JP2002122102A - 押圧装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】不感帯を設けることなくしかも安定なバランス
が得られるようにしたストローク制御式または圧力制御
式の押圧装置を提供することを目的とする。 【解決手段】エアシリンダ７２のピストン７３に対して
その両側にそれぞれ制御弁８１、８２を接続し、一方の
制御弁８１にはこのシリンダ７２のストロークに応じた
信号を供給するとともに、他方の制御弁８２に対しては
ストロークまたは圧力の目標値と実際のストロークまた
は実際の圧力との偏差信号を用いてサーボアンプ８６で
フィードバック制御を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は押圧装置に係り、と
くに流体式シリンダから成り、ピストンロッドによって
ワークを押圧する押圧装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば液晶表示装置の組立てに用いられ
る液晶重合わせ装置は、加圧力を時間に対して制御する
ことを要する。このような目的のために、従来は図６に
示すような押圧装置が用いられていた。

【０００３】この装置はエアシリンダ７２が用いられ、
そのピストン７３に固着されたピストンロッド７４の先
端側の部分に押圧子７５を取付けている。またピストン
ロッド７４から側方に突出するアーム７６を位置センサ
７７の入力端に接続するようにしている。そして位置セ
ンサ７７の出力をストローク／電圧変換器８３において
電圧に変換するとともに、コンパレータ８５に供給して
いる。コンパレータ８５は指示器８４の出力（入力目標
値）と変換器８３の出力とを比較し、両者の偏差をサー
ボアンプ８６で増幅し、スプールバルブ９０のフォース
モータ９１に供給するようにしている。

【０００４】従って指示器８４によって指示値を入力す
ると、指示値がコンパレータ８５で変換器８３の出力と
比較され、コンパレータ８５の偏差出力がサーボアンプ
８６で増幅されてスプールバルブ９０のフォースモータ
９１に印加され、これによってスプールバルブ９０が切
換えられるようになっている。ここでコンパレータ８５
およびサーボアンプ８６から成るシステムはデジタルコ
ントローラ９２から構成されている。

【０００５】デジタルコントローラ９２の出力によって
スプールバルブ９０が左側のポジションに切換えられた
場合にはシリンダ７２のピストンロッド７４が引込まれ
てストロークが減少する。これに対してスプールバルブ
９０が右側のポジションに切換えられた場合には、ピス
トンロッド７４が押出されてそのストロークが増加す
る。またスプールバルブ９０が中立位置に切換えられる
と、その位置で停止する。従ってデジタルコントローラ
９２によってスプールバルブ９０を切換えてシリンダ７
２のストロークを所定の値に設定することにより、押圧
子７５によってワークを所定のストロークで押圧するこ
とが可能になる。

【０００６】このような従来の流体式シリンダ７２の内
圧は図７に示すように、そのストロークに関係なく一定
の値を維持するようになっている。すなわちピストンロ
ッド７４の太さを無視して考えると、ピストン７３に対
して右側の空間の圧力Ｐ2 による押圧力はピストン７３
に対して左側の空間の圧力Ｐ1 による押圧力と押圧子７
５が受ける反力Ｆとの和とバランスする。ところがこの
バランスは図７に示すように、ストロークに関係なく成
立するものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のこのような押圧
装置は、スプールバルブ９０がＯＮ−ＯＦＦ式の切換え
バルブから構成されている。従って不感帯がないと非常
に不安定になり、シリンダ７２は目標ストロークの近傍
でチャタリングを起すことになる。このような理由か
ら、図６に示すように中間にロックポジションを設けた
スプールバルブ９０を用いている。ところがこのように
不感帯を設けると、その部分では制御が行なわれないた
めに、目標ストロークの近傍での位置制御が停止し、精
度が低下する欠点がある。

【０００８】またこのような押圧装置はストロークの制
御は行なうことが可能だが、押圧力の制御を行なうこと
ができない。さらにこの装置はスプールバルブ９０のフ
ォースモータ９１を３つのポジションに切換えるために
デジタルコントローラ９２を用いるようにしており、こ
れによって装置が高価になるとともに、制御用のソフト
ウエアを用意しなければならないという欠点がある。

