JP2002132172A

JP2002132172A - ディスプレイ用透明フィルム

Info

Publication number: JP2002132172A
Application number: JP2000330282A
Authority: JP
Inventors: Toru Hanada; 亨花田; Toshiaki Yatabe; 俊明谷田部
Original assignee: Teijin Ltd
Current assignee: Teijin Ltd
Priority date: 2000-10-30
Filing date: 2000-10-30
Publication date: 2002-05-09

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明の目的は、ガスバリヤー性、透明性に優
れ、変形が少ないディスプレイ用透明フィルムを提供す
ることにある。【解決手段】透明高分子フィルムの少なくとも片側に、
珪素原子と酸素原子から主として構成される少なくとも
一層のガスバリヤー層を有する透明フィルムであって、
該ガスバリヤー層は、少なくともフッ素原子およびマグ
ネシウム原子を含有し、該珪素原子の少なくとも一部は
該フッ素原子と化学結合しているディスプレイ用透明フ
ィルムである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶、エレクトロ
ルミネッセンス（ＥＬ）などのフラットパネルディスプ
レイ分野に用いられる高いガスバリヤー性と透明性を必
要とするディスプレイ用の透明フィルムに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶表示素子等のフラットパネル
ディスプレイ分野において、耐破損性の向上、軽量化、
薄型化の要望から、透明高分子からなるフィルム上に、
酸化インジウム、酸化錫、或いは錫−インジウム合金の
酸化物等の半導体膜、金、銀、パラジウム合金の酸化膜
等の金属膜、該半導体膜と該金属膜とを組み合わせて形
成された膜を透明導電層として設けたディスプレイ用透
明フィルムを液晶表示素子の電極基板として用いる検討
が続けられている。かかる基板には、通常、パネルの液
晶セル内部に発生する気泡に対する信頼性を向上させる
ために高いガスバリヤー性が要求されている。このガス
バリヤー性については、例えばＷＯ９４／２３３３２号
公報、特許第２７９６５７３号公報、特許第２７９０１
４４号公報に、透明高分子基板にビニルアルコール系ポ
リマーや塩化ビニリデン系ポリマーなどの有機ガスバリ
ヤー層、及び酸化珪素や酸化アルミニウムなどの無機ガ
スバリヤー層が積層された基板が記載されている。しか
し、十分な信頼性を有するディスプレイを得るには、少
なくとも基板の水蒸気透過度を１．０ｇ／ｍ²／ｄａｙ
以下にする必要があり、公知の有機のガスバリヤー層で
は高温高湿環境下でガスバリヤー性が低下するので不十
分である。また、公知の無機のガスバリヤー層でも十分
なバリア性を得るためには膜厚を厚くする必要がある
が、これに伴いガスバリヤー層の膜応力が増大してディ
スプレイ用透明フィルムが変形してしまい、パネル製造
の際に取り扱いが難しくなる。さらに、フラットパネル
ディスプレイ用の透明基板では８５％以上の全光線透過
率が必要であるが、公知の無機のガスバリヤー層では、
積層に伴う基板変形が少なく、かつ透明性とガスバリヤ
ー性の双方を工業的に安定して生産することが困難であ
った。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる現状
に鑑みなされたもので、ガスバリヤー性、透明性に優
れ、変形が少ないディスプレイ用透明フィルムを提供す
ることを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の目的は下記の本発
明により達成される。即ち本発明は次のとおりである。

【０００５】１．透明高分子フィルムの少なくとも片側
に、珪素原子と酸素原子から主として構成される少なく
とも一層のガスバリヤー層を有する透明フィルムであっ
て、該ガスバリヤー層は、少なくともフッ素原子および
マグネシウム原子を含有し、該珪素原子の少なくとも一
部は該フッ素原子と化学結合しているディスプレイ用透
明フィルム。

