JPH0989719A - ホログラムカラーフィルター検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ホログラムカラーフィルターの分光特性が設
計通りに作製されているか否かを検査する方法と装置。 【解決手段】 集光性の要素ホログラム５′を周期的に
配置したアレーからなり、その各要素ホログラム５′
が、ホログラム記録面の法線に対して所定の角度をなし
て入射する照明光３０をホログラム記録面に略沿う方向
に波長分散させて分光するホログラムカラーフィルター
５の検査において、ホログラムカラーフィルター５によ
り波長分散された回折光の赤成分、緑成分、青成分の中
の少なくとも１つの波長域を取り出すための開口を有す
るマスク４１を各要素ホログラム５′の結像点に対応す
る結像面に配置し、マスク４１を透過した輝度分布及び
色度分布像からホログラムカラーフィルター５の分光特
性を検査する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ホログラムカラー
フィルター検査方法及び装置に関し、特に、ホログラム
カラーフィルターの分光特性が設計通りに作製されてい
るか否かを検査するホログラムカラーフィルター検査方
法及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】カラー液晶表示装置用のカラーフィルタ
ーとして、従来の波長吸収型のものと比較して、バック
ライトの各波長成分を無駄なく吸収なく各液晶セルへ入
射でき、バックライトの利用効率を大幅に向上させるも
のとして、本出願人は、特願平５−１２１７０号等にお
いて、ホログラムカラーフィルターを提案した。その構
成は、偏心したフレネルゾーンプレート状の微小ホログ
ラムアレーからなるものである。以下、簡単にこのホロ
グラムカラーフィルターについて説明する。

【０００３】図６の断面図を参照にしてこのホログラム
カラーフィルターを用いた液晶表示装置について説明す
る。同図において、規則的に液晶セル６′（画素）に区
切られた液晶表示素子６のバックライト３入射側にこの
ホログラムカラーフィルターを構成するホログラムアレ
ー５が離間して配置される。液晶表示素子６背面には、
各液晶セル６′の間に設けられたブラック・マトリック
ス４が配置される。以上の他、図示しない偏光板が液晶
表示素子６の両側に配置される。なお、ブラック・マト
リックス４の間には、従来のカラー液晶表示装置と同様
に、Ｒ、Ｇ、Ｂの分色画素に対応した色の光を通過する
吸収型のカラーフィルターを付加的に配置するようにし
てもよい。

【０００４】ホログラムアレー５は、Ｒ、Ｇ、Ｂの分色
画素の繰り返し周期、すなわち、液晶表示素子６の紙面
内の方向に隣接する３つの液晶セル６′の組各々に対応
して、その繰り返しピッチと同じピッチでアレー状に配
置された微小ホログラム５′からなり、微小ホログラム
５′は液晶表示素子６の紙面内の方向に隣接する３つの
液晶セル６′各組に整列して各々１個ずつ配置されてお
り、各微小ホログラム５′は、ホログラムアレー５の法
線に対して角度θをなして入射するバックライト３の中
の緑色の成分の光を、その微小ホログラム５′に対応す
る３つの分色画素Ｒ、Ｇ、Ｂの中心の液晶セルＧ上に集
光するようにフレネルゾーンプレート状に形成されてい
るものである。そして、微小ホログラム５′は、回折効
率の波長依存性がないかもしくは少ない、レリーフ型、
位相型、振幅型等の透過型ホログラムからなる。ここ
で、回折効率の波長依存性がないかもしくは少ないと
は、リップマンホログラムのように、特定の波長だけを
回折し、他の波長は回折しないタイプのものではなく、
１つの回折格子で何れの波長も回折するものを意味し、
この回折効率の波長依存性が少ない回折格子は、波長に
応じて異なる回折角で回折する。

【０００５】このような構成であるので、ホログラムア
レー５の液晶表示素子６と反対側の面からその法線に対
して角度θをなして入射する白色のバックライト３を入
射させると、波長に依存して微小ホログラム５′による
回折角は異なり、各波長に対する集光位置はホログラム
アレー５面に平行な方向に分散される。その中の、赤の
波長成分は赤を表示する液晶セルＲの位置に、緑の成分
は緑を表示する液晶セルＧの位置に、青の成分は青を表
示する液晶セルＢの位置にそれぞれ回折集光するよう
に、ホログラムアレー５を構成配置することにより、そ
れぞれの色成分はブラック・マトリックス４でほとんど
減衰されずに各液晶セル６′を通過し、対応する位置の
液晶セル６′の状態に応じた色表示を行うことができ
る。