【０００９】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、力学的な平衡バランスによって位置決
めが行なわれるようにした簡潔でしかも高精度の押圧装
置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願の主要な発明は、流
体式シリンダから成り、ピストンロッドによってワーク
を押圧する押圧装置において、前記流体式シリンダのピ
ストンロッドの両側の空間にそれぞれ作動圧を供給する
制御弁を接続し、一方の制御弁に前記流体式シリンダの
ストロークに応じた入力信号を入力するとともに、他方
の制御弁にストロークまたは押圧力の目標値に応じた入
力信号を入力することを特徴とする押圧装置に関するも
のである。

【００１１】ここで前記制御弁は入力信号が増加すると
それに応じて出力圧が増加または減少する制御弁であっ
てよい。また前記流体式シリンダのストロークに応じた
入力信号が供給される前記一方の制御弁が前記流体式シ
リンダのピストンに対してピストンロッド側の空間に接
続されてよい。

【００１２】また目標値がコンパレータにおいて前記流
体式シリンダの実際のストロークと比較され、目標値と
実際のストロークとの偏差が前記他方の制御弁に入力さ
れるようにしてよい。あるいはまた目標値がコンパレー
タにおいて前記流体式シリンダの前記他方の制御弁が接
続された空間の圧力と比較され、目標値と実際の圧力と
の偏差が前記他方の制御弁に入力されるようにしてよ
い。

【００１３】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態の押
圧装置を示すものであって、押圧装置はそのアクチュエ
ータとしてエアシリンダ７２が設けられている。エアシ
リンダ７２はピストン７３を摺動可能に内蔵し、ピスト
ン７３にピストンロッド７４が連設されている。ピスト
ンロッド７４はシリンダ７２の左方に突出されるととも
に、先端部に押圧子７５を備えている。またピストンロ
ッド７４にはアーム７６が取付けられ、このアーム７６
が位置センサ７７の入力端に連結されている。

【００１４】上記エアシリンダ７２のピストン７３に対
してその両側にはそれぞれ制御弁８１、８２が接続され
ている。そして一方の制御弁８２の入力側は、上記位置
センサ７７の出力端に接続された変換器８３の出力端と
接続されている。またこのシステムはストロークを指示
する指示器８４を備え、この指示器８４の出力が変換器
８３の出力とコンパレータ８５で比較されるようになっ
ている。コンパレータ８５の出力側はサーボアンプ８６
に接続され、しかもサーボアンプ８６の出力側が上記第
２の制御弁８２の入力側に接続されている。

【００１５】図３はこの一実施の形態に用いられる制御
弁８１、８２の全体の構成を示すものであって、この制
御弁はボディ１０を備えており、このボディ１０の下側
の部分にはその左側に供給ポート１１が、右側の部分に
は出力ポート１２がそれぞれ形成されている。

【００１６】またこのボディ１０はその上部側に第１の
凹部１６を有し、この凹部１６の上部開口を閉塞するよ
うに入力ダイヤフラム１７を備えている。そして入力ダ
イヤフラム１７はその下側に配されている圧力板１８に
よって受けられるようになっている。圧力板１８は下方
へ突出するように比較的大きな直径のセンタボス１９を
備え、このセンタボス１９が出力ダイヤフラム２０のほ
ぼ中央部を押圧するようにしている。そして第１の凹部
１６であって入力ダイヤフラム１７と出力ダイヤフラム
２０との間の空間が小孔２１によって外部と連通され、
大気圧に等しい圧力に維持されるようになっている。

【００１７】上記第１の凹部１６の下側には第２の凹部
２２が連設されている。そして第１の凹部１６と第２の
凹部２２とを互いに遮断するように上記出力ダイヤフラ
ム２０が配されている。そしてこのような出力ダイヤフ
ラム２０を受けるように第２の凹部２２内には受け板２
３が配されている。受け板２３はばね２４によって上方
へ押圧付勢されている。

【００１８】上記受け板２３の下面に接触するように第
２の凹部２２には圧力板２５が配されている。この圧力
板２５はロッド２６を介して下側に配されているポペッ
ト２７と連結されている。ここでポペット２７は第３の
凹部２８内に配されている。また上記ロッド２６は貫通
孔２９によってボディ１０に摺動可能に支持されてい
る。そしてポペット２７の上面にはＯリング３０が取付
けられており、このＯリング３０が凹部２８の内側の上
面に圧着するようになっている。

