JP2002131144A - プローブ型熱電対温度センサー - Google Patents
プローブ型熱電対温度センサーInfo
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- JP2002131144A JP2002131144A JP2000319293A JP2000319293A JP2002131144A JP 2002131144 A JP2002131144 A JP 2002131144A JP 2000319293 A JP2000319293 A JP 2000319293A JP 2000319293 A JP2000319293 A JP 2000319293A JP 2002131144 A JP2002131144 A JP 2002131144A
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Abstract
分布の測定が可能なプローブ型熱電対温度センサーを提
供すること。 【解決手段】 熱電対センサー素子11は細長い板状の
絶縁基板12の端部に熱電対接合部13が配列形成さ
れ、その表面に前記熱電対を構成する異種導体14が印
刷配線されている。センサー保持体21は、熱電対セン
サー素子11の前記絶縁基板12が挿入されるスリット
27が軸方向に形成された柱状の本体部22およびこの
本体部の一端に設けられ前記本体部のスリットに連続す
るスリットが形成されたフランジ部23から構成されて
いる。このセンサー保持体21の前記フランジ部23に
は回転阻止機構26が形成されている。ネジ筒体31は
内部に前記センサー保持体21が挿入されるとともに外
周面にネジ部が形成され、一端が前記フランジ部に当接
するように設けられ、このネジ筒体31の前記外周の一
部に固定されたナット部33を備えている。
Description
などの成形加工過程における流動状態の樹脂材料、複合
材料などの温度分布を計測する温度センサーに関し、特
に、計測対象容器への装着が容易なプローブ型熱電対温
度センサーに関するものである。
るための熱電対温度センサーとして、薄い絶縁基板上に
複数の熱電対およびそのリード線を印刷配線により形成
した集積型の熱電対センサーが本願発明者等により開発
され、その具体的な構成は同発明者等に付与された特許
第2582260号特許公報に開示さている。
ドなどのプラスチック、ガラス/エポキシなどの複合
材、各種セラミックスが用いられ、この基板上に微細プ
リント配線技術により、例えば0.3mm間隔で多数の熱
電対を配列形成できるので、射出成形用ノズル内の流動
樹脂内部あるいは金型内流動樹脂内部のように、樹脂内
のわずかな厚さ範囲内で大きな温度変化が存在するよう
な温度分布を高い精度で計測することができる。
ーは、これを被測定対象流体が供給されるノズルあるい
は金型へ装着する場合、特殊な構造の装着手段が用いら
れていた。たとえば上記射出成形用ノズル内の樹脂の温
度分布を計測する場合、ノズルの先端部をその中心軸を
通る平面で2分割し、その一方の分割部を断面が半円形
のブロックとして分離するとともに、ネジで他方の分割
部に着脱可能とした特殊な構造のノズルが用いられてい
た。このような構造のノズルにおいて、前記ブロックを
分離して、他方の分割部上に前記集積型熱電対温度セン
サーを配置し、その上に前記ブロックを重ねてセンサー
を挟み込み、ネジ止めして固定していた。
ような集積型熱電対センサーの被測定機器への装着手段
は、構造が複雑であり、その装着にも熟練を要し、実用
上の障害になっていた。すなわち、一般に測定すべき流
体が供給されるノズル内は1000乃至3000気圧と
いう高い気圧であるため、樹脂の漏洩防止の観点から上
記の分割されたブロックのネジ止めは強固に行う必要が
ある。しかし、絶縁基板としてセラミック基板を用いた
集積型熱電対センサーの場合、このネジ止め作業の際、
基板にひび割れが生じ、素子が破壊される事故がしばし
ば生じた。
内外の高い圧力差により、分割されたブロックが吹き飛
ばされないように、ネジ止め固定の強度を向上するた
め、実際の成形に用いられるノズルよりも大きな径のノ
ズルが用いられる。しかし実際に使用されるノズルとは
異なる径のノズルを用いて測定された流体内部の温度分
布は、成形用のノズル内の温度分布とは必ずしも一致し
ないという欠点もあった。
容易で、正確な温度分布の測定が可能なプローブ型熱電
対温度センサーを提供することを目的とするものであ
る。
対温度センサーは、細長い板状の絶縁基板の表面に前記
熱電対を構成する異種導体がパターン形成され前記絶縁
