JP2002127285A - Composite body and method for producing multi-layer printed-wiring board - Google Patents

Composite body and method for producing multi-layer printed-wiring board

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JP2002127285A JP2000327745A JP2000327745A JP2002127285A JP 2002127285 A JP2002127285 A JP 2002127285A JP 2000327745 A JP2000327745 A JP 2000327745A JP 2000327745 A JP2000327745 A JP 2000327745A JP 2002127285 A JP2002127285 A JP 2002127285A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composite body which dispenses with a packing resin to fill through holes and prevents the generation of recesses on the surface of the composite body laminated on an inner layer material when the inner layer material having the through holes is used. SOLUTION: The composite body is manufactured by applying a resin composition on one side of a support sheet and forming a resin layer. The product of the flexural modulus of elasticity and the thickness of the support sheet is at least 3,000 GPa.μm.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、多層プリント配線
板を製造する際に用いられる樹脂付き金属箔や絶縁性フ
ィルム等の複合体に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a composite such as a resin-coated metal foil and an insulating film used for manufacturing a multilayer printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、多層プリント配線板を製造する際
には、樹脂付き金属箔や絶縁性フィルムが広く利用され
ている。これらのものはいずれも、シート状の支持体と
樹脂組成物とからなる複合体であるという点において共
通する。しかも、いずれのものも上記の支持体の片側の
面に樹脂組成物が塗布され樹脂層が形成されて作製され
るものである。そして、このような複合体としての樹脂
付き金属箔や絶縁性フィルムは、具体的にはそれぞれ以
下のようにして作製され、多層プリント配線板の製造に
使用されているものである。
2. Description of the Related Art In recent years, resin-coated metal foils and insulating films have been widely used in manufacturing multilayer printed wiring boards. These are all common in that they are composites composed of a sheet-shaped support and a resin composition. In addition, each of them is manufactured by applying a resin composition to one surface of the support and forming a resin layer. The resin-attached metal foil and the insulating film as such a composite are specifically produced as follows, respectively, and are used for manufacturing a multilayer printed wiring board.

【0003】樹脂付き金属箔を作製する場合は、支持体
として銅箔等の金属箔を用い、樹脂組成物としてエポキ
シ樹脂等の樹脂組成物を用いる。そして、上記の金属箔
の片側の面に樹脂組成物を塗布し、これをBステージ状
態まで加熱することによって、半硬化した樹脂層が形成
され樹脂付き金属箔が作製されるものである。
When a metal foil with a resin is produced, a metal foil such as a copper foil is used as a support, and a resin composition such as an epoxy resin is used as a resin composition. Then, a resin composition is applied to one surface of the above-mentioned metal foil and heated to a B-stage state, whereby a semi-cured resin layer is formed and a metal foil with resin is produced.

【0004】このようにして作製される樹脂付き金属箔
を用いて多層プリント配線板を製造する場合は、以下の
ようにして行うことができる。まず、予め表面に回路パ
ターン(内層パターン)が形成された内層材の片面ある
いは両面に、上記の樹脂付き金属箔の樹脂層の側を重ね
合わせると共にこれを加熱加圧して積層成形することに
よって、多層プリント配線板に加工するための多層配線
板を製造することができる。次に、この多層配線板の片
面あるいは両面にレーザ等により穴あけを行ってバイア
ホール等を形成すると共に、サブトラクティブ法等によ
り外側の金属箔に回路パターン(外層パターン)を形成
することによって、多層プリント配線板を製造すること
ができるものである。そして、このようにして製造され
た多層プリント配線板にあって、内層パターンと外層パ
ターンとの導通は、上記のバイアホール等によって取ら
れているものである。
[0004] When a multilayer printed wiring board is manufactured using the metal foil with resin manufactured as described above, it can be performed as follows. First, by laminating the resin layer side of the above-mentioned metal foil with resin on one side or both sides of an inner layer material having a circuit pattern (inner layer pattern) formed on the surface in advance, and laminating this by heating and pressing, A multilayer wiring board for processing into a multilayer printed wiring board can be manufactured. Next, a hole or the like is formed on one or both surfaces of the multilayer wiring board by using a laser or the like, and a circuit pattern (outer layer pattern) is formed on an outer metal foil by a subtractive method or the like. A printed wiring board can be manufactured. In the multilayer printed wiring board manufactured as described above, the continuity between the inner layer pattern and the outer layer pattern is established by the via hole or the like.

【0005】一方、絶縁性フィルムを作製する場合は、
支持体としてポリエチレンテレフタレート樹脂(PE
T)、ポリブチレンテレフタレート樹脂(PBT)、ポ
リイミド樹脂等の樹脂フィルムを用い、樹脂組成物とし
てエポキシ樹脂等の樹脂組成物を用いる。そして、上記
の樹脂フィルムの片側の面に樹脂組成物を塗布し、これ
をBステージ状態まで加熱することによって、半硬化し
た樹脂層が形成され絶縁性フィルムが作製されるもので
ある。
On the other hand, when producing an insulating film,
Polyethylene terephthalate resin (PE
T), a resin film such as a polybutylene terephthalate resin (PBT) or a polyimide resin is used, and a resin composition such as an epoxy resin is used as the resin composition. Then, a resin composition is applied to one surface of the above-mentioned resin film and heated to a B-stage state, whereby a semi-cured resin layer is formed to produce an insulating film.

【0006】このようにして作製される絶縁性フィルム
を用いて多層プリント配線板を製造する場合は、以下の
ようにして行うことができる。まず、樹脂付き金属箔の
場合と同様に、予め表面に回路パターン(内層パター
ン)が形成された内層材の片面あるいは両面に、上記の
絶縁性フィルムの樹脂層の側を重ね合わせると共にこれ
を加熱加圧して積層成形することによって、多層プリン
ト配線板に加工するための多層配線板を製造することが
できる。次に、この多層配線板の外側に位置する樹脂フ
ィルムを剥がし、露出した樹脂層にレーザ等により穴あ
けを行ってバイアホール等を形成すると共に、アディテ
ィブ法等により樹脂層の表面に回路パターン(外層パタ
ーン)を形成することによって、多層プリント配線板を
製造することができるものである。そして、このように
して製造された多層プリント配線板にあって、内層パタ
ーンと外層パターンとの導通は、上記のバイアホール等
によって取られているものである。
[0006] When a multilayer printed wiring board is manufactured using the insulating film thus manufactured, it can be performed as follows. First, as in the case of the metal foil with resin, the resin layer side of the insulating film is superimposed on one side or both sides of an inner layer material having a circuit pattern (inner layer pattern) formed on the surface in advance, and this is heated. By pressing and laminating, a multilayer wiring board for processing into a multilayer printed wiring board can be manufactured. Next, the resin film located outside the multilayer wiring board is peeled off, and a hole is formed in the exposed resin layer by laser or the like, and a circuit pattern (outer layer) is formed on the surface of the resin layer by an additive method or the like. By forming the pattern, a multilayer printed wiring board can be manufactured. In the multilayer printed wiring board manufactured as described above, the continuity between the inner layer pattern and the outer layer pattern is established by the via hole or the like.