【００１９】圧力板２５の下側には突部３５が連設され
るとともに、この突部３５がバランスダイヤフラム３６
を押圧するようになっている。なおバランスダイヤフラ
ム３６はその下側に配されているばね受け３７を介して
キャンセルばね３８の押圧力を受けるようにしている。

【００２０】次にこのような構成のボディ１０から成る
弁本体の上側に配されているノズルフラッパの機構につ
いて説明する。ノズル４５は中心孔４６を具備するとと
もに、このノズル４５の基端側の部分が保持部４７に構
成されており、上部ボディ４８に設けられている凹部４
９内において支持されている。

【００２１】上記ノズル４５は中心孔４６と連通する横
孔５０を備えるとともに、横孔５０は保持部４７の外周
面に形成されている連通溝５１に連通されている。そし
て上記連通溝５１と連通するようにボディ４８にはポー
ト５２が形成されており、このポート５２が凹部１６内
であって上記入力ダイヤフラム１７の上側の空間に連通
されている。そして絞り通路５３および連通路５４を介
してポート５２は供給ポート１１に連通されるようにな
っている。

【００２２】次に上記ノズル４５の先端部と対向するよ
うに配されているフラッパ６０について説明する。フラ
ッパ６０は例えばりん青銅の薄板から成り、その外周側
の部分には表裏の両側を連通させる開口６１が形成され
ている。またこのようなフラッパ６０はその周縁部がケ
ーシング６２によって張設されている。

【００２３】ケーシング６２内にはヨーク６３が配され
るとともに、このヨーク６３の内部にはマグネット６４
とセンタコア６５とがそれぞれ取付けられている。また
センタコア６５の外周側であってヨーク６３の内周側と
の隙間の部分にはコイル６６が配されている。そしてこ
のコイル６６がボビン６７に取付けられている。そして
ボビン６７を介してコイル６６は上記フラッパ６０に連
結されている。なおヨーク６３およびケーシング６２を
貫通するように小孔６８が形成されており、これによっ
てケーシング６２の内部に圧力が大気圧に維持されてい
る。

【００２４】次にこのような制御弁の動作の概要を説明
する。ケーシング６２内のコイル６６には信号電流が加
えられる。コイル６６はマグネット６４によって形成さ
れる磁気回路のエアギャップの中に配されているため
に、コイル６６に加えられる信号電流によってこのコイ
ル６６が軸線方向に移動する。すなわちここではコイル
６６とマグネット６４とヨーク６３とセンタコア６５と
によってリニアモータが構成されており、このようなリ
ニアモータによってフラッパ６０が図１において左右の
方向の力を受けることになる。従ってこのような力によ
ってフラッパ６０がノズル４５の先端部に対して変位す
る。

【００２５】供給ポート１１を通して加えられる供給圧
は連通路５４、絞り通路５３、ポート５２、連通溝５
１、横孔５０を通してノズル４５の中心孔４６に対して
作動圧として印加される。そしてこのような作動圧は、
フラッパ６０とノズル４５の先端部との隙間を通して流
出する流出量に応じて減圧され、減圧された圧力が中心
孔４６、横孔５０、連通溝５１、およびポート５２を通
して信号圧として取出され、この信号圧が入力ダイヤフ
ラム１７の上面に作用する。

【００２６】これに対して下側の凹部２８が出力ポート
１２と連通しているために、凹部２８内が出力圧に維持
される。そしてこのような出力圧はボディ１０の貫通孔
２９を通して凹部２２に印加されているために、凹部２
２内の圧力が出力圧に等しくなるとともに、出力ダイヤ
フラム２０の下面が出力圧を受けることになる。

【００２７】これに対して供給ポート１１からの供給圧
はボディ１０の中心部に上下方向に貫通するように形成
されている中心孔４０に印加されるために、バランスダ
イヤフラム３６の下面には供給圧が印加される。さらに
このバランスダイヤフラム３６の下面には、キャンセル
ばね３８の弾性復元力がばね受け３７を介して加わる。
また中心孔４０に加わる供給圧はポペット２７の上面で
あってＯリング３０よりも中心側の領域に印加されるこ
とになる。

