JP2002182047A - Ｐｌｃフィルタ搭載装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】厚さ１５μｍと薄く反りの大きい多層膜フィル
タをＰＬＣ素子の導波路を分断するように形成した２０
〜２５（μｍ）巾の微細な溝にキズを付けず安定した深
さで短時間に自動挿入固定する装置及び吸着把持挿入方
法を提供する。 【解決手段】取出した多層膜フィルタの回転方向の姿勢
を修正後に吸着把持挿入機構への受渡し吸着把持がで
き，吸着把持した多層膜フィルタをＸＹＺ，Ｘθ方向に
移動する機構と，ＰＬＣ素子の位置決め固定ができＰＬ
Ｃ素子にある溝を基準にＸＹＺ，Ｙθ方向に移動する機
構を有し，多層膜フィルタを挿入する位置でＰＬＣ素子
の溝と多層膜フィルタを横方向から同時に撮像可能な光
学系とカメラを配置したことで，薄く反りの大きい多層
膜フィルタを微細な溝にキズを付けず安定した深さで短
時間に自動挿入固定を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＰＬＣフィルタの
ＰＬＣ素子への搭載装置および方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の光加入者用ＰＬＣ光モジュール
に、ＰＬＣ素子に光信号を電気信号に変換及びその逆に
変換する変換素子と、該変換素子と光ファイバとを結合
する導波路及び該導波路を分離するように形成された微
細な溝に挿入されるＰＬＣフィルタ（多層膜フィルタ）
を備えたものがある。ここで、従来は、導波路で伝搬す
る光信号の多層膜フィルタでの通過損失をできる限り少
なくするため，微細な分離溝に極薄の多層膜フィルタを
ピンセットで把持し顕微鏡で位置合わせしながら挿入す
る，いわゆる熟練手作業で行っていた。

【０００３】なお、特開平10-20135号公報，特開平9-29
7234号公報では，導波路端面に膜を形成したもので，蒸
着，貼付け等によるものが主流で，導波路途中での溝形
成と多層膜フィルタの挿入による方式は他には見当たら
ない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は，従来
技術では適用困難であった，１５μｍと薄く反りの大き
い多層膜フィルタをＰＬＣ素子の導波路を分断するよう
に形成した２０〜２５（μｍ）巾の微細な溝にキズを付
けず安定した深さで短時間に自動挿入固定することが可
能な装置及び方法を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】多層膜フィルタの回転方
向の姿勢を修正した後に該フィルタを吸着把持挿入機構
へ受渡し、該吸着把持挿入機にて吸着把持した多層膜フ
ィルタをＸＹＺ，Ｘθ方向に移動する機構と、ＰＬＣ素
子の位置決め固定ができＰＬＣ素子の溝を基準にＸＹ
Ｚ，Ｙθ方向に移動する機構を有し，多層膜フィルタを
挿入する位置でＰＬＣ素子の溝と多層膜フィルタを横方
向から共に撮像可能な光学系とカメラを配置すること
で，薄く反りの大きい多層膜フィルタを微細な溝にキズ
を付けず安定した深さで短時間に自動挿入固定を実現す
る。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例について図
面を用いて説明する。

【０００７】図１は本発明の実施例であるＰＬＣフィル
タ搭載装置の斜視図である。図２は図１のＰＬＣフィル
タ搭載装置の全体動作フロー図である。以降，図１，図
２を用いて装置全体の説明をするが，その前に，図３に
おいて、本発明の実施例へ適用するＰＬＣ素子の構造を
説明する。

【０００８】まず、図３(ａ)において，４０はＰＬＣ素
子、４１は必要な光信号波長帯を透過する多層膜フィル
タ、４２は電気信号を光信号に変換し出力する光素子、
４３は入力した光信号を電気信号に変換する光素子、４
４は多層膜フィルタが挿着される溝、４５は光信号を通
す導波路、４６はガラスブロック、４７は光信号を伝搬
する光ファイバ(図示せず)と結合するファイバブロック
である。ＰＬＣ素子４０には光信号を通す導波路４５が
溝４４で分断されるように形成されてあり，溝４４は多
層膜フィルタ４１が挿入固定されている。また導波路４
５の片端側には光信号を入力，出力できるように光素子
４２、光素子４３がＰＬＣ素子４０上に搭載固定されて
あり，反対側はファイバブロック４７と結合できる構造
となっている。

