JP2002187278A - インクジェットヘッドおよび製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のインクジェットヘッド・チップを１枚
のノズルプレートに貼り付けた構造の多ノズル型のイン
クジェットヘッドを、簡単かつ精度良く製造可能にする
こと。 【解決手段】 インクジェットヘッド１は、同一構造の
複数個のインクジェットヘッド・チップ２を、位置決め
部品４によって位置決めした状態で、１枚のノズルプレ
ート３に貼り付けた構造となっている。位置決め部品４
のノズルプレート位置決め面４５にノズルプレート３を
位置決めして接着し、次に、位置決め部品４に形成され
ている位置決め溝４１に各インクジェットヘッド・チッ
プ２を差し込むことにより、これらをノズルプレート３
に対して位置決めでき、またインクジェットヘッド・チ
ップ相互間の位置決めもなされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、同一構造のインク
ジェットヘッド・チップをノズルプレートに貼り合わせ
ることにより構成される小型で多ノズルのインクジェッ
トヘッド、およびその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットヘッドとしては、半導体
ウエハに作り込まれている複数のインクジェットヘッド
・チップを切り出し、切り出したインクジェットヘッド
・チップを２個あるいは３個以上備えた構造のものが知
られている。

【０００３】また、インクジェットヘッドの製造方法と
しては、例えば、特開平７−１１７２２９号公報に開示
されているように、インクノズル列が形成されたノズル
プレートを別途制作し、これをインクジェットヘッド本
体の前端面に貼り合わせることにより、所望の流路形状
をしたインクノズルを構成するものが知られている。

【０００４】ここで、複数のインクジェットヘッド・チ
ップを備えたインクジェットヘッドを構成するために
は、上記公報に開示されているような一枚のノズルプレ
ートに多数のインクノズル列を形成しておき、このノズ
ルプレートに複数のインクジェットヘッド・チップを貼
り付ける構造を採用することができる。この構造を採用
すれば、多ノズルのインクジェットヘッドを構成でき
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】インクジェットヘッド
を多ノズル化するに当たっては、その高品質化に対応し
て、半導体ウエハから切り出されたインクジェットヘッ
ド・チップをノズルプレートに貼り合わせる際の貼り合
わせ精度を高める必要がある。各インクジェットヘッド
・チップの貼り合わせ精度が悪いと、当該ノズルプレー
トに形成されている各インクノズルと、各インクジェッ
トヘッド・チップに形成されているインクノズル連通孔
との位置合わせ精度も低下するので、高品質のインクジ
ェットヘッドを製造できない。

【０００６】さらに、一枚のノズルプレートに多数個の
インクジェットヘッド・チップを貼り合わせる場合に
は、インクジェットヘッド・チップとノズルプレートと
の位置合わせ、および各インクジェットヘッド・チップ
相互間の位置合わせが必要である。

【０００７】しかしながら、従来においては、インクジ
ェットヘッド・チップとノズルプレートとの位置決め
を、簡単かつ精度良く行なうことのできる方法は提案さ
れていない。

【０００８】本発明の課題は、このような点に鑑みて、
ノズルプレートとインクジェットヘッド・チップを簡単
かつ精度良く貼り合わせ可能な構造のインクジェットヘ
ッドを提案することにある。

【０００９】また、本発明の課題は、１枚のノズルプレ
ートと複数のインクジェットヘッド・チップを簡単かつ
精度良く貼り合わせ可能な構造のインクジェットヘッド
を提案することにある。

【００１０】さらに、本発明の課題は、かかる新しい構
造のインクジェットヘッドの製造方法を提案することに
ある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明のインクジェットヘッドは：インクジェッ
トヘッド・チップと、このインクジェットヘッド・チッ
プに接合されたノズルプレートと、これらインクジェッ
トヘッド・チップおよびノズルプレートを相互に位置決
めしている位置決め部品とを有し；前記インクジェット
ヘッド・チップは、複数のインクノズル連通孔が配列さ
れた前端面を備え；前記ノズルプレートは、前記インク
ノズル連通孔のそれぞれに対応するインクノズルが形成
されており；前記位置決め部品は、前記インクジェット
ヘッド・チップを位置決めするヘッドチップ位置決め部
と、前記ノズルプレートを位置決めするノズルプレート
位置決め部とを備えており；当該位置決め部品によって
位置決めされた状態で、前記インクジェットヘッド・チ
ップの前記前端面に、前記ノズルプレートが接合されて
いることを特徴としている。