【０００６】このように、ホログラムアレー５をカラー
フィルターとして用いることにより、従来のカラーフィ
ルター用バックライトの各波長成分を無駄なく吸収なく
各液晶セル６′へ入射させることができるため、その利
用効率を大幅に向上させることができる。

【０００７】このようなホログラムカラーフィルター５
は、計算機ホログラムレンズアレーを作製し、それを複
製することによって製作している。すなわち、微小ホロ
グラム５′のホログラム干渉縞を計算機によって計算
し、例えばクロムを成膜したガラス基板上に塗布した電
子線レジストへ電子ビームによってその干渉縞を描画
し、現像して、レリーフ型の計算機ホログラム（ＣＧ
Ｈ：Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ｇｅｎｅｒａｔｅｄ Ｈｏｌｏ
ｇｒａｍ）アレーのクロムパターンをまず作製する。次
に、このクロムパターンをマスクとしてガラス基板をイ
オンエッチングしてＣＧＨアレー原版を作製する。次い
で、このようにして作製したＣＧＨアレーのレリーフ面
上にホログラム感材を密着させるか若干ギャップをおい
て重ね合わせ、ＣＧＨアレー側から図６のバックライト
３に相当する角度θでレーザ光を入射させ、ＣＧＨアレ
ーの各ＣＧＨによって生じる収束回折光と直進透過光と
をホログラム感材中で干渉させて、ＣＧＨアレーを複製
する。この複製されたホログラムが図６のホログラムア
レー５として用いられる。さらに、この複製されたホロ
グラムを原版として再度複製したものをホログラムアレ
ー５として用いてもよい。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
ホログラムカラーフィルター５は、液晶表示装置に組み
込む前に、分光特性が設計通りに作製されているか否か
を検査する必要があるが、ホログラムカラーフィルター
５は集光性の要素ホログラムの回折による分光特性を利
用しているので、特定方向から入射する白色光源、Ｒ、
Ｇ、Ｂの光を分けて取り出すマスクが必要であり、従来
の吸収型のカラーフィルターのように、カラービューア
ーのような白色光源の前にかざすだけの方法では検査す
ることができない。

【０００９】本発明はこのような実情に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、ホログラムカラーフィルター
の分光特性が設計通りに作製されているか否かを検査す
る方法と装置を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のホログラムカラーフィルター検査方法は、集光性の
要素ホログラムを周期的に配置したアレーからなり、そ
の各要素ホログラムが、ホログラム記録面の法線に対し
て所定の角度をなして入射する照明光をホログラム記録
面に略沿う方向に波長分散させて分光するホログラムカ
ラーフィルターの検査方法において、前記ホログラムカ
ラーフィルターにより波長分散された回折光の赤成分、
緑成分、青成分の中の少なくとも１つの波長域を取り出
すための開口を有するマスクを各要素ホログラムの結像
点に対応するホログラム記録面に平行な結像面に配置
し、前記マスクを透過した輝度分布及び色度分布像から
前記ホログラムカラーフィルターの分光特性を検査する
ことを特徴とする方法である。

【００１１】この場合、マスクとしては、ホログラムカ
ラーフィルターにより波長分散された回折光の赤成分、
緑成分、青成分の中の１つの波長域のみを取り出すため
の開口を有するもの、３つの波長域を取り出すための開
口を有するものの何れも望ましい。また、ホログラムカ
ラーフィルターにより波長分散された回折光の赤成分、
緑成分、青成分の中の１つの波長域のみを取り出すため
の開口を有する領域と、３つの波長域を取り出すための
開口を有する領域とが並列されているものであってもよ
い。

【００１２】また、マスクを透過した輝度分布及び色度
分布像は、反射型拡散スクリーンに投影して得ても、透
過型拡散スクリーンを介して得てもよい。

【００１３】本発明のホログラムカラーフィルター検査
装置は、集光性の要素ホログラムを周期的に配置したア
レーからなり、その各要素ホログラムが、ホログラム記
録面の法線に対して所定の角度をなして入射する照明光
をホログラム記録面に略沿う方向に波長分散させて分光
するホログラムカラーフィルターの検査装置において、
前記ホログラムカラーフィルターに白色照明光を所定の
入射角で照射する照明手段と、前記ホログラムカラーフ
ィルターにより波長分散された回折光の赤成分、緑成
分、青成分の中の少なくとも１つの波長域を取り出すた
めの開口を有し、前記ホログラムカラーフィルターの各
要素ホログラムの結像点に対応するホログラム記録面に
平行な結像面に配置されたマスクと、前記マスクを透過
した輝度分布及び色度分布像を撮像する撮像手段と、前
記撮像手段により得られた輝度分布及び色度分布像から
輝度及び色度の分布を算出する算出手段とを有すること
を特徴とするものである。

