JP2002138527A

JP2002138527A - 給液装置

Info

Publication number: JP2002138527A
Application number: JP2000338828A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Miyake; 良男三宅; Teruo Yamaguchi; 輝雄山口; Yukimasa Nakamu; 幸正中務
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2000-11-07
Filing date: 2000-11-07
Publication date: 2002-05-14

Abstract

(57)【要約】【課題】徹底的に静音化を図った給液装置を提供する
ことを第一の技術的課題とし、該給液装置のコンパクト
化を達成することを第二の技術的課題とする。【解決手段】取扱液を収容又は内包する容器１０と、
容器１０内に設けられ容器１０と振動絶縁処置された液
中モータポンプ１と、液中モータポンプ１の吐出側配管
系に設けられるパイプサイレンサ４とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は給液装置に係り、特
に集合住宅等の給水用に使用され、騒音と振動を最小限
に抑えた給液装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】水道本管から供給される上水を水槽に溜
め、この上水をポンプで加圧し、高置水槽（高所に設置
されている水槽）や個別の水道蛇口に供給するように構
成した、集合住宅等に使用される給液装置（給水装置）
が多数知られている。そして一部の給水装置では、水槽
内に水中モータポンプを設けることで、省スペース化、
低騒音化及び低振動化を図っている。しかしながら、水
中モータポンプを使用した従来の給水装置は、前記３つ
の要素、即ち、省スペース化、低騒音化及び低振動化に
対し、最適の構造を提供するものではなかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は前記の問題点
に鑑み、徹底的に静音化を図った給液装置を提供するこ
とを第一の技術的課題とし、該給液装置のコンパクト化
を達成することを第二の技術的課題とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
め、本発明の給液装置は、取扱液を収容又は内包する容
器と、容器内に設けられ容器と振動絶縁処置された液中
モータポンプと、液中モータポンプの吐出側配管系に設
けられるパイプサイレンサとを備えたことを特徴とする
ものである。取扱液を収容又は内包する容器内に液中モ
ータポンプが設置されているため、モータポンプ周囲の
取扱液は、モータポンプ本体の表面振動が空気中へ直接
伝播されることを防止する。また、モータポンプと容器
との間に施される振動絶縁処置が振動の固体伝播を抑
え、パイプサイレンサが配管系に伝わる流体音を抑制す
る。この結果、本発明の給液装置は極めて静音となる。
また、本発明の１態様においては、液中モータポンプを
始動する際の機械的衝撃及び圧力変動を抑制するため、
例えばインバータ（周波数変換器）を活用して、モータ
ポンプにソフトスタート機能を設けている。また液中モ
ータポンプを停止する際にも、モータポンプにソフトス
トップ機能を設け、モータポンプの停止時の機械的衝撃
及び圧力変動を抑制している。ここで、ソフトスタート
機能又はソフトストップ機能とは、モータポンプを徐々
に増速してゆっくり始動させる機能又は徐々に減速して
ゆっくり停止させる機能を云う。

【０００５】また、本発明の１態様においては、液中モ
ータポンプの最高回転速度を、モータに２極交流モータ
を使用して６０Ｈｚの周波数で運転した場合の同期回転
速度を超える値である毎分３６００回転超としたことを
特徴とするものである。このように、モータポンプを高
速設計化することで機器の小型化を図っており、モータ
ポンプが設置される容器（水槽）内の有効容積率を高め
ている。そして、モータポンプの高速設計化（高速小型
化）を行うと、騒音問題と深く関連する卓越周波数（高
調波周波数）を高める効果が得られる。例えば、２極誘
導モータを５０Ｈｚで運転した場合、卓越周波数は５０
Ｈｚに羽根車翼枚数を乗じた値となる（例えば５０Ｈｚ
で７枚翼の場合は３５０Ｈｚ）。これを２００Ｈｚで設
計すると、卓越周波数は１４００Ｈｚとなる。一般に、
騒音を遮蔽や吸音によって静音化させるには、元々の音
の周波数が高周波数域にある方が有利とされている。本
発明は、卓越周波数を高めることで、周囲の取扱液やパ
イプサイレンサによる静音効果をより効果的なものとし
ている。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る給液装置の実
施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の第
１の実施の形態を示す概略図である。図１に示すよう
に、水槽１０内の底面１０ａに水中モータポンプ１が据
付けられる。水中モータポンプ１の振動が水槽１０に伝
播しないように、水槽１０の底面１０ａと水中モータポ
ンプ１の間には、ゴム製の防振パッド２が設けられてい
る。この場合、ゴム製の防振パッド２に替えて、ステン
レス鋼板等を材料とした防振装置を設けても良い。水中
モータポンプ１の吸込口１ｓにはストレーナ１９が設け
られている。水中モータポンプ１の吐出口１ｄには、配
管１１及び水槽１０への振動伝播を抑えるために、フレ
キシブルジョイント（フレキ）３が設けられている。ま
た、水中モータポンプ１の吐出口１ｄには、ポンプの圧
力脈動が配管系に伝わらないように、パイプサイレンサ
４が設けられている。そして、フレキシブルジョイント
３の下流側には逆止弁５が設置されている。即ち、水中
モータポンプ１から吐出された水槽１０内の水はパイプ
サイレンサ４、フレキシブルジョイント３および逆止弁
５を経て配管１１に送られるようになっている。ポンプ
本体表面の振動は、ポンプ周囲の水によって吸収される
ため、水槽本体への伝播が防止される。

