JP2002203737A - 積層セラミック電子部品及びその製造方法 - Google Patents

積層セラミック電子部品及びその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 シール性を確保しつつ、積層セラミック電子
部品のたわみ強度を向上させることが可能で、導電性接
着剤による実装に対応することが可能な積層セラミック
電子部品及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 外部電極3を、第1電極層11と、第2
電極層12とを備えた複数層構造とし、かつ、第1電極
層11中のガラスフリット含有率G1を、第2電極層1
2中のガラスフリット含有率G2と同等以上(G1≧G
2)とし、さらに、第1電極層11の厚みT1を20μ
m以上、ガラスフリット含有率G1を5vol%以上とし、
かつ、第2電極層12の厚みT2を50μm以下、ガラ
スフリット含有率G2を15vol%以下とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本願発明は、積層セラミック
電子部品及びその製造方法に関し、詳しくは、導電性接
着剤を用いて実装することが可能な積層セラミック電子
部品及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】代表的
な積層セラミック電子部品の一つに、例えば、図2に示
すようなチップ型の積層セラミックコンデンサがある。
この積層セラミックコンデンサは、複数の内部電極52
がセラミック層51を介して互いに対向するように配設
され、かつ、その一端側が交互に異なる側の端面に引き
出されたセラミック素子60の両端面に、内部電極52
と導通するように一対の外部電極53,53が配設され
た構造を有している。そして、外部電極53としては、
Ag粉末などの導電成分やガラスフリットなどを含有す
る導電ペーストを塗布して焼き付けた下地電極上に、N
iめっき膜電極、Snめっき膜電極などが配設された構
造を有するものが一般的である。
【0003】そして、図2に示すようなチップ型の積層
セラミックコンデンサを基板に実装するにあたっては、
従来は、Pb/Sn系はんだを用いて、リフローはんだ
付けなどの方法によって、外部電極を基板上の電極には
んだ付けすることにより実装されるのが一般的である。
【0004】一方、近年、環境保護の見地から、Pbを
含むはんだを使用することなく、電子部品を実装する方
法の開発が進み、無鉛はんだや、導電性接着剤を用いて
実装する方法が開発されるに至っている。
【0005】そして、導電性接着剤を用いて実装する方
法は、無鉛はんだを用いる場合に比べて、実装時に電子
部品を熱衝撃を与えることが少ない(すなわち、実装時
に導電性接着剤を硬化させる際の加熱温度が無鉛はんだ
を溶融させる際の加熱温度よりも低い)点において、無
鉛はんだよりも優れており、用途によっては、導電性接
着剤を用いて積層セラミック電子部品を実装することが
必要になる場合がある。
【0006】ところで、上記従来の積層セラミック電子
部品の外部電極は、上述のように、Ag粉末などを導電
成分とする導電ペーストを塗布して焼き付けた下地電極
上に、Niめっき膜電極、Snめっき膜電極などが配設
された構造を有しており、かかる外部電極は、下地電
極、Niめっき膜電極、Snめっき膜電極の各電極が比
較的緻密で表面が平滑に形成されており、導電性接着剤
が硬化する際に生じる応力や、基板のたわみによる応力
などが外部電極を経て、セラミック素子に伝わりやす
く、場合によっては、積層セラミック電子部品(セラミ
ック素子)の破損を引き起こしたり、外部電極と基板上
の電極の剥離が生じたりするという問題点がある。ま
た、外部電極の表面が平滑で、接着面積が小さいことか
ら、導電性接着剤による接合強度が不十分になる場合が
あり、必ずしも十分に信頼性の高い実装を行うことがで
きない場合があるという問題点がある。
【0007】このような問題点を解決する方法として
は、例えば、余り緻密でないポーラスな構造の外部電極
を形成する方法が考えられるが、外部電極をポーラスに
