JP2005093265A - プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】平坦性の良い誘電体層を有することにより、良好な画像表示が可能なＰＤＰおよびその製造方法を実現することを目的とする。
【解決手段】第１誘電体層７は、誘電体層７の前駆体材料を塗布して形成した誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに対して、基体を圧接することにより、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂを傾斜形状とした後、焼成することで形成する。
このことにより、焼成時の誘電体前駆体層７ａの収縮による反り上がりに伴う端部７ｂでの盛り上がりが抑制され、形成された第１誘電体層７ａの端部７ｂの断面形状は傾斜形状となる。
【選択図】図２

Description

本発明は、表示デバイスに用いられるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）およびその製造方法、製造装置、ならびにその製造に用いる転写フィルムに関するものである。

近年、双方向情報端末として大画面、壁掛けテレビへの期待が高まっている。そして、そのためのディスプレイとして、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）をはじめとして、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、エレクトロルミネッセンスディスプレイ（ＥＬ）等のフラットディスプレイパネルが数多く提案されており、一部は市販され、一部は開発中である。これらの中でもＰＤＰは、自発光型で美しい画像表示ができ且つ大画面化が容易であるといった、他にはない特長を持っている。

一般にＰＤＰは、各色の放電セルがマトリックス状に配列された構成であって、ＡＣ面放電型ＰＤＰでは、前面ガラス基板である第１基板と背面ガラス基板である第２基板とが、隔壁を介して平行に配され、第１基板上には、走査電極と維持電極とからなる表示電極が平行に配設され、その上を覆って誘電体層が形成されている。また、第２基板上には走査電極と直交してアドレス電極が配され、両基板間の、隔壁で仕切られた空間内には、赤、緑、青の蛍光体層が配設され、放電ガスが封入されることによって各色の放電セルが形成された構成となっている。

また、上述のような構成のＰＤＰを駆動する際には、駆動回路により各電極に電圧を印加する。これによって、各放電セル内で放電すると、紫外線が放出され、蛍光体層の蛍光体粒子（赤、緑、青）がこの紫外線を受けて励起発光することによって画像が表示される（例えば、非特許文献１参照）。
内池平樹、御子柴茂生共著、「プラズマディスプレイのすべて」、（株）工業調査会 １９９７年５月１日刊、ｐ７９−ｐ８０

上述したような構成のＰＤＰにおいては、誘電体層の形成は、誘電体層となる前駆体材料を塗布することにより誘電体前駆体層を形成した後、これを焼成することにより行われるが、この焼成の際、誘電体前駆体層には収縮が発生し、これにより、誘電体前駆体層の端面が反り上がってしまい、その結果、端部の盛り上がった誘電体層が形成されてしまうという場合が生じる。誘電体層の端部にこのような盛り上がりが存在すると、ＰＤＰの構成によっては第１基板と第２基板の間の距離を均一に保つことが困難となる場合が発生するなどの問題が生じる場合がある。

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、平坦性の良い誘電体層を有することにより、良好な画像表示が可能なＰＤＰおよびその製造方法を実現することを目的とする。

上記目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルは、走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆う第１誘電体層と、アドレス電極を覆う第２誘電体層とを有するプラズマディスプレイパネルにおいて、第１誘電体層および／または第２誘電体層の端部の断面形状が傾斜形状を有することを特徴とするものである。

また、上記目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆う第１誘電体層と、アドレス電極を覆う第２誘電体層とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、第１誘電体層および／または第２誘電体層は、誘電体層の前駆体材料を塗布して形成した誘電体前駆体層の端部に対して、基体を圧接することにより、誘電体前駆体層の端部を傾斜形状とした後、焼成することで形成することを特徴とするものである。

また、上記目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆う第１誘電体層と、アドレス電極を覆う第２誘電体層とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、第１誘電体層および／または第２誘電体層は、誘電体層の前駆体材料を塗布して形成した誘電体前駆体層の端部を、カッターで傾斜した状態に切断することにより、誘電体前駆体層の端部を傾斜形状とした後、焼成することで形成することを特徴とするものである。

