JP2002231127A - ガス放電表示装置の製造方法、及びガス放電表示装置製造用シート貼着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 表面に凹凸を有する基板上に電極又は誘電体
層を形成する際に、電極シート又は誘電体シートを貼着
する工程を簡略化し、材料費の削減と生産効率の向上を
可能にするガス放電表示装置の製造方法を提供する。 【解決手段】 隔壁１８を形成した第１の基板１１上に
アドレス電極（誘電体層）を形成する際に、第１の基板
１１上に電極シート３１（誘電体シート）を供給し、外
表面に所定の厚さのクッション材５１が取り付けられ、
所定の方向に回転可能とされた加圧ローラ５０を用い
て、第１の基板１１表面を電極シート３１（誘電体シー
ト）上から押圧することにより、第１の基板１１表面の
凹凸形状に沿って、電極シート３１（誘電体シート）を
貼着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イ等のガス放電表示装置の製造方法、及びガス放電表示
装置の製造工程に用いて好適なガス放電表示装置製造用
シート貼着装置に係り、特に、ガス放電表示装置の製造
工程において、表面に凹凸を有する基板上に、その凹凸
形状に沿って、電極シート又は誘電体シートを貼着する
技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ガス放電表示装置の代表例であるプラズ
マディスプレイは、対向配置された２枚の基板と、２枚
の基板のうち一方の基板の内表面に複数の隔壁と、隔壁
によって区画形成された複数の放電セルとを具備する構
造となっているが、製造工程を簡略化するために、隔壁
を一方の基板と一体形成した構造のプラズマディスプレ
イが開発されている。

【０００３】図７に、隔壁を一方の基板と一体形成した
構造のプラズマディスプレイ（ガス放電表示装置）の一
例の一部分を分解した概略斜視図を示し、このプラズマ
ディスプレイ１００の構造について説明する。図７に示
すように、プラズマディスプレイ１００は、対向配置さ
れた第１の基板（下側基板）１０１と第２の基板（上側
基板）１０２により構成され、第２の基板１０２の内表
面（第１の基板１０１に対向する側の面）には、ストラ
イプ状に複数の走査電極１０４Ａと維持電極１０４Ｂと
が形成され、これらの走査電極１０４Ａ、維持電極１０
４Ｂは透明な誘電体層１０３により覆われている。ま
た、誘電体層１０３は、図示は省略している、ＭｇＯ等
からなる保護膜により覆われて保護されている。

【０００４】一方、第１の基板１０１の内表面（第２の
基板１０２に対向する側の面）には、ガス放電を行う空
間である放電セル１０７を形成するために、走査電極１
０４Ａ、維持電極１０４Ｂと交差する方向に、所定の高
さを有する複数の隔壁１０８がストライプ状に設けられ
ており、複数の放電セル１０７が隔壁１０８によって区
画形成されている。また、隔壁１０８は第１の基板１０
１と一体形成されている。

【０００５】プラズマディスプレイ１００において、放
電セル１０７は凹曲面１０７ａを有するものとなってお
り、各放電セル１０７内には、アドレス電極１０６と、
反射率の高い誘電体層１０５と、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、
青（Ｂ）のうちいずれかの色を発光する蛍光体１０９と
が順次積層形成されている。

【０００６】プラズマディスプレイ１００は、放電セル
１０７の内部にＮｅ、Ｈｅ等の希ガスを封入した状態
で、上記の第１の基板１０１と第２の基板１０２とを合
わせて、周囲をシールガラス等により封着した構成とな
っている。また、上記電極１０４Ａ、１０４Ｂ、１０６
の一方の端部は、表示領域の外部にまで延出形成されて
おり、これらに接続された端子に選択的に所定の電圧を
印加することにより、選択的に放電セル１０７内の各電
極１０４Ａ、１０４Ｂ、１０６間に放電を発生させ、こ
の放電により放電セル１０７内の蛍光体１０９から所定
の色の励起光を発生させ、外部（観察者側）に表示する
ようになっている。

【０００７】隔壁１０８と第１の基板１０１とを一体形
成する方法としては、最終的に第１の基板１０１となる
平坦な基板の表面の放電セル１０７を形成する箇所をサ
ンドブラスト法などにより切削除去する方法、あるいは
最終的に第１の基板１０１となる平坦な基板を加熱して
軟化させた後、隔壁１０８のパターンが形成された型を
表面に押圧する方法などが採用されているが、いずれの
方法を用いた場合においても、隔壁１０８と第１の基板
１０１とを一体形成してからでなければ、アドレス電極
１０６、誘電体層１０５、蛍光体１０９を形成すること
ができない。

【０００８】図７に示すように、内表面に隔壁１０８を
形成した第１の基板１０１の表面は凹凸を有するものと
なっており、凹凸を有する第１の基板１０１の表面に均
一な厚みを有するアドレス電極１０６を容易に形成する
方法として、電極シートを用いる方法が開発されてい
る。また、誘電体層１０５についても形成工程が簡略化
されるため、誘電体シートを用いて形成する方法が開発
されている。

【０００９】以下に、電極シート（誘電体シート）を用
いた従来のアドレス電極１０６（誘電体層１０５）の形
成方法について説明する。第１の基板１０１の表面に、
電極シート（誘電体シート）を貼着した後、電極シート
（誘電体シート）をフォトリソグラフィー法により所定
のパターンに形成することにより、均一な厚みを有する
所定のパターンのアドレス電極１０６（誘電体層１０
５）を形成することができる。第１の基板１０１表面の
凹凸形状に沿って、第１の基板１０１と電極シート（誘
電体シート）との間に隙間を形成することなく電極シー
ト（誘電体シート）を貼着する方法としては従来、以下
に記載の方法が提案されている。

【００１０】従来の電極シート（誘電体シート）の貼着
方法として、第１の基板１０１表面に、電極シート（誘
電体シート）を供給し、所定の方向に回転可能とされた
円柱状の加圧ローラを用い、加圧ローラに対して第１の
基板１０１を相対的に平行移動させて、第１の基板１０
１表面の全面を電極シート（誘電体シート）上から押圧
する、いわゆるロールラミネート方式を用いた方法が提
案されている。

