JP2005210128A - 接合装置の整合用装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の力検出区域を有する力センサーは力センサー上の接合ツールによって生成される力を測定するために形状構成される。各検出区域は、該検出区域に作用する接合ツールの一部から或る量の力を別々に検出するように構成される。その結果、接合ツールの整合を測定し得る。
【選択図】 図5
Description
12 セラミックファイバー
14 中心シャフト
16 硬化エポキシ樹脂
18 型
20 モールド成型装置
22 基部
24 部片
26 ねじ
28 円形ディスク
32 頂部プレート
40 ポリイミドフィルム
42 印刷回路基板
44、45、46、47 検出領域
48 信号出力端子
50 整合ステーション
52 ベースプレート
54 頂部検出プレート
56 ボルト
Claims (23)
- 接合ツールを整合させる装置であって、
力センサーを備え、
前記力センサーは、該力センサー上の前記接合ツールによって生成される力を測定するように形状構成され、
前記力センサーは複数の力検出区域を備え、
各検出区域は該検出区域上の前記接合ツールの一部から或る量を別々に検出するように構成される装置。 - 前記検出区域に働く力を圧電素子で検出するために各検出区域に含まれる圧電セラミック材料から成る集成体を含む、請求項1に記載の装置。
- 前記力センサーに連結された複数の別々の導電体を備え、
前記導電体の位置が前記力検出区域と、それぞれの出力端子に対する各々それぞれの検出区域によって生じるチャンネル電流と、の位置に一致する、請求項1に記載の装置。 - 前記伝達材料は、前記出力端子が各検出区域によって生じる電流を測定するために接続された電子回路に連結される、請求項3に記載の装置。
- 前記伝達材料は、複数の別々の導電体によって組立製造されたポリイミドフィルムである、請求項3に記載の装置。
- 前記力センサーは前記接合ツールから間隔を置いて配置された整合ステーションに設置され、及び
前記接合ツールは整合のために前記整合ステーション上に位置決め可能である、請求項1に記載の装置。 - 前記力センサーの検出面に連結され、これにより前記力センサーに予荷重を働かせるバイアス部材を含む、請求項6に記載の装置。
- 前記力センサーは前記接合ツールに連結される、請求項14に記載の装置。
- 前記接合ツールはコレット組立体を含み、及び
前記力センサーは前記コレット組立体に連結され、
これにより、各検出区域は、接合面上の前記接合ツールによって力を加える際に前記コレット組立体の一部に作用する反力を検出するように構成される、請求項8に記載の装置。 - 前記力センサーは、前記コレット組立体と前記接合面との間の接触点と軸線方向で反対側の前記コレット組立体に連結される、請求項9に記載の装置。
- 前記コレット組立体は、前記力センサーに予荷重を働かせる、請求項9に記載の装置。
- 前記力センサーは、中空の中央部を備える、請求項1に記載の装置。
- 各検出領域は実質的に等しい寸法をしている、請求項1に記載の装置。
- 接合ツールを整合させる方法であって、
複数の力検出区域を備え、各検出区域は該検出区域に作用する前記接合ツールの一部から或る量の力を別々に検出するように構成される力センサーを供する段階と、
前記接合ツールをして前記力センサー上に力を生成せしめる段階と、
前記接合ツールによって前記力センサー上に生成された力を測定する段階と、
各検出区域によって測定された力の量に基づいて前記接合ツールの整合を調節する段階と、を備える方法。 - 前記検出区域内に圧電素子セラミック材料から成る集成体を設置することによって各検出区域に働く力を圧電素子で検出する段階を含む、請求項14に記載の方法。
- 各々それぞれの検出区域によって生じる電流を別々に処理のためにそれぞれの出力端子に伝達する、請求項14に記載の方法。
- 前記出力端子を電子回路に接続することによって各検出区域で生じた電流を測定する段階を含む、請求項16に記載の方法。
- 前記力センサーが整合ぼために設置されるところで、前記接合ツールから間隔を置いて配置された整合ステーション上に前記接合ツールを位置決めする段階を含む、請求項14に記載の方法。
- バイアス部材を使用して前記力センサーに予荷重を働かせる段階を含む、請求18に記載の方法。
- 前記力センサーは前記接合ツールに接続される、請求項14に記載の方法。
- 前記接合ツールはコレット組立体を含み、及び
前記接合ツールによる力を面に加える際に、各検出区域が前記コレット組立体の一部に作用する反力の量を検出するように、前記力センサーが前記コレット組立体に連結される、請求項20に記載の装置。 - 前記力センサーを、前記コレット組立体と前記接合面との間の接触点と軸線方向で反対側の前記コレット組立体に連結する段階を含む、請求項21に記載の方法。
- 前記コレット組立体を使用して前記力センサーに予荷重を働かせる段階を含む、請求21に記載の方法。
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