JP2002224875A - 配管内表面処理方法 - Google Patents

配管内表面処理方法

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JP2002224875A
JP2002224875A JP2001024073A JP2001024073A JP2002224875A JP 2002224875 A JP2002224875 A JP 2002224875A JP 2001024073 A JP2001024073 A JP 2001024073A JP 2001024073 A JP2001024073 A JP 2001024073A JP 2002224875 A JP2002224875 A JP 2002224875A
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scale
laser beam
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JP2001024073A
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English (en)
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Tetsuo Teramae
哲夫 寺前
Hironobu Kimura
博信 木村
Hajime Sato
一 佐藤
Motohiko Kimura
元比古 木村
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Toshiba Corp
Tokyo Electric Power Co Holdings Inc
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Electric Power Co Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】パルスレーザ光を用いて配管内表面に形成され
ているスケールを遠隔操作により、短期間で能率よく、
確実に除去する。 【解決手段】処理対象となる金属性配管1の内面にパル
スレーザ光を照射し、その配管1の内表面に形成されて
いるスケールに熱変化を与えることにより、スケールを
配管1の内表面から剥離させる。パルスレーザ光として
Nd・YAGレーザ光の基本波もしくは2倍波以上の逓
倍波、または銅蒸気レーザ光を適用する。照射ヘッド2
1は、処理対象となる配管1内で自走する自走ロボット
7に搭載する。自走ロボット7は、配管内で走行および
停止可能な匍匐装置24を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば火力発電プ
ラントの主蒸気管、再熱蒸気管等の内面に水蒸気酸化に
よって発生するスケールをレーザ光照射により効率よく
剥離除去する配管内表面処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】火力発電プラントの主蒸気管や再熱蒸気
管等の内面には、水蒸気酸化によって発生するスケール
が成長し、このスケールがプラント運転中に剥離して後
段のタービンに悪影響を及ぼすことがある。このため、
プラント休止中のメンテナンス期間にスケールを除去す
ることが望まれ、従来種々の手法が試みられている。
【0003】一例として、スケールが配管内表面に高温
で固着している点に着目したショットブラスト法や、ウ
オータジェット法等の機械的なスケール除去が試みられ
ている。しかし、これらの方法では必ずしも効果的な剥
離が行なえず、いずれも実機への適用は困難である。
【0004】そこで現在、実機に対しては主として化学
洗浄法が適用されている。この方法では、ボイラ等の機
器保護のために主蒸気配管(例えば内径220〜320
mm、全長〜100m)を一部切断し、この状態で薬液
として化学溶剤を導入し、これによりスケール除去を行
なう。そして、施工後には現状復帰のため、一旦切断し
た配管の再溶接を行なう。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述した化学洗浄法に
おいては、大径配管の切断という多大な手間を必要とす