【0007】ここで、多層プリント配線板を製造するに
あたって、複合材として上記のように樹脂付き金属箔又
は絶縁性フィルムのいずれを用いる場合であっても、内
層材としては、表面にスルーホールの開口を有するもの
を用いることができる。通常このような内層材を用いる
にあたっては、スルーホールを保護する必要があるた
め、穴埋め樹脂を用い、この樹脂をスルーホールの内部
に充填した後で、樹脂付き金属箔又は絶縁性フィルムの
積層成形が行われているものである。
Here, in manufacturing a multilayer printed wiring board, regardless of whether a metal foil with resin or an insulating film is used as a composite material as described above, the inner layer material has a through hole on the surface. One having an opening can be used. Normally, when using such an inner layer material, it is necessary to protect the through-hole. Therefore, using a filling resin, after filling this resin into the inside of the through-hole, lamination molding of a metal foil with resin or an insulating film. Is what is being done.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように穴埋め樹脂を用いてスルーホールの内部を充填す
る工程は、スルーホールを有する内層材に対してのみ行
われるものであって、スルーホールの無い内層材に対し
ては行われないものである。このため多層プリント配線
板を製造するにあたっては、内層材のスルーホールの有
無によって工程数に差が生じるという問題があった。
However, as described above, the step of filling the inside of the through-hole with the filling resin is performed only for the inner layer material having the through-hole. It is not performed for the inner layer material that does not have it. For this reason, when manufacturing a multilayer printed wiring board, there was a problem that the number of steps was different depending on the presence or absence of a through hole in the inner layer material.

【0009】そこで、スルーホールを有する内層材を用
いて多層プリント配線板を製造する場合に、穴埋め樹脂
によるスルーホールの充填を省略して工程を簡略化する
ことが行われている。これは、内層材に積層する樹脂付
き金属箔や絶縁性フィルムの樹脂層の樹脂組成物の一部
をスルーホールに充填させようとするものであり、これ
によって穴埋め樹脂が不要となるものである。
Therefore, when manufacturing a multilayer printed wiring board using an inner layer material having a through hole, the filling of the through hole with a filling resin is simplified to simplify the process. This is intended to fill a part of the resin composition of the resin layer of the resin-coated metal foil or the insulating film laminated on the inner layer material into the through-hole, thereby eliminating the need for the filling resin. .

【0010】しかしながら、従来の樹脂付き金属箔や絶
縁性フィルムにあっては、樹脂層を形成する樹脂組成物
の一部がスルーホールに充填されるに伴い、支持体であ
る外側の金属箔や樹脂フィルムがスルーホールの方向に
引き込まれ、特にスルーホールの近傍に位置する支持体
の表面に凹みを生じるものであった。
However, in the conventional resin-attached metal foil and insulating film, as a part of the resin composition forming the resin layer is filled in the through-hole, the outer metal foil or the support serving as the support is required. The resin film was drawn in the direction of the through-hole, and a dent was formed particularly on the surface of the support located near the through-hole.

【0011】このため、例えば樹脂付き金属箔を使用し
ている場合に、サブトラクティブ法を行おうとして外側
の金属箔にドライフィルムを載置しても、全面を密着さ
せることはできず、上記の凹みの箇所にボイドが生じる
ものであった。従って、この状態で露光・現像が行われ
てエッチングレジストが形成されても、上記の凹みの箇
所の金属箔はこのエッチングレジストで保護されてはお
らず、エッチング液により除去されることとなり、回路
パターンが欠けてしまうという問題が発生するものであ
った。
For this reason, for example, when a metal foil with a resin is used, even if a dry film is placed on the outer metal foil to perform the subtractive method, the entire surface cannot be brought into close contact with each other. Voids were formed at the dent portions of the. Therefore, even if exposure and development are performed in this state to form an etching resist, the metal foil in the above-mentioned concave portion is not protected by the etching resist, but is removed by the etching solution, and the circuit pattern is removed. However, there is a problem that the chip is missing.

【0012】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、スルーホールを有する内層材を用いる場合に、ス
ルーホールを充填するために穴埋め樹脂を用いる必要が
ないと共に内層材に積層された複合体の表面に凹みが生
じない複合体を提供することを目的とするものである。
The present invention has been made in view of the above points, and when an inner layer material having a through hole is used, there is no need to use a filling resin to fill the through hole, and the present invention is applied to an inner layer material. It is an object of the present invention to provide a composite in which dents do not occur on the surface of the composite.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
複合体は、シート状の支持体の片側の面に樹脂組成物が
塗布され樹脂層が形成されて作製される複合体におい
て、上記支持体の曲げ弾性率と厚みの積が3000GP
a・μm以上であることを特徴とするものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a composite prepared by applying a resin composition to one surface of a sheet-shaped support to form a resin layer. The product of the bending elastic modulus and the thickness of the support is 3000 GP.
a · μm or more.

【0014】また請求項2の発明は、請求項1におい
て、支持体が金属箔であることを特徴とするものであ
る。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the support is a metal foil.

【0015】また請求項3の発明は、請求項2におい
て、金属箔が銅箔であることを特徴とするものである。
The invention of claim 3 is characterized in that, in claim 2, the metal foil is a copper foil.

【0016】また請求項4の発明は、請求項1におい
て、支持体が樹脂フィルムであることを特徴とするもの
である。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect, the support is a resin film.

【0017】また請求項5の発明は、請求項4におい
て、樹脂フィルムがポリエチレンテレフタレート樹脂で
形成されていることを特徴とするものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect, the resin film is formed of a polyethylene terephthalate resin.

【0018】また請求項6の発明は、請求項1におい
て、支持体が金属箔と樹脂フィルムとで形成されている
ことを特徴とするものである。
According to a sixth aspect of the present invention, in the first aspect, the support is formed of a metal foil and a resin film.

【0019】また請求項7の発明は、請求項1乃至6の
いずれかにおいて、樹脂層の厚みが30〜150μmで
あることを特徴とするものである。
According to a seventh aspect of the present invention, in any one of the first to sixth aspects, the thickness of the resin layer is 30 to 150 μm.

【0020】また本発明の請求項8に係る多層プリント
配線板の製造方法は、請求項1乃至7のいずれかに記載
の複合体とスルーホールが形成された内層材とを用いて
多層プリント配線板を製造するにあたって、真空下にお
いて、内層材のスルーホールが形成された面に上記複合
体の樹脂層の側を重ね合わせ、スルーホールの内部を樹
脂層の樹脂組成物で充填することを特徴とするものであ
る。
According to a eighth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a multilayer printed wiring board, comprising: using the composite according to any one of the first to seventh aspects and an inner layer material having through holes formed therein. In manufacturing the board, the resin layer side of the composite is overlapped on the surface of the inner layer material where the through hole is formed under vacuum, and the inside of the through hole is filled with the resin composition of the resin layer. It is assumed that.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below.

【0022】本発明において樹脂組成物を調製するため
の樹脂としては、特に限定されるものではないが、エポ
キシ樹脂やポリイミド樹脂等の熱硬化性樹脂を用いるの
が好ましい。樹脂組成物を調製するにあたっては、この
ような樹脂の他に公知の硬化剤、硬化促進剤その他の添
加剤を用い、これらのものを混合することによって、行
うことができる。この際の調製は無溶媒下で行っても良
いが、メチルエチルケトン(MEK)、メトキシプロパ
ノール(MP)、ジメチルフォルムアミド(DMF)等
の溶媒を加えて行っても良く、これによりワニスとする
こともできる。
In the present invention, the resin for preparing the resin composition is not particularly limited, but it is preferable to use a thermosetting resin such as an epoxy resin or a polyimide resin. In preparing the resin composition, a known curing agent, curing accelerator and other additives can be used in addition to such a resin, and these can be mixed. The preparation at this time may be carried out without a solvent, but may be carried out by adding a solvent such as methyl ethyl ketone (MEK), methoxypropanol (MP), dimethylformamide (DMF) or the like. it can.