【００２８】ここでコイル６６に流れる信号電流を増大
させると、フラッパ６０が図１において左方に押圧さ
れ、ノズル４５の先端部に近接し、これによってノズル
４５の背圧、すなわち信号圧が増大する。従ってこの信
号圧が上面に加えられるダイヤフラム１７は下方へより
大きな力を受けることになり、下方に移動する。そして
このような入力ダイヤフラム１７の力が圧力板１８、セ
ンタボス１９、出力ダイヤフラム２０、受け板２３を介
して圧力板２５に印加される。従ってこの圧力板２５が
下方へ移動する。

【００２９】圧力板２５はロッド２６を介してポペット
２７と連結されているために、圧力板２５が下方へ移動
するとポペット２７も下方へ移動する。従ってこのポペ
ット２７の上面に設けられているＯリング３０が凹部２
８の上面から離間する。従って供給ポート１１からの供
給圧が中心孔４０から第３の凹部２８に流動し、出力ポ
ート１２を通して取出される出力圧が上昇する。

【００３０】出力圧は凹部２２内であって出力ダイヤフ
ラム２０の下面に加えられており、出力圧の上昇に伴っ
て出力ダイヤフラム２０が上方へ押す力が次第に増大
し、やがて入力ダイヤフラム１７による下方への力の増
加量をキャンセルするようになると、ここで再び力の平
衡に達し、図１に示すように圧力板２５およびポペット
２７が上方へ移動してＯリング３０が凹部２８の上面に
接触し、供給圧を遮断する。これによって新しい平衡状
態に達する。

【００３１】コイル６６に加えられる信号電流を減少さ
せた場合には、このコイル６６がフラッパ６０を左方へ
押圧する力が少なくなり、このフラッパ６０自身の弾性
復元力とのバランスによってノズル４５とフラッパ６０
との間の隙間が増大する。従ってこの場合にはノズル４
５の背圧が減少することになる。

【００３２】ノズル４５の背圧、すなわち信号圧が減少
すると、入力ダイヤフラム１７の上面に加えられる信号
圧が減少するために出力圧を受ける出力ダイヤフラム２
０の押圧力によって入力ダイヤフラム１７が上方へ移動
することになる。従って圧力板１８およびセンタボス１
９もばね２４の弾性復元力によって上方へ移動するよう
になる。

【００３３】するとセンタボス１９の先端部が出力ダイ
ヤフラム２０から離間する。従って出力ダイヤフラム２
０および受け板２３に貫通して形成されている中心孔４
１が開くようになる。従ってこのような中心孔４１を通
して第２の凹部２２内の空間の出力圧が第１の凹部１６
側へ逃げるようになり、さらに小孔２１を通してボディ
１０の外側に流出する。これによって出力圧が次第に減
少する。そして出力圧による力が信号圧による力とバラ
ンスする状態に達すると、再びセンタボス１９が出力ダ
イヤフラム２０の上面に接し、中心孔４１を閉塞して新
たな力の平衡状態に達する。

【００３４】図４はこのような制御弁のコイル６６に入
力信号として供給される信号電流に対する出力圧力の変
化を示している。このグラフから明らかなように、コイ
ル６６に加えられる信号電流に応じて、出力ポート１２
から出力される出力圧力がほぼ直線的に増加する特性を
有している。なお図１に示す一対の制御弁８１、８２は
ともに図３に示すような制御弁から構成されている。こ
こで原理的な特性は同一であるものの、一対の制御弁８
１、８２の仕様は互いに異なっている。

【００３５】次に制御弁８１、８２とエアシリンダ７２
から成る押圧装置の全体の動作を説明する。指示器８４
によってストロークの目標値を入力する。これに対して
エアシリンダ７２のその時の現実のストロークは位置セ
ンサ７７によって検出されるとともに、このストローク
が変換器８３において電流に変換される。そして指示器
８４の出力と変換器８３の出力とがコンパレータ８５で
比較され、その偏差がサーボアンプ８６に入力される。
ここでサーボアンプ８６は比例積分制御を行なうアンプ
であって、コンパレータ８５の出力を△Ｓとすると、サ
ーボアンプ８６の出力は次式で表わされる。なおここで
第１項が比例項で第２項が積分項である。