基板の端部に接合部が配列された熱電対センサー素子
と、この熱電対センサー素子の前記絶縁基板が挿入され
るスリットが軸方向に形成された柱状の本体部およびこ
の本体部の一端に設けられ前記本体部のスリットに連続
するスリットが形成されたフランジ部からなるセンサー
保持体と、このセンサー保持体の前記フランジ部に形成
され回転阻止機構と、内部に前記センサー保持体が挿入
されるとともに外周面にネジ部が形成され、一端が前記
フランジ部に当接するように設けられたネジ筒体とを備
えたことを特徴とするものである。
サーは、内部に被測定流体用の流路が形成され、外壁に
この流路に達するネジ穴が形成された流体容器と、この
流体容器の前記ネジ穴に形成された回転阻止機構とを備
え、前記熱電対温度センサーのネジ筒体を前記流体容器
のネジ穴に螺合するとともに、前記フランジ部の回転阻
止機構が前記流体容器の回転阻止機構に係合することに
より、前記熱電対温度センサーを前記流体容器に固定す
ることを特徴とするものである。
サーにおいては、前記熱電対センサー素子は、その一端
がフランジ部から露出するように前記スリット内に挿入
され、このスリットの長手方向における挿入位置を選択
することにより、前記露出端部の長さを調整することが
できることを特徴とするものである。
サーにおいては、前記熱電対センサー素子は、前記熱電
対温度センサーが前記流体容器に固定されたとき、前記
板状の絶縁基板面が前記被測定流体の流動方向にほぼ平
行となるように、前記センサー保持体のスリットの方向
および前記回転阻止機構の位置が選定されていることを
特徴とするものである。
サーにおいては、前記被測定流体は溶融樹脂であり、前
記流体容器は、内部を溶融樹脂が通過するノズルである
ことを特徴とするものである。
サーにおいては、前記被測定流体は溶融樹脂であり、前
記流体容器は、内部を溶融樹脂が通過するダイであるこ
とを特徴とするものである。
サーにおいては、前記被測定流体は溶融樹脂であり、前
記流体容器は、内部に溶融樹脂が供給される金型である
ことを特徴とするものである。
サーにおいては、前記熱電対センサー素子の絶縁基板
は、セラミック基板であり、前記熱電対の接合部は前記
セラミック基板の一端部に複数個配列されていることを
特徴とするものである。
サーにおいては、前記セラミック基板面には、前記各熱
電対を構成する異種金属材料からなる複数本の配線パタ
ーンがその長手方向に延長して形成されており、前記セ
ラミック基板面の他端近傍に設けられたリード線接続端
子を介してリード線が接続されていることを特徴とする
ものである。
サーにおいては、前記センサー保持体は、前記スリット
により分離される柱状本体の一部が、前記リード線接続
端子部が設けられているセラミック基板面部分を露出す
るように除去されていることを特徴とするものである。
サーにおいては、前記センサー保持体は金属により構成
され、前記セラミック基板面は絶縁膜により被覆されて
いることを特徴とするものである。
サーにおいては、前記センサー保持体の本体部および前
記ネジ筒体間には、前記セラミック基板が挿入された本
体部および前記リード線を内部に含む絶縁スリーブが設
けられていることを特徴とするものである。
サーにおいては、前記フランジ部および前記流体容器の
回転阻止機構は、一方が凸部であり、他方がこの突起が
嵌合する凹部であることを特徴とするものである。
サーにおいては、前記フランジ部は先端が円錐形であ
り、前記流体容器のネジ穴底部は前記円錐形のフランジ
部は先端が嵌合するようにテーパー状に形成されている
ことを特徴とするものである。
サーにおいては、前記被測定流体は絶縁性の流体である
ことを特徴とするものである。
サーにおいては、前記ネジ筒体にはその外周の一部にナ
ット部が固定されていることを特徴とするものである。
ブ型熱電対温度センサーの1実施例を説明する。図1は熱
電対センサー素子11の構造を示す平面図で、同図
(A)はその表面側、(B)はその裏面側の平面図であ
る。この熱電対センサー素子11は、例えば、幅3.5
mm×長さ45mm×厚さ0.2mmの細長い板状のセ
ラミック基板12の一端部に例えば0.3mm間隔で1
0個の熱電対接合部13が配列形成されている。これら
の熱電対13は、セラミック基板12の表面(A)に印
刷配線されたNi配線14と、裏面(B)に印刷配線さ
れたCu配線15とを、セラミック基板12の端縁部に
おいて接合することにより形成される。図2は、図1
(B)の熱電対接合部13が配列された部分の拡大図で
あるが、同図に示すように、セラミック基板12の長手
方向の一端部における長辺の縁部には、例えば直径0.
