられた空間を、前記収納部に面して上下左
右に移動し、前記ワークを前記収納部に出し入れするク
レーン式の移載ロボットと、を備えた高層収納棚であっ
て、前記ワークの前記収納部への収納トラブルの発生時
や、前記移載ロボットのメンテナンス時の際に足場とな
るプラットホームが設けられ、前記プラットホームが上
下自在に移動可能である。
【0008】上記構成によると、収納棚の高さに関わら
ず、プラットホームを移動させることができ、収納棚の
間に設けられた空間に足場を形成することが可能とな
る。このため、作業者が足場上に脚立等を立てる必要が
なくなり、作業時の安全性が高まるとともに、作業効率
があがる。
【0009】請求項2に記載の高層収納棚は、請求項1
において、前記プラットホームが、前記各収納棚の間に
設けられた空間の天井面及び床面に各1台設けられてい
るものである。
【0010】上記構成によると、移載ロボットがどこで
停止した場合であっても、プラットホームの移動が可能
となる。このため、収納棚の高さに関わらず、足場の形
成を容易に行うことができ、収納棚全体のメンテナンス
が可能となるなど作業効率が向上する。
【0011】請求項3に記載の高層収納棚のメンテナン
ス方法は、ワークを収納する収納部を上下左右に複数配
列した収納棚が、前記収納部の開口側が対向するように
配置され、前記各収納棚の間に設けられた空間を、前記
収納部に面して上下左右に移動し、前記ワークを前記収
納部に出し入れするクレーン式の移載ロボットと、を備
えた高層収納棚のメンテナンス方法であって、前記各収
納棚の間に設けられた空間の天井面及び床面に各1台設
けられた上下移動自在なプラットホームによって、前記
ワークが前記収納部にうまく収納されなかった時や、前
記移載ロボットにトラブルが発生した時に、天井面及び
床面に設けられたいずれかの前記プラットホームによっ
て、トラブル発生地点にまで移動して、メンテナンスを
行うものである。
【0012】上記構成によると、収納棚の高さに関わら
ず、収納棚のメンテナンスを行う際の足場を形成するこ
とが可能となり、収納棚全体のメンテナンスを行うこと
ができる。このため、作業時の安全性が高まるととも
に、作業効率が向上する。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
高層収納棚の一実施形態例を説明する。図1は、本発明
に係る高層収納棚の一実施形態例を示すものである。図
1において、(a)は、本実施形態例に係る高層収納棚
の平面断面図を示し、(b)は、図1(a)におけるA
−A線断面図を示す。
【0014】図1において、本実施形態例に係る高層収
納棚1は、ワークを収納する収納部2を上下左右に複数
配列した収納棚3が、収納部2の開口側が対向するよう
に配置され、各収納棚3,3の間に設けられた空間4
を、収納部2に面して上下左右に移動し、ワークを収納
部2に出し入れするクレーン式の移載ロボット5と、で
構成されている。そして、ワークの収納部2への収納ト
ラブルの発生時や、移載ロボット5のメンテナンス時の
際に足場となるプラットホーム6,7が設けられてい
る。
【0015】収納棚3は、ワークを収納する収納部2が
上下左右に複数配列されている。そして、図1(a)に
示すように、収納部2の開口側が対向し、その間に空間
4を形成するように配置され、その両側を、枠体8で連
結されている。
【0016】各収納部2にワークを出し入れする移載ロ
ボット5は、ワークを把持し、各収納部2にワークを出
し入れする伸縮ユニット9と、該伸縮ユニット9を左右
に配列された各収納部2の所定位置に移動させる横行ユ
ニット10と、該横行ユニット10の移動時のガイドと
なるとともに、上下移動する昇降ベース11とで構成さ
れ、収納棚3,3間に形成された空間4内を上下左右に
移動し、収納部2に収納されているワークの移動を可能
としている。
【0017】ワークの収納部2への収納トラブルの発生
時や、移載ロボット5のメンテナンス時の際に足場とな
るプラットホーム6,7は、図1(b)に示すように、
空間4の天井面及び床面に各1台6,7設けられてい
る。これら、プラットホーム6,7は、枠体8の内側に
設けられたガイドレール12,12間に橋渡され、該ガ
イドレール12,12に沿って上下に移動可能となって
いる。これによって、例えば、移載ロボット5が収納棚
3の中央付近の高さに停止した場合であっても、上下の