【００３６】Ｃ1 △Ｓ＋Ｃ2 ∫△Ｓｄｔ 上記の式で示されるサーボアンプ８６の出力が制御信号
として制御弁８２に供給される。これに対して反対側の
制御弁８１の入力側にはストローク／電流変換器８３の
出力が供給されている。

【００３７】ここで制御弁８１、８２の出力ポート１２
に生ずる出力圧をそれぞれＰ1 、Ｐ2 とし、シリンダ７
２のピストン７３の断面積をＡとし、ピストンロッド７
４の断面積をａとし、押圧子７５に加わる反力をＦとす
ると、エアシリンダ７２の軸線方向の力のバランスは次
式で表わされる。

【００３８】Ｆ＋（Ａ−ａ）Ｐ1 ＝ＡＰ2 いまエアシリンダ７２のピストン７３の右側の空間の圧
力を図２においてＢ点に設定する。このときにピストン
７３の左側の空間の圧力は必ず上記の力のバランスが成
立するＡ点に設定されなければならない。Ａ点からずれ
た場合には力のバランスが成立しなくなる。

【００３９】ところがサーボアンプ８６によるフィード
バック制御によって、上記のような力のバランスが自動
的に成立し、安定点に達するようにしている。いま図２
においてシリンダ７２のピストン７３の右側の空間の圧
力Ｐ2 が増大して図２においてＢ点からＢ１点に移行し
た場合について考える。Ｐ2 が増大するとピストン７３
を押す力が大きくなるためにこれによってピストンロッ
ド７４が押出され、このシリンダ７２のストロークが増
加する。するとこのストロークが位置センサ７７によっ
て検出されるとともに、この検出出力が変換器８３によ
って電流に変換されて制御弁８１に信号として供給され
る。すなわち制御弁８１の出力Ｐ1 が増加してピストン
ロッド７４を押戻す力が増加し、これによってＰ2 の増
大にバランスする。

【００４０】なおこのときに指示器８４に入力される目
標値と実際のストロークとの間にオフセット量が存在す
るときは、このオフセット量に応じてコンパレータ８５
が出力を生じ、この出力がサーボアンプ８６によって増
幅されて制御弁８２に供給される信号電流が増減され、
このようなサーボ動作によって制御弁８２の出力圧Ｐ2
が調整され、上記のオフセットがなくなる。

【００４１】エアシリンダ７２のピストン７３に対して
右側の空間の圧力Ｐ2 が小さくなって図２においてＢ点
からＢ２点に移行した場合には、ピストン７３が右方に
押されてピストンロッド７４が引込まれる。従ってこの
エアシリンダ７２のストロークが小さくなる。するとこ
の小さなストロークが位置センサ７７によって検出され
る。位置センサ７７の出力は変換器８３によって電流に
変換されるとともに、変換された電流値が制御弁８１に
制御信号として供給される。従って制御弁８１の出力圧
Ｐ1 が減少し、ピストン７３を押戻す力が減少して新た
な力のバランスの平衡に達する。

【００４２】なおこのときに目標とするストロークと実
際のストロークとの間にオフセットが存在する場合に
は、このオフセットがコンパレータ８５から出力され
る。従ってサーボアンプ８６を通して供給される制御弁
８２の信号電流が増加あるいは減少し、上記のオフセッ
トをキャンセルするように作用する。これによって新し
い力のバランスが成立する。従って常に安定なバランス
点においてエアシリンダ７２が所定のストロークを生ず
ることになる。

【００４３】このような押圧装置は、エアシリンダ７２
の軸線方向の力のバランスによって安定点を得るように
しているために、不感帯を設ける必要がなくなる。また
サーボアンプ８６が比例積分要素から構成されており、
とくにその積分項で目標値とのオフセットをなくすこと
が可能になる。例えば押圧子７５のストロークを５ｍｍ
としたときに、比例制御によって４．９ｍｍのストロー
クを得、積分項で０．１ｍｍのストロークを得、これに
よって目標値となる５ｍｍのストロークを正しく発現し
ている。またサーボアンプ８６とコンパレータ８５の組
合わせがアナログコントローラによって構成されるため
に、取扱いが容易になるとともに、低コストでシステム
を組立てることが可能になる。