すると、導電性接着剤が硬化する際に生じる応力や、基
板のたわみによる応力などに対する積層セラミック電子
部品の耐性(以下、単に「たわみ強度」ともいう)を向
上させることは可能になるが、外部電極のシール性が不
十分になり、耐候性や耐久性が低下するという問題点が
ある。
【0008】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、たわみ強度が大きく、かつ、外部電極のシール性
に優れ、しかも、導電性接着剤による実装に対応するこ
とが可能な外部電極を備えた積層セラミック電子部品及
びその製造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明(請求項1)の積層セラミック電子部品
は、内部電極が埋設されたセラミック素子の表面に、外
部電極が配設された構造を有する積層セラミック電子部
品であって、外部電極が、セラミック素子の表面に形成
された第1電極層と、該第1電極層上に形成された第2
電極層とを備えた複数層構造を有しており、かつ、前記
第1電極層中のガラスフリット含有率G1と、第2電極
層中のガラスフリット含有率G2とが、G1≧G2の関
係にあり、かつ、第1電極層の厚みT1が20μm以
上、かつ、ガラスフリット含有率G1が5vol%以上で
あり、第2電極層の厚みT2が50μm以下、かつ、ガ
ラスフリット含有率G2が15vol%以下であることを
特徴としている。
【0010】外部電極を、第1電極層と、第2電極層と
を備えた複数層構造とし、かつ、第1電極層中のガラス
フリット含有率G1を、第2電極層中のガラスフリット
含有率G2と同等以上(G1≧G2)とし、さらに、第
1電極層の厚みT1を20μm以上、ガラスフリット含
有率G1を5vol%以上とし、かつ、第2電極層の厚み
T2を50μm以下、ガラスフリット含有率G2を15v
ol%以下とすることにより、ガラスフリット含有率の高
い第1電極層によりシール性を確保するとともに、ガラ
スフリット含有率の低い、ポーラスな第2電極層によ
り、外部からの応力を緩和して、導電性接着剤が硬化す
る際に生じる応力や、基板のたわみによる応力などに対
する耐性(たわみ強度)を向上させることが可能にな
る。また、ポーラスな構造を有する第2電極層により、
導電性接着剤との接合性が向上するため、導電性接着剤
を用いて実装する場合にも、信頼性の高い実装を行うこ
とが可能になる。
【0011】なお、第1電極層中のガラスフリット含有
率G1を、第2電極層中のガラスフリット含有率G2と
同等以上(G1≧G2)とするのが好ましいのは、かか
る要件を満たすことにより、第1電極層のシール性を向
上させて、外部電極全体のシール性を向上させることが
可能になることによる。また、第1電極層の厚みT1を
20μm以上、ガラスフリット含有率G1を5vol%以上
とするのが好ましいのは、かかる要件を満たすことによ
り、必要なシール性を確保し、かつ、セラミック素子と
外部電極との接合強度を確保することが可能になること
による。また、第2電極層の厚みT2を50μm以下、
ガラスフリット含有率G2を15vol%以下とするのが
好ましいのは、かかる要件を満たすことにより、導電性
接着剤が硬化する際に生じる応力や、基板のたわみによ
る応力などに対する耐性(たわみ強度)を向上させるこ
とが可能になるとともに、導電性接着剤との接合性を向
上させることが可能になることによる。
【0012】また、請求項2の積層セラミック電子部品
は、前記内部電極を構成する導電成分が、Cu,Ni,
Fe,Co及びそれらの合金から選ばれる卑金属材料で
あり、前記第1電極層を構成する導電成分が、Cu,N
i,Fe,Co及びそれらの合金から選ばれる卑金属材
料であり、かつ、前記第2電極層を構成する導電成分
が、Ag,Pd,Au,Pt及びそれらの合金から選ば
れる貴金属材料であることを特徴としている。
【0013】内部電極を構成する導電成分として、C
u,Ni,Fe,Co及びそれらの合金から選ばれる卑
金属材料を用い、第1電極層を構成する導電成分とし
て、Cu,Ni,Fe,Co及びそれらの合金から選ば
れる卑金属材料を用い、かつ、第2電極層を構成する導