【0023】本発明において複合体とは、シート状の支
持体の片側の面に上記の樹脂組成物が塗布され樹脂層が
形成されて作製されるものであって、上記支持体の曲げ
弾性率と厚みの積が3000GPa・μm以上であるも
のをいい、このものは多層プリント配線板の製造に用い
ることができるものである。このような複合体を用いる
と、表面にスルーホールの開口を有する内層材を用いて
積層成形を行う場合に、従来のように穴埋め樹脂を用い
てスルーホールの内部を充填しておかなくても、積層さ
れる複合体の外側の面、即ち外部に露出する支持体の面
に凹みが生じることがなくなるものである。逆に支持体
の曲げ弾性率と厚みの積が3000GPa・μm未満で
あると、上記のような場合に、穴埋め樹脂を用いてスル
ーホールの内部を充填しておかなければ、穴埋め樹脂の
代わりに樹脂層を形成する樹脂組成物の一部がスルーホ
ールの内部に充填される伴い、スルーホールの近傍にあ
る支持体がスルーホールの方向に引き込まれ、外部に露
出する支持体の面に凹みが生じてしまうものである。
尚、支持体の曲げ弾性率と厚みの積の実質的な上限は、
30000GPa・μmである。
In the present invention, the composite is formed by applying the above-mentioned resin composition to one surface of a sheet-like support to form a resin layer, and the flexural modulus of the above-mentioned support is obtained. And a product having a thickness of 3000 GPa · μm or more, which can be used for manufacturing a multilayer printed wiring board. When using such a composite, when performing lamination molding using an inner layer material having an opening of a through hole on the surface, it is not necessary to fill the inside of the through hole with a filling resin as in the related art. In addition, no dent is formed on the outer surface of the composite to be laminated, that is, the surface of the support exposed to the outside. Conversely, if the product of the bending elastic modulus and the thickness of the support is less than 3000 GPa · μm, in the above case, if the inside of the through-hole is not filled with the filling resin, instead of the filling resin, As a part of the resin composition forming the resin layer is filled into the through hole, the support near the through hole is drawn in the direction of the through hole, and a dent is formed on the surface of the support exposed to the outside. It will happen.
The substantial upper limit of the product of the flexural modulus and the thickness of the support is
30,000 GPa · μm.

【0024】本発明において複合体の具体例としては、
樹脂付き金属箔、絶縁性フィルムを挙げることができ
る。以下ではこの2つのものについて説明する。
In the present invention, specific examples of the composite include:
Examples thereof include a metal foil with a resin and an insulating film. Hereinafter, these two things will be described.

【0025】樹脂付き金属箔において支持体としては、
曲げ弾性率と厚みの積が3000GPa・μm以上の金
属箔を用いるものであり、例えば銅箔、アルミニウム
箔、ステンレス箔等を用いることができる。中でも銅箔
が好ましく、このものを用いると、製造される多層プリ
ント配線板の電気的信頼性が一層向上するものである。
In the metal foil with resin, as a support,
A metal foil having a product of the bending elastic modulus and the thickness of 3000 GPa · μm or more is used. For example, a copper foil, an aluminum foil, a stainless steel foil, or the like can be used. Among them, copper foil is preferable, and when this is used, the electrical reliability of the manufactured multilayer printed wiring board is further improved.

【0026】ここで、同種あるいは異種の金属箔を重ね
合わせたものも支持体として用いることができるが、一
方の金属箔がキャリアーフィルムとなり、このものには
後述する樹脂層は形成されない。またこの場合は、各金
属箔の曲げ弾性率と厚みの積の和が3000GPa・μ
m以上となるようにしておくものである。更に、金属箔
に、後述する樹脂フィルムを重ね合わせたものも支持体
として用いることができる。この場合は樹脂フィルムが
キャリアーフィルムとなり、金属箔に樹脂層が形成され
る。またこの場合は、金属箔及び樹脂フィルムのそれぞ
れの曲げ弾性率と厚みの積の和が3000GPa・μm
以上となるようにしておくものである。このように支持
体を金属箔とキャリアーフィルム(金属箔又は樹脂フィ
ルム)とで形成しておくと、金属箔のみでは曲げ弾性率
と厚みの積が3000GPa・μm未満であっても、適
宜キャリアーフィルムを選択し上記の金属箔に重ね合わ
せることで上記の値以上のものとすることができるもの
である。
Here, a laminate of metal foils of the same type or different types can be used as a support, but one of the metal foils serves as a carrier film, and a resin layer described later is not formed thereon. In this case, the sum of the product of the bending elastic modulus and the thickness of each metal foil is 3000 GPa · μ.
m or more. Further, a material obtained by laminating a resin film described later on a metal foil can also be used as a support. In this case, the resin film becomes a carrier film, and a resin layer is formed on the metal foil. In this case, the sum of the product of the bending elastic modulus and the thickness of each of the metal foil and the resin film is 3000 GPa · μm.
The above is to be done. When the support is formed of a metal foil and a carrier film (metal foil or resin film) in this manner, the carrier film may be appropriately formed even if the product of the bending elastic modulus and the thickness is less than 3000 GPa · μm using only the metal foil. Is selected and superimposed on the above metal foil, so that the above value can be obtained.

【0027】上記の支持体及び樹脂組成物を用いて樹脂
付き金属箔を作製するにあたっては、コンマコーター、
転写コーター、カーテンコーター、ダイコーター等を用
いて、金属箔の片側の表面に樹脂組成物を塗布し、これ
を連続的又は非連続的にBステージ状態まで加熱乾燥す
ることによって、行うことができる。ここで、金属箔の
片側の面に半硬化して形成された樹脂層の厚みは20〜
200μmとするのが一般的であるが、30〜150μ
mとしておくことが好ましい。樹脂層の厚みが30μm
未満であると、積層成形時において表面にスルーホール
の開口を有する内層材を用いる場合に、従来のように穴
埋め樹脂によってスルーホールの内部を充填しておかな
ければ、この表面に積層される樹脂付き金属箔の外側の
面に凹みが生じるおそれがあるものである。逆に樹脂層
の厚みが150μmを超えると、多層プリント配線板の
製造時において、この樹脂層への穴あけの生産性が低下
するおそれがあるものである。
In producing a metal foil with resin using the above-mentioned support and the resin composition, a comma coater,
By using a transfer coater, a curtain coater, a die coater, or the like, a resin composition is applied to one surface of a metal foil, and this is continuously or discontinuously heated and dried to a B-stage state. . Here, the thickness of the resin layer formed by semi-curing on one surface of the metal foil is 20 to
It is generally 200 μm, but 30 to 150 μm
It is preferable to set m. The thickness of the resin layer is 30 μm
If it is less than, when using an inner layer material having an opening of a through hole on the surface during lamination molding, unless the inside of the through hole is filled with a filling resin as in the past, the resin laminated on this surface There is a possibility that a dent may occur on the outer surface of the attached metal foil. Conversely, if the thickness of the resin layer exceeds 150 μm, the productivity of drilling holes in the resin layer may decrease during the production of the multilayer printed wiring board.

【0028】そして、予め表面に回路パターン(内層パ
ターン)が形成された内層材の片面あるいは両面に、上
記の樹脂付き金属箔の樹脂層の側を重ね合わせると共に
これを加熱加圧して積層成形することによって、多層プ
リント配線板に加工するための多層配線板を製造するこ
とができる。尚、樹脂付き金属箔の支持体にキャリアー
フィルムが含まれている場合は、このキャリアーフィル
ムが積層成形後において多層配線板の最も外側の面に配
されることとなり、このキャリアーフィルムを引き剥が
すことによって金属箔が露出される。
Then, the resin layer side of the above-mentioned resin-coated metal foil is superimposed on one or both surfaces of an inner layer material having a circuit pattern (inner layer pattern) formed on the surface in advance, and this is laminated under heat and pressure. Thus, a multilayer wiring board for processing into a multilayer printed wiring board can be manufactured. When a carrier film is included in the support of the metal foil with resin, the carrier film is disposed on the outermost surface of the multilayer wiring board after lamination molding, and the carrier film is peeled off. As a result, the metal foil is exposed.

