JP2002248517A - 押出し加工装置及び押出し加工方法 - Google Patents

押出し加工装置及び押出し加工方法

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    • B21CMANUFACTURE OF METAL SHEETS, WIRE, RODS, TUBES OR PROFILES, OTHERWISE THAN BY ROLLING; AUXILIARY OPERATIONS USED IN CONNECTION WITH METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL
    • B21C23/00Extruding metal; Impact extrusion
    • B21C23/001Extruding metal; Impact extrusion to improve the material properties, e.g. lateral extrusion

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱電材料に十分なせん断応力を付加すること
により、高い熱電性能をもつ熱電材料を製造できる押出
し加工装置及び押出し加工方法を提供する。 【解決手段】 押出し成形加工装置10は、ほぼ一定の
断面積を有する第1の押出し経路15と、第1の押出し
経路に継続する第2の押出し経路17とが少なくとも形
成されたダイス11を具備する。第2の押出し経路17
は、第1の押出し経路15に対して0度より大きく18
0度より小さい角度を成し、材料の出口側に向かって断
面積が減少する領域を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的に、金属、
半導体材料、酸化物等に対して塑性変形加工の一種であ
る押出し加工を施すために用いられる押出し加工装置及
び押出し加工方法に関し、特に、熱電素子を製造するた
めに用いられる熱電材料の押出し加工に適した押出し加
工装置及び押出し加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】熱電素子とは、トムソン効果、ペルチェ
効果、ゼーベック効果等の熱電効果を利用した素子、熱
電対、電子冷却素子等をいい、構造が簡単かつ取扱いが
容易で安定な特性を維持できることから、広範囲にわた
る利用が注目されている。特に、電子冷却素子として
は、局所冷却や室温付近の精密な温度制御が可能である
ことから、オプトエレクトロニクスや半導体レーザ等の
温度調節、並びに、小型冷蔵庫等への適用に向けて、広
く研究開発が進められている。
【0003】熱電素子としては、比抵抗(抵抗率)ρ、
熱伝導率κ、ゼーベック係数αを用いて、Z=α2/ρ
κで表される性能指数Zの大きなものが望まれる。ま
た、熱電半導体材料の多くは、結晶構造に起因した異方
性を有する。一般に、異方性結晶はへき開性を有し、材
料強度が脆弱である。このため、実用材料としては、単
結晶材料ではなく、性能指数の大きな結晶方位に配向さ
せた多結晶材料が使用される。良好な性能指数を得るた
めには、凝固させた結晶材料を粉体化後に燒結し、燒結
後にせん断応力を与える押出し加工等の塑性加工の工程
を設けることが有効である。
【0004】日本国特許出願公開(特開)2000−1
24512号公報には、熱電半導体材料の配向度を高め
ると共に、直方体状の熱電素子を切り出す際の歩留まり
率を高め、表面の研磨工程と圧密工程を可能とする熱電
半導体材料の製造方法が開示されている。
【0005】図15は、特開2000−124512号
公報に開示されている熱電半導体材料の製造方法を模式
的に説明する図であり、図15の(A)はパンチ押圧
前、(B)はパンチ押圧後の状態を示している。この製
造方法においては、熱電材料を直方体状の焼結体210
とし、この焼結体210をダイス211に注入してパン
チ213を下降させる。ダイス211には、焼結体21
0が注入される入口側経路215と、入口側経路215
より断面積の小さい直方体状の押出し経路217とが設
けられている。パンチ213の下方向Dの押圧力によ
り、焼結体210は押出し経路217から押し出され、
直方体状の成形品が得られる。この押出しの際には、焼
結体210が、ダイス211の側面方向Eから外力を受
けて塑性変形する。このため、材料にかかる外力は大き
く、かつ、材料全体に力がかかり易い。
【0006】従って、この製造方法によれば、塑性変形
による破壊と成形中の動的再結晶が良好に行われ、結晶
粒が微細化する。この結晶粒の微細化により熱伝導率κ
が小さくなり、性能指数Zが向上する。また、熱間鍛造
よりも外力の加わり度合いが良好であり、異方性が高ま
って性能指数が向上する。
【0007】また、祝迫らによる文献「強せん断付加押
し出しによるBi−Te系材料の配向制御」(第51回
塑性加工連合講演会、2000年11月3〜5日)に
は、L字型の経路を有するダイスを用いて熱電材料に高
いせん断応力を与えることにより、より完全な異方性の
再発現を可能にすることが開示されている。
【0008】図16は、上記文献に開示されている方法
を模式的に説明する図であり、図16の(A)はパンチ
押圧前、(B)はパンチ押圧後の状態を示している。こ
の方法においては、入口側経路225と出口側経路22
7とからなるL字型の経路を有するダイス221中にB
i−Te系材料220を封入し、パンチ223により押
圧する。材料220は、経路の直角部Xで強いせん断応
力を受けながら押し出される。このとき、Bi−Te結
晶の容易すべり面(へき開面)ですべりが発生し、同時
