JP2002128568A5 - - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項１】イオン衝撃をもたらす腐食性ガスに対して曝露されるべき耐蝕面が設けられている耐蝕性部材であって、
前記耐蝕性部材の少なくとも一部が開気孔率５％以下の窒化珪素焼結体からなり、この窒化珪素焼結体が前記耐蝕面を構成しており、前記窒化珪素焼結体の前記耐蝕面と垂直に交わる面を切り出して副面として配向性を測定したとき、互いに垂直方向に位置する２つの副面の間の配向指数が０．８以上、１．２以下であり、前記耐蝕面と前記副面との間の配向指数が１．５以上であることを特徴とする、耐蝕性部材。
［２つの副面の間の配向指数＝
［Ｉｓ１（３２０）／( Ｉｓ１（３２０）＋Ｉｓ１（００２）］／［Ｉｓ２（３２０）／( Ｉｓ２（３２０）＋Ｉｓ２（００２）］；
（Ｉｓ１（３２０）は、一方の副面Ｉｓ１におけるβ型窒化珪素の３２０面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｓ１（００２）は、副面Ｉｓ１におけるβ型窒化珪素の００２面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｓ２（３２０）は、他方の副面Ｉｓ２におけるβ型窒化珪素の３２０面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｓ２（００２）は、副面Ｉｓ２におけるβ型窒化珪素の００２面によるＸ線回折強度を示す）：
耐蝕面と副面との間の配向指数＝
［Ｉｍ（３２０）／（Ｉｍ（３２０）＋Ｉｍ（００２））] ／［Ｉｓ（３２０）／( Ｉｓ（３２０）＋( Ｉｓ（００２））] ；
（Ｉｍ（３２０）は、耐蝕面ｍにおけるβ型窒化珪素の３２０面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｍ（００２）は、耐蝕面ｍにおけるβ型窒化珪素の００２面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｓ（３２０）は、副面Ｉｓにおけるβ型窒化珪素の３２０面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｓ（００２）は、副面Ｉｓにおけるβ型窒化珪素の００２面によるＸ線回折強度を示す）
【請求項２】前記窒化珪素焼結体における１ａ族元素および及び４ａ−３ｂ族元素の合計含量が５０重量ｐｐｍ以下であることを特徴とする、請求項１記載の部材。
【請求項３】前記窒化珪素焼結体において、２ａ族元素および３ａ族元素からなる群より選ばれた一種以上の元素が、金属元素換算で窒化珪素に対して外配で合計１−１５モル％含有されていることを特徴とする、請求項１または２記載の部材。
【請求項４】前記窒化珪素焼結体が、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、マグネシウム、イットリウムおよびランタノイド元素からなる群より選ばれた一種以上の元素を含有していることを特徴とする、請求項３記載の部材。
【請求項５】前記窒化珪素焼結体が、マグネシウム、イットリウム、イッテルビウム、セリウム、サマリウムおよびランタンからなる群より選ばれた一種以上の元素を含有していることを特徴とする、請求項４記載の部材。
【請求項６】前記２ａ族元素および３ａ族元素からなる群より選ばれた一種以上の元素の酸化物を含有することを特徴とする、請求項３−５のいずれか一つの請求項に記載の部材。
【請求項７】熱伝導率が５０Ｗ／ｍ・Ｋ以下であることを特徴とする、請求項１−６のいずれか一つの請求項に記載の部材。
【請求項８】前記腐食性ガスがハロゲン系腐食性ガスまたはハロゲン系腐食性ガスのプラズマであることを特徴とする、請求項１−７のいずれか一つの請求項に記載の部材。
【請求項９】請求項１−８のいずれか一つの請求項に記載の耐蝕性部材を基材とすることを特徴とする、半導体製造用製品。

【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、イオン衝撃をもたらす腐食性ガスに対して曝露されるべき耐蝕面が設けられている耐蝕性部材であって、耐蝕性部材の少なくとも一部が開気孔率５％以下の窒化珪素焼結体からなり、この窒化珪素焼結体が耐蝕面を構成しており、窒化珪素焼結体の耐蝕面と垂直に交わる面を切り出して副面として配向性を測定したとき、互いに垂直方向に位置する２つの副面の間の配向指数が０．８以上、１．２以下であり、耐蝕面と副面との間の配向指数が１．５以上であることを特徴とする。
［２つの副面の間の配向指数＝
［Ｉｓ１（３２０）／( Ｉｓ１（３２０）＋Ｉｓ１（００２）］／［Ｉｓ２（３２０）／( Ｉｓ２（３２０）＋Ｉｓ２（００２）］；
（Ｉｓ１（３２０）は、一方の副面Ｉｓ１におけるβ型窒化珪素の３２０面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｓ１（００２）は、副面Ｉｓ１におけるβ型窒化珪素の００２面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｓ２（３２０）は、他方の副面Ｉｓ２におけるβ型窒化珪素の３２０面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｓ２（００２）は、副面Ｉｓ２におけるβ型窒化珪素の００２面によるＸ線回折強度を示す）：
耐蝕面と副面との間の配向指数＝
［Ｉｍ（３２０）／（Ｉｍ（３２０）＋Ｉｍ（００２））] ／［Ｉｓ（３２０）／( Ｉｓ（３２０）＋( Ｉｓ（００２））] ；
（Ｉｍ（３２０）は、耐蝕面ｍにおけるβ型窒化珪素の３２０面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｍ（００２）は、耐蝕面ｍにおけるβ型窒化珪素の００２面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｓ（３２０）は、副面Ｉｓにおけるβ型窒化珪素の３２０面によるＸ線回折強度を示し、Ｉｓ（００２）は、副面Ｉｓにおけるβ型窒化珪素の００２面によるＸ線回折強度を示す）