るうえ、薬液がボイラやタービン等の機器部に流れ込ま
ないように流路を閉止する等の養生が必要であり、しか
も施工後に主蒸気配管を再溶接しなければならない。し
たがって、スケール除去作業のためにプラントを長期に
亘って休止させなければならず、多くの手間や時間、コ
ストを要する問題がある。
【0006】これに対し、近年では、例えば特開平8−
112683号公報に見られるように、レーザ光を用い
て金属材料表面の酸化物や塗装膜の除去、母材の表面改
質を行なう技術、あるいは特開平9−222498号公
報に見られるように、レーザ光を用いて汚染部材の汚染
表面層清浄化する技術等が開発されている。
【0007】しかし、これらの技術においては、レーザ
光の照射により酸化物、汚染物質および母材を溶融また
は蒸発させる手法を採用している。このため、作業が大
掛かりとなり、長時間を要して効率が悪く、各種の方向
に配置される多数の配管を有する実際のプラントに対し
ては、実際の適用が困難である。
【0008】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、火力発電プラントの主蒸気管や再熱蒸気管等の
内面のスケールを、レーザ光を有効に利用して、短期間
で効率よく剥離除去することができ、低コスト化も有効
に図れる配管内表面処理方法を提供することを目的とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】発明者においては、配管
内表面のスケールをレーザ光の照射によって効率よく剥
離除去する研究を行なってきた。この結果、一定の条件
でスケールにパルスレーザ光を集光照射すると、パルス
レーザ光の光エネルギーが急激にスケールに吸光される
ことがわかった。そして、スケールは熱膨張を来たして
伸張するが、配管の母材は非加熱で冷たいため膨張せ
ず、配管の母材金属とスケールとの間に亀裂が発生し、
スケールのみが剥離することを見出した。
【0010】本発明はかかる現象に着目して完成したも
のであり、パルスレーザ光を配管内表面に照射して急激
な熱変化を繰り返して起こさせ、これにより配管内表面
からスケールのみを剥離させ、高性能のスケール除去・
配管内表面処理を行なうものである。
【0011】すなわち、請求項1に係る発明では、処理
対象となる金属性配管の内面にパルスレーザ光を照射
し、その配管の内表面に形成されているスケールに熱変
化を与えることにより、前記スケールを前記配管の内表
面から剥離させることを特徴とする配管内表面処理方法
を提供する。
【0012】請求項2に係る発明では、請求項1記載の
配管内表面処理方法において、パルスレーザ光としてN
d・YAGレーザ光の基本波もしくは2倍波以上の逓倍
波、または銅蒸気レーザ光を適用し、そのパルスレーザ
光の発振繰り返し数を1Hz〜100MHz、パルス幅
を0.005〜300nsec、パルスエネルギー密度
を200mJ/cm〜10000mJ/cm、ピー
クパワー密度を100Wcm〜10KWcmの条件
に設定する配管内表面処理方法を提供する。
【0013】請求項3に係る発明では、請求項1または
2記載の配管内表面処理方法において、パルスレーザ光
は、処理対象となる配管の外部に設置したパルスレーザ
発振器から集光光学系を有する光ファイバ導光装置を介
して出射した後、前記配管内に挿入した伝送用光ファイ
バにより処理対象位置まで導き、その伝送用光ファイバ
の先端に設けた集光光学系を有する照射ヘッドから処理
対象となる配管内表面に照射する配管内表面処理方法を
提供する。
【0014】請求項4に係る発明では、請求項3記載の
配管内表面処理方法において、レーザ光は、照射ヘッド
に設けた回転装置により、処理対象となる配管内面の周
方向に沿って回転照射する配管内表面処理方法を提供す
る。
【0015】請求項5に係る発明では、請求項3または
4記載の配管内表面処理方法において、照射ヘッドは、
処理対象となる配管内で自走する自走ロボットに搭載す
る配管内表面処理方法を提供する。
【0016】請求項6に係る発明では、請求項5記載の
配管内表面処理方法において、自走ロボットは、配管内
で走行および停止可能な匍匐装置を備える配管内表面処
理方法を提供する。
【0017】請求項7に係る発明では、請求項5または
6記載の配管内表面処理方法において、自走ロボット
は、スケール除去状況を監視するスケール除去状況監視