【０００９】図３（ｂ）において、光素子４２から出力
された光信号をＰＬＣ素子４０に形成した導波路４５を
介して溝４４に挿入された多層膜フィルタを通過させる
ことで必要な光信号（波長帯）をファイバブロック４７
側へ送り出すことができ、または逆方向の光信号につい
ても同様に必要な光信号（波長帯）を受取ることができ
る機能を有する。

【００１０】本発明の対象とするＰＬＣフィルタ搭載装
置は，前記のＰＬＣ素子４０に形成した溝４４に多層膜
フィルタ41を挿入固定する内容を対象とするものであ
る。尚、光信号の伝搬損失を少なくするために溝４４は
微細で多層膜フィルタ４１は極薄な形状となっている。
以下、本発明について詳述する。

【００１１】図１は本発明の実施例であるＰＬＣフィル
タ搭載装置の斜視図である。図１において、１はフィル
タ供給部を示し、該フィルタ供給部は、取出しチャック
２、フィルタ供給トレイ３、取出し旋回軸４、取出し回
転軸５、取出し前後軸６、取出し左右軸７を備えてい
る。取出しチャック２は、多層膜フィルタが供給される
フィルタ供給部１から多層膜フィルタを吸着把持し所定
の位置に位置決めするフィルタ吸着把持手段を構成して
いる。８はフィルタ吸着把持挿入部を示し、該フィルタ
吸着把持挿入部は、吸着把持チャック１０、吸着把持前
後軸１１、吸着把持左右軸１２、吸着把持水平回転軸１
３を備えている。フィルタ吸着把持挿入部８は、フィル
タ供給部１より取り出した多層膜フィルタの回転方向の
姿勢を修正し、しかる後にフィルタ吸着把持手段への受
渡し吸着把持が可能で、且つ吸着把持した多層膜フィル
タをＸＹＺ、Ｘθ方向に移動する手段を構成している。
16はＰＬＣ素子供給排出部を示し、該ＰＬＣ素子供給排
出部は素子把持チャック１８、素子取出し上下軸２０、
素子取出し前後軸２１、素子取出し左右軸２２を備えて
いる。２５は素子搭載部を示し、該搭載部は搭載θ軸１
９、素子搭載ステージ２６、搭載前後軸２７、搭載左右
軸２８、搭載水平回転軸２９を備えている。素子搭載部
２５は、後述するＰＬＣ素子の溝を基準にＸＹＺ、Ｙθ
方向に移動する手段を構成している。１４は横カメラ、
１５はレーザ測長器、２３は素子供給排出トレイ、２４
は素子排出ステージ、30は横カメラを示し、該カメラ
は、図示していないが光学系（レンズフィルタ等はカメ
ラに含まれる）と共に多層膜フィルタを前記溝に挿入す
る位置でＰＬＣ素子の溝と多層膜フィルタを横方向から
共に撮像可能に構成されている。３１は上カメラ、３２
はモニタ、３３は操作パネル、３４は制御部である。す
なわち、本装置は作業者が操作を行う操作パネル３３
と、多層膜フィルタ４１を供給するフィルタ供給部１
と、多層膜フィルタ４１を吸着把持挿入するためのフィ
ルタ吸着把持挿入部８と、フィルタ供給部１，フィルタ
吸着把持挿入部８における多層膜フィルタ４１の位置，
姿勢を検出修正するために画像認識する横カメラ１４
と、多層膜フィルタ４１の裏面検出及び反り量を検出判
定するレーザ測長器１５と、ＰＬＣ素子４０を供給排出
搬送するＰＬＣ素子供給排出部１６と、供給排出するＰ
ＬＣ素子４０を整列する素子供給排出トレイ２３と、一
個流し品及びＮＧ品の整列する素子排出ステージ２４
と、ＰＬＣ素子４０を位置決め固定し、多層膜フィルタ
４１をＰＬＣ素子４４の溝に挿入搭載する素子搭載部２
５と、ＰＬＣ素子４０の溝４４の傾き，位置を検出する
ために画像認識する上カメラ３２と、ＰＬＣ素子４０の
溝４４と多層膜フィルタ４１を同時に一画面内で挿入状
態の位置，姿勢，傾きを確認しながら挿入するために画
像認識する横カメラ３０と、画像認識状態を確認するモ
ニタ３２と、これらの動作を制御する制御部３４から構
成される。