【０００６】２．ガスバリヤー層におけるＸ線光電子分
光法にて測定したフッ素の１ｓピークが、フッ素原子と
珪素原子の化学結合に由来するピーク（Ａ）とフッ素原
子とマグネシウム原子に由来するピーク（Ｂ）からなる
上記ディスプレイ用透明フィルム。

【０００７】３．ピーク（Ａ）の強度がピーク（Ｂ）の
強度よりも大きい上記ディスプレイ用透明フィルム。

【０００８】４．透明高分子フィルムがポリカーボネー
トからなる上記ディスプレイ用透明フィルム。

【０００９】５．透明高分子フィルムの少なくとも片側
に透明導電層が積層されている上記ディスプレイ用透明
フィルム。

【００１０】本発明において透明高分子フィルムを構成
する材料としては、透明性、耐熱性が良い透明高分子で
あれば特に限定されない。このような透明高分子として
は、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系
樹脂、ポリアリレート系樹脂、ポリスルホン、ポリエー
テルスルホン、ポリアリルスルホン等のポリスルホン系
樹脂、ポリオレフィン系樹脂、セルローストリアセテー
ト等のアセテート系樹脂、ポリアクリレート系樹脂、各
種熱硬化樹脂等が好ましい。なかでも、上記透明性、耐
熱性、及び光学異方性が比較的少ないという観点から、
ポリカーボネート系樹脂またはポリアリレート系樹脂を
主成分とするフィルムまたはシートがより好ましい。そ
して、ポリカーボネート系樹脂のフィルムまたはシート
は、溶融法または流延法によって製造することができる
が、流延法を用いるのが、表面の平坦性に優れ、光学的
等方性に優れることから特に好適である。

【００１１】ポリカーボネート系樹脂としては、通常、
芳香族ジヒドロキシ化合物と、芳香族炭酸エステル（例
えばジフェニルカーボネートカーボネート）等のカーボ
ネート結合形成性化合物とを溶融法、固相重合法により
得られるもの、あるいは芳香族ジヒドロキシ化合物とホ
スゲンとから界面重合法により製造されるものが用いら
れる。該芳香族ジヒドロキシ化合物としては特に制限は
なく、例えば、ビス（４−ヒドロキシアリール）アルカ
ン類、ビス（ヒドロキシアリール）シクロアルカン類を
挙げることができる。

【００１２】この中で、フィルム形成性、透明性、耐熱
性、ディスプレイ用途、経済性等を考慮すると、下記式
（１）〜（３）

【００１３】

【化１】

【００１４】

【化２】

【００１５】［上記式（２）において、Ｒ₁〜Ｒ₈はそれ
ぞれに独立に、水素原子、ハロゲン原子及び炭素数１〜
６の炭化水素基から選ばれる少なくとも１種の基であ
る。］

【００１６】

【化３】

【００１７】［上記式（３）において、Ｒ²¹〜Ｒ²⁸はそ
れぞれに独立に、水素原子、ハロゲン原子及び炭素数１
〜６の炭化水素基から選ばれる少なくとも１種の基であ
る。］で表される少なくとも１種の繰り返し単位を有す
るポリカーボネートを好ましく用いることができる。

【００１８】上記式（２）、（３）において、Ｒ₁〜
Ｒ₈、Ｒ²¹〜Ｒ²⁸はそれぞれに独立に、水素原子、ハロ
ゲン原子及び炭素数１〜６の炭化水素基から選ばれる少
なくとも１種である。ハロゲン原子としては、フッ素原
子、塩素原子、ヨウ素原子を挙げることができる。炭素
数１〜６の炭化水素基としては、メチル基、エチル基、
イソプロピル基、シクロヘキシル基等を挙げることがで
きる。

【００１９】上記式（２）において、Ｒ₁〜Ｒ₈は水素原
子であるものが好ましい。上記式（２）で示される繰り
返し単位の具体的な例は、３，３，５−トリメチル−
１，１−ジ（４−フェノール）シクロヘキシリデン型ポ
リカーボネートである。

