JP2002156309A - 光学システムの欠陥検査装置 - Google Patents
光学システムの欠陥検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ホログラムカラーフィルタの欠陥を迅速かつ
精度良く検査することができる光学システムの欠陥検査
装置を提供する。 【解決手段】 光学システムの欠陥検査装置は、スクリ
ーン４上に配置されホログラムカラーフィルタ１を経た
投影光を受光する受光装置５と、受光装置５に接続され
た画像処理装置８とを備えている。画像処理装置８は、
受光装置５からの信号に基づいてホログラムカラーフィ
ルタ１の欠陥をみつけ、ホログラムカラーフィルタ１の
合否を判定する。画像処理装置８による判定結果は、デ
ータ処理装置９内に保存される。
精度良く検査することができる光学システムの欠陥検査
装置を提供する。 【解決手段】 光学システムの欠陥検査装置は、スクリ
ーン４上に配置されホログラムカラーフィルタ１を経た
投影光を受光する受光装置５と、受光装置５に接続され
た画像処理装置８とを備えている。画像処理装置８は、
受光装置５からの信号に基づいてホログラムカラーフィ
ルタ１の欠陥をみつけ、ホログラムカラーフィルタ１の
合否を判定する。画像処理装置８による判定結果は、デ
ータ処理装置９内に保存される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はホログラムカラーフ
ィルタ等の被検査体に生じる欠陥を検査する光学システ
ムの欠陥検査装置に関する。
ィルタ等の被検査体に生じる欠陥を検査する光学システ
ムの欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より本件発明者は、ホログラムカラ
ーフィルタについて開発している。このホログラムカラ
ーフィルタは、斜めからの平行光線をホログラムで回折
し、液晶デバイスの特定のＲ、Ｇ、Ｂ各画素に所定の光
を導くことにより、高効率のプロジェクションシステム
を実現するものである。
ーフィルタについて開発している。このホログラムカラ
ーフィルタは、斜めからの平行光線をホログラムで回折
し、液晶デバイスの特定のＲ、Ｇ、Ｂ各画素に所定の光
を導くことにより、高効率のプロジェクションシステム
を実現するものである。
【０００３】ホログラムカラーフィルタは、作製時の問
題により様々な欠陥が発生する。例えば、通常の顔料や
染料で着色したタイプのカラーフィルタと異なり、ホロ
グラムカラーフィルタはフィルタに取込まれた異物に起
因する欠陥のほか、ホログラム形成時にできる干渉縞の
形成異常、ホログラムの局所的膜厚変化など、ホログラ
ムの光学的な特質に起因する欠陥が発生する。
題により様々な欠陥が発生する。例えば、通常の顔料や
染料で着色したタイプのカラーフィルタと異なり、ホロ
グラムカラーフィルタはフィルタに取込まれた異物に起
因する欠陥のほか、ホログラム形成時にできる干渉縞の
形成異常、ホログラムの局所的膜厚変化など、ホログラ
ムの光学的な特質に起因する欠陥が発生する。
【０００４】これらの欠陥は、大部分がホログラムに生
じる欠陥であるため、着色タイプのカラーフィルタの様
な通常の白色透過光検査やハロゲンランプを使った反射
光検査ではほとんど見つけることが出来ない。また、ス
クリーンを用いたプロジェクションシステムに使う場
合、スクリーン上に画像が拡大されると同時に欠陥も拡
大されるため、実際の欠陥レベルは直視型の場合に比べ
て、極めて微小なものまで問題となる。そのため、ホロ
グラムカラーフィルタの検査では、実際に組み込まれる
プロジェクションシステムと同等の拡大光学系を用い、
スクリーン上にホログラムカラーフィルタの像を投影表
示させ、その像を見ながら検査を行なう。
じる欠陥であるため、着色タイプのカラーフィルタの様
な通常の白色透過光検査やハロゲンランプを使った反射
光検査ではほとんど見つけることが出来ない。また、ス
クリーンを用いたプロジェクションシステムに使う場
合、スクリーン上に画像が拡大されると同時に欠陥も拡
大されるため、実際の欠陥レベルは直視型の場合に比べ
て、極めて微小なものまで問題となる。そのため、ホロ
グラムカラーフィルタの検査では、実際に組み込まれる
プロジェクションシステムと同等の拡大光学系を用い、
スクリーン上にホログラムカラーフィルタの像を投影表
示させ、その像を見ながら検査を行なう。
【０００５】図６に従来のホログラムカラーフィルタの
欠陥検査装置を示す。図６に示すように、ホログラムカ
ラーフィルタの欠陥検査装置では、所定の角度で光源２
から白色の平行光をホログラムカラーフィルタ１に照射
し、ホログラムカラーフィルタ１により得られた回折光
を投影レンズ３を用いてスクリーン４上に拡大投影す
る。次にそのスクリーン４上の画像を目視で確認しなが
ら、ホログラムカラーフィルタ１に関する異物欠陥やホ
ログラム干渉縞の異常による欠陥をチェックしている。
この場合、検査者は、スクリーン４上の像に存在する欠
陥について、その大きさ、色の変化、濃さを見て、検査
基準や限度見本を参考に、ホログラムカラーフィルタ
（被検体）１の合否を判断し検査票に記録している。
欠陥検査装置を示す。図６に示すように、ホログラムカ
ラーフィルタの欠陥検査装置では、所定の角度で光源２
から白色の平行光をホログラムカラーフィルタ１に照射
し、ホログラムカラーフィルタ１により得られた回折光
を投影レンズ３を用いてスクリーン４上に拡大投影す
る。次にそのスクリーン４上の画像を目視で確認しなが
ら、ホログラムカラーフィルタ１に関する異物欠陥やホ
ログラム干渉縞の異常による欠陥をチェックしている。
この場合、検査者は、スクリーン４上の像に存在する欠
陥について、その大きさ、色の変化、濃さを見て、検査
基準や限度見本を参考に、ホログラムカラーフィルタ
（被検体）１の合否を判断し検査票に記録している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ホログ
ラム干渉縞の異常による欠陥は、輪郭のはっきりしない
ものが多く、中央が暗く周辺にいくにしたがって明るく
なっていく欠陥、中央部に暗い点が存在しその左右に着
色が発生する欠陥、左右にそれぞれ円状の赤・青の着色
があり、周辺にいくにしたがって薄くなっていく欠陥な
ど数多くの形態がある。このため欠陥の種類・大きさの
判断は難しく、また限度見本を用いた場合でも判断基準
が必ずしもはっきりしているとはいえない。特に欠陥の
濃さは判断が難しく、限度見本サンプルをもう一台の同
一の投影セットを用いてスクリーン上に投影表示し、限
度見本サンプルによる画像と、被検体による画像とを直
接比較する等の方法を用いないと正確な判断ができな
い。このように装置をもう一台設置するのは、場所・経
費の問題から考えて現実的ではない。
ラム干渉縞の異常による欠陥は、輪郭のはっきりしない
ものが多く、中央が暗く周辺にいくにしたがって明るく
なっていく欠陥、中央部に暗い点が存在しその左右に着
色が発生する欠陥、左右にそれぞれ円状の赤・青の着色
があり、周辺にいくにしたがって薄くなっていく欠陥な
ど数多くの形態がある。このため欠陥の種類・大きさの
判断は難しく、また限度見本を用いた場合でも判断基準
が必ずしもはっきりしているとはいえない。特に欠陥の
濃さは判断が難しく、限度見本サンプルをもう一台の同
一の投影セットを用いてスクリーン上に投影表示し、限
度見本サンプルによる画像と、被検体による画像とを直
接比較する等の方法を用いないと正確な判断ができな
い。このように装置をもう一台設置するのは、場所・経
費の問題から考えて現実的ではない。
【０００７】また、このようにして検査した欠陥部につ
いて、被検体のどの位置にどのような欠陥があったかと
いう記録を手書きにより、あるいはパーソナルコンピュ
ータを用いて入力する必要があり、時間がかかる上、正
確な位置記録にはならない。また、欠陥形状や色の画像
を記録として残す場合は、銀塩写真やデジタルカメラ等
の投影手段を用いて画像をとり込む必要があり、作業が
煩雑な上、投影の像に影を作らないように撮影しなけれ
ばならない。このため画像の正面からの撮影ができずそ
のため、画像を斜め方向からとり込むことになる。従っ
て、欠陥画像が歪みをもってしまったり、近接撮影であ
るため画像の全面にピントが得られないなど、記録とし
て大きな欠点を抱えてしまう。
いて、被検体のどの位置にどのような欠陥があったかと
いう記録を手書きにより、あるいはパーソナルコンピュ
ータを用いて入力する必要があり、時間がかかる上、正
確な位置記録にはならない。また、欠陥形状や色の画像
を記録として残す場合は、銀塩写真やデジタルカメラ等
の投影手段を用いて画像をとり込む必要があり、作業が
煩雑な上、投影の像に影を作らないように撮影しなけれ
ばならない。このため画像の正面からの撮影ができずそ
のため、画像を斜め方向からとり込むことになる。従っ
て、欠陥画像が歪みをもってしまったり、近接撮影であ
るため画像の全面にピントが得られないなど、記録とし
て大きな欠点を抱えてしまう。
【０００８】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、ホログラムカラーフィルタ等の検査体に生
じる欠陥を精度良く検査することができる光学システム
の欠陥検査装置を提供することを目的とする。
ものであり、ホログラムカラーフィルタ等の検査体に生
じる欠陥を精度良く検査することができる光学システム
の欠陥検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、光源から発光
し、被検体を経た光がスクリーン上に投影される光学シ
ステムの欠陥検査装置において、スクリーン上に配置さ
れ、投影光を受光する受光装置と、受光装置からの信号
に基づいて被検体の欠陥をみつけて合否判定を行なう画
像処理装置と、を備えたことを特徴とする光学システム
の欠陥検査装置である。
し、被検体を経た光がスクリーン上に投影される光学シ
ステムの欠陥検査装置において、スクリーン上に配置さ
れ、投影光を受光する受光装置と、受光装置からの信号
に基づいて被検体の欠陥をみつけて合否判定を行なう画
像処理装置と、を備えたことを特徴とする光学システム
の欠陥検査装置である。
【００１０】本発明によれば、被検査体を経た光がスク
リーン上に投影される。スクリーン上に受光装置を配置
することにより、スクリーン上の画像が受光装置に取込
まれる。画像処理装置は、スクリーン上の画像に基づい
て、被検査体に生じる欠陥をみつけて被検査体の合否判
定を行なう。
リーン上に投影される。スクリーン上に受光装置を配置
することにより、スクリーン上の画像が受光装置に取込
まれる。画像処理装置は、スクリーン上の画像に基づい
て、被検査体に生じる欠陥をみつけて被検査体の合否判
定を行なう。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１は、本発明による光学
システムの欠陥検査装置の一実施の形態を示す図であ
る。
施の形態について説明する。図１は、本発明による光学
システムの欠陥検査装置の一実施の形態を示す図であ
る。
【００１２】図１において、光学システムは被検体とな
るホログラムカラーフィルタ１と、このホログラムカラ
ーフィルタ１に対して白色の平行光を照射する光源２
と、ホログラムカラーフィルタ１により得られた回折光
をスクリーン４に投影する投影レンズ３とを備えてい
る。
るホログラムカラーフィルタ１と、このホログラムカラ
ーフィルタ１に対して白色の平行光を照射する光源２
と、ホログラムカラーフィルタ１により得られた回折光
をスクリーン４に投影する投影レンズ３とを備えてい
る。
【００１３】ここでホログラムカラーフィルタ１は、光
を回折するホログラムを有している。また、同時に、
Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素を含む液晶デバイスとを有していて
もよい。
を回折するホログラムを有している。また、同時に、
Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素を含む液晶デバイスとを有していて
もよい。
【００１４】上述した光学システムにおいて、ホログラ
ムカラーフィルタ（被検体）１に生じる欠陥を検査する
本発明による欠陥検査装置は、スクリーン４上に配置さ
れ投影レンズ３からスクリーン４上に投影される投影光
を受光する受光装置５と、受光装置５からの信号に基づ
いてホログラムカラーフィルタ１に生じる欠陥をみつけ
てホログラムカラーフィルタ１の合否判定を行なう画像
処理装置８と、画像処理装置８からの判定結果を保存す
るデータ処理装置９とを備えている。
ムカラーフィルタ（被検体）１に生じる欠陥を検査する
本発明による欠陥検査装置は、スクリーン４上に配置さ
れ投影レンズ３からスクリーン４上に投影される投影光
を受光する受光装置５と、受光装置５からの信号に基づ
いてホログラムカラーフィルタ１に生じる欠陥をみつけ
てホログラムカラーフィルタ１の合否判定を行なう画像
処理装置８と、画像処理装置８からの判定結果を保存す
るデータ処理装置９とを備えている。
【００１５】次に図２により、受光装置５について説明
する。受光装置５は、２次元画像センサ６と、取込ボタ
ン７とを有し、スクリーン４上に投影される画像のう
ち、欠陥部の画像を取りこむ。２次元画像センサ６はＣ
ＣＤなどの薄型撮像素子を含んでおり、これにより投影
レンズ３の被写界深度内で投影画像をクリアーに歪み無
くとりこむことが出来る。検査者は、この２次元画像セ
ンサ６をスクリーン４上の投影画像の欠陥部に持って行
き、取込みボタン７を押して２次元画像センサ６への画
像の取込みを行なう。
する。受光装置５は、２次元画像センサ６と、取込ボタ
ン７とを有し、スクリーン４上に投影される画像のう
ち、欠陥部の画像を取りこむ。２次元画像センサ６はＣ
ＣＤなどの薄型撮像素子を含んでおり、これにより投影
レンズ３の被写界深度内で投影画像をクリアーに歪み無
くとりこむことが出来る。検査者は、この２次元画像セ
ンサ６をスクリーン４上の投影画像の欠陥部に持って行
き、取込みボタン７を押して２次元画像センサ６への画
像の取込みを行なう。
【００１６】２次元画像センサ６へ取込まれた画像は電
子データ（信号）として画像処理装置８へ送られる。画
像処理装置８では、画像の輝度分布を解析し、所定のス
ライスレベル以下の欠陥エリアの大きさや縦横のサイズ
を計算し、基準に合わせてホログラムカラーフィルタ１
に生じる欠陥をみつけて合否判断を行う。また、Ｒ、
Ｇ、Ｂの各々の画素の輝度分布を用い、予め決められた
欠陥形状基準とのパターンマッチングを行い、欠陥のモ
ードを決定する。これらのデータは、画像データ、検査
データとしてデータ処理装置９に保存される。
子データ（信号）として画像処理装置８へ送られる。画
像処理装置８では、画像の輝度分布を解析し、所定のス
ライスレベル以下の欠陥エリアの大きさや縦横のサイズ
を計算し、基準に合わせてホログラムカラーフィルタ１
に生じる欠陥をみつけて合否判断を行う。また、Ｒ、
Ｇ、Ｂの各々の画素の輝度分布を用い、予め決められた
欠陥形状基準とのパターンマッチングを行い、欠陥のモ
ードを決定する。これらのデータは、画像データ、検査
データとしてデータ処理装置９に保存される。
【００１７】また、図３に示すように、スクリーン４上
に配置された受光装置５の位置を検出するため、スクリ
ーン４の周縁に位置検出器１１が設けられている。位置
検出器１１により検出された受光装置５の位置情報は、
位置検出器コントローラ１０を介してデータ処理装置９
へ送られるようなっている。
に配置された受光装置５の位置を検出するため、スクリ
ーン４の周縁に位置検出器１１が設けられている。位置
検出器１１により検出された受光装置５の位置情報は、
位置検出器コントローラ１０を介してデータ処理装置９
へ送られるようなっている。
【００１８】このような位置検出器１１としては、磁気
センサや赤外線センサ、超音波センサ、抵抗型センサ等
が用いられる。また図１に示すように、各ホログラムカ
ラーフィルタ１にはバーコード１ａが付設され、このバ
ーコード１ａはバーコード読取器１３により読取られ
る。バーコード読取器１３で読取られた情報は、バーコ
ード読取器コントローラ１２を介してデータ処理装置９
へ送られる。
センサや赤外線センサ、超音波センサ、抵抗型センサ等
が用いられる。また図１に示すように、各ホログラムカ
ラーフィルタ１にはバーコード１ａが付設され、このバ
ーコード１ａはバーコード読取器１３により読取られ
る。バーコード読取器１３で読取られた情報は、バーコ
ード読取器コントローラ１２を介してデータ処理装置９
へ送られる。
【００１９】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００２０】図１に示すように、被検体としてのホログ
ラムカラーフィルタ１は光学システム内にセットされ、
光源２から、所定の角度で白色平行光線がホログラムカ
ラーフィルタ１へ入射される。ホログラムカラーフィル
タ１により回折された光は、投影レンズ３を通り、スク
リーン４の上に結像される。検査員はこのスクリーン４
上の投影像を目視で検査する。欠陥を認めた場合、検査
員はその欠陥部に受光装置５を持って行き、スクリーン
４に接触させながら、受光装置５の２次元画像センサ６
の中に投影像の欠陥部が取りこまれるように受光装置５
をセットして、取込みボタン７を押す。これによって欠
陥の像が、２次元画像センサ６から画像情報として取り
込まれ、画像処理装置８でデータ処理を行って欠陥の大
きさや種類が判定される。この結果はデータ処理装置９
に送られて、検査結果データととして保存される。
ラムカラーフィルタ１は光学システム内にセットされ、
光源２から、所定の角度で白色平行光線がホログラムカ
ラーフィルタ１へ入射される。ホログラムカラーフィル
タ１により回折された光は、投影レンズ３を通り、スク
リーン４の上に結像される。検査員はこのスクリーン４
上の投影像を目視で検査する。欠陥を認めた場合、検査
員はその欠陥部に受光装置５を持って行き、スクリーン
４に接触させながら、受光装置５の２次元画像センサ６
の中に投影像の欠陥部が取りこまれるように受光装置５
をセットして、取込みボタン７を押す。これによって欠
陥の像が、２次元画像センサ６から画像情報として取り
込まれ、画像処理装置８でデータ処理を行って欠陥の大
きさや種類が判定される。この結果はデータ処理装置９
に送られて、検査結果データととして保存される。
【００２１】たとえば、投影像の明るさが部分的に変化
している欠陥部の例を図４に示す。図４はＣＣＤなどの
薄型撮像素子から取りこまれた欠陥部発生箇所付近の明
るさ変化を高さ方向のデータとして表示している。図４
において、周辺の平坦な部分が正常部で、この部分の明
るさに対してある一定の検査基準の割合以上に明るくな
っている部分を濃い色で示し、この部分を欠陥部として
判断する。この時、この欠陥部の大きさは、図５に示す
ように、欠陥部の占めるエリアの一番長手の方向を取る
ように定義しておく。画像処理装置８はこの長さを計算
して、所定の欠陥基準に照らして、検査のＯＫ／ＮＧを
判断する。
している欠陥部の例を図４に示す。図４はＣＣＤなどの
薄型撮像素子から取りこまれた欠陥部発生箇所付近の明
るさ変化を高さ方向のデータとして表示している。図４
において、周辺の平坦な部分が正常部で、この部分の明
るさに対してある一定の検査基準の割合以上に明るくな
っている部分を濃い色で示し、この部分を欠陥部として
判断する。この時、この欠陥部の大きさは、図５に示す
ように、欠陥部の占めるエリアの一番長手の方向を取る
ように定義しておく。画像処理装置８はこの長さを計算
して、所定の欠陥基準に照らして、検査のＯＫ／ＮＧを
判断する。
【００２２】また取込ボタン７を押すと同時に、画像処
理装置８およびデータ処理装置９から位置検出器コント
ローラ１０にもトリガー信号が送られ、位置検出器１１
からの情報が位置検出器コントローラ１０へ取り込まれ
る。この場合、受光装置５のセット位置が位置情報とし
て更に位置検出器コントローラ１０からデータ処理装置
９に送られる。データ処理装置９では、画像処理装置８
からの判定結果と合わせて欠陥部の位置マッピングデー
タとしてホログラムカラーフィルタの欠陥位置が特定さ
れ、この欠陥位置がデータ処理装置９に保存される。
理装置８およびデータ処理装置９から位置検出器コント
ローラ１０にもトリガー信号が送られ、位置検出器１１
からの情報が位置検出器コントローラ１０へ取り込まれ
る。この場合、受光装置５のセット位置が位置情報とし
て更に位置検出器コントローラ１０からデータ処理装置
９に送られる。データ処理装置９では、画像処理装置８
からの判定結果と合わせて欠陥部の位置マッピングデー
タとしてホログラムカラーフィルタの欠陥位置が特定さ
れ、この欠陥位置がデータ処理装置９に保存される。
【００２３】また、ホログラムカラーフィルタ１には、
それぞれの製品に製品番号がバーコード１ａにより記録
されており、これをバーコード読取器１３で読み取り、
バーコード読取器コントローラ１２で検出する。すなわ
ち取込ボタン７からのトリガー信号がくると、バーコー
ド読取器１３によりホログラムカラーフィルタ１のバー
コード１ａの情報が読み取られる。バーコード読取器１
３からの読取情報は、バーコード読取器コントローラ１
２によって数値・記号情報に変換されたのち、データ処
理装置９に保存される。
それぞれの製品に製品番号がバーコード１ａにより記録
されており、これをバーコード読取器１３で読み取り、
バーコード読取器コントローラ１２で検出する。すなわ
ち取込ボタン７からのトリガー信号がくると、バーコー
ド読取器１３によりホログラムカラーフィルタ１のバー
コード１ａの情報が読み取られる。バーコード読取器１
３からの読取情報は、バーコード読取器コントローラ１
２によって数値・記号情報に変換されたのち、データ処
理装置９に保存される。
【００２４】このようにしてデータ処理装置９内におい
て、ホログラムカラーフィルタ１の欠陥位置が特定され
保存されるとともに、欠陥が生じたホログラムカラーフ
ィルタ１の番号が特定されて保存される。
て、ホログラムカラーフィルタ１の欠陥位置が特定され
保存されるとともに、欠陥が生じたホログラムカラーフ
ィルタ１の番号が特定されて保存される。
【００２５】以上のように本実施の形態によれば、ホロ
グラムカラーフィルタに生じる欠陥の形状およびその程
度を精度良く検査することができる。
グラムカラーフィルタに生じる欠陥の形状およびその程