【００１２】図２は、図１に示した光ファイバ光軸調整
装置の全体動作フローを説明する図である。

【００１３】先ず，ステップＳ200にてＰＬＣフィルタ
搭載装置の各部位置が原点にあることを確認する。次に
ステップＳ201にて多層膜フィルタ４１、ＰＬＣ素子４
０をそれぞれフィルタ供給トレイ３と素子供給排出トレ
イ２３に入れ，これを装置にセットしてから操作パネル
３３上の起動スイッチをＯＮする。ステップＳ201にて
起動スイッチをＯＮすると、ステップＳ202にてフィル
タ供給部１が動作して多層膜フィルタ４１を取出しチャ
ック２で取出し，横カメラ１４を利用して回転方向の姿
勢修正および位置検出を行う。次に，ステップＳ203に
て多層フィルタ４１をフィルタ供給部１からフィルタ吸
着把持挿入部８へ受け渡す。次に、受渡し後，ステップ
Ｓ204にて吸着把持状態の多層膜フィルタ４１の位置を
横カメラ14にて検出する。次に，検出した位置データに
よりレーザ測長器１５に移動し、ステップＳ205にて多
層膜フィルタ４１の反り量および表裏の判定をする。判
定結果ＮＧの場合は、ステップＳ214にてＮＧ回数をカ
ウントし，ステップＳ215にてＮＧ回数を確認する。Ｎ
Ｇ１回目の場合は、多層フィルタ４１をステップＳ216
にてフィルタ吸着把持挿入部８からフィルタ供給部１へ
戻し反転した後、ステップＳ２０２に戻り、上記各ステ
ップを再度行う。ＮＧ２回目の場合は、ステップＳ217
にて多層膜フィルタ４１をフィルタ吸着把持挿入部８か
らフィルタ供給部１へ排出し、その後，ステップＳ202
に戻り、多層膜フィルタ４１の取出しから再度行う。

【００１４】ステップＳ205による判定結果がＯＫの場
合は，ステップＳ206にてＰＬＣ素子４０の位置決めを
行ない、ステップＳ207にてその位置を検出し、位置検
出終了後にステップＳ208にてＰＬＣ素子４０を多層膜
フィルタ挿入位置へ移動する。

【００１５】ステップＳ２０１の起動スイッチをＯＮし
たとき、ＰＬＣ素子供給排出部１６も動作しＰＬＣ素子
４０を取出し素子搭載部２５の素子搭載ステージ２６へ
供給し固定する（ステップＳ206）。次に、ステップＳ2
07にて上カメラ３１でＰＬＣ素子の位置を検出する。Ｐ
ＬＣ素子４０の位置検出後，ステップＳ208にて多層膜
フィルタ挿入位置へ移動する。ＰＬＣ素子４０と多層膜
フィルタ４１が多層膜フィルタ挿入位置へ移動後，ステ
ップＳ209にて横カメラ３０を利用してＰＬＣ素子４０
の溝４４の中心位置と多層膜フィルタ４１の中心位置，
溝４４の深さ，多層膜フィルタ４１の傾き等を検出しそ
れぞれ最適位置を修正する。

【００１６】ＰＬＣ素子４０と多層膜フィルタ４１を最
適位置に移動後，ステップＳ210にて多層膜フィルタ４
１の挿入深さを横カメラ３０にて確認しながら挿入動作
を開始する。次に，ステップＳ211にて多層膜フィルタ
４１の挿入深さの判定を行う。

【００１７】挿入結果ＮＧの場合は，ステップＳ218に
て挿入状態をモニタ画像で作業者が確認する。ステップ
Ｓ219にて作業者が正常or異常の判定を行い，ステップ
Ｓ220にて判定が正常の場合には、ステップＳ221にて挿
入深さに余裕があるときは操作パネル３２の挿入リトラ
イを選択するとステップＳ２０９に戻り、該ステップか
ら再度動作を継続する。挿入深さに余裕が無いときは、
ステップＳ222にて操作パネル３２の手動操作を選択し
目視確認しながら挿入する。再度，ステップＳ223にて
正常or異常の判定をする。正常のときはステップＳ224
にて操作パネル３２で正常を選択するとステップＳ２１
２を行う。ステップＳ２１９で異常となったとき，また
はステップＳ２２４で操作パネル３２にて異常を選択し
たとき（ステップＳ２２５）は、ステップＳ２２６にて
素子排出ステージ２４へＰＬＣ素子４０を排出する。