【００１１】第１の基板１０１表面に電極シート（誘電
体シート）を供給し、その上から直接加圧ローラを用い
て、ロールラミネート方式により第１の基板１０１表面
を押圧した場合には、第１の基板１０１表面の凹部に電
極シート（誘電体シート）が押し込まれないため、第１
の基板１０１表面の凹凸形状に沿って、第１の基板１０
１と電極シート（誘電体シート）との間に隙間を形成す
ることなく電極シート（誘電体シート）を貼着すること
が困難となっている。

【００１２】そこで、従来、図８に示すように、第１の
基板１０１表面に、一方の面に樹脂シート２１０が取り
付けられた電極シート（誘電体シート）２００を電極シ
ート（誘電体シート）２００側が第１の基板１０１側に
なるように連続的に供給し、８０〜１２０℃に加熱され
た加圧ローラ２２０を用い、樹脂シート２１０及び電極
シート（誘電体シート）２００を減圧下で押圧した後、
樹脂シート２１０を剥離する方法が提案されている。こ
の方法によれば、加圧ローラ２２０により樹脂シート２
１０を第１の基板１０１表面の凹凸形状に沿うように塑
性変形させることにより、電極シート（誘電体シート）
２００を第１の基板１０１表面の凹凸形状に沿って押圧
することができる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の電極シート
（誘電体シート）の貼着方法においては、樹脂シートを
１度使用すると塑性変形するため、樹脂シートを再利用
することができず、１回毎に廃棄する必要があり、材料
費が高くなるという問題点を有している。この問題は、
隔壁が第１の基板と一体形成されたガス放電表示装置に
顕著な問題であるが、このようなガス放電表示装置に限
ったものではなく、隔壁が第１の基板とは別部材から構
成されたガス放電表示装置においても、隔壁を形成した
後にアドレス電極と誘電体層を形成する場合に同様に生
じる問題である。

【００１４】そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなさ
れたもので、電極シート又は誘電体シートを用いて、表
面に凹凸を有する基板上に電極又は誘電体層を形成する
際に、電極シート又は誘電体シートを貼着する工程を簡
略化し、材料費の削減と生産効率の向上を可能にするガ
ス放電表示装置の製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するべ
く、本発明者が講じた手段は、対向配置された２枚の基
板を具備し、該２枚の基板のうち一方の基板の内表面
に、複数の隔壁と、該隔壁によって区画形成された複数
の放電セルと、各放電セル内に形成された電極と誘電体
層とを具備してなるガス放電表示装置の製造方法であっ
て、少なくとも前記隔壁を形成した基板上に電極又は誘
電体層を形成する際に、該基板上に電極シート又は誘電
体シートを供給し、外表面に所定の厚さのクッション材
が取り付けられ、所定の方向に回転可能とされた加圧ロ
ーラを用いて、前記基板表面を前記電極シート又は前記
誘電体シート上から押圧することにより、前記基板表面
の凹凸形状に沿って、前記電極シート又は前記誘電体シ
ートを貼着する工程を有することを特徴とする。本発明
のガス放電表示装置の製造方法において、前記電極シー
ト又は前記誘電体シートを貼着する工程において用いる
前記加圧ローラの前記クッション材としては、例えばゲ
ル材やゴム材からなるものを用いることができる。

【００１６】本発明のこのガス放電表示装置の製造方法
によれば、少なくとも隔壁を形成した基板上に電極又は
誘電体層を形成する際に、表面に所定の厚さのクッショ
ン材が取り付けられ、所定の方向に回転可能とされた加
圧ローラを用い、基板表面の凹凸形状に沿って電極シー
ト又は誘電体シートを貼着することにより、加圧ローラ
の外表面に取り付けられたクッション材が基板表面の凹
凸形状に沿って変形するので、電極シート又は誘電体シ
ートを基板表面の凹凸形状に沿って、基板と電極シート
又は誘電体シートとの間に隙間を形成することなく圧着
させることができる。

【００１７】さらに、クッション材は加圧ローラの外表
面に固定されているので、クッション材が基板上に残留
することがなく、基板表面を押圧した直後に、クッショ
ン材を離脱させることができ、表面に凹凸を有する基板
に連続的に電極シート又は誘電体シートをその凹凸形状
に沿って隙間なく容易に貼着することができる。また、
この方法によれば、樹脂シートが不要で、かつ、クッシ
ョン材が塑性変形することがなく何度も再利用可能であ
るため、材料費が高くなることもない。このように、本
発明によれば、表面に凹凸を有する基板上に電極又は誘
電体層を形成する際に、電極シート又は誘電体シートを
貼着する工程を簡略化し、材料費の削減と生産効率の向
上を可能にするガス放電表示装置の製造方法を提供する
ことができる。

【００１８】また、本発明のガス放電表示装置の製造方
法において、前記電極シート又は前記誘電体シートを貼
着する工程において、所定の温度に加熱しながら、前記
電極シート又は前記誘電体シートを貼着することが望ま
しい。所定の温度に加熱しながら、電極シート又は誘電
体シートを貼着することにより、電極シート又は誘電体
シートが軟化して伸びるので、基板表面の凹凸形状に沿
って、基板と電極シート又は誘電体シートとの間に隙間
を形成することなく均一に、電極シート又は誘電体シー
トを貼着することができる。

【００１９】さらに、前記電極シート又は前記誘電体シ
ートを貼着する工程において、減圧下で、前記電極シー
ト又は前記誘電体シートを貼着することが望ましい。減
圧下で、電極シート又は誘電体シートを貼着することに
より、基板表面と電極シート又は誘電体シートとの間に
空気等が残留することを防止することができるので、基
板表面の凹凸形状に沿って、より隙間なく均一に電極シ
ート又は誘電体シートを貼着することができる。

