JP2002129306A - 分散強化された複合硬質膜およびこれを被覆した工具 - Google Patents
分散強化された複合硬質膜およびこれを被覆した工具Info
- Publication number
- JP2002129306A JP2002129306A JP2000325461A JP2000325461A JP2002129306A JP 2002129306 A JP2002129306 A JP 2002129306A JP 2000325461 A JP2000325461 A JP 2000325461A JP 2000325461 A JP2000325461 A JP 2000325461A JP 2002129306 A JP2002129306 A JP 2002129306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dispersed particles
- hard film
- dispersion
- composite
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＰＶＤ法で作製される（ＴｉＡｌ）Ｎ硬質膜
に関し、（ＴｉＡｌ）Ｎ系膜の素地中に、この素地組成
とは金属成分あるいは非金属成分の量が異なる別組成の
（ＴｉＡｌ）Ｎ系微粒子を分散させることによって、寿
命を大幅に延長できる分散強化された複合硬質膜の提供
を目的とする。 【構成】 基材表面に１μｍ以上の厚みで（ＴｉＡｌ）
Ｎ系の複合膜が被覆されており、該複合層は少なくとも
１成分元素が５原子％以上異なる素地と分散粒子とから
なり、該分散粒子は平均粒子径が０．０１〜１μｍ、素
地に対する含有量が２〜５０体積％である。 【効果】 従来の（ＴｉＡｌ）Ｎ硬質膜よりも、硬質膜
の強度，靱性，耐摩耗性，耐溶着性，耐酸化性などが向
上するので、チップ，ドリル，エンドミルに代表される
切削工具、金型，切断刃などの耐摩耗用工具に使用する
と寿命延長が図れる。
に関し、（ＴｉＡｌ）Ｎ系膜の素地中に、この素地組成
とは金属成分あるいは非金属成分の量が異なる別組成の
（ＴｉＡｌ）Ｎ系微粒子を分散させることによって、寿
命を大幅に延長できる分散強化された複合硬質膜の提供
を目的とする。 【構成】 基材表面に１μｍ以上の厚みで（ＴｉＡｌ）
Ｎ系の複合膜が被覆されており、該複合層は少なくとも
１成分元素が５原子％以上異なる素地と分散粒子とから
なり、該分散粒子は平均粒子径が０．０１〜１μｍ、素
地に対する含有量が２〜５０体積％である。 【効果】 従来の（ＴｉＡｌ）Ｎ硬質膜よりも、硬質膜
の強度，靱性，耐摩耗性，耐溶着性，耐酸化性などが向
上するので、チップ，ドリル，エンドミルに代表される
切削工具、金型，切断刃などの耐摩耗用工具に使用する
と寿命延長が図れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、チップ，ドリル，エン
ドミルに代表される切削工具、金型，切断刃などの耐摩
耗用工具に使用される窒化チタン・アルミニウム系の硬
質膜に関し、具体的には、ＰＶＤ法で作製される（Ｔｉ
Ａｌ）Ｎの素地膜中に、この素地組成とは金属成分ある
いは非金属成分の量が異なる（ＴｉＡｌ）Ｎの微粒子を
分散させていることにより、硬質膜の強度，靱性，耐摩
耗性，耐溶着性，耐酸化性などを向上させて寿命を大幅
に延長した分散強化された複合硬質膜に関する。
ドミルに代表される切削工具、金型，切断刃などの耐摩
耗用工具に使用される窒化チタン・アルミニウム系の硬
質膜に関し、具体的には、ＰＶＤ法で作製される（Ｔｉ
Ａｌ）Ｎの素地膜中に、この素地組成とは金属成分ある
いは非金属成分の量が異なる（ＴｉＡｌ）Ｎの微粒子を
分散させていることにより、硬質膜の強度，靱性，耐摩
耗性，耐溶着性，耐酸化性などを向上させて寿命を大幅
に延長した分散強化された複合硬質膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＰＶＤ法により被覆された（ＴｉＡｌ）
Ｎ系硬質被膜が切削工具や耐摩耗工具・部品に幅広く使
用されおり、寿命延長のために種々の改良が最近でも行
われている。改良に関わる従来技術として、組成限定、
他金属元素を添加、複合化（他相分散）などの施策があ
る。組成限定したものに特開平２−１９４１５９号公
報、他金属元素を添加したものに特開平３−１２０３５
４号公報，特開平４−１２８３６２号公報、複合化した
ものに特開平１０−２５１８３１号公報などがある。
Ｎ系硬質被膜が切削工具や耐摩耗工具・部品に幅広く使
用されおり、寿命延長のために種々の改良が最近でも行
われている。改良に関わる従来技術として、組成限定、
他金属元素を添加、複合化（他相分散）などの施策があ
る。組成限定したものに特開平２−１９４１５９号公
報、他金属元素を添加したものに特開平３−１２０３５
４号公報，特開平４−１２８３６２号公報、複合化した
ものに特開平１０−２５１８３１号公報などがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】まず、特開平２−１９
４１５９号公報には、（ＡｌｘＴｉ１−ｘ）（ＮｙＣ１
−ｙ）において０．５６≦ｘ≦０．７５、０．６≦ｙ≦
１で示される化学式からなる厚さ０．８〜１０μｍの硬
質膜を被覆した耐摩耗性被膜被覆部材が記載されてい
る。本公報記載の（ＴｉＡｌ）Ｎ膜は、Ａｌを高含有さ
せることによって被膜の硬さ，耐摩耗性，耐酸化性の向
上を狙ったものではあるが、被膜の強度や靱性が低下す
るために使用条件が限定されると言う問題がある。
４１５９号公報には、（ＡｌｘＴｉ１−ｘ）（ＮｙＣ１