【００１８】ステップＳ211にて挿入結果ＯＫの場合
は，ＰＬＣ素子４０を素子供給排出トレイ２３から取出
した元の位置へ収納し一連の動作は終了する，以降ステ
ップＳ２０２から繰り返す（ステップＳ２１３）。

【００１９】図4は本発明の実施例であるフィルタ挿入
搭載部の構成を示す図である。

【００２０】図４において、６５はベースを示し、該ベ
ース上には ＰＬＣ素子搭載ステージ５０上に固定され
たＰＬＣ素子４０を，ＸＹ軸方向に平行移動およびＹ軸
Ｚ軸周りに回転移動させるＰＬＣ素子移動機構５１と、
フィルタ供給パレット５２から多層膜フィルタ４１を真
空吸着により取り出し吸着把持するフィルタ吸着機構５
３をＸＹＺ方向に平行移動させるフィルタ供給部移動機
構５４およびフィルタ吸着機構５３をＹ軸周りに回転さ
せるフィルタ供給部回転機構５５から構成されるフィル
タ供給ユニット５６と、フィルタ供給ユニット５６から
供給された多層膜フィルタ４１を吸着把持するためのフ
ィルタ吸着把持機構５７をフィルタ位置決め機構５８に
よりＸＹ軸方向に平行移動およびＸ軸周りに回転移動さ
せＰＬＣ素子４０に組み込むためのフィルタ吸着把持組
み込みユニット５９と、組立ての完了したＰＬＣ素子４
０をＰＬＣ素子搭載ステージ５０から取り出すためのＰ
ＬＣ素子把持機構６０をＰＬＣ素子排出部移動機構６１
によりＸＹＺ方向に移動しＰＬＣ素子排出ステージ６２
上のＰＬＣ素子排出パレット６３に格納するためのＰＬ
Ｃ素子排出ユニット６４が設けられている。さらに，フ
ィルタ吸着把持機構５７に吸着把持された多層膜フィル
タ４１の反り量の測定および表裏判定を行うためのフィ
ルタ測定ユニット６６と、フィルタ供給ユニット５６に
より供給されるフィルタの位置および姿勢を確認するた
めのフィルタ供給部カメラ６７と、ＰＬＣ素子４０上の
フィルタ搭載位置を認識するためのＰＬＣ素子上方カメ
ラ６８と、ＰＬＣ素子４０と多層膜フィルタ４１を同時
に撮影し組み込み状態を確認するためのＰＬＣ素子側方
カメラ６９を備えている。以下、図５，図６，図７を用
いて、本発明の実施例であるフィルタ搭載挿入方法の動
作について説明する。図５ないし図６はフィルタ搭載挿
入方法を説明する平面図である。図７はその動作フロー
である。図５において，フィルタ供給トレイ３（図示せ
ず）から多層膜フィルタ４１をフィルタ供給部１（図１
参照）にて取出し、取出し回転軸５（図１参照）を回転
させ、横カメラ１４にて検出した多層膜フィルタ４１の
位置姿勢を修正した後、フィルタ吸着把持組込み部８の
吸着把持チャック１０に受渡す。図５(ａ)に示すよう
に、受渡し後、横カメラ１４により、フィルタ吸着把持
組込み部８の吸着把持チャック１０における多層膜フィ
ルタ４１のずれ量を検出する。多層膜フィルタ４１のず
れ量を検出した後、フィルタ吸着把持組込み部８を反り
量測定位置に移動し、レーザ測長器１５により、多層膜
フィルタ４１の反り量を検出する。次に、素子供給排出
トレイ２３（図１参照）からＰＬＣ素子４０をＰＬＣ素
子供給排出部１６にて取出し、素子搭載部２５の素子搭
載ステージ２６に位置決め固定する。位置決め固定後、
図５(ｂ)に示すように、上カメラ３１にて所望位置にな
るよう、塔載θ軸１９を回転させ、ＰＬＣ素子４０の溝
４４の平行出しを行う。次に、フィルタ吸着把持組込み
部８をフィルタ組込み位置に移動させ、横カメラ３０
（図１参照）により、位置決め固定の完了したＰＬＣ素
子４０の溝４４と吸着把持チャック１０によりチャック
された多層膜フィルタ４１との位置関係の検出を行う。
図６(ａ)に示すように、ＰＬＣ素子４０の溝４４と多層
膜フィルタ４１の位置関係を測定した後、多層膜フィル
タ４１とＰＬＣ素子４０の溝４４のセンターが合う位置
まで吸着把持チャック１０を移動する。多層膜フィルタ
４１とＰＬＣ素子４０の溝４４のセンターが合わせ終わ
った後、多層膜フィルタ４１を挿入位置まで移動し、Ｐ
ＬＣ素子４０の溝４４の位置、深さ、傾きを検出し、最
初に測定した吸着把持チャック１０における多層膜フィ
ルタ４１のずれ量及び多層膜フィルタ４１の反り量を加
味して、ＰＬＣ素子４０の溝４４が所望の位置、傾きに
なるよう修正を行う。修正後、図６(ｂ)に示すように、
多層膜フィルタ４１をＰＬＣ素子４０の溝４４に挿入す
る。挿入完了後、ＰＬＣ素子４０の溝４４に対する多層
膜フィルタ４１の挿入深さを検出する。多層膜フィルタ
４１が所望の深さに達するまで、多層膜フィルタ４１を
ＰＬＣ素子４０の溝４４に挿入し挿入深さを検出するこ
とを繰り返す。多層膜フィルタ４１の挿入位置が所望の
深さに達したＰＬＣ素子４０は、ＰＬＣ素子供給排出部
１６（図５（ｂ）参照）にて素子供給排出トレイ２３
（図１参照）の取出した位置に収納する。