用モニタ、レーザ光照射制御を行なうための照射制御用
モニタ、管内挿入機器へのスケール付着を防止するスケ
ール付着防止機構、および剥離されたスケールを回収す
るスケール回収機構の少なくともいずれか1以上を備え
る配管内表面処理方法を提供する。
【0018】請求項8に係る発明では、請求項7記載の
配管内表面処理方法において、スケール除去状況監視用
モニタは、照射ヘッドに設けられた回転機構により回転
するカメラおよび照明装置を有する配管内表面処理方法
を提供する。
【0019】請求項9に係る発明では、請求項7または
8記載の配管内表面処理方法において、スケール回収機
構は、配管内面の洗浄用として、配管内面に摺動して回
転するブラシ、洗浄液を噴射するスプレイノズル、剥離
スケールを吸引する吸引口、および剥離スケールを管外
に排出するホースを備える配管内表面処理方法を提供す
る。
【0020】請求項10記載の発明では、請求項1から
9までのいずれかに記載の配管内表面処理方法におい
て、処理対象となる配管外に、パルスレーザ発振機、ス
ケール除去状況監視装置、照射制御装置およびスケール
回収装置の少なくともいずれかを備え、かつ前記各装置
および自走ロボットは統括制御用の制御盤によって制御
する配管内表面処理方法を提供する。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る配管内表面処
理方法の実施形態について図面を参照して説明する。
【0022】図1〜図3は本発明の一実施形態を示すも
ので、図1はシステム全体の概略系統図であり、図2は
配管内への挿入機器およびスケール除去状況を示す構成
図である。図3は作用効果を示すグラフである。
【0023】図1に示すように、配管内表面処理システ
ムは大別して、配管1の外部に設置されるベース機器類
と、配管1内に挿入される装置本体部分とからなる。ベ
ース機器類としては、パルスレーザ発振器2、スケール
回収装置3、スケール除去状況監視装置4、照射制御装
置5、およびこれらとタイミングケーブル6aによって
接続された統括制御用の制御盤6等を備える。配管1内
に挿入される装置本体部分は、配管内を間欠的に走行で
きる自走ロボット7としている。この自走ロボット7
は、上記の配管外部機器に光ファイバ8および信号ケー
ブル9、ホース10等を介して接続される。以下、詳説
する。
【0024】パルスレーザ発振器2には、Nd・YAG
レーザ装置、または銅蒸気レーザ装置を適用する。発振
するレーザ光は、発振繰り返し数約1Hz〜100MH
z、パルス幅約0.005〜300nsecのNd・Y
AGレーザ基本波もしくは2倍波以上の逓倍波もしくは
銅蒸気レーザ光とする。このレーザ光の出力条件は、パ
ルスエネルギー密度200mJ/cm〜10000m
J/cm、ピークパワー密度100Wcm〜10K
Wcmに設定する。具体例としては、レーザ出力:5
0〜150W(〜30mJ/パルス)、波長:511n
mおよび578nm(比率1.2:1)、繰り返し周波
数:4.6kHzの出力条件に設定する。このような条
件のパルスレーザの照射により、鉄鋼系配管内表面に発
生する酸化物スケールのみが加熱され、非加熱状態の配
管母材から剥離される。
【0025】スケール回収装置3は、配管1の内表面か
ら剥離したスケールを吸引して回収するもので、図示し
ない吸引ポンプ、フィルタ、ホースリール等を備え、配
管1内に挿入した自走ロボット7にホース10を介して
接続される。
【0026】スケール除去状況監視装置4は、蛍光分析
装置等を備えた構成とされ、自走ロボット7に設けたモ
ニタ等による配管内表面の光量に基づいて配管温度を監
視し、配管1の健全性が害される温度とならないよう、
所定のレーザ光照射停止信号発生等を行なう。
【0027】照射制御装置5は、パルスレーザ光の照射
強度、自走ロボット7に搭載される後述する光学系機器
の制御等を行なう。
【0028】これらのパルスレーザ発振機2、スケール
回収装置3、スケール除去状況監視装置4、照射制御装
置5および自走ロボット7等を制御盤6によって統括的
に制御する。
【0029】次に、図2によって自走ロボット7の構成
を説明する。なお、この図2においては、垂直に配置さ
れた配管1に自走ロボット7を挿入して上下方向に移動
させる状態を示している。
【0030】この自走ロボット7は、上下配置の照射部