【００１２】ここで、前記位置決め部品の前記ヘッドチ
ップ位置決め部を、前記インクジェットヘッド・チップ
を差し込み可能な位置決め溝とすることができる。

【００１３】また、前記ノズルプレート位置決め部を、
前記位置決め溝に対して垂直なノズルプレート位置決め
面を備えたものとすることができる。

【００１４】この場合、ノズルプレート位置決め面に対
してノズルプレートを位置決めピンを用いて位置決めす
ることができる。そのためには、前記ノズルプレート位
置決め面にピン孔を形成し、前記ノズルプレートにはピ
ン貫通孔を形成しておけばよい。

【００１５】次に、前記位置決め溝を、インクジェット
ヘッド・チップを前記前端面の側から差し込む差し込み
側開口と、前記ノズルプレート位置決め面に開口してい
るノズルプレート側開口、これらの開口を繋ぐヘッドチ
ップ差し込み部とを備えた構成とすることができる。

【００１６】この場合、前記位置決め部品に、前記ヘッ
ドチップ差し込み部に差し込まれているインクジェット
ヘッド・チップにインクを供給するインク供給路を形成
しておくことが望ましい。

【００１７】本発明の上記構成は、複数のインクジェッ
トヘッド・チップを１枚のノズルプレートに貼り合わせ
ることにより構成された多ノズル型のインクジェットヘ
ッドに適している。

【００１８】この場合、前記ノズルプレートに、一定間
隔で平行に複数のインクノズル列を形成した構成を採用
できる。

【００１９】また、前記ノズルプレートに、千鳥状に複
数のインクノズル列を配列した構成を採用できる。

【００２０】一方、本発明は上記構成のインクジェット
ヘッドの製造方法に関するものであり、本発明による方
法は：前記位置決め部品の前記ノズルプレート位置決め
部に前記ノズルプレートを位置決めして、当該位置決め
部品に接着固定し；前記位置決め部品の前記ヘッドチッ
プ位置決め部に前記インクジェットヘッド・チップを位
置決めし；この状態で、前記インクジェットヘッド・チ
ップの前記前端面を前記ノズルプレートに接着固定する
ことを特徴としている。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明を
適用したインクジェットヘッドおよびその製造方法を説
明する。

【００２２】図１は本発明を適用した多ノズル型のイン
クジェットヘッドの一例を示す分解斜視図であり、図２
はそのＩＩ−ＩＩ線で切断した部分の部分断面図であ
る。

【００２３】これらの図に示すように、本例のインクジ
ェットヘッド１は、同一構造の４個のインクジェットヘ
ッド・チップ２（２（１）ないし２（４））と、１枚の
ノズルプレート３と、これらインクジェットヘッド・チ
ップ２とノズルプレート３を位置決めするための位置決
め部品４とを有している。

【００２４】各インクジェットヘッド・チップ２の後端
部分には、ヘッド駆動用ＩＣチップ（図示せず）が搭載
された中継基板８が接合され、中継基板８には外部接続
用のフレキシブル配線基板９が接合されている。

【００２５】図２から良く分かるように、各インクジェ
ットヘッド・チップ２は同一構造をした静電駆動型のも
のであり、シリコン単結晶基板からなる基板１１と、同
じくシリコン単結晶基板からなるキャビティ基板１２
と、電極ガラス基板１３とを貼り合わせることにより構
成されている。

【００２６】キャビティ基板１２には、複数のインク圧
力室１４と、各インク圧力室１４にインクを供給するた
めの共通インク室１５が形成されている。各インク圧力
室１４の底面部分には面外方向に弾性変位可能な振動板
部分１６が形成されている。

【００２７】基板１１の側においては、キャビティ基板
１２に接合されている面に、各インク圧力室１４を共通
インク室１５に連通しているインク供給口１８が形成さ
れている。キャビティ基板１２に基板１１を接合するこ
とにより、これらの前面にはインク圧力室１４の前端面
開口が形成され、これがインクノズル連通孔１９とされ
ている。

【００２８】キャビティ基板１２の裏面に対して、陽極
接合あるいは接着接合により貼り付けられた電極ガラス
基板１３においては、各振動板部分１６に対峙する部分
に凹部２１が形成され、各凹部２１の底面には振動板部
分１６に対峙した個別電極２２が形成されている。キャ
ビティ基板１２にはインク取り入れ口２３が形成されて
おり、インク取り入れ口２３には、後述のように、外部
のインク供給源からインクが供給される。