1mmのスルーホール16が0.6mm間隔で形成され
ており、これらのスルーホール16内で、Cu−Ni間
のカップリングが形成されている。セラミック基板12
の他端近傍には長辺に沿って20個のリード線接続端子
部17が印刷配線技術により形成されている。これらの
リード線接続端子部17には、図1(A)に示すよう
に、Ni配線14が1つおきに接続されている。また、
Cu配線15の熱電対13が接続されている端部と反対
の端部は、図1(B)に示すように、10個のスルーホ
ール17´を介して表面に形成された20個のリード線
接続端子部17に1個おきに接続されている。そしてこ
のように印刷配線パターンが形成されたセラミック基板
12の表裏両面は、リード線接続端子部17が形成され
た部分を除いて、図示しない絶縁膜により被覆されてい
る。
うに、20本の被覆リード線18が接続されている。
サー素子11を保持するためのセンサー保持体21の構
造を説明するための図で、同図(A)は側面図、同図
(B)は上面図である。このセンサー保持体21は、例
えば直径が4.5mmの円柱状の本体部22およびこの
本体部の一端に設けられた、例えば直径が10.5mm
の円形のフランジ部23から構成されている。このフラ
ンジ部23の本体部22と反対側には円錐台状のテーパ
ー部24および先端部に弧状凹部が形成され、本体部2
2と同径の先端円柱部25が一体に形成されている。ま
た、フランジ部23には、図4(A)に示すように、そ
の外周面の一部に回転阻止機構を構成するガイドピン2
6が植設されている。このガイドピン26の長さはたと
えば2.5mmである。ここで、本体部22の中心軸方
向の長さは例えば33mm、フランジ部23から先端円
柱部25までの中心軸上の長さは例えば8.5mmであ
る。これらの本体部22、フランジ部23および先端円
柱部25は金属材料により一体に形成されており、これ
らの全長に亘って、熱電対センサー素子11のセラミッ
ク基板12が挿入されるスリット27が形成されてい
る。このスリット27の幅は、例えばセラミック基板1
2の厚さ0.2mmより0.1mmだけ広い0.3mm
とし、その深さは図4(C)に示すように、約3.5m
mである。センサー保持体21の本体部22は、フラン
ジ部23と反対側の端部から軸方向の所定の長さに亘っ
て、スリット27で分離された一方の部分が、その断面
内で円周の4分の1に亘って除去された、切欠部28が
形成されている。
保持体21の中心軸に平行となるように配置し、スリッ
ト27内に挿入される。図5にこの状態を示す。同図に
示されるように、セラミック基板12の幅はスリット2
7の深さよりわずかに長いため、セラミック基板12の
長辺縁部はスリット27から露出している。ここでセラ
ミック基板12の長さ45mmに対して、センサー保持
体21の中心軸上の全長は41.5mmであるため、セ
ラミック基板12の熱電対13が配列形成されている端
部が約5mm程度センサー保持体21の先端円柱部25
から露出するように保持される。この露出部分の長さ
は、セラミック基板12の位置をスリット26に沿って
ずらせることにより、測定すべき流体の深さを調整する
ことができる。セラミック基板12はスリット27内で
位置決めされた後、接着剤で固定される。この状態にお
いては、セラミック基板12のリード線接続端子部16
およびこれらに接続されたリード線18は、センサー保
持体21の本体部22の切欠部28により、スリット2
7から露出している。
ー11が装着されたセンサー保持体21およびセンサー
11に接続されたリード線18を内部に含む絶縁スリー
ブ29が設けられている。この絶縁スリーブ29は例え
ば外径が6mm、内径が5mm、軸方向の長さが33m
mであり、センサー保持体21の本体部22の長さに一
致している。この絶縁スリーブ29はリード線18を含
む熱電対セラミックセンサー11およびこれらを保持す
る保持体21を内部に収納して、機械的に保護するとと
もに、電気的な絶縁を図っている。
体31が装着された状態を示す図で、同図(A)は側面
図、(B)は図(A)の一点鎖線C−C´に沿って切断
し、矢印の方向から見た断面図である。ネジ筒体31は