【０００７】また逆止弁５を内蔵した配管には、小配管
１２が接続されており、この小配管１２には圧力タンク
１３と圧力センサ１４とが設置されている。圧力センサ
１４は信号ケーブル１５によって制御盤６内の制御回路
に接続されている。また水槽１０内には、フロート１６
を備えたバルブ１７が設置されており、バルブ１７の入
口配管１８に水道水が供給されるようになっている。水
槽１０内はフロート付バルブ１７によって所定水位に維
持される。

【０００８】水槽内の容積を有効に活用するため、水中
モータポンプは最高回転速度を毎分４０００〜１２００
０回転の領域となるように設計して、小型化を図ってい
る。高速設計は、騒音・振動問題と深く関連する卓越周
波数を高める効果が得られる。例えば、２極誘導モータ
を５０Ｈｚで運転した場合、回転速度は毎分３０００回
転、卓越周波数は５０Ｈｚに羽根車翼枚数を乗じた値と
なる（例えば５０Ｈｚで７枚翼の場合は３５０Ｈｚ）。
これを２００Ｈｚで設計すると、回転速度は毎分１２０
００回転、卓越周波数は１４００Ｈｚとなる。一般に、
騒音を遮蔽や吸音によって静音化させるには、元々の音
の周波数が高周波数域にある方が有利とされている。

【０００９】本発明は、卓越周波数を高めることで、周
囲の取扱液やパイプサイレンサによる静音効果を高めて
いる。モータポンプを高速運転させるためには、インバ
ータに代表される周波数変換器が使用される。図１に示
すように、インバータを内蔵した制御盤６は、水槽１０
の外面に固定されている。そして、インバータと水中モ
ータポンプ１とは水中ケーブル８によって接続されてい
る。なお符号１１０は水中ケーブル８を保持する水中ケ
ーブルホルダである。このインバータを活用して、始動
時に所定の回転速度まで増速する時間を例えば３秒に設
定する。このようにモータポンプをゆっくりと始動させ
ることで、機械的衝撃及び圧力変動を抑制できる。この
結果、配管系や配管に設けられた機器（バルブ等）の寿
命を延ばす効果を期待でき、同時に、配管系で生じる騒
音（バルブの機械的遊び等から発生）の発生も防止でき
る。

【００１０】また、停止時に際しても、ポンプが瞬間的
に停止すると、逆止弁が「パチン」という音を発生した
り、ウォータハンマによって配管系が音を発生したりす
る場合があるので、３−１０秒程度の時間を掛けてゆっ
くりとポンプを停止させる。インバータの平滑コンデン
サに充電された電力エネルギーをポンプ停止時に解放す
ることによって、これを行うようにすれば、インバータ
ヘ特別の停止用制御信号を供給する必要がないため、好
ましいシステム構成が可能である。

【００１１】モータポンプの吐出側配管系には、圧力タ
ンク１３や圧力センサ１４及び小水量運転が継続した場
合にポンプを停止させるために必要な小水量検知手段
（例えばフロースイッチ）等が適宜設けられる。そし
て、圧力センサ１４やフロースイッチ（図示せず）の信
号をもとに、且つ、インバータの可変速機能を活用し
て、所謂、ポンプ吐出圧一定制御や推定末端圧一定制御
を行うものであるが、その制御の詳細についての説明は
省略する。水槽１０の外面には、前述したように、イン
バータや、前記制御信号をもとにシステムを制御するた
めの制御盤６が設けられている。