【００２１】次に、図７を用いて説明する。

【００２２】フィルタ供給トレイ３からの多層膜フィル
タ４１の取出しから、該多層膜フィルタ４１のＰＬＣ素
子４０への挿入，多層膜フィルタ４１挿入済みＰＬＣ素
子４０の素子供給排出トレイ２３への収納に至るまでの
フローは、多層膜フィルタ４１取出し後、ステップＳ２
５０〜ステップＳ２５４にて多層膜フィルタ４１の姿勢
検出，姿勢修正を経て、ステップＳ255にて多層膜フィ
ルタ４１のフィルタ吸着把持挿入部への受渡しを行な
い、多層膜フィルタ４１の反り検出に至るステップＳ２
５６、Ｓ２５７、Ｓ２５８と、ＰＬＣ素子４０取出し後
ステップＳ２５９の溝４４位置検出及びステップＳ260
にて平行出し、ステップＳ260、Ｓ261，Ｓ262、Ｓ272に
てＰＬＣ素子４０の傾き修正を行ない、ステップＳ263
にて多層膜フィルタ４１とＰＬＣ素子４０の溝４４との
センター合せを行なう。次にステップｓ264にて溝４４
の深さを検出し、ステップＳ265にて多層膜フィルタ４
１の挿入を開始する。続いて、挿入下降と挿入深さ検出
を繰り返し行い多層膜フィルタ４１のＰＬＣ素子４０の
溝４４への挿入に至るステップＳ２６６、Ｓ２７３、Ｓ
２７４、Ｓ２７５、、Ｓ２７６を実行する。

【００２３】ステップ269の多層膜フィルタ４１の反り
量検出ＮＧ過程においては、１回目の反り量ＮＧの場合
はステップＳ270にて多層膜フィルタ４１を反転し、ス
テップＳ２５７に戻り、該ステップから再度行う。２回
目の反り量ＮＧの場合にはステップＳ271にて多層膜フ
ィルタ排出ステージ３５（図示せず）へ多層膜フィルタ
４１を排出する。ステップＳ266における多層膜フィル
タ４１のＰＬＣ素子４０の溝４４への挿入過程において
は、ステップＳ273にて吸着把持チャック１０の下降量
が設定値以上となり、ステップＳ274にて挿入動作チェ
ックで異常が認められた場合、ステップＳ276にてＰＬ
Ｃ素子４０を素子排出ステージ２４に排出する。

【００２４】図８、図９は本発明の多層膜フィルタ４１
挿入方法で他の実施例を説明する平面図である。

【００２５】本実施例の挿入方法では、図８(ａ)に示す
ように多層膜フィルタ４１をスライドテーブル１３１
にセットした後、図８(ｂ)に示すようにスライドテーブ
ル１３１を移動させ多層膜フィルタ４１を位置決めブロ
ック１３０により位置出しを行う。多層膜フィルタ４１
の位置出し完了後、図８(ｃ)に示すように位置決めブロ
ック１３０を移動させ、多層膜フィルタ４１のスライド
テーブル１３１から飛び出した部分を多層膜フィルタ把
持チャック１３４により把持する。また、多層膜フィル
タ４１を多層膜フィルタ把持チャック１３４により把持
することにより、多層膜フィルタ４１の反りを矯正す
る。多層膜フィルタ４１を把持した後、図８(ｄ)に示す
ように多層膜フィルタ把持チャック１３４を回転させ、
多層膜フィルタ認識カメラ１３７により多層膜フィルタ
４１を認識し、位置補正を行う。ＰＬＣ素子４０につい
ては、図８(ｅ)に示すようにＰＬＣ素子４０の溝４４を
ＰＬＣ素子認識カメラ１３６で認識し、位置補正を行
う。多層膜フィルタ４１およびＰＬＣ素子４０の位置補
正完了後、図８(ｆ)に示す状態より図９(ｇ)に示すよう
に多層膜フィルタ把持チャック１３４を下降させ、多層
膜フィルタ４１をＰＬＣ素子４０の溝４４に挿入する。
下降停止位置については、高さ検出ピン１３８がスライ
ドし高さ検出センサ１３３がオンした時点で停止する。
下降完了後、図９(ｈ)に示すように多層膜フィルタ把持
チャック１３４が開き、多層膜フィルタ４１を開放した
後、図９(ｉ)に示すように上昇し多層膜フィルタ４１の
挿入動作を完了する。

【００２６】図１０は本発明の実施例であるフィルタ挿
入後の分離方法における代案である。図１０(ａ)に示す
フィルタ分離方法は実施例に記載したものであり，多層
膜フィルタ４１を吸着把持チャック１０により吸着し，
ＰＬＣ素子４０の溝へ挿入する。挿入完了後，ＰＬＣ素
子４０の下方に位置する回転中心で吸着把持チャック１
０を多層膜フィルタ４１と反対方向へ回転させること
で，挿入された多層膜フィルタ４１が位置ズレすること
なく吸着把持チャック１０から分離される。前記に対
し，図１０(ｂ)，(ｃ)にフィルタ分離方法の代案を示
す。図１０(ｂ)は前記同様に，多層膜フィルタ４１を吸
着把持チャック１０により吸着し，ＰＬＣ素子４０の溝
へ挿入する。挿入完了後，ＰＬＣ素子４０の下方に位置
する回転中心でＰＬＣ素子４０を吸着把持チャック１０
と反対方向へ回転させることで挿入された多層膜フィル
タ４１が位置ズレすることなく吸着把持チャック１０か
ら分離される。図１０(ｃ)は前記同様に，多層膜フィル
タ４１を吸着把持チャック１０により吸着し，ＰＬＣ素
子４０の溝へ挿入する。挿入完了後，吸着把持チャック
１０の吸着孔より微量なエアーを吹き付けながら，吸着
把持チャック１０を多層膜フィルタ４１と反対方向へ移
動させ，上昇待避させることで挿入された多層膜フィル
タ４１が位置ズレすることなく吸着把持チャック１０か
ら分離される。

【００２７】

【発明の効果】本発明によれば，導波路間で多層膜フィ
ルタを用い必要な光信号を電気信号に変換し入力及び出
力できる光加入者用ＰＬＣ光モジュールついて，微細溝
への極薄多層膜フィルタの挿入をＰＬＣ素子に損傷を与
えず安定した深さの自動挿入固定を短時間で行うことが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例であるＰＬＣフィルタ搭載装置
の斜視図

【図２】本発明の実施例であるＰＬＣフィルタ搭載装置
の全体動作フロー図

【図３】本発明の実施例へ適用するＰＬＣ素子の構造を
説明する図

【図４】本発明の実施例であるフィルタ挿入搭載部の構
成を示す図

【図５】本発明の実施例であるフィルタ搭載挿入方法を
示す平面図

【図６】本発明の実施例であるフィルタ搭載挿入方法を
示す平面図

【図７】本発明の実施例であるフィルタ搭載挿入方法の
動作を示す動作フロー図

【図８】本発明の多層膜フィルタ４１挿入方法で他の実
施例を説明する平面図

【図９】本発明の多層膜フィルタ４１挿入方法で他の実
施例を説明する平面図

【図１０】本発明の実施例であるフィルタ挿入後の分離
方法における他の実施例を説明する平面図

【符号の説明】

１……フィルタ供給部，２……取出しチャック， ３…
…フィルタ供給トレイ，４……取出し旋回軸， ５……
取出し回転軸， ６……取出し前後軸，７……取出し
左右軸， ８……フィルタ吸着把持挿入部，１０……吸
着把持チャック，１１……吸着把持前後軸，１２……吸
着把持左右軸，１３……吸着把持水平回転軸，１４……
横カメラ(１)，１５……レーザ測長器，１６……ＰＬＣ
素子供給排出部，１８……素子把持チャック，１９……
搭載θ軸，２０……素子取出し上下軸，２１……素子取
出し前後軸，２２……素子取出し左右軸，２３……素子
供給排出トレイ，２４……素子排出ステージ，２５……
素子搭載部，２６……素子搭載ステージ，２７……搭載
前後軸， ２８……搭載左右軸，２９……搭載水平
回転軸，３０……横カメラ(２)， ３１……上カメ
ラ， ３２……モニタ，３３……操作パネル，３４……
制御部，３５……多層膜フィルタ排出ステージ，４０…
…ＰＬＣ素子，４１……多層膜フィルタ，４２……光素
子(１)，４３……光素子(２)，４４……溝，４５……導
波路，４６……ガラスブロック，４７……ファイバブロ
ック，５０……ＰＬＣ素子搭載ステージ，５１……ＰＬ
Ｃ素子移動機構，５２……フィルタ供給パレット， ５
３……フィルタ吸着機構，５４……フィルタ供給部移動
機構，５５……フィルタ供給部回転機構，５６……フィ
ルタ供給ユニット， ５７……フィルタ吸着把持機構，
５８……フィルタ位置決め機構， ５９……フィルタ吸
着把持組み込みユニット，６０……ＰＬＣ素子把持機
構， ６１……ＰＬＣ素子排出部移動機構，６２……
ＰＬＣ素子排出ステージ，６３……ＰＬＣ素子排出パレ
ット，６４……ＰＬＣ素子排出ユニット，６５……ベー
ス，６６……フィルタ測定ユニット， ６７……フィル
タ供給部カメラ，６８……ＰＬＣ素子上方カメラ， ６
９……ＰＬＣ素子側方カメラ，１３０……位置決めブロ
ック， １３１……スライドテーブル ，１３３……高
さ検出センサ， １３４……多層膜フィルタ把持チャ
ック，１３５……高さ検出ピン， １３６……
ＰＬＣ素子認識カメラ，１３７…多層膜フィルタ認識カ
メラ １３８……高さ検出センサ ，

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥村 努 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地 株 式会社日立製作所通信事業部内 (72)発明者 又平 浩 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地 株 式会社日立製作所通信事業部内 (72)発明者 川端 稔 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地 株 式会社日立製作所通信事業部内 (72)発明者 井手口 泰 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地 株 式会社日立製作所通信事業部内 Ｆターム(参考） 2H047 KA03 KA12 LA18 RA08 TA42 TA43 3C007 DS01 ES03 ES12 ET08 EV02 MS00 3F061 AA01 BA03 BA11 BB08 BE02 DD00