【００１４】この場合、算出手段において、得られた輝
度分布、色度分布の何れかの値を予め定めた基準値と比
較し、そのずれ量が予め決めた許容値より大きいか否か
を判定することが望ましい。

【００１５】また、ホログラムカラーフィルターに設け
られたアライメントマークとマスクに設けられた対向ア
ライメントマークとを同時に読み取るアライメントマー
ク読み取り手段を有することが望ましい。

【００１６】また、マスクを透過した輝度分布及び色度
分布像を反射型拡散スクリーン上に投影する投影手段を
有し、撮像手段によりその投影像を撮像することにより
輝度分布及び色度分布像を得るようにしても、マスクを
透過した輝度分布及び色度分布像を、マスクと一体に設
けられた透過型拡散スクリーンを介して撮像手段により
直接撮像することにより得るようにしてもよい。

【００１７】本発明においては、ホログラムカラーフィ
ルターにより波長分散された回折光の赤成分、緑成分、
青成分の中の少なくとも１つの波長域を取り出すための
開口を有するマスクを各要素ホログラムの結像点に対応
するホログラム記録面に平行な結像面に配置し、マスク
を透過した輝度分布及び色度分布像からホログラムカラ
ーフィルターの分光特性を検査するようにしたので、液
晶表示装置に組み込む前に、ホログラムカラーフィルタ
ーから実際に色を発色させて分光特性を検査することが
でき、簡単な構成で能率的にホログラムカラーフィルタ
ーが設計通りに作製されているか否かを検査することが
できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明のホログラムカラー
フィルター検査方法及び装置の原理と実施例を図面を参
照にしながら説明する。図１〜図３を参照にしながら、
本発明の原理を説明する。図１、図２において、ホログ
ラムカラーフィルター５は、図６に示すような回折効率
の波長依存性がないかもしくは少ない透過型で集光性の
微小ホログラム５′のアレーからなる検査対象であり、
その裏面からから図６のバックライト３に相当する入射
角θで白色照明光３０が入射される。そして、検査対象
のホログラムカラーフィルター５の前面には、微小ホロ
グラム５′の焦点距離だけ離間して開口マスク４１又は
４２が配置される。

【００１９】ここで、開口マスク４１、４２は、液晶表
示装置として構成する場合のブラック・マトリックス４
と同様に、液晶表示装置の画素Ｒ、Ｇ、Ｂと同じピッチ
で所定寸法の開口が規則的に開口されているマスクであ
り、開口マスク４１は全ての画素に対応して開口が設け
られ、開口マスク４２は画素２つおいて次の１つの画素
に対応して開口４２′が設けられているものである。

【００２０】したがって、図１に示すように、ホログラ
ムカラーフィルター５に位置合わせして開口マスク４１
を配置した場合、ホログラムカラーフィルター５が設計
通りに作製されていれば、開口マスク４１の開口が全て
開いているため、ホログラムカラーフィルター５の微小
ホログラム５′によりＲ、Ｇ、Ｂに分光された全ての色
成分が開口マスク４１を通過できる。したがって、投影
レンズ２１により開口マスク４１を反射スクリーン２２
上に投影すると、反射スクリーン２２上には３成分Ｒ、
Ｇ、Ｂが合わさって白色面として投影される。ホログラ
ムカラーフィルター５の何れかの領域にピッチの不均
一、回折効率の不均一等があると、その領域に対応する
位置は、白色として投影されずに色が着いたり、コント
ラストが表れるため、それらの存在が検出できる。