電成分として、Ag,Pd,Au,Pt及びそれらの合
金選ばれる貴金属材料を用いることにより、製造コスト
の増大を抑制しつつ、導電性接着剤が硬化する際に生じ
る応力や、基板のたわみによる応力などに対する耐性
(たわみ強度)や、シール性などに関し、所望の特性を
備えた積層セラミック電子部品を得ることが可能にな
る。
【0014】また、請求項3の積層セラミック電子部品
は、前記第1電極層の表面に、第1電極層の内部よりも
ガラスフリット含有率の高いガラスリッチ層が形成され
ていることを特徴としている。
【0015】第1電極層の表面に、第1電極層の内部よ
りもガラスフリット含有率の高いガラスリッチ層を設け
ることにより、第1電極層のシール性能をさらに向上さ
せて、外部電極全体としてのシール性をより高めること
が可能になる。
【0016】また、請求項4の積層セラミック電子部品
は、前記第1電極層の表面の、ガラスリッチ層のガラス
フリット含有率が10vol%以上であることを特徴とし
ている。
【0017】第1電極層の表面の、ガラスリッチ層のガ
ラスフリット含有率を10vol%以上とすることによ
り、第1電極層のシール性をさらに向上させることが可
能になり、より信頼性の高い積層セラミック電子部品を
提供することが可能になる。
【0018】また、本願発明(請求項5)の積層セラミ
ック電子部品の製造方法は、請求項3又は4記載の積層
セラミック電子部品を製造する方法であって、内部電極
が埋設されたセラミック素子の表面に、所定の割合以上
のガラスフリットを含有する導電ペーストを塗布して焼
き付けることにより、ガラスフリットを第1電極層の表
面近傍に析出させてガラスリッチ層を形成することを特
徴としている。
【0019】内部電極が埋設されたセラミック素子の表
面に、所定の割合以上のガラスフリットを含有する導電
ペーストを塗布して焼き付けることにより、ガラスフリ
ットを表面近傍に析出させることが可能になり、特別な
工程を必要とすることなく、第1電極層の表面にガラス
リッチ層を形成することが可能になる。なお、例えば、
ガラスフリットを、焼成後の固形分に対する割合が、1
0重量%以上となるように含有させた導電ペーストを用
いることにより、ガラスフリットを表面近傍に析出させ
て、第1電極層の表面にガラスリッチ層を形成すること
が可能になる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
なお、以下の実施形態では、積層セラミック電子部品と
して積層セラミックコンデンサを例にとって説明する。
【0021】[実施形態1]この実施形態1の積層セラ
ミック電子部品(積層セラミックコンデンサ)は、図1
に示すように、卑金属(この実施形態1では卑金属であ
るNi)からなる複数の内部電極2がセラミック層1を
介して互いに対向するように配設され、かつ、その一端
側が交互に異なる側の端面に引き出されたセラミック素
子10の両端部に、内部電極2と導通するように一対の
外部電極3,3を配設することにより形成されている。
なお、この積層セラミックコンデンサの寸法は、2.0
mm(L)×1.25mm(W)×1.25mm(T)であ
る。
【0022】そして、外部電極3は、セラミック素子1
0の表面に形成された、内部電極2と合金化しやすい金
属(この実施形態1では卑金属であるCu)からなる第
1電極層11と、該第1電極層11上に形成された、酸
化しにくい金属(この実施形態1では貴金属であるA
g)からなる第2電極層12とを備えた複数層構造を有
している。なお、外部電極3は、セラミック素子10の
表面に、Cu粉末を導電成分とする導電ペースト(電極
ペースト)を塗布して焼き付けることにより第1電極層
(Cu電極層)11を形成した後、第1電極層11上に
Agを導電成分とする導電ペースト(電極ペースト)を
塗布して焼き付けることにより第2電極層(Ag電極
層)12を形成して第1電極層11と第2電極層12か
らなる複数層構造としたものである。
【0023】なお、この実施形態1では、表1に示すよ
うな範囲で第1電極層(Cu電極層)11の厚みT1及
びガラスフリット含有率G1を変化させる一方、第2電