に回転を起こすことにより、結晶は再配列する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年で
は、熱電素子が適用されるオプトエレクトロニクス、半
導体レーザなどの高性能化や高速化にともなって、より
性能の高い熱電素子の開発が進んでいる。さらに、この
分野の発展により、熱電素子の効率的な大量生産も要求
されている。
【0010】上述の特開2000−124512号公報
に開示されている方法によれば、ダイス中の材料とダイ
スとの接触面近傍では十分なせん断応力が得られており
結晶が再配列し易いが、図15(B)に示す材料の中心
部Cと側部Pとのせん断応力の差をなくすことにより、
さらに均一な配向度を得ることが期待される。
【0011】また、「強せん断付加押し出しによるBi
−Te系材料の配向制御」に開示されている方法によれ
ば、材料は断面中のどの部分をとっても均一にせん断応
力を受けるため、材料の内部において特性が一様な製品
が得られる。しかしながら、材料がせん断応力を受ける
のは、ダイスの直角部(L字型部)Xを通過する際の1
回だけである。このため、付加されるせん断応力の量が
十分とはいえず、十分な配向が得られ難い。
【0012】一方、従来の他の金属材料のL字押出しに
おいては、ダイスの入口と出口の形状を同じにして複数
回のL字押出しをすることによって、せん断応力を複数
回付加することができる。しかし、Bi−Te等の脆い
脆性材料を用いる場合には、出口を入口より小さくする
ことにより、出口において圧縮応力を付加する必要があ
る。これは、入口と出口の形状を等しくすると、L字部
で材料が破壊(座屈)してしまうためである。従って、
熱電材料の成形においては、複数回のL字押出しを行う
ことができず、せん断応力を複数回付加することができ
ない。
【0013】そこで、上記の点に鑑み、本発明は、材料
に十分なせん断応力を付加することにより、高い熱電性
能をもつ熱電材料を製造できる押出し加工装置及び押出
し加工方法を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
め、本発明の第1の観点に係る押出し加工装置は、材料
の入口側に位置する第1の押出し経路と、第1の押出し
経路に継続する第2の押出し経路であって、第1の押出
し経路に対して0度より大きく180度より小さい角度
を成す第2の押出し経路とが少なくとも形成されてお
り、いずれかの押出し経路において、材料の出口側に向
かって断面積が減少する領域を有するダイスを具備す
る。
【0015】L字押出しに加えて、いずれかの押出し経
路を絞り形状とすることによって、この部分でもせん断
応力を付加することができる。従って、L字押出しと通
常押出しのそれぞれの場合におけるせん断応力を加える
ことができるので、結晶粒がさらに微細化し、配向度が
向上する。従来のL字押出しでは出口形状を小さくして
材料の破壊(座屈)を防いでいたが、本発明の第1の観
点によれば、最後の押出し経路を通常の押出し型のよう
に絞り形状とすることによって、材料の破壊(座屈)を
防ぐことができる。
【0016】また、本発明の第2の観点に係る押出し加
工装置は、材料の入口側に位置する第1の押出し経路
と、第1の押出し経路に継続する第2の押出し経路であ
って、第1の押出し経路に対して0度より大きく180
度より小さい角度を成す第2の押出し経路とが少なくと
も形成されたダイスと、第1の押出し経路に注入された
材料を押すための押出し工具と、第2の押出し経路から
押し出される材料を押し返すための押さえ工具とを具備
する。
【0017】本発明の第2の観点によれば、ダイスの第
2の押出し経路から押し出される材料を押し返す工具を
備えることにより、材料の破壊(座屈)を防ぐことがで
きる。また、第2の押出し経路から高い圧縮応力を付加
できるため、L字部でのせん断応力も高くなる。その
後、押出しパンチ13と押さえパンチ14の動きを逆転
させて往復させることにより、繰り返し押出しを行うこ
ともできる。さらに、第1の押出し経路と第2の押出し
経路の形状を同じにすることができるため、材料の繰り
返し押出しが可能となる。従って、同一の装置を用い
て、せん断応力を複数回付加することにより、結晶粒が
さらに微細化し、配向度が向上する。
【0018】以上において、第1及び第2の押出し経路
の各々が矩形断面を有することが望ましい。断面を矩形
とすることにより、ダイスの幅方向におけるせん断応力
のバラツキをなくして、せん断応力を均一化することが
できる。また、ダイスが複数の出口を有するようにすれ
ば、1度に複数の材料を製造することができるので量産
に適している。
【0019】また、本発明の第3の観点に係る押出し加
工装置は、第1の方向に設けられた材料の入口側に位置
する第1の押出し経路と、第2の方向に設けられた材料
の入口側に位置する第2の押出し経路と、第1及び第2
の押出し経路に継続する第3の押出し経路であって、第
1及び第2の押出し経路に対して0度より大きく180
度より小さい角度を成す第3の押出し経路とが少なくと
も形成されたダイスを具備する。
【0020】本発明の第3の観点によれば、第1及び第
2の経路において熱電材料に両側から押し圧力をかけて
第3の経路に押し出すので、熱電材料に左右対称のせん
断応力が付加される。従って、熱電材料において、結晶
粒の配向の対称性を向上させることができる。
【0021】本発明に係る押出し加工方法は、上記のい
ずれかの押出し加工装置を用いて材料の押出し加工を行
う。特に、本発明の第1の観点に係る押出し加工装置を
用いる場合には、1回の加工ごとに材料の断面積を小さ
くしながら材料の押出し加工を複数回行うことにより、
結晶粒をさらに微細化することが可能である。
【0022】また、本発明の第1及び第2の観点に係る
押出し加工装置を用いる場合には、材料の先端にダミー