【００２９】次に、本例のノズルプレート３には、４条
のインクノズル列３１（３１（１）、３１（２）、３１
（３）、３１（４））が一定間隔で平行に配列されてい
る。各インクノズル列３は同一個数のインクノズル３２
から構成されており、各インクノズル３２は、先端側が
小径部分とされ、後端部分が大径部分とされた断面形状
をしている。このような形状のインクノズルはＩＣＰに
より形成することができる。この構成のノズルプレート
３に、４個のインクジェットヘッド・チップ２の前端面
２０を位置決めした状態で貼り合わせると、各インクノ
ズル３２の後端開口３３が各インク圧力室１４のインク
ノズル連通孔１９に一致するようになっている。

【００３０】本例のノズルプレート３の各インクノズル
列３１は、一定のピッチ（例えば１／１８０インチ）で
多数個のインクノズル３２が一列に配列された構成とな
っている。また、隣接するインクノズル列３１は、相互
にインクノズル３２が相互に半ピッチずれた千鳥配列と
なるように設定されている。さらには、各インクノズル
列３１は一定の間隔で平行となるように設定されてい
る。この間隔は、例えば、１／３６０インチのｎ倍（ｎ
は自然数）とされる。

【００３１】次に、位置決め部品４は、偏平な直方体形
状をした本体４０と、ここに形成した４個のヘッドチッ
プ位置決め溝４１（４１（１）ないし４１（４））を備
えている。位置決め溝４１は細長い長方形の溝であり、
本体４１の表面４３に開いたヘットチップ差し込み側開
口４４から本体裏面４５まで貫通しており、当該本体裏
面４５にはノズルプレート側開口４６が開いている。

【００３２】位置決め溝４１における開口４４から開口
４６の間はヘッドチップ差し込み部４７とされており、
この左右の側面４８、４９が各インクジェットヘッド・
チップ２の左右の側面２ａ、２ｂをガイドし、上下の面
５１、５２が各インクジェットヘッド・チップ２の上下
の面２ｃ、２ｄをガイドする。

【００３３】位置決め部品４の裏面４５は、各位置決め
溝４１に対して垂直なノズルプレート位置決め面とされ
ている。従って、このノズルプレート位置決め面４５に
ノズルプレート３を密着させると、各位置決め溝４１に
差し込まれたインクジェットヘッド・チップ３は当該ノ
ズルプレート３に対して垂直な状態に位置決めされる。

【００３４】また、このノズルプレート位置決め面４５
の対角位置には一対の位置決め用のピン貫通孔５３、５
４が形成されている。これらのピン貫通孔５３、５４に
対応するノズルプレート位置決め面４５の部分には、位
置決め用のピン孔５５、５６が形成されている。

【００３５】本例では、ノズルプレート３をノズルプレ
ート位置決め面４５に密着させ、これら位置決め用のピ
ン貫通孔５３、５４をピン孔５５、５６に合わせ、この
状態で位置決めピン５７、５８を打ち込むことにより、
ノズルプレート３がノズルプレート位置決め面４５に位
置決めされた状態になる。

【００３６】ここで、本例の位置決め部品４は、各位置
決め溝４１に差し込まれたインクジェットヘッド・チッ
プ２に対して外部のインク供給源（図示せず）からイン
クを供給するインク供給路６１を備えている。各インク
供給路６１は、ヘッドチップ差し込み部４７の内周面に
おけるインクジェットヘッド・チップ２のインク取り込
口２３が位置する部分に形成された内側開口６２と、本
体表面４３に形成された外側開口６３と、これらの間を
連通しているＬ形の通路部分６４から構成されている。

【００３７】各インク供給路６１の外側開口６３には、
図２において想像線で示すように、インク供給管６４が
接続されている。外部に配置されている不図示のインク
供給源から供給されるインクは、インク供給管６４を介
して、インク供給路６１に供給され、ここを介して、各
インクジェットヘッド・チップ２のインク取り込み口２
３を経由して共通インク室１５に供給される。