11および自走機構部12と、これらの間に配置したス
ケール回収部13とを、自在継手14によって連結した
構成とされている。
【0031】照射部11は細長い筒状のケース15を有
し、このケース15の周囲3箇所に等間隔で、かつ上下
2段配置でパンタグラフ16が設けられ、この各パンタ
グラフ16の先端に配管1の内面に接して配管1の軸方
向に走行できる車輪17が取付けられている。そして、
これらの車輪17の位置をパンタグラフ16の伸縮によ
り調整し、ケース15の中心が配管1の中心に一致する
状態にしてケース15を配管1内の軸方向(上下方向)
に走行させるようにしている。
【0032】ケース11内の中心線位置には下部から上
方に順次に、出射光学系18、集光光学系としてのレン
ズ19、および照射方向設定用のミラー20が設けら
れ、これにより照射ヘッド21が構成されている。出射
光学系18は伝送用光ファイバ8を介して、図1に示し
たパルスレーザ発振器6に接続されている。
【0033】なお、図示しないが、パルスレーザ発振器
6側には、集光光学系を有する光ファイバ導光装置が設
けられている。そして、パルスレーザ発振器6で発振
し、出射光学系18から出射され、レンズ19で集光さ
れたパルスレーザ光は、ミラー20で反射され、配管1
の内面の処理対象位置、すなわちレーザ照射点22に達
する。
【0034】ミラー20は、図示しないモータ等の回転
装置により、ケース15の中心線まわりに回転できるよ
うになっており、これによりレーザ照射点22は、配管
1内面の周方向に沿って回転することができる。モータ
の回転速度等は、図1に示した照射制御装置5により、
信号ケーブル9を介して遠隔制御される。
【0035】また、ミラー20の隣接位置には、スケー
ル除去状況を監視するスケール除去状況監視用モニタと
して、例えばCCDカメラ23が設けられている。この
CCDカメラ23はレーザ照射点22を撮像するもので
あり、図示しないモータ等の回転装置によりミラー20
と同期して回転する。そして、このCCDカメラ23で
捉えられた映像データは信号ケーブル9により、図1に
示したスケール除去制御装置5に送信される。
【0036】なお、CCDカメラ23には、図示しない
分光フィルタが付設され、これによりCCDカメラ23
は、スケール除去状況を監視するスケール除去状況監視
用モニタを兼用する構成となっている。すなわち、分光
フィルタでは配管1の構成材料である鉄系金属の発光成
分のみを抽出することができ、その発光成分データが信
号ケーブル9を介し、図1に示したスケール除去監視装
置4に送信され、配管1の内面温度等が監視できるよう
になっている。なお、スケール除去状況監視モニタとし
ては、テレビカメラ、照明、電源および信号用スリップ
リング等を用いて構成することもできる。
【0037】次に、自走ロボット7の下部構成要素であ
る自走機構部12は、図2に示すように、例えば2体の
略同一構成の匍匐装置24を、自在継手14により上下
に連結した構成とされている。これらの匍匐装置24
は、装置ケース25の周囲部に、等間隔で例えば3体の
リンク式の匍匐脚26を突出させたものであり、各匍匐
脚26の先端には配管1の内面に接触するパッド27が
設けられている。装置ケース25の内部には、図示しな
いモータ等の駆動機構により回転する駆動軸28が設け
られ、この駆動軸28を駆動源とするねじ伝動機構29
等によって、匍匐脚26の伸縮および回動等による上向
き推進動作が行なえるようになっている。
【0038】この自走機構部12のモータ等は、信号ケ
ーブル9およびタイミングケーブル6aを介して制御盤
6に接続され、この制御盤6により遠隔制御できる。本
実施形態では、例えばミラー20等の一回転ごとに対応
させて停止し、次いで一定距離の上昇を行なうという間
欠的な動作で配管1内を上昇する設定にしてある。
【0039】また、スケール回収部13は上述したよう
に、照射部11と自走機構部12との間に自在継手14
を介して連結されている。このスケール回収部13は、
大径なケース体30の上側部に、配管1と同軸かつその
内径と略同一径の回転ブラシ31を有し、この回転ブラ
シ31はケース体30に設けたブラシ回転モータ32お
よび図示しないギア等の伝動機構により回転駆動される
ようになっている。そして、配管1の内面に摺動して回
転することにより、スケール除去後の配管内面を洗浄す