【００２０】また、本発明者は、外表面にクッション材
が取り付けられた加圧ローラを具備し、基板表面の凹凸
形状に沿って、電極シート又は誘電体シートを連続的か
つ自動的に貼着することができるガス放電表示装置製造
用シート貼着装置を発明した。本発明のガス放電表示装
置製造用シート貼着装置は、表面に少なくとも複数の隔
壁が形成されたガス放電表示装置用基板に、電極シート
又は誘電体シートを貼着するためのガス放電表示装置製
造用シート貼着装置であって、前記ガス放電表示装置用
基板を保持する基板保持手段と、該ガス放電表示装置用
基板の表面を押圧するように配置された、外表面に所定
の厚さのクッション材が取り付けられ、所定の方向に回
転可能とされた加圧ローラと、前記ガス放電表示装置用
基板と前記加圧ローラとの間に前記電極シート又は前記
誘電体シートを供給するためのシート供給手段と、前記
ガス放電表示装置用基板を前記加圧ローラに対して相対
的に平行移動させる相対移動手段とを有することを特徴
とする。

【００２１】本発明のこのガス放電表示装置製造用シー
ト貼着装置によれば、ガス放電表示装置用基板を保持す
る基板保持手段と、該ガス放電表示装置用基板の表面を
押圧するように配置された、外表面に所定の厚さのクッ
ション材が取り付けられ、所定の方向に回転可能とされ
た加圧ローラと、ガス放電表示装置用基板と加圧ローラ
との間に電極シート又は誘電体シートを供給するための
シート供給手段と、ガス放電表示装置用基板を加圧ロー
ラに対して相対的に平行移動させる相対移動手段とを有
しているので、ガス放電表示装置用基板と加圧ローラと
の間への電極シート又は誘電体シートの供給、外表面に
クッション材が取り付けられた加圧ローラによる、電極
シート又は誘電体シート上からのガス放電表示装置用基
板表面の押圧、加圧ローラの離脱、ガス放電表示装置用
基板の加圧ローラに対する相対的な平行移動を連続的か
つ自動的に行うことができる。

【００２２】また、上記で説明したように、所定の温度
に加熱しながら、電極シート又は誘電体シートを貼着す
ることが望ましいため、本発明のガス放電表示装置製造
用シート貼着装置は、少なくとも前記ガス放電表示装置
用基板と前記加圧ローラとの間に供給された前記電極シ
ート又は前記誘電体シートを所定の温度に加熱する加熱
手段をさらに有することが望ましい。

【００２３】また、上記で説明したように、減圧下で電
極シート又は誘電体シートを貼着することが望ましいた
め、本発明のガス放電表示装置製造用シート貼着装置
は、少なくとも前記ガス放電表示装置用基板と前記加圧
ローラとの間に供給された前記電極シート又は前記誘電
体シートと前記ガス放電表示装置用基板との間を減圧す
る減圧手段をさらに有することが望ましい。

【００２４】

【発明の実施の形態】次に、ガス放電表示装置の代表例
であるプラズマディスプレイを例として、本発明に係る
実施形態について詳細に説明する。はじめに、図１に基
づいて、本実施形態のガス放電表示装置の製造方法によ
り製造されたプラズマディスプレイ１０の構造について
説明する。図１は、プラズマディスプレイ１０の一部分
を分解した概略斜視図である。なお、図１に示すプラズ
マディスプレイは一例であり、本発明はこのプラズマデ
ィスプレイに限定されるものではない。

【００２５】図１に示すように、プラズマディスプレイ
１０は、対向配置されたガラスからなる第１の基板（下
側基板）１１と第２の基板（上側基板）１２により構成
され、第２の基板１２の内表面（第１の基板１１に対向
する側の面）には、ストライプ状に複数の走査電極１４
Ａと維持電極１４Ｂとが形成され、これらの走査電極１
４Ａ、維持電極１４Ｂは透明な誘電体層１３により覆わ
れている。また、誘電体層１３は、図示は省略してい
る、ＭｇＯ等からなる保護膜により覆われて保護されて
いる。なお、第２の基板１２の内表面において、走査電
極１４Ａと維持電極１４Ｂとは交互に形成されている。

【００２６】一方、第１の基板１１の内表面（第２の基
板１２に対向する側の面）には、ガス放電を行う空間で
ある放電セル１７を形成するために、走査電極１４Ａ、
維持電極１４Ｂの延在方向と交差する方向に、所定の高
さを有する複数の隔壁１８がストライプ状に設けられて
おり、複数の放電セル１７が隔壁１８によって区画形成
されている。複数の隔壁１８は第１の基板１１とは異な
る別部材からなっていてもよいが、図１に示すように、
プラズマディスプレイ１０の製造工程を簡略化するため
に、複数の隔壁１８は第１の基板１１と一体形成されて
いることが望ましい。また、放電セル１７は凹曲面１７
ａを有するものとなっており、各放電セル１７内には、
アドレス電極１６と、反射率の高い誘電体層１５と、赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のうちいずれかの色を発光
する蛍光体１９とが順次積層形成されている。

【００２７】プラズマディスプレイ１０は、放電セル１
７の内部にＮｅ、Ｈｅ等の希ガスを封入した状態で、上
記の第１の基板１１と第２の基板１２とを合わせて、周
囲をシールガラス等により封着した構成となっている。
また、上記電極１４Ａ、１４Ｂ、１６の一方の端部は、
表示領域の外部にまで延出形成されており、これらに接
続された端子に選択的に所定の電圧を印加することによ
り、選択的に放電セル１７内の電極１４Ａ、１４Ｂ、１
６間に放電を発生させ、この放電により放電セル１７内
の蛍光体１９から所定の色の励起光を発生させ、外部
（観察者側）に表示するようになっている。