また、上記目的を実現するために本発明の転写フィルムは、プラズマディスプレイパネルの誘電体層の前駆体材料を支持フィルム上に塗布することで誘電体前駆体層を形成した転写フィルムにおいて、誘電体前駆体層の少なくとも一部の端部の断面形状が傾斜形状であることを特徴とするものである。

また、上記目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルの製造装置は、転写フィルム上に形成した誘電体前駆体層を転写することでプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置において、転写した誘電体前駆体層の端部に対して傾斜して圧接する基体を有することを特徴とするものである。

また、上記目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルの製造装置は、
転写フィルム上に形成した誘電体前駆体層を転写することでプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置において、転写した誘電体前駆体層の端部を傾斜した状態に切断するカッターを有することを特徴とするものである。

本発明のプラズマディスプレイパネルおよびその製造方法は、平坦性の良い誘電体層を有するＰＤＰを実現でき、このことにより、良好な画像表示が可能となる。

すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆う第１誘電体層と、アドレス電極を覆う第２誘電体層とを有するプラズマディスプレイパネルにおいて、第１誘電体層および／または第２誘電体層の端部の断面形状が傾斜形状を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルである。

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、第１誘電体層上および／または第２誘電体層上に、電極層を有することを特徴とするものである。

また、請求項３に記載の発明は、走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆う第１誘電体層と、アドレス電極を覆う第２誘電体層とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、第１誘電体層および／または第２誘電体層は、誘電体層の前駆体材料を塗布して形成した誘電体前駆体層の端部に対して、基体を圧接することにより、誘電体前駆体層の端部を傾斜形状とした後、焼成することで形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。

また、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、前記基体が、ローラーであることを特徴とするものである。

また、請求項５に記載の発明は、走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆う第１誘電体層と、アドレス電極を覆う第２誘電体層とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、第１誘電体層および／または第２誘電体層は、誘電体層の前駆体材料を塗布して形成した誘電体前駆体層の端部を、カッターで傾斜した状態に切断することにより、誘電体前駆体層の端部を傾斜形状とした後、焼成することで形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法である。

また、請求項６に記載の発明は、請求項３または５に記載の発明において、誘電体前駆体層は、誘電体層の前駆体材料を支持フィルム上に塗布して形成したものを転写することで形成したものであることを特徴とするものである。

また、請求項７に記載の発明は、プラズマディスプレイパネルの誘電体層の前駆体材料を支持フィルム上に塗布することで誘電体前駆体層を形成した転写フィルムにおいて、誘電体前駆体層の少なくとも一部の端部の断面形状が傾斜形状であることを特徴とする転写フィルムである。

また、請求項８に記載の発明は、転写フィルム上に形成した誘電体前駆体層を転写することでプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置において、転写した誘電体前駆体層の端部に対して傾斜して圧接する基体を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置である。

また、請求項９に記載の発明は、請求項７に記載の発明において、前記基体が、ローラーであることを特徴とするものである。

また、請求項１０に記載の発明は、転写フィルム上に形成した誘電体前駆体層を転写することでプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置において、転写した誘電体前駆体層の端部を傾斜した状態に切断するカッターを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置である。

以下、本発明の一実施の形態によるＰＤＰおよびその製造方法について、図面を参照しながら説明する。

図１は本発明の一実施の形態によるＰＤＰの概略構成を示す断面斜視図である。図１に示すようにＰＤＰは、前面パネル１と背面パネル２とから構成されている。なお図１では、構造を明確に示すために、前面パネル１と背面パネル２とは離した状態で描いている。

前面パネル１は、フロート法による硼珪素ナトリウム系ガラス等からなる第１基板である前面側の基板３上に、第１電極である走査電極４と第２電極である維持電極５とで対をなすストライプ状の表示電極６を複数対配列して形成し、そしてその表示電極６群を覆うように第１誘電体層である誘電体層７を形成し、その誘電体層７上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層８を形成することにより構成されている。なお、走査電極４および維持電極５は、それぞれ透明電極４ａ、５ａおよびこの透明電極４ａ、５ａに電気的に接続されたＣｒ／Ｃｕ／ＣｒまたはＡｇ等からなるバス電極４ｂ、５ｂとから構成されている。また、図示していないが、前記表示電極６間には、遮光膜としてのブラックストライプが表示電極６と平行に複数列形成されている。