材を入れながら材料の押出し加工を複数回行うことが好
ましい。特に、複数回L字押出しを行う際に、材料の破
壊(座屈)を防ぐことができる。さらに、以上におい
て、熱間で材料の押出し加工を行うことが望ましい。そ
の場合には、材料が破壊し難くなり、再結晶が起こり易
くなる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、図面に基いて本発明の実施
の形態について説明する。なお、同一の構成要素につい
ては同一の参照番号を付して、説明を省略する。図1
は、本発明の第1の実施形態に係る押出し加工装置の概
要を示す図である。図1に示すように、押出し加工装置
10は、粉末成形された熱電材料20を押し出すパンチ
(押出し工具)13と、パンチ13によって押し出され
る熱電材料20を塑性変形させる金型であるダイス11
を含んでいる。パンチ13は、例えば油圧アクチュエー
タ(油圧シリンダ)によって駆動されるスライド1によ
って上下動を行う。パンチ13の押出し圧力は、荷重計
2によって計測され、パンチ13の変位は、変位計5に
よって計測される。変位計5の計測値と経過時間との関
係をモニターすることにより、パンチ13がほぼ一定の
押出し速度で熱電材料20を押し出すように、スライド
1の駆動を制御することができる。
【0024】ダイス11が設置されているベース7の上
には、ダイス11及び熱電材料20を加熱するためのヒ
ータ6が設置されている。ヒータ6を用いることによ
り、熱間押出し加工を行うことが可能である。ダイス1
1の温度は、ダイス11の近傍に配置された温度センサ
8によって計測される。温度センサ8の計測値をフィー
ドバックしてヒータ6の発熱量を制御することにより、
ダイス11及び熱電材料20を所望の温度に保つことが
できる。
【0025】熱間押出し加工は、アルゴン等の不活性ガ
ス雰囲気もしくは真空中で、加工温度を350℃〜60
0℃、より好ましくは420℃〜500℃程度に保ちな
がら、押出し速度を例えば0.1mm/minとして行
うことが望ましい。なお、本実施形態においては、ダイ
ス11を固定してパンチ13を移動させたが、この逆
に、パンチ13を固定してダイス11を移動させてもか
まわない。
【0026】図2は、本発明の第1の実施形態に係る押
出し加工装置において用いるダイスとパンチの構造を示
す側面断面図であり、図2の(A)と(B)は、押出し
加工中の2つの状態を示している。ダイス11には、パ
ンチ13が上下に出し入れされる入口側経路15と、成
形品が押し出される出口側経路17とが形成されてい
る。入口側経路15と出口側経路17は連通(継続)し
ており、入口側経路15の長手方向の軸と出口側経路1
7の長手方向の軸とが角度θを形成している。本発明に
おいては、角度θが0°より大きく180°より小さい
範囲にあることが必要であり、望ましくは45〜135
°とする。以下の実施形態においては、角度θを約90
°としている。
【0027】入口側経路15は、四角形(より好ましく
は矩形)の断面形状を有し、断面積は経路の長手方向に
おいてほぼ一定である。出口側経路17は、四角形(よ
り好ましくは矩形)の断面形状を有し、ダイス11の出
口に向かって断面積が減少する領域を有するように形成
されている。すなわち、出口側経路17は、入口側経路
15との連通部17aと、断面積が徐々に減少する絞り
部17bと、断面積が減少したままの縮径部17cとを
含んでいる。なお、出口側経路17の断面は、幅方向
(紙面と垂直な方向)の寸法をほぼ一定として、図中の
上下方向においてのみ絞りをかけることが望ましい。
【0028】熱電素子の製造に使用される熱電材料とし
ては、アンチモン、ビスマス、セレン、テルル、コバル
ト、マンガン、シリコン、亜鉛、マグネシウム、鉄、ゲ
ルマニウム等、及びこれらを含む化合物が挙げられる。
このような材料の溶製材、粉体、圧粉体、焼結体、及び
これらの加工体に対して、押出し加工が行われる。
【0029】さらに詳しく説明すると、例えば、V族元
素としてアンチモン(Sb)やビスマス(Bi)を用
い、VI族元素としてセレン(Se)やテルル(Te)
を用いる。V族元素とVI族元素の固溶体は、六方晶構
造を有する。熱電材料の具体的な組成については、P型
素子の材料として、テルル化ビスマス(Bi2Te3)と
テルル化アンチモン(Sb2Te3)との混晶系固溶体に
P型のドーパントを添加して用いたり、N型素子の材料
として、テルル化ビスマス(Bi2Te3)とセレン化ビ
スマス(Bi2Se3)との混晶系固溶体にN型のドーパ
ントを添加して用いることができる。
【0030】ダイス11を用いて熱電材料20の押出し
加工する際には、熱電材料20を入口側経路15に注入
し、パンチ13を下降させると、出口側経路17から成
形品が押し出される。このとき、図2(B)に示すよう
に、焼結体20には、様々なせん断応力が付加される。
入口側経路15と出口側経路17がほぼ直角に連通する
境界部Xがせん断帯となり、境界部Xにおいて熱電材料
20は強いせん断応力を受ける。
【0031】さらに、熱電材料20が出口側経路17に
進むと、同径路の絞り部17bの側面方向Eから外力を
受け、熱電材料20が塑性変形する。従って、L字押出
しと通常押出しのそれぞれの場合におけるせん断応力を
加えることができるので、結晶粒がさらに微細化し、配
向度が向上する。特に、径路の断面を矩形とすることに
より、ダイスの幅方向におけるせん断応力のバラツキを
なくして、せん断応力を均一化することができる。ま
た、ダイス11の出口側の形状は、上述のように絞り形
状となっているので、ダイス11の出口から加工を受け
て出てくる材料を拘束し、材料の破壊(座屈)を防ぐこ
とができる。
【0032】次に、本発明の第2の実施形態について説
明する。図3は、本発明の第2の実施形態に係る押出し