【００２０】上記式（３）において、Ｒ²¹〜Ｒ²⁸は水素
原子あるいは炭素数１〜３のアルキル基であるものが好
ましい。上記式（３）の具体的な例として、フルオレン
−９，９−ジ（４−フェノール）型ポリカーボネート、
フルオレン−９，９−ジ（３−メチル−４−フェノー
ル）型ポリカーボネートを好ましく挙げることができ
る。

【００２１】上記繰り返し単位を有するポリカーボネー
トとしては、上記式（１）〜（３）のそれぞれから実質
的になるホモポリマー、上記式（１）と（２）からなる
共重合ポリマー、上記式（１）と（３）からなる共重合
ポリマーが好ましい。これらは、２種類以上混合して用
いることもできる。

【００２２】上記式（１）と（２）からなる共重合ポリ
マーにおいて、共重合の組成比は、いかなる組成比でも
良いが、上記式（２）で示される繰り返し単位の組成比
が多くなるに従って、耐熱性（ガラス転移温度）が上昇
し、光弾性系数が小さくなるという好ましい反面、耐衝
撃性等の機械的特性が劣化するため、そのバランスによ
って組成は決定される。具体的には、上記式（２）で示
される繰り返し単位が１〜７０モル％が好ましく、耐熱
性等の面からは３０〜７０モル％が好ましい。

【００２３】上記式（１）と（３）からなる共重合ポリ
マーにおいて、かかる共重合の組成比は、いかなる組成
比でも良いが、上記式（３）で示される繰り返し単位の
組成比が多くなるに従って、耐熱性（ガラス転移温度）
が上昇し、光弾性系数が小さくなるという好ましい反
面、耐衝撃性等の機械的特性が劣化するため、そのバラ
ンスによって組成は決定される。具体的には、上記式
（３）で示される繰り返し単位が１〜８０モル％が好ま
しく、耐熱性等の面からは２０〜７０モル％が好まし
い。

【００２４】上記ポリカーボネートの分子量は、数平均
分子量で３０，０００〜３００，０００が好ましい。分
子量が大きなポリマーほど機械特性ならびに耐熱性が向
上するが、大きすぎると成形が難しくなる。

【００２５】透明高分子フィルムの製膜方法は、溶液製
膜、溶融押出し製膜等の公知の方法を用いることが出来
るが、フィルムの平滑性の観点から、溶液製膜法がより
好ましい。

【００２６】透明高分子フィルムの厚みは３０〜７００
μｍが好ましい。３０μｍより薄い場合は基材の作製プ
ロセスにおいてハンドリングが困難となるといった問題
がある。７００μｍより厚い場合は、軽量であるという
樹脂基材の特徴が失われるのみならず、いわゆる反射型
の液晶表示素子に用いた場合、二重像の問題が顕著にな
り表示品位の低下に至ることから好ましくない。フィル
ムの厚みはより好ましくは７０〜５００μｍである。

【００２７】本発明のディスプレイ用透明フィルムを液
晶ディスプレイ用の電極基板として用いる場合には、透
明高分子フィルムは以下の優れた光学等方性、透明性、
非吸水性を有することがより好ましい。（ｉ）リターデーション値が３０ｎｍ以下（好ましくは
２０ｎｍ以下）（ii）遅相軸のバラツキが±３０度以内（好ましくは±
１５度以内）（iii）全光線透過率が８０％以上（好ましくは８５％
以上）（iv）吸水率が２％以下（好ましくは１％以下）ここで、リターデーション値は、公知の測定装置を用い
て測定した波長５９０ｎｍにおける複屈折の屈折率の差
△ｎと膜厚ｄとの積△ｎ・ｄで表されるものである。

【００２８】透明高分子フィルムは、吸水率が低いもの
が好ましい。吸水率が高いと、高温高湿耐久試験で基板
が水を含み、透明導電層の下地の表面抵抗が下がるた
め、パネルの表示欠陥が発生しやすくなる。このような
問題は、後述のガスバリヤー層の積層によりかなり抑制
することができるが、高度な高温高湿信頼性を得るため
には、透明高分子フィルムの吸水率は０．７％以下であ
ることがより好ましい。