【0029】このようにして製造される多層配線板にあ
って、内層材として特にスルーホールが形成されたもの
が用いられている場合は、樹脂付き金属箔の樹脂層の樹
脂組成物の一部がスルーホールの内部を充填することと
なるため、穴埋め樹脂によって予め充填しておく必要が
なくなるものである。また樹脂付き金属箔の支持体とし
ては前述したものが用いられているため、この支持体は
未硬化状態の樹脂組成物の流動や硬化収縮に抗して、樹
脂層の最外表面を平滑に保持し、この状態で樹脂層を完
全に硬化させることができて金属箔の表面には凹みが生
じなくなるものである。
In the multilayer wiring board manufactured as described above, when a through-hole is formed as the inner layer material, a part of the resin composition of the resin layer of the metal foil with resin is used. Fills the inside of the through hole, so that it is not necessary to fill the through hole resin in advance. In addition, since the above-described support is used as the support for the metal foil with a resin, this support resists the flow and curing shrinkage of the uncured resin composition, and smoothes the outermost surface of the resin layer. While holding, the resin layer can be completely cured in this state, and no dent is formed on the surface of the metal foil.

【0030】ここで、上記のように多層配線板を製造す
るにあたっては、大気圧下よりも真空下において積層成
形することが好ましい。このように真空下で積層成形す
ることは、スルーホールの内部にボイドを発生させない
ことを目的として、従来においても行われている。しか
しながら、従来の真空下での積層成形では、スルーホー
ルの近傍にある樹脂層の樹脂組成物が急激にスルーホー
ルの内部に流入するのに伴い、スルーホールの近傍にあ
る支持体がスルーホールの方向に引き込まれ、支持体の
外側の表面に凹みが生じ、更にその凹みが深くなるもの
であった。これに対し本発明では、スルーホールの内部
に樹脂組成物が完全に充填され、ボイドの残存が確実に
阻止されると共に、スルーホールの内部への樹脂組成物
の流入に際して、支持体は何ら影響を受けることなくそ
の平滑性を保持することができて、支持体の外側の表面
に凹みが全く生じなくなるものである。
Here, in manufacturing the multilayer wiring board as described above, it is preferable to laminate-mold under a vacuum rather than an atmospheric pressure. Such lamination molding under vacuum has been conventionally performed for the purpose of preventing voids from being generated inside the through holes. However, in the conventional lamination molding under vacuum, as the resin composition of the resin layer near the through-hole rapidly flows into the inside of the through-hole, the support near the through-hole forms the support of the through-hole. Direction, a depression was formed on the outer surface of the support, and the depression became deeper. On the other hand, in the present invention, the resin composition is completely filled in the through-hole, the remaining of the voids is reliably prevented, and the support has no effect when the resin composition flows into the through-hole. The smoothness can be maintained without suffering from any dents, and no dents are formed on the outer surface of the support.

【0031】そして、上記の多層配線板の片面あるいは
両面にレーザ等により穴あけを行ってバイアホールを形
成すると共に、外側の金属箔にサブトラクティブ法等に
より回路パターン(外層パターン)を形成することによ
って、多層プリント配線板を製造することができるもの
である。ここで、上記のサブトラクティブ法を行うにあ
たって、回路形成を行う金属箔の表面には凹みが全く無
いため、金属箔とドライフィルムとの間にボイドを発生
させることなく、両者を密着させることができるもので
あり、従って、露光・現像によって形成されるエッチン
グレジストが回路パターンとして残すべき金属箔の部分
をエッチング液から確実に保護することができて、回路
パターンが欠けてしまうことがなくなるものである。
Then, a hole is formed by drilling one or both surfaces of the multilayer wiring board with a laser or the like, and a circuit pattern (outer layer pattern) is formed on the outer metal foil by a subtractive method or the like. And a multilayer printed wiring board can be manufactured. Here, in performing the above-described subtractive method, since there is no dent on the surface of the metal foil on which the circuit is formed, it is possible to bring both into close contact without generating a void between the metal foil and the dry film. Therefore, the etching resist formed by exposure / development can surely protect the portion of the metal foil that should be left as a circuit pattern from the etching solution, thereby preventing the circuit pattern from being chipped. is there.

【0032】一方、絶縁性フィルムにおいて支持体とし
ては、曲げ弾性率と厚みの積が3000GPa・μm以
上の樹脂フィルムを用いるものであり、例えばポリエチ
レンテレフタレート樹脂(PET)、ポリブチレンテレ
フタレート樹脂(PBT)、ポリイミド樹脂等をフィル
ム状に形成したものを用いることができる。中でも、比
較的安価で耐熱性が良好であるという点で、ポリエチレ
ンテレフタレート樹脂(PET)を用いることが好まし
い。
On the other hand, a resin film having a product of flexural modulus and thickness of 3000 GPa · μm or more is used as a support in the insulating film. For example, polyethylene terephthalate resin (PET), polybutylene terephthalate resin (PBT) And a film formed of a polyimide resin or the like can be used. Among them, it is preferable to use polyethylene terephthalate resin (PET) in that it is relatively inexpensive and has good heat resistance.

【0033】ここで、同種あるいは異種の樹脂フィルム
を重ね合わせたものも支持体として用いることができる
が、この場合は双方の樹脂フィルムがキャリアーフィル
ムとなるが、一方の樹脂フィルムには樹脂層が形成され
る。またこの場合は、各樹脂フィルムの曲げ弾性率と厚
みの積の和が3000GPa・μm以上となるようにし
ておくものである。更に、樹脂フィルムに、前述したよ
うな金属箔を重ね合わせたものも支持体として用いるこ
とができる。この場合も双方のものがキャリアーフィル
ムとなるが、樹脂フィルムに樹脂層が形成される。また
この場合は、樹脂フィルム及び金属箔のそれぞれの曲げ
弾性率と厚みの積の和が3000GPa・μm以上とな
るようにしておくものである。このように支持体を樹脂
フィルムとキャリアーフィルム(金属箔又は樹脂フィル
ム)とで形成しておくと、樹脂フィルムのみでは曲げ弾
性率と厚みの積が3000GPa・μm未満であって
も、適宜キャリアーフィルムを選択し上記の樹脂フィル
ムに重ね合わせることで上記の値以上のものとすること
ができるものである。
Here, the same or different types of resin films laminated on each other can be used as a support. In this case, both resin films serve as carrier films, but one resin film has a resin layer. It is formed. In this case, the sum of the product of the bending elastic modulus and the thickness of each resin film is set to be 3000 GPa · μm or more. Further, a resin film on which a metal foil as described above is overlapped can also be used as a support. In this case as well, both are carrier films, but a resin layer is formed on the resin film. In this case, the sum of the product of the bending elastic modulus and the thickness of each of the resin film and the metal foil is set to be 3000 GPa · μm or more. If the support is formed of a resin film and a carrier film (metal foil or resin film) in this way, the carrier film may be appropriately formed even if the product of the flexural modulus and the thickness of the resin film alone is less than 3000 GPa · μm. Is selected and superimposed on the above resin film, so that the above value can be obtained.