るようになっている。回転ブラシ31の下側位置には、
配管1の内面に向って洗浄液を噴射するスプレイノズル
33が設けられ、回転ブラシ31と協働して配管洗浄を
行なうようになっている。洗浄液は図1に示したスケー
ル回収装置3から給液用のホース10を介して供給され
る。
【0040】ケース体30の下部には、配管1の内面に
気密接触するリング状のシール部34が設けられるとと
もに、その上側位置には洗浄液および剥離スケール等を
吸引するための吸引口35が設けられている。そして、
吸引口35が吸引用ホース36を介してスケール回収装
置3の図示しない吸引ポンプに接続され、その吸引によ
ってシール部34の上側に位置する配管1内の空間部か
ら洗浄液および剥離スケール等が配管1の外部に排出さ
れるようになっている。
【0041】次に、作用を説明する。
【0042】本実施形態では、例えば配管1に取り付け
られている図示しないバルブを外し、その開口部から配
管1内に自走ロボット7を導入する。自走ロボット7は
匍匐装置24の匍匐動作により、図2に示すように、垂
直配管1内を自走で上昇する。これにより、以下のスケ
ール除去作業を、配管の切断等を必要とすることなく行
える。
【0043】パルスレーザ発振器より発せられたパルス
レーザ光は、集光光学系(図示せず)を有する光ファイ
バー導光装置(図示せず)により光ファイバー8に入光
される。パルスレーザ光は、光ファイバー8により遠距
離伝送され、スケールが付着している配管1内を自走す
る自走ロボット7を介し、照射ヘッド21まで送られ
る。
【0044】照射ヘッド21は匍匐装置24の上方に搭
載されているので、光ファイバ8により伝搬されたパル
スレーザ光は、出射光学系18を通り、レンズ19で集
光されつつ、配管1の中心部を通り、ミラー20により
反射されて配管1の内周面のレーザ光照射点22に照射
される。この場合、上述した出力条件で、スケールにパ
ルスレーザ光が照射されると、パルスレーザ光の光エネ
ルギーが急激にスケールに吸光され、スケールは熱膨張
を来たして伸張するが、母材はまだ冷たいため膨張せ
ず、母材金属とスケールとの間に亀裂が生じ、スケール
のみが剥離する。すなわち、このような現象によりパル
スレーザ光の配管1内表面における急激な熱変化が繰り
返され、スケールが配管1の内表面から剥離する。
【0045】そこで、ミラー20の回転によりレーザ照
射点22を配管1の内周面に沿って周方向に一周させる
ことにより、スケールを周方向に沿う一定幅の領域から
剥離する。なお、CCDカメラ23は、ミラー20と同
期して回転し、スケール剥離状況をモニタする。高繰り
返しで発振し、レーザ照射点22に集光されるパルスレ
ーザ光の集光点の幅は、例えば3〜5mm程度である。
ミラー20の回転によりレーザ照射点22が配管内面を
1周すると、スケールはレーザ光照射幅3〜5mmより
広い範囲で剥離する。この剥離状況をCCDカメラ23
でモニタし、剥離の健全性を同時に確認する。
【0046】この時、パルスレーザが強過ぎて廃刊の母
材を浸食した場合には、母材金属(たとえば鉄)による
強い紫外発光が観察されるため、CCDカメラ23に設
けた分光フィルタにより鉄の発光成分のみをモニタして
おく。もし、この鉄成分の発光が強くなったら、レーザ
光照射を停止する。これにより配管1の母材の健全性を
確保することができる。
【0047】配管1の一周分だけスケールが剥離された
後は、自走ロボット7を匍匐装置24によりスケールの
剥離幅に相当する距離だけ上昇させ、次のスケール除去
作業を前記同様に実施していく。剥離されたスケール
は、回転ブラシ31によって掻き落とされ、スケール剥
離後の配管の内表面はスプレイノズル33からの洗浄液
噴射により洗浄される。掻き落とされたスケールおよび
使用された洗浄液は、スケール回収部13の吸引口35
から吸引用ホース36を介してスケール回収装置2に回
収され、配管1内には残しない。
【0048】このように、ミラー回転と匍匐動作を繰り
返し行い、パルスレーザ光を光ファイバー8を介してス
ケールに照射することにより、遠隔にて火力発電プラン
ト等の例えば主蒸気管内面に付着したスケールを除去す
ることができる。
【0049】特に、本実施形態によれば、パルスレーザ
光の配管1内表面における急激な熱変化を繰り返し起こ
してスケールを剥離することにより、スケール除去性能
の向上が図れる。
