KR100560535B1 - 가스 방전 표시장치의 제조 방법 및 가스 방전 표시장치제조용 시트 부착장치 - Google Patents

Abstract

표면에 요철을 가지는 기판 상에 전극 또는 유전체층을 형성시, 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착하는 공정을 간략화함으로써 재료비의 삭감과 생산효율의 향상을 가능하게 하기 위하여, 격벽을 형성한 제1 기판상에 어드레스 전극(유전체층)을 형성할 때, 제1 기판 상에 전극 시트(유전체시트)를 공급하고, 외부 표면에 기설정된 두께를 갖는 쿠션재가 장착되어 기설정된 방향으로 회전 가능하게 된 가압 롤러를 이용하여, 제1 기판 표면을 전극 시트(유전체시트) 위에서 가압함으로써 제1 기판 표면의 요철 형상에 따라 전극 시트(유전체시트)를 부착한다.

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Description

가스 방전 표시장치의 제조 방법 및 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치{METHOD OF MANUFACTURING FOR GAS DISCHARGE TYPE DISPLAY DEVICE AND ATTACHING MACHINE OF SEAT FOR MANUFACTURING OF GAS DISCHARGE TYPE DISPLAY}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 가스방전표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 플라스마 디스플레이(가스 방전 표시장치)의 일부분을 분해하여 도시한 개략 사시도이고,

도 2a 내지 도 2f는 본 발명의 실시예에 따른 가스 방전 표시장치의 제조 방법을 개략적으로 도시한 공정도이고,

도 3a와 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 가스 방전 표시장치의 제조 방법을 개략적으로 도시한 공정도이고,

도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 가스 방전 표시장치의 제조 방법에 있어서 어드레스 전극의 형성 방법을 나타내는 공정도이고,

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 가스 방전 표시장치의 제조 방법에 있어서 어드레스 전극을 형성할 때에 전극 시트를 부착하는 방법을 도시한 도면이고,

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치의 구조를 도시한 도면이고,

도 7은 격벽을 한 쪽 기판과 일체로 형성한 구조의 플라스마 디스플레이(가 스 방전 표시장치)의 일례의 일부분을 분해하여 도시한 개략 사시도이고,

도 8은 종래의 전극 시트(유전체 시트)의 부착 방법을 설명하기 위해 도시한 도면이다.

본 발명은 플라즈마 디스플레이 등의 가스 방전 표시장치의 제조 방법 및 가스 방전 표시장치의 제조 공정에 이용하기 바람직한 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치에 관한 것으로서, 특히 가스 방전 표시장치의 제조 공정에 있어서, 표면에 요철을 가지는 기판 상에 상기 요철 형상에 따라 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착하는 기술에 관한 것이다.

가스 방전 표시장치의 대표적인 예인 플라즈마 디스플레이는, 대향 배치된 2장의 기판과, 2장의 기판 중 한 쪽 기판의 내표면에 복수의 격벽과 이 격벽에 의해서 구획 형성된 복수의 방전셀을 구비하는 것이 통상적인 구조이나, 제조 공정을 간략화하기 위하여 격벽을 한 쪽 기판과 일체로 형성한 구조의 플라즈마 디스플레이가 개발되고 있다.

도 7은 격벽을 한 쪽 기판과 일체로 형성한 구조의 플라즈마 디스플레이(가스 방전 표시장치)의 일례의 일부분을 분해하여 도시한 개략 사시도로서, 이 도 7을 참조하여 플라즈마 디스플레이(100)의 구조에 대해 설명하도록 한다.

도 7에 도시한 바와 같이, 플라즈마 디스플레이(100)는, 대향 배치된 제1 기 판(하측기판)(101)과 제2 기판(상측기판)(102)에 의해 구성되고, 제2 기판(102)의 내표면-제1 기판(101)에 대향하는 쪽의 면-에는 투명한 유전체층(103)에 의해 덮여지는 스트라이프형의 주사 전극(104A)과 유지 전극(104B)이 복수로 형성되어 있다. 여기서 상기 유전체층(103)은 도시되지 않은 MgO 등의 보호막에 의해 덮어져 보호된다.

또한, 제1 기판(101)의 내표면-2 기판(102)에 대향하는 쪽의 면-에는, 가스 방전을 행하는 공간인 방전셀(107)을 형성하기 위하여 상기 주사 전극(104A), 유지 전극(104B)과 교차하는 방향으로, 기설정된 높이를 가지는 복수의 격벽(108)이 스트라이프형으로 형성되며, 이 격벽(108)에 의해 복수의 방전셀(107)이 구획 형성되어 있다. 여기서 상기 격벽(108)은 상기 제1 기판(101)과 일체로 형성되어 있다.

상기 플라즈마 디스플레이(100)에 있어서, 방전셀(107)은 요곡면(107a)을 가지고 이루어지며, 각 방전셀(107) 내에는 어드레스 전극(106), 반사율이 높은 유전체층(105), 적(R),녹(G),청(B)중 어느 하나의 색을 발광하는 형광체(109)가 순차 적층 형성되어 있다.

이러한 플라즈마 디스플레이(100)는, 방전셀(107)의 내부에 Ne, He 등의 희 가스를 봉입한 상태에서 상기 제1 기판(101)과 제2 기판(102)을 합치고 주위를 실유리 등에 의해 봉착한 구성을 갖는다.

또한, 상기 전극들(104A,104B,106)의 한 쪽 단부는, 표시 영역의 외부까지 연장 형성되어 이들에 접속된 단자에 선택적으로 기설정된 전압을 인가하는 것으로, 선택적으로 방전셀(107)내의 각 전극들(104A,104B,106)사이에 방전을 발생시키고 이 방전에 의해 방전셀(107)내의 형광체(109)로부터 기설정된 색을 갖는 여기광을 발생시켜 이를 외부(관찰자측)에 표시하도록 되어 있다.

한편, 상기 격벽(108)과 제1 기판(101)을 일체로 형성하는 방법으로는, 최종적으로 제1 기판(101)이 되는 평탄한 기판의 표면에 방전셀(107)을 형성하는 각 부위를 샌드 브레이스트법로서 절삭하여 제거하는 방법, 또는 최종적으로 제1 기판(101)이 되는 평탄한 기판을 가열하여 연화시킨 뒤, 격벽(108)의 패턴이 형성된 거푸집을 상기 기판의 표면에 가압하는 방법 등이 채용되고 있으나, 이 중 어느 방법을 이용한 경우에 있어서도, 격벽(108)과 제1 기판(101)을 일체로 형성한 후가 아니면, 상기한 어드레스전극(106), 유전체층(105) 및 형광체(109)를 형성할 수가 없다.