その外周面にネジ部32が形成され、一端がセンサー保
持体21のフランジ部23に当接するように絶縁スリー
ブ29の外周に設けられている。また、このネジ筒体3
1の他端部近傍にはその外周面の一部にナット部33が
固定されている。このナット部33とネジ筒体31の他
端間には第2のネジ部34が形成されている。なお、図
7においてはセンサーのリード線18は省略されてい
る。
サーの全体構造とこれを測定対象流動体が供給されるノ
ズルに装着した状態を示す断面図である。プローブ型熱
電対温度センサー41はネジ筒体31の端部に形成され
た第2のネジ部34に螺合するキャップ42が設けられ
ている。このキャップ42には、センサー素子11のリ
ード線18を引き出し孔43が形成されており、複数本
のリード線18がまとめて引き出されている。
印47方向に流れる流路47が形成されている。このノ
ズル45には、その外壁の一部に流路47に到達するネ
ジ穴48が形成されている。このネジ穴48はネジ筒体
31の外周面に形成されたネジ部32が螺合する。ま
た、ネジ穴48の底部にはセンサー保持体21のフラン
ジ部23先端に形成された円錐台状のテーパー部24が
密着嵌合するテーパー部49が形成されている。さら
に、ネジ穴48の内壁には、その表面からテーパー部4
9までの間に回転阻止機構を構成するガイドスリット5
0が形成されている。
断した断面図である。
温度センサー41を装着するには、プローブ型熱電対温
度センサー41をノズル45のネジ穴48にその熱電対
13が形成された先端部から挿入し、ネジ筒体31のナ
ット部33をスパナ等により回転させて、ネジ部32を
螺合する。これによりネジ筒体31はネジ穴48に沿っ
てノズル45の流路47に向かって回転移動する。この
ネジ筒体31の端部はセンサー保持体21のフランジ部
23に接触しているため、ネジ筒体31の移動に伴いセ
ンサー保持体21も移動する。しかしセンサー保持体2
1はネジ筒体31の中空部内に固定されることなく配置
されているとともに、そのフランジ部23に植設された
ガイドピン26がガイドスリット50に嵌合案内される
ため、回転することなく流路47方向に移動する。そし
てフランジ部23先端のテーパー部24がノズル45の
テーパー部49に到達し、両者が強固に密着するまでネ
ジ筒体31のナット部33が締め付けられる。
ンサー11の熱電対13が形成された先端部は、ノズル
45の流路47内に挿入されている。そして熱電対13
配列部は、溶融樹脂46の流れに対向するとともに、セ
ラミック基板12の面が流れの方向に平行となるように
配置されている。このようなセラミック基板12の面方
向は、センサー保持体21の軸に垂直な平面内における
スリット27の角度位置、回転阻止機構を構成するガイ
ドピン26およびガイドスリット50の前記平面内の角
度位置により決定される。
熱電対温度センサー41は、ノズル45に設けたネジ穴
48にネジとナットにより固定することにより、簡単に
装着することができる。
がなく、成形用に用いるノズルと同じ寸法形状のノズル
により内部流体の温度分布を測定することができるた
め、実際の成形工程と実質的に同じ計測環境下で正確な
計測ができる。
度センサー41をこれを装填するネジ穴48および回転
防止機構を形成したノズルをユニット化することによ
り、異なる射出成形機の樹脂温度分布を容易に計測する
ことができ、その用途を飛躍的に拡大することができ
る。
成する絶縁基板としてセラミック基板を用いたため、樹
脂基板に比較して機械的な強度がより向上し、繰り返し
使用による長寿命化が図れた。
のセンサー保持体21のスリット27に沿って移動する
ことにより、測定すべき流体内への挿入長を調整できる
ため、必要な深さの温度分布を計測できる。
ンサーにより、射出成形用のノズル部流動樹脂の温度分
布を計測した一例を示す図である。同図(A)は樹脂の
連続可塑化過程、同図(B)は樹脂の計量可塑化過程に
おける温度分布を示すグラフで、それぞれ横軸は時間、
縦軸はノズル中心(R=0)からの距離を示している。
るものではなく、特許請求の範囲に記載された技術思想
の範囲内で種々の変形が可能である。
ンサーにおいては、熱電対を構成する異種金属としてN