【００２８】次に、本実施形態のガス放電表示装置の製
造方法の一例として、上記のプラズマディスプレイ１０
の製造方法について説明する。はじめに、図２、図３に
基づいて、プラズマディスプレイ１０の製造方法の概略
について説明した後、図４、図５に基づいて、プラズマ
ディスプレイ１０の製造方法におけるアドレス電極１６
と誘電体層１５の形成方法について詳細に説明する。な
お、本実施形態のガス放電表示装置の製造方法におい
て、第１の基板１１の表面上にアドレス電極１６又は誘
電体層１５を形成する際に、電極シート又は誘電体シー
トを第１の基板１１表面に貼着する方法が特徴的なもの
となっている。また、図２〜図５は、製造途中のプラズ
マディスプレイ１０を図１に示すＸ−Ｘ’線に沿って切
断したときの部分概略断面図を示している。また、以下
に記載の製造方法は一例であって、本発明は以下に記載
のものに限定されるものではない。

【００２９】はじめに、図２、図３に基づいてプラズマ
ディスプレイ１０の製造方法の概略について説明する。
まず、表面に隔壁１８が形成された第１の基板１１を製
造する。隔壁１８と第１の基板１１とを一体形成する方
法としては、最終的に第１の基板１１となる平坦な基板
の表面の放電セル１７を形成する箇所をサンドブラスト
法などにより切削除去する方法、あるいは最終的に第１
の基板１１となる平坦な基板を加熱して軟化させた後、
隔壁１８のパターンが形成された型を表面に押圧する方
法などがある。

【００３０】ここでは、例として、サンドブラスト法を
用いて、隔壁１８が形成された第１の基板１１を製造す
る方法について説明する。図２(a)に示す元の基板１１
Ａを洗浄して乾燥させた後、図２(b)に示すように、元
の基板１１Ａ上の全面にドライフィルムレジストを圧着
するなどして、フォトレジスト２１を形成する。次に、
図２(c)に示すように、フォトレジスト２１を、隔壁１
８の上面の位置及び形状に対応したパターンを有するフ
ォトマスク２２を用いて露光し、次いで、フォトレジス
ト２１を現像することにより、図２(d)に示すように、
隔壁１８の上面の位置及び形状に対応したパターンを有
するフォトレジスト２１を形成する。

【００３１】次に、図２(e)に示すように、元の基板１
１Ａのフォトレジスト２１で覆われていない部分をサン
ドブラスト法により切削することにより、放電セル１７
を形成する。サンドブラスト法によるエッチングは等方
性エッチングであるため、このとき形成される放電セル
１７は凹曲面１７ａを有するものとなる。次に、フォト
レジスト２１を剥離して乾燥させることにより、図２
(f)に示すように、内表面に隔壁１８が形成された第１
の基板１１を形成することができる。図２(f)に示すよ
うに、このとき形成される第１の基板１１は表面に凹凸
を有するものとなっている。

【００３２】次に、図３(a)に示すように、表面に隔壁
１８を形成した第１の基板１１の表面上にアドレス電極
１６と誘電体層１５とを順次積層形成する。本実施形態
において、表面に凹凸を有する第１の基板１１上に均一
な厚みを有するアドレス電極１６を容易に形成するため
に、アドレス電極１６を電極シートを用いて形成する。
また、誘電体層１５についても形成工程が簡略化される
ため、誘電体シートを用いて形成する。アドレス電極１
６及び誘電体層１５の形成方法の詳細については後述す
る。

【００３３】次に、図１に示した赤、緑、青（Ｒ、Ｇ、
Ｂ）に対応して各放電セル１７内部に、スクリーン、マ
スク等を利用してそれぞれ赤、緑、青（Ｒ、Ｇ、Ｂ）に
対応した３種類の蛍光体ペーストを選択的に印刷する。
その後、焼成によって各蛍光体ペーストのバインダーを
焼失させることにより、図３(b)に示すように、赤、
緑、青（Ｒ、Ｇ、Ｂ）に対応した蛍光体１９を、各放電
セル１７内の誘電体層１５表面を覆うように形成し、表
面にアドレス電極１６、誘電体層１５、蛍光体１９が順
次積層形成された第１の基板１１が製造される。

【００３４】一方、第２の基板１２の表面上に、走査電
極１４Ａ及び維持電極１４Ｂ、誘電体層１３、保護膜を
順次積層形成する。走査電極１４Ａ及び維持電極１４
Ｂ、誘電体層１３は、以下に記載のアドレス電極１６、
誘電体層１５の形成方法と同様の方法により形成しても
良いし、その他の公知の方法を用いて形成してもよい。
最後に、第１の基板１１表面の放電セル１７内部をＮ
ｅ、Ｈｅ等の希ガスで置換して、第１の基板１１と第２
の基板１２とを互いに貼り合わせ、その周囲を図示は省
略しているシールガラス等により封着することにより、
図１に示したプラズマディスプレイ１０が製造される。

【００３５】ここで、アドレス電極１６の形成方法につ
いて詳細に説明する。先に述べたように、本実施形態に
おいて、表面に凹凸を有する第１の基板１１上に均一な
厚みを有するアドレス電極１６を形成するために、電極
シートを用いてアドレス電極１６を形成する。すなわ
ち、第１の基板１１の表面にその凹凸形状に沿って電極
シートを貼着した後、フォトリソグラフィー法により電
極シートを所定のパターンに形成することにより、アド
レス電極１６を形成する。また、アドレス電極１６の形
成工程を簡略化するために、電極シートとして、感光性
を有するものを用いることが好ましい。以下に、電極シ
ートとして感光性を有するものを用いる場合を例とし
て、アドレス電極１６の形成方法について説明する。

【００３６】はじめに、感光性を有する電極シートを用
いたアドレス電極１６の製造方法の概略について説明す
る。図２(f)で示した、隔壁１８を形成した第１の基板
１１上の全面に、図４(a)に示すように、感光性を有す
る銀系などの電極シート３１を、第１の基板１１表面の
凹凸形状に沿って貼着する。なお、電極シート３１の厚
みは１０〜３０μｍと薄く、電極シート３１単独では強
度が低いため、電極シート３１を、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリエステル等からなる保護フィルムによっ
て保護した構造の保護フィルム付き電極シートを用いる
ことが望ましい。保護フィルム付き電極シートを用いた
場合には、保護フィルムを剥離して、最終的には、図４
(a)に示すように、電極シート３１のみを第１の基板１
１上に貼着する。