−ｙ）において０．５６≦ｘ≦０．７５、０．６≦ｙ≦
１で示される化学式からなる厚さ０．８〜１０μｍの硬
質膜を被覆した耐摩耗性被膜被覆部材が記載されてい
る。本公報記載の（ＴｉＡｌ）Ｎ膜は、Ａｌを高含有さ
せることによって被膜の硬さ，耐摩耗性，耐酸化性の向
上を狙ったものではあるが、被膜の強度や靱性が低下す
るために使用条件が限定されると言う問題がある。
【０００４】次に、特開平３−１２０３５４号公報に
は、第１層：ＴｉＮ、第２層：（ＴｉＡｌＶ）Ｎ，（Ｔ
ｉＡｌＶ）Ｃ，（ＴｉＡｌＶ）（ＣＮ）からなる切削・
耐摩耗用表面被覆部材が、また特開平４−１２８３６２
号公報には、（Ｔｉ１−ｘ−ｙＡｌｘＣｒｙ）Ｎを被覆
した複合部材が記載されている。これら両公報に記載さ
れた（ＴｉＡｌ）Ｎ系膜は、ＶあるいはＣｒの添加によ
り膜の強度，靱性，耐溶着性が改善されるものの、硬さ
や耐摩耗性が低下すると言う問題がある。
は、第１層：ＴｉＮ、第２層：（ＴｉＡｌＶ）Ｎ，（Ｔ
ｉＡｌＶ）Ｃ，（ＴｉＡｌＶ）（ＣＮ）からなる切削・
耐摩耗用表面被覆部材が、また特開平４−１２８３６２
号公報には、（Ｔｉ１−ｘ−ｙＡｌｘＣｒｙ）Ｎを被覆
した複合部材が記載されている。これら両公報に記載さ
れた（ＴｉＡｌ）Ｎ系膜は、ＶあるいはＣｒの添加によ
り膜の強度，靱性，耐溶着性が改善されるものの、硬さ
や耐摩耗性が低下すると言う問題がある。
【０００５】さらに、特開平１０−２５１８３１号公報
には、（ＴｉＡｌＭ）Ｎ，（ＴｉＡｌＭ）ＣＮ（但し、
ＭはＴｉを除く周期律表の４ａ，５ａ，６ａ族元素）の
加熱酸化層から構成され、構成層は（ＴｉＡｌＭ）ＮＯ
または（ＴｉＡｌＭ）ＣＮＯからなる素地に微細なＴｉ
酸化物とＡｌ酸化物とＭ酸化物が分散分布した組織を有
する耐摩耗性にすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具が
記載されている。本公報記載の酸化物分散膜は、酸化物
分散による耐摩耗性と膜強度の改善を狙ったものではあ
るが、酸化で形成される素地の酸窒化物や酸炭窒化物は
脆弱で格子欠陥が多いために、膜の強度や靱性が低下し
てチッピングや剥離を起こし易いと言う問題がある。
には、（ＴｉＡｌＭ）Ｎ，（ＴｉＡｌＭ）ＣＮ（但し、
ＭはＴｉを除く周期律表の４ａ，５ａ，６ａ族元素）の
加熱酸化層から構成され、構成層は（ＴｉＡｌＭ）ＮＯ
または（ＴｉＡｌＭ）ＣＮＯからなる素地に微細なＴｉ
酸化物とＡｌ酸化物とＭ酸化物が分散分布した組織を有
する耐摩耗性にすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具が
記載されている。本公報記載の酸化物分散膜は、酸化物
分散による耐摩耗性と膜強度の改善を狙ったものではあ
るが、酸化で形成される素地の酸窒化物や酸炭窒化物は
脆弱で格子欠陥が多いために、膜の強度や靱性が低下し
てチッピングや剥離を起こし易いと言う問題がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、長年に亘
り、長寿命を発揮する（ＴｉＡｌ）Ｎ系硬質膜について
検討していた所、（ＴｉＡｌ）Ｎ系相の素地中に、組成
の異なる他の（ＴｉＡｌ）Ｎ系相が分散粒子となる複合
構造にすると、素地と分散粒子が同種の結晶構造である
ために結合強度が高く、かつ組成の異なる素地と分散粒
子のそれぞれに硬さ，靱性，強度，耐摩耗性，耐酸化
性，耐溶着性，耐熱性などの要求特性を分担させること
が可能であるためシナジ効果が発揮されると言う知見を
得て本発明を完成するに至ったものである。
り、長寿命を発揮する（ＴｉＡｌ）Ｎ系硬質膜について
検討していた所、（ＴｉＡｌ）Ｎ系相の素地中に、組成
の異なる他の（ＴｉＡｌ）Ｎ系相が分散粒子となる複合
構造にすると、素地と分散粒子が同種の結晶構造である
ために結合強度が高く、かつ組成の異なる素地と分散粒
子のそれぞれに硬さ，靱性，強度，耐摩耗性，耐酸化
性，耐溶着性，耐熱性などの要求特性を分担させること
が可能であるためシナジ効果が発揮されると言う知見を
得て本発明を完成するに至ったものである。
【０００７】本発明の分散強化された複合硬質膜は、基
材表面に１〜２０μｍ厚みでなるでなる単層あるいは多
層に被覆した硬質膜において、少なくとも１層はチタン
とアルミニウムの複合窒化物を主成分とする２種以上の
立方晶化合物からなる１μｍ以上の厚みの複合層であ
り、該複合層は１種以上の該立方晶化合物を素地とし、
他の１種以上の該立方晶化合物を分散粒子とし、該分散
粒子は平均粒子径が０．０１〜１μｍ、該素地に対する
含有量が２〜５０体積％であり、かつ素地と分散粒子に
おける該立方晶化合物の少なくとも１成分元素が５原子
％以上異なることを特徴とするものである。
材表面に１〜２０μｍ厚みでなるでなる単層あるいは多
層に被覆した硬質膜において、少なくとも１層はチタン
とアルミニウムの複合窒化物を主成分とする２種以上の
立方晶化合物からなる１μｍ以上の厚みの複合層であ
り、該複合層は１種以上の該立方晶化合物を素地とし、
他の１種以上の該立方晶化合物を分散粒子とし、該分散
粒子は平均粒子径が０．０１〜１μｍ、該素地に対する
含有量が２〜５０体積％であり、かつ素地と分散粒子に
おける該立方晶化合物の少なくとも１成分元素が５原子
％以上異なることを特徴とするものである。
【０００８】本発明の分散強化された複合硬質膜を被覆
した工具における基材は、具体的には、ＷＣ−Ｃｏ系，
ＷＣ−（ＷＴｉＴａ）Ｃ−Ｃｏ系，ＷＣ−ＴａＣ−Ｃｏ
系に代表される超硬合金、ＴｉＣ−Ｍｏ−Ｎｉ系，Ｔｉ
ＣＮ−ＷＣ−ＴａＣ−Ｎｉ−Ｃｏ系などのサーメット、
Ａｌ2Ｏ3系，Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＣ系，Ｓｉ3Ｎ4系などのセ