【0034】そして、上記の支持体及び樹脂組成物を用
いて絶縁性フィルムを作製するにあたっては、コンマコ
ーター、転写コーター、カーテンコーター、ダイコータ
ー等を用いて、樹脂フィルムの片側の表面に樹脂組成物
を塗布し、これを連続的又は非連続的にBステージ状態
まで加熱乾燥することによって、行うことができる。こ
こで、樹脂フィルムの片側の表面に半硬化して形成され
た樹脂層の厚みは30〜200μmとするのが一般的で
あるが、30〜150μmとしておくことが好ましい。
樹脂層の厚みが30μm未満であると、積層成形時にお
いて表面にスルーホールの開口を有する内層材を用いる
場合に、従来のように穴埋め樹脂によってスルーホール
の内部を充填しておかなければ、この表面に積層される
絶縁性フィルムの外側の面に凹みを生じるおそれがある
ものである。逆に樹脂層の厚みが150μmを超える
と、多層プリント配線板の製造時において、この樹脂層
への穴あけの生産性が低下するおそれがあるものであ
る。
In preparing an insulating film using the above-mentioned support and resin composition, a resin coat is applied to one surface of the resin film using a comma coater, a transfer coater, a curtain coater, a die coater or the like. It can be performed by applying an object and heating and drying the object continuously or discontinuously to the B-stage state. Here, the thickness of the resin layer formed by semi-curing on one surface of the resin film is generally 30 to 200 μm, but preferably 30 to 150 μm.
When the thickness of the resin layer is less than 30 μm, when using an inner layer material having an opening of a through hole on the surface during lamination molding, if the inside of the through hole is not filled with a filling resin as in the related art, There is a possibility that dents may occur on the outer surface of the insulating film laminated on the surface. Conversely, if the thickness of the resin layer exceeds 150 μm, the productivity of drilling holes in the resin layer may decrease during the production of the multilayer printed wiring board.

【0035】そして、予め表面に回路パターン(内層パ
ターン)が形成された内層材の片面あるいは両面に、上
記の絶縁性フィルムの樹脂層の側を重ね合わせると共に
これを加熱加圧して積層成形することによって、多層プ
リント配線板に加工するための多層配線板を製造するこ
とができる。尚、絶縁性フィルムの支持体は、前述した
ように全体がキャリアーフィルムとなっており、このキ
ャリアーフィルムを引き剥がすことによって樹脂層が露
出される。
Then, the resin layer side of the above-mentioned insulating film is superimposed on one or both sides of an inner layer material having a circuit pattern (inner layer pattern) formed on the surface in advance, and this is laminated by heating and pressing. Thereby, a multilayer wiring board for processing into a multilayer printed wiring board can be manufactured. The entire support of the insulating film is a carrier film as described above, and the resin layer is exposed by peeling off the carrier film.

【0036】このようにして製造される多層配線板にあ
って、内層材として特にスルーホールが形成されたもの
が用いられている場合は、絶縁性フィルムの樹脂層の樹
脂組成物の一部がスルーホールの内部を充填することと
なるため、穴埋め樹脂によって予め充填しておく必要が
なくなるものである。また絶縁性フィルムの支持体とし
ては前述したものが用いられているため、この支持体は
未硬化状態の樹脂組成物の流動や硬化収縮に抗して、樹
脂層の最外表面を平滑に保持し、この状態で樹脂層を完
全に硬化させることができて、凹みが生じなくなるもの
である。
In the multilayer wiring board manufactured as described above, when a through-hole is formed as the inner layer material, a part of the resin composition of the resin layer of the insulating film is used. Since the inside of the through hole is filled, there is no need to fill the through hole in advance. In addition, since the above-mentioned support is used as a support for the insulating film, the support smoothly holds the outermost surface of the resin layer against the flow and curing shrinkage of the uncured resin composition. However, in this state, the resin layer can be completely cured, and no dent occurs.

【0037】ここで、上記のように多層配線板を製造す
るにあたっては、大気圧下よりも真空下において積層成
形することが好ましい。前述したように、従来の真空下
での積層成形では、支持体の外側の表面に生じた凹みの
深さがより深くなるものであった。これに対し本発明で
は、ボイドの残存が確実に阻止されると共に、支持体の
外側の表面に凹みが全く生じなくなるものである。
Here, in manufacturing the multilayer wiring board as described above, it is preferable to perform lamination molding under a vacuum rather than an atmospheric pressure. As described above, in the conventional lamination molding under vacuum, the depth of the recess formed on the outer surface of the support has been increased. On the other hand, in the present invention, the remaining of the void is reliably prevented, and no dent is formed on the outer surface of the support.

【0038】そして、上記の多層配線板の片面あるいは
両面にレーザ等により穴あけを行ってバイアホールを形
成すると共に、露出している樹脂層の表面にアディティ
ブ法等により回路パターン(外層パターン)を形成する
ことによって、多層プリント配線板を製造することがで
きるものである。ここで、上記のアディティブ法を行う
にあたって、回路形成を行う樹脂層の表面には凹みが全
く無いため、樹脂層の表面とドライフィルムとの間にボ
イドを発生させることなく、両者を密着させることがで
きるものであり、従って、露光・現像によって形成され
るめっきレジストがめっきを行わない部分を確実に保護
することができて、必要でないところに回路パターンが
形成されることがなくなるものである。
Then, a hole is formed by drilling one or both sides of the multilayer wiring board with a laser or the like, and a circuit pattern (outer layer pattern) is formed on the exposed surface of the resin layer by an additive method or the like. By doing so, a multilayer printed wiring board can be manufactured. Here, in performing the above-mentioned additive method, since there is no dent on the surface of the resin layer on which the circuit is formed, it is necessary to adhere both of them without generating voids between the surface of the resin layer and the dry film. Therefore, the plating resist formed by exposure and development can surely protect a portion where plating is not performed, so that a circuit pattern is not formed where it is not necessary.

【0039】このように多層プリント配線板を製造する
にあたって、表面に開口するスルーホールを有する内層
材を用いる場合に、前述した樹脂付き金属箔や絶縁性フ
ィルムのような複合体を用いると、スルーホールの内部
を穴埋め樹脂で充填する必要が無くなって工程が簡略化
されると共に、多層配線板の最外表面に凹みが生じるこ
とが無くなって所望の回路パターンをこの面に確実に形
成することができて、信頼性の高い多層プリント配線板
を製造することができるものである。
When a multilayer printed wiring board is manufactured using an inner layer material having a through hole opening on the surface, a composite such as the above-mentioned resin-attached metal foil or insulating film is used. It is not necessary to fill the inside of the hole with a filling resin, which simplifies the process and eliminates the occurrence of a dent on the outermost surface of the multilayer wiring board, so that a desired circuit pattern can be reliably formed on this surface. It is possible to manufacture a highly reliable multilayer printed wiring board.

【0040】[0040]

【実施例】以下、本発明を実施例によって具体的に説明
する。
The present invention will be specifically described below with reference to examples.

【0041】樹脂組成物を調製するための樹脂として、
以下のエポキシ樹脂を用いた。
As a resin for preparing the resin composition,
The following epoxy resin was used.

【0042】即ち、臭素化ビスフェノールA型エポキシ
樹脂(東都化成社製「YDB−500」:エポキシ当量
500、臭素化率約24質量%)、クレゾールノボラッ
ク型エポキシ樹脂(東都化成社製「YDCN−22
0」:エポキシ当量220、臭素化率約24質量%)を
用いた。
That is, brominated bisphenol A type epoxy resin ("YDB-500" manufactured by Toto Kasei Co., Ltd .: epoxy equivalent 500, bromination ratio about 24% by mass), cresol novolac type epoxy resin ("YDCN-22" manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.)
0 ": epoxy equivalent 220, bromination ratio about 24% by mass).