加工装置において用いるダイスとパンチの構造を示す側
面断面図であり、図3の(A)はパンチ押圧前、(B)
はパンチ押圧後の状態を示している。
【0033】本実施形態に係る押出し加工装置は、2つ
のパンチ13、14を備えている。ダイス21には、パ
ンチ13が上下に出し入れされる入口側経路25と、パ
ンチ14が左右に出し入れされる出口側経路27とが形
成されている。ダイス21において、入口側経路25と
出口側経路27は連通している。入口側経路25と出口
側経路27は、同じ四角形(より好ましくは矩形)の断
面形状を有し、それぞれの経路の断面積は長手方向にお
いてほぼ一定であることが望ましい。入口側経路25に
は、同径路に注入された材料を押すための押出しパンチ
(押出し工具)13が、同経路をスライドするように設
けられている。また、出口側経路27には、同径路から
押し出される材料を押し返すことにより背圧をかける押
さえパンチ(押さえ工具)14が、同経路をスライドす
るように設けられている。
【0034】ダイス21を用いて熱電材料の押出し加工
する際には、入口側経路25に熱電材料を注入し、押出
しパンチ13を下降させるとともに、押さえパンチ14
を背圧をかけながら後退させる。このとき、図3(B)
に示すように、熱電材料20には、様々なせん断応力が
付加される。すなわち、第1の実施形態と同様に、入口
側経路25と出口側経路27がほぼ直角に連通する境界
部Xがせん断帯となり、境界部Xにおいて熱電材料20
は強いせん断応力を受ける。さらに、熱電材料20は、
出口側経路27において押さえパンチ14から高い圧縮
応力Sを受けているため、境界部Xでのせん断応力が強
くなる。その後、押出しパンチ13と押さえパンチ14
の動きを逆転させて往復させることにより、繰り返し押
出しを行うこともできる。
【0035】また、本実施形態においては、入口側経路
25と出口側経路27の断面形状を同じにすることによ
り、材料の繰り返し押出しが可能となる。その場合に
は、材料に複数回せん断応力を付加することができるの
で、結晶粒がさらに微細化し、配向度が向上する。
【0036】次に、本発明の第3の実施形態について説
明する。図4は、本発明の第3の実施形態に係る押出し
加工装置において用いるダイスとパンチの構造を示す側
面断面図であり、図4の(A)と(B)は、押出し加工
中の2つの状態を示している。
【0037】本実施形態に係る押出し加工装置は、第2
の実施形態における2つのパンチの形状を変更したもの
である。押出しパンチ23は、その押出し面が、ダイス
21の境界部Xにおける熱電材料20のせん断面とほぼ
平行を保ちながら、入口側経路25をスライドする。ま
た、押さえパンチ24は、ダイス21の境界部Xにおけ
る熱電材料20のせん断面とほぼ平行を保ちながら、出
口側経路27をスライドする。これにより、押出し力の
方向を材料の移動方向と一致させて、よりスムーズな押
出し加工を行うことができる。
【0038】なお、本実施形態においては、燒結された
熱電材料のバルクを斜めに切り出すことにより押出し加
工用の熱電材料20を作成し、結晶のへき開面がダイス
21の境界部Xにおけるせん断面とほぼ平行となるよう
にして押出し加工を行うことが望ましい。
【0039】次に、本発明の第4の実施形態について説
明する。図5は、本発明の第4の実施形態に係る押出し
加工装置において用いるダイスとパンチの構造を示す側
面断面図である。ダイス31には、パンチ33が上下に
出し入れされる入口側経路35と、成形品が押し出され
る出口側経路37とが形成されている。ダイス31にお
いて、入口側経路35と出口側経路37は連通してい
る。
【0040】入口側経路35は、四角形(より好ましく
は矩形)の断面形状を有し、出口側経路37との連通部
に向かって断面積が減少する領域を有するように形成さ
れている。すなわち、入口側経路35は、断面積がほぼ
一定の入口部35aと、断面積が徐々に減少する絞り部
35bと、断面積が減少したままの縮径部35cとを含
んでいる。出口側経路37は、四角形(より好ましくは
矩形)の断面形状を有し、断面積は経路の長手方向にお
いてほぼ一定である。なお、入口側経路35の断面は、
幅方向(紙面と垂直な方向)の寸法をほぼ一定として、
図中の上下方向においてのみ絞りをかけることが望まし
い。
【0041】ダイス31を用いて熱電材料の押出し加工
する際には、熱電材料20を入口側経路35に注入し、
パンチ33を下降させると、出口側経路37から成形品
が押し出される。このとき、入口側経路35の絞り部3
5bの側面方向から外力を受け、熱電材料20が塑性変
形する。さらに、熱電材料20が出口側経路37に進む
と、入口側経路35と出口側経路37がほぼ直角に連通
する境界部Xがせん断帯となり、境界部Xにおいて熱電
材料20は強いせん断応力を受ける。従って、通常押出
しとL字押出しのそれぞれの場合におけるせん断応力を
加えることができるので、結晶粒がさらに微細化し、配
向度が向上する。特に、断面を矩形とすることにより、
ダイスの幅方向におけるせん断応力のバラツキをなくし
て、せん断応力を均一化することができる。
【0042】次に、本発明の第5の実施形態について説
明する。図6は、本発明の第5の実施形態に係る押出し
加工装置において用いるダイスとパンチの構造を示す側
面断面図である。ダイス41には、パンチ33が上下に
出し入れされる入口側経路45と、成形品が押し出され
る出口側経路47とが形成されている。ダイス41にお
いて、入口側経路45と出口側経路47は連通してい
る。
【0043】入口側経路45は、四角形(より好ましく
は矩形)の断面形状を有し、出口側経路47との連通部
に向かって断面積が減少する領域を有するように形成さ
れている。すなわち、入口側経路45は、断面積がほぼ