また、背面パネル２は、前記基板３に対向配置される第２基板である背面側の基板９上に、表示電極６と直交する方向に第３電極であるアドレス電極１０を形成するとともに、そのアドレス電極１０を覆うように第２誘電体層である誘電体層１１を形成し、そしてアドレス電極１０間の誘電体層１１上には、例えばアドレス電極１０と平行にストライプ状の複数の隔壁１２を形成するとともに、この隔壁１２間の側面および誘電体層１１の表面に蛍光体層１３を形成することにより構成されている。なお、カラー表示のために前記蛍光体層１３は、通常、赤、緑、青の３色が順に配置されている。

そして、前面パネル１と背面パネル２とは、表示電極６とアドレス電極１０とが直交するように、微小な放電空間が形成されるように隔壁１２を挟んで基板３と基板９とを間隔をおいて並設することで対向配置し、そして周囲を封着部材により封止し、放電空間にネオン（Ｎｅ）およびキセノン（Ｘｅ）などを混合してなる放電ガスを６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）程度の圧力で封入することによりＰＤＰを構成している。

ここで、放電空間は、隔壁１２によって複数の区画に仕切られており、そして隔壁１２間の表示電極６とアドレス電極１０とが直交する部分に、発光画素領域となる放電セル１５が形成される。そして、表示電極６、アドレス電極１０に駆動回路（不図示）を接続することでＰＤＰ表示装置を構成し、この駆動回路により、表示電極６、アドレス電極１０に対し、アドレス放電パルスを印加することによって、発光させようとする放電セル１５に壁電荷を蓄積し、そしてその後、表示電極６に維持放電パルスを印加することで壁電荷を蓄積した放電セル１５において維持放電を発生させる。そしてこの維持放電時に発生する紫外線を蛍光体層１３に照射し可視光に変換させることにより、画像表示を行う。

ここで、走査電極４および維持電極５の各々は、抵抗の低い金属（例えばＣｒ／Ｃｕ／ＣｒまたはＡｇなど）だけで形成することもできる。すなわち、図１に示す構成のように、幅の広い透明電極４ａ、５ａを設けると、放電セル１５内での放電面積を広く確保することができ好ましいのであるが、放電セル１５のサイズが精細な場合には、走査電極４および維持電極５の幅を小さく、例えば５０μｍ以下に設定する必要があるため、金属電極だけで形成する方が好ましくなる。

また、誘電体層７は、基板３における表示電極６が配された表面全体を覆って配設された前駆体材料を塗布して形成した誘電体前駆体層を焼成してなる層である。前駆体材料としては、例えば、鉛系低融点ガラス、ビスマス系低融点ガラス、或は鉛系低融点ガラスとビスマス系低融点ガラスなどが用いられる。

また、保護層８は、ＭｇＯからなる薄層であって、誘電体層７の放電空間に臨む表面全体を覆っている。

また、誘電体層１１は、誘電体層７と同様のものであるが、可視光を反射する反射層としての働きも兼ねるように、その前駆体材料にＴｉＯ₂粒子が混合される場合がある。

また、隔壁１２は、その前駆体材料として、例えばガラス材料が用いられる。

また、蛍光体層１３を構成する蛍光体材料として、例えば、青色蛍光体材料としては、ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕが、また、緑色蛍光体材料としては、Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎが、また、赤色蛍光体材料としては、（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕが用いられる。

ここで、本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルの誘電体層の詳細を、前面パネル１を例として説明する。

図２は、本発明の一実施の形態のＰＤＰの誘電体層７の端部７ｂの状態を示す断面図であり、前面パネル１の誘電体層７を例として示している。また、図３は、比較のための、従来のＰＤＰの誘電体層１０７の端部１０７ｂの状態を示す断面図である。