i配線14とCu配線15とを、セラミック基板12の
表面に印刷配線により形成したが、スパッタリングある
いめっき等により配線パターンを形成してもよい。ま
た、異種金属はNi配線14とCu配線15に限らず他
の組み合わせでもよいことはいうまでもない。
においては、熱電対をセラミック基板12の短辺上の端
面スルーホール内に形成したが、必ずしも端面に配列す
る必要はなく、短辺近傍の基板表面あるいは裏面に配列
してもよい。
ンサーにより温度分布を測定可能な対象装置は、射出成
形機用のノズル45に限らず、押出成形用のダイあるい
は成形用金型にも適用できる。すなわち、本発明のプロ
ーブ型熱電対温度センサーは、内部を流体が流動する流
体容器であればどのような機器に対しても装着すること
が可能である。すなわち、本発明のプローブ型熱電対温
度センサーは、射出成形機のノズルに装填し、射出過程
におけるノズルの半径方向の温度分布変化を計測・モニ
ターしたり、押出しにおけるダイ内部の流動樹脂温度分
布を計測・モニターすることに用いられる。また、エジ
ェクタピン形状として金型内の板厚方向の流動樹脂内温
度分布計測プローブとしても用いられる。
限らず、各種配管内の非導電性の流体温度分布計測にも
広く用いられる。
構として、フランジ部23にガイドピン26を、ノズル
45のネジ穴48内にガイドスリット50を設けたが、
ガイドピン26およびガイドスリット50の位置関係を
逆にしてもよい。また、回転阻止機構として、ガイドピ
ン26およびガイドスリット50に限らず、一方が凸部
で他方がこれに嵌合する凹部が形成されていればどのよ
うなものでもよい。
た寸法は一例であり、本発明はこれに限定されるもので
はないことはいうまでもない。
ジ筒体31の回転手段としその外周部にナット部33が
固定されているが、このナット部33は必ずしも断面が
6角形である必要はなく、多角形あるいは円形の一部に
平坦部を設けた形状等、スパナその他の工具を用いてネ
ジ筒体31を回転できる手段であればどのようなもので
もよい。
は、センサーを片持ち支持構造とすることにより、市販
の圧力センサー、放射温度センサーと同様の挿入固定方
式を可能とするプローブ形状により使用できる。これに
より、センサー組み込みに際して、対象物に挿入穴、ネ
ジ、回転阻止機構を加工形成するだけで、容易に装填す
ることが可能になった。
を実験室的な限定された計測用途から生産現場での広範
な計測用途に拡大することができ、その普及に大きく貢
献することができる。
られる熱電対センサー素子11の構造を示す平面図で、
同図(A)はその表面側、(B)はその裏面側の平面図
である。
分の拡大図である。
続部を示す部分拡大図である。
ためのセンサー保持体21の構造を説明するための図
で、同図(A)は側面図、同図(B)は上面図、同図
(C)は横断面図である。
装着した状態を示す側面図である。
着されたセンサー保持体21およびセンサー11に接続
されたリード線18を内部に含む絶縁スリーブ29が設
けられた状態を示す側断面図である。
体31が装着された状態を示す側面図である。
構造とこれを測定対象流動体が供給されるノズルに装着
した状態を示す断面図である。
図である。
り、射出成形用のノズル部流動樹脂の温度分布を計測し
た一例を示す図で、同図(A)は樹脂の連続可塑化過
程、同図(B)は樹脂の計量可塑化過程における温度分
布を示すグラフである。
Claims (16)
- 【請求項1】 細長い板状の絶縁基板の表面に前記熱電
対を構成する異種導体がパターン形成され前記絶縁基板
の端部に接合部が配列された熱電対センサー素子と、こ
の熱電対センサー素子の前記絶縁基板が挿入されるスリ
ットが軸方向に形成された柱状の本体部およびこの本体
部の一端に設けられ前記本体部のスリットに連続するス
リットが形成されたフランジ部からなるセンサー保持体
と、このセンサー保持体の前記フランジ部に形成され回
転阻止機構と、内部に前記センサー保持体が挿入される
とともに外周面にネジ部が形成され、一端が前記フラン
ジ部に当接するように設けられたネジ筒体とを備えたこ
とを特徴とするプローブ型熱電対温度センサー。 - 【請求項2】 内部に被測定流体用の流路が形成され、
