JP2002114576A

JP2002114576A - 粗大セラミック粒子の除去方法及び除去装置

Info

Publication number: JP2002114576A
Application number: JP2000303667A
Authority: JP
Inventors: Kazuyuki Naka; 一之中; Hiroyuki Kurihara; 弘幸栗原
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2000-10-03
Filing date: 2000-10-03
Publication date: 2002-04-16

Abstract

(57)【要約】【課題】セラミックスラリーから、粗大セラミック粒
子を効率よく除去するための方法、粗大セラミック粒子
の除去装置を提供する。【解決手段】スラリーチャンバー３２に、内部のセラ
ミックスラリー３１を循環流動させる循環ライン３４を
設け、循環ライン３４にセラミックスラリー３１を循環
させながら、スラリーチャンバー３２内のセラミックス
ラリー３１を、所定の目開きのフィルター３３により濾
過して、粗大セラミック粒子を除去する。さらに、スラ
リーチャンバー又は循環ラインにて、超音波分散処理を
施し、セラミックスラリー中のセラミック粒子を分散さ
せる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、セラミックスラ
リーから粗大セラミック粒子を除去するための粗大セラ
ミック粒子の除去方法及び粗大セラミック粒子の除去装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】積層セ
ラミックコンデンサや、セラミック多層基板などの積層
セラミック電子部品は、通常、セラミックグリーンシー
トを積層、圧着し、熱処理して、セラミックや電極を焼
結させる工程を経て製造されている。

【０００３】例えば、図５に示すように、セラミック素
子１中に内部電極２が配設されているとともに、セラミ
ック素子１の両端部に、交互に異なる側の端面に引き出
された内部電極２と導通するように一対の外部電極３
ａ、３ｂが配設された構造を有する積層セラミックコン
デンサを製造する場合、通常は、以下のような方法で製
造されている。

【０００４】まず、セラミックグリーンシートに、金
属粒子を導電成分とする導電ペーストを塗布して、容量
形成用の内部電極２を形成することにより、電極配設シ
ート１１（図６）を作製する。次に、図６に示すように、電極配設シート１１を所定
枚数積層し、さらにその上下両面側に電極の配設されて
いないセラミックグリーンシート（外層用シート）２１
を積層、圧着することにより、各内部電極２の一端側が
交互に異なる側の端面に引き出された積層体（未焼成の
積層体）１ａを形成する。そして、この積層体１ａを所定の条件で焼成してセラ
ミックを焼結させた後、焼成後の積層体（セラミック素
子）１（図５）の両端部に導電性ペーストを塗布、焼付
けして、内部電極２と導通する外部電極３ａ、３ｂ（図
５）を形成することにより、図５に示すような積層セラ
ミックコンデンサが得られる。

【０００５】また、積層セラミック多層基板などの他の
積層セラミック電子部品も、上述の積層セラミックコン
デンサの場合と同様に、導電ペーストを塗布することに
より内部電極を配設したセラミックグリーンシートを積
層して積層体を形成する工程を経て製造されている。

【０００６】近年、積層セラミックコンデンサをはじめ
とする種々の積層セラミック電子部品に対しては、他の
電子素子の場合と同様に、小型化、高性能化が求められ
るようになっている。そして、そのためには、積層セラ
ミック電子部品の製造に用いられるセラミックグリーン
シートを薄くすることが必要になる。

【０００７】そして、厚みの薄いセラミックグリーンシ
ートを製造しようとすると、セラミックグリーンシート
の製造に用いられるセラミックスラリーとして、粒径の
小さなセラミック原料粉末（セラミック粒子）が十分に
分散しているものを用いることが必要となり、そのため
には、例えば、平均粒径が０．０５〜１μmというよう
な微細なセラミック原料粉末を用いることが必要にな
る。

【０００８】しかし、セラミック原料粉末は、平均粒径
が０．０５〜１μmと微細なものであっても、一部に粗
大セラミック粒子や、分散しにくいセラミック粒子の集
合体あるいは凝集体など（以下、「粗大セラミック粒
子」と総称する）が含まれている場合が多く、セラミッ
クスラリーから粗大セラミック粒子を除去することが必
要となる。

【０００９】ところで、平均粒径が小さく、粗大セラミ
ック粒子を含まない微細なセラミック粒子が分散したセ
ラミックスラリーを得る方法として、従来は、セラミッ
クスラリーを濾過して、粗大セラミック粒子を除去する
方法が一般的に用いられている。