【0050】図3は、代表的なパルスレーザである銅蒸
気レーザ(CVL)を使用して、実際の火力発電プラン
トにおける主蒸気管のスケールを剥離させたときの実験
データを示している。
【0051】この場合、上述したように、レーザ装置仕
様としては、レーザ出力:50〜150W(〜30mJ
/パルス)、波長:511nmおよび578nm(比率
1.2:1)、繰り返し周波数:4.6kHzである。
【0052】パルスレーザ光であるCVL出力を50
W、100W、150Wと変化させ、スケールに照射し
たところ、図3に2重丸印で示したように、照射表面の
パワー密度(103〜104W/cm)のもとで、略
完全にスケールを剥離できることが確認された。
【0053】図4は、本発明の他の実施形態による自走
ロボット7の構成を示している。
【0054】この図4に示す自走ロボット7は、図2に
示した照射部11と自走機構部12とを直接連結し、ス
ケール回収部13を省略した構成とされている。なお、
この実施形態において、図2に示した構成と同一部分に
は、図4に図2と同一の符号を付して説明を省略する。
【0055】この実施形態によっても、ミラー回転と匍
匐動作を繰り返し行い、パルスレーザ光を光ファイバー
8を介してスケールに照射することにより、遠隔にて火
力発電プラント等の例えば主蒸気管内面に付着したスケ
ールを除去することができ、パルスレーザ光の配管1内
表面における急激な熱変化を繰り返し起こしてスケール
を剥離することにより、スケール除去性能の向上が図れ
る等の基本的な効果が奏される。スケール回収機能につ
いては種々の態様で実施することができる。
【0056】なお、以上の各実施形態においては、垂直
な配管1を処理対象としたが、水平または傾斜した配置
の配管の内表面処理についても、種々適用できることは
勿論である。また、自走ロボット7を自在継手14によ
り屈曲可能な構成とすることにより、曲管についても適
用することができる。
【0057】また、パルスレーザ光の照射経路の光学的
機器の種類や配置については、上記実施形態と同様の基
本構成のもとで種々変形または応用することが可能であ
り、さらに匍匐装置の構成変更等、機械的構成について
も種々変更しすることが可能である。
【0058】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、パルス
レーザ光を用いて配管内表面に形成されているスケール
を遠隔操作により、短期間で能率よく、確実に除去する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る配管内表面処理方法の一実施形態
を示す配管内表面処理システム全体の系統図。
【図2】前記実施形態における自走ロボットを示す構成
図。
【図3】前記実施形態におけるスケール剥離処理の実験
結果を示すグラフ。
【図4】本発明に係る配管内表面処理方法の他の実施形
態における自走ロボットを示す構成図。
【符号の説明】
1 配管 2 パルスレーザ発振器 3 スケール回収装置 4 スケール除去状況監視装置 5 照射制御装置 6a タイミングケーブル 6 制御盤 7 自走ロボット 8 光ファイバ 9 信号ケーブル 10 ホース 11 照射部 12 自走機構部 13 スケール回収部 14 自在継手 15 ケース 16 パンタグラフ 17 車輪 18 出射光学系 19 レンズ 20 ミラー 21 照射ヘッド 22 レーザ照射点 23 CCDカメラ 24 匍匐装置 25 装置ケース 26 匍匐脚 27 パッド 28 駆動軸 29 ねじ伝動機構 30 ケース体 31 回転ブラシ 32 ブラシ回転モータ 33 スプレイノズル 34 シール部 35 吸引口 36 吸引用ホース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B08B 9/049 B61B 13/10 B23K 26/02 F01D 25/00 Q 26/08 B23K 101:06 B61B 13/10 B08B 9/02 B F01D 25/00 C // B23K 101:06 9/04 A (72)発明者 木村 博信 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 佐藤 一 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者 木村 元比古 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 Fターム(参考) 3B116 AA13 AB54 BA02 BA12 BA35 BB22 BB72 BC01 4E068 CA01 CA17 CD05 CD15 CE06 CE08

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 処理対象となる金属性配管の内面にパル
    スレーザ光を照射し、その配管の内表面に形成されてい
    るスケールに熱変化を与えることにより、前記スケール
    を前記配管の内表面から剥離させることを特徴とする配
    管内表面処理方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の配管内表面処理方法にお
    いて、パルスレーザ光としてNd・YAGレーザ光の基
    本波もしくは2倍波以上の逓倍波、または銅蒸気レーザ
    光を適用し、そのパルスレーザ光の発振繰り返し数を1
    Hz〜100MHz、パルス幅を0.005〜300n
    sec、パルスエネルギー密度を200mJ/cm
    10000mJ/cm、ピークパワー密度を100W
    cm〜10KWcmの条件に設定する配管内表面処
    理方法。
  3. 【請求項3】 請求項1または2記載の配管内表面処理
    方法において、パルスレーザ光は、処理対象となる配管
    の外部に設置したパルスレーザ発振器から集光光学系を
    有する光ファイバ導光装置を介して出射した後、前記配
    管内に挿入した伝送用光ファイバにより処理対象位置ま
    で導き、その伝送用光ファイバの先端に設けた集光光学
    系を有する照射ヘッドから処理対象となる配管内表面に
    照射する配管内表面処理方法。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の配管内表面処理方法にお
    いて、レーザ光は、照射ヘッドに設けた回転装置によ
    り、処理対象となる配管内面の周方向に沿って回転照射
    する配管内表面処理方法。
  5. 【請求項5】 請求項3または4記載の配管内表面処理
    方法において、照射ヘッドは、処理対象となる配管内で
    自走する自走ロボットに搭載する配管内表面処理方法。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の配管内表面処理方法にお
    いて、自走ロボットは、配管内で走行および停止可能な
    匍匐装置を備える配管内表面処理方法。
  7. 【請求項7】 請求項5または6記載の配管内表面処理
    方法において、自走ロボットは、スケール除去状況を監
    視するスケール除去状況監視用モニタ、レーザ光照射制
    御を行なうための照射制御用モニタ、管内挿入機器への
    スケール付着を防止するスケール付着防止機構、および
    剥離されたスケールを回収するスケール回収機構の少な
    くともいずれか1以上を備える配管内表面処理方法。
  8. 【請求項8】 請求項7記載の配管内表面処理方法にお
    いて、スケール除去状況監視用モニタは、照射ヘッドに
    設けられた回転機構により回転するカメラおよび照明装
    置を有する配管内表面処理方法。
  9. 【請求項9】 請求項7または8記載の配管内表面処理
    方法において、スケール回収機構は、配管内面の洗浄用
    として、配管内面に摺動して回転するブラシ、洗浄液を
    噴射するスプレイノズル、剥離スケールを吸引する吸引
    口、および剥離スケールを管外に排出するホースを備え
    る配管内表面処理方法。
  10. 【請求項10】 請求項1から9までのいずれかに記載
    の配管内表面処理方法において、処理対象となる配管外
    に、パルスレーザ発振機、スケール除去状況監視装置、
    照射制御装置およびスケール回収装置の少なくともいず
    れかを備え、かつ前記各装置および自走ロボットは統括
    制御用の制御盤によって制御する配管内表面処理方法。
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