【0043】また硬化剤として、フェノールノボラック
(群栄化学社製「PSM6200」)、ジシアンジアミ
ド(分子量84、理論活性水素当量21)、硬化促進剤
として、2−エチル−4−メチルイミダゾール、溶媒と
して、メチルエチルケトン(MEK)、メトキシプロパ
ノール(MP)、ジメチルフォルムアミド(DMF)を
用いた。
As a curing agent, phenol novolak ("PSM6200" manufactured by Gunei Chemical Co., Ltd.), dicyandiamide (molecular weight: 84, theoretically active hydrogen equivalent: 21), a curing accelerator: 2-ethyl-4-methylimidazole, and a solvent: Methyl ethyl ketone (MEK), methoxypropanol (MP), and dimethylformamide (DMF) were used.

【0044】<エポキシ樹脂組成物のワニスの調製>上
記「YDB−500」、「YDCN−220」を所定の
溶媒に投入し、特殊機化工工業社製「ホモミキサー」
で、約1000rpmにて約90分間混合した。その
後、硬化促進剤(2−エチル−4−メチルイミダゾー
ル)を配合し、再度約15分間撹拌し、その後脱気し
て、25℃で約500〜1000centi-pois
eのエポキシ樹脂組成物のワニスを調製した。
<Preparation of Varnish of Epoxy Resin Composition> The above “YDB-500” and “YDCN-220” are charged into a predetermined solvent, and “Homomixer” manufactured by Tokushu Kika Kogyo Co., Ltd.
For about 90 minutes at about 1000 rpm. Thereafter, a curing accelerator (2-ethyl-4-methylimidazole) is blended, and the mixture is again stirred for about 15 minutes, then degassed, and at 25 ° C., about 500 to 1000 centi-pois
e) A varnish of the epoxy resin composition was prepared.

【0045】<樹脂付き金属箔の作製>支持体として、
銅箔のみ、銅箔に銅のキャリアーフィルムを配したもの
を使用し、この銅箔の粗化面に上記のようにして調製し
たエポキシ樹脂組成物のワニスを室温にてコンマコータ
ーで塗布し、その後、非接触タイプの加熱ユニットによ
り、約130〜170℃で加熱することにより、ワニス
中の溶媒を乾燥除去し、エポキシ樹脂組成物を半硬化さ
せることによって、樹脂層の厚みが75〜85μmの樹
脂付き金属箔を作製した。
<Preparation of Metal Foil with Resin> As a support,
Only copper foil, using a copper carrier film is arranged on the copper foil, the varnish of the epoxy resin composition prepared as described above on the roughened surface of the copper foil is applied at room temperature with a comma coater, Thereafter, by heating at about 130 to 170 ° C. by a non-contact type heating unit, the solvent in the varnish is dried and removed, and the epoxy resin composition is semi-cured, whereby the thickness of the resin layer is 75 to 85 μm. A metal foil with resin was produced.

【0046】<絶縁性フィルムの作製>支持体として、
PETフィルムのみ、PETフィルムにステンレスのキ
ャリアーフィルムを配したものを使用し、これらのPE
Tフィルムの片側の面に上記のようにして調製したエポ
キシ樹脂組成物のワニスを室温にてコンマコーターで塗
布し、その後、非接触タイプの加熱ユニットにより、約
130〜170℃で加熱することにより、ワニス中の溶
媒を乾燥除去し、エポキシ樹脂組成物を半硬化させるこ
とによって、樹脂層の厚みが75〜85μmの絶縁性フ
ィルムを作製した。
<Preparation of insulating film>
Only PET film, PET film with stainless steel carrier film is used.
A varnish of the epoxy resin composition prepared as described above is applied to one surface of the T film with a comma coater at room temperature, and then heated at about 130 to 170 ° C. by a non-contact type heating unit. Then, the solvent in the varnish was dried and removed, and the epoxy resin composition was semi-cured to prepare an insulating film having a resin layer thickness of 75 to 85 μm.

【0047】<評価項目> 1.内層スルーホール上下部の凹み 内層材として、厚み0.8mmの内層コア両面板(松下
電工社製「CR1766」:銅箔の厚み35μm、サイ
ズ:たて340mm、よこ510mm)を使用した。こ
の内層材にドリル加工により直径0.3mmのスルーホ
ールを形成し、デスミア、無電解めっき、電解めっき処
理により、スルーホールの導通化を施した。次いで、こ
の内層材に内層処理(黒化処理)を施し、両面に上記の
ようにして作製した樹脂付き金属箔や絶縁性フィルムを
樹脂層の側で重ね、170℃、90分間加熱しながら、
2.94MPaで加圧して多層配線板を製造した。支持
体として銅箔にキャリアーフィルムを配したものを用い
た場合や、絶縁性フィルムを用いた場合は、表面のキャ
リアーフィルムを剥がし、多層配線板を得た。
<Evaluation Items> Indentation of upper and lower portions of inner layer through hole As the inner layer material, a 0.8 mm thick inner core double-sided board (“CR1766” manufactured by Matsushita Electric Works, Ltd .: copper foil thickness 35 μm, size: 340 mm long, 510 mm wide) was used. A through hole having a diameter of 0.3 mm was formed in this inner layer material by drilling, and the through hole was made conductive by desmearing, electroless plating, and electrolytic plating. Then, the inner layer material is subjected to an inner layer treatment (blackening treatment), and the resin-coated metal foil and the insulating film produced as described above are laminated on both sides on the resin layer side, and heated at 170 ° C. for 90 minutes.
A multilayer wiring board was manufactured by applying pressure at 2.94 MPa. In the case where a carrier in which a carrier film was arranged on a copper foil or an insulating film was used as the support, the carrier film on the surface was peeled off to obtain a multilayer wiring board.

【0048】その後、スルーホールの上部及び下部にあ
る樹脂層の表面の凹み量(凹みの深さ)を光学顕微鏡に
よる断面観察により測定した。凹み量が、0μm以上3
μm未満のものを「○」、3μm以上5μm未満のもの
を「△」、5μm以上のものを「×」とした。
Thereafter, the amount of depression (depth of the depression) on the surface of the resin layer above and below the through hole was measured by cross-sectional observation using an optical microscope. Depression amount is 0 μm or more 3
Those with a size of less than μm were rated as “○”, those with a size of 3 μm or more and less than 5 μm were rated as “Δ”, and those with a size of 5 μm or more were rated as “×”.

【0049】尚、本実施例においては、便宜上、積層方
向を上下方向とする。
In this embodiment, the laminating direction is the vertical direction for convenience.

【0050】2.内層スルーホール内部のボイド 上記1.で製造した多層配線板について、スルーホール
の内部におけるボイドの有無を光学顕微鏡による断面観
察により確認した。
2. Void inside inner through hole In the multilayer wiring board manufactured in the above, the presence or absence of voids inside the through holes was confirmed by cross-sectional observation using an optical microscope.

【0051】3.内層スルーホール上下部の回路パター
ン欠損 上記1.で製造した多層配線板の両面に回路形成を行
い、スルーホールの上部及び下部にある樹脂層の表面に
形成された回路パターンの欠損を観察した。回路パター
ンの欠損が全く無いものを「○」、回路パターンの一部
に欠損がみられるものを「△」、回路パターンの全てに
欠損がみられるものを「×」とした。
3. Circuit pattern defects at upper and lower portions of inner layer through hole. Circuits were formed on both sides of the multilayer wiring board manufactured in the above step, and defects of the circuit patterns formed on the surfaces of the resin layers above and below the through holes were observed. A case where there was no defect in the circuit pattern was marked with “○”, a case where a defect was found in a part of the circuit pattern was marked with “△”, and a case where there was a defect in all circuit patterns was marked with “×”.