【００１０】この方法は、例えば、図７に示すように、
濾過されるべきセラミックスラリー（例えば、平均粒径
が１μm以下の微細なセラミック粒子を含むスラリー）
５１が供給されるスラリーチャンバー５２内に、円筒状
で外周面が濾過面となるような、所定の目開きのフィル
ター５３が配設された濾過装置５４を用い、セラミック
スラリー５１をスラリーチャンバー５２内に連続的に供
給して、フィルター５３を通過させることにより、粗大
セラミック粒子（例えば、粒径が３μm以上のセラミッ
ク粒子）を濾過分離し、粗大セラミック粒子を含まない
セラミックスラリー５１ａを得る方法である。

【００１１】しかし、この方法によれば、図８に示すよ
うに、スラリーチャンバー５２内でセラミック粒子５５
が沈降し、凝集することにより形成されるフロック５５
ａにより、フィルター（濾材）５３が閉塞し、濾過速度
が低下するばかりでなく、フィルターの目開きに対応し
て、所定の粒径以上の粗大セラミック粒子を除去し、所
定の粒径以下のセラミック粒子を通過させるという、基
本的な濾過性能を確保することが困難になり、精度よく
所定の粒径以下の微細なセラミック粒子を得ることがで
きなくなるという問題点がある。

【００１２】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、セラミックスラリーから、粗大セラミック粒子を
効率よく除去することが可能な粗大セラミック粒子の除
去方法及び粗大セラミック粒子の除去装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）の粗大セラミック粒子の除去
方法は、セラミック粒子を主たる固形分として含有する
スラリー（以下「セラミックスラリー」）をフィルター
により濾過して、所定の粒径以上の粗大セラミック粒子
を除去する方法において、フィルターを通過させるべき
セラミックスラリーが供給される、フィルター前室とし
て機能するスラリーチャンバーから、セラミックスラリ
ーを抜き出し、所定の経路で循環させて再びスラリーチ
ャンバーに戻す循環ラインを設け、前記循環ラインにセ
ラミックスラリーを循環させつつ、スラリーチャンバー
内のセラミックスラリーを所定の目開きのフィルターに
より濾過して、粗大セラミック粒子を除去することを特
徴としている。

【００１４】スラリーチャンバーから、セラミックスラ
リーを抜き出し、所定の経路で循環させて再びスラリー
チャンバーに戻す循環ラインを設け、セラミックスラリ
ーを循環させながら、所定の目開きのフィルターにより
濾過することにより、スラリーチャンバー内におけるセ
ラミックスラリー中のセラミック粒子の堆積・凝集を確
実に防止し、フィルター（濾材）の閉塞による濾過速度
の低下を招くことなく、所定の目開きのフィルターに対
応する粒径のセラミック粒子を確実に通過させる一方、
所定の粒径以上の粗大セラミック粒子を確実に除去（濾
去）することが可能になり、粗大セラミック粒子を含ま
ず、所望の粒径を有する微細なセラミック粒子を含むセ
ラミックスラリーを得ることが可能になる。

【００１５】なお、本願発明において、粗大セラミック
粒子とは、完全に１つの結晶粒としてその粒径が大きい
もののみではなく、通常の剪断力がかかった程度では分
散しないような集合体や凝集体などをも含む概念であ
る。

【００１６】また、本願発明は、粗大粒子として、主と
して、粗大セラミック粒子を除去することを意図するも
のであるが、セラミック粒子以外の他の粗大粒子を、粗
大セラミック粒子とともに除去する場合を排除するもの
ではない。

【００１７】また、本願発明において、「フィルター前
室として機能するスラリーチャンバー」とは、フィルタ
ーと接する空間であって、濾過すべきセラミックスラリ
ーがそこを経てフィルターを通過することになる空間
（チャンバー）を意味する概念であり、その具体的な構
成や形状には特別の制約はないが、一例を挙げると、筒
状のフィルターが用いられる場合において、フィルター
を囲むように配設されたハウジング（フィルター本体）
と該フィルターにより規定される、筒状のフィルターの
周囲のドーナツ状の空間が本願発明におけるスラリーチ
ャンバーとなる。

【００１８】また、本願発明においては、フィルターを
構成する濾材の種類に特別の制約はなく、メンブラン状
の材料からなるものや多孔質材料からなるものなど、種
々の材料からなるフィルターを用いることが可能であ
る。

【００１９】また、請求項２の粗大セラミック粒子の除
去方法は、前記セラミックスラリーを循環させる場合に
おいて、セラミックスラリー中のセラミック粒子の堆積
・凝集を防止しつつ、フィルターにより濾過して、粗大
セラミック粒子を除去することを特徴としている。