【００４４】次に別の実施の形態を図５によって説明す
る。この実施の形態において、エアシリンダ７２のピス
トン７３の左側の空間と接続されている制御弁８１の信
号ポートには、位置センサ７７の出力を電流に変換する
ストローク／電流変換器８３の出力が供給されるように
なっている。これに対してシリンダ７２のピストン７３
の右側の空間あるいは制御弁８２の出力圧Ｐ2 が圧力／
電圧変換器８７によって電圧に変換されるとともに、コ
ンパレータ８５に供給される。コンパレータ８５は指示
器８４の出力（目標値）と変換器８７の出力とを比較す
るとともに、その比較出力をサーボアンプ８６に供給し
ている。そしてサーボアンプ８６の出力が信号電流とし
て制御弁８２に供給されている。

【００４５】このような押圧装置において、押圧子７５
がワークに当接していない場合には、押圧子７５の受け
る反力Ｆが０であるためにエアシリンダ７２に負荷がか
からず、エアシリンダ７２のピストン７３の右側の部屋
の圧力は小さな値になっている。そしてこのような場合
に指示器８４に何等かの信号が供給されると、その信号
値がコンパレータ８５に供給される。このときにエアシ
リンダ７２の右側の部屋の出力Ｐ2 は小さな値になって
おり、変換器８７の出力も小さいために、コンパレータ
８５は比較的大きな出力を生じ、この大きな出力がサー
ボアンプ８６で増幅されて制御弁８２に信号電流として
供給される。従って押圧子７５がワークに当接していな
い場合には、ロッド７４がほぼ一定の速度で次第に押出
される。

【００４６】ワークに対して押圧子７５が当接すると、
これによって反力Ｆを生ずるとともに、エアシリンダ７
２のピストン７３の右側の部屋の圧力Ｐ2 が立上がる。
従ってこの場合には上記第１の実施の形態と同様の圧力
のバランスが成立する。

【００４７】何等かの原因によってエアシリンダ７２の
ピストン７３の右側の空間の圧力Ｐ2 が大きくなって押
圧子７５によるワークに対する押圧力が増大すると、圧
力Ｐ2 が変換器８７によって電圧に変換されるととも
に、この圧力がコンパレータ８５で目標値と比較され、
コンパレータ８５の出力が低下する。従ってサーボアン
プ８６を通して制御弁８２に供給される信号電流も低く
なり、これによってエアシリンダ７２のピストン７３の
右側の空間に供給される圧力Ｐ2 が減少する。

【００４８】逆にピストン７３の右側の空間の圧力Ｐ2
が小さくなった場合には、この小さな圧力Ｐ2 が変換器
８７で電圧に変換され、サーボアンプ８６に供給され
る。すなわちこの場合にはサーボアンプ８６の出力が増
加し、増加した出力がサーボアンプ８６で増幅されて制
御弁８２に制御信号として供給される。すなわちこの場
合には制御弁８２によって供給される出力圧Ｐ2 が増加
し、これによって押圧力を元の状態に戻す。このように
して押圧子７５によってワークに与えられる押圧力を常
に一定の値に維持している。

【００４９】この実施の形態において、サーボアンプ８
６は上記第１の実施の形態と同様に比例積分要素を構成
している。そしてコンパレータ８５において指示器８４
で供給される圧力の目標値と制御弁８２の出力圧との偏
差値△Ｐを得るようにしているために、このサーボアン
プ８６の出力は、コンパレータ８５の出力圧を△Ｐとす
ると、次式で表わされる。なおここで第１項が比例項で
第２項が積分項である。

【００５０】Ｃ1 △Ｐ＋Ｃ2 ∫△Ｐｄｔ

【発明の効果】本願の主要な発明は、流体式シリンダか
ら成り、ピストンロッドによってワークを押圧する押圧
装置において、流体式シリンダのピストンロッドの両側
の空間にそれぞれ作動圧を供給する制御弁を接続し、一
方の制御弁に流体式シリンダのストロークに応じた入力
信号を入力するとともに、他方の制御弁にストロークま
たは押圧力の目標値に応じた入力信号を入力するように
したものである。