【００３７】保護フィルム付き電極シートとしては、電
極シート３１の両面に保護フィルムを取り付けた構造の
ものが好ましい。さらに、両面に保護フィルムを取り付
ける場合には、片方の保護フィルムを熱可塑性の高いポ
リエステル等により構成し、もう一方の保護フィルムを
より強度の高いポリエチレンテレフタレート等により構
成することが望ましい。なお、電極シート３１の貼着方
法の詳細については後述する。

【００３８】次に、図４(b)に示すように、アドレス電
極１６のパターンが形成されたフォトマスク３２を用
い、電極シート３１の露光を行い、次いで、電極シート
３１の現像を行うことにより、図４(c)に示すように、
所定のパターンを有するアドレス電極１６が形成され
る。

【００３９】ここで、図５に基づいて、両面に保護フィ
ルムが形成された保護フィルム付き電極シートを用い
て、第１の基板１１表面に電極シート３１を貼着する方
法について説明する。両面に保護フィルムが形成された
保護フィルム付き電極シートを用いる場合には、電極シ
ート３１を第１の基板１１表面に貼着する直前に、片方
の保護フィルムを剥離する。次いで、図５に示すよう
に、第１の基板１１上に、保護フィルムを剥離した側の
面が第１の基板１１側に位置するように、電極シート３
１を連続的に供給しながら、所定の方向に回転可能とさ
れた円柱状の加圧ローラ５０を用い、加圧ローラ５０に
対して第１の基板１１を相対的に平行移動させることに
より、第１の基板１１表面の全面を電極シート３１上に
残された保護フィルム側から押圧する。このように、い
わゆるロールラミネート方式により、電極シート３１を
残された保護フィルムとともに第１の基板１１表面の凹
凸形状に沿って貼着する。

【００４０】なお、加圧ローラ５０に対して第１の基板
１１を相対的に平行移動させればよいので、加圧ローラ
５０の設置箇所を固定して、第１の基板１１を平行移動
させてもよいし、第１の基板１１の設置箇所を固定し
て、加圧ローラ５０を回転させながら平行移動させても
良い。図５においては、隔壁１８の延在方向に対して垂
直方向に、第１の基板１１を加圧ローラ５０に対して相
対的に平行移動させる場合についてのみ図示している
が、本発明はこれに限定されるものではなく、第１の基
板１１を加圧ローラ５０に対して相対的に平行移動させ
る方向は隔壁１８の延在方向に対して平行な方向など、
いかなる方向であっても良い。

【００４１】本実施形態において、電極シート３１を貼
着する際に用いる加圧ローラ５０の構造が特徴的なもの
となっており、図５に示すように、加圧ローラ５０は、
円柱状の加圧部材５２の外表面に、ゲル材又はゴム材な
どからなる、加圧部材５２よりも柔らかいクッション材
５１が取り付けられた構造を有するものである。円柱状
の加圧部材５２としては、例えば、円柱状の金属部材あ
るいは、円柱状の金属部材の表面に、硬度が５０°程度
以上の硬いシリコンゴムなどが貼着された構造のものを
例示することができる。

【００４２】クッション材５１は、第１の基板１１表面
の凹凸形状に沿って変形することが可能な程度の柔軟性
と、通常のロールラミネート工程に用いる加圧ローラと
同様の耐熱性の他に、耐久性や第１の基板１１表面から
の離脱性に優れた材質で構成する。このような特性を有
する好適な材質としては、シリコン、エチレンプロピレ
ン、クロロプレン、ブチル、ウレタンなどの材料からな
るゲル材又はゴム材を例示することができる。クッショ
ン材５１は、以上のような特性を有するとともに、クッ
ション材５１のみが第１の基板１１表面に接触し、クッ
ション材５１よりも内側の部分（すなわち、クッション
材５１よりも硬い加圧部材５２）が第１の基板１１表面
に接触しないように、所定の厚みに加工される。

【００４３】最後に、残った保護フィルムを剥離するこ
とにより、第１の基板１１の表面に電極シート３１のみ
を貼着することができる。なお、図５においては簡略化
のため、電極シート３１上に残された保護フィルムの図
示を省略している。また、図５において、符号５３より
図示右側の部分が電極シート３１を貼着し終えた部分、
符号５３より図示左側の部分が電極シート３１を貼着す
る前の部分である。

【００４４】本実施形態において、電極シート３１の両
面に形成された保護フィルムのうち、熱可塑性の高いポ
リエステル等からなる保護フィルムを後から剥離するこ
とが望ましい。また、所定の温度に加熱しながら、電極
シート３１を貼着することが望ましく、熱可塑性の高い
保護フィルム上から電極シート３１を加熱しながら押圧
することにより、第１の基板１１上に貼着する際に、保
護フィルムが軟化して第１の基板１１表面の凹凸形状に
沿って塑性変形するため、第１の基板１１表面の凹凸形
状に沿ってより隙間なく、電極シート３１を貼着するこ
とができる。

【００４５】次に、上記構造を有する加圧ローラ５０を
具備し、電極シート３１を貼着する際に用いて好適な本
発明のガス放電表示装置製造用シート貼着装置について
説明する。本発明のガス放電表示装置製造用シート貼着
装置は、電極シート３１を貼着する第１の基板１１（ガ
ス放電表示装置用基板）を保持する基板保持手段と、第
１の基板１１表面を押圧するように配置された、上記構
成の加圧ローラ５０と、第１の基板１１と加圧ローラ５
０との間に電極シート３１を供給するためのシート供給
手段と、第１の基板１１を加圧ローラ５０に対して相対
的に平行移動させる相対移動手段とを少なくとも有する
ものである。

【００４６】また、本発明のガス放電表示装置製造用シ
ート貼着装置は、少なくとも第１の基板１１と加圧ロー
ラ５０との間に供給された電極シート３１を所定の温度
に加熱する加熱手段と、少なくとも第１の基板１１と加
圧ローラ５０との間に供給された電極シート３１と第１
の基板１１との間を減圧する減圧手段をさらに有するも
のであることが望ましい。