【００２９】上記透明高分子フィルムの少なくとも片面
側には、珪素原子と酸素原子から主として構成される少
なくとも一層のガスバリヤー層を有する。かかるガスバ
リヤー層としては、金属酸化物として少なくとも珪素、
酸素、フッ素、マグネシウムを含有し、珪素と酸素が主
成分であり、かつ珪素とフッ素が化学結合している薄膜
とすることが、ガスバリヤー性、透明性、表面平滑性、
膜応力が少ないという点で好ましい。ここで、珪素原子
に対する酸素原子の割合は１．５以上２未満が好まし
い。この割合により薄膜の透明性とガスバリヤー性が二
律背反性の関係で変化し、１．５未満ではディスプレイ
用途で要求される透明性が得られないことがある。さら
に、フッ素原子は珪素ならびにマグネシウムと化学結合
しており、フッ素原子と珪素原子の結合（Ａ）とフッ素
原子とマグネシウムの結合（Ｂ）の割合が（Ａ）＞
（Ｂ）であることが好ましく、かつガスバリヤー層中に
含まれるマグネシウムの比率は、共存する珪素に対し元
素比で２．５〜２０ａｔｏｍ％の範囲が好ましい。この
ような割合にすることで、良好なガスバリヤー性と高い
透明性を有する。またディスプレイ用透明フィルムの変
形が小さく、したがってガスバリヤー層の膜厚を厚くす
ることができる。変形が小さいのは、膜応力が小さくで
きるからであると推定される。

【００３０】ガスバリヤー膜中に存在するフッ素元素の
化学結合状態は、例えばＸ線光電子分光法により分析、
決定される。Ｘ線光電子分光法において、Ｘ線源にＡｌ
のＫα線を用い、中性炭素Ｃ１ｓの２８４．６ｅＶで横
軸を補正した際、フッ素の化学結合状態は、６８７ｅＶ
近傍に観測されるフッ素と珪素の結合に由来するＦ１ｓ
ピーク（Ａ）とこれより約１．５ｅＶ低結合エネルギー
側に観測されるフッ素とマグネシウムの結合に由来する
Ｆ１ｓピーク（Ｂ）の存在、ならびにこれらの強度比に
より決定される。

【００３１】また、上記Ｘ線光電子分光法に基づく、ガ
スバリヤー層を構成する珪素及び酸素の含有量は、５０
モル％以上、好ましくは６０モル％以上、さらに好まし
くは７０モル％である。

【００３２】ガスバリヤー層の作成方法としては、例え
ばスパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、
プラズマＣＶＤ法等の気相中より材料を堆積させて膜形
成する気相堆積法が挙げられる。なかでも、本発明のガ
スバリヤー層の形成には真空蒸着法が特に好ましい。

【００３３】ガスバリヤー層の膜厚は、２ｎｍ〜１μｍ
の範囲が好ましい。金属酸化物層の厚みが２ｎｍ未満で
は均一に膜を形成することは困難であり、膜が形成され
ない部分が発生するため気体透過度が大きくなる一方、
１μｍよりも厚くなると透明性を欠くだけでなく、ディ
スプレイ用透明フィルムを屈曲させた際に、ガスバリヤ
ー層にクラックが発生して気体透過度が上昇する。

【００３４】前記の透明高分子フィルムにガスバリヤー
層を積層した本発明の透明フィルムは、好ましくは以下
の優れた光学等方性、透明性、水蒸気バリヤー性を有す
る。（ｉ）リターデーション値が３０ｎｍ以下（好ましくは
２０ｎｍ以下）（ii）遅相軸のバラツキが±３０度以内（好ましくは±
１５度以内）（iii）全光線透過率が８０％以上（好ましくは８５％
以上）（iv）水蒸気透過度が５ｇ／ｍ²／ｄａｙ以下（好まし
くは１ｇ／ｍ²／ｄａｙ以下）