ラミックス、立方晶窒化ホウ素とＣｏ，Ａｌなどの金属
あるいはＴｉＮ，ＴｉＣ，ＷＣなどのセラミックス成分
との超高圧焼結による焼結体や高速度鋼，工具鋼，金型
鋼など硬質鋼を挙げることができる。
した工具における基材は、具体的には、ＷＣ−Ｃｏ系，
ＷＣ−（ＷＴｉＴａ）Ｃ−Ｃｏ系，ＷＣ−ＴａＣ−Ｃｏ
系に代表される超硬合金、ＴｉＣ−Ｍｏ−Ｎｉ系，Ｔｉ
ＣＮ−ＷＣ−ＴａＣ−Ｎｉ−Ｃｏ系などのサーメット、
Ａｌ2Ｏ3系，Ａｌ2Ｏ3−ＴｉＣ系，Ｓｉ3Ｎ4系などのセ
ラミックス、立方晶窒化ホウ素とＣｏ，Ａｌなどの金属
あるいはＴｉＮ，ＴｉＣ，ＷＣなどのセラミックス成分
との超高圧焼結による焼結体や高速度鋼，工具鋼，金型
鋼など硬質鋼を挙げることができる。
【０００９】本発明の分散強化された複合硬質膜は、具
体的には、（ＴｉＡｌ）Ｎ＊（ＴｉＡｌ）Ｎの単層ある
いは下層からＴｉＮ／（ＴｉＡｌ）Ｎ＊（ＴｉＡｌ）
（ＣＮ）／ＴｉＮ，ＴｉＣＮ／（ＴｉＡｌ）Ｎ＊（Ｔｉ
ＡｌＺｒ）Ｎ，ＴｉＮ／（ＴｉＡｌＣｒ）Ｎ＊（ＴｉＡ
ｌＨｆ）（ＣＮ）／Ａｌ2Ｏ3などの多層を挙げることが
できる。ここで、Ａ＊Ｂの記号は、Ａ素地にＢ粒子が分
散した複合層を表し、Ａ，Ｂとも立方晶構造を有するチ
タンとアルミニウムの複合窒化物を主成分とするもので
ある。
体的には、（ＴｉＡｌ）Ｎ＊（ＴｉＡｌ）Ｎの単層ある
いは下層からＴｉＮ／（ＴｉＡｌ）Ｎ＊（ＴｉＡｌ）
（ＣＮ）／ＴｉＮ，ＴｉＣＮ／（ＴｉＡｌ）Ｎ＊（Ｔｉ
ＡｌＺｒ）Ｎ，ＴｉＮ／（ＴｉＡｌＣｒ）Ｎ＊（ＴｉＡ
ｌＨｆ）（ＣＮ）／Ａｌ2Ｏ3などの多層を挙げることが
できる。ここで、Ａ＊Ｂの記号は、Ａ素地にＢ粒子が分
散した複合層を表し、Ａ，Ｂとも立方晶構造を有するチ
タンとアルミニウムの複合窒化物を主成分とするもので
ある。
【００１０】本発明の分散強化された複合硬質膜は、複
合層も含めて１〜２０μｍ厚みでなり、１μｍ未満では
硬質膜による耐摩耗性の改善が少なく、逆に２０μｍを
超えて厚くなると強度や耐欠損性の低下が著しい。ま
た、複合層の厚みは、１μｍ未満では耐摩耗性に劣る。
合層も含めて１〜２０μｍ厚みでなり、１μｍ未満では
硬質膜による耐摩耗性の改善が少なく、逆に２０μｍを
超えて厚くなると強度や耐欠損性の低下が著しい。ま
た、複合層の厚みは、１μｍ未満では耐摩耗性に劣る。
【００１１】本発明の分散強化された複合硬質膜中の複
合層は、チタンとアルミニウムの複合窒化物を主成分と
する２種以上の立方晶化合物からなり、１種以上の立方
晶化合物を素地とし、他の１種以上の立方晶化合物を分
散粒子とするもので、素地と分散粒子における立方晶化
合物の少なくとも１成分元素が５原子％以上異なる。素
地と分散粒子の成分元素差が５原子％未満では、分散粒
子による膜特性改善のシナジ効果が少ない。逆に、例え
ば２５原子％を超えて大きくなると、Ｔｉ−Ａｌ合金，
ＡｌＮなど非立方晶化合物の析出、組成差による素地と
分散粒子との格子ミスマッチなどによる強度低下が著し
い。
合層は、チタンとアルミニウムの複合窒化物を主成分と
する２種以上の立方晶化合物からなり、１種以上の立方
晶化合物を素地とし、他の１種以上の立方晶化合物を分
散粒子とするもので、素地と分散粒子における立方晶化
合物の少なくとも１成分元素が５原子％以上異なる。素
地と分散粒子の成分元素差が５原子％未満では、分散粒
子による膜特性改善のシナジ効果が少ない。逆に、例え
ば２５原子％を超えて大きくなると、Ｔｉ−Ａｌ合金，
ＡｌＮなど非立方晶化合物の析出、組成差による素地と
分散粒子との格子ミスマッチなどによる強度低下が著し
い。
【００１２】ここで、複合層における素地および複合層
以外における硬質膜の組織は、具体的には、０．１〜２
μｍ程度の柱状結晶（膜表面に向かって柱状に成長）あ
るいは粒状結晶からなるものであり、場合によっては未
反応の金属Ｔｉ，Ｔｉ−Ａｌ合金などのマイクロパーテ
ィクル（ドロップレット）や異常成長した柱状結晶も含
まれる。一方、複合層における分散粒子はほぼ球形で、
均一な粒状結晶からなる組織を有するものである。分散
粒子の平均粒子径は０．０１〜１μｍであり、０．０１
μｍ未満では膜組織が均一に近づくために、逆に１μｍ
を超えて大きくなると膜組織が著しく不均一となるため
に、粒子分散による膜特性改善のシナジ効果が失われ
る。また、分散粒子の素地に対する含有量は２〜５０体
積％であり、２体積％未満は分散粒子の効果が少なく、
逆に５０体積％を超えて多くなると素地の持つ特性が失
われ、いずれも膜特性改善のシナジ効果が発揮できな
い。
以外における硬質膜の組織は、具体的には、０．１〜２
μｍ程度の柱状結晶（膜表面に向かって柱状に成長）あ
るいは粒状結晶からなるものであり、場合によっては未
反応の金属Ｔｉ，Ｔｉ−Ａｌ合金などのマイクロパーテ
ィクル（ドロップレット）や異常成長した柱状結晶も含
まれる。一方、複合層における分散粒子はほぼ球形で、
均一な粒状結晶からなる組織を有するものである。分散
粒子の平均粒子径は０．０１〜１μｍであり、０．０１
μｍ未満では膜組織が均一に近づくために、逆に１μｍ
を超えて大きくなると膜組織が著しく不均一となるため
に、粒子分散による膜特性改善のシナジ効果が失われ
る。また、分散粒子の素地に対する含有量は２〜５０体
積％であり、２体積％未満は分散粒子の効果が少なく、
逆に５０体積％を超えて多くなると素地の持つ特性が失
われ、いずれも膜特性改善のシナジ効果が発揮できな
い。
【００１３】本発明の分散強化された複合硬質膜中の複
合層の組成は、素地が（ＴｉａＡｌ１−ａ）Ｎｘ、分散
粒子が（ＴｉｂＡｌ１−ｂ）Ｎｙで表される場合に、
０．３０≦ａおよびｂ≦０．９５、０．７０≦ｘおよび
