JP4364810B2 - ダイ接合ツールの位置合わせ用装置及び方法 - Google Patents
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Description
12 セラミックファイバー
14 中心シャフト
16 硬化エポキシ樹脂
18 型
20 モールド成型装置
22 基部
24 部片
26 ねじ
28 円形ディスク
32 頂部プレート
40 ポリイミドフィルム
42 印刷回路基板
44、45、46、47 検出領域
48 信号出力端子
50 位置合わせステーション
52 ベースプレート
54 頂部検出プレート
56 ボルト
Claims (19)
- ダイ接合ツールをダイの接触面に位置合わせさせる装置であって、
力センサーと、
複数の別々の導電体を備えた伝達材料と、
を備え、
前記力センサーは前記ダイ接合ツールから間隔を置いて配置された位置合わせステーションに設置され、且つ、前記ダイ接合ツールは位置合わせのために前記位置合わせステーション上に位置決め可能とされており、
前記力センサーは、前記ダイ接合ツールによって生成された力を前記力センサー上で測定するように構成され、
前記力センサーは、互いに離隔された複数の力検出区域を備え、
前記伝達材料は、前記導電体の位置が前記力検出区域の位置と一致するように前記力センサーに連結されており、且つ、
複数の前記力検出区域において検出された出力は、前記複数の導電体に対応したそれぞれの出力端子を介して電子回路に接続されており、
これにより、各力検出区域は、それぞれの力検出区域と接触しているダイ接合ツールの一部分によって加えられる圧縮力にのみ感応し、当該力検出区域と接触していないダイ接合ツールの他の部分によって加えられる圧縮力には感応しないように構成されており、
前記装置は、個々に検出された力の間の相違に応答して、前記ダイ接合ツールの正しい位置合わせ状態からのずれを示す位置合わせ信号を発生する、装置。 - 前記検出区域に働く力を圧電的に検出するために、各検出区域に含まれる圧電セラミック材料から成る集成体を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記伝達材料は、複数の別々の導電体を備えて作製されたポリイミドフィルムである、請求項1に記載の装置。
- 前記力センサーの検出面に連結され、これにより前記力センサーに予荷重を働かせる付勢部材を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記力センサーは前記ダイ接合ツールに連結される、請求項1に記載の装置。
- 前記ダイ接合ツールはコレット組立体を含み、及び
前記力センサーは前記コレット組立体に連結され、
これにより、各検出区域は、接合面上で前記ダイ接合ツールによって圧縮力を加える際に、前記コレット組立体の一部に作用する反力を検出するように構成される、請求項5に記載の装置。 - 前記力センサーは、前記コレット組立体の軸線に関し、前記コレット組立体と前記接合面との間の接触点とは反対側で前記コレット組立体に連結される、請求項6に記載の装置。
- 前記コレット組立体は、前記力センサーに予荷重を働かせる、請求項6に記載の装置。
- 前記力センサーは、中空の中央部を備えるリング形態をなし、且つ、前記力センサーは、前記リングの前記検出区域内に前記圧電セラミック材料から成る集成体を備えた、請求項2に記載の装置。
- 各検出領域は等しいサイズとされている、請求項1に記載の装置。
- ダイ接合ツールをダイの接触面に位置合わせする方法であって、
力センサーと、複数の別々の導電体を備えた伝達材料と、を準備する段階と、
前記力センサーを、前記ダイ接合ツールから間隔を置いて配置された位置合わせステーションに設置し、且つ、前記ダイ接合ツールを、位置合わせのために前記位置合わせステーション上に位置決め可能とする段階と、
を備え、
前記力センサーは、前記ダイ接合ツールによって生成された力を前記力センサー上で測定するように構成され、
前記力センサーは、互いに離隔された複数の力検出区域を備え、
前記伝達材料は、前記導電体の位置が前記力検出区域の位置と一致するように前記力センサーに連結されており、且つ、
複数の前記力検出区域において検出された出力は、前記複数の導電体に対応したそれぞれの出力端子を介して電子回路に接続されており、これにより、各力検出区域は、それぞれの力検出区域と接触しているダイ接合ツールの一部分によって加えられる圧縮力にのみ感応し、当該力検出区域と接触していないダイ接合ツールの他の部分によって加えられる圧縮力には感応しないように構成された、方法において、
前記力センサーをして、個々に検出された力の間の相違に応答して、前記ダイ接合ツールの正しい位置合わせ状態からのずれを示す位置合わせ信号を発生させる段階と、
前記ダイ接合ツールをして前記力センサー上に力を生成せしめる段階と、
前記ダイ接合ツールによって前記力センサー上に生成された力を測定する段階と、
各検出区域によって測定された力の量に基づいて、前記ダイの前記接触面への前記ダイ接合ツールの位置合わせを調節する段階と、
を備える方法。 - 前記検出区域内に圧電素子セラミック材料から成る集成体を設置することによって各検出区域に働く力を圧電的に検出する段階を含む、請求項11に記載の方法。
- 付勢部材を使用して前記力センサーに予荷重を働かせる段階を含む、請求項11に記載の方法。
- 前記力センサーは前記ダイ接合ツールに接続される、請求項11に記載の方法。
- 前記ダイ接合ツールはコレット組立体を含み、及び
前記ダイ接合ツールによる圧縮力を接合面に加える際に、各検出区域が前記コレット組立体の一部に作用する反力の量を検出するように、前記力センサーが前記コレット組立体に連結される、請求項14に記載の方法。 - 前記力センサーを、前記コレット組立体の軸線に関し、前記コレット組立体と前記接合面との間の接触点とは反対側で前記コレット組立体に連結する段階を含む、請求項15に記載の方法。
- 前記コレット組立体を使用して前記力センサーに予荷重を働かせる段階を含む、請求項15に記載の方法。
- 各検出区域の検出領域は、前記ダイ接合ツールと前記力センサーとの間の接触面積よりも全体として小さい、請求項1に記載の装置。
- 各検出区域はセラミックファイバーの束から成り、各束の一端は作動の際に前記ダイ接合ツールと係合するように位置決めされ、
各束の検出領域は、前記ダイ接合ツールの、前記力センサーとの全接触領域よりも全体として小さい、請求項1に記載の装置。
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