【００３８】このように構成した本例のインクジェット
ヘッド１は次のようにして、各部品の位置合わせが行わ
れる。まず、ノズルプレート３を位置決め部品４の本体
裏面であるノズルプレート位置決め面４５に位置決め
し、位置決めピン５７、５８を打ち付けて固定すると共
に、接着剤によってこれらを位置決めされた状態で接着
する。

【００３９】次に、ノズルプレート３が接着接合された
状態にある位置決め部品４における各位置決め溝４１
に、前端面側から各インクジェットヘッド・チップ２を
差し込む。インクジェットヘッド・チップ２を差し込
み、その前端面がノズルプレート３に当たった状態にな
ると、各インクジェットヘッド・チップ２の位置決め状
態が自動的に形成される。この後は、接着剤を用いて、
各インクジェットヘッド・チップ２をノズルプレート３
に接着接合する。

【００４０】ここで、各インクジェットヘッド・チップ
２とノズルプレート３を接着接合するために、インクジ
ェットヘッド・チップ２を各位置決め溝４１に差し込む
前に、インクジェットヘッド・チップ２のインクノズル
連通溝１９が開口した前端面に接着剤を転写して薄く塗
布し、位置決め溝４１に差し込んだ後に加圧して接着剤
を硬化させ、接着接合しても良い。これにより、インク
ノズル後端側の開口部とインクノズル連通溝１９を確実
にシールして固着することが可能となる。

【００４１】このように、本例のインクジェットヘッド
１では、位置決め部品４を用いて、１枚のノズルプレー
ト３に対して複数個のインクジェットヘッド・チップ２
を位置決めするようにしている。従って、複数個のイン
クジェットヘッド・チップ２を個別にノズルプレート３
に位置決めする場合とは異なり、位置決め作業が簡単に
なる。また、インクジェットヘッド・チップ相互間の位
置決めも簡単になる。

【００４２】さらに、位置決め部品４における各位置決
め溝４１を精度良く形成しておくことにより、ノズルプ
レート３に対する複数個のインクジェットヘッド・チッ
プ２の位置決め、および、インクジェットヘッド・チッ
プ間の位置決めを、高精度に行なうことができる。位置
決め部品４における各位置決め溝４１を精度良く形成す
るには、位置決め部品４を樹脂の射出成形や、アルミニ
ウムの鍛造、ステンレスのエッチング加工等により形成
すればよい。

【００４３】よって、本例によれば、高精細な印字が可
能な多ノズル型のインクジェットヘッドを歩留り良く、
簡単な作業により、製造することができる。

【００４４】なお、本例のインクジェットヘッド１の動
作は次の通りである。各インクジェットヘッド・チップ
２のキャビティ基板１２に形成したインク圧力室１４の
底面を規定している振動板部分１６が共通電極として機
能し、このキャビティ基板１２と各個別電極２２との間
に駆動電圧を印加すると、電圧が印加された個別電極２
２に対峙している振動板部分１６が静電気力によって振
動し、これに伴ってインク圧力室１４の容積変化が起こ
り、当該インク圧力室１４に連通しているインクノズル
３２からインク液滴が吐出する。また、共通電極および
個別電極に対する給電は、これらに接合された中継基板
８および当該配線基板８に接合されたフレキシブル配線
基板９を経由して行われる。

【００４５】（第２の実施例）図３は、本発明を適用し
たインクジェットヘッドの別の例を示す分解斜視図であ
る。この図に示すインクジェットヘッド７０の基本的な
構成は上記のインクジェットヘッド１と同一であり、異
なる点は、ノズルプレートに形成された複数のインクノ
ズル列が千鳥状に配置されており、これらに各インクジ
ェットヘッド・チップを位置決めできるように位置決め
部品が形成されている点である。従って、以下において
は異なる構成部分に関連する説明のみを行なう。

【００４６】本例のインクジェットヘッド７０は、同一
構造の４個のインクジェットヘッド・チップ７２（７２
（１）ないし７２（４））と、１枚のノズルプレート７
３と、これらインクジェットヘッド・チップ７２とノズ
ルプレート７３を位置決めするための位置決め部品７４
とを有している。

【００４７】各インクジェットヘッド・チップ７２は上
記の例におけるインクジェットヘッド・チップ２と同一
構造のものである。ノズルプレート７３には、４条のイ
ンクノズル列９１（９１（１）、９１（２）、９１
（３）、９１（４））が形成されているが、本例では、
これらのインクノズル列９１が千鳥状に配列されてい
る。各インクノズル列９３は同一個数のインクノズル９
２から構成されており、各インクノズル９２の形状は、
上述の例におけるインクノズル３２と同様である。