【００４７】以下に図６に基づいて、ガス放電表示装置
製造用シート貼着装置の一実施形態について説明する。
なお、図６に示すガス放電表示装置製造用シート貼着装
置は一例であって、本発明はこのガス放電表示装置製造
用シート貼着装置に限定されるものではない。図６にお
いて、符号１１は図５に示す第１の基板１１を縮小した
ものを示しており、簡略化のため、第１の基板１１表面
の凹凸形状の図示を省略している。また、図６において
は、図５と同様に、両面に保護フィルムが形成された保
護フィルム付き電極シートを用いて、第１の基板１１表
面に電極シート３１を貼着する場合の装置について図示
している。

【００４８】図６において、符号６０はガス放電表示装
置製造用シート貼着装置、符号６１は第１の基板１１を
保持する基板保持手段と、第１の基板１１を加圧ローラ
５０に対して平行移動させる相対移動手段を兼ねた基板
搬送用フィルム、符号６２は第１の基板１１と加圧ロー
ラ５０との間に電極シート３１を供給するためのシート
供給手段、符号６３は電極シート３１の片方の面に取り
付けられた保護フィルムを自動的に剥離する保護フィル
ム剥離用ローラ、符号６４はバックアップロールを示し
ている。

【００４９】ガス放電表示装置製造用シート貼着装置６
０において、基板搬送用フィルム供給用ローラ６５を図
示反時計回り方向に回転させることにより、基板搬送用
フィルム６１を図示右方向から図示左方向に平行移動さ
せて、第１の基板１１を図示右方向から図示左方向に搬
送できる構造となっている。なお、第１の基板１１は、
電極シート３１を貼着する側の面を上側にした状態で搬
送される。また、シート供給手段６２は、ロール状に巻
かれた保護フィルム付き電極シート６６を図示時計回り
方向に回転させることにより、第１の基板１１と加圧ロ
ーラ５０との間に電極シート３１を自動的に供給するこ
とができる構造となっている。

【００５０】また、図６に示すように、ロール状に巻か
れた保護フィルム付き電極シート６６から供給された保
護フィルム付き電極シート３１が第１の基板１１に供給
されるまでの間に、保護フィルム剥離用ローラ６３を図
示反時計回り方向に回転させることにより、電極シート
３１の片方の面に取り付けられた保護フィルムを自動的
に剥離することができる構造となっている。加圧ローラ
５０の詳細な構造については先に説明したので説明は省
略する。なお、ガス放電表示装置製造用シート貼着装置
６０において、図５で示したように、加圧ローラ５０
は、クッション材５１が第１の基板１１表面を押圧する
ように配置されている。また、片方の保護フィルムを剥
離した後、電極シート３１上にはもう一方の保護フィル
ムが残されているが、図面上は簡略化のため省略してい
る。

【００５１】また、加圧ローラ５０と対向するように、
バックアップローラ６４が設けられており、加圧ローラ
５０とバックアップローラ６４との間に第１の基板１１
を挟み込んだ状態で、加圧ローラ５０とバックアップロ
ーラ６４をそれぞれ図示時計回り方向、図示反時計回り
方向に回転させることにより、第１の基板１１を上下方
向から加圧するとともに、第１の基板１１を図示左側に
送り出す構造となっている。

【００５２】また、所定の温度に加熱しながら、電極シ
ート３１を貼着することが望ましいため、ガス放電表示
装置製造用シート貼着装置６０は、少なくとも第１の基
板１１と加圧ローラ５０との間に供給された電極シート
３１を所定の温度（例えば、８０〜１２０℃程度）に加
熱する加熱手段（図示略）をさらに有するものであるこ
とが望ましい。なお、加熱手段は、例えば、加圧ローラ
５０のみを加熱することによって、第１の基板１１と加
圧ローラ５０との間に供給された電極シート３１のみを
加熱するものであってもよいし、ガス放電表示装置製造
用シート貼着装置６０の内部全体を加熱するものであっ
てもよく、少なくとも第１の基板１１と加圧ローラ５０
との間に供給された電極シート３１を所定の温度に加熱
することができるものであればいかなるものであっても
よい。

【００５３】また、減圧下で電極シート３１を貼着する
ことが望ましいため、ガス放電表示装置製造用シート貼
着装置６０は、少なくとも第１の基板１１と加圧ローラ
５０との間に供給された電極シート３１と第１の基板１
１との間を減圧することが可能な減圧手段（図示略）を
さらに有することが望ましい。例えば、減圧手段として
は、ガス放電表示装置製造用シート貼着装置６０に接続
され、ガス放電表示装置製造用シート貼着装置６０の内
部全体を減圧にすることが可能な真空ポンプ等により構
成することができる。また、ガス放電表示装置製造用シ
ート貼着装置６０は、第１の基板１１上に電極シート３
１を貼着した後、さらに、残った保護フィルムを剥離す
る手段（図示略）を有する。

【００５４】このガス放電表示装置製造用シート貼着装
置６０を用いることにより、第１の基板１１と加圧ロー
ラ５０との間への電極シート３１の供給、外表面に所定
の厚さのクッション材５１が取り付けられた加圧ローラ
５０による、電極シート３１上からの第１の基板１１表
面の押圧、加圧ローラ５０の離脱、第１の基板１１の加
圧ローラに対する相対的な平行移動を連続的かつ自動的
に行うことができる。

【００５５】なお、上記のガス放電表示装置製造用シー
ト貼着装置６０においては、加圧ローラ５０の設置箇所
を固定して、第１の基板１１を搬送させることにより、
第１の基板１１を加圧ローラ５０に対して相対的に平行
移動させる構造、すなわち基板搬送用フィルム６１が基
板保持手段と相対移動手段とを兼ねた構造としたが、本
発明はこれに限定されるものではない。すなわち、基板
保持手段と相対移動手段とを別の要素から構成しても良
く、第１の基板１１を基板保持手段により固定し、加圧
ローラ５０を平行移動させる手段（相対移動手段）を設
け、加圧ローラ５０を回転させながら平行移動させるこ
とにより、第１の基板１１を加圧ローラ５０に対して相
対的に平行移動させる構造としてもよい。