ｙ≦１．００で、かつｂ及び／又はｙが、ｂ≦ａ−０．
１０あるいはｂ≧ａ＋０．１０、ｙ≦ｘ−０．１０ある
いはｙ≧ｘ＋０．１０を満足すると、複合層の素地と分
散粒子のそれぞれに硬さ，靱性，強度，耐摩耗性，耐酸
化性，耐溶着性，耐熱性などを分担させることによりシ
ナジ効果が発揮できるので好ましい。例えば、ｂ≦ａ−
０．１０あるいはｙ≧ｘ＋０．１０を満足すると、分散
粒子の硬さ，耐酸化性が向上するので、結果として耐摩
耗性，耐溶着性などが著しく改善される。
合層の組成は、素地が（ＴｉａＡｌ１−ａ）Ｎｘ、分散
粒子が（ＴｉｂＡｌ１−ｂ）Ｎｙで表される場合に、
０．３０≦ａおよびｂ≦０．９５、０．７０≦ｘおよび
ｙ≦１．００で、かつｂ及び／又はｙが、ｂ≦ａ−０．
１０あるいはｂ≧ａ＋０．１０、ｙ≦ｘ−０．１０ある
いはｙ≧ｘ＋０．１０を満足すると、複合層の素地と分
散粒子のそれぞれに硬さ，靱性，強度，耐摩耗性，耐酸
化性，耐溶着性，耐熱性などを分担させることによりシ
ナジ効果が発揮できるので好ましい。例えば、ｂ≦ａ−
０．１０あるいはｙ≧ｘ＋０．１０を満足すると、分散
粒子の硬さ，耐酸化性が向上するので、結果として耐摩
耗性，耐溶着性などが著しく改善される。
【００１４】また、素地が（ＴｉｃＡｌｄＭｅ）（Ｃｍ
Ｎ１−ｍ）ｖ、分散粒子が（ＴｉｆＡｌｇＭｈ）（Ｃｎ
Ｎ１−ｎ）ｗで表される場合（但し、ＭはＴｉを除く周
期律表の４ａ，５ａ，６ａ族元素）に、０．３０≦ｃお
よびｆ≦０．９５、０．０５≦ｄおよびｇ≦０．７０、
０＜ｅおよびｈ≦０．３０、０＜ｍおよびｎ＜０．５
０、０．７０≦ｖおよびｗ≦１．００で、かつｆ，ｇ，
ｈ，ｎおよびｗの中の少なくとも１つが、ｆ≦ｃ−０．
１０あるいはｆ≧ｃ＋０．１０、ｇ≦ｄ−０．１０ある
いはｇ≧ｄ＋０．１０、ｈ≦ｅ−０．１０あるいはｈ≧
ｅ＋０．１０、ｎ≦ｍ−０．１０あるいはｎ≧ｍ＋０．
１０、ｗ≦ｖ−０．１０あるいはｗ≧ｖ＋０．１０を満
足すると、上述と同様のシナジ効果が発揮できるので好
ましい。例えば、ｎ≦ｍ−０．１０あるいはｗ≦ｖ−
０．１０を満足するすると、分散粒子の強度，靱性が向
上するので、結果として耐欠損性，耐チッピング性が著
しく改善される。
Ｎ１−ｍ）ｖ、分散粒子が（ＴｉｆＡｌｇＭｈ）（Ｃｎ
Ｎ１−ｎ）ｗで表される場合（但し、ＭはＴｉを除く周
期律表の４ａ，５ａ，６ａ族元素）に、０．３０≦ｃお
よびｆ≦０．９５、０．０５≦ｄおよびｇ≦０．７０、
０＜ｅおよびｈ≦０．３０、０＜ｍおよびｎ＜０．５
０、０．７０≦ｖおよびｗ≦１．００で、かつｆ，ｇ，
ｈ，ｎおよびｗの中の少なくとも１つが、ｆ≦ｃ−０．
１０あるいはｆ≧ｃ＋０．１０、ｇ≦ｄ−０．１０ある
いはｇ≧ｄ＋０．１０、ｈ≦ｅ−０．１０あるいはｈ≧
ｅ＋０．１０、ｎ≦ｍ−０．１０あるいはｎ≧ｍ＋０．
１０、ｗ≦ｖ−０．１０あるいはｗ≧ｖ＋０．１０を満
足すると、上述と同様のシナジ効果が発揮できるので好
ましい。例えば、ｎ≦ｍ−０．１０あるいはｗ≦ｖ−
０．１０を満足するすると、分散粒子の強度，靱性が向
上するので、結果として耐欠損性，耐チッピング性が著
しく改善される。
【００１５】本発明の分散強化された複合硬質膜中の複
合層の組成は、上記化学式で表した場合に、素地が０．
９５≦ｘ≦１．００又は０．９５≦ｖ≦１．００で、か
つ分散粒子が０．７０≦ｙ＜０．９０又は０．７０≦ｗ
＜０．９０を満足すると、分散粒子の強度，靱性が向上
するので、結果として耐欠損性，耐チッピング性が著し
く改善されるのでさらに好ましい。また、素地が０．５
０≦ａ≦０．８０又は０．５０≦ｃ≦０．８０で、かつ
分散粒子が０．３０≦ｂ≦０．６０又は０．３０≦ｆ≦
０．６０を満足すると、分散粒子が高Ａｌ含有となって
硬さ，耐酸化性が向上するので、結果として耐摩耗性，
耐溶着性などがさらに改善されるので好ましい。次に、
ＭがＺｒ，Ｈｆ，Ｖの中の１種以上であり、素地が０＜
ｅ≦０．１０で、かつ分散粒子が０．１＜ｈ≦０．３０
を満足すると、分散粒子にＺｒ，Ｈｆ，Ｖが多く含有さ
れるので、硬さ，耐摩耗性がさらに改善されるので好ま
しい。さらに、素地が０＜ｍ≦０．１０で、かつ分散粒
子が０．１＜ｎ≦０．５０をを満足すると、分散粒子が
高炭素となって硬さが向上し、結果として耐摩耗性さら
に改善されるので好ましい。
合層の組成は、上記化学式で表した場合に、素地が０．
９５≦ｘ≦１．００又は０．９５≦ｖ≦１．００で、か
つ分散粒子が０．７０≦ｙ＜０．９０又は０．７０≦ｗ
＜０．９０を満足すると、分散粒子の強度，靱性が向上
するので、結果として耐欠損性，耐チッピング性が著し
く改善されるのでさらに好ましい。また、素地が０．５
０≦ａ≦０．８０又は０．５０≦ｃ≦０．８０で、かつ
分散粒子が０．３０≦ｂ≦０．６０又は０．３０≦ｆ≦
０．６０を満足すると、分散粒子が高Ａｌ含有となって
硬さ，耐酸化性が向上するので、結果として耐摩耗性，
耐溶着性などがさらに改善されるので好ましい。次に、
ＭがＺｒ，Ｈｆ，Ｖの中の１種以上であり、素地が０＜
ｅ≦０．１０で、かつ分散粒子が０．１＜ｈ≦０．３０
を満足すると、分散粒子にＺｒ，Ｈｆ，Ｖが多く含有さ
れるので、硬さ，耐摩耗性がさらに改善されるので好ま
しい。さらに、素地が０＜ｍ≦０．１０で、かつ分散粒
子が０．１＜ｎ≦０．５０をを満足すると、分散粒子が
高炭素となって硬さが向上し、結果として耐摩耗性さら
に改善されるので好ましい。
【００１６】本発明の分散強化された複合硬質膜の製造
方法は、装置として具体的には、２極以上のターゲット
が着装可能なイオンプレーティング装置，アークイオン
プレーティング装置，スパッター装置やこれらが併用可
能な装置が挙げられ、被覆条件として、１極のターゲッ
トで複合層の素地膜を被覆しながら、他のターゲットで