図２（ａ）に示すように、本実施の形態では、基板３上に誘電体前駆体層７ａを、その端部７ｂがゆるやかに傾斜して基板３に接するように形成しており、このような状態で形成した誘電体前駆体層７ａを焼成すると、前駆体材料の収縮が発生するが、端部７ｂがゆるやかな傾斜形状で角が鈍角であることから、図２（ｂ）に示すように、焼成後の誘電体層７の端部７ｂでの反り上がり、そしてその結果としての盛り上がりは低減され、平坦性の良い誘電体層７を得ることが可能となる。

これに対し、従来のＰＤＰでは図３（ａ）に示すように、基板１０３上に誘電体前駆体層１０７ａを、端部１０７ｂが大きな段差を有するように形成しており、このような状態に形成した誘電体前駆体層１０７ａを焼成すると、前駆体材料の収縮により、図３（ｂ）に示すように、焼成後の誘電体層１０７の端部１０７ｂが盛り上がった形状となってしまう。

また、上述したような誘電体層７を有する本発明のＰＤＰであれば、例えば図４に示すような電極層である第４電極２０を誘電体層７上に形成するといった構成を採ろうとする場合、第４電極２０の電極端子取り出しに際して、端部７ｂでの盛り上がりが小さいことからその部分での断線の恐れは小さく、可能であるが、例えば図３（ｂ）に示すような端部１０７ｂの形状を有する従来のＰＤＰの場合であれば、その部分の盛り上がりのために電極（不図示）に断線が発生する可能性が生じてしまう。

なお、以上の構成においては、誘電体層７は単層でも２層以上の積層構造でも良く、また、傾斜の形状も、直線状であることに限るものではなく、曲線状、階段状であっても良い。

次に、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの製造方法について説明する。

最初に、前面パネル１を製造する方法について説明する。

まず、第１の基板である前面側の基板３として、フロート法により製造されたガラス基板を用いる。この基板３上に、通常の薄膜形成法で透明電極４ａ、５ａを形成する。そしてこの透明電極４ａ、５ａ上に、銀粉末、有機バインダー、ガラスフリット、有機溶剤などを含む銀ペーストを用いて、バス電極４ｂ、５ｂの前駆体である銀電極前駆体層を形成する。この際の形成方法としては、銀ペーストを、スクリーン印刷法を用いてバス電極４ｂ、５ｂのパターン形状に塗布して乾燥してもよいし、スクリーン印刷法やダイコート法などを用いてベタで塗布して乾燥した後、フォトリソグラフィー法（或はリフトオフ法）によりパターニングを行っても良い。

また、別な方法として、銀電極転写フィルムを用いる場合、上記銀ペーストと同様の成分をフィルム状に加工して銀電極転写フィルムを作製し、当該フィルムを透明電極４ａ、５ａ上にラミネートすることによって銀電極前駆体層を形成する。

以上のようにして形成した銀電極前駆体層は、焼成することでバス電極４ｂ、５ｂとなるが、その焼成は、次に述べる誘電体層７を形成する工程での焼成と同時に行うものであっても良い。

なお、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ電極を形成する場合は、薄膜を蒸着する方法を用いて形成する。

次に誘電体層７の形成について述べる。まず、誘電体前駆体層を有する転写フィルムを以下のようにして作製する。

すなわち、ガラス粉末、樹脂および溶剤を含有するペースト状のガラス粉末含有組成物（ガラスペースト組成物）を調製する。これは誘電体層７の前駆体材料となるものである。

ここで使用するガラス粉末としては、ＰｂＯ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系、ＺｎＯ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系、ＰｂＯ−ＳｉＯ₂−Ａｌ₂Ｏ₃系、ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系などが挙げられ、軟化点が焼成温度付近のものを使用することが好ましい。樹脂としては、エチルセルロース、アクリル樹脂等が挙げられる。溶剤としては、酢酸ｎ−ブチル、ＢＣＡ、ターピネオールなどが挙げられる。

次に、この前駆体材料を支持フィルム上に塗布し、乾燥する。これによって、誘電体前駆体からなる膜、すなわち誘電体前駆体層が形成され、転写フィルムとなる。

ここで、支持フィルムの材料となる材質としては、可撓性を有する樹脂が好ましく、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニルなどが挙げられ、また、支持フィルムの厚さは、例えば２０〜１００μｍであることが好ましい。