【００４８】次に、位置決め部品７４は、横長の偏平な
直方体形状をした本体１００と、ここに形成した４個の
ヘッドチップ位置決め溝１０１（１０１（１）ないし１
０１（４））を備えている。位置決め溝１０１も上記の
例における位置決め溝４１と同様な形状をしている。し
かしながら、本例では、ノズルプレート７２に形成され
ている千鳥状の各インクノズル列９１に対応して、千鳥
状に４個の位置決め溝１０１が形成されている。

【００４９】この置決め部品７４の裏面１０５は、各位
置決め溝９１に対して垂直なノズルプレート位置決め面
とされている。従って、このノズルプレート位置決め面
１０５にノズルプレート７３を密着させると、各位置決
め溝１０１に差し込まれたインクジェットヘッド・チッ
プ７２は当該ノズルプレート７３に対して垂直な状態に
位置決めされる。

【００５０】また、このノズルプレート位置決め面１０
５の対角位置には一対の位置決め用のピン孔１１３、１
１４が形成されている。これらのピン孔１１３、１１４
に対応するノズルプレート位置決め面１０５の部分に
は、位置決め用のピン貫通孔１１５、１１６が形成され
ている。

【００５１】このように構成した本例のインクジェット
ヘッド７０においても、位置決め部品７４によって、複
数のインクジェットヘッド・チップ７２を１枚のノズル
プレート７３に対して、簡単、かつ精度良く位置決めし
て、貼り付けることができる。

【００５２】（その他の実施の形態）上記の各実施例
は、４個のインクジェットヘッド・チップを１枚のノズ
ルプレートに貼り付けた構造のインクジェットヘッドに
関するものであるが、３個以下あるいは５個以上のイン
クジェットヘッド・チップをノズルプレートに貼り付け
た構造のインクジェットヘッドに対しても、本発明を同
様に適用できる。また、単一のインクジェットヘッド・
チップをノズルプレートに貼り付けた構造のインクジェ
ットヘッドに対しても本発明を適用できることは勿論で
ある。

【００５３】さらに、上記の例は、静電駆動式のインク
ジェットヘッドに関するものであるが、それ以外の駆動
形式のインクジェットヘッドに対しても本発明を同様に
適用できる。例えば、圧電方式等のインクジェットヘッ
ドに対しても適用できる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のインクジ
ェットヘッドにおいては、ヘッドチップ位置決め部およ
びノズルプレート位置決め部を備えた位置決め部品を用
いて、ノズルプレートにインクジェットヘッド・チップ
を位置決めして貼り付けるようにしている。

【００５５】従って、特に、多数個のインクジェットヘ
ッド・チップを１枚のノズルプレートに貼り付けた構造
の多ノズル型のイクジェットヘッドを製造する場合に、
ノズルプレートに対して各インクジェットヘッド・チッ
プの位置決めを簡単、かつ精度良く行なうことができ
る。また、各インクジェットヘッド・チップ相互間の位
置決めも簡単かつ精度良く行なうことができる。

【００５６】よって、本発明によれば、多ノズルのイン
クジェットヘッドを高い良品率で製造可能になるので、
高精細な印字を行なうことのできる多ノズルのインクジ
ェットヘッドを廉価に製造可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した多ノズルのインクジェットヘ
ッドを示す分解斜視図である。

【図２】図１のインクジェットヘッドのＩＩ−ＩＩ線で
切断した部分を示す部分断面図である。

【図３】本発明を適用したインクジェットヘッドの別の
例を示す分解斜視図である。

【符号の説明】

１、７０ インクジェットヘッド ２、２（１）ないし２（４）、７２ インクジェットヘ
ッド・チップ ３、７３ ノズルプレート ４、７４ 位置決め部品 ８ 中継基板 ９ フレキシブル配線基板 １４ インク圧力室 １６ 振動板部分 １９ インクノズル連通孔 ２２ 個別電極 ２３ インク取り込口 ３１、３１（１）ないし３１（４）、９１ インクノズ
ル列 ３２、９２ インクノズル ３３ インクノズルの後端側開口 ４０ 位置決め部品の本体 ４１、４１（１）ないし４１（４）、１０１ 位置決め
溝 ４４、１０４ ヘッドチップ差し込み側開口 ４５、１０５ ノズルプレート位置決め面 ４６、１０６ ノズルプレート側開口 ４７、１０７ ヘッドチップ差し込み部 ５１、５２、１１３、１１４ ピン孔 ５３、５４、１１５、１１６ ピン貫通孔 ５７、５８ 位置決めピン ６１ インク供給路 ６２ 内側開口 ６３ 外側開口 ６４ 通路部分