【００１２】図２は、図１に示す水中モータポンプ１の
縦断面図である。本実施形態に係る全周流型水中モータ
ポンプ１は、内部にモータ固定子を収容する第１の筒状
部１０１と、第１の筒状部１０１の外側に設けられ第１
の筒状部１０１との間に取扱流体が流れる空間１５０を
形成する第２の筒状部１０２と、第２の筒状部１０２の
外周部に設けられた水中ケーブルホルダ取付用の平面座
１０３とを、非オーステナイト系のステンレス鋳鋼材に
て一体に成形したモータフレーム１０４を備えている。
このモータフレーム１０４は、例えば、ロストワックス
鋳造法により成形されている。

【００１３】第１の筒状部１０１の内部にはモータ固定
子１０７が焼き嵌めされ、第１の筒状部１０１の軸方向
開放端には、同じく非オーステナイト系のステンレス鋳
鋼材から形成されるモータフレーム側板１０５が密封溶
接されている。モータ固定子１０７の内周部には、オー
ステナイト系のステンレス薄板（ＳＵＳ３１６）製の固
定子キャン１０６が嵌着され、固定子キャン１０６はモ
ータフレーム１０４及びモータフレーム側板１０５と密
封溶接されている。ここで、固定子キャン１０６にオー
ステナイト系のステンレスを使用する理由は、極薄肉成
形が容易である点、及び、固定子キャン１０６が非磁性
材である方がモータ特性に有利である点に配慮したため
である。

【００１４】モータフレーム１０４の第２の筒状部１０
２の外周部には、平坦な上面を有する平面座１０３が設
けられ、この平面座１０３に、水中ケーブル８を保持す
るための水中ケーブルホルダ１１０が取付けられてい
る。水中ケーブル８から供給される電力は、平面座１０
３に設けたリード線穴１０３ａからリード線１１１を介
してモータ固定子１０７に供給される。なお、リード線
穴１０３ａの周囲にはＯリング１１２を設け、水中ケー
ブルホルダ１１０の内部およびモータフレーム１０４の
内部と、外部との液密を確保している。

【００１５】モータ固定子１０７の内側には、モータ回
転子１１３が回転可能に収容されている。モータ回転子
１１３は主軸１１４に焼き嵌め固定され、回転子キャン
１１５と回転子側板１１６，１１６及び主軸１１４を密
封溶接することにより、モータ回転子１１３を取扱流体
による腐食から保護している。なお、回転子キャン１１
５と回転子側板１１６，１１６の材料として、オーステ
ナイト系のステンレスを使用する。これは、固定子キャ
ン１０６と同様、極薄肉成形が容易である点、及び非磁
性材の方がモータ特性に有利である点に配慮しているか
らである。

【００１６】一方、主軸１１４の材料は非オーステナイ
ト系のステンレスであり、好ましくは、クロム（Ｃｒ）
を１５〜１７％、モリブデン（Ｍｏ）を０．５〜２％、
ニッケル（Ｎｉ）を４〜６％含み、炭素（Ｃ）を０．０
５％以下に抑えたマルテンサイト系のステンレス材料を
用いる。マルテンサイト系のステンレス材料は、オース
テナイト系のステンレス鋼に比べ強度的に優れ、耐食性
は同等である。また、炭素（Ｃ）を極少量としているた
め、キャンなどとの溶接性も良好である。また、クロム
（Ｃｒ）を２０〜３０％、モリブデン（Ｍｏ）を０．５
〜４％含んだフェライト系のステンレス材料を用いても
よい。更に、主軸１１４だけでなく、モータフレーム１
０４等に上記マルテンサイト系のステンレス材料あるい
はフェライト系のステンレス材料を用いることもでき
る。

【００１７】主軸１１４は両端部においてモータフレー
ム１０４に設置された軸受（後述する）によって支承さ
れ、主軸１１４の一端には羽根車１１８が固定されてい
る。羽根車１１８は非オーステナイト系のステンレス鋳
鋼による鋳造成形品又は薄肉オーステナイト系のステン
レス鋼によるプレス成形・溶接品などが適宜選択される
が、図２では両者を上下半分ずつ記載した。