【００３５】本発明のディスプレイ用透明フィルムは、
その用途に応じて、透明高分子フィルムの少なくとも片
面側に透明導電層を形成して用いることができる。透明
導電層としては、公知の金属膜、金属酸化物膜等が適用
できるが、中でも、透明性、導電性、機械的特性の点か
ら、金属酸化物膜が好ましい。例えば、不純物としてス
ズ、テルル、カドミウム、モリブテン、タングステン、
フッ素、亜鉛、ゲルマニウム等を添加した酸化インジウ
ム、酸化カドミウム及び酸化スズ、不純物としてアルミ
ニウムを添加した酸化亜鉛、酸化チタン等の金属酸化物
膜が挙げられる。なかでも、インジウム酸化物を主成分
とし、酸化錫及び酸化亜鉛からなる群から選ばれた１種
以上の酸化物を含み、酸化錫が２〜２０重量％及び／ま
たは酸化亜鉛が２〜２０重量％含有する透明導電層が透
明性、導電性が優れており好ましく用いられる。

【００３６】透明導電層を形成する方法は、主にスパッ
タリング法が使用され、直流スパッタリング法、高周波
マグネトロンスパッタリング法、イオンビームスパッタ
リング法などが適用できるが、生産性の観点から、マグ
ネトロンスパッタ法が好ましい。透明導電層の膜厚は、
十分な導電性を得るために、１０ｎｍ以上であることが
好ましい。本発明のディスプレイ用透明フィルムは、可
視光領域に対する全光線透過率が８０％以上であること
が好ましく、さらには８５％以上が好ましい。８０％未
満では、視認性の低下を招く等の問題が生じることがあ
る。

【００３７】また、本発明のディスプレイ用透明フィル
ムには、その用途に応じて片面もしくは両面に耐薬品性
を有する硬化樹脂層を耐薬品層として形成してもよい。
例えば、液晶ディスプレイ用に本発明の透明フィルムを
用いる場合は、その組立て工程で使用される、酸、アル
カリ、Ｎ−メチルピロリドンやγ−ブチルラクトン等の
有機溶媒、各種アルコールに対する耐性が通常要求され
る。硬化樹脂層としては、有機ポリシロキサン系樹脂、
熱硬化性エポキシ樹脂、紫外線硬化性アクリル樹脂等の
放射線硬化性樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、アル
キド樹脂等を挙げることができる。

【００３８】さらには、透明高分子フィルムとガスバリ
ヤー層との密着性を強化する目的で、これらの層間に各
種のアンカー層を形成してもよい。かかるアンカー層と
しては、耐薬品性、透明性、良好な層間密着性を有する
必要があり、例えば、珪素含有樹脂、エポキシ樹脂等の
熱硬化性樹脂、紫外線硬化性アクリル樹脂等の放射線硬
化性樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂
等を挙げることができる。

【００３９】本発明のディスプレイ用透明フィルムの具
体的な層構成としては、例えば、ガスバリヤー層／透明
高分子フィルム、ガスバリヤー層／アンカー層／透明高
分子フィルム、透明導電層／ガスバリヤー層／透明高分
子フィルム、ガスバリヤー層／透明高分子フィルム／透
明導電層、透明導電層／ガスバリヤー層／アンカー層／
透明高分子フィルム、ガスバリヤー層／アンカー層／透
明高分子フィルム／透明導電層、透明導電層／硬化樹脂
層／ガスバリヤー層／透明高分子フィルム、ガスバリヤ
ー層／透明高分子フィルム／硬化樹脂層／透明導電層、
透明導電層／硬化樹脂層／ガスバリヤー層／アンカー層
／透明高分子フィルム、ガスバリヤー層／アンカー層／
透明高分子フィルム／硬化樹脂層／透明導電層、透明導
電層／硬化樹脂層／ガスバリヤー層／透明高分子フィル
ム／硬化樹脂層、ガスバリヤー層／透明高分子フィルム
／硬化樹脂層／透明導電層／硬化樹脂層、透明導電層／
硬化樹脂層／ガスバリヤー層／アンカー層／透明高分子
フィルム／硬化樹脂層、硬化樹脂層／ガスバリヤー層／
アンカー層／透明高分子フィルム／硬化樹脂層／透明導
電層、を挙げることができる。