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクジェットヘッド・チップと、この
   インクジェットヘッド・チップに接合されたノズルプレ
   ートと、これらインクジェットヘッド・チップおよびノ
   ズルプレートを相互に位置決めしている位置決め部品と
   を有し、 前記インクジェットヘッド・チップは、複数のインクノ
   ズル連通孔が配列された前端面を備え、 前記ノズルプレートは、前記インクノズル連通孔のそれ
   ぞれに対応するインクノズルが形成されており、 前記位置決め部品は、前記インクジェットヘッド・チッ
   プを位置決めするヘッドチップ位置決め部と、前記ノズ
   ルプレートを位置決めするノズルプレート位置決め部と
   を備えており、 当該位置決め部品によって位置決めされた状態で、前記
   インクジェットヘッド・チップの前記前端面に、前記ノ
   ズルプレートが接合されていることを特徴とするインク
   ジェットヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記位置決め部品の前記ヘッドチップ位置決め部は、前
   記インクジェットヘッド・チップを差し込み可能な位置
   決め溝であることを特徴とするインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 請求項２において、 前記ノズルプレート位置決め部は、前記位置決め溝に対
   して垂直なノズルプレート位置決め面を備えていること
   を特徴とするインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】 請求項３において、 前記ノズルプレート位置決め部は、位置決めピンと、前
   記ノズルプレート位置決め面に形成されたピン孔と、前
   記ノズルプレートに形成したピン貫通孔とを備えてお
   り、 前記位置決めピンを前記ピン貫通孔から前記ピン孔に打
   ち込むことにより、前記ノズルプレートが前記ノズルプ
   レート位置決め面に位置決めされることを特徴とするイ
   ンクジェットヘッド。
5. 【請求項５】 請求項３において、 前記位置決め溝は、インクジェットヘッド・チップを前
   記前端面の側から差し込む差し込み側開口と、前記ノズ
   ルプレート位置決め面に開口しているノズルプレート側
   開口と、これらの開口を繋ぐヘッドチップ差し込み部と
   を備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。
6. 【請求項６】 請求項５において、 前記位置決め部品は、前記ヘッドチップ差し込み部に差
   し込まれているインクジェットヘッド・チップにインク
   を供給するインク供給路を備えていることを特徴とする
   インクジェットヘッド。
7. 【請求項７】 請求項１ないし６のうちのいずれかの項
   において、 複数の前記インクジェットヘッド・チップと、これらの
   インクジェットヘッド・チップに接合された１枚の前記
   ノズルプレートとを有しており、 前記ノズルプレートは、各インクジェットヘッド・チッ
   プの前記インクノズル連通孔のそれぞれに対応するイン
   クノズルからなるインクノズル列が複数形成されてお
   り、 前記位置決め部品は複数の前記ヘッドチップ位置決め部
   を備えており、 当該位置決め部品によって位置決めされた状態で、複数
   の前記インクジェットヘッド・チップの前記前端面に、
   前記ノズルプレートが接合されていることを特徴とする
   インクジェットヘッド。
8. 【請求項８】 請求項７において、 前記ノズルプレートには、複数の前記インクノズル列が
   一定間隔で平行に配列されていることを特徴とするイン
   クジェットヘッド。
9. 【請求項９】 請求項７において、 前記ノズルプレートには、複数の前記インクノズル列が
   千鳥状に配列されていることを特徴とするインクジェッ
   トヘッド。
10. 【請求項１０】 請求項１ないし９のうちのいずれかの
    項に記載のインクジェットヘッドの製造方法であって、 前記位置決め部品の前記ノズルプレート位置決め部に前
    記ノズルプレートを位置決めして、当該位置決め部品に
    接着固定し、 前記位置決め部品の前記ヘッドチップ位置決め部に前記
    インクジェットヘッド・チップを位置決めし、 この状態で、前記インクジェットヘッド・チップの前記
    前端面を前記ノズルプレートに接着固定することを特徴
    とするインクジェットヘッドの製造方法。