極層(Ag電極層)12については、厚みT2:20μ
m、ガラスフリット含有率G2:5vol%一定として、積
層セラミックコンデンサを作製し、第1電極層11の条
件が外部電極3の特性に与える影響を確認できるように
した。
【0024】
【表1】
【0025】<特性の測定>上記のようにして複数層構
造の外部電極3を形成した積層セラミックコンデンサに
ついて、耐湿性試験を行い耐湿性の良否、不良発生数を
調べるとともに、外部電極の全体的な評価を行った。な
お、耐湿性は、18個の試料について、温度85℃、相
対湿度85%、定格電圧16V、500時間の条件で、
耐湿負荷試験を行って、不良発生数を調べたものであ
り、耐湿負荷試験において、絶縁抵抗が10MΩ以下に
低下した試料を不良と判定した。その結果を表1に併せ
て示す。
【0026】表1に示すように、第2電極層(Ag電極
層)12が、厚みT2:20μm、ガラスフリット含有
率G2:5vol%一定の場合においては、第1電極層1
1の厚みT1が20μm、又は30μmの場合、第1電極
層(Cu電極層)11中のガラスフリット含有率G1を
高めて、ガラスフリット含有率G1を5vol%又は10v
ol%とすることにより、シール性が向上して、耐湿負荷
試験における不良の発生数が減少することがわかる。こ
れは、ガラスフリット含有率G1が5vol%以上になる
と、第1電極層11が緻密になることによるものであ
る。
【0027】一方、第1電極層(Cu電極層)11の厚
みT1が10μmの場合には、ガラスフリット含有率G
1を5vol%又は10vol%に高めても、十分なシール性
を確保することができないことが確認された。
【0028】また、第1電極層(Cu電極層)11のガ
ラスフリット含有率G1が3vol%になると、第1電極
層11の厚みT1を20μm以上にしても、耐湿負荷試
験において不良が発生した。
【0029】したがって、第2電極層(Ag電極層)1
2の厚みT2が20μm、ガラスフリット含有率G2が
5vol%の場合、十分な耐湿性を確保するためには、第
1電極層11の厚みT1を20μm以上、ガラスフリッ
ト含有率G1を5vol%以上にすることが必要であり、
かかる要件を満たすことにより、シール性が高く、耐湿
負荷試験において不良の発生しない外部電極を備えた積
層セラミックコンデンサを得ることができる。
【0030】なお、第1電極層11のガラスフリット含
有率G1を10vol%以上とした場合には、第1電極層
11の表面には、第1電極層11の内部よりもガラスフ
リット含有率の高いガラスリッチ層が形成され、さらに
シール性が向上することが確認されている。
【0031】[実施形態2]この実施形態2において
も、上記実施形態1の場合と同様、図1に示すような構
造の積層セラミックコンデンサを作製した。なお、図1
についての説明は上記実施形態1の該当部分の説明を援
用して、ここではその説明を省略する。
【0032】この実施形態2では、表2に示すような範
囲で第2電極層(Ag電極層)12の厚みT2及びガラ
スフリット含有率G2を変化させる一方、第1電極層
(Cu電極層)11については、厚みT1:50μm、
ガラスフリット含有率G1:15vol%一定として、積
層セラミックコンデンサを作製し、第2電極層12の条
件が外部電極3の特性に与える影響を確認できるように
した。
【0033】
【表2】
【0034】<特性の測定>上記のようにして複数層構
造の外部電極3を形成した積層セラミックコンデンサに
ついて、第2電極層12の厚みT2及びガラスフリット
含有率G2と、導電性接着剤が硬化する際に生じる応力
や、基板のたわみによる応力などに対する耐性(たわみ
強度)の関係を調べるとともに、外部電極3の全体的な
評価を行った。たわみ強度は、ガラスエポキシ基板を使
用し、導電性接着剤を用いて、積層セラミックコンデン
サをガラスエポキシ基板上に実装し、押し棒により所定
の荷重を加えて静電容量変化率を測定し、静電容量変化
率が10%を超えたものについてたわみ強度が不良であ
ると判定した。より具体的には、たわみ量が限界値(た
わみ量:2.0mm)を越えて積層セラミックコンデンサ
に破損の生じない場合を良品と判定し、たわみ量が2.