【００２０】セラミックスラリーを循環させる場合にお
いて、セラミックスラリー中のセラミック粒子の堆積・
凝集を防止しつつ、フィルターにより濾過することによ
り、さらに確実にフィルター（濾材）の閉塞による濾過
速度の低下を招くことなく、所定の目開きのフィルター
に対応する粒径のセラミック粒子を確実に通過させる一
方、所定の粒径以上の粗大セラミック粒子を確実に除去
（濾去）することが可能になり、粗大セラミック粒子を
含まず、所望の粒径を有する微細なセラミック粒子を含
むセラミックスラリーを得ることが可能になる。

【００２１】また、請求項３の粗大セラミック粒子の除
去方法は、前記循環ラインにセラミックスラリーを循環
させる場合において、セラミックスラリー中の凝集した
セラミック粒子を分散させることが可能な剪断力を与え
ることができるような条件で、セラミックスラリーを循
環させることを特徴としている。

【００２２】セラミックスラリー中の凝集したセラミッ
ク粒子を分散させることが可能な剪断力が凝集セラミッ
ク粒子にかかるような条件で、セラミックスラリーを循
環させることにより、単にセラミックスラリーを流動さ
せるだけの場合よりもさらに確実にセラミック粒子を分
散させることが可能になり、本願発明をより実効あらし
めることができる。

【００２３】また、請求項４の粗大セラミック粒子の除
去方法は、スラリーチャンバー又は循環ラインにて、超
音波分散処理を施し、セラミックスラリー中のセラミッ
ク粒子を分散させるようにしたことを特徴としている。

【００２４】スラリーチャンバー又は循環ラインにおい
て、超音波分散処理を施し、セラミックスラリー中のセ
ラミック粒子を分散させることにより、セラミックスラ
リー中のセラミック粒子の堆積・凝集をさらに確実に防
止することが可能になり、本願発明をさらに実効あらし
めることができる。

【００２５】また、請求項５の粗大セラミック粒子の除
去方法は、セラミックスラリーをリザーバータンクから
スラリーチャンバーに供給する場合において、リザーバ
ータンクにて高速攪拌を行うことを特徴としている。

【００２６】セラミックスラリーをリザーバータンクか
らスラリーチャンバーに供給する場合において、リザー
バータンクにてセラミックスラリーを高速攪拌すること
により、さらに確実にセラミックスラリー中のセラミッ
ク粒子の堆積・凝集を防止することが可能になり、本願
発明をより実効あらしめることができる。

【００２７】また、請求項６の粗大セラミック粒子の除
去方法は、セラミックスラリーに分散剤を添加すること
により、セラミックスラリーの分散性を向上させるよう
にしたことを特徴としている。

【００２８】セラミックスラリーに分散剤を添加するこ
とにより、セラミックスラリー自体の分散性を向上させ
て、セラミックスラリー中のセラミック粒子の堆積・凝
集を確実に防止することが可能になり、本願発明をさら
に実効あらしめることができる。

【００２９】また、請求項７の粗大セラミック粒子の除
去方法は、粗大セラミック粒子を分離した後のセラミッ
クスラリーから、セラミック粒子を回収することを特徴
としている。

【００３０】粗大セラミック粒子を分離した後のセラミ
ックスラリーからセラミック粒子を回収することによ
り、セラミック粒子を秤量可能な形態にすることが可能
になり、その後の秤量工程で、液付着のない精密な秤量
が可能となる。

【００３１】また、請求項８の粗大セラミック粒子の除
去方法は、前記分散剤として低分子量分散剤を用い、粗
大セラミック粒子を分離した後のセラミックスラリーを
第二のフィルターで濾過して固液を分離し、該第二のフ
ィルターにトラップされたセラミック粒子を回収するこ
とを特徴としている。

【００３２】分散剤として低分子量分散剤を用い、粗大
セラミック粒子を分離した後のセラミックスラリーを第
二のフィルターで濾過して固液を分離し、該第二のフィ
ルターにトラップされたセラミック粒子を回収すること
により、粗大セラミック粒子が分離され、かつ、分散剤
溶液が分離された、所望の粒径の微細なセラミック粒子
を確実に得ることが可能になる。

【００３３】また、請求項９の粗大セラミック粒子の除
去方法は、前記分散剤として、低沸点分散剤を用い、粗
大セラミック粒子を分離した後のセラミックスラリーか
ら、分散剤及び溶剤を蒸留除去することにより、セラミ
ック粒子を回収することを特徴としている。