マイクロパーティクルを発生被覆する方法が挙げられ
る。素地および分散粒子の組成を制御するには、具体的
には、素地と分散粒子を被覆する際のＴｉ−Ａｌ系合金
ターゲットの組成や交互被覆の際のガス組成を変化させ
ることが、分散粒子の量を制御するには、間歇的にマイ
クロパーティクルを発生させる際の時間が挙げられる。
方法は、装置として具体的には、２極以上のターゲット
が着装可能なイオンプレーティング装置，アークイオン
プレーティング装置，スパッター装置やこれらが併用可
能な装置が挙げられ、被覆条件として、１極のターゲッ
トで複合層の素地膜を被覆しながら、他のターゲットで
マイクロパーティクルを発生被覆する方法が挙げられ
る。素地および分散粒子の組成を制御するには、具体的
には、素地と分散粒子を被覆する際のＴｉ−Ａｌ系合金
ターゲットの組成や交互被覆の際のガス組成を変化させ
ることが、分散粒子の量を制御するには、間歇的にマイ
クロパーティクルを発生させる際の時間が挙げられる。
【００１７】
【作用】本発明の分散強化された複合硬質膜は、複合層
中の素地と分散粒子とが強度，靱性，耐摩耗性，耐溶着
性，耐酸化性などの特性の一部をそれぞれに向上させる
作用をし、素地と分散粒子に分担された各特性が複合層
となることによってシナジ効果を発揮する作用をし、複
合層が硬質膜全体を改善する作用をしているものであ
る。
中の素地と分散粒子とが強度，靱性，耐摩耗性，耐溶着
性，耐酸化性などの特性の一部をそれぞれに向上させる
作用をし、素地と分散粒子に分担された各特性が複合層
となることによってシナジ効果を発揮する作用をし、複
合層が硬質膜全体を改善する作用をしているものであ
る。
【００１８】
【実施例１】基材として、８２ＷＣ−４ＴｉＣ−６Ｔａ
Ｃ−８Ｃｏ（重量％）の組成からなるＩＳＯ規格でＳＮ
ＧＮ１２０４０８の超硬チップ基材を用意し、硬質被膜
の被覆装置として、４極のターゲット着装が可能なアー
クイオンプレーティング装置を使用した。まず、基材チ
ップを装置内に挿入して約１×１０-3Ｐａの真空とした
後、７７３Ｋに加熱してＡｒガスを導入しながら約０．
１Ｐａとし、−６００Ｖのバイアス電圧をかけて１０分
間保持することにより、基材チップ表面をＡｒイオンス
パッターにより十分に洗浄した後、脱気を行った。次い
で、表１に示したターゲット種類（第１〜４のターゲッ
トをそれぞれ〜で表す），ガスの種類と流量，バイ
アス電圧，アーク電流（間歇放電の場合には、放電時間
と停電時間の割合を示す），処理時間などでもって被覆
処理を順次行なうことよって、本発明品１〜８と比較品
１〜５の被覆超硬チップを得た。
Ｃ−８Ｃｏ（重量％）の組成からなるＩＳＯ規格でＳＮ
ＧＮ１２０４０８の超硬チップ基材を用意し、硬質被膜
の被覆装置として、４極のターゲット着装が可能なアー
クイオンプレーティング装置を使用した。まず、基材チ
ップを装置内に挿入して約１×１０-3Ｐａの真空とした
後、７７３Ｋに加熱してＡｒガスを導入しながら約０．
１Ｐａとし、−６００Ｖのバイアス電圧をかけて１０分
間保持することにより、基材チップ表面をＡｒイオンス
パッターにより十分に洗浄した後、脱気を行った。次い
で、表１に示したターゲット種類（第１〜４のターゲッ
トをそれぞれ〜で表す），ガスの種類と流量，バイ
アス電圧，アーク電流（間歇放電の場合には、放電時間
と停電時間の割合を示す），処理時間などでもって被覆
処理を順次行なうことよって、本発明品１〜８と比較品
１〜５の被覆超硬チップを得た。
【００１９】
【表１】 注） ＊ ＤＴ：ダブルターゲット、ＳＴ：シングルタ
ーゲット また、…は第2処理と第３処理の繰り返しを表す ＊＊ Ｔｉ−Ａｌ，Ｔｉ−Ａｌ−Ｖ，Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ
は溶解品、 Ｔｉ−Ａｌ−Ｃは混合粉末の１０００℃ホットプレス品 ＊＊＊（）内の間歇放電の時間単位は秒
ーゲット また、…は第2処理と第３処理の繰り返しを表す ＊＊ Ｔｉ−Ａｌ，Ｔｉ−Ａｌ−Ｖ，Ｔｉ−Ａｌ−Ｚｒ
は溶解品、 Ｔｉ−Ａｌ−Ｃは混合粉末の１０００℃ホットプレス品 ＊＊＊（）内の間歇放電の時間単位は秒
【００２０】こうして得た被覆超硬チップの各１個を切
断し、その断面を１０００＃のダイヤモンドホイールで
研削した後、１μｍのダイヤモンドペーストでラップ仕
上げした。そして、表面に被覆された各硬質膜を光学顕
微鏡で観察し、各層の厚みを測定した。その結果を表２
に示す。ついで、電界放射型分析電顕を用い、各層の組
成像による高倍観察（コントラスト調整）で分散粒子の
有無を確認した。分散粒子が存在する場合には、組成像
写真から画像解析装置を用いて、分散粒子の平均粒子径
と面積（＝体積％）を求めた。さらに、分散粒子部と素
地部の各１０ポイントについてビームを絞り、特性Ｘ線
のエネルギー分散法によって組成分析した。但し、分散
粒子が存在しない場合には、ランダムに１０ポイント分
析した。そして、分析結果から各層の平均組成（原子
％）とその化学式を算出した。求められた以上の結果を
表２に併記した。
断し、その断面を１０００＃のダイヤモンドホイールで
研削した後、１μｍのダイヤモンドペーストでラップ仕
上げした。そして、表面に被覆された各硬質膜を光学顕
微鏡で観察し、各層の厚みを測定した。その結果を表２
に示す。ついで、電界放射型分析電顕を用い、各層の組
成像による高倍観察（コントラスト調整）で分散粒子の
有無を確認した。分散粒子が存在する場合には、組成像
写真から画像解析装置を用いて、分散粒子の平均粒子径
と面積（＝体積％）を求めた。さらに、分散粒子部と素
地部の各１０ポイントについてビームを絞り、特性Ｘ線
のエネルギー分散法によって組成分析した。但し、分散