【００４０】

【発明の効果】本発明によれば、ガスバリヤー性と透明
性に優れ、変形が少ないディスプレイ用透明フィルムを
提供することができる。かかる透明フィルムを液晶表示
装置の電極基板として用いた場合、表示特性が良好で、
高温多湿環境に長時間放置しても、表示特性の劣化がな
く、優れた品質のディスプレイを提供できる。

【００４１】

【実施例】以下、実施例を挙げ、本発明をさらに具体的
に説明するが、本発明は、かかる実施例に限定されるも
のではない。なお、実施例中、部および％は、特に断ら
ない限り重量基準である。また、実施例中における各種
の測定は、下記のとおり行った。

【００４２】全光線透過率：ディスプレイ用透明フィル
ムを、日本電色工業社製ＣＯＨ−３００Ａを用いて測定
した。

【００４３】水蒸気バリヤー性：ディスプレイ用透明フ
ィルムを、ＭＯＣＯＮ社製、パーマトランＷ１Ａを用い
て、４０℃、９０％ＲＨ雰囲気下における水蒸気透過度
を測定した。

【００４４】光学等方性：ディスプレイ用透明フィルム
を、日本分光製の多波長複屈折率測定装置Ｍ−１５０を
用い、波長５９０ｎｍの光に対するリタデーション値を
測定した。

【００４５】変形量：ディスプレイ用透明フィルムを、
１０ｃｍ角のフィルムを、２５℃５０％ＲＨの環境下
で、２５℃の水平な支持板上に該フィルムのガスバリヤ
ー層を設けた面が下になるように置き、該フィルムの四
隅の支持板からの高さの最大値を測定した。

【００４６】ガスバリヤー層の化学状態分析：ＶＧ sci
entific 社製「ESCALAB220iXL」を用いて、Ｘ線源に単
結晶分光ＡｌＫα線を用い、１×１０^-9Ｔｏｒｒ下で、
中性炭素Ｃ１ｓを２８４．６ｅＶでエネルギー軸を補正
し、ガスバリヤー膜中のＳｉ、Ｏ、Ｍｇ、Ｆ元素の組成
比、６８７ｅＶ近傍に観測されるフッ素と珪素の結合に
由来するＦ１ｓピーク（Ａ）とこれより約１．５ｅＶ低
結合エネルギー側に観測されるフッ素とマグネシウムの
結合に由来するＦ１ｓピーク（Ｂ）の強度比からフッ素
の化学結合状態を分析した。

【００４７】なお、後述の化合物名は以下の略号を用い
た。 BisA：２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）プロパ
ン BCF：９，９−ビス（４−ヒドロキシ−３−メチルフェ
ニル）フルオレン IP：３，３，５−トリメチル−１，１−ジ（４−フェノ
ール）シクロヘキシリデン［実施例１］ビスフェノール成分がBisAのみからなる平
均分子量３７，０００でＴｇが１５５℃のポリカーボネ
ート樹脂をメチレンクロライドに２０重量％になるよう
に溶解した。そしてこの溶液をダイコーティング法によ
り厚さ１７５μｍのポリエステルフィルム上に流延し
た。次いで、乾燥炉で残留溶媒濃度が１３重量％になる
まで乾燥し、ポリエステルフィルムから剥離した。そし
て、得られたポリカーボネートフィルムを温度１２０℃
の乾燥炉で縦横の張力をバランスさせながら、該フィル
ム中の残留溶媒濃度が０．０８重量％になるまで乾燥さ
せた。

