JP2002249204A - 高層収納棚及びそのメンテナンス方法 - Google Patents
高層収納棚及びそのメンテナンス方法Info
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- JP2002249204A JP2002249204A JP2001045100A JP2001045100A JP2002249204A JP 2002249204 A JP2002249204 A JP 2002249204A JP 2001045100 A JP2001045100 A JP 2001045100A JP 2001045100 A JP2001045100 A JP 2001045100A JP 2002249204 A JP2002249204 A JP 2002249204A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高層収納棚の高さに関係なく、また、移載ロ
ボットの停止位置に関係なく、メンテナンス用の足場を
形成することができるプラットホームを備えた高層収納
棚及びそのメンテナンス方法を提供する。 【解決手段】 ワークを収納する収納部２を上下左右に
複数配列した収納棚３が、前記収納部２の開口側が対向
するように配置され、前記各収納棚３の間に設けられた
空間４を、前記収納部２に面して上下左右に移動し、前
記ワークを前記収納部２に出し入れするクレーン式の移
載ロボット５と、を備えた高層収納棚であって、前記ワ
ークの前記収納部２への収納トラブルの発生時や、前記
移載ロボット５のメンテナンス時の際に足場となるプラ
ットホーム６、７が設けられ、前記プラットホーム６、
７を上下自在に移動可能とする。
ボットの停止位置に関係なく、メンテナンス用の足場を
形成することができるプラットホームを備えた高層収納
棚及びそのメンテナンス方法を提供する。 【解決手段】 ワークを収納する収納部２を上下左右に
複数配列した収納棚３が、前記収納部２の開口側が対向
するように配置され、前記各収納棚３の間に設けられた
空間４を、前記収納部２に面して上下左右に移動し、前
記ワークを前記収納部２に出し入れするクレーン式の移
載ロボット５と、を備えた高層収納棚であって、前記ワ
ークの前記収納部２への収納トラブルの発生時や、前記
移載ロボット５のメンテナンス時の際に足場となるプラ
ットホーム６、７が設けられ、前記プラットホーム６、
７を上下自在に移動可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
品等を保管する高層収納棚及びそのメンテナンス方法に
関する。
品等を保管する高層収納棚及びそのメンテナンス方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製品の製造工程において、半導体
製品を各工程間或いは各工程中に自動搬送するために
は、半導体製品を輸送する搬送装置と、これら半導体製
品を一時的に保管する収納棚が不可欠である。
製品を各工程間或いは各工程中に自動搬送するために
は、半導体製品を輸送する搬送装置と、これら半導体製
品を一時的に保管する収納棚が不可欠である。
【０００３】近年、歩留りの向上、製品コストの低減を
目的として、半導体ウェハーサイズが大きくなる傾向に
あり、これを保管する収納棚も大きくなる傾向にある。
これら、半導体ウェハーを扱う工程は、クリーンルーム
内で行われている。クリーンルーム内での工程は、床面
積に比例してランニングコストがかさむため、クリーン
ルーム内の保管棚は、平面的に大きくできず、高さ方向
に伸ばすことで、収納棚の床面積を大きくせずに、半導
体ウェハーの収納面積を広げている。そして、この種の
収納棚には、各収納部に半導体ウェハー等のワークを出
し入れする移載ロボットが設けられている。
目的として、半導体ウェハーサイズが大きくなる傾向に
あり、これを保管する収納棚も大きくなる傾向にある。
これら、半導体ウェハーを扱う工程は、クリーンルーム
内で行われている。クリーンルーム内での工程は、床面
積に比例してランニングコストがかさむため、クリーン
ルーム内の保管棚は、平面的に大きくできず、高さ方向
に伸ばすことで、収納棚の床面積を大きくせずに、半導
体ウェハーの収納面積を広げている。そして、この種の
収納棚には、各収納部に半導体ウェハー等のワークを出
し入れする移載ロボットが設けられている。
【０００４】この移載ロボットのメンテナンスや、ワー
クの収納時のトラブル等の際にメンテナンスを行う時、
特に、高い位置でのメンテナンスの時は、脚立や、予め
高層収納棚に折りたたんで取り付けられた足場となるプ
ラットホーム等を展開して足場としてメンテナンスが行
われている。
クの収納時のトラブル等の際にメンテナンスを行う時、
特に、高い位置でのメンテナンスの時は、脚立や、予め
高層収納棚に折りたたんで取り付けられた足場となるプ
ラットホーム等を展開して足場としてメンテナンスが行
われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、移載ロ