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光信号を通す導波路と、該導波路を分断す
   るような溝と、該溝に挿着され、前記光信号の所望の光
   信号波長帯を透過する多層膜フィルタとを備えたＰＬＣ
   光モジュールにおける前記多層膜フィルタの前記溝への
   挿着するＰＬＣフィルタ搭載装置において、前記多層膜
   フィルタが供給されるフィルタ供給部１から多層膜フィ
   ルタを吸着把持し所定位置に位置決めするフィルタ吸着
   把持する手段と、前記多層膜フィルタを吸着把持状態で
   多層膜フィルタの姿勢，位置を検出する撮像手段および
   その姿勢、位置を修正する手段と、前記ＰＬＣ素子の溝
   に前記多層膜フィルタを吸着把持挿入する吸着把持挿入
   手段と、該吸着把持挿入した状態を検出する撮像手段
   と、前記フィルタ供給部より取出した前記多層膜フィル
   タの回転方向の姿勢を修正し、しかる後に前記吸着把持
   挿入手段への受渡し吸着把持が可能で，且つ，吸着把持
   した多層膜フィルタをＸＹＺ，Ｘθ方向に移動する手段
   と、前記ＰＬＣ素子の位置決め固定ができＰＬＣ素子の
   溝を基準にＸＹＺ，Ｙθ方向に移動する手段とを有し、
   前記多層膜フィルタを前記溝に挿入する位置で前記ＰＬ
   Ｃ素子の溝と前記多層膜フィルタを横方向から共に撮像
   可能な光学系とカメラを配置したことを特徴とするＰＬ
   Ｃフィルタ搭載装置。
2. 【請求項２】請求項１のＰＬＣフィルタ搭載装置におい
   て，前記多層膜フィルタの位置決めを取出し位置でその
   位置，姿勢の修正を行い，位置決め状態の多層膜フィル
   タを両面から微小な力で挟む反り矯正挿入把持チャック
   を有し、前記多層膜フィルタの溝への挿入時には前記把
   持チャックの端面が前記ＰＬＣ素子上面に接触後，前記
   把持チャック部分が微小な力で上方に移動でき，把持チ
   ャック上下機構の挿入位置下端検出で挿入位置を検出が
   できることを特徴とするＰＬＣフィルタ搭載装置。
3. 【請求項３】請求項１のＰＬＣフィルタ搭載装置におい
   て，前記多層膜フィルタをＰＬＣ素子の溝に挿入し、Ｐ
   ＬＣ素子搭載部をＸθ方向に回転移動動作および吸着把
   持した多層膜フィルタに吸着孔から微量なエアーを吹き
   出しながら吸着把持チャックを離れる方向に移動する手
   段を有し、多層膜フィルタの分離時の位置ずれを防止す
   ることを特徴とするＰＬＣフィルタ搭載装置。
4. 【請求項４】光信号を通す導波路と、該導波路を分断す
   るような溝と、該溝に挿着され、前記光信号の所望の光
   信号波長帯を透過する多層膜フィルタとを備えたＰＬＣ
   光モジュールにおける前記多層膜フィルタの前記溝への
   挿着するＰＬＣフィルタ搭載方法において、前記多層膜
   フィルタが供給されるフィルタ供給部１から多層膜フィ
   ルタを吸着把持し所定位置に位置決めするフィルタ吸着
   把持し、前記多層膜フィルタを吸着把持状態で多層膜フ
   ィルタの姿勢，位置を撮像検出し、その姿勢、位置を修
   正し、前記ＰＬＣ素子の溝に前記多層膜フィルタを吸着
   把持挿入する吸着把持挿入し、該吸着把持挿入した状態
   を撮像検出し、前記フィルタ供給部より取出した前記多
   層膜フィルタの回転方向の姿勢を修正し、しかる後に前
   記吸着把持挿入手段への受渡し吸着把持が可能で，且
   つ，吸着把持した多層膜フィルタをＸＹＺ，Ｘθ方向に
   移動し、前記ＰＬＣ素子の位置決め固定ができＰＬＣ素
   子の溝を基準にＸＹＺ，Ｙθ方向に移動し、前記多層膜
   フィルタを前記溝に挿入する位置で前記ＰＬＣ素子の溝
   と前記多層膜フィルタを横方向から共に撮像可能な光学
   系とカメラを配置し、前記多層膜フィルタを前記溝に自
   動的に装着してなるＰＬＣフィルタ搭載方法。
5. 【請求項５】請求項４において、前記多層膜フィルタの
   位置決めを取出し位置でその位置，姿勢の修正を行い，
   位置決め状態の多層膜フィルタを両面から微小な力で挟
   む反り矯正挿入把持チャックをもって、前記多層膜フィ
   ルタの溝への挿入時には前記把持チャックの端面が前記
   ＰＬＣ素子上面に接触後，前記把持チャック部分が微小
   な力で上方に移動でき，把持チャック上下機構の挿入位
   置下端検出で挿入位置を検出ができることを特徴とする
   ＰＬＣフィルタ搭載方法。