粒子が存在しない場合には、ランダムに１０ポイント分
析した。そして、分析結果から各層の平均組成（原子
％）とその化学式を算出した。求められた以上の結果を
表２に併記した。
【００２１】
【表２】
【００２２】次に、別の各被覆超硬チップを用いて、被
削材：Ｓ４８Ｃの丸棒，切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ，
送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ，切り込み：２．０ｍｍ，切
削時間：２０ｍｉｎの条件で乾式の連続旋削試験を行
い、チップ刃先での逃げ面の平均摩耗量とすくい面のク
レータ深さを測定し、その結果を表３に示す。また、被
削材：Ｓ４８Ｃの４本溝入り丸棒，切削速度：１００ｍ
／ｍｉｎ，送り：０．１５ｍｍ／ｒｅｖ，切り込み：
３．０ｍｍ，切削時間：１５ｍｉｎの条件で乾式の断続
旋削試験を行い、チップ刃先での逃げ面の最大摩耗量と
すくい面での膜剥離状態を観察し、結果を表３に併記し
た。
削材：Ｓ４８Ｃの丸棒，切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ，
送り：０．３ｍｍ／ｒｅｖ，切り込み：２．０ｍｍ，切
削時間：２０ｍｉｎの条件で乾式の連続旋削試験を行
い、チップ刃先での逃げ面の平均摩耗量とすくい面のク
レータ深さを測定し、その結果を表３に示す。また、被
削材：Ｓ４８Ｃの４本溝入り丸棒，切削速度：１００ｍ
／ｍｉｎ，送り：０．１５ｍｍ／ｒｅｖ，切り込み：
３．０ｍｍ，切削時間：１５ｍｉｎの条件で乾式の断続
旋削試験を行い、チップ刃先での逃げ面の最大摩耗量と
すくい面での膜剥離状態を観察し、結果を表３に併記し
た。
【００２３】
【表３】
【００２４】基材として、市販されている超硬合金製ソ
リッドドリル（φ８．０ｍｍ，組成：ＷＣ−１０ｗｔ％
Ｃｏ，硬さ：ＨＲＡ＝９１．５）を用意し、実施例１と
同一のアークイオンプレーティング装置に挿入した。そ
して、本発明品２，５，７，８と比較品２，３，４と同
一の方法と条件で硬質膜を被覆し、本発明品９，１０，
１１，１２と比較品６，７，８の被覆超硬ドリルを得
た。これらドリルの刃先断面を観察した結果、実施例１
とほぼ同一の膜構成、膜厚であることを確認した。
リッドドリル（φ８．０ｍｍ，組成：ＷＣ−１０ｗｔ％
Ｃｏ，硬さ：ＨＲＡ＝９１．５）を用意し、実施例１と
同一のアークイオンプレーティング装置に挿入した。そ
して、本発明品２，５，７，８と比較品２，３，４と同
一の方法と条件で硬質膜を被覆し、本発明品９，１０，
１１，１２と比較品６，７，８の被覆超硬ドリルを得
た。これらドリルの刃先断面を観察した結果、実施例１
とほぼ同一の膜構成、膜厚であることを確認した。
【００２５】得られた本発明品９，１０，１１，１２と
比較品６，７，８の被覆超硬ドリルを用いて、被削材：
Ｓ４５Ｃ，切削外周速度：８０ｍ／ｍｉｎ，穴深さ：４
０ｍｍ，乾式加工の条件で穴明け加工を連続して行っ
た。刃先のチッピング発生、折損あるいは切り屑詰まり
による急激なトルク上昇が発生するまでの加工可能な穴
数を表４に示す。３００穴加工まで正常であった場合に
は、刃先部の最大摩耗量を併記した。
比較品６，７，８の被覆超硬ドリルを用いて、被削材：
Ｓ４５Ｃ，切削外周速度：８０ｍ／ｍｉｎ，穴深さ：４
０ｍｍ，乾式加工の条件で穴明け加工を連続して行っ
た。刃先のチッピング発生、折損あるいは切り屑詰まり
による急激なトルク上昇が発生するまでの加工可能な穴
数を表４に示す。３００穴加工まで正常であった場合に
は、刃先部の最大摩耗量を併記した。
【００２６】
【表４】
Claims (8)
- 【請求項１】基材表面に１〜２０μｍ厚みでなる単層あ
るいは多層に被覆した硬質膜において、少なくとも１層
はチタンとアルミニウムの複合窒化物を主成分とする２
種以上の立方晶化合物からなる１μｍ以上の厚みの複合
層であり、該複合層は１種以上の該立方晶化合物を素地
とし、他の１種以上の該立方晶化合物を分散粒子とし、
該分散粒子は平均粒子径が０．０１〜１μｍ、該素地に
対する含有量が２〜５０体積％であり、かつ素地と分散
粒子における該立方晶化合物の少なくとも１成分元素が
５原子％以上異なることを特徴とする分散強化された複
合硬質膜。 - 【請求項２】上記素地が（ＴｉａＡｌ１−ａ）Ｎｘ、上
記分散粒子が（ＴｉｂＡｌ１−ｂ）Ｎｙで表される複合
窒化物からなり、０．３０≦ａおよびｂ≦０．９５、
０．７０≦ｘおよびｙ≦１．００で、かつｂ及び／又は
ｙが、ｂ≦ａ−０．１０あるいはｂ≧ａ＋０．１０、ｙ
≦ｘ−０．１０あるいはｙ≧ｘ＋０．１０を満足するこ
とを特徴とする請求項１記載の分散強化された複合硬質
膜。 - 【請求項３】上記素地が（ＴｉｃＡｌｄＭｅ）（ＣｍＮ
１−ｍ）ｖ、上記分散粒子が（ＴｉｆＡｌｇＭｈ）（Ｃ
ｎＮ１−ｎ）ｗで表される複合炭窒化物（但し、ＭはＴ
ｉを除く周期律表の４ａ，５ａ，６ａ族元素）からな
り、０．３０≦ｃおよびｆ≦０．９５、０．０５≦ｄお
よびｇ≦０．７０、０＜ｅおよびｈ≦０．３０、０＜ｍ
およびｎ＜０．５０、０．７０≦ｖおよびｗ≦１．００
で、かつｆ，ｇ，ｈ，ｎおよびｗの中の少なくとも１つ
が、ｆ≦ｃ−０．１０あるいはｆ≧ｃ＋０．１０、ｇ≦
ｄ−０．１０あるいはｇ≧ｄ＋０．１０、ｈ≦ｅ−０．
１０あるいはｈ≧ｅ＋０．１０、ｎ≦ｍ−０．１０ある
いはｎ≧ｍ＋０．１０、ｗ≦ｖ−０．１０あるいはｗ≧
ｖ＋０．１０を満足することを特徴とする請求項１記載
の分散強化された複合硬質膜。 - 【請求項４】上記素地は０．９５≦ｘ≦１．００又は
０．９５≦ｖ≦１．００、上記分散粒子は０．７０≦ｙ
＜０．９０又は０．７０≦ｗ＜０．９０を満足すること