【００１８】次に、羽根車１１８と反対側に設けられた
反スラスト荷重側の軸受周辺部について説明する。軸受
ブラケット１２０には、ラジアル軸受１２１と固定側ス
ラスト軸受１２２が設けられている。ラジアル軸受１２
１の端面は、まれに発生する逆方向スラスト荷重を支え
る固定側スラスト軸受としての機能も付与されている。
ラジアル軸受１２１と固定側スラスト軸受１２２を挟ん
で両側には、正方向のスラスト荷重を支える回転側正方
向スラスト軸受１２３と、逆方向のスラスト荷重を支え
る回転側逆方向スラスト軸受１２４が設けられている。
二つのスラスト軸受１２３，１２４は各々スラストディ
スク１２５，１２６に焼き嵌め固定されており、二つの
スラストディスク１２５，１２６は、ラジアル軸受と摺
動部を構成するスリーブ１２７を間に挟んで、主軸１１
４の端部に設けられたダブルナット１２８によって固定
されている。

【００１９】上記軸受ブラケット１２０はモータフレー
ム側板１０５に設けられたいんろう１０５ａに弾性材か
らなるＯリング１２９を介して挿入されている。また、
軸受ブラケット１２０は弾性材からなるガスケット１３
０を介してモータフレーム側板１０５に当接している。
なお、スラスト軸受１２２，１２３，１２４、ラジアル
軸受１２１及びスリーブ１２７の材料は、セラミック材
料の一種であるシリコンカーバイド（ＳｉＣ）であり、
軸受ブラケット１２０及びスラストディスク１２５，１
２６の材料はステンレス鋼（オーステナイト系のステン
レス又は非オーステナイト系のステンレスを適宜選択す
る）である。

【００２０】次に羽根車側に設けられたスラスト荷重側
の軸受周辺部について説明する。軸受ブラケット１３１
にはラジアル軸受１３２が設けられており、モータフレ
ーム１０４のいんろう１０４ａに弾性材からなるＯリン
グ１３３を介して挿入されている。ラジアル軸受１３２
と摺動部を構成するスリーブ１３４は座金１３５及び羽
根車１１８を介して主軸１１４の端部に設けられたナッ
ト１３６によって固定されている。

【００２１】モータフレーム１０４の第２の筒状部１０
２の軸方向両端部には、取付部品との同軸度を確保する
ためのいんろう１０２ａ，１０２ａ及びボルト締結用の
ボルト座１０２ｂ，１０２ｂが設けてあり、Ｏリング１
３８を介してステンレス鋳鋼製のノズルケーシング１４
０，１４１が固定されている。このノズルケーシング１
４０，１４１の材料であるステンレス鋳鋼としては、オ
ーステナイト系のステンレス又は非オーステナイト系の
ステンレスを適宜選択する。但し、非オーステナイト系
のステンレス鋳鋼の方が応力腐食割れが発生しにくいの
で、ポンプ一般用途には好適である。吸込側ノズルケー
シング１４０及び吐出側ノズルケーシング１４１は、同
一部品とし、部品共用化によって生産性向上を図ってい
る。吸込側ノズルケーシング１４０には羽根車１１８と
摺動部を構成するライナリング１４２が固定されてい
る。

【００２２】また吸込側ノズルケーシング１４０のフラ
ンジ１４０ｆにはストレーナ１９が固定されている。吐
出側ノズルケーシング１４１のフランジ１４１ｆにはパ
イプサイレンサ４が固定されている。吸込側ノズルケー
シング１４０には羽根車１１８から吐出された流体を案
内する案内装置１４３が設置されている。

【００２３】第１の筒状部１０１と第２の筒状部１０２
をつなぐ軸方向のリブ１１７の長さは、少なくともモー
タフレーム１０４の全長の半分以上の長さを確保してい
る。ストレーナ１９を介して吸込側ノズルケーシング１
４０に吸込まれた取扱流体は、羽根車１１８と案内装置
１４３を通過しモータフレーム１０４の流路１５０に導
かれるが、案内装置１４３から出た取扱流体にはわずか
に円周方向の流れ成分が含まれており、ポンプの効率低
下や騒音発生につながる可能性がある。ここではモータ
フレーム１０４の第１の筒状部１０１と第２の筒状部１
０２をつなぐリブ１１７の全長を延ばすことで、この問
題を同時に解決している。モータフレーム１０４の流路
１５０に導かれた取扱流体は、モータ固定子１０７の外
周部を効果的に冷却する。また一部の取扱流体は軸受１
２１，１２２，１２３，１２４，１３２及びスリーブ１
２７，１３４の潤滑及び冷却を行い、同時にモータ固定
子１０７の内周部とモータ回転子１１３を冷却する。