【0052】4.レーザ加工後IVH底部の樹脂残渣 内層材として、予め表面の銅箔に内層処理(黒化処理)
を施した厚み0.2mmの内層コア両面板(松下電工社
製「CR1766」:銅箔の厚み35μm)を使用し、
この内層材の両面に上記のようにして作製した樹脂付き
金属箔を樹脂層の側で重ね、170℃、90分間加熱し
ながら、2.94MPaで加圧して多層配線板を製造し
た。その後、表面の銅箔をエッチングにより除去し、レ
ーザ加工用サンプルを得た。
4. Resin residue at the bottom of IVH after laser processing As inner layer material, inner layer processing (blackening processing) on copper foil on the surface in advance
Using a 0.2 mm thick inner layer core double-sided board (“CR1766” manufactured by Matsushita Electric Works: copper foil thickness 35 μm)
The metal foil with resin produced as described above was laminated on both sides of the inner layer material on the side of the resin layer, and pressurized at 2.94 MPa while heating at 170 ° C. for 90 minutes to produce a multilayer wiring board. Thereafter, the copper foil on the surface was removed by etching to obtain a sample for laser processing.

【0053】一方、絶縁性フィルムの場合、上記と同種
の内層材を使用し、この内層材の両面に上記のようにし
て作製した絶縁性フィルムを樹脂層の側で重ね、170
℃、90分間加熱しながら、2.94MPaで加圧して
多層配線板を製造した。その後、表面のキャリアーフィ
ルムを剥がし、レーザ加工用サンプルを得た。
On the other hand, in the case of an insulating film, the same kind of inner layer material as described above is used, and the insulating film produced as described above is superposed on both surfaces of the inner layer material on the resin layer side.
While heating at 90 ° C. for 90 minutes, pressure was applied at 2.94 MPa to produce a multilayer wiring board. Thereafter, the carrier film on the surface was peeled off to obtain a laser processing sample.

【0054】次に、三菱電機社製レーザ機「ML505
GT」を使用し、パルス周波数:1500Hz、パルス
幅:20μs、出力:5.4mj/パルス、照射パルス
数:3ショットの条件で、上記のようにして得られたレ
ーザ加工用サンプルにIVH(interstitial via hol
e)の穴あけ加工を行った後、走査型電子顕微鏡(SE
M)を使用して穴の内部を観察し、樹脂残渣の有無を調
査した。
Next, a laser machine “ML505” manufactured by Mitsubishi Electric Corporation was used.
GT ", using a pulse frequency of 1500 Hz, a pulse width of 20 μs, an output of 5.4 mj / pulse, and an irradiation pulse number of 3 shots, the IVH (interstitial) was applied to the laser processing sample obtained as described above. via hol
e) After drilling, a scanning electron microscope (SE
M) was used to observe the inside of the hole to investigate the presence or absence of resin residue.

【0055】[0055]

【表1】 [Table 1]

【0056】[0056]

【表2】 [Table 2]

【0057】表1及び2にみられるように、実施例1〜
8のものは全ての評価項目において良好な結果であるこ
とが確認される。
As shown in Tables 1 and 2, Examples 1 to
8 is a good result in all the evaluation items.

【0058】また実施例9のものは、樹脂層の厚みが3
0μm未満であるため、内層材のスルーホールの上部及
び下部にある樹脂層の表面に凹みが若干残り、またこの
樹脂層の表面に形成された回路パターンの一部に欠損が
みられた。
In Example 9, the thickness of the resin layer was 3
Since the thickness was less than 0 μm, some dents remained on the surface of the resin layer above and below the through holes of the inner layer material, and some of the circuit patterns formed on the surface of the resin layer were defective.

【0059】また実施例10のものは、樹脂層の厚みが
150μmを超えるため、レーザ加工後に穴の底部に樹
脂残渣が残った。
In Example 10, the thickness of the resin layer exceeded 150 μm, so that the resin residue remained at the bottom of the hole after laser processing.

【0060】また実施例11のものは、積層成形を大気
圧下で行ったため、内層材のスルーホールの内部にボイ
ドが発生した。
In the case of the eleventh embodiment, since the lamination molding was performed under the atmospheric pressure, voids were generated inside the through holes of the inner layer material.

【0061】これに対し比較例1のものは、支持体であ
る銅箔の曲げ弾性率と厚みの積が3000GPa・μm
未満であるため、内層材のスルーホールの上部及び下部
にある樹脂層の表面に大きな凹みが生じ、またこの樹脂
層の表面に形成された回路パターンの全てに欠損がみら
れた。
On the other hand, in the case of Comparative Example 1, the product of the bending elastic modulus and the thickness of the copper foil as the support was 3000 GPa · μm.
Because of this, large depressions were formed on the surface of the resin layer above and below the through holes of the inner layer material, and all the circuit patterns formed on the surface of the resin layer were defective.

【0062】[0062]

【発明の効果】上記のように本発明の請求項1に係る複
合体は、シート状の支持体の片側の面に樹脂組成物が塗
布され樹脂層が形成されて作製される複合体において、
上記支持体の曲げ弾性率と厚みの積が3000GPa・
μm以上であるので、表面にスルーホールの開口を有す
る内層材を用いて積層成形を行う場合に、穴埋め樹脂を
用いてスルーホールの内部を充填する必要が無く工程が
簡略化されると共に、スルーホールの近傍にある支持体
の表面に凹みが生じることがなくなるものである。
As described above, the composite according to claim 1 of the present invention is a composite prepared by applying a resin composition to one surface of a sheet-shaped support and forming a resin layer,
The product of the bending elastic modulus and the thickness of the support is 3000 GPa.
μm or more, so when performing lamination molding using an inner layer material having a through hole opening on the surface, it is not necessary to fill the inside of the through hole with a filling resin, simplifying the process, and This eliminates the occurrence of dents on the surface of the support near the holes.

【0063】また請求項2の発明は、請求項1におい
て、支持体が金属箔であるので、容易に曲げ弾性率と厚
みの積を3000GPa・μm以上とすることができ、
樹脂層が完全に硬化するまでこの層の表面を平滑に保持
しておくことができるものである。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, since the support is a metal foil, the product of the flexural modulus and the thickness can be easily made 3000 GPa · μm or more.
The surface of the resin layer can be kept smooth until it is completely cured.

【0064】また請求項3の発明は、請求項2におい
て、金属箔が銅箔であるので、容易に曲げ弾性率と厚み
の積を3000GPa・μm以上とすることができ、樹
脂層が完全に硬化するまでこの層の表面を平滑に保持し
ておくことができると共に、製造される多層プリント配
線板の電気的信頼性を一層向上させることができるもの
である。
According to a third aspect of the present invention, in the second aspect, since the metal foil is a copper foil, the product of the flexural modulus and the thickness can be easily made 3000 GPa · μm or more, and the resin layer is completely formed. The surface of this layer can be kept smooth until it is cured, and the electrical reliability of the manufactured multilayer printed wiring board can be further improved.