【００４８】こうして得られた透明高分子フィルム
（Ｓ）は、厚みが１００μｍ、波長５５０ｎｍにおける
光線透過率は９１％であった。

【００４９】次に、けい素と二酸化けい素とフッ化マグ
ネシウムを４７モル％：４７モル％：６モル％の比率で
混合した原料を用い、真空蒸着機を用いて０．１ｍＴｏ
ｒｒの真空下にて、蒸着温度１３００℃で前記透明高分
子フィルムの片面上に、厚さ７００Åのガスバリヤー層
を積層した。ここで、蒸着原料は、真空下の蒸着機内
で、蒸着時のるつぼ温度よりも２００℃低い温度で予備
加熱してから、連続的にるつぼに供給してガスバリヤー
層の積層を行った。

【００５０】得られたディスプレイ用透明フィルムの評
価結果は、表１に示すように良好であった。

【００５１】［実施例２］BisA／BCF＝１／１（モル
比）でＴｇが２１０℃のポリカーボネート共重合体から
なる厚み１００μmの透明高分子フィルム（Ｓ）を用い
る以外は、実施例１と同様にしてディスプレイ用透明フ
ィルムを得た。得られたディスプレイ用透明フィルムの
評価結果は表１に示すように良好であった。

【００５２】［実施例３］BisA／IP＝２／３（モル比）
でＴｇが２０５℃のポリカーボネート共重合体からなる
厚み１００μmの透明高分子フィルム（Ｓ）を用いる以
外は、実施例１と同様にしてディスプレイ用透明フィル
ムを得た。得られたディスプレイ用透明フィルムの評価
結果は表１に示すように良好であった。

【００５３】［実施例４］けい素と二酸化けい素とフッ
化マグネシウムの混合比を４５モル％：４５モル％：１
０モル％とし、蒸着原料の予備加熱を蒸着温度よりも３
００℃低い温度で行った以外は、実施例１と同様の方法
でガスバリヤー層を積層した。得られたディスプレイ用
透明フィルムの評価結果は、カールがやや大きく水蒸気
透過度がやや高めであったが、表１に示すように概ね良
好であった。

【００５４】［比較例１］けい素と二酸化けい素の混合
比を５０モル％：５０モル％とした以外は、実施例１と
同様にしてディスプレイ用透明フィルムを得た。得られ
たディスプレイ用透明フィルムの評価結果は、カールが
大きく透明性が悪いものであった。

【００５５】

【表１】

【００５６】［実施例５］実施例１で得られたディスプ
レイ用透明フィルムの両面に、後述のコーティング組成
物（Ａ）をコーティングし１３０℃３分間熱処理するこ
とにより、２μｍ厚の耐薬品層を形成した。

【００５７】ここで、コーティング組成物（Ａ）は以下
のように調整した。

【００５８】成分（Ｐ１）ＥＶＯＨ１００部を、水７２
０部、ｎ−プロパノール１０８０部の混合溶媒に加熱溶
解させ、均一溶液を得た。この溶液にレベリング剤（東
レダウコーニング社製「ＳＨ３０ＰＡ」を０．１部、酢
酸３９部加えた後、成分（Ｐ２）ＥＣＨＥＴＭＯＳ２１
１部を加え１０分間撹拌した。更にこの溶液に成分（Ｐ
３）ＡＰＴＭＯＳ７７部を加えて３時間撹拌しコーティ
ング組成物を得た。

【００５９】次に、ガスバリヤー層が形成された面と反
対側の面上に、ＤＣマグネトロンスパッタリング法によ
り、厚さ１３０ｎｍのインジウム-錫酸化物からなる透
明導電層を設けた。