【００２４】図１および図２に示す実施形態によれば、
取扱液を収容する容器を構成する水槽１０内に水中モー
タポンプ１が設置されているため、モータポンプ周囲の
取扱液は、モータポンプ本体の表面振動が空気中へ直接
伝播されることを防止する。また、モータポンプ１と水
槽１０との間に施される防振パッド２等の振動絶縁処置
が振動の固体伝播を抑え、パイプサイレンサ４が配管系
に伝わる流体音を抑制する。この結果、本実施形態の給
液装置は極めて静音となる。

【００２５】図１および図２に示す実施形態において
は、逆止弁５を水槽１０の外部に設置したが、逆止弁５
を水槽１０内に設置してもよい。これにより、バルブ音
を低減し、給液装置全体として、更に静音化を図ること
ができる。この場合、図１において、圧力タンク１３お
よび圧力センサ１４は逆止弁５の箇処に設置されていた
が、逆止弁５を水槽１０内に設置したため、圧力タンク
１３および圧力センサ１４は配管１１の箇処に設置す
る。

【００２６】図３は本発明の第２の実施形態を示す断面
図である。図３に示すように、吸込ケーシング２１と吐
出ケーシング２２を前後に備えたバレル２３内に水中モ
ータポンプ１が設けられている。吸込ケーシング２１、
吐出ケーシング２２およびバレル２３は、水中モータポ
ンプ１を内包する容器を構成している。そして、該容器
と容器内に設置された水中モータポンプ１はポンプユニ
ットを構成している。吸込ケーシング２１および吐出ケ
ーシング２２は、配管等と接続するためのフランジ２１
ｆ，２２ｆを備えている。水中モータポンプ１の構成
は、図２に示す水中モータポンプと同様である。水中モ
ータポンプ１の振動がバレル２３に伝播しないように、
バレル２３と水中モータポンプ１の間には、ゴム等の弾
性材からなる防振体３０が設けられる。該防振体３０
は、バレル２３と水中モータポンプ１との隙間から、圧
力水が漏れる（ポンプの吐出口側から吸込口側ヘ）こと
を防止する。水中モータポンプ１の動力ケーブルである
水中ケーブル８は、吐出ケーシング２２の側壁に設けら
れた水密処理部２２ａを通過してポンプユニットの外へ
取出される。

【００２７】水中モータポンプ全体には、吐出圧力と吸
込圧力の差にモータポンプの平面積を乗じた力が加わ
る。そこで、吸込ケーシング２１には、この力を支えて
ポンプがバレル２３内で移動しないように、モータポン
プ１と軸方向に当接する部位を設けている。この当接部
位にもゴム等の弾性材からなる防振体３１が設けられて
いる。ポンプユニットの吐出側には、配管１１への振動
および圧力脈動の伝播を抑えるために、パイプサイレン
サ４が設けられている。パイプサイレンサ４と吐出ケー
シング２２との間には逆止弁５が設置されている。

【００２８】ポンプユニットの吐出側には、圧力タンク
１３、圧力センサ１４、逆止弁５及び小水量運転が継続
した場合にポンプを停止させるために必要な小水量検知
手段（例えばフロースイッチ）等が適宜設けられる。圧
力センサ１４は信号ケーブル１５によって制御盤６内の
制御回路に接続されている。そして、圧力センサ１４や
フロースイッチ（図示せず）の信号をもとに、且つ、イ
ンバータの可変速機能を活用して、所謂、ポンプ吐出圧
一定制御や推定末端圧一定制御を行うものであるが、そ
の制御の詳細についての説明は省略する。バレル２３の
外面には、インバータを内蔵するとともに、前記制御信
号をもとにシステムを制御するための制御盤６が設けら
れている。制御盤６は電源ケーブル３５によって外部電
源（図示せず）に接続されている。

【００２９】前記インバータは制御盤６の底面に密着し
て固定され、発生熱をバレル２３を介して効果的に取扱
流体へ放熱する。制御盤６には電源からの電力を入力す
る手段として電源ケーブル３５が取付けられているが、
このケーブル３５は各芯線からの空気の流通を防止した
気密処理ケーブルである。従って、制御盤６内は外気と
完全に遮断されているため、例えば給液装置を高温多湿
の環境条件において使用した場合であっても、制御盤６
内に結露を生じることがなく絶縁劣化の心配がない。