【0065】また請求項4の発明は、請求項1におい
て、支持体が樹脂フィルムであるので、樹脂層が完全に
硬化するまでこの層の表面を平滑に保持しておくことが
できると共に、硬化後は樹脂フィルムを引き剥がすこと
により平滑な樹脂層の面を露出させることができるもの
である。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect, since the support is a resin film, the surface of the resin layer can be kept smooth until the resin layer is completely cured. After that, the surface of the smooth resin layer can be exposed by peeling off the resin film.

【0066】また請求項5の発明は、請求項4におい
て、樹脂フィルムがポリエチレンテレフタレート樹脂で
形成されているので、比較的安価であって耐熱性が良好
であるポリエチレンテレフタレート樹脂を用いることに
よって、樹脂層が完全に硬化するまでこの層の表面を平
滑に保持しておくことができると共に、硬化後は樹脂フ
ィルムを引き剥がすことにより平滑な樹脂層の面を露出
させることができるものである。
According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect, the resin film is formed of a polyethylene terephthalate resin. Therefore, the polyethylene terephthalate resin which is relatively inexpensive and has good heat resistance is used. The surface of this layer can be kept smooth until the layer is completely cured, and after curing, the surface of the smooth resin layer can be exposed by peeling off the resin film.

【0067】また請求項6の発明は、請求項1におい
て、支持体が金属箔と樹脂フィルムとで形成されている
ので、金属箔あるいは樹脂フィルムのいずれか一方のみ
では曲げ弾性率と厚みの積が3000GPa・μm未満
である場合に、他方のものをキャリアーフィルムとして
重ね合わせることで上記の値以上のものとすることがで
きるものである。
According to a sixth aspect of the present invention, in the first aspect, since the support is formed of a metal foil and a resin film, the product of the flexural modulus and the thickness of only one of the metal foil and the resin film is used. Is less than 3000 GPa.mu.m, the other can be more than the above value by superposing the other as a carrier film.

【0068】また請求項7の発明は、請求項1乃至6の
いずれかにおいて、樹脂層の厚みが30〜150μmで
あるので、表面にスルーホールの開口を有する内層材を
用いて積層成形を行う場合に、穴埋め樹脂を用いてスル
ーホールの内部を充填する必要が無く工程が簡略化さ
れ、積層された複合体の外側の面に凹みが生じなくなる
と共に、樹脂層への穴あけを行っても穴の底部に樹脂残
渣が生じることなく生産性を高く維持することができる
ものである。
According to a seventh aspect of the present invention, in any one of the first to sixth aspects, since the thickness of the resin layer is 30 to 150 μm, lamination molding is performed using an inner layer material having a through hole opening on the surface. In this case, it is not necessary to fill the inside of the through-hole with a filling resin, which simplifies the process, prevents dents from being formed on the outer surface of the laminated composite, and allows a hole to be formed in the resin layer. The productivity can be maintained at a high level without generating a resin residue at the bottom.

【0069】また請求項8に係る多層プリント配線板の
製造方法は、請求項1乃至7のいずれかに記載の複合体
とスルーホールが形成された内層材とを用いて多層プリ
ント配線板を製造するにあたって、真空下において、内
層材のスルーホールが形成された面に上記複合体の樹脂
層の側を重ね合わせ、スルーホールの内部を樹脂層の樹
脂組成物で充填するので、表面にスルーホールの開口を
有する内層材を用いて積層成形を行う場合に、穴埋め樹
脂を用いなくてもスルーホールの内部からボイドを確実
に無くすことができると共に、スルーホールの内部へ樹
脂組成物が充填されるに伴い、支持体は何ら影響を受け
ることなくその平滑性を保持することができて、支持体
の外側の表面に凹みが全く生じなくなるものである。
According to a eighth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a multilayer printed wiring board using the composite according to any one of the first to seventh aspects and an inner layer material having through holes formed therein. In doing so, under vacuum, the resin layer side of the above composite is overlapped with the surface of the inner layer material where the through hole is formed, and the inside of the through hole is filled with the resin composition of the resin layer. When performing lamination molding using an inner layer material having an opening, voids can be surely eliminated from the inside of the through hole without using a filling resin, and the inside of the through hole is filled with the resin composition. As a result, the support can maintain its smoothness without being affected at all, and no dent is formed on the outer surface of the support.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/46 H05K 3/46 G // H05K 3/00 3/00 R Fターム(参考) 4F100 AB01A AB17 AB17A AB33A AK01A AK01B AK01C AK42 AK42A AK53 AT00A AT00C BA02 BA03 BA07 BA10A BA10B BA10C BA15 CA02 EH46 EH46B GB43 JA20A JA20B JK07A JL02 YY00A YY00B 5E314 AA32 FF05 FF08 FF17 FF19 GG24 5E346 AA12 CC09 CC12 CC32 DD02 DD12 EE06 GG08 GG15 HH11 HH32 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 3/46 H05K 3/46 G // H05K 3/00 3/00 RF term (Reference) 4F100 AB01A AB17 AB17A AB33A AK01A AK01B AK01C AK42 AK42A AK53 AT00A AT00C BA02 BA03 BA07 BA10A BA10B BA10C BA15 CA02 EH46 EH46B GB43 JA20A JA20B JK07A JL02 YY00A YY00B 5E314 AA32 FF05 FF12 AFF12 FF05 FF19 FF05 FF12 FF05 FF12 FF05 FF12 FF05 FF12 FF05 FF12 FF05 FF08 FF05 FF19 FF05 FF08 FF05 FF08

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 シート状の支持体の片側の面に樹脂組成
物が塗布され樹脂層が形成されて作製される複合体にお
いて、上記支持体の曲げ弾性率と厚みの積が3000G
Pa・μm以上であることを特徴とする複合体。
1. A composite formed by applying a resin composition to one surface of a sheet-like support to form a resin layer, wherein the product of the flexural modulus and the thickness of the support is 3000G.
A composite having a Pa · μm or more.
【請求項2】 支持体が金属箔であることを特徴とする
請求項1に記載の複合体。
2. The composite according to claim 1, wherein the support is a metal foil.
【請求項3】 金属箔が銅箔であることを特徴とする請
求項2に記載の複合体。
3. The composite according to claim 2, wherein the metal foil is a copper foil.
【請求項4】 支持体が樹脂フィルムであることを特徴
とする請求項1に記載の複合体。
4. The composite according to claim 1, wherein the support is a resin film.
【請求項5】 樹脂フィルムがポリエチレンテレフタレ
ート樹脂で形成されていることを特徴とする請求項4に
記載の複合体。
5. The composite according to claim 4, wherein the resin film is formed of a polyethylene terephthalate resin.
【請求項6】 支持体が金属箔と樹脂フィルムとで形成
されていることを特徴とする請求項1に記載の複合体。
6. The composite according to claim 1, wherein the support is formed of a metal foil and a resin film.
【請求項7】 樹脂層の厚みが30〜150μmである
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の複
合体。
7. The composite according to claim 1, wherein the thickness of the resin layer is 30 to 150 μm.
【請求項8】 請求項1乃至7のいずれかに記載の複合
体とスルーホールが形成された内層材とを用いて多層プ
リント配線板を製造するにあたって、真空下において、
内層材のスルーホールが形成された面に上記複合体の樹
脂層の側を重ね合わせ、スルーホールの内部を樹脂層の
樹脂組成物で充填することを特徴とする多層プリント配
線板の製造方法。
8. When manufacturing a multilayer printed wiring board using the composite according to any one of claims 1 to 7 and an inner layer material in which a through hole is formed, under a vacuum,
A method of manufacturing a multilayer printed wiring board, comprising: laminating a resin layer side of the above-mentioned composite on a surface of an inner layer material on which a through hole is formed, and filling the inside of the through hole with a resin composition of the resin layer.
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