【００６０】さらに、このフィルムを用いて、透明導電
層にフォトリソグラフィー法によりパターニングを行
い、１６０×１００ドット用の表示電極を形成した。つ
いで、該電極面に１０００Åの配向膜を形成し、ツイス
ト各が２２０°となるようにラビング処理を施した。次
いで６．５μｍのプラスチックビーズをギャップ剤とし
て電極面のうち面に分散密度１５０個／ｍｍ²となるよ
うに分散し、エポキシ接着剤により電極面を内側にして
この２枚のフィルムを貼り合せてセルを作製した。次い
で、このセルにカイラルネマチック液晶を含有するネマ
チック液晶を注入口より注入した後、加圧法によりセル
ギャップを均一化し、注入口を封入した。次にセルの両
側に偏光板を貼り液晶パネルを得た。こうして得られた
液晶パネルは表示特性が良好で、５０℃９０％ＲＨ環境
下に５００ｈｒ放置あるいは８０℃ＤＲＹ環境下に５０
０ｈｒ放置しても、表示特性の劣化は認められなかっ
た。

【００６１】［実施例６］実施例２で得られたディスプ
レイ用フィルムを用い、透明導電層の下地に積層する耐
薬品層を、後述のコーティング組成物（B）をコーティ
ングし、６０℃１分間加熱した後、高圧水銀灯を用い厚
さ４μmで形成した以外は、実施例５と同様にしてディ
スプレイ用透明フィルムを得た。得られた液晶パネルは
表示特性が良好で、５０℃９０％ＲＨ環境下に５００ｈ
ｒ放置あるいは８０℃ＤＲＹ環境下に５００ｈｒ放置し
ても、表示特性の劣化は認められなかった。ここで、コ
ーティング組成物（B）は、以下のように調整した。

【００６２】ジメチロールトリシクロデカンジアクリレ
ート（共栄社化学社製「ライトアクリレートＤＣＰ−
Ａ」）を１０重量部、エポキシアクリレート（昭和高分
子製「リポキシＲ８００系」）を１０重量部、ウレタン
アクリレート（新中村化学製「ＮＫオリゴＵ−１５Ｈ
Ａ」）を１０重量部、１−メトキシ−２−プロパノール
を３０重量部、開始剤として１−ヒドロキシシクロヘキ
シルフェニルケトン２重量部を混合しコーティング組成
物を得た。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０２Ｆ 1/1333 ５００Ｇ０２Ｆ 1/1333 ５００ // Ｃ０８Ｌ 69:00 Ｃ０８Ｌ 69:00 Ｆターム(参考） 2H090 HB04X JB03 JB13 JC07 JD01 JD11 JD12 LA01 LA02 4F006 AA36 AB73 AB74 BA05 BA07 CA05 CA08 DA01 4F100 AA20B AA20C AB11B AB11C AK01A AK45A AL01 BA02 BA03 BA06 BA07 BA10B BA10C EH46 EH461 EH66 EH662 EJ86 EJ861 GB41 JD02 JD02B JD02C JL04 JN01 JN01A 5G435 AA09 AA13 AA14 BB05 BB12 EE12 FF01 GG42 HH02 HH20 KK07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明高分子フィルムの少なくとも片側
に、珪素原子と酸素原子から主として構成される少なく
とも一層のガスバリヤー層を有する透明フィルムであっ
て、該ガスバリヤー層は、少なくともフッ素原子および
マグネシウム原子を含有し、該珪素原子の少なくとも一
部は該フッ素原子と化学結合しているディスプレイ用透
明フィルム。
【請求項２】ガスバリヤー層におけるＸ線光電子分光
法にて測定したフッ素の１ｓピークが、フッ素原子と珪
素原子の化学結合に由来するピーク（Ａ）とフッ素原子
とマグネシウム原子に由来するピーク（Ｂ）からなる請
求項１記載のディスプレイ用透明フィルム。
【請求項３】ピーク（Ａ）の強度がピーク（Ｂ）の強
度よりも大きい請求項２記載のディスプレイ用透明フィ
ルム。
【請求項４】透明高分子フィルムがポリカーボネート
からなるディスプレイ用透明フィルム。
【請求項５】透明高分子フィルムの少なくとも片側に
透明導電層が形成されている請求項１〜４のいずれかに
記載のディスプレイ用透明フィルム。