一定の入口部45aと、断面積が徐々に減少する絞り部
45bとを含んでいる。出口側経路47は、四角形(よ
り好ましくは矩形)の断面形状を有し、ダイス41の出
口に向かって断面積が減少する領域を有するように形成
されている。すなわち、出口側経路47は、入口側経路
45との連通部47aと、断面積が徐々に減少する絞り
部47bと、断面積が減少したままの縮径部47cとを
含んでいる。なお、入口側経路45及び出口側経路47
の断面は、幅方向(紙面と垂直な方向)の寸法をほぼ一
定として、図中の上下方向においてのみ絞りをかけるこ
とが望ましい。
【0044】ダイス41を用いて熱電材料の押出し加工
する際には、熱電材料20を入口側経路45に注入し、
パンチ33を下降させると、出口側経路47から成形品
が押し出される。このとき、入口側経路45の絞り部4
5bの側面方向から外力を受け、熱電材料20が塑性変
形する。さらに、熱電材料20が出口側経路47に進む
と、入口側経路45と出口側経路47がほぼ直角に連通
する境界部Xがせん断帯となり、熱電材料20は、強い
せん断応力を受ける。加えて、出口側経路47の絞り部
47bの側面方向から外力を受け、熱電材料20が塑性
変形する。
【0045】従って、L字押出しと2回分の通常押出し
のそれぞれの場合におけるせん断応力を加えることがで
きるので、結晶粒がさらに微細化し、配向度が向上す
る。特に、断面を矩形とすることにより、ダイスの幅方
向におけるせん断応力のバラツキをなくして、せん断応
力を均一化することができる。また、ダイス41の出口
側の形状は、上述のように絞り形状となっているので、
ダイス41の出口から加工を受けて出てくる材料を拘束
して、材料の破壊(座屈)を防ぐことができる。
【0046】次に、本発明の第6の実施形態について説
明する。図7は、本発明の第6の実施形態に係る押出し
加工装置において用いるダイスとパンチの構造を示す側
面断面図である。本実施形態に係る押出し加工装置のダ
イス51には、パンチ13が上下に出し入れされる入口
側経路55と、成形品が押し出される2つの出口側経路
57、58とが形成されている。入口側経路55と出口
側経路57、58は連通しており、出口側経路57、5
8は、入口側経路55に対してそれぞれ約90°の角度
を成し、互いに反対方向に延びている。また、出口側経
路57、58は、第1の実施形態と同様に、ダイスの出
口に向かって断面積が減少するように形成されている。
【0047】入口側経路55に熱電材料20を注入し、
パンチ13を下降させると、2つの出口側経路57、5
8から成形品が押し出される。このとき、入口側経路5
5と2つの出口側経路57、58とがほぼ直角に連通す
る2つの境界部X、Yはせん断帯となり、熱電材料20
にせん断応力が付加される。
【0048】なお、本実施形態においては2つの出口側
経路57、58を入口側経路55に対してそれぞれ約9
0°の角度を成すように設けたが、出口側経路は3つ以
上設けても良い。また、入口側経路と出口側経路との成
す角度は、0°より大きく180°より小さい範囲にあ
れば良く、特に45°〜135°の範囲が望ましい。
【0049】次に、本発明の第7の実施形態について説
明する。図8は、本発明の第7の実施形態に係る押出し
加工装置において用いるダイスとパンチの構造を示す側
面断面図である。本実施形態に係る押出し加工装置は、
3つのパンチ12、13、14を備えている。ダイス6
1には、パンチ13が上下に出し入れされる入口側経路
65と、パンチ12が左右に出し入れされる出口側経路
67と、パンチ14が左右に出し入れされる出口側経路
68とが形成されている。ダイス61において、入口側
経路65と出口側経路67、68は連通している。入口
側経路65には、同径路に注入された材料を押すための
押出しパンチ(押出し工具)13が、同経路をスライド
するように設けられている。また、出口側経路67に
は、同径路から押し出される材料を押し返すことにより
背圧をかける押さえパンチ(押さえ工具)12が、同経
路をスライドするように設けられている。同様に、出口
側経路68には、同径路から押し出される材料を押し返
すことにより背圧をかける押さえパンチ14が、同経路
をスライドするように設けられている。
【0050】ダイス61を用いて熱電材料の押出し加工
する際には、入口側経路65に熱電材料を注入し、押出
しパンチ13を下降させるとともに、押さえパンチ1
2、14を背圧をかけながら後退させる。このとき、入
口側経路65と2つの出口側経路67、68とがほぼ直
角に連通する2つの境界部X、Yはせん断帯となり、熱
電材料20にせん断応力が付加される。さらに、熱電材
料20は、出口側経路67、68において押さえパンチ
12、14から高い圧縮応力を受けているため、境界部
X、Yでのせん断応力が強くなる。
【0051】次に、本発明の第8の実施形態について説
明する。図9は、本発明の第8の実施形態に係る押出し
加工装置において用いるダイスとパンチの構造を示す側
面断面図である。本実施形態に係る押出し加工装置のダ
イス71には、パンチ13が上下に出し入れされる入口
側経路75と、成形品が押し出される出口側経路77
と、入口側経路75と出口側経路77とを接続する中間
経路76とが形成されている。各経路は連通しており、
入口側経路75と中間経路76のなす角度は約90°で
あり、中間経路76と出口側経路77のなす角度は約9
0°である。各経路の断面形状は、四角形(より好まし
くは矩形)である。また、入口側経路75の断面積と中
間経路76の断面積とは等しい。出口側経路77は、ダ
イス71の出口に向かって断面積が減少するように形成
されている。即ち、出口側経路77は、中間経路76と
の連通部から断面積が徐々に減少する絞り部77aと、
断面積が減少したままの縮径部77bとを含んでいる。