また、支持フィルムへの前駆体材料の塗布方法としては、ローラーコーターによる塗布方法、ドクターブレードなどのブレードコーターによる塗布方法、カーテンコーターによる塗布方法などを用いることができる。

また、誘電体前駆体層の表面上に、可撓性を有する樹脂からなるカバーフィルムを圧着して積層しておくことによって、転写フィルムの取り扱いがしやすくなる。なお、支持フィルム及びカバーフィルムは、転写時に容易に剥離できるように表面に離型処理を施しておくことが好ましい。

次に、以上のようにして作製した、支持フィルム、誘電体前駆体層、必要に応じてのカバーフィルムを有する転写フィルムを用いて、電極前駆体が形成された前面パネルの基板上に、誘電体前駆体層を転写する工程について述べる。

作製した転写フィルムを用い、電極前駆体が形成された前面パネルの基板上に、誘電体前駆体層を転写するには、熱転写を用いるが、この転写の前または後で、誘電体前駆体層の端部に基体を押し当てることによって誘電体前駆体層の端部をゆるやかな傾斜に形成する。

すなわち、転写フィルムの誘電体前駆体層は、やわらかい粘土のような粘着性および適度な形状保持性を有する。従って、この誘電体前駆体層は、基板に熱圧着することによって容易に基板側に転写されるし、平板やローラーの基体を誘電体前駆体層端部に押し当てることにより、誘電体前駆体層の端部にゆるやかな傾斜を形成することが可能である。

また、支持フィルムの上から誘電体前駆体層に対して基体を押し当てることによって、端部への傾斜形成時に、誘電体前駆体層にダストが混入するのを防ぐことができる。ここで、支持フィルムも可撓性を有するので、支持フィルムの上から誘電体前駆体層の端部に基体を押し当てることで、誘電体前駆体層の端部にゆるやかな傾斜を形成することができる。ここで、以上の説明における、転写並びに基体押し当ての工程について、特に基体としてローラーを用いた場合について具体的に説明する。

図５は誘電体前駆体層の端部の傾斜形成と転写とを併せて行うラミネート装置の概略構成を示す断面図である。ラミネート装置は、加熱転写ローラー３１と傾斜形成ローラー３２とが備えられており、転写フィルム３０と電極前駆体（不図示）が形成された基板３とが送り込まれるようになっている。

送り込まれる転写フィルム３０は、送り込まれる直前にカバーフィルム（不図示）が剥離されたものであって、支持フィルム３０ａ上に誘電体前駆体層７ａが形成されたものである。そして、基板３の電極前駆体が形成された方の表面に、誘電体前駆体層７ａの表面が接するように転写フィルム３０を重ね合わせながら、支持フィルム３０ａの上から加熱転写ローラー３１により熱圧着することによって、誘電体前駆体層７ａを基板３上に転写する。

熱転写の条件としては、例えば、加熱転写ローラー３１の表面温度が６０℃〜１２０℃、そのローラー圧が１ｋｇ／ｃｍ²〜５ｋｇ／ｃｍ²、移動速度が０．２ｍ／分〜１０．０ｍ／分である。供給する基板３は、例えば４０℃〜１００℃に予熱しておいてもよい。

そして図５に示すラミネート装置では、加熱転写ローラー３１で誘電体前駆体層７ａを転写した後、続いて、基板３上に転写された誘電体前駆体層７ａに、傾斜形成ローラー３２を圧接することにより、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂにゆるやかな傾斜を形成する。なお、この傾斜形成ローラー３２の加熱はしてもしなくてもどちらでも良い。

ここで、傾斜形成ローラー３２としては、例えば図６（ａ）に示すように、基板３の中心側の直径Ｒに対し、基板３の端部側の直径ｒがＲ＜ｒの関係となった構成としており、この構成によって、誘電体前駆体層７ａが転写された基板３に対して傾斜形成ローラー３２を圧接することにより、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂにゆるやかな傾斜を形成することができる。

また、別の傾斜形成ローラー３２の構成としては、ローラーの径は均一で、図６（ｂ）に示すように、傾斜形成ローラー３２の軸が基板３の表面に対して角度αをもって接するようにしたものが挙げられる。ここでαの角度としては、好ましくは２０度〜６０度である。