外壁にこの流路に達するネジ穴が形成された流体容器
と、この流体容器の前記ネジ穴に形成された回転阻止機
構とを備え、前記熱電対温度センサーのネジ筒体を前記
流体容器のネジ穴に螺合するとともに、前記フランジ部
の回転阻止機構が前記流体容器の回転阻止機構に係合す
ることにより、前記熱電対温度センサーを前記流体容器
に固定することを特徴とする請求項1記載のプローブ型
熱電対温度センサー。 - 【請求項3】 前記熱電対センサー素子は、その一端が
フランジ部から露出するように前記スリット内に挿入さ
れ、このスリットの長手方向における挿入位置を選択す
ることにより、前記露出端部の長さを調整することがで
きることを特徴とする請求項1記載のプローブ型熱電対
温度センサー。 - 【請求項4】 前記熱電対センサー素子は、前記熱電対
温度センサーが前記流体容器に固定されたとき、前記板
状の絶縁基板面が前記被測定流体の流動方向にほぼ平行
となるように、前記センサー保持体のスリットの方向お
よび前記回転阻止機構の位置が選定されていることを特
徴とする請求項3記載のプローブ型熱電対温度センサ
ー。 - 【請求項5】 前記被測定流体は溶融樹脂であり、前記
流体容器は、内部を溶融樹脂が通過するノズルであるこ
とを特徴とする請求項2記載のプローブ型熱電対温度セ
ンサー。 - 【請求項6】 前記被測定流体は溶融樹脂であり、前記
流体容器は、内部を溶融樹脂が通過するダイであること
を特徴とする請求項2記載のプローブ型熱電対温度セン
サー。 - 【請求項7】 前記被測定流体は溶融樹脂であり、前記
流体容器は、内部に溶融樹脂が供給される金型であるこ
とを特徴とする請求項2記載のプローブ型熱電対温度セ
ンサー。 - 【請求項8】 前記熱電対センサー素子の絶縁基板は、
セラミック基板であり、前記熱電対の接合部は前記セラ
ミック基板の一端部に複数個配列されていることを特徴
とする請求項1記載のプローブ型熱電対温度センサー。 - 【請求項9】 前記セラミック基板面には、前記各熱電
対を構成する異種金属材料からなる複数本の配線パター
ンがその長手方向に延長して形成されており、前記セラ
ミック基板面の他端近傍に設けられたリード線接続端子
を介してリード線が接続されていることを特徴とする請
求項8記載のプローブ型熱電対温度センサー。 - 【請求項10】 前記センサー保持体は、前記スリット
により分離される柱状本体の一部が、前記リード線接続
端子部が設けられているセラミック基板面部分を露出す
るように除去されていることを特徴とする請求項9記載
のプローブ型熱電対温度センサー。 - 【請求項11】 前記センサー保持体は金属により構成
され、前記セラミック基板面は絶縁膜により被覆されて
いることを特徴とする請求項10記載のプローブ型熱電
対温度センサー。 - 【請求項12】 前記センサー保持体の本体部および前
記ネジ筒体間には、前記セラミック基板が挿入された本
体部および前記リード線を内部に含む絶縁スリーブが設
けられていることを特徴とする請求項11記載のプロー
ブ型熱電対温度センサー。 - 【請求項13】 前記フランジ部および前記流体容器の
回転阻止機構は、一方が凸部であり、他方がこの突起が
嵌合する凹部であることを特徴とする請求項2記載のプ
ローブ型熱電対温度センサー。 - 【請求項14】 前記フランジ部は先端が円錐形であ
り、前記流体容器のネジ穴底部は前記円錐形のフランジ
部は先端が嵌合するようにテーパー状に形成されている
ことを特徴とする請求項13記載のプローブ型熱電対温
度センサー。 - 【請求項15】 前記被測定流体は絶縁性の流体である
ことを特徴とする請求項2記載のプローブ型熱電対温度
センサー。 - 【請求項16】 前記ネジ筒体にはその外周の一部にナ
ット部が固定されていることを特徴とする請求項1、
2、13あるいは14のいずれか1項に記載のプローブ