도 7에 도시한 바와 같이, 내표면에 격벽(108)을 형성한 제1 기판(101)의 표면은 요철로 이루어지며 이 요철로 형성된 제1 기판(101)의 표면에 균일한 두께를 갖는 어드레스 전극(106)을 용이하게 형성하는 방법으로 전극 시트를 이용하는 방법이 개발되어 있다. 더욱이 유전체층(105)에 대해서도 형성 공정의 간략화를 위하여 유전체 시트를 이용하여 형성하는 방법이 개발되어 있다.

이하에서는 전극 시트(유전체 시트)를 이용한 종래의 어드레스 전극(106)(유전체층 105)의 형성 방법에 대해 설명하도록 한다.

우선 제1 기판(101)의 표면에, 전극 시트(유전체 시트)를 부착한 뒤, 전극시 트(유전체 시트)를 포토리소 그라피법에 의해 기설정된 패턴으로 형성함으로써, 균일한 두께를 가지는 기설정된 패턴의 어드레스 전극(106)(유전체층 105)을 형성할 수가 있다. 또한 제1 기판(101) 표면의 요철 형상에 따라 제1 기판(101)과 전극 시트(유전체 시트)와의 사이에 간극을 형성하지 않고 전극 시트(유전체 시트)를 부착하는 방법으로 이하 기재의 방법이 제안되고 있는 바, 이를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

종래의 전극 시트(유전체 시트)의 부착방법으로는, 제1 기판(101)표면에 전극 시트(유전체 시트)를 공급하고 기설정된 방향으로 회전 가능하게 된 원주형의 가압 롤러를 이용하여, 이 가압 롤러에 대해 제1 기판(101)을 상대적으로 평행 이동시켜 제1 기판(101)표면의 전면을 전극 시트(유전체 시트) 위에서 가압하는 이른바 롤라미네이트 방식을 이용한 방법이 제안되고 있다.

그런데, 상기 제1 기판(101) 표면에 전극 시트(유전체 시트)를 공급하고 그 위에서 직접 가압 롤러를 이용하여 롤라미네이트 방식으로 제1 기판(101) 표면을 가압한 경우에는, 제1 기판(101)표면의 오목부에 전극 시트(유전체 시트)가 압입되지 않기 때문에 제1 기판(101) 표면의 요철 형상에 따라 제1 기판(101)과 전극 시트(유전체 시트)와의 사이에 간극을 형성하지 않고 전극 시트(유전체 시트)를 부착하기 어려운 문제점이 있다.

따라서, 종래에는 도 8에 도시한 바와 같이, 제1 기판(101) 표면에 한 쪽 면에 수지 시트(210)가 장착된 전극 시트(유전체 시트)(200)를 이 전극 시트(유전체 시트)(200)측이 제1 기판(101)측을 향하도록 연속적으로 공급하고, 80∼120℃ 로 가열된 가압 롤러(220)를 이용하여 수지 시트(210) 및 전극 시트(유전체 시트)(200)를 감압 하에서 가압한 뒤, 수지 시트(210)를 박리하는 방법이 제안되고 있다. 이 방법에 의하면, 가압 롤러(220)에 의해 수지 시트(210)를 제1 기판(101)표면의 요철 형상에 따르도록 소성 변형시키는 것으로 전극 시트(유전체 시트)(200)를 제1 기판(101) 표면의 요철 형상에 따라 가압할 수가 있다.

그러나, 상기한 전극 시트(유전체 시트)의 부착방법에서는, 수지 시트를 한번 사용하면 소성 변형하기 때문에 수지 시트를 다시 이용할 수가 없고 1회 사용으로 폐기해야 하므로 재료비가 높아지는 문제점이 유발된다.

상기한 문제점은 비단 격벽이 제1 기판과 일체로 형성된 가스 방전 표시장치에서 현저하게 일어나고 있는 문제이기는 하나, 이는 이러한 가스 방전 표시장치에 한한 것이 아니라, 격벽이 제1 기판과 별개로 구성된 가스 방전 표시장치에 있어 격벽을 형성한 뒤에 어드레스 전극과 유전체층을 형성하는 경우에도 동일하게 생기는 문제이다.

따라서, 본 발명은 상기한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 전극 시트 또는 유전체 시트를 이용하여 표면에 요철을 갖는 기판 상에 전극 또는 유전체층을 형성할 때에 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착하는 공정을 간략화하여 재료비의 삭감과 생산효율의 향상을 가능하게 하는 가스방전표시 장치의 제조 방법을 제공함에 있다.

상기한 목적을 실현하기 위하여, 본 발명자가 도모하는 수단은,

대향 배치된 2장의 기판을 구비하고, 상기 2장의 기판 중 한 쪽 기판의 내표면에 복수의 격벽과, 상기 격벽에 의해서 구획 형성된 복수의 방전셀과, 각 방전셀내에 형성된 전극과 유전체층을 구비하여 이루어지는 가스 방전 표시장치의 제조 방법으로서, 적어도 상기 격벽을 형성한 기판 상에 전극 또는 유전체층을 형성시에, 상기 기판 상에 전극 시트 또는 유전체 시트를 공급하고, 외부 표면에 기설정된 두께를 갖는 쿠션재가 장착되며 기설정된 방향으로 회전 가능하게 된 가압 롤러를 이용하여 상기 기판 표면을 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트 상에서 가압함으로써, 상기 기판 표면의 요철 형상에 따라 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착시키는 것이다.

이러한 본 발명의 가스 방전 표시장치의 제조 방법에 있어서, 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착하는 공정시 이용하는 상기 가압 롤러의 상기 쿠션재로는, 가령 겔재나 고무재로 이루어지는 것을 이용할 수 있다.

본 발명의 가스 방전 표시장치의 제조 방법에 의하면, 적어도 격벽을 형성한 기판 상에 전극 또는 유전체층을 형성시, 표면에 기설정된 두께를 갖는 쿠션재가 장착되며 기설정된 방향으로 회전 가능하게 된 가압 롤러를 이용하여 기판 표면의 요철 형상에 따라 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착함으로써, 가압 롤러의 외부 표면에 장착된 쿠션재가 기판 표면의 요철 형상에 따라 변형하게 하여 전극 시트 또는 유전체 시트를 기판 표면의 요철 형상에 따라 기판과 전극 시트 또는 유전체 시트와의 사이에 간극을 형성하는 일없이 압착시킬 수 있다.