ここで、転写フィルム３０の支持フィルム３０ａの剥離については、誘電体前駆体層７ａを転写するための圧着や、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに傾斜を形成するための傾斜形成ローラー３２の圧接の、前に行っても間に行っても、そして後で行ってもよい。図５を用いた上記説明では、傾斜形成ローラー３２による圧着および傾斜形成ローラー３２の圧接を支持フィルム３０ａの上から行う例を示したが、この場合、支持フィルム３０ａの剥離は、端部への傾斜形成後、次の焼成工程の前までに行うことになる。このように、圧着後に支持フィルム３０ａを剥離することにより、支持フィルム３０ａによって誘電体前駆体層７ａの表面が保護されるので、異物などの影響を受けにくいという利点がある。

また、基板３に転写した誘電体前駆体層７ａから支持フィルム３０ａを剥離した後に傾斜形成ローラー３２による圧接を行っても良く、この場合、支持フィルム３０ａを介さず直接、型押しするので、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂの傾斜形状をより精密に形成することができる。

一方、図７には、別のラミネート装置の概略構成を断面図で示す。図７に示すラミネート装置では、傾斜形成ローラー３２を加熱転写ローラー３１の前に配置して、転写フィルム３０の誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに対して、傾斜形成ローラー３２でゆるやかな傾斜を予め形成し、その後、基板３に熱転写するようになっている。

ここで、以上で説明した構成においては、傾斜形成ローラー３２をラミネート装置に設置する例を示したが、予め転写フィルム３０の誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに対して傾斜形成ローラー３２でゆるやかな傾斜を形成し、その後、その転写フィルムをラミネート装置に供給して、基板３に熱転写することで、端部７ｂに傾斜が形成された誘電体前駆体層７ａを基板３上に形成するようにしてもよい。

また、以上説明した構成では、転写工程において、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂにゆるやかな傾斜を形成するために、図５や図７に示すラミネート装置のように、加熱転写ローラー３１と傾斜形成ローラー３２とを別々に備えた構成を示したが、これらとは異なり、加熱転写ローラー３１の端部側の直径を中央寄りの直径よりも段階的に大きくすることで、加熱転写ローラー３１に傾斜形成の機能を付加した構成であってもかまわない。

また、誘電体前駆体層７ａを基板３に熱転写する工程では、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに傾斜を形成することなく行い、誘電体前駆体層７ａを焼成する直前に、支持フィルム３０ａを除去する際に傾斜を形成することもできる。

また、上記説明では、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに、傾斜形成ローラー３２を圧接させることで傾斜を形成したが、ローラーの替わりに平板を圧接させることによっても傾斜を形成することができる。ただし、転写フィルム３０を連続的に繰り出しながら連続的に傾斜を形成することを考慮すると、傾斜形成にはローラーを用いる方が好ましい。また、ローラーを用いる方が、基板３もしくは誘電体前駆体層７ａが偏肉していても、均一的な傾斜を形成することができる。

図８は、別のラミネート装置の概略構成である。

図８（ａ）に、ラミネート装置の概略構成を断面図で示すように、転写前に誘電体前駆体層７ａの端部７ｂを傾斜形成カッター３３で切断することで誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに傾斜を形成することができる。この傾斜形成カッター３３は、例えば図８（ｂ）に概略構成を断面図で示すように、鉛直方向に対して角度βをもって設けられており、この角度βは３０度〜７０度が好ましい。さらに切り離された誘電体前駆体層７ａはテープなどの粘着性を持ったもので支持フィルム３０ａから剥離される方が好ましい。

なお、予め、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに対して傾斜形成カッター３３でゆるやかな傾斜を形成しておき、その傾斜を形成した誘電体前駆体層７ａを有する転写フィルム３０をラミネート装置に供給して、基板３に熱転写するようにしてもよい。