型熱電対温度センサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000319293A JP4706033B2 (ja) | 2000-10-19 | 2000-10-19 | プローブ型熱電対温度センサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000319293A JP4706033B2 (ja) | 2000-10-19 | 2000-10-19 | プローブ型熱電対温度センサー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002131144A true JP2002131144A (ja) | 2002-05-09 |
JP4706033B2 JP4706033B2 (ja) | 2011-06-22 |
Family
ID=18797779
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000319293A Expired - Lifetime JP4706033B2 (ja) | 2000-10-19 | 2000-10-19 | プローブ型熱電対温度センサー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4706033B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010002331A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Arm Denshi:Kk | 熱電対センサ基板及びその製造方法 |
JP2010002332A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Arm Denshi:Kk | 熱電対センサ基板及びその製造方法 |
CN109226701A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-01-18 | 西北民族大学 | 一种铝锭生产混合炉自动测温系统 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020243377A1 (en) * | 2019-05-30 | 2020-12-03 | Lam Research Corporation | Rf immune sensor probe for monitoring a temperature of an electrostatic chuck of a substrate processing system |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2973184B2 (ja) * | 1997-01-14 | 1999-11-08 | 日本精研株式会社 | 温度センサ装置 |
JP2000171308A (ja) * | 1998-09-29 | 2000-06-23 | Denso Corp | 温度センサおよびその製造方法 |
JP2000266609A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-09-29 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 温度センサ |
-
2000
- 2000-10-19 JP JP2000319293A patent/JP4706033B2/ja not_active Expired - Lifetime
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CN109226701A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-01-18 | 西北民族大学 | 一种铝锭生产混合炉自动测温系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4706033B2 (ja) | 2011-06-22 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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