を特徴とする請求項２又は３記載の分散強化された複合
硬質膜。 - 【請求項５】上記素地は０．５０≦ａ≦０．８０又は
０．５０≦ｃ≦０．８０で、かつ上記分散粒子は０．３
０≦ｂ≦０．６０又は０．３０≦ｆ≦０．６０を満足す
ることを特徴とする請求項２又は３記載の分散強化され
た複合硬質膜。 - 【請求項６】上記ＭはＺｒ，Ｈｆ，Ｖの中の１種以上で
あり、かつ上記素地は０＜ｅ≦０．１０、上記分散粒子
は０．１＜ｈ≦０．３０を満足することを特徴とする請
求項３記載の分散強化された複合硬質膜。 - 【請求項７】上記素地は０＜ｍ≦０．１０、上記分散粒
子は０．１＜ｎ≦０．５０を満足することを特徴とする
請求項３又は６記載の分散強化された複合硬質膜。 - 【請求項８】上記基材が超硬合金，サーメット，セラミ
ックス，立方晶窒化ホウ素焼結体，高速度鋼，工具鋼，
金型鋼など硬質鋼の中の少なくとも１種からなることを
特徴とする請求項１〜７記載の分散強化された複合硬質
膜を被覆した工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000325461A JP2002129306A (ja) | 2000-10-25 | 2000-10-25 | 分散強化された複合硬質膜およびこれを被覆した工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000325461A JP2002129306A (ja) | 2000-10-25 | 2000-10-25 | 分散強化された複合硬質膜およびこれを被覆した工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002129306A true JP2002129306A (ja) | 2002-05-09 |
Family
ID=18802822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000325461A Pending JP2002129306A (ja) | 2000-10-25 | 2000-10-25 | 分散強化された複合硬質膜およびこれを被覆した工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002129306A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008055526A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2008055525A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2008100336A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| WO2008078592A1 (ja) | 2006-12-25 | 2008-07-03 | Kyocera Corporation | 表面被覆工具および被切削物の加工方法 |
| JP2008155328A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Kyocera Corp | 表面被覆工具 |
| JP2008183627A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Kyocera Corp | 表面被覆工具 |
| JP2011504545A (ja) * | 2007-03-29 | 2011-02-10 | フィルマ ギューリング オーハーゲー | アーク蒸発法によって製造される液滴無しの成膜装置 |
| JP2014121747A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2014133267A (ja) * | 2013-01-08 | 2014-07-24 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐酸化性、耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2014155984A (ja) * | 2013-02-15 | 2014-08-28 | Mitsubishi Materials Corp | 付着強度と耐チッピング性にすぐれた表面被覆切削工具 |
| JP2016036873A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具 |
-
2000
- 2000-10-25 JP JP2000325461A patent/JP2002129306A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008055526A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2008055525A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2008100336A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| WO2008078592A1 (ja) | 2006-12-25 | 2008-07-03 | Kyocera Corporation | 表面被覆工具および被切削物の加工方法 |
| JP2008155328A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Kyocera Corp | 表面被覆工具 |