ここで、誘電体前駆体層７ａの切断は、転写後に行っても良いが、基板３と誘電体前駆体層７ａの密着性が強いことから、転写前に行う方が好ましい。

なお、上記説明では、転写フィルム３０を基板３上に転写するラミネート装置に傾斜形成ローラー３２を設け、その傾斜形成ローラー３２で誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに傾斜を形成したが、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに傾斜を形成する方法としては、ラミネート装置とは別の装置によって、傾斜形成ローラー３２を用いて、転写フィルム３０上の誘電体前駆体層７ａに傾斜を形成してもよい。

また、誘電体前駆体層７ａを基板３上に転写する工程では、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに傾斜を形成せず、焼成工程で用いる剥離装置に傾斜形成ローラー３２を設置しておいて、基板３に転写された誘電体前駆体層７ａ上の支持フィルム３０ａを剥がす直前また又は直後に、傾斜形成ローラー３２で、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに傾斜を形成してもよい。

次に、以上のようにして転写することで基板３上に形成した誘電体前駆体層７ａの焼成工程について述べる。まず、端部７ｂにゆるやかな傾斜が形成された誘電体前駆体層７ａを有する基板３を、焼成炉に入れて焼成する。ただし、誘電体前駆体層７ａを支持フィルム３０ａが覆っている場合には、支持フィルム３０ａを剥離する装置（支持フィルムピーラー）を焼成炉の入口に設けるなどして、支持フィルム３０を剥離してから基板３を焼成炉に入れて焼成する。

焼成炉では、電極前駆体及び誘電体前駆体層７ａに含まれるガラス成分の軟化点以上の温度で、数分〜数十分間、基板３を放置し、その後、降温する。この操作により、電極前駆体は電極に、誘電体前駆体層７ａは誘電体層７に変化する。それによって、端部７ｂに傾斜を有する誘電体層７が、基板３上に形成される。

次に、保護層８を形成する。これは、上述のようにして形成した誘電体層７の上に、電子ビーム蒸着などによりＭｇＯからなる膜を形成することで行う。保護層８は、誘電体層７の表面形状にならって形成する。以上により前面パネル１が出来上がる。

次に背面パネル２の製造方法について述べる。

まず、基板９上に、銀電極用のペーストをスクリーン印刷し、その後、焼成することによってアドレス電極１０を形成し、その上に、誘電体層１１を形成する。この誘電体層１１の形成については、前に説明した前面パネル１の誘電体層７の場合と同様である。

そして、以上のようにして形成した誘電体層１１の上に、隔壁１２を形成する。隔壁１２は、隔壁用のガラスペーストをスクリーン印刷法で塗布した後、焼成するという方法や、ベタ膜を形成し、乾燥した後、フォトリソグラフィーとサンドブラストを用いて形成するという方法などによって行う。そして、赤色、緑色、青色の各色蛍光体ペースト（または蛍光体インキ）を作製し、これを隔壁１２と隔壁１２との間に塗布し焼成することによって各色蛍光体層１３を形成する。以上により背面パネル２ができあがる。

上記のように作製した前面パネル１及び背面パネル２を、表示電極６とアドレス電極１０とが交差するように位置合わせをして重ね合わせ、周辺部をシール材によって封着する。そして、隔壁１２で仕切られた内部空間からガス排気を行い、次にＮｅ−Ｘｅ等の放電ガスを封入し、内部空間を封止する。以上でＰＤＰが完成する。

以上述べたように、本発明によれば、平坦性の良い誘電体層７を有することにより、良好な画像表示が可能なＰＤＰおよびその製造方法を実現することができる。

また、誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに対して、傾斜形成ローラー３２を押し当てる方法や、傾斜形成カッター３３で切断する方法により、誘電体層７の端部７ｂにゆるやかな傾斜を持たせることができる。

ここで、誘電体層７の端部７ｂに傾斜を形成する方法としては、スクリーン印刷法によって、一層印刷する毎にスクリーンマスクを一定方向にスライドさせて、段階的に印刷することにより、誘電体層７の端部７ｂに傾斜を形成する方法がある。しかし、この方法では、誘電体層の前駆体材料の塗布を複数回行う必要があり、それに伴ってコストもかかってしまう。また、ここで、ダイコート法で傾斜を形成するには、始端と終端のうち少なくとも一方で、ヘッドに加速度を与えてやる方法がある。しかし、この方法は加速度の制御が困難であり、側端で傾斜が形成できない問題がある。