ボットの停止位置によっては、脚立を立てたり、折りた
たまれているプラットホームを展開することが困難な場
合がある。また、脚立に乗っての作業等の場合、作業者
の作業効率も悪く、安全上の問題もある。
ボットの停止位置によっては、脚立を立てたり、折りた
たまれているプラットホームを展開することが困難な場
合がある。また、脚立に乗っての作業等の場合、作業者
の作業効率も悪く、安全上の問題もある。
【０００６】本発明は、前記課題に鑑みなされたもので
あり、高層収納棚の高さに関係なく、また、移載ロボッ
トの停止位置に関係なく、メンテナンス用の足場を形成
することができるプラットホームを備えた高層収納棚及
びそのメンテナンス方法を提供することを目的とする。
あり、高層収納棚の高さに関係なく、また、移載ロボッ
トの停止位置に関係なく、メンテナンス用の足場を形成
することができるプラットホームを備えた高層収納棚及
びそのメンテナンス方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の請求項1に記載の高層収納棚は、ワークを収
納する収納部を上下左右に複数配列した収納棚が、前記
収納部の開口側が対向するように配置され、前記各収納
棚の間に設けられた空間を、前記収納部に面して上下左
右に移動し、前記ワークを前記収納部に出し入れするク
レーン式の移載ロボットと、を備えた高層収納棚であっ
て、前記ワークの前記収納部への収納トラブルの発生時
や、前記移載ロボットのメンテナンス時の際に足場とな
るプラットホームが設けられ、前記プラットホームが上
下自在に移動可能である。
の本発明の請求項1に記載の高層収納棚は、ワークを収
納する収納部を上下左右に複数配列した収納棚が、前記
収納部の開口側が対向するように配置され、前記各収納
棚の間に設けられた空間を、前記収納部に面して上下左
右に移動し、前記ワークを前記収納部に出し入れするク
レーン式の移載ロボットと、を備えた高層収納棚であっ
て、前記ワークの前記収納部への収納トラブルの発生時
や、前記移載ロボットのメンテナンス時の際に足場とな
るプラットホームが設けられ、前記プラットホームが上
下自在に移動可能である。
【０００８】上記構成によると、収納棚の高さに関わら
ず、プラットホームを移動させることができ、収納棚の
間に設けられた空間に足場を形成することが可能とな
る。このため、作業者が足場上に脚立等を立てる必要が
なくなり、作業時の安全性が高まるとともに、作業効率
があがる。
ず、プラットホームを移動させることができ、収納棚の
間に設けられた空間に足場を形成することが可能とな
る。このため、作業者が足場上に脚立等を立てる必要が
なくなり、作業時の安全性が高まるとともに、作業効率
があがる。
【０００９】請求項２に記載の高層収納棚は、請求項1
において、前記プラットホームが、前記各収納棚の間に
設けられた空間の天井面及び床面に各1台設けられてい
るものである。
において、前記プラットホームが、前記各収納棚の間に
設けられた空間の天井面及び床面に各1台設けられてい
るものである。
【００１０】上記構成によると、移載ロボットがどこで
停止した場合であっても、プラットホームの移動が可能
となる。このため、収納棚の高さに関わらず、足場の形
成を容易に行うことができ、収納棚全体のメンテナンス
が可能となるなど作業効率が向上する。
停止した場合であっても、プラットホームの移動が可能
となる。このため、収納棚の高さに関わらず、足場の形
成を容易に行うことができ、収納棚全体のメンテナンス
が可能となるなど作業効率が向上する。
【００１１】請求項３に記載の高層収納棚のメンテナン
ス方法は、ワークを収納する収納部を上下左右に複数配
列した収納棚が、前記収納部の開口側が対向するように
配置され、前記各収納棚の間に設けられた空間を、前記
収納部に面して上下左右に移動し、前記ワークを前記収
納部に出し入れするクレーン式の移載ロボットと、を備
えた高層収納棚のメンテナンス方法であって、前記各収
納棚の間に設けられた空間の天井面及び床面に各1台設
けられた上下移動自在なプラットホームによって、前記
ワークが前記収納部にうまく収納されなかった時や、前
記移載ロボットにトラブルが発生した時に、天井面及び
床面に設けられたいずれかの前記プラットホームによっ
て、トラブル発生地点にまで移動して、メンテナンスを
行うものである。
ス方法は、ワークを収納する収納部を上下左右に複数配
列した収納棚が、前記収納部の開口側が対向するように
配置され、前記各収納棚の間に設けられた空間を、前記
収納部に面して上下左右に移動し、前記ワークを前記収
納部に出し入れするクレーン式の移載ロボットと、を備
えた高層収納棚のメンテナンス方法であって、前記各収
納棚の間に設けられた空間の天井面及び床面に各1台設
けられた上下移動自在なプラットホームによって、前記
ワークが前記収納部にうまく収納されなかった時や、前
記移載ロボットにトラブルが発生した時に、天井面及び
床面に設けられたいずれかの前記プラットホームによっ
て、トラブル発生地点にまで移動して、メンテナンスを
行うものである。
【００１２】上記構成によると、収納棚の高さに関わら