또한, 쿠션재는 가압 롤러의 외부 면에 고정됨에 따라, 쿠션재가 기판 상에 잔류하는 일없이 기판 표면을 가압한 직후에 쿠션재를 이탈시킬 수 있어, 표면에 요철을 가지는 기판에 연속적으로 전극 시트 또는 유전체 시트를 그 요철 형상에 따라 간극없이 용이하게 부착할 수가 있다. 더욱이, 본 발명의 방법에 의하면 수지 시트가 불필요하고, 또한, 쿠션재가 소성 변형하는 일이 없어 몇 번이나 다시 이용 가능하므로 재료비가 높아지는 일도 없게 된다.

이와 같이, 본 발명에 의하면, 표면에 요철을 가지는 기판 상에 전극 또는 유전체층을 형성시, 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착하는 공정을 간략화하여 재료비의 삭감과 생산 효율의 향상을 가능하게 하는 가스 방전 표시장치의 제조 방법을 제공할 수가 있다.

또한, 본 발명의 가스 방전 표시장치의 제조 방법에 있어서, 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착하는 공정에서, 기설정된 온도로 가열하면서 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착하는 것이 바람직하다.

이와 같이 기설정된 온도로 가열하면서 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착하는 것으로, 전극 시트 또는 유전체 시트가 연화되어 신장하도록 하여 기판 표면의 요철 형상에 따라 기판과 전극시트 또는 유전체 시트와의 사이에 간극을 형성하는 일없이 균일하게 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착할 수가 있다.

또한, 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착하는 공정시, 감압 하에서 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착하는 것이 바람직하다.

이와 같이 감압 하에서 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착하는 것으로, 기판 표면과 전극 시트 또는 유전체 시트와의 사이에 공기 등이 잔류하는 것을 방지할 수가 있어 기판 표면의 요철 형상에 따라 보다 간극없이 균일하게 전극 시트 또 는 유전체 시트를 부착할 수가 있다.

상기한 목적을 실현하기 위하여 본 발명자는,

외부 표면에 쿠션재가 장착된 가압 롤러를 구비하고, 기판 표면의 요철 형상에 따라 전극 시트 또는 유전체 시트를 연속적이면서 자동적으로 부착할 수가 있는 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치를 발명하였으며, 이 장치는 표면에 적어도 복수의 격벽이 형성된 가스 방전 표시장치용 기판에, 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착하기 위한 것으로,

상기 가스 방전 표시장치용 기판을 유지하는 기판 유지수단과, 상기 가스 방전 표시장치용 기판의 표면을 가압하도록 배치되고 외부 표면에 기설정된 두께를 갖는 쿠션재가 장착되며 기설정된 방향으로 회전 가능하게 된 가압롤러와, 상기 가스 방전 표시장치용 기판과 상기 가압 롤러와의 사이에 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 공급하기 위한 시트 공급수단과, 상기 가스 방전 표시장치용 기판을 상기 가압 롤러에 대하여 상대적으로 평행 이동시키는 상대 이동수단을 포함한다.

이 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치에 의하면, 가스 방전 표시 장치용 기판을 유지하는 기판 유지수단과, 상기 가스 방전 표시장치용 기판의 표면을 가압하도록 배치되고 외부 표면에 기설정된 두께를 갖는 쿠션재가 장착되며 기설정된 방향으로 회전 가능하게 된 가압 롤러와, 가스 방전 표시장치용 기판과 가압 롤러와의 사이에 전극 시트 또는 유전체 시트를 공급하기 위한 시트 공급수단과, 가스 방전 표시 장치용 기판을 가압 롤러에 대하여 상대적으로 평행 이동시키는 상대 이동수단을 가짐에 따라, 가스 방전 표시 장치용 기판과 가압 롤러와의 사이에 전극 시트 또는 유전체 시트의 공급과, 외부 표면에 쿠션재가 장착된 가압 롤러에 의한 전극 시트 또는 유전체 시트 상에서의 가스 방전 표시장치용 기판 표면의 가압, 가압 롤러의 이탈 및 가스 방전 표시장치용 기판의 가압 롤러에 대한 상대적인 평행이동을 연속적이면서 자동적으로 행할 수 있다.

또한, 위에서 설명한 바와 같이, 기설정된 온도로 가열하면서 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착하는 것이 바람직하므로, 본 발명의 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치는, 적어도 상기 가스 방전 표시장치용 기판과 상기 가압 롤러와의 사이에 공급된 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 기설정된 온도로 가열하는 가열수단을 더욱 갖는 것이 바람직하다.

또한, 위에서 설명한 바와 같이, 감압 하에서 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착하는 것이 바람직하므로, 본 발명의 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치는, 적어도 상기 가스 방전 표시장치용 기판과 상기 가압 롤러와의 사이에 공급된 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트와 상기 가스방전표시 장치용 기판과의 사이를 감압하는 감압수단을 더욱 갖는 것이 바람직하다.

이하, 가스 방전 표시장치의 대표적인 예인 플라즈마 디스플레이를 예로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다.

먼저 도 1을 참조하여 본 발명의 실시예예 의한 가스 방전 표시 장치의 제조 방법에 의해 제조된 플라즈마 디스플레이(10)의 구조에 대해 설명한다. 도 1은 플라즈마 디스플레이(10)의 일부분을 분해하여 도시한 개략 사시도이다. 도 1에 도시한 플라즈마 디스플레이는 본 발명의 일례이며, 본 발명은 이 플라즈마 디스플레이 에 한정되지 않다.

도 1에 도시한 바와 같이, 플라즈마 디스플레이(10)는 유리로 이루어져 대향 배치되는 제1 기판(하측기판)(11)과 제2 기판(상측기판)(12)에 의해 구성되는 바, 제2 기판(12)의 내표면-제1 기판(11)에 대향하는 쪽의 면-에는, 투명한 유전체층(13)에 의해 덮여지는 스트라이프형의 주사 전극(14A)과 유지 전극(14B)이 복수로 형성된다. 이 때, 상기 유전체층(13)은 도시되지 않은 MgO 등의 보호막에 의해 덮어져 보호되며, 상기 제2 기판(12)의 내표면에 있어 주사 전극(14A)과 유지 전극(14B)은 교대로 형성되어 있다.

한편, 제1 기판(11)의 내표면-제2 기판(12)에 대향하는 쪽의 면-에는, 가스 방전을 행하는 공간인 방전셀(17)을 형성하기 위해 상기 주사 전극(14A), 유지 전극(14B)의 길이 방향과 교차하는 방향으로, 기설정된 높이를 가지는 복수의 격벽(18)이 스트라이프형으로 형성되며, 이 격벽(18)에 의해 복수의 방전셀(17)이 구획 형성되어 있다.