いずれかのプラットホーム6、7を適当な高さにまで移
動させることで、足場としてメンテナンスすることがで
きる。このため、従来のように、脚立を立てる必要もな
くなる。また、プラットホームが収納棚3の枠体8に折
り畳まれて固定されされた収納棚3のような場合のとき
のように、移載ロボット5が障害物となって、プラット
ホームを展開することができず、足場を形成することが
できないという問題も回避することができる。なお、プ
ラットホーム6,7の上下移動の手段は、特に限定され
ず、例えば、手動によるハンドル操作によるものや、電
動モータ等によるものでよい。
【0018】移載ロボット5が停止したり、各収納部2
にワークがうまく収納されない等のトラブルが発生した
場合や、各収納部2に設けられている位置決め用のセン
サ等の定期的なメンテナンス時には、空間4の天井面若
しくは床面に設けられたこれらプラットホーム6,7の
いずれかを、所定位置に移動させて、メンテナンスを行
う。
【0019】このため、従来のように、脚立を立てた
り、収納棚3の枠体8に固定されているプラットホーム
を展開する必要がなくなる。さらに、収納棚3の高さ
や、移載ロボット5が停止した位置に関係なく、プラッ
トホームによって足場を形成することが可能となる。こ
れによって、メンテナンス作業時間を大幅に短縮できる
とともに、作業時の安全性を高めることが可能となる。
【0020】なお、本発明に係る高層収納棚及びメンテ
ナンス方法は、本実施形態例に示したように、半導体製
造工程に好適に用いられるものであるが、本実施形態例
に示されるような半導体製造工程に使用されるものに限
定されるものではなく、一般的な高層収納棚にも適用可
能である。
【0021】
【発明の効果】以上、本発明によると、収納棚の高さに
関わらず、プラットホームを移動させることができ、収
納棚の間に設けられた空間に足場を形成することが可能
となる。このため、作業者が足場上に脚立等を立てる必
要がなくなり、作業時の安全性が高まるとともに、作業
効率があがる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る高層収納棚の一実施形態例を示
す、概略図である。(a)は平面図、(b)は(a)に
おけるA−A線断面図である。
【符号の説明】
1 高層収納棚 2 収納部 3 収納棚 4 空間 5 移載ロボット 6 プラットホーム 7 プラットホーム 8 枠体 9 伸縮ユニット 10 横行ユニット 11 昇降ベース 12 ガイドレール

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ワークを収納する収納部を上下左右に複
    数配列した収納棚が、前記収納部の開口側が対向するよ
    うに配置され、前記各収納棚の間に設けられた空間を、
    前記収納部に面して上下左右に移動し、前記ワークを前
    記収納部に出し入れするクレーン式の移載ロボットと、
    を備えた高層収納棚であって、 前記ワークの前記収納部への収納トラブルの発生時や、
    前記移載ロボットのメンテナンス時の際に足場となるプ
    ラットホームが設けられ、前記プラットホームが上下自
    在に移動可能である高層収納棚。
  2. 【請求項2】 前記プラットホームが、前記各収納棚の
    間に設けられた空間の天井面及び床面に各1台設けられ
    ている請求項1に記載の高層収納棚。
  3. 【請求項3】 ワークを収納する収納部を上下左右に複
    数配列した収納棚が、前記収納部の開口側が対向するよ
    うに配置され、前記各収納棚の間に設けられた空間を、
    前記収納部に面して上下左右に移動し、前記ワークを前
    記収納部に出し入れするクレーン式の移載ロボットと、
    を備えた高層収納棚のメンテナンス方法であって、 前記各収納棚の間に設けられた空間の天井面及び床面に
    各1台設けられた上下移動自在なプラットホームによっ
    て、前記ワークが前記収納部にうまく収納されなかった
    時や、前記移載ロボットにトラブルが発生した時に、天
    井面及び床面に設けられたいずれかの前記プラットホー
    ムによって、トラブル発生地点にまで移動して、メンテ
    ナンスを行う高層収納棚のメンテナンス方法。
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