【0052】入口側経路75に熱電材料を注入し、パン
チ13を下降させると、焼結体は中間経路76を通って
出口側経路77から押し出される。このとき、連通する
経路内には、入口側経路75と中間経路76が直角に連
通する境界部X、及び、中間経路76と出口側経路77
が直角に連通する境界部Yの2ヶ所において、熱電材料
20に強いせん断帯が付加される。さらに、出口側経路
77には絞り部77aが形成されているため、この絞り
部77aにおいても側面方向Eから外力を受け、熱電材
料20が塑性変形する。従って、結晶粒をさらに微細化
させ、配向性を高めることが可能である。また、ダイス
71の出口側の形状は、上述のように絞り形状となって
いるので、ダイス71の出口から加工を受けて出てくる
材料を拘束して、材料の破壊(座屈)を防ぐことができ
る。
【0053】次に、本発明の第9の実施形態について説
明する。図10は、本発明の第9の実施形態に係る押出
し加工装置において用いるダイスとパンチの構造を示す
側面断面図である。本実施形態に係る押出し加工装置の
ダイス81には、パンチ13が上下に出し入れされる入
口側経路85と、成形品が押し出される出口側経路87
と、入口側経路85と出口側経路87とを接続する中間
経路86とが形成されている。各経路は連通しており、
入口側経路85と中間経路86のなす角度は約90°で
あり、中間経路86と出口側経路87のなす角度は約9
0°である。各経路の断面形状は、四角形(より好まし
くは矩形)である。また、各経路の断面積は、入口側経
路85、中間経路86、出口側経路87の順に小さくな
っている。さらに、出口側経路87は、ダイス81の出
口に向かって断面積が減少するように形成されている。
【0054】入口側経路85に熱電材料20を注入し、
パンチ13を下降させると、焼結体は中間経路86を通
って出口経路87から押し出される。このとき、これら
の経路は材料の出口側に向かうに従って断面積が減少し
ているため、材料の座屈を防ぐのに大変効果的である。
【0055】特に、第8の実施形態又は第9の実施形態
におけるように、押出し経路が複数の湾曲部をもつ場合
には、熱電材料20の先端にダミー材を入れて押出し加
工を行うことにより、材料の破壊を抑えることができ
る。
【0056】次に、本発明の第10の実施形態について
説明する。以下の実施形態においては、2つのパンチを
用いてT字押出しを行う。図11は、本発明の第10の
実施形態に係る押出し加工装置の概要を示す図である。
図11に示すように、押出し加工装置100は、粉末成
形された熱電材料20を押し出す2つのパンチ112、
113と、パンチ112、113によって押し出される
熱電材料20を塑性変形させる金型であるダイス111
とを含んでいる。パンチ112、113は、例えば油圧
アクチュエータ(油圧シリンダ)によって駆動されるス
ライド101、102によって左右に移動する。パンチ
112、113の押出し圧力は、荷重計103、104
によってそれぞれ計測され、パンチ112、113の変
位は、変位計105、106によってそれぞれ計測され
る。変位計105、106の計測値と経過時間との関係
をモニターすることにより、パンチ112、113がほ
ぼ一定の押出し速度で熱電材料20を押し出すように、
スライド101、102の駆動を制御することができ
る。
【0057】ダイス111が設置されているベース10
7の上には、ダイス111及び熱電材料20を加熱する
ためのヒータ108が設置されている。ヒータ108を
用いることにより、熱間押出し加工を行うことが可能で
ある。ダイス111の温度は、ダイス111の近傍に配
置された温度センサ109によって計測される。温度セ
ンサ109の計測値をフィードバックしてヒータ108
の発熱量を制御することにより、ダイス111及び熱電
材料20を所望の温度に保つことができる。
【0058】熱間押出し加工は、アルゴン等の不活性ガ
ス雰囲気もしくは真空中で、加工温度を350℃〜60
0℃、より好ましくは420℃〜500℃程度に保ちな
がら、押出し速度を例えば0.1mm/minとして行
うことが望ましい。
【0059】図12は、本発明の第10の実施形態に係
る押出し加工装置において用いるダイスとパンチの構造
を示す側面断面図である。本実施形態に係る押出し加工
装置のダイス111には、2つのパンチ112、113
が左右にそれぞれ出し入れされる2つの入口側経路12
1、122と、成形品が押し出される出口側経路123
とが形成されている。入口側経路112、113と出口
側経路123は連通している。本発明においては、出口
側経路123が、入口側経路112及び113に対して
0°より大きく180°より小さい角度を成すことが必
要であり、望ましくは45°〜135°とする。以下の
実施形態においては、この角度を約90°とし、また、
入口側経路112と113とが成す角を約180°とし
ている。
【0060】入口側経路121又は122から熱電材料
20を注入し、パンチ112及び113を駆動すると、
熱電材料20は両側から均等に加圧され、出口側経路1
23から成形品が押し出される。このとき、2つの入口
側経路121、122と出口側経路123とがほぼ直角
に連通する2つの境界部X、Yはせん断帯となり、熱電
材料20にせん断応力が付加される。このように、左右
から均等にせん断応力を付加することにより、熱電材料
における結晶粒の配向が、熱電材料の中心面に対して左
右対称となる。
【0061】次に、本発明の第11の実施形態について
説明する。図13は、本発明の第11の実施形態に係る
押出し加工装置において用いるダイスとパンチの構造を
示す側面断面図である。本実施形態に係る押出し加工装
置のダイス130には、2つのパンチ112、113が
左右にそれぞれ出し入れされる入口側経路131、13