【００３０】図３に示す本実施形態によれば、取扱液を
内包する容器を構成する吸込ケーシング２１、吐出ケー
シング２２およびバレル２３内に水中モータポンプ１が
設置されているため、モータポンプ周囲の取扱液は、モ
ータポンプ本体の表面振動が空気中へ直接伝播するのを
防止する。また、モータポンプ１と吸込ケーシング２
１、吐出ケーシング２２およびバレル２３により構成さ
れる容器との間に施される防振体３０等の振動絶縁処置
が振動の固体伝播を抑え、パイプサイレンサ４が配管系
に伝わる流体音を抑制する。この結果、本実施形態の給
液装置は極めて静音となる。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
騒音と振動を極小（最小限）に抑えた超静音型の給液装
置を提供することが可能である。尚、本明細書では１台
のポンプを使用した給液装置の事例を主に説明したが、
一般に給液装置は複数台のポンプを並列（単独交互・並
列交互）に接続して使用する場合も多い。複数台運転の
場合、本発明はより有効なものとなる。即ち、複数台が
同時に運転されると騒音および振動が１台時よりも増加
するが、その際に本発明の騒音および振動の低減効果は
より顕著なものとなる。また、ポンプが高速化および小
型化されているため、ポンプが複数台であっても装置全
体はコンパクトに納まる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る給液装置の第１の実施の形態を示
す概略図である。

【図２】図１に示す水中モータポンプの縦断面図であ
る。

【図３】本発明に係る給液装置の第２の実施形態を示す
断面図である。

【符号の説明】

１水中モータポンプ１ｄ吐出口１ｓ吸込口２防振パッド３フレキシブルジョイント４パイプサイレンサ５逆止弁６制御盤８水中ケーブル１０水槽１０ａ底面１１配管１２小配管１３圧力タンク１４圧力センサ１５信号ケーブル１６フロート１７フロート付バルブ１８入口配管１９ストレーナ２１吸込ケーシング２１ｆ，２２ｆ，１４０ｆ，１４１ｆフランジ２２吐出ケーシング２２ａ水密処理部２３バレル３０，３１防振体３５電源ケーブル１０１，１０２筒状部１０２ａ，１０４ａ，１０５ａいんろう１０２ｂボルト座１０３平面座１０３ａリード線穴１０４モータフレーム１０５モータフレーム側板１０６固定子キャン１０７モータ固定子１１０水中ケーブルホルダ１１１リード線１１２，１２９，１３３，１３８Ｏリング１１３モータ回転子１１４主軸１１５回転子キャン１１６回転子側板１１７リブ１１８羽根車１２０，１３１軸受ブラケット１２１，１３２ラジアル軸受１２２固定側スラスト軸受１２３回転側正方向スラスト軸受１２４回転側逆方向スラスト軸受１２５，１２６スラストディスク１２７，１３４スリーブ１２８ダブルナット１３０ガスケット１３５座金１３６ナット１４０吸込側ノズルケーシング１４１吐出側ノズルケーシング１４２ライナリング１４３案内装置１５０流路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｆ０４Ｄ 15/00 Ｆ０４Ｄ 15/00 ＢＪ 29/66 29/66 ＥＡ (72)発明者中務幸正東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内Ｆターム(参考） 3H020 AA01 AA08 BA02 BA03 BA11 CA00 CA01 CA04 DA04 3H045 AA06 AA09 AA12 AA23 AA40 BA03 BA07 BA31 BA38 CA03 CA06 CA28 DA04 DA07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】取扱液を収容又は内包する容器と、容器
内に設けられ容器と振動絶縁処置された液中モータポン
プと、液中モータポンプの吐出側配管系に設けられるパ
イプサイレンサとを備えたことを特徴とする給液装置。
【請求項２】液中モータポンプの最高回転速度を、モ
ータに２極交流モータを使用して６０Ｈｚの周波数で運
転した場合の同期回転速度を超える値である毎分３６０
０回転超としたことを特徴とする請求項１に記載の給液
装置。
【請求項３】前記液中モータポンプはソフトスタート
機能を具備することを特徴とする請求項１又は２に記載
の給液装置。
【請求項４】前記液中モータポンプはソフトストップ
機能を具備することを特徴とする請求項１乃至３のいず
れか１項に記載の給液装置。