0mmを超えずに積層セラミックコンデンサが破損した場
合を不良と判定した。なお、測定は20個の試料につい
て行った。その結果を表2に併せて示す。
【0035】表2に示すように、第1電極層(Cu電極
層)11が、厚みT1:50μm、ガラスフリット含有
率G1:15vol%一定の場合においては、第2電極層
12の厚みT2が40μm、又は50μmの場合、第2電
極層(Ag電極層)12中のガラスフリット含有率G2
を低くして、ガラスフリット含有率G2を15vol%又
は10vol%とすることにより、たわみ強度が向上し、
たわみ不良の発生数が減少することが確認された。これ
は、ガラスフリット含有率G2が15vol%以下になる
と、第2電極層12がポーラスになり、外部電極3の応
力が緩和されることによるものである。なお、第2電極
層(Ag電極層)12がポーラスであっても、第1電極
層(Cu電極層)11によりシール性が確保されるの
で、外部電極3の全体としてのシール性が問題になるこ
とはない。
【0036】一方、第2電極層(Ag電極層)12の厚
みT2が50μmを超えて60μmになると、ガラスフリ
ット含有率G2を15vol%以下にしても、十分なたわ
み強度が得られないことが確認された。
【0037】また、第2電極層(Ag電極層)12のガ
ラスフリット含有率G2が20vol%の場合には、第2
電極層12の厚みT2を50μm以下にしても、十分な
たわみ強度が得られないことが確認された。これは、ガ
ラスフリット含有率G2が20vol%になると、第2電
極層(Ag電極層)12のポーラス性を確保することが
できなくなることによる。
【0038】したがって、第1電極層(Cu電極層)1
1の厚みT1が50μm、ガラスフリット含有率G1が
15vol%の場合、十分なたわみ強度を確保するために
は、第2電極層12の厚みT2を50μm以下とし、か
つ、ガラスフリット含有率G2を15vol%以下にする
ことが必要であり、かかる要件を満たすことにより、十
分なたわみ強度を備えた積層セラミックコンデンサを得
ることが可能になる。
【0039】なお、上記実施形態1及び2では、内部電
極がNi電極、第1電極層がCu電極である場合を例に
とって説明したが、内部電極及び第1電極層としてはそ
の他の種々の卑金属材料を用いることが可能である。な
お、内部電極及び第1電極層を構成する卑金属材料とし
ては、互いに合金しやすい金属材料の組み合わせとなる
ように、各卑金属材料の種類を選定することが望まし
い。
【0040】また、上記実施形態1及び2では、第2電
極層12がAg電極層である場合について説明した、第
2電極層12としては、Ag以外にも、Ag/Pd合金
その他の種々の貴金属を用いることが可能である。
【0041】また、上記実施形態では、積層セラミック
コンデンサを例にとって説明したが、本願発明は、積層
セラミックコンデンサに限らず、積層バリスタ、積層L
C複合部品、多層基板その他の種々の積層セラミック電
子部品に広く適用することが可能である。
【0042】本願発明はさらにその他の点においても、
上記の実施形態に限定されるものではなく、セラミック
素子を構成するセラミックの種類、内部電極や外部電極
の具体的なパターン、内部電極の積層数などに関し、発
明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加える
ことが可能である。
【0043】
【発明の効果】上述のように、本願発明(請求項1)の
積層セラミック電子部品は、外部電極を、第1電極層
と、第2電極層とを備えた複数層構造とし、かつ、第1
電極層中のガラスフリット含有率G1を、第2電極層中
のガラスフリット含有率G2と同等以上(G1≧G2)
とし、さらに、第1電極層の厚みT1を20μm以上、
ガラスフリット含有率G1を5vol%以上とし、かつ、
第2電極層の厚みT2を50μm以下、ガラスフリット
含有率G2を15vol%以下とするようにしているの
で、ガラスフリット含有率の高い第1電極層によりシー
ル性を確保するとともに、ガラスフリット含有率の低
い、ポーラスな第2電極層により、外部からの応力を緩
和して、導電性接着剤が硬化する際に生じる応力や、基
板のたわみによる応力などに対する耐性(たわみ強度)
を向上させることができる。また、ポーラスな構造を有
する第2電極層により、導電性接着剤との接合性が向上
するため、導電性接着剤を用いて実装する場合にも、信
頼性の高い実装を行うことができる。
【0044】また、請求項2の積層セラミック電子部品
のように、内部電極を構成する導電成分として、Cu,
Ni,Fe,Co及びそれらの合金から選ばれる卑金属
材料を用い、第1電極層を構成する導電成分として、C
u,Ni,Fe,Co及びそれらの合金から選ばれる卑
金属材料を用い、かつ、第2電極層を構成する導電成分
として、Ag,Pd,Au,Pt及びそれらの合金から