상기한 복수의 격벽(18)은 제1 기판(11)과는 상이한 별도의 부재로 이루어지더라도 무방하지만, 도 1에 도시한 바와 같이, 플라즈마 디스플레이(10)의 제조 공정을 간략화하기 위해 이 복수의 격벽(18)은 상기 제1 기판(11)과 일체로 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 방전셀(17)은 요곡(凹曲)면(17a)을 가지며, 이 각 방전셀(17) 내에는 어드레스 전극(16), 반사율이 높은 유전체층(15) 및 적(R),녹(G),청(B)중 어느 것의 색을 발광하는 형광체(19)가 순차로 적층 형성되어 있다.

이러한 플라즈마 디스플레이(10)는, 방전셀(17)의 내부에 Ne, He 등의 희가스를 봉입한 상태에서 상기의 제1 기판(11)과 제2 기판(12)을 합치고 주위를 실유리 등에 의해 봉착한 구성을 갖는다.

또한, 상기 전극들(14A,14B,16)의 한 쪽 단부가, 표시 영역의 외부까지 연장 형성되어 있어 이들에 접속된 단자에 선택적으로 기설정된 전압을 인가하는 것으로 선택적으로 방전셀(17) 내의 전극(14A,14B,16) 사이에 방전을 발생시킴으로써 이 방전에 의해 방전셀(17) 내의 형광체(19)로부터 기설정된 색의 여기광을 발생시켜 이를 외부(관찰자측)에 표시하도록 되어 있다.

다음으로는 본 발명의 실시예에 의한 가스 방전 표시장치의 제조 방법의 일례로서, 상기 플라즈마 디스플레이(10)의 제조 방법에 대해 설명하도록 한다. 먼저 도 2, 3을 참조하여 상기 플라즈마 디스플레이(10)의 제조 방법에 대해 개략적으로 하고, 도 4, 5를 참조하여 상기 플라즈마 디스플레이(10)의 제조 방법에 있어서 어드레스 전극(16)과 유전체층(15)의 형성 방법에 대해 상세히 설명하도록 한다.

본 실시예의 가스방전표시 장치의 제조 방법에 있어서, 제1 기판(11)의 표면상에 어드레스 전극(16) 또는 유전체층(15)을 형성할 때에, 전극 시트 또는 유전체 시트를 제1 기판(11) 표면에 부착하는 방법이 특징적이다.

도 2 내지 도 5는 제조 공정 중의 플라즈마 디스플레이(10)를 도 1의 X-X'선을 따라 절단했을 때의 부분 개략 단면도로서, 이는 본 발명의 의한 제조 방법의 일례일 뿐, 본 발명은 이하의 설명에 의해 한정되지 않는다.

먼저, 도 2, 3을 참조하여 플라즈마 디스플레이(10)의 제조 방법에 대해 개 략적으로 설명한다.

우선 표면에 격벽(18)이 형성된 제1 기판(11)을 제조한다. 이 격벽(18)과 제1 기판(11)을 일체로 형성하는 방법으로는, 최종적으로 제1 기판(11)이 되는 평탄한 기판의 표면에 방전셀(17)을 형성하는 개개의 장소를 샌드 브레이스트법 등으로 절삭하여 제거하거나 또는 최종적으로 제1 기판(11)이 되는 평탄한 기판을 가열하여 연화시킨 뒤, 격벽(18)의 패턴이 형성된 거푸집을 상기 기판의 표면에 가압하는 방법 등이 있다.

본 실시예에서는 샌드 브레이스트법을 이용하여 격벽(18)이 형성된 제1 기판(11)을 제조하는 방법에 대해 설명하도록 한다.

우선, 도 2a에 도시한 원래의 기판(11A)을 세정하여 건조시킨 뒤, 도 2b에 도시한 바와 같이, 상기 기판(11A) 상의 전면에 드라이 필름 레지스트를 압착하는 등으로 포토 레지스트(21)를 형성한다.

다음으로는 도 2c에 도시한 바와 같이, 포토 레지스트(21)를 격벽(18)의 상면 위치 및 형상에 대응하는 패턴을 가지는 포토 마스크(22)를 이용하여 노광하고, 이어서 이 포토 레지스트(21)를 현상하여, 도 2d에 도시한 바와 같이, 격벽(18)의 상면 위치 및 형상에 대응한 패턴을 가지는 포토 레지스트(21)를 형성한다.

다음으로는 도 2e에 도시한 바와 같이, 포토 레지스트(21)로 덮어지고 있지 않은 상기 기판(11A)의 부분을 샌드 브레이스트법으로 절삭하여 방전셀(17)을 형성한다. 여기서 이 샌드 브레이스트법에 의한 에칭은 등방성 에칭인 때문에 이 때 형성되는 방전셀(17)은 요곡면(17a)을 가지게 된다.

그 다음으로는 포토 레지스트(21)를 박리하여 건조시키는 것으로, 도 2f에 도시한 바와 같이, 내표면에 격벽(18)이 형성된 제1 기판(11)을 형성할 수가 있게 되는 바, 이 때, 제1 기판(11A)은 도 2f에 도시한 바와 같이, 그 표면에 요철을 가지게 된다.

다음으로는 도 3a)에 도시한 바와 같이, 표면에 격벽(18)을 형성한 제1 기판(11)의 표면상에 어드레스 전극(16)과 유전체층(15)을 순차로 적층 형성한다. 본 실시예에 있어서, 표면에 요철을 가지는 제1 기판(11)상에 균일한 두께를 가지는 어드레스 전극(16)을 용이하게 형성하기 위해, 어드레스 전극(16)을 전극 시트를 이용하여 형성한다. 또한, 유전체층(15)에 대해서도 형성 공정의 간략화를 위하여, 유전체 시트를 이용하여 형성한다. 이 어드레스 전극(16) 및 유전체층(15)의 상세한 형성 방법에 대해서는 후술하도록 한다.

계속해서 도 1에 도시한 적, 녹, 청(R, G, B)에 대응하여 각 방전셀(17) 내부에, 스크린, 마스크 등을 이용하여 각각 적, 녹, 청(R, G, B)에 대응한 3종류의 형광체 페이스트를 선택적으로 인쇄한다. 그 후, 소성에 의해 각 형광체 페이스트의 바인더를 소실시켜 도 3b에 도시한 바와 같이, 적, 녹, 청(R, G, B)에 대응한 형광체(19)를, 각 방전셀(17) 내의 유전체층(15) 표면을 덮도록 형성하는 바, 이것으로 표면에 어드레스전극(16), 유전체층(15) 및 형광체(19)가 순차로 적층 형성된 제1 기판(11)이 제조된다.

한편, 제2 기판(12)의 표면상에, 주사 전극(14A), 유지 전극(14B), 유전체층(13) 및 보호막을 순차로 적층 형성한다. 여기서 주사 전극(14A), 유지 전 극(14B) 및 유전체층(13)은, 이하 기재되는 어드레스 전극(16) 및 유전체층(15)의 형성 방법과 동일한 방법에 의해 형성할 수도 있고 기타 공지의 방법을 이용하여 형성할 수도 있다.

마지막으로 제1 기판(11) 표면의 방전셀(17) 내부를 Ne, He 등의 희가스로 치환하고 제1 기판(11)과 제2 기판(12)을 서로 맞붙이고 그 주위를 도시하지 않은 실유리 등으로 봉입함으로써, 도 1에 도시한 플라즈마 디스플레이(10)가 제조된다.

본 실시예에서는 어드레스 전극(16)의 형성 방법에 대해 상세하게 설명하도록 한다. 위에서 언급한 바와 같이, 본 실시예에 있어서 표면에 요철을 가지는 제1 기판(11)상에 균일한 두께를 가지는 어드레스 전극(16)을 형성하기 위하여, 전극 시트를 이용하여 어드레스 전극(16)을 형성한다. 즉, 제1 기판(11)의 표면에 요철 형상에 따라 전극 시트를 부착한 뒤, 포토리소 그라피법에 의해 전극 시트를 기설정된 패턴에 형성함으로써 어드레스 전극(16)을 형성한다. 이 때, 어드레스 전극(16)의 형성 공정을 간략화하기 위하여 상기한 전극 시트로는 감광성을 갖는 것을 이용하는 것이 바람직하다. 이하, 감광성을 갖는 전극 시트를 이용하여 어드레스 전극(16)의 형성방법에 대해 설명하도록 한다.

먼저 격벽(18)을 형성한 제1 기판(11) 상의 전면에(도 2f 참조) 도 4a에 도시한 바와 같이, 감광성을 가지는 은 계통 등의 전극 시트(31)를 제1 기판(11) 표면의 요철 형상에 따라 부착한다.

여기서 상기 전극 시트(31)의 두께는 10∼30㎛로 얇아 이 전극 시트(31) 단독으로는 강도가 약하기 때문에, 상기 전극 시트(31)를 폴리에틸렌 테레프탈레이 트, 폴리에스테르 등으로 이루어진 보호 필름으로서 보호한 구조의 보호필름 부착 전극 시트를 이용하는 것이 바람직하다. 이 보호필름 부착 전극 시트를 이용한 경우에는, 보호필름을 박리하여 최종적으로는 도 4a에 도시한 바와 같이, 전극 시트(31)만을 제1 기판(11)상에 부착한다.

상기 보호필름 부착 전극 시트로는, 전극 시트(31)의 양면에 보호필름을 장착한 구조의 것이 바람직하다. 또한, 양면에 보호필름을 장착하는 경우에는 한 쪽의 보호필름을 열 가소성이 높은 폴리에스테르 등에 의하여 구성하고, 또 한 쪽의 보호필름은 보다 강도가 강한 폴리에틸렌 테레프탈레이트 등에 의하여 구성하는 것이 바람직하다. 한편, 상기 전극 시트(31)의 부착방법에 대한 상세한 설명은 후술하도록 한다.

다음으로는 도 4b에 도시한 바와 같이, 어드레스 전극(16)의 패턴이 형성된 포토 마스크(32)를 이용하여 전극 시트(31)의 노광을 행하고 이 전극 시트(31)의 현상을 행하게 되는 바, 이에 의해 도 4c에 도시한 바와 같이, 기설정된 패턴을 가지는 어드레스 전극(16)이 형성된다.

본 실시예에서는 도 5를 참조하여, 양면에 보호필름이 형성된 보호필름 부착전극 시트를 이용하여 제1 기판(11) 표면에 전극 시트(31)를 부착하는 방법에 대해 설명하도록 한다.

양면에 보호필름이 형성된 보호필름 부착 전극시트를 이용하는 경우에는, 우선 전극 시트(31)를 제1 기판(11) 표면에 부착하기 직전, 한 쪽의 보호필름을 박리한다.

이어서 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 기판(11) 상에 보호 필름을 박리한 측 면이 제1 기판(11)측에 위치하도록, 전극 시트(31)를 연속적으로 공급하면서 기설정된 방향으로 회전 가능하게 된 원주형의 가압 롤러(50)를 이용하여, 즉 이 가압 롤러(50)에 대하여 제1 기판(11)을 상대적으로 평행하게 이동시키면서 제1 기판(11) 표면의 전면을 전극 시트(31) 상에 남은 보호필름 측으로부터 가압한다. 이와 같이, 이른바 롤라미네이트 방식으로서 전극 시트(31)를 이 전극 시트(31) 상에 남은 보호필름과 더불어 제1 기판(11) 표면의 요철 형상에 따라 부착한다.

한편, 상기에서 가압 롤러(50)에 대하여 제1 기판(11)을 상대적으로 평행하게 이동시키면 무방하므로, 가압 롤러(50)의 설치 각 부위를 고정하고 제1 기판(11)을 평행하게 이동시키더라도 좋고, 제1 기판(11)의 설치 각 부위를 고정하고 가압 롤러(50)를 회전시키면서 평행하게 이동시키더라도 좋다.

도 5에서는 격벽(18)의 길이 방향에 대하여 수직한 방향으로 제1 기판(11)을 가압 롤러(50)에 대하여 상대적으로 평행하게 이동시키는 경우만을 도시하였으나, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 제1 기판(11)을 가압 롤러(50)에 대하여 상대적으로 평행하게 이동시키는 방향은 격벽(18)의 길이 방향에 대하여 평행한 방향 등 어떠한 방향이더라도 좋다.

본 실시예에 있어서, 전극 시트(31)를 부착할 때에 이용하는 가압 롤러(50)의 구조가 특징적인 바, 도 5에 도시한 바와 같이, 이 가압 롤러(50)는 원주형의 가압 부재(52)의 밖 표면에 겔재 또는 고무재 등으로 이루어져 가압 부재(52) 보다 부드러운 쿠션재(51)가 장착된 구조를 가진다.

상기에서 원주형의 가압 부재(52)로는, 가령 원주형의 금속부재 또는 원주형의 금속부재의 표면에 경도가 50 정도 이상인 단단한 실리콘 고무 등이 부착된 구조의 것을 예로 할 수 있다.

또한, 상기 쿠션재(51)는 제1 기판(11) 표면의 요철 형상에 따라 변형하는 것이 가능한 정도의 유연성과 통상의 롤라미네이트 공정에 이용하는 가압 롤러와 같은 내열성 이외에 내구성이나 제1 기판(11) 표면에서의 이탈성이 우수한 재질로 구성한다. 이러한 특성을 가지는 바람직한 재질로는, 실리콘, 에틸렌 프로필렌, 클로로프렌, 부틸, 우레탄 등의 재료로 이루어지는 겔재 또는 고무재를 예로 할 수가 있다.

상기 쿠션재(51)는 이상의 특성을 가짐은 물론, 쿠션재(51)만이 제1 기판(11)표면에 접촉하여 이 쿠션재(51)보다 내측의 부분 즉, 쿠션재(51)보다 단단한 가압 부재(52)가 제1 기판(11)표면에 접촉하지않도록 기설정된 두께로 가공된다.

마지막으로 상기 전극 시트(31)에 남은 보호필름을 박리함으로써 제1 기판(11)의 표면에 전극 시트(31)만을 부착할 수가 있다.

도 5에서는 편의상, 전극 시트(31) 상에 남은 보호필름의 도시를 생략하였으며, 참조 부호 53을 기준으로 이 우측의 부분이 전극 시트(31)를 부착한 부분이며, 좌측의 부분이 전극 시트(31)를 부착하기 전의 부분이다.

본 실시예에 있어서, 전극 시트(31)의 양면에 형성된 보호필름 중, 열 가소성이 높은 폴리 에스테르 등으로 이루어지는 보호필름을 뒤에서 박리하는 것이 바람직하다. 또한, 기설정된 온도로 가열하면서 전극 시트(31)를 부착하는 것이 바람직한데, 이는 열 가소성이 높은 보호필름 상에서 전극 시트(31)를 가열하면서 가압함으로써 제1 기판(11)상에 부착할 때, 보호필름이 연화되어 제1 기판(11) 표면의 요철 형상에 따라 소성 변형하여 제1 기판(11)표면의 요철 형상에 따라서 보다 간극없이 전극 시트(31)를 부착할 수 있기 때문이다.

다음으로는, 상기 구조를 가지는 가압 롤러(50)를 구비하여 전극 시트(31)를 부착할 때에 이용하는 본 발명의 바람직한 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착 장치에 대해 설명하도록 한다.

본 발명의 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치는, 적어도 전극 시트(31)를 부착하는 제1 기판(11)(가스 방전 표시장치용 기판)을 유지하는 기판 유지수단과, 제1 기판(11) 표면을 가압하도록 배치된 상기 구성의 가압 롤러(50)와, 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 전극 시트(31)를 공급하기 위한 시트 공급수단과, 제1 기판(11)을 가압 롤러(50)에 대하여 상대적으로 평행하게 이동시키는 상대 이동수단을 포함한다.

더욱이, 본 발명의 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치는, 적어도 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 공급된 전극 시트(31)를 기설정된 온도로 가열하는 가열수단과, 적어도 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 공급된 전극 시트(31)와 제1 기판(11)과의 사이를 감압하는 감압수단을 더욱 포함하는 것이 바람직하다.

이하, 도 6을 참조하여 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치의 일실시예에 대해 설명하도록 한다. 도 6에 도시한 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착 장치는 본 발명의 일례로서, 본 발명은 이 가스 방전 표시 장치제조용 시트 부착장치로 한정되지 않다. 도 6에 있어 참조 부호 11은 도 5에 도시한 제1 기판(11)을 축소하여 나타낸 것이고, 이 때 편의상 제1 기판(11) 표면의 요철 형상은 도시하지 않았다. 이 도 6은 도 5에서와 같이, 양면에 보호필름이 형성된 보호필름 부착 전극 시트를 이용하여 제1 기판(11) 표면에 전극 시트(31)를 부착하는 경우의 장치에 대해 도시하고 있다.

도 6에서 참조 부호 60은 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치, 61은 제1 기판(11)을 유지하는 기판 유지수단과 제1 기판(11)을 가압 롤러(50)에 대하여 평행 이동시키는 상대 이동수단을 겸하는 기판 반송용 필름, 62는 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 전극 시트(31)를 공급하기 위한 시트 공급수단, 63은 전극 시트(31)의 한 쪽의 면에 장착된 보호필름을 자동적으로 박리하는 보호필름 박리용 롤러, 64는 백업롤을 나타내고 있다.

상기 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치(60)는, 기판 반송용 필름 공급용 롤러(65)를 반시계 방향(도면 기준)으로 회전시켜 기판 반송용 필름(61)을 우측방향(도면 기준)으로부터 좌측방향(도면 기준)으로 평행 이동시킴으로써, 제1 기판(11)을 우측방향(도면 기준)으로부터 좌측방향(도면 기준)에 반송할 수 있는 구조로 되어 있다. 이 때, 제1 기판(11)은 전극 시트(31)를 부착하는 쪽의 면을 상측으로 한 상태로 반송되며, 시트 공급수단(62)은, 롤형으로 감긴 보호필름 부착 전극 시트(66)를 시계 방향(도면 기준)으로 회전시킴으로써 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 전극 시트(31)를 자동적으로 공급할 수가 있는 구조로 되어 있 다.

또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 롤형으로 감긴 보호필름 부착 전극 시트(66)로부터 보호필름 부착 전극 시트(31)가 공급되는 제1 기판(11) 사이에 배치되는 보호필름 박리용 롤러(63)는, 반시계 방향(도면 기준)으로 회전함으로써 전극 시트(31)의 한 쪽의 면에 장착된 보호필름을 자동적으로 박리할 수가 있는 구조로 되어있다.

상기에서 가압 롤러(50)의 상세한 구조에 관해서는, 위에서 먼저 설명한 것으로 대치하기로 한다. 상기 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착 장치(60)에 있어서, 가압 롤러(50)는 쿠션재(51)가 제1 기판(11) 표면을 가압하도록 배치되어 있다. 또한, 한 쪽의 보호필름을 박리한 뒤, 전극 시트(31) 상의 다른 한 쪽에는 보호필름이 남겨지지만, 이는 도면의 간략화를 위해 도시를 생략하였다.

또한, 상기 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치에는, 가압 롤러(50)와 대향하도록 백업 롤러(64)가 형성되어 가압 롤러(50)와 백업 롤러(64)와의 사이에 제1 기판(11)을 끼워 넣은 상태에서 가압 롤러(50)와 백업 롤러(64)를 각각 시계 방향(도면 기준), 반시계 방향(도면 기준)으로 회전시킴으로써 제1 기판(11)을 상하 방향으로부터 가압함과 동시에, 제1 기판(11)을 좌측(도면 기준)으로 보낼 수 있는 구조로 되어있다.