| US8062776B2 (en) | 2006-12-25 | 2011-11-22 | Kyocera Corporation | Surface coated tool and method of working cutting object |
| JP2008183627A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Kyocera Corp | 表面被覆工具 |
| JP2011504545A (ja) * | 2007-03-29 | 2011-02-10 | フィルマ ギューリング オーハーゲー | アーク蒸発法によって製造される液滴無しの成膜装置 |
| JP2014121747A (ja) * | 2012-12-20 | 2014-07-03 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2014133267A (ja) * | 2013-01-08 | 2014-07-24 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐酸化性、耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP2014155984A (ja) * | 2013-02-15 | 2014-08-28 | Mitsubishi Materials Corp | 付着強度と耐チッピング性にすぐれた表面被覆切削工具 |
| JP2016036873A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5060714B2 (ja) | 耐摩耗性および耐酸化性に優れた硬質皮膜、並びに該硬質皮膜形成用ターゲット | |
| JP5038303B2 (ja) | 表面被覆工具および被切削物の加工方法 | |
| JP2005271190A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2014065972A (ja) | 耐摩耗性と耐酸化性に優れた硬質皮膜および該硬質皮膜形成用ターゲット | |
| JPH06220571A (ja) | 切削工具用の超硬合金及び被覆超硬合金 | |
| JP2002129306A (ja) | 分散強化された複合硬質膜およびこれを被覆した工具 | |
| JP7415223B2 (ja) | 強断続切削加工においてすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
| JP3333081B2 (ja) | 結晶配向性高強度被覆部材 | |
| JP2008087114A (ja) | 耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
| JP2002361502A (ja) | 切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 | |
| JP2007254785A (ja) | Ｓｉ含有複合窒化物膜および被覆切削工具 | |
| JP4351521B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP3159572B2 (ja) | 高強度被覆物体 | |
| JPH10237650A (ja) | Ｗｃ基超硬合金およびその製造方法 | |
| JP2003205404A (ja) | 難削材の高速切削ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 | |
| JP3333080B2 (ja) | 整合性界面を有した高強度被覆部材 | |
| JP4844879B2 (ja) | 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
| JP2000336451A (ja) | 改質焼結合金、被覆焼結合金及びその製造方法 | |
| JP2008030159A (ja) | 耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 | |
| JP2001162411A (ja) | すぐれた耐摩耗性と耐チッピング性を具備した表面被覆超硬合金製切削工具 | |
| JP4697389B2 (ja) | 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 | |
| JPH07145483A (ja) | 耐摩耗性被覆部材 | |
| JP2019118995A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP7473871B2 (ja) | 耐摩耗性および耐欠損性にすぐれたｗｃ基超硬合金製切削工具および表面被覆ｗｃ基超硬合金製切削工具 | |
| JP4484500B2 (ja) | 表面被覆切削工具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041210 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050111 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050516 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |