JP2002202323A - プローブピン並びにこれ用いたコネクタ及びプローバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 接触子と検査対象物とを安定して接続させ、
確実な導通を図ると共に、これらの間でより一層低い接
続抵抗値を実現する。 【解決手段】 接触子２の先端部２ａを検査対象物に押
し付けると、接触子２がばね４の付勢力に対抗してこの
ばね４を圧縮しながら軸方向に縮退するので、突起部６
ｃが溝部６ａに沿って下方にスライドする。軸受部５ｃ
が軸部５ｂに対して回転自在に支持されているため、接
触子２が軸回りに回転しながら収納体３内を下降する。
一方、接触子２の先端部２ａを検査対象物から離すと、
接触子２に押し付け力が作用しなくなる。その結果、接
触子２がばね４の付勢力を受けて、突起部６ｃが溝部６
ａに沿って上方にスライドし、接触子２が軸回りに回転
しながら上昇する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント回路基
板、半導体基板等の検査に用いられるプローブピン、並
びにこのプローブピンを用いた基板間等の電気的接続に
用いるコネクタ、及びこのプローブピンを用いたウェハ
又はプリント基板用のプローバに関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０は従来のプローブピンの断面図、
図１１は従来のウェハプロ−バの概略図、図１２は従来
のウェハプローバの動作を説明するための図をそれぞれ
示している。従来のプローブピン１０１は、図１０に示
すように、検査対象物に接触する接触子１０２と、この
接触子１０２を収納する収納体１０３と、接触子１０２
を収納体１０３内で上下動可能に付勢するばね１０４
と、ばね１０４を固定する固定台１０５とから構成され
ている。また、図１１に示すような従来のウェハプロー
バ１０６では、図１２に示すように、プローブピン１０
６ａを検査対象物１０７に接触させながらプローブピン
１０６ａを横方向に摺動させて、この検査対象物１０７
の表面に形成された酸化被膜等の不導体層を突き破り、
プローブピン１０６ａと検査対象物１０７との間の導通
を図っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】図１０に示す従来のプ
ローブピン１０１では、通常、接触子１０２とばね１０
４とが一体的に固定されているため、接触子１０２は収
納体１０４内を上下方向にのみ移動可能であった。この
ため、接触子１０２の先端を検査対象物に接触させただ
けでは、この検査対象物の表面に形成された酸化被膜等
を十分に突き破ることができず、接触子１０２と検査対
象物との間に導通不良が発生するおそれがあった。ま
た、図１１に示すウェハプローバ１０６では、図１２に
示すようにプローブピン１０６ａの先端位置がずれるた
め、検査対象物１０７が小さいパッドである場合には構
造上適当ではなく、パッドの表面に大きな傷が残ってし
まうという問題があった。

【０００４】この発明は、上記事情を考慮してなされた
もので、接触子と検査対象物とを安定して接続させ導通
を図ることができると共に、これらの間でより一層低い
接続抵抗値を実現することができるプローブピン並びに
これを用いたコネクタ及びプローバを提供することを目
的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明に係るプローブ
ピンは、検査対象物に先端が接触するピン状の接触子
と、この接触子の先端が外部に露出した状態で前記接触
子を収納する収納体と、この収納体内で前記接触子を軸
回りに回転自在に支持する回転支持手段と、前記収納体
内で前記回転支持手段を介して前記接触子を前記収納体
から突出する向きに付勢する付勢手段と、前記接触子の
軸方向の直線運動を軸周りの回転運動に変換する運動変
換手段とを備えてなることを特徴とする。

【０００６】この発明によれば、接触子が付勢手段に対
して軸回りに回転可能なように回転支持手段によって支
持されており、運動変換手段によって接触子の軸方向の
直線運動を軸周りの回転方向に変換するようにしてい
る。このため、接触子を検査対象物に加圧接触させたと
きに、接触子は軸回りに回転しながら検査対象物と接触
して、検査対象物の表面に形成された酸化被膜等の不導
体層を突き破ることができ、接触子と検査対象物との間
の安定した導通を図ることができる。また、検査対象物
の表面に不導体層が形成されていない検査対象物につい
ても、接触子が回転しながら検査対象物と接触するた
め、接触子が検査対象物の表面に深く食い込むことがで
きる。その結果、回転しない接触子に比べて安定した接
続を図ることができると共に、より一層低い抵抗値を実
現することができる。

【０００７】本発明の一つの実施形態においては、前記
付勢手段は、一方の端部が前記収納体側に固定され、他
方の端部が前記回転支持手段側に固定されており、前記
運動変換手段は、前記収納体の内周部に形成された螺旋
状の溝部と、前記接触子の外周部に形成され、前記溝部
に沿って移動する突起部とを有する。

【０００８】また、本発明の他の実施形態においては、
前記付勢手段は、一方の端部が前記収納体側に固定さ
れ、他方の端部が前記回転支持手段側に固定されてお
り、前記運動変換手段は、前記収納体の内周部に形成さ
れた螺旋状の突条と、前記接触子の外周部に形成され、
前記突条に沿って移動する突起部とを有する。

【０００９】この様な構成を採用することによって、接
触子の上下方向の運動を回転運動に変換させて、接触子
の上下方向の移動動作と回転動作とを同時に実現するこ
とができる。この場合、螺旋状の溝部や突条の角度や数
を任意に設定すれば、検査対象物の不導体層の厚さや食
い込み量に応じて接触子の回転度合いを変化させること
ができる。

【００１０】前記突起部は回転軸に対して周方向に等間
隔に複数配置することが好ましく、この様な構成を採用
することによって、接触子が軸回りに回転する際の平面
安定性を向上させることができる。

【００１１】また、前記回転支持手段としては、軸部と
この軸部に回転自在に嵌合する軸受部とを有し、前記軸
部及び前記軸受部のうちのいずれか一方が前記付勢手段
側に設けられ、他方が前記接触子側に設けられるように
構成することができる。この様な構成を採用することに
よって、接触子と付勢手段とを分離させて、接触子を付
勢手段に対して独立して動作させることができると共に
軸受部を介して接触子と付勢手段との導通を図ることが
できる。

【００１２】また、前記回転支持手段の他の形態として
は、中心に凸部を有する第１平坦面と、前記凸部と回転
自在に嵌合する凹部が形成されて前記第１平坦面と回転
接触する第２平坦面とを有し、前記第１及び前記第２平
坦面のうちのいずれか一方が前記付勢手段側に設けら
れ、他方が前記接触子側に設けらるように構成すること
もできる。この様に第１平坦面と第２平坦面とを互いに
回転接触可能にすることによって、接触子が軸回りに回
転する際の平面安定性を向上させることができると共
に、軸部と軸受部とから構成される回転支持手段に比べ
て、回転軸に相当する部分の構成を短くすることができ
る。

【００１３】さらに、前記回転支持手段としては、回転
中心に対して同心円状に配置された複数の軸部と、回転
中心に対して同心円状に形成され、前記軸部と嵌合する
軸受溝とを有し、前記軸部及び前記軸受溝のうちのいず
れか一方が前記付勢手段側に設けられ、他方が前記接触
子側に設けられるように構成することもできる。この様
に複数の軸部を同心円状に配置し、これらの軸部と対応
して同心円状に軸受溝を配置することによって、接触子
が軸回りに回転する際の平面安定性を向上させることが
できると共に、接触抵抗を低下させることができる。

【００１４】本発明の更に他の実施形態においては、前
記付勢手段は、一方の端部が前記収納体側に固定され、
他方の端部が前記接触子側に固定されており、前記運動
変換手段は、前記収納体の内周部に形成された雌ねじ部
と、前記接触子の外周部に形成され、前記雌ねじ部と噛
み合う雄ねじ部とを有する。この様な構成を採用するこ
とによって、雌ねじ部に雄ねじ部が噛み合いながら回転
して、接触子を収納体内で移動させながら接触子を軸線
回りに回転させることができる。

【００１５】さらに、前記接触子は先端部の断面形状が
多角形又は星型であることが好ましく、このような形状
に形成することによって、検査対象物の表面に形成され
た酸化被膜等の不導体層を接触子の先端形状によって削
り取ることができ、接触子と検査対象物との間の導通を
より一層図ることができる。

【００１６】また、この発明に係るプローブピンは、好
適には、半導体素子用テストソケット等のコネクタや、
ウェハ又はプリント基板用のプローバ等に適用すること
ができる。この様な装置に適用することによって、半導
体ウェハ上に形成された微小なダイやパッド等に接触子
を接触させた場合に、接触子を横方向に摺動させる必要
がなくなるためダイやパッド等に大きな傷が生ずるのを
防止することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の好ましい実施の形態について説明する。図１はこの発
明の第１実施例に係るプローブピンの断面図、図２
（Ｂ）は図１のＩＩ−ＩＩ線で切断した状態を示す断面
図をそれぞれ示している。プローブピン１は、端子への
接続用治具であり、プリント配線板の布線検査等に使用
される。プローブピン１は、図１に示すように検査対象
物に接触するピン状の接触子（プローブ針）２と、この
接触子２を収納する円筒状の収納体３と、この収納体３
内で接触子２を移動自在に付勢するばね（付勢手段）４
と、このばね４に対して接触子２を軸回りに回転自在に
支持する回転支持手段５と、検査対象物に接触子２を加
圧接触させたときに、接触子２がばね４の付勢力に対抗
して収納体３内を移動しながら軸回りに回転するよう
に、この接触子２の軸方向に沿った直線運動を軸周りの
回転運動に変換する運動変換手段６とから構成されてい
る。

【００１８】接触子２の先端部２ａは、鋭角な針状に形
成されておりパッド等の検査対象物と接触する。収納体
３の先端部には、接触子２の先端部２ａが露出可能な開
口部３ａが形成されており、収納体３の後端部には開口
部３ｂが形成されている。この開口部３ｂには台３ｃが
嵌め込まれ固定されている。ばね４は、一方の端部が収
納体３側の台３ｃに固定されており、他方の端部が回転
支持手段５側の円板５ａに固定されている。ばね４は、
収納体３内に収納されており、回転支持手段５を介して
接触子２の先端部２ａが開口部３ａから突出する方向に
接触子２を付勢している。回転支持手段５は、ばね４の
端部に固定された台状の円板５ａと、この円板５ａの中
心に突設され、先端部が球状の軸部５ｂと、接触子２の
後端部に形成され、軸部５ｂと回転自在に嵌合する軸受
部５ｃとから構成されている。回転支持手段５は、接触
子２がばね４に対して自由に動作可能なように支持す
る。運動変換手段６は、図１及び図２に示すように、収
納体３の内周部に形成された螺旋状に切り込まれた溝部
６ａと、接触子２の外周部に形成されたフランジ部６ｂ
と、このフランジ部６ｂの外周部に形成され、溝部６ａ
に沿ってスライドする突起部６ｃとから構成されてい
る。螺旋状の溝部６ａは、収納体３の内周面に周方向に
１８０度の位相差をもって２本形成されている。対する
突起部６ｃも、図２（Ａ）に示すように、接触子２の回
転軸を中心に周方向に等間隔（１８０度間隔）で２つ形
成されている。なお、突起部６ｃは、図２（Ｂ）に示す
ように、フランジ部６ｂの外周面に溝部６ａの傾斜に合
わせて斜めに設けるようにすると溝部６ａとの間で滑ら
かな摺動状態を確保することができる。プローブピン１
は、真鍮等の金属で構成されており、接触子２の先端部
２ａ、軸部５ｂと軸受部５ｃとの接触部、溝部６ａと突
起部６ｃとの接触部等には、耐磨耗性や接触抵抗値を考
慮して、これらの全体又は一部にＮｉ、Ａｕ等の金属が
コーティングされている。

【００１９】次に、このように構成された本実施例に係
るプローブピンの動作を説明する。接触子２の先端部２
ａを検査対象物に押し付けると、接触子２がばね４の付
勢力に対抗してこのばね４を圧縮しながら軸方向に収納
体３に収納される向きに移動する。これにより突起部６
ｃが溝部６ａに沿って下方にスライドする。軸受部５ｃ
が軸部５ｂに対して回転自在に支持されているため、接
触子２は軸回りに回転しながら収納体３の方へ縮退す
る。一方、接触子２の先端部２ａを検査対象物から離す
と、接触子２に押し付け力が作用しなくなる。その結
果、接触子２がばね４の付勢力を受けて、収納部３から
突出する向きに移動し、突起部６ｃが溝部６ａに沿って
上方にスライドし、接触子２が軸回りに回転しながら上
昇する。

【００２０】次に、この発明の第２実施例について説明
する。図３はこの発明の第２実施例に係るプローブピン
の回転支持手段の断面図を示している。図３に示す回転
支持手段１５は、ばね４に固定された円板１５ａと、接
触子２の後端部に形成されたフランジ部１５ｂとから構
成されている。円板１５ａには、中心に半球状の凸部１
５ｃと第１平坦面１５ｄとが形成されている。フランジ
部１５ｂには、凸部１５ｃと回転自在に嵌合する凹部１
５ｅと、第１平坦面１５ｄと回転接触する第２平坦面１
５ｆとが形成されており、フランジ部１５ｂの外周部に
は突起部６ｃが周方向に等間隔に形成されている。この
様に第１平坦面１５ｄと第２平坦面１５ｆとを互いに回
転接触可能にすることによって、接触子２が軸回りに回
転する際の平面安定性を向上させることができる。ま
た、軸部と軸受部とから構成される回転支持手段に比べ
て、回転軸に相当する部分（突起１５ｃ）を短くするこ
とができる。

【００２１】次に、この発明の第３実施例について説明
する。図４はこの発明の第３実施例に係るプローブピン
の回転支持手段の断面図を示している。図４に示す回転
支持手段２５は、図１に示す回転支持手段５のばね４側
の軸部５ｂと接触子２側の軸受部５ｃとをそれぞれ逆側
に形成したものである。図４に示すように、接触子２の
後端部には、フランジ部２５ａが形成されており、この
フランジ部２５ａの中心に先端部が球状の軸部２５ｂが
突設されている。一方、ばね４には円板２５ｃが固定さ
れており、この円板２５ｃには軸部２５ｂと嵌合する軸
受部２５ｄが形成されている。

【００２２】次に、この発明の第４実施例について説明
する。図５はこの発明の第４実施例に係るプローブピン
の回転支持手段の構成図を示しており、図５（Ａ）は平
面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＶ−ＶＢ線で切断した
状態を示す断面図をそれぞれ示している。図５に示す回
転支持手段３５は、接触子２の後端部に形成されたフラ
ンジ部３５ａと、ばね４の端部に固定された円板３５ｂ
とから構成されている。フランジ部３５ａには、回転中
心に対して同心円状に先端部が球状の軸部３５ｃが複数
配置されており、図５（Ａ）に示すように回転中心に１
本の軸部３５ｃが形成され、この回転中心に対して同心
円状に周方向の等間隔（９０度間隔）に４本の軸部３５
ｃが形成されている。また、フランジ部３５ａの外周部
には周方向に等間隔（１８０度間隔）で突起部６ｃが２
つ形成されている。一方、円板３５ｂには、フランジ部
３５ａ側の回転中心に形成された１本の軸部３５ｃが嵌
合する軸受部３５ｄと、フランジ部３５ａ側の同心円状
に形成された４本の軸部３５ｃがスライド自在に嵌合す
る軸受用の環状溝３５ｅとが形成されている。この様に
複数の軸部３５ｃを同心円状に配置し、これらの軸部３
５ｃと対応して同心円状に軸受用の環状溝３５ｅを配置
することによって、接触子２が軸回りに回転する際の平
面安定性を向上させることができると共に、接触抵抗を
低下させることができる。

【００２３】次に、この発明の第５実施例について説明
する。図６はこの発明の第５実施例に係るプローブピン
の運動変換手段の断面図を示しており、図６（Ａ）は突
起部を４つ形成した場合の断面図、図６（Ｂ）は突起部
を３つ形成した場合の断面図をそれぞれ示している。図
６（Ａ）に示す運動変換手段１６には、接触子２の後端
部に形成されたフランジ部１６ｂの外周部に、このフラ
ンジ部１６ｂの回転中心に対して９０度間隔で突起部１
６ｃが４つ形成されており、これらの突起部１６ｃが溝
部１６ａに沿ってスライドする。また、図６（Ｂ）に示
す運動変換手段２６には、接触子２の後端部に形成され
たフランジ部２６ｂの外周部に、このフランジ部２６ｂ
の回転中心に対して１２０度間隔で突起部２６ｃが３つ
形成されており、これらの突起部２６ｃが溝部２６ａに
沿ってスライドする。このように、運動変換手段を構成
する突起部を３つ以上形成することにより、平面安定性
が更に増し、接触子２の安定した回転運動を得ることが
できる。

【００２４】次に、この発明の第６実施例について説明
する。図７はこの発明の第６実施例に係るプローブピン
の断面図を示している。なお、図１に示す部材と同一の
部材は、同一の番号を付して詳細な説明を省略する。図
７に示すプローブピン１１は、運度変換手段３６を構成
する螺旋状の突条３６ａが収納体３の内周部に形成され
ており、接触子２のフランジ部３６ｂの外周部に形成さ
れた突起部３６ｃがこの突条３６ａに沿ってスライドす
る。

【００２５】次に、この発明の第７実施例について説明
する。図８はこの発明の第７実施例に係るプローブピン
の断面図を示している。なお、図１に示す部材と同一の
部材は、同一の番号を付して詳細な説明を省略する。図
８に示すプローブピン２１は、運動変換手段４６を構成
する雌ねじ部４６ａが収納体３の内周部に形成されてお
り、この雌ねじ部４６ａと噛み合う雄ねじ部４６ｂが接
触子２の外周部に形成されている。このプローブピン２
１では、接触子２の先端部２ａを検査対象物に押し付け
ると、雄ねじ部４６ｂが雌ねじ部４６ａと噛み合いなが
ら回転するため、接触子２が回転支持手段４７を介して
軸回りに回転しながら上下方向に移動する。

【００２６】次に、この発明の第８実施例について説明
する。図９はこの発明の第８実施例に係るプローブピン
の接触子の先端部を示しており、図９（Ａ）は先端部の
形状を多角柱にした場合の平面図、図９（Ｂ）は先端部
の形状を多角柱にした場合の正面図、図９（Ｃ）は先端
部の形状を星型にした場合の平面図、図９（Ｄ）は先端
部の形状を星型にした場合の正面図をそれぞれ示してい
る。図９（Ａ），（Ｂ）に示す接触子１２の先端部１２
ａは、横断面の断面形状が四角形状（多角形状）に形成
されており、図９（Ｃ），（Ｄ）に示す接触子２２の先
端部２２ａは、横断面の断面形状が星型に形成されてい
る。このような形状に形成することによって、検査対象
物の表面に形成された酸化被膜等の不導体層を接触子の
先端形状によって削り取ることができ、接触子と検査対
象物との間の導通をより一層図ることができる。

【００２７】この発明は、以上説明した実施例に限定す
るものではなく、種々の変形又は変更が可能である。例
えば、図３に示す凸部１５ｃを接触子２側に形成し、凹
部１５ｅをばね４側に形成してもよいし、図５に示す複
数の軸部３５ｃをばね４側に形成し、環状溝３５ｅ及び
軸受３５ｄを接触子２側に形成してもよい。また、図１
〜図７に示す突起部６ｃ，１６ｃ，２６ｃ，３６ｃ、溝
部６ａ，１６ａ，２６ａ、突条３６ａの数はこの実施例
に限定するものではなく任意の個数に設定することがで
きる。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、この発明による
と、検査対象物に接触子を加圧接触させたときに、この
接触子が付勢手段の付勢力に対抗して収納体内を移動し
ながら軸回りに回転するので、接触子と検査対象物とを
安定して接続させ、確実な導通を図ることができると共
に、これらの間でより一層低い接続抵抗値を実現するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の第１実施例に係るプローブピンの
断面図である。

【図２】 図１のＩＩ−ＩＩ線で切断した状態を示す断
面図（Ａ）及び運動変換手段の側面図（Ｂ）である。

【図３】 この発明の第２実施例に係るプローブピンの
回転支持手段の断面図である。

【図４】 この発明の第３実施例に係るプローブピンの
回転支持手段の断面図である。

【図５】 この発明の第４実施例に係るプローブピンの
回転支持手段の構成図を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）
は（Ａ）のＶ−ＶＢ線で切断した状態を示す断面図であ
る。

【図６】 この発明の第５実施例に係るプローブピンの
運動変換手段の断面図を示し、（Ａ）は突起部を４つ形
成した場合の断面図、（Ｂ）は突起部を３つ形成した場
合の断面図である。

【図７】 この発明の第６実施例に係るプローブピンの
断面図である。

【図８】 この発明の第７実施例に係るプローブピンの
断面図である。

【図９】 この発明の第８実施例に係るプローブピンの
接触子の先端部を示し、（Ａ）は先端部の形状を多角柱
にした場合の平面図、（Ｂ）は先端部の形状を多角柱に
した場合の正面図、（Ｃ）は先端部の形状を星型にした
場合の平面図、（Ｄ）は先端部の形状を星型にした場合
の正面図である。

【図１０】 従来のプローブピンの断面図である。

【図１１】 従来のウェハプロ−バの概略図である。

【図１２】 従来のウェハプローバの動作を説明するた
めの図である。

【符号の説明】

１，１１，２１，１０１…プローブピン、２，１２，２
２，１０２…接触子、２ａ，１２ａ，２２ａ…先端部、
３，１０３…収納体、４，１０４…ばね、５，１５，２
５…回転支持手段、５ａ，１５ａ，２５ｃ，３５ｂ…円
板、５ｂ，２５ｂ，３５ｃ…軸部、５ｃ，２５ｄ，３５
ｄ，３５ｅ…軸受部、１５ｂ，２５ａ，３５ａ…フラン
ジ部、１５ｃ…凸部、１５ｄ…第１平坦面、１５ｅ…凹
部、１５ｆ…第２平坦面、６，１６，２６，３６，４６
…運動変換手段、６ａ，１６ａ，２６ａ…溝部、６ｂ，
１６ｂ，２６ｂ，３６ｂ…フランジ部、６ｃ，１６ｃ，
２６ｃ，３６ｃ…突起部，３６ａ…突条、４６ａ…雌ね
じ部、４６ｂ…雄ねじ部。

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象物に先端が接触するピン状の接
   触子と、 この接触子の先端が外部に露出した状態で前記接触子を
   収納する収納体と、 この収納体内で前記接触子を軸回りに回転自在に支持す
   る回転支持手段と、 前記収納体内で前記回転支持手段を介して前記接触子を
   前記収納体から突出する向きに付勢する付勢手段と、 前記接触子の軸方向の直線運動を軸周りの回転運動に変
   換する運動変換手段とを備えてなることを特徴とするプ
   ローブピン。
2. 【請求項２】 前記付勢手段は、一方の端部が前記収納
   体側に固定され、他方の端部が前記回転支持手段側に固
   定されており、 前記運動変換手段は、 前記収納体の内周部に形成された螺旋状の溝部と、 前記接触子の外周部に形成され、前記溝部に沿って移動
   する突起部とを有することを特徴とする請求項１記載の
   プローブピン。
3. 【請求項３】 前記付勢手段は、一方の端部が前記収納
   体側に固定され、他方の端部が前記回転支持手段側に固
   定されており、 前記運動変換手段は、 前記収納体の内周部に形成された螺旋状の突条と、 前記接触子の外周部に形成され、前記突条に沿って移動
   する突起部とを有することを特徴とする請求項１記載の
   プローブピン。
4. 【請求項４】 前記突起部は前記接触子の回転軸に対し
   て周方向に等間隔に複数配置されていることを特徴とす
   る請求項２又は３記載のプローブピン。
5. 【請求項５】 前記回転支持手段は、軸部とこの軸部に
   回転自在に嵌合する軸受部とを有し、 前記軸部及び前記軸受部は、いずれか一方が前記付勢手
   段側に設けられ、他方が前記接触子側に設けられている
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のプ
   ローブピン。
6. 【請求項６】 前記回転支持手段は、 中心に凸部を有する第１平坦面と、 前記凸部と回転自在に嵌合する凹部が形成されて前記第
   １平坦面と回転接触する第２平坦面とを有し、 前記第１及び前記第２平坦面は、いずれか一方が前記付
   勢手段側に設けられ、他方が前記接触子側に設けられて
   いることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載
   のプローブピン。
7. 【請求項７】 前記回転支持手段は、 回転中心に対して同心円状に配置された複数の軸部と、 回転中心に対して同心円状に形成され、前記軸部と嵌合
   する軸受溝とを有し、 前記軸部及び前記軸受溝は、いずれか一方が前記付勢手
   段側に設けられ、他方が前記接触子側に設けられている
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載のプ
   ローブピン。
8. 【請求項８】 前記付勢手段は、一方の端部が前記収納
   体側に固定され、他方の端部が前記接触子側に固定され
   ており、 前記運動変換手段は、 前記収納体の内周部に形成された雌ねじ部と、 前記接触子の外周部に形成され、前記雌ねじ部と噛み合
   う雄ねじ部とを有することを特徴とする請求項１記載の
   プローブピン。
9. 【請求項９】 前記接触子は先端部の断面形状が多角形
   又は星型であることを特徴とする請求項１〜８のいずれ
   か１項記載のプローブピン。
10. 【請求項１０】 請求項１〜９のいずれか１項記載のプ
    ローブピンを備えたコネクタ。
11. 【請求項１１】 請求項１〜９のいずれか１項記載のプ
    ローブピンを備えたプローバ。