한편, 기설정된 온도로 가열하면서 전극 시트(31)를 부착하는 것이 바람직한 바, 이에 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치(60)는, 적어도 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 공급된 전극 시트(31)를 기설정된 온도(예: 80∼120℃ 정도)로 가열하는 가열수단(도시하지 않음)을 더욱 포함하는 것이 바람직하다.

상기 가열수단은, 예를 들어 가압 롤러(50)만을 가열함으로써 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 공급된 전극 시트(31)만을 가열할 수도 있고, 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착 장치(60)의 내부 전체를 가열할 수도 있다. 즉, 적어도 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 공급된 전극 시트(31)를 기설정된 온도로 가열할 수가 있는 것이면 어떠한 것도 좋다.

또한, 감압 하에서 전극 시트(31)를 부착하는 것이 바람직함에 따라, 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치(60)는, 적어도 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 공급된 전극 시트(31)와 제1 기판(11)과의 사이를 감압하는 것이 가능한 감압수단(도시하지 않음)을 더욱 포함하는 것이 바람직하다.

이 감압수단으로서는 예를 들어, 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치(60)에 접속되어, 가스 방전 표시 장치 제조용 시트 부착장치(60)의 내부 전체를 감압으로 하는 것이 가능한 진공 펌프 등으로 구성할 수가 있다.

또한, 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치(60)는, 제1 기판(11) 상에 전극 시트(31)를 부착한 뒤, 상기 제1 기판(11) 상에 남은 보호필름을 박리하는 수단(도시하지 않음)을 가진다.

이와 같은 가스 방전 표시 장치 제조용 시트 부착장치(60)를 이용하는 것에 의해, 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 전극 시트(31)의 공급하고, 밖 표면에 기설정된 두께를 갖는 쿠션재(51)가 장착된 가압 롤러(50)에 의한 전극 시트(31) 상으로부터 제1 기판(11) 표면의 가압, 가압 롤러(50)의 이탈 및 제1 기판(11)의 가압 롤러에 대한 상대적인 평행 이동을 연속적이면서 자동적으로 행할 수 있다.

상기의 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치(60)에서는, 가압 롤러(50)의 설치 각 부위를 고정하여 제1 기판(11)을 반송시켜 제1 기판(11)을 가압 롤러(50)에 대하여 상대적으로 평행 이동시키는 구조, 즉 기판 반송용 필름(61)이 기판 유지수단과 상대 이동수단을 겸하는 구조로 되었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다.

다시 말해, 본 발명은 기판 유지수단과 상대 이동수단을 별도의 요소로 구성할 수도 있고, 제1 기판(11)을 기판 유지수단에 고정하고 가압 롤러(50)를 평행 이동시키는 수단(상대 이동수단)을 설치하여 가압 롤러(50)를 회전시키면서 평행 이동시키는 것으로, 제1 기판(11)을 가압 롤러(50)에 대하여 상대적으로 평행 이동시키는 구조로도 구성할 수 있다.

다음으로는, 상기 유전체층(15)의 형성 방법에 대해 간단히 설명하도록 한다.

도 4c에 도시한 바와 같이, 어드레스 전극(16)을 형성한 제1 기판(11) 표면의 전면에 그 요철 형상에 따라 유리 시트 등의 유전체 시트를 부착함으로써, 유전체층(15)을 형성할 수가 있다. 이 공정은 전극 시트(31)를 제1 기판(11)표면에 부착할 때에 이용한 가압 롤러(50)와 같은 가압 롤러를 이용하고, 전극 시트(31)의 부착과 동일한 방법으로 유전체 시트를 부착하는 것으로 이루어진다. (도 5 참조)

마찬가지로 상기 공정에서 상기한 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착 장치(60)를 이용하여, 롤형으로 감긴 보호필름 부착 전극 시트(66)대신, 롤형으로 감긴 유전체 시트를 이용하는 것으로 연속적이면서 자동적으로 유전체 시트의 부착를 행할 수 있다. 또한, 상기 공정에서 어드레스 전극(16)을 형성할 때, 감압하에서 기설정된 온도로 가열하면서 유전체 시트를 부착하는 것이 바람직하다.

본 실시예에 의한 가스 방전 표시장치의 제조 방법에 의하면, 격벽(18)을 형성한 제1 기판(11) 상에 어드레스 전극(16) 또는 유전체층(15)을 형성시, 외부 표면에 기설정된 두께를 갖는 쿠션재(51)가 장착되며 기설정된 방향으로 회전 가능한 가압 롤러(50)를 이용하여, 제1 기판(11) 표면의 요철 형상에 따라 전극 시트(31) 또는 유전체 시트를 부착함으로써, 가압 롤러(50)의 외부 표면에 장착된 쿠션재(51)가 제1 기판(11) 표면의 요철 형상에 따라 변형하는 것으로, 전극 시트(31) 또는 유전체 시트를 제1 기판(11) 표면의 요철 형상에 따라 제1 기판(11)과 전극 시트(31) 또는 유전체 시트와의 사이에 간극을 형성하지 않고 압착시킬 수 있다.

또한, 쿠션재(51)가 가압 롤러(50)의 외부 표면에 고정됨으로써, 쿠션재(51)가 제1 기판(11)상에 잔류하는 일없이 제1 기판(11) 표면을 가압한 직후에 쿠션재(51)를 이탈시킬 수 있어, 표면에 요철을 가지는 제1 기판(11) 상에 연속적으로 전극 시트(31) 또는 유전체 시트를 요철 형상에 따라 간극없이 용이하게 부착할 수가 있다.

또한, 본 실시예의 제조 방법에 의하면 수지 시트가 불필요하고 더욱이, 쿠션재(51)가 소성 변형하는 일이 없이 몇 번이나 다시 이용할 수가 있으므로, 재료비의 상승을 막을 수도 있다.

이와 같이 본 실시예에 의하면, 표면에 요철을 가지는 제1 기판(11) 상에 어드레스 전극(16) 또는 유전체층(15)을 형성할 때에, 전극 시트(31) 또는 유전체 시트를 부착하는 공정을 간략화하여 재료비의 삭감과 생산효율의 향상을 가능할 수 있는 가스 방전 표시장치의 제조 방법을 제공할 수가 있다.

또한, 본 실시예의 가스방전표시 장치의 제조 방법에 있어서, 전극 시트(31)또는 유전체 시트를 부착하는 공정시, 기설정된 온도로 가열하면서 전극 시트(31) 또는 유전체 시트를 부착하는 것이 바람직하다.