これに対して、上述したような本発明の実施の形態で説明したラミネート法によれば、誘電体層の前駆体材料の塗布回数は１回で済み、また傾斜形成ローラー３２のような基体を誘電体前駆体層７ａの端部７ｂに押し当てることによって一定形状の傾斜が形成されるので歩留まりも良好となる。よって、誘電体層７の端部７ｂに傾斜が形成されたプラズマディスプレイパネルを、比較的低コストで製造できる。上記理由により、誘電体層７の端部７ｂに傾斜を形成するに際しての誘電体前駆体層７ａの形成方法としては、ラミネート法を用いることが好ましい。

ここで、誘電体層７の端部７ｂとしては、図１中のｘ方向の伸延する端部、ｙ方向に伸延する端部の双方を指すものである。

また、以上の説明においては、前面パネル１の誘電体層７を例に説明したが、背面パネル２の誘電体層１１に対しても同様に適用できるものである。

以上のように本発明は、平坦性の良い誘電体層を有し、良好な画像表示が可能なＰＤＰおよびその製造方法を提供することができる。

本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの概略構成を示す断面斜視図 本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルの誘電体層の端部の状態を示す断面図 従来のプラズマディスプレイパネルの誘電体層の端部の状態を示す断面図 本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルの誘電体層の端部の状態を示す断面図 本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルを製造するためのラミネート装置の概略構成を示す断面図 本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルを製造するためのラミネート装置の傾斜形成ローラの概略構成を示す図 本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルを製造するためのラミネート装置の概略構成を示す断面図 本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルを製造するためのラミネート装置の概略構成を示す断面図

符号の説明

１ 前面パネル
２ 背面パネル
３ 第１基板（基板）
７ 誘電体層
７ａ 誘電体前駆体層
７ｂ 端部
８ 保護層
９ 第２基板（基板）
１１ 誘電体層
２０ 電極層（第４電極）
３０ 転写フィルム
３０ａ 支持フィルム
３１ 加熱転写ローラー
３２ 傾斜形成ローラー
３３ 傾斜形成カッター

Claims (10)

1. 走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆う第１誘電体層と、アドレス電極を覆う第２誘電体層とを有するプラズマディスプレイパネルにおいて、第１誘電体層および／または第２誘電体層の端部の断面形状が傾斜形状を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
2. 第１誘電体層上および／または第２誘電体層上に、電極層を有することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
3. 走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆う第１誘電体層と、アドレス電極を覆う第２誘電体層とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、第１誘電体層および／または第２誘電体層は、誘電体層の前駆体材料を塗布して形成した誘電体前駆体層の端部に対して、基体を圧接することにより、誘電体前駆体層の端部を傾斜形状とした後、焼成することで形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
4. 前記基体が、ローラーであることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
5. 走査電極と維持電極とからなる表示電極を覆う第１誘電体層と、アドレス電極を覆う第２誘電体層とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、第１誘電体層および／または第２誘電体層は、誘電体層の前駆体材料を塗布して形成した誘電体前駆体層の端部を、カッターで傾斜した状態に切断することにより、誘電体前駆体層の端部を傾斜形状とした後、焼成することで形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
6. 誘電体前駆体層は、誘電体層の前駆体材料を支持フィルム上に塗布して形成したものを転写することで形成したものであることを特徴とする請求項３または５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
7. プラズマディスプレイパネルの誘電体層の前駆体材料を支持フィルム上に塗布することで誘電体前駆体層を形成した転写フィルムにおいて、誘電体前駆体層の少なくとも一部の端部の断面形状が傾斜形状であることを特徴とする転写フィルム。
8. 転写フィルム上に形成した誘電体前駆体層を転写することでプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置において、転写した誘電体前駆体層の端部に対して傾斜して圧接する基体を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
9. 前記基体が、ローラーであることを特徴とする請求項７に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
10. 転写フィルム上に形成した誘電体前駆体層を転写することでプラズマディスプレイパネルの誘電体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置において、転写した誘電体前駆体層の端部を傾斜した状態に切断するカッターを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。

Images