【００２１】また、図２に示すように、ホログラムカラ
ーフィルター５に位置合わせして開口マスク４２を配置
した場合であって、開口マスク４２の開口４２′を微小
ホログラム５′により分光されたＲ、Ｇ、Ｂ成分の中、
例えばＧ成分が入射する位置に配置した場合、ホログラ
ムカラーフィルター５が設計通りに作製されていれば、
ホログラムカラーフィルター５の微小ホログラム５′に
よりＲ、Ｇ、Ｂに分光された色成分中のＧ成分のみが開
口マスク４２を通過できる。したがって、投影レンズ２
１により開口マスク４２を反射スクリーン２２上に投影
すると、反射スクリーン２２上には均一な緑色面として
投影される。ホログラムカラーフィルター５の何れかの
領域に分光の設計値からのずれ、回折効率の不均一等が
あると、その領域に対応する位置の色は緑色からずれた
り同じ色でもコントラストが付くので、それらの存在が
検出できる。

【００２２】図２の場合、画素のピッチをｄとすると、
開口マスク４２を分光方向に沿って図２の位置からその
ピッチｄ分右あるいは左方向に移動させると、開口マス
ク４２の開口４２′は分光されたＲ成分、あるいはＢ成
分が入射する位置に来ることになり、反射スクリーン２
２上に赤色面あるいは青色面として投影されることにな
り、これらの場合は、ホログラムカラーフィルター５の
Ｒ成分、Ｂ成分の分光特性を検査することができる。す
なわち、開口マスク４２のように、画素２つおいて次の
１つの画素に対応して開口４２′が設けられている開口
マスク４２を用いる場合は、１つの開口マスク４２を用
い、それを画素ピッチｄだけ分光方向に移動調整するこ
とにより、分光された３つの色成分それぞれの分光特性
を選択して検査することができる。

【００２３】図３は、ホログラムカラーフィルター５の
白色特性、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色成分の分光特性を、１画面を
領域分けして同時に検査できるようにした開口マスク４
３の平面図であり、全体の開口マスク４３が領域（４
１）、（４２Ｒ）、（４２Ｇ）、（４２Ｂ）に分割さ
れ、領域（４１）は開口マスク４１と同様に全ての画素
に対応して開口が設けられており、領域（４２Ｒ）は開
口マスク４２と同様に画素２つおいて次の１つの画素に
対応して開口が設けられ、かつ、分光されたＲ成分が入
射する位置にのみ開口が設けられており、同様に、領域
（４１Ｇ）は分光されたＧ成分が入射する位置にのみ開
口が、領域（４１Ｂ）は分光されたＢ成分が入射する位
置にのみ開口がそれぞれ設けられている。

【００２４】したがって、この開口マスク４３を図１の
開口マスク４１の位置に配置することにより、反射スク
リーン２２上の領域（４１）に対応する位置を観測する
ことによりホログラムカラーフィルター５の白色特性を
検査することができ、領域（４２Ｒ）、（４２Ｇ）、
（４２Ｂ）に対応する位置を観測することによりそれぞ
れＲ、Ｇ、Ｂ各色成分の分光特性を検査することができ
る。

【００２５】以上のような原理を用いてホログラムカラ
ーフィルター５を検査するための１つの実施例の装置の
全体の構成を図４に示す。装置は、検査すべきホログラ
ムカラーフィルター５を載置するＸ−Ｙ−Ｚステージ２
３と、図６のバックライト３に相当する入射角θでホロ
グラムカラーフィルター５を照明する白色照明光３０を
発生させるための光源３１と、開口マスク４１（又は４
２、４３）を反射スクリーン２２上に投影する投影レン
ズ２１と、反射スクリーン２２表面を撮像するＣＣＤカ
メラ２４と、ホログラムカラーフィルター５の周辺に設
けられ、集光距離が微小ホログラム５′の焦点距離と等
しい集光性の位相フレネルゾーンプレート状のアライメ
ントマーク１４を単色光１７で照明するレーザー１８
と、アライメントマーク１４によって回折された単色光
１７の収束点と開口マスク４１（４２、４３）の周辺に
設けられた対向アライメントマーク１６との相対位置を
撮像して、ホログラムカラーフィルター５と開口マスク
４１（４２、４３）の位置合わせ状況を検出するＣＣＤ
カメラ１９と、ＣＣＤカメラ２４からの輝度分布及び色
度分布情報が入力され、予め定めた基準値と比較してそ
れらのズレ量が予め定めた許容量より大きいか否かを判
定するコンピュータ２５とから構成されている。