【００５１】従ってこのような押圧装置によれば、流体
式シリンダのピストンの両側に加わる力のバランスによ
って平衡点が得られ、不感帯を設けることなくしかも安
定な動作が達成されるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態の押圧装置の接続を示すブロ
ック図である。

【図２】エアシリンダのストロークと圧力との関係を示
すグラフである。

【図３】制御弁の構造を示す縦断面図である。

【図４】制御弁の信号電流と出力圧力との関係を示すグ
ラフである。

【図５】第２の実施の形態の押圧装置のブロック図であ
る。

【図６】従来の押圧装置のブロック図である。

【図７】従来の押圧装置のストロークと圧力との関係を
示すグラフである。

【符号の説明】

１０ ボディ １１ 供給ポート １２ 出力ポート １６ 第１の凹部 １７ 入力ダイヤフラム １８ 圧力板 １９ センタボス ２０ 出力ダイヤフラム ２１ 小孔 ２２ 第２の凹部 ２３ 受け板 ２４ ばね ２５ 圧力板 ２６ ロッド ２７ ポペット ２８ 第３の凹部 ２９ 貫通孔 ３０ Ｏリング ３５ 突部 ３６ バランスダイヤフラム ３７ ばね受け ３８ キャンセルばね ４０ 中心孔 ４１ 中心孔 ４５ ノズル ４６ 中心孔 ４７ 保持部 ４８ 上部ボディ ４９ 凹部 ５０ 横孔 ５１ 連通溝 ５２ ポート ５３ 絞り通路 ５４ 連通路 ６０ フラッパ ６１ 開口 ６２ ケーシング ６３ ヨーク ６４ マグネット ６５ センタコア ６６ コイル ６７ ボビン ６８ 小孔 ７２ シリンダ ７３ ピストン ７４ ロッド ７５ 押圧子 ７６ アーム ７７ 位置センサ ８１、８２ 制御弁 ８３ 変換器 ８４ 指示器 ８５ コンパレータ ８６ サーボアンプ ８７ 変換器 ９０ スプールバルブ ９１ フォースモータ ９２ デジタルコントローラ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】流体式シリンダから成り、ピストンロッド
   によってワークを押圧する押圧装置において、 前記流体式シリンダのピストンロッドの両側の空間にそ
   れぞれ作動圧を供給する制御弁を接続し、 一方の制御弁に前記流体式シリンダのストロークに応じ
   た入力信号を入力するとともに、他方の制御弁にストロ
   ークの目標値に応じた入力信号を入力することを特徴と
   する押圧装置。
2. 【請求項２】流体式シリンダから成り、ピストンロッド
   によってワークを押圧する押圧装置において、 前記流体式シリンダのピストンロッドの両側の空間にそ
   れぞれ作動圧を供給する制御弁を接続し、 一方の制御弁に前記流体式シリンダのストロークに応じ
   た入力信号を入力するとともに、他方の制御弁に押圧力
   の目標値に応じた入力信号を入力することを特徴とする
   押圧装置。
3. 【請求項３】前記制御弁は入力信号が増加するとそれに
   応じて出力圧が増加または減少することを特徴とする請
   求項１または請求項２に記載の押圧装置。
4. 【請求項４】前記流体式シリンダのストロークに応じた
   入力信号が供給される前記一方の制御弁が前記流体式シ
   リンダのピストンに対してピストンロッド側の空間に接
   続されることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか
   に記載の押圧装置。
5. 【請求項５】目標値がコンパレータにおいて前記流体式
   シリンダの実際のストロークと比較され、目標値と実際
   のストロークとの偏差が前記他方の制御弁に入力される
   ことを特徴とする請求項１〜請求項４の何れかに記載の
   押圧装置。
6. 【請求項６】目標値がコンパレータにおいて前記流体式
   シリンダの前記他方の制御弁が接続された空間の圧力と
   比較され、目標値と実際の圧力との偏差が前記他方の制
   御弁に入力されることを特徴とする請求項１〜請求項４
   の何れかに記載の押圧装置。