2と、成形品が押し出される2つの出口側経路133と
が形成されている。出口側経路133には、第1の実施
形態と同様に、ダイスの出口に向かって断面積が減少す
るように、絞り部134が形成されている。
【0062】入口側経路131又は132に熱電材料2
0を注入し、パンチ112及び113を駆動すると、熱
電材料20は両側から均等に加圧され、出口側経路13
3から成形品が押し出される。このとき、2つの入口側
経路131、132と出口側経路133とがほぼ直角に
連通する2つの境界部X、Yはせん断帯となり、熱電材
料20にせん断応力が付加される。さらに、熱電材料2
0が出口側経路133に進むと、同径路の絞り部134
の側面方向Eから外力を受け、熱電材料20が塑性変形
する。これにより、熱電材料を構成する結晶粒がさらに
微細化し、配向度が向上する。
【0063】本実施形態によれば、T字押出しと通常押
出しとの両方により、熱電材料の中心線に対して左右対
称なせん断応力を受ける。従って、熱電材料の内部全体
に渡って、粒界の配向が左右対称であり、位置による組
織の特性にバラツキがない熱電材料を製造することがで
きる。
【0064】次に、本発明の第12の実施形態について
説明する。図14は、本発明の第12の実施形態に係る
押出し加工装置において用いるダイスとパンチの構造を
示す側面断面図である。本実施形態に係る押出し加工装
置は、3つのパンチ112、113、114を備えてい
る。ダイス140には、2つのパンチ112、113が
左右にそれぞれ出し入れされる入口側経路141、14
2と、パンチ114が上下に出し入れされる出口側経路
143とが形成されている。入口側経路141、142
には、同径路に注入された材料を両側から押すための押
出しパンチ112、113が、同経路をスライドするよ
うに設けられている。また、出口側経路67には、同径
路から押し出される材料を押し返すことにより背圧をか
ける押さえパンチ(押さえ工具)114が、同経路をス
ライドするように設けられている。
【0065】ダイス140を用いて熱電材料の押出し加
工する際には、入口側経路141又は142から熱電材
料を注入し、押出しパンチ112及び113を駆動させ
るとともに、押さえパンチ114を背圧をかけながら後
退させる。このとき、2つの入口側経路141、142
と出口側経路143とがほぼ直角に連通する2つの境界
部X、Yはせん断帯となり、熱電材料20にせん断応力
が付加される。さらに、熱電材料20は、出口側経路1
43において押さえパンチ114から高い圧縮応力を受
けているため、境界部X、Yでのせん断応力が強くな
る。
【0066】
【発明の効果】以上述べた様に、本発明によれば、L字
押出しと通常押出しのそれぞれの場合におけるせん断応
力を加えることができるので、結晶粒をさらに微細化
し、配向度を向上させることができる。この結晶粒の微
細化により熱伝導率κが小さくなり、性能指数Zが向上
する。また、配向度の向上によっても性能指数Zが向上
する。従って、高い熱電性能をもつ熱電材料を製造する
ことが可能となる。また、T字押出しによりせん断応力
を加える場合には、結晶粒を微細化すると共に、押出し
方向に対して左右対称な配向性を有し、位置による組織
の特性にバラツキがない、均質な熱電材料を製造するこ
とが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る押出し加工装置
の概要を示す図である。
【図2】本発明の第1の実施形態に係る押出し加工装置
において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断面図
であり、(A)と(B)は、押出し加工中の2つの状態
を示している。
【図3】本発明の第2の実施形態に係る押出し加工装置
において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断面図
であり、(A)はパンチ押圧前、(B)はパンチ押圧後
の状態を示している。
【図4】本発明の第3の実施形態に係る押出し加工装置
において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断面図
であり、(A)と(B)は、押出し加工中の2つの状態
を示している。
【図5】本発明の第4の実施形態に係る押出し加工装置
において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断面図
である。
【図6】本発明の第5の実施形態に係る押出し加工装置
において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断面図
である。
【図7】本発明の第6の実施形態に係る押出し加工装置
において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断面図
である。
【図8】本発明の第7の実施形態に係る押出し加工装置
において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断面図
である。
【図9】本発明の第8の実施形態に係る押出し加工装置
において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断面図
である。
【図10】本発明の第9の実施形態に係る押出し加工装
置において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断面
図である。
【図11】本発明の第10の実施形態に係る押出し加工
装置の概要を示す図である。
【図12】本発明の第10の実施形態に係る押出し加工
装置において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断
面図である。
【図13】本発明の第11の実施形態に係る押出し加工
装置において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断
面図である。
【図14】本発明の第12の実施形態に係る押出し加工
装置において用いるダイスとパンチの構造を示す側面断
面図である。
【図15】特開2000−124512号公報に開示さ
れている熱電半導体材料の製造方法を模式的に説明する
図であり、(A)はパンチ押圧前、(B)はパンチ押圧
後の状態を示している。
【図16】文献「強せん断付加押し出しによるBi−T
e系材料の配向制御」に開示されている方法を模式的に
説明する図であり、(A)はパンチ押圧前、(B)はパ
ンチ押圧後の状態を示している。
【符号の説明】
1、101、102 スライド 2、103、104 荷重計 5、105、106 変位計 6、108 ヒータ 7、107 ベース 8、109 温度センサ 10、100 押出し加工装置 11、21、31、41、51、61、71、81 ダ
イス 12、13、14、23、24、33 パンチ 15、25、35、45、55、65、75、85 入
口側経路 76、86 中間経路 17、27、37、47、57、58、67、68、7
7、87 出口側経路 20 熱電材料 111、130、140 ダイス 112、113、114 パンチ 121、122、131、142、141、142 入
口側経路 123、133、143 出口側経路 134 絞り部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 喜代治 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究本部内 (72)発明者 黒木 光博 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究本部内 Fターム(参考) 4E029 AA07 MB09

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 材料の入口側に位置する第1の押出し経
    路と、 前記第1の押出し経路に継続する第2の押出し経路であ
    って、前記第1の押出し経路に対して0度より大きく1
    80度より小さい角度を成す前記第2の押出し経路と、
    が少なくとも形成されており、いずれかの押出し経路に
    おいて、材料の出口側に向かって断面積が減少する領域
    を有するダイスを具備する押出し加工装置。
  2. 【請求項2】 材料の入口側に位置する第1の押出し経
    路と、前記第1の押出し経路に継続する第2の押出し経
    路であって、前記第1の押出し経路に対して0度より大
    きく180度より小さい角度を成す前記第2の押出し経
    路とが少なくとも形成されたダイスと、 前記第1の押出し経路に注入された材料を押すための押
    出し工具と、 前記第2の押出し経路から押し出される材料を押し返す
    ための押さえ工具と、を具備する押出し加工装置。
  3. 【請求項3】 前記第1及び第2の押出し経路の各々が
    矩形断面を有することを特徴とする請求項1又は2記載
    の押出し加工装置。
  4. 【請求項4】 前記ダイスが複数の出口を有することを
    特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載の押出し加
    工装置。
  5. 【請求項5】 第1の方向に設けられた材料の入口側に
    位置する第1の押出し経路と、 第2の方向に設けられた材料の入口側に位置する第2の
    押出し経路と、 前記第1及び第2の押出し経路に継続する第3の押出し
    経路であって、前記第1及び第2の押出し経路に対して
    0度より大きく180度より小さい角度を成す前記第3
    の押出し経路と、が少なくとも形成されたダイスを具備
    する押出加工装置。
  6. 【請求項6】 前記ダイスが、前記第3の押出し経路に
    おいて、材料の出口側に向かって断面積が減少する領域
    を有する、請求項5記載の押出加工装置。
  7. 【請求項7】 前記第1の押出し経路に注入された材料
    を第1の方向から押すための第1の押出し工具と、 前記第2の押出し経路に注入された材料を第2の方向か
    ら押すための第2の押出し工具と、 前記第3の押出し経路から押し出される材料を押し返す
    ための押さえ工具と、をさらに具備する請求項5記載の
    押出加工装置。
  8. 【請求項8】 前記第2の押出し経路が、前記第1の押
    出し経路と180度を成すことを特徴とする請求項5〜
    7のいずれか1項記載の押出加工装置。
  9. 【請求項9】 請求項1〜8のいずれか1項記載の押出
    し加工装置を用いて材料の押出し加工を行うことを特徴
    とする押出し加工方法。
  10. 【請求項10】 請求項1記載の押出し加工装置を用い
    て、1回の加工ごとに材料の断面積を小さくしながら材
    料の押出し加工を複数回行うことを特徴とする押出し加
    工方法。
  11. 【請求項11】 請求項1〜4のいずれか1項記載の押
    出加工装置を用いて、材料の先端にダミー材を入れなが
    ら材料の押出し加工を複数回行うことを特徴とする押出
    し加工方法。
  12. 【請求項12】 熱間で材料の押出し加工を行うことを
    特徴とする請求項9〜11のいずれか1項記載の押出し
    加工方法。
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