ず、収納棚のメンテナンスを行う際の足場を形成するこ
とが可能となり、収納棚全体のメンテナンスを行うこと
ができる。このため、作業時の安全性が高まるととも
に、作業効率が向上する。
ず、収納棚のメンテナンスを行う際の足場を形成するこ
とが可能となり、収納棚全体のメンテナンスを行うこと
ができる。このため、作業時の安全性が高まるととも
に、作業効率が向上する。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
高層収納棚の一実施形態例を説明する。図1は、本発明
に係る高層収納棚の一実施形態例を示すものである。図
１において、（ａ）は、本実施形態例に係る高層収納棚
の平面断面図を示し、（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ
−Ａ線断面図を示す。
高層収納棚の一実施形態例を説明する。図1は、本発明
に係る高層収納棚の一実施形態例を示すものである。図
１において、（ａ）は、本実施形態例に係る高層収納棚
の平面断面図を示し、（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ
−Ａ線断面図を示す。
【００１４】図１において、本実施形態例に係る高層収
納棚１は、ワークを収納する収納部２を上下左右に複数
配列した収納棚３が、収納部２の開口側が対向するよう
に配置され、各収納棚３，３の間に設けられた空間４
を、収納部２に面して上下左右に移動し、ワークを収納
部２に出し入れするクレーン式の移載ロボット５と、で
構成されている。そして、ワークの収納部２への収納ト
ラブルの発生時や、移載ロボット５のメンテナンス時の
際に足場となるプラットホーム６，７が設けられてい
る。
納棚１は、ワークを収納する収納部２を上下左右に複数
配列した収納棚３が、収納部２の開口側が対向するよう
に配置され、各収納棚３，３の間に設けられた空間４
を、収納部２に面して上下左右に移動し、ワークを収納
部２に出し入れするクレーン式の移載ロボット５と、で
構成されている。そして、ワークの収納部２への収納ト
ラブルの発生時や、移載ロボット５のメンテナンス時の
際に足場となるプラットホーム６，７が設けられてい
る。
【００１５】収納棚３は、ワークを収納する収納部２が
上下左右に複数配列されている。そして、図１（ａ）に
示すように、収納部２の開口側が対向し、その間に空間
４を形成するように配置され、その両側を、枠体８で連
結されている。
上下左右に複数配列されている。そして、図１（ａ）に
示すように、収納部２の開口側が対向し、その間に空間
４を形成するように配置され、その両側を、枠体８で連
結されている。
【００１６】各収納部２にワークを出し入れする移載ロ
ボット５は、ワークを把持し、各収納部２にワークを出
し入れする伸縮ユニット９と、該伸縮ユニット９を左右
に配列された各収納部２の所定位置に移動させる横行ユ
ニット１０と、該横行ユニット１０の移動時のガイドと
なるとともに、上下移動する昇降ベース１１とで構成さ
れ、収納棚３，３間に形成された空間４内を上下左右に
移動し、収納部２に収納されているワークの移動を可能
としている。
ボット５は、ワークを把持し、各収納部２にワークを出
し入れする伸縮ユニット９と、該伸縮ユニット９を左右
に配列された各収納部２の所定位置に移動させる横行ユ
ニット１０と、該横行ユニット１０の移動時のガイドと
なるとともに、上下移動する昇降ベース１１とで構成さ
れ、収納棚３，３間に形成された空間４内を上下左右に
移動し、収納部２に収納されているワークの移動を可能
としている。
【００１７】ワークの収納部２への収納トラブルの発生
時や、移載ロボット５のメンテナンス時の際に足場とな
るプラットホーム６，７は、図１（ｂ）に示すように、
空間４の天井面及び床面に各１台６，７設けられてい
る。これら、プラットホーム６，７は、枠体８の内側に
設けられたガイドレール１２，1２間に橋渡され、該ガ
イドレール１２，１２に沿って上下に移動可能となって
いる。これによって、例えば、移載ロボット５が収納棚
３の中央付近の高さに停止した場合であっても、上下の
いずれかのプラットホーム６、７を適当な高さにまで移
動させることで、足場としてメンテナンスすることがで
きる。このため、従来のように、脚立を立てる必要もな
くなる。また、プラットホームが収納棚３の枠体８に折
り畳まれて固定されされた収納棚３のような場合のとき
のように、移載ロボット５が障害物となって、プラット
ホームを展開することができず、足場を形成することが
できないという問題も回避することができる。なお、プ
ラットホーム６，７の上下移動の手段は、特に限定され
ず、例えば、手動によるハンドル操作によるものや、電
動モータ等によるものでよい。
時や、移載ロボット５のメンテナンス時の際に足場とな
るプラットホーム６，７は、図１（ｂ）に示すように、
空間４の天井面及び床面に各１台６，７設けられてい
る。これら、プラットホーム６，７は、枠体８の内側に
設けられたガイドレール１２，1２間に橋渡され、該ガ
イドレール１２，１２に沿って上下に移動可能となって
いる。これによって、例えば、移載ロボット５が収納棚
３の中央付近の高さに停止した場合であっても、上下の
いずれかのプラットホーム６、７を適当な高さにまで移
動させることで、足場としてメンテナンスすることがで
きる。このため、従来のように、脚立を立てる必要もな
くなる。また、プラットホームが収納棚３の枠体８に折
り畳まれて固定されされた収納棚３のような場合のとき
のように、移載ロボット５が障害物となって、プラット
ホームを展開することができず、足場を形成することが
できないという問題も回避することができる。なお、プ
ラットホーム６，７の上下移動の手段は、特に限定され
ず、例えば、手動によるハンドル操作によるものや、電
動モータ等によるものでよい。
【００１８】移載ロボット５が停止したり、各収納部２
にワークがうまく収納されない等のトラブルが発生した
場合や、各収納部２に設けられている位置決め用のセン
サ等の定期的なメンテナンス時には、空間４の天井面若
しくは床面に設けられたこれらプラットホーム６，７の
いずれかを、所定位置に移動させて、メンテナンスを行
う。
にワークがうまく収納されない等のトラブルが発生した
場合や、各収納部２に設けられている位置決め用のセン
サ等の定期的なメンテナンス時には、空間４の天井面若
しくは床面に設けられたこれらプラットホーム６，７の
いずれかを、所定位置に移動させて、メンテナンスを行
う。
【００１９】このため、従来のように、脚立を立てた
り、収納棚３の枠体８に固定されているプラットホーム
を展開する必要がなくなる。さらに、収納棚３の高さ
や、移載ロボット５が停止した位置に関係なく、プラッ
トホームによって足場を形成することが可能となる。こ
れによって、メンテナンス作業時間を大幅に短縮できる
とともに、作業時の安全性を高めることが可能となる。
り、収納棚３の枠体８に固定されているプラットホーム
を展開する必要がなくなる。さらに、収納棚３の高さ
や、移載ロボット５が停止した位置に関係なく、プラッ
トホームによって足場を形成することが可能となる。こ
れによって、メンテナンス作業時間を大幅に短縮できる
とともに、作業時の安全性を高めることが可能となる。
【００２０】なお、本発明に係る高層収納棚及びメンテ
ナンス方法は、本実施形態例に示したように、半導体製
造工程に好適に用いられるものであるが、本実施形態例
に示されるような半導体製造工程に使用されるものに限
定されるものではなく、一般的な高層収納棚にも適用可
能である。
ナンス方法は、本実施形態例に示したように、半導体製
造工程に好適に用いられるものであるが、本実施形態例
に示されるような半導体製造工程に使用されるものに限
定されるものではなく、一般的な高層収納棚にも適用可
能である。
【００２１】
【発明の効果】以上、本発明によると、収納棚の高さに
関わらず、プラットホームを移動させることができ、収
納棚の間に設けられた空間に足場を形成することが可能
となる。このため、作業者が足場上に脚立等を立てる必
要がなくなり、作業時の安全性が高まるとともに、作業
効率があがる効果を奏する。
関わらず、プラットホームを移動させることができ、収
納棚の間に設けられた空間に足場を形成することが可能
となる。このため、作業者が足場上に脚立等を立てる必
要がなくなり、作業時の安全性が高まるとともに、作業
効率があがる効果を奏する。
【図1】本発明に係る高層収納棚の一実施形態例を示
す、概略図である。（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に
おけるＡ−Ａ線断面図である。
す、概略図である。（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）に
おけるＡ−Ａ線断面図である。
１ 高層収納棚 ２ 収納部 ３ 収納棚 ４ 空間 ５ 移載ロボット ６ プラットホーム ７ プラットホーム ８ 枠体 ９ 伸縮ユニット １０ 横行ユニット １１ 昇降ベース １２ ガイドレール
Claims (3)
- 【請求項１】 ワークを収納する収納部を上下左右に複
数配列した収納棚が、前記収納部の開口側が対向するよ
うに配置され、前記各収納棚の間に設けられた空間を、
前記収納部に面して上下左右に移動し、前記ワークを前
記収納部に出し入れするクレーン式の移載ロボットと、
を備えた高層収納棚であって、 前記ワークの前記収納部への収納トラブルの発生時や、
前記移載ロボットのメンテナンス時の際に足場となるプ
ラットホームが設けられ、前記プラットホームが上下自
在に移動可能である高層収納棚。 - 【請求項２】 前記プラットホームが、前記各収納棚の
間に設けられた空間の天井面及び床面に各1台設けられ
ている請求項1に記載の高層収納棚。 - 【請求項３】 ワークを収納する収納部を上下左右に複
数配列した収納棚が、前記収納部の開口側が対向するよ
うに配置され、前記各収納棚の間に設けられた空間を、
前記収納部に面して上下左右に移動し、前記ワークを前
記収納部に出し入れするクレーン式の移載ロボットと、
を備えた高層収納棚のメンテナンス方法であって、 前記各収納棚の間に設けられた空間の天井面及び床面に
各1台設けられた上下移動自在なプラットホームによっ
て、前記ワークが前記収納部にうまく収納されなかった
時や、前記移載ロボットにトラブルが発生した時に、天
井面及び床面に設けられたいずれかの前記プラットホー
ムによって、トラブル発生地点にまで移動して、メンテ
ナンスを行う高層収納棚のメンテナンス方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001045100A JP2002249204A (ja) | 2001-02-21 | 2001-02-21 | 高層収納棚及びそのメンテナンス方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001045100A JP2002249204A (ja) | 2001-02-21 | 2001-02-21 | 高層収納棚及びそのメンテナンス方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002249204A true JP2002249204A (ja) | 2002-09-03 |
Family
ID=18906961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001045100A Pending JP2002249204A (ja) | 2001-02-21 | 2001-02-21 | 高層収納棚及びそのメンテナンス方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002249204A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009073627A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Daifuku Co Ltd | 物品収納設備 |
| WO2010079603A1 (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-15 | 株式会社ダイフク | 昇降装置 |
| WO2010079600A1 (ja) | 2009-01-08 | 2010-07-15 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
| JP2013203494A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Daifuku Co Ltd | 物品収納設備 |
-
2001
- 2001-02-21 JP JP2001045100A patent/JP2002249204A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009073627A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Daifuku Co Ltd | 物品収納設備 |
| WO2010079603A1 (ja) * | 2009-01-08 | 2010-07-15 | 株式会社ダイフク | 昇降装置 |
| WO2010079600A1 (ja) | 2009-01-08 | 2010-07-15 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
| EP2380827A1 (en) * | 2009-01-08 | 2011-10-26 | Daifuku Co., Ltd. | Article receiving facility |
| CN102272020A (zh) * | 2009-01-08 | 2011-12-07 | 株式会社大福 | 物品收纳设备 |
| EP2380827A4 (en) * | 2009-01-08 | 2012-12-12 | Daifuku Kk | RECEPTION INSTALLATION OF OBJECTS |
| KR101451210B1 (ko) | 2009-01-08 | 2014-10-17 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 수납 설비 |
| US9045282B2 (en) | 2009-01-08 | 2015-06-02 | Daifuku Co., Ltd. | Article storage facility |
| US9272844B2 (en) | 2009-01-08 | 2016-03-01 | Daifuku Co., Ltd. | Vertically moving device |
| JP2013203494A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Daifuku Co Ltd | 物品収納設備 |
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