選ばれる貴金属材料を用いた場合、製造コストの増大を
抑制しつつ、導電性接着剤が硬化する際に生じる応力
や、基板のたわみによる応力などに対する耐性(たわみ
強度)や、シール性などに関し、所望の特性を備えた積
層セラミック電子部品を得ることができるようになる。
【0045】また、請求項3の積層セラミック電子部品
のように、第1電極層の表面に、第1電極層の内部より
もガラスフリット含有率の高いガラスリッチ層を設ける
ようにした場合、第1電極層のシール性能をさらに向上
させて、外部電極全体としてのシール性をより高めるこ
とができる。
【0046】また、請求項4の積層セラミック電子部品
のように、第1電極層の表面の、ガラスリッチ層のガラ
スフリット含有率を10vol%以上とした場合、第1電
極層のシール性をさらに向上させることが可能になる。
【0047】また、本願発明(請求項5)の積層セラミ
ック電子部品の製造方法は、内部電極が埋設されたセラ
ミック素子の表面に、所定の割合以上のガラスフリット
を含有する導電ペーストを塗布して焼き付けることによ
り、ガラスフリットを表面近傍に析出させることが可能
になり、特別な工程を必要とすることなく、第1電極層
の表面にガラスリッチ層を形成することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明の実施形態にかかる積層セラミック電
子部品(積層セラミックコンデンサ)を示す断面図であ
る。
【図2】従来の積層セラミック電子部品(積層セラミッ
クコンデンサ)を示す断面図である。
【符号の説明】
1 セラミック層 2 内部電極 3 外部電極 10 セラミック素子 11 第1電極層 12 第2電極層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 細川 孝夫 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 米田 康信 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Fターム(参考) 5E001 AC10 AG02 AH01 5E082 AA01 AB03 EE04 EE18 EE23 EE26 EE35 FF05

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】内部電極が埋設されたセラミック素子の表
    面に、外部電極が配設された構造を有する積層セラミッ
    ク電子部品であって、 外部電極が、セラミック素子の表面に形成された第1電
    極層と、該第1電極層上に形成された第2電極層とを備
    えた複数層構造を有しており、かつ、 前記第1電極層中のガラスフリット含有率G1と、第2
    電極層中のガラスフリット含有率G2とが、G1≧G2
    の関係にあり、かつ、 第1電極層の厚みT1が20μm以上、かつ、ガラスフ
    リット含有率G1が5vol%以上であり、 第2電極層の厚みT2が50μm以下、かつ、ガラスフ
    リット含有率G2が15vol%以下であることを特徴と
    する積層セラミック電子部品。
  2. 【請求項2】前記内部電極を構成する導電成分が、C
    u,Ni,Fe,Co及びそれらの合金から選ばれる卑
    金属材料であり、前記第1電極層を構成する導電成分
    が、Cu,Ni,Fe,Co及びそれらの合金から選ば
    れる卑金属材料であり、かつ、前記第2電極層を構成す
    る導電成分が、Ag,Pd,Au,Pt及びそれらの合
    金から選ばれる貴金属材料であることを特徴とする請求
    項1記載の積層セラミック電子部品。
  3. 【請求項3】前記第1電極層の表面に、第1電極層の内
    部よりもガラスフリット含有率の高いガラスリッチ層が
    形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の
    積層セラミック電子部品。
  4. 【請求項4】前記第1電極層の表面の、ガラスリッチ層
    のガラスフリット含有率が10vol%以上であることを
    特徴とする請求項3記載の積層セラミック電子部品。
  5. 【請求項5】請求項3又は4記載の積層セラミック電子
    部品を製造する方法であって、 内部電極が埋設されたセラミック素子の表面に、所定の
    割合以上のガラスフリットを含有する導電ペーストを塗
    布して焼き付けることにより、ガラスフリットを第1電
    極層の表面近傍に析出させてガラスリッチ層を形成する
    ことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
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