이와 같이 기설정된 온도로 가열하면서, 전극 시트(31) 또는 유전체 시트를 부착하는 것으로, 전극 시트(31) 또는 유전체 시트가 연화되어 신장하게 되므로 제1 기판(11) 표면의 요철 형상에 따라 제1 기판(11)과 전극 시트(31) 또는 유전체 시트와의 사이에 간극을 형성하는 일없이 균일하게 전극 시트(31) 또는 유전체 시트를 부착할 수가 있다.

또한, 전극 시트(31) 또는 유전체 시트를 부착하는 공정시, 감압 하에서, 전극 시트(31) 또는 유전체 시트를 부착하는 것이 바람직하다. 이처럼 감압 하에서, 전극 시트(31) 또는 유전체 시트를 부착하는 것에 의해, 제1 기판(11) 표면과 전극시트(31) 또는 유전체 시트와의 사이에 공기 등이 잔류하는 것을 방지할 수가 있어, 이에 제1 기판(11) 표면의 요철 형상에 따라 보다 간극없이 균일하게 전극시트(31) 또는 유전체 시트를 부착할 수가 있다.

또한, 본 실시예의 가스 방전 표시 장치 제조용 시트 부착장치(60)에 의하면, 제1 기판(11)을 유지하는 기판 유지수단-기판 반송용 필름(61)-과, 제1 기판(11) 표면을 가압하도록 배치되며 외부 표면에 기설정된 두께의 쿠션재(51)가 장착되어 기설정된 방향으로 회전 가능하게 된 가압 롤러(50)와, 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 전극 시트(31) 또는 유전체 시트를 공급하기 위한 시트 공급수단(62)과, 제1 기판(11)을 가압 롤러(50)에 대하여 상대적으로 평행 이동시키는 상대 이동수단-기판 반송용 필름(61)-을 가짐에 따라, 제1 기판(11)과 가압 롤러(50)와의 사이에 전극 시트(31) 또는 유전체 시트의 공급과, 외부 표면에 기설정된 두께를 갖는 쿠션재(51)가 장착된 가압 롤러(50)에 의한 전극 시트(31) 또는 유전체 시트상에서의 제1 기판(11) 표면의 가압, 가압 롤러(50)의 이탈 및 제1 기판(11)의 가압 롤러(50)에 대한 상대적인 평행 이동을 연속적이고 자동적으로 행할 수 있다.

한편, 본 실시예에서는 격벽(18)이 제1 기판(11)과 일체로 형성된 플라즈마 디스플레이(가스 방전 표시장치)에 대해서만 설명하였으나, 본 발명은 이러한 가스 방전 표시장치에 한한 것이 아니라, 격벽이 제1 기판과 별도로 형성된 가스 방전 표시장치에도 동일하게 적용할 수가 있다.

이상으로 설명한 바와 같이, 본 실시예의 가스 방전 표시장치의 제조방법에 의하면, 표면에 요철을 가지는 기판 상에 전극 또는 유전체층을 형성시, 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착하는 공정을 간략화하여 재료비의 삭감과 생산효율의 향상을 가능하게 하는 가스 방전 표시장치의 제조 방법을 제공할 수가 있다.

또한, 본 실시예의 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착 장치에 의하면, 가스 방전 표시장치용 기판과 가압 롤러와의 사이에 전극 시트 또는 유전체 시트의 공급과, 외부 표면에 기설정된 두께를 갖는 쿠션재가 장착된 가압 롤러에 의한 전극 시트 또는 유전체 시트 상에서의 가스 방전 표시장치용 기판 표면의 가압, 가압롤러의 이탈 및 가스 방전 표시장치용 기판의 가압 롤러에 대한 상대적인 평행이동을 연속적이고 자동적으로 행할 수 있다.

Claims (8)

1. 대향 배치된 2장의 기판을 구비하고, 상기 2장의 기판 중 한 쪽 기판의 내표면에 복수의 격벽과, 상기 격벽에 의해서 구획 형성된 복수의 방전셀과, 각 방전셀 내에 형성된 전극 및 유전체층을 포함하는 가스 방전 표시장치의 제조 방법에 있어서,

   적어도 상기 격벽을 형성한 기판 상에 전극 또는 유전체층을 형성할 때에, 상기 기판 상에 전극 시트 또는 유전체 시트를 공급하고,

   외부 표면에 기설정된 두께를 갖는 쿠션재가 장착되고 기설정된 방향으로 회전 가능하게 된 가압 롤러를 이용하여, 상기 기판 표면을 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트 상에서 가압하여,

   상기 기판 표면의 요철 형상에 따라 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 가스 방전 표시장치의 제조 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착하는 공정시, 기설정된 온도로 가열하면서 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착하는 것을 특징으로 하는 가스 방전 표시장치의 제조 방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착하는 공정시, 감압 하에서 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착하는 것을 특징으로 가스 방전 표시장치의 제조 방법.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 부착하는 공정시 이용하는 상기 가압 롤러의 상기 쿠션재가, 겔재 또는 고무재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 방전 표시장치의 제조 방법.
5. 표면에 적어도 복수의 격벽이 형성된 가스 방전 표시장치용 기판에, 전극 시트 또는 유전체 시트를 부착하기 위한 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치에 있어서,

   상기 가스 방전 표시장치용 기판을 유지하는 기판 유지수단과,

   상기 가스 방전 표시장치용 기판의 표면을 가압하도록 배치되며, 외부 표면에 기설정된 두께를 갖는 쿠션재가 장착되고, 기설정된 방향으로 회전 가능하게 된 가압 롤러와,

   상기 가스 방전 표시장치용 기판과 상기 가압 롤러와의 사이에 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 공급하기 위한 시트 공급수단과,

   상기 가스 방전 표시장치용 기판을 상기 가압 롤러에 대하여 상대적으로 평행 이동시키는 상대 이동수단을 가지는 것을 특징으로 하는 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치가, 적어도 상기 가스 방전 표시 장치용 기판과 상기 가압 롤러와의 사이에 공급된 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트를 기설정된 온도로 가열하는 가열수단을 더욱 포함을 특징으로 하는 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치.
7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,

   상기 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치가, 적어도 상기 가스 방전 표시 장치용 기판과 상기 가압 롤러와의 사이에 공급된 상기 전극 시트 또는 상기 유전체 시트와 상기 가스 방전 표시장치용 기판과의 사이를 감압하는 감압수단을 더욱 포함을 특징으로 하는 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치.
8. 제 5 항에 있어서,

   상기 가압 롤러의 외부 표면에 형성된 상기 쿠션재가, 겔재 또는 고무재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 방전 표시장치 제조용 시트 부착장치.

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