【００２６】このような構成であるので、ホログラムカ
ラーフィルター５を検査する際には、まず、検査すべき
ホログラムカラーフィルター５をＸ−Ｙ−Ｚステージ２
３上にセットし、ＣＣＤカメラ１９によって撮像された
像をコンピュータ２５画面に表示して、アライメントマ
ーク１４によって回折された単色光１７の収束点と開口
マスク４１（４２、４３）の周辺に設けられた対向アラ
イメントマーク１６との相対位置を正しく調節する。こ
の位置合わせは、特願平７−２２３０８１号で開示した
１つの方法であるが、その他公知の何れの方法も採用で
きる。

【００２７】そして、Ｘ−Ｙ−Ｚステージ２３上のホロ
グラムカラーフィルター５にバックライト３の入射角θ
（図６）に相当する入射角で光源３１からの白色照明光
３０を照射して、投影レンズ２１により開口マスク４１
（又は４２、４３）を透過した光を反射スクリーン２２
上に投影する。反射スクリーン２２表面で散乱された輝
度分布及び色度分布像はＣＣＤカメラ２４で撮像され、
これら情報はコンピュータ２５に入力され、そこで予め
定めた基準値と比較してそれらのズレ量が予め定めた許
容量より大きいか否かが判定される。

【００２８】なお、以上の例では、開口マスク４１、４
２又は４３を透過した光は投影レンズによって反射型の
散乱スクリーン２２上に投影して、その輝度分布及び色
度分布像をＣＣＤカメラ２４で撮像するものであった
が、開口マスク４１、４２、４３と一体にスリガラスの
ような透過散乱型スクリーンをに設け、その透過散乱分
布像を直接ＣＣＤカメラ２４で撮像するようにしてもよ
い。すなわち、図５に示すように、図１〜図３に示した
ような開口マスク４１、４２、４３の出射側に透過散乱
型スクリーン３２を一体に積層するか、あるいは、開口
マスク４１、４２、４３を作製する際に、フォトリソグ
ラフィー等を用いて開口パターンに従ってクロム膜、低
反射クロム膜、樹脂ブラック等を選択的に残して開口パ
ターンを形成するのに用いる基板を透明板に代えて散乱
性のガラス３２を用いるようにする。このような構成の
開口マスク４１、４２、４３を用いると、その背面から
ホログラムカラーフィルター５の特性を表す輝度分布及
び色度分布像をＣＣＤカメラ２４で直接撮像することが
できる。

【００２９】以上、本発明のホログラムカラーフィルタ
ー検査方法及び装置の原理と実施例について説明してき
たが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が
可能である。

【００３０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のホログラムカラーフィルター検査方法及び装置による
と、ホログラムカラーフィルターにより波長分散された
回折光の赤成分、緑成分、青成分の中の少なくとも１つ
の波長域を取り出すための開口を有するマスクを各要素
ホログラムの結像点に対応するホログラム記録面に平行
な結像面に配置し、マスクを透過した輝度分布及び色度
分布像からホログラムカラーフィルターの分光特性を検
査するようにしたので、液晶表示装置に組み込む前に、
ホログラムカラーフィルターから実際に色を発色させて
分光特性を検査することができ、簡単な構成で能率的に
ホログラムカラーフィルターが設計通りに作製されてい
るか否かを検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のホログラムカラーフィルター検査原理
を説明するための図である。

【図２】本発明のホログラムカラーフィルター検査原理
を説明するためのもう１つの図である。

【図３】本発明の検査に用いる開口マスクの変形例を示
す平面図である。

【図４】本発明の１実施例のホログラムカラーフィルタ
ー検査装置の全体の構成を示す図である。

【図５】別の実施例のホログラムカラーフィルター検査
装置の全体の構成を示す図である。

【図６】ホログラムカラーフィルターを用いた液晶表示
装置の断面図である。

【符号の説明】

３…バックライト ４…ブラック・マトリックス ５…ホログラムアレー（ホログラムカラーフィルター） ５′…微小ホログラム ６…液晶表示素子 ６′…液晶セル １４…アライメントマーク １６…対向アライメントマーク １７…単色光 １８…レーザー １９…ＣＣＤカメラ ２１…投影レンズ ２２…反射スクリーン ２３…Ｘ−Ｙ−Ｚステージ ２４…ＣＣＤカメラ ２５…コンピュータ ３０…白色照明光 ３１…光源 ３２…透過散乱型スクリーン ４１、４２、４３…開口マスク ４２′…開口

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 集光性の要素ホログラムを周期的に配置
   したアレーからなり、その各要素ホログラムが、ホログ
   ラム記録面の法線に対して所定の角度をなして入射する
   照明光をホログラム記録面に略沿う方向に波長分散させ
   て分光するホログラムカラーフィルターの検査方法にお
   いて、 前記ホログラムカラーフィルターにより波長分散された
   回折光の赤成分、緑成分、青成分の中の少なくとも１つ
   の波長域を取り出すための開口を有するマスクを各要素
   ホログラムの結像点に対応するホログラム記録面に平行
   な結像面に配置し、 前記マスクを透過した輝度分布及び色度分布像から前記
   ホログラムカラーフィルターの分光特性を検査すること
   を特徴とするホログラムカラーフィルター検査方法。
2. 【請求項２】 前記マスクが前記ホログラムカラーフィ
   ルターにより波長分散された回折光の赤成分、緑成分、
   青成分の中の１つの波長域のみを取り出すための開口を
   有することを特徴とする請求項１記載のホログラムカラ
   ーフィルター検査方法。
3. 【請求項３】 前記マスクが前記ホログラムカラーフィ
   ルターにより波長分散された回折光の赤成分、緑成分、
   青成分の中の３つの波長域を取り出すための開口を有す
   ることを特徴とする請求項１記載のホログラムカラーフ
   ィルター検査方法。
4. 【請求項４】 前記マスクに、前記ホログラムカラーフ
   ィルターにより波長分散された回折光の赤成分、緑成
   分、青成分の中の１つの波長域のみを取り出すための開
   口を有する領域と、３つの波長域を取り出すための開口
   を有する領域とが並列されていることを特徴とする請求
   項１記載のホログラムカラーフィルター検査方法。
5. 【請求項５】 前記マスクを透過した輝度分布及び色度
   分布像を反射型拡散スクリーンに投影して得ることを特
   徴とする請求項１記載のホログラムカラーフィルター検
   査方法。
6. 【請求項６】 前記マスクを透過した輝度分布及び色度
   分布像を透過型拡散スクリーンを介して得ることを特徴
   とする請求項１記載のホログラムカラーフィルター検査
   方法。
7. 【請求項７】 集光性の要素ホログラムを周期的に配置
   したアレーからなり、その各要素ホログラムが、ホログ
   ラム記録面の法線に対して所定の角度をなして入射する
   照明光をホログラム記録面に略沿う方向に波長分散させ
   て分光するホログラムカラーフィルターの検査装置にお
   いて、 前記ホログラムカラーフィルターに白色照明光を所定の
   入射角で照射する照明手段と、 前記ホログラムカラーフィルターにより波長分散された
   回折光の赤成分、緑成分、青成分の中の少なくとも１つ
   の波長域を取り出すための開口を有し、前記ホログラム
   カラーフィルターの各要素ホログラムの結像点に対応す
   るホログラム記録面に平行な結像面に配置されたマスク
   と、 前記マスクを透過した輝度分布及び色度分布像を撮像す
   る撮像手段と、 前記撮像手段により得られた輝度分布及び色度分布像か
   ら輝度及び色度の分布を算出する算出手段とを有するこ
   とを特徴とするホログラムカラーフィルター検査装置。
8. 【請求項８】 前記算出手段において、得られた輝度分
   布、色度分布の何れかの値を予め定めた基準値と比較
   し、そのずれ量が予め決めた許容値より大きいか否かを
   判定することを特徴とする請求項７記載のホログラムカ
   ラーフィルター検査装置。
9. 【請求項９】 前記ホログラムカラーフィルターに設け
   られたアライメントマークと前記マスクに設けられた対
   向アライメントマークとを同時に読み取るアライメント
   マーク読み取り手段を有することを特徴とする請求項７
   記載のホログラムカラーフィルター検査装置。
10. 【請求項１０】 前記マスクを透過した輝度分布及び色
    度分布像を反射型拡散スクリーン上に投影する投影手段
    を有し、前記撮像手段によりその投影像を撮像すること
    により輝度分布及び色度分布像を得ることを特徴とする
    請求項７記載のホログラムカラーフィルター検査装置。
11. 【請求項１１】 前記マスクを透過した輝度分布及び色
    度分布像を、前記マスクと一体に設けられた透過型拡散
    スクリーンを介して前記撮像手段により直接撮像するこ
    とにより得ることを特徴とする請求項７記載のホログラ
    ムカラーフィルター検査装置。