【００５６】次に、誘電体層１５の形成方法について簡
単に説明する。図４(c)に示したアドレス電極１６を形
成した第１の基板１１表面の全面にその凹凸形状に沿っ
て、ガラスシート等の誘電体シートを貼着することによ
り、誘電体層１５を形成することができる。この工程に
おいて、電極シート３１を第１の基板１１表面に貼着す
る際に用いた加圧ローラ５０と同じ加圧ローラを用い、
電極シート３１の貼着と同様の方法で、誘電体シートを
貼着する（図５参照）。

【００５７】また、この工程において、上記の本実施形
態のガス放電表示装置製造用シート貼着装置６０を用
い、ロール状に巻かれた保護フィルム付き電極シート６
６の代わりに、ロール状に巻かれた誘電体シートを用い
ることにより、連続的かつ自動的に誘電体シートの貼着
を行うことができる。また、この工程において、アドレ
ス電極１６を形成する際と同様に、減圧下で、所定の温
度に加熱しながら、誘電体シートを貼着することが望ま
しい。

【００５８】本実施形態のガス放電表示装置の製造方法
によれば、隔壁１８を形成した第１の基板１１上にアド
レス電極１６又は誘電体層１５を形成する際に、外表面
に所定の厚さのクッション材５１が取り付けられ、所定
の方向に回転可能とされた加圧ローラ５０を用い、第１
の基板１１表面の凹凸形状に沿って、電極シート３１又
は誘電体シートを貼着することにより、加圧ローラ５０
の外表面に取り付けられたクッション材５１が第１の基
板１１表面の凹凸形状に沿って変形するので、電極シー
ト３１又は誘電体シートを第１の基板１１表面の凹凸形
状に沿って、第１の基板１１と電極シート３１又は誘電
体シートとの間に隙間を形成することなく圧着させるこ
とができる。

【００５９】さらに、クッション材５１は加圧ローラ５
０の外表面に固定されているので、クッション材５１が
第１の基板１１上に残留することがなく、第１の基板１
１表面を押圧した直後に、クッション材５１を離脱させ
ることができ、表面に凹凸を有する第１の基板１１上に
連続的に、電極シート３１又は誘電体シートをその凹凸
形状に沿って隙間なく容易に貼着することができる。ま
た、この方法によれば、樹脂シートが不要で、かつ、ク
ッション材５１が塑性変形することがなく何度も再利用
することができるので、材料費が高くなることもない。
このように、本実施形態によれば、表面に凹凸を有する
第１の基板１１上にアドレス電極１６又は誘電体層１５
を形成する際に、電極シート３１又は誘電体シートを貼
着する工程を簡略化し、材料費の削減と生産効率の向上
を可能にするガス放電表示装置の製造方法を提供するこ
とができる。

【００６０】また、本実施形態のガス放電表示装置の製
造方法において、電極シート３１又は誘電体シートを貼
着する工程において、所定の温度に加熱しながら、電極
シート３１又は誘電体シートを貼着することが望まし
い。所定の温度に加熱しながら、電極シート３１又は誘
電体シートを貼着することにより、電極シート３１又は
誘電体シートが軟化して伸びるので、第１の基板１１表
面の凹凸形状に沿って、第１の基板１１と電極シート３
１又は誘電体シートとの間に隙間を形成することなく均
一に、電極シート３１又は誘電体シートを貼着すること
ができる。

【００６１】さらに、電極シート３１又は誘電体シート
を貼着する工程において、減圧下で、電極シート３１又
は誘電体シートを貼着することが望ましい。減圧下で、
電極シート３１又は誘電体シートを貼着することによ
り、第１の基板１１表面と電極シート３１又は誘電体シ
ートとの間に空気等が残留することを防止することがで
きるので、第１の基板１１表面の凹凸形状に沿って、よ
り隙間なく均一に電極シート３１又は誘電体シートを貼
着することができる。

【００６２】また、本実施形態のガス放電表示装置製造
用シート貼着装置６０によれば、第１の基板１１を保持
する基板保持手段（基板搬送用フィルム６１）と、第１
の基板１１表面を押圧するように配置され、外表面に所
定の厚さのクッション材５１が取り付けられ、所定の方
向に回転可能とされた加圧ローラ５０と、第１の基板１
１と加圧ローラ５０との間に電極シート３１又は誘電体
シートを供給するためのシート供給手段６２と、第１の
基板１１を加圧ローラ５０に対して相対的に平行移動さ
せる相対移動手段（基板搬送用フィルム６１）とを有し
ているので、第１の基板１１と加圧ローラ５０との間へ
の電極シート３１又は誘電体シートの供給、外表面に所
定の厚さのクッション材５１が取り付けられた加圧ロー
ラ５０による、電極シート３１又は誘電体シート上から
の第１の基板１１表面の押圧、加圧ローラ５０の離脱、
第１の基板１１の加圧ローラ５０に対する相対的な平行
移動を連続的かつ自動的に行うことができる。

【００６３】なお、本実施形態においては、隔壁１８が
第１の基板１１と一体形成されたプラズマディスプレイ
（ガス放電表示装置）についてのみ説明したが、本発明
はこのようなガス放電表示装置に限ったものではなく、
隔壁が第１の基板とは別部材から構成されたガス放電表
示装置にも、同様に適用することができる。

【００６４】

【発明の効果】以上説明したように、本実施形態のガス
放電表示装置の製造方法によれば、表面に凹凸を有する
基板上に電極又は誘電体層を形成する際に、電極シート
又は誘電体シートを貼着する工程を簡略化し、材料費の
削減と生産効率の向上を可能にするガス放電表示装置の
製造方法を提供することができる。また、本実施形態の
ガス放電表示装置製造用シート貼着装置によれば、ガス
放電表示装置用基板と加圧ローラとの間への電極シート
又は誘電体シートの供給、外表面に所定の厚さのクッシ
ョン材が取り付けられた加圧ローラによる、電極シート
又は誘電体シート上からのガス放電表示装置用基板表面
の押圧、加圧ローラの離脱、ガス放電表示装置用基板の
加圧ローラに対する相対的な平行移動を連続的かつ自動
的に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は、本発明に係る実施形態のガス放電表
示装置の製造方法により製造されたプラズマディスプレ
イ（ガス放電表示装置）の一部分を分解した概略斜視図
である。

【図２】 図２(a)〜(f)は、本発明に係る実施形態のガ
ス放電表示装置の製造方法の概略を示す工程図である。

【図３】 図３(a)、(b)は、本発明に係る実施形態のガ
ス放電表示装置の製造方法の概略を示す工程図である。

【図４】 図４(a)〜(c)は、本発明に係る実施形態のガ
ス放電表示装置の製造方法において、アドレス電極の形
成方法を示す工程図である。

【図５】 図５は、本発明に係る実施形態のガス放電表
示装置の製造方法において、アドレス電極を形成する際
に、電極シートを貼着する方法を示す図である。

【図６】 図６は、本発明に係る実施形態のガス放電表
示装置製造用シート貼着装置の構造を示す図である。

【図７】 図７は、隔壁を一方の基板と一体形成した構
造のプラズマディスプレイ（ガス放電表示装置）の一例
の一部分を分解した概略斜視図である。

【図８】 図８は、従来の電極シート（誘電体シート）
の貼着方法を示す図である。

【符号の説明】

１０ プラズマディスプレイ（ガス放電表示装置） １１ 第１の基板（下側基板） １２ 第２の基板（上側基板） １３ 誘電体層 １５ 誘電体層 １６ アドレス電極 １４Ａ 走査電極 １４Ｂ 維持電極 １７ 放電セル １７ａ 凹曲面 １８ 隔壁 １９ 蛍光体 ３１ 電極シート ５０ 加圧ローラ ５１ クッション材 ５２ 加圧部材 ６０ ガス放電表示装置製造用シート貼着装置 ６１ 基板搬送用フィルム（基板保持手段、相対移動
手段） ６２ シート供給手段 ６３ 保護フィルム剥離用ローラ ６４ バックアップロール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺尾 芳孝 神奈川県横浜市鶴見区菅沢町２−７ 株式 会社サムスン横浜研究所 電子研究所内 (72)発明者 張 世芳 神奈川県横浜市鶴見区菅沢町２−７ 株式 会社サムスン横浜研究所 電子研究所内 (72)発明者 山田 幸香 神奈川県横浜市鶴見区菅沢町２−７ 株式 会社サムスン横浜研究所 電子研究所内 Ｆターム(参考） 5C027 AA01 AA05 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GC19 GD09 JA15 LA17 MA26

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向配置された２枚の基板を具備し、該
   ２枚の基板のうち一方の基板の内表面に、複数の隔壁
   と、該隔壁によって区画形成された複数の放電セルと、
   各放電セル内に形成された電極と誘電体層とを具備して
   なるガス放電表示装置の製造方法であって、 少なくとも前記隔壁を形成した基板上に電極又は誘電体
   層を形成する際に、 該基板上に電極シート又は誘電体シートを供給し、 外表面に所定の厚さのクッション材が取り付けられ、所
   定の方向に回転可能とされた加圧ローラを用いて、前記
   基板表面を前記電極シート又は前記誘電体シート上から
   押圧することにより、 前記基板表面の凹凸形状に沿って、前記電極シート又は
   前記誘電体シートを貼着する工程を有することを特徴と
   するガス放電表示装置の製造方法。
2. 【請求項２】 前記電極シート又は前記誘電体シートを
   貼着する工程において、所定の温度に加熱しながら、前
   記電極シート又は前記誘電体シートを貼着することを特
   徴とする請求項１に記載のガス放電表示装置の製造方
   法。
3. 【請求項３】 前記電極シート又は前記誘電体シートを
   貼着する工程において、減圧下で、前記電極シート又は
   前記誘電体シートを貼着することを特徴とする請求項１
   又は請求項２に記載のガス放電表示装置の製造方法。
4. 【請求項４】 前記電極シート又は前記誘電体シートを
   貼着する工程において用いる前記加圧ローラの前記クッ
   ション材が、ゲル材又はゴム材からなることを特徴とす
   る請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のガ
   ス放電表示装置の製造方法。
5. 【請求項５】 表面に少なくとも複数の隔壁が形成され
   たガス放電表示装置用基板に、電極シート又は誘電体シ
   ートを貼着するためのガス放電表示装置製造用シート貼
   着装置であって、 前記ガス放電表示装置用基板を保持する基板保持手段
   と、 該ガス放電表示装置用基板の表面を押圧するように配置
   された、外表面に所定の厚さのクッション材が取り付け
   られ、所定の方向に回転可能とされた加圧ローラと、 前記ガス放電表示装置用基板と前記加圧ローラとの間に
   前記電極シート又は前記誘電体シートを供給するための
   シート供給手段と、 前記ガス放電表示装置用基板を前記加圧ローラに対して
   相対的に平行移動させる相対移動手段とを有することを
   特徴とするガス放電表示装置製造用シート貼着装置。
6. 【請求項６】 少なくとも前記ガス放電表示装置用基板
   と前記加圧ローラとの間に供給された前記電極シート又
   は前記誘電体シートを所定の温度に加熱する加熱手段を
   さらに有することを特徴とする請求項５に記載のガス放
   電表示装置製造用シート貼着装置。
7. 【請求項７】 少なくとも前記ガス放電表示装置用基板
   と前記加圧ローラとの間に供給された前記電極シート又
   は前記誘電体シートと前記ガス放電表示装置用基板との
   間を減圧する減圧手段をさらに有することを特徴とする
   請求項５又は請求項６に記載のガス放電表示装置製造用
   シート貼着装置。
8. 【請求項８】 前記加圧ローラの外表面に形成された前
   記クッション材が、ゲル材又はゴム材からなることを特
   徴とする請求項５から請求項７までのいずれか１項に記
   載のガス放電表示装置製造用シート貼着装置。