度を精度良く検査することができる。
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、被検査体
に生じる欠陥を画像処理装置によりみつけることがで
き、かつ被処理体の合否判定を行なうことができる。こ
のため被処理体の欠陥を迅速かつ精度良く検査すること
ができる。
に生じる欠陥を画像処理装置によりみつけることがで
き、かつ被処理体の合否判定を行なうことができる。こ
のため被処理体の欠陥を迅速かつ精度良く検査すること
ができる。
【図１】本発明による光学システムの欠陥検査装置の一
実施の形態を示す概略図
実施の形態を示す概略図
【図２】受光装置を示す外観図
【図３】受光装置をスクリーン上に配置した状態を示す
図
図
【図４】画像処理装置における欠陥部輝度分布図
【図５】画像処理装置における欠陥部のサイズを示す図
【図６】従来の光学システムの欠陥検査装置を示す図
１ ホログラムカラーフィルタ ２ 光源 ３ 投影レンズ ４ スクリーン ５ 受光装置 ８ 画像処理装置 ９ データ処理装置 １０ 位置検出器コントローラ １１ 位置検出器 １２ バーコード読取器コントローラ １３ バーコード読取器
Claims (5)
- 【請求項１】光源から発光し、被検体を経た光がスクリ
ーン上に投影される光学システムの欠陥検査装置におい
て、 スクリーン上に配置され、投影光を受光する受光装置
と、 受光装置からの信号に基づいて被検体の欠陥をみつけて
被検体の合否判定を行なう画像処理装置と、を備えたこ
とを特徴とする光学システムの欠陥検査装置。 - 【請求項２】画像処理装置の判定結果を保存するデータ
処理装置を更に備えたことを特徴とする請求項１記載の
光学システムの欠陥検査装置。 - 【請求項３】受光装置は固体撮像素子を含むことを特徴
とする請求項１記載の光学システムの欠陥検査装置。 - 【請求項４】スクリーン上の受光装置の位置を検出する
位置検出器を更に備え、 位置検出器からの信号は位置検出器コントローラを介し
てデータ処理装置へ送られ、データ処理装置は画像処理
装置からの信号と位置検出器からの信号に基づいて被検
体の欠陥位置を特定することを特徴とする請求項２記載
の光学システムの欠陥検査装置。 - 【請求項５】被検体にはバーコードが付設されるととも
に、バーコードを読み取るバーコード読取器が設けら
れ、 バーコード読取器からの信号はバーコード読取器コント
ローラを介してデータ処理装置へ送られることを特徴と
する請求項２記載の光学システムの欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000353389A JP4659970B2 (ja) | 2000-11-20 | 2000-11-20 | 光学システムの欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000353389A JP4659970B2 (ja) | 2000-11-20 | 2000-11-20 | 光学システムの欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002156309A true JP2002156309A (ja) | 2002-05-31 |
| JP4659970B2 JP4659970B2 (ja) | 2011-03-30 |
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ID=18826164
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000353389A Expired - Fee Related JP4659970B2 (ja) | 2000-11-20 | 2000-11-20 | 光学システムの欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4659970B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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- 2000-11-20 JP JP2000353389A patent/JP4659970B2/ja not_active Expired - Fee Related
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