【００３４】分散剤として、低沸点分散剤を用い、粗大
セラミック粒子を分離した後のセラミックスラリーか
ら、分散剤及び溶剤を蒸留除去することにより、粗大セ
ラミック粒子が分離され、かつ、分散剤及び溶剤が分離
された、所望の粒径の微細なセラミック粒子を得ること
が可能になる。

【００３５】また、請求項１０の粗大セラミック粒子の
除去方法は、前記粗大セラミック粒子の粒径が、前記セ
ラミックスラリーを構成するセラミック粒子の主要部の
平均粒径の２倍以上であることを特徴としている。

【００３６】本願発明は、粗大セラミック粒子の粒径
が、セラミックスラリーを構成するセラミック粒子の主
要部の平均粒径の２倍以上の径である場合に特に効果的
である。

【００３７】また、請求項１１の粗大セラミック粒子の
除去方法は、前記セラミックスラリーを構成するセラミ
ック粒子の主要部の平均粒径が０．５μm以下であるこ
とを特徴としている。

【００３８】また、請求項１２の粗大セラミック粒子の
除去方法は、前記粗大セラミック粒子が粒径１μm以上
のセラミック粒子であることを特徴としている。

【００３９】セラミックスラリーを構成するセラミック
粒子の主要部の平均粒径が０．５μm以下（請求項１
１）である場合や、粗大セラミック粒子が粒径１μm以
上（請求項１２）である場合のような、従来の粗大セラ
ミック粒子の除去方法では、効率よく分離することが困
難な条件下においても、本願発明を適用することによ
り、粗大セラミック粒子を効率よく分離して、所望の粒
径の微細なセラミック粒子を得ることが可能になる。な
お、セラミック粒子の主要部の平均粒径が０．０２〜
０．２μmの範囲にある場合に、本願発明の効果が特に
よく発揮される。

【００４０】また、請求項１３の粗大セラミック粒子の
除去方法は、前記セラミックスラリーを構成するセラミ
ック粒子が、一般式（Ａ_1-xＲ_x）_yＢＯ₃（ただし、Ａは
Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ及びMｇからなる群より選ばれる少な
くとも１種、Ｒは希土類元素の中から選ばれる少なくと
も１種、ＢはＴｉ，Ｚｒ及びＳｎからなる群より選ばれ
る少なくとも１種）で表されるペロブスカイト型組成物
であることを特徴としている。

【００４１】本願発明は、セラミックスラリーを構成す
るセラミック粒子が、一般式（Ａ_1- _xＲ_x）_yＢＯ₃（ただ
し、ＡはＢａ，Ｓｒ，Ｃａ及びMｇからなる群より選ば
れる少なくとも１種、Ｒは希土類元素の中から選ばれる
少なくとも１種、ＢはＴｉ，Ｚｒ及びＳｎからなる群よ
り選ばれる少なくとも１種）で表されるペロブスカイト
型組成物である場合に適用することが可能であり、かか
る場合に、粗大セラミック粒子を効率よく分離して、平
均粒径が０．５μm以下の微細なセラミック粒子を得る
ことが可能になる。

【００４２】また、請求項１４の粗大セラミック粒子の
除去方法は、前記セラミックスラリーを構成するセラミ
ック粒子が、チタン酸バリウム粒子であることを特徴と
している。

【００４３】本願発明は、種々の用途に広く用いられて
いるチタン酸バリウム粒子をセラミック粒子とするセラ
ミックスラリーに対しても適用することが可能であり、
その場合には、粗大チタン酸バリウム粒子を含まない微
細で均質なチタン酸バリウムスラリーを確実に得ること
ができるようになる。

【００４４】また、本願発明（請求項１５）の粗大セラ
ミック粒子の除去装置は、セラミックスラリーが供給さ
れるスラリーチャンバーと、前記スラリーチャンバー内
のセラミックスラリーと接し、セラミックスラリーに含
まれる粗大セラミック粒子を濾去しつつ、セラミックス
ラリーを通過させる、所定の目開きのフィルターと、前
記スラリーチャンバー内のセラミックスラリーを循環さ
せるため循環ラインを備えたスラリー循環機構とを具備
することを特徴としている。

【００４５】上述のように構成された粗大セラミック粒
子の除去装置を用いることにより請求項１〜１４の粗大
セラミック粒子の除去方法を確実に実施して、粗大セラ
ミック粒子が確実に除去された、微細なセラミックスラ
リー又はセラミック粒子を得ることが可能になる。

【００４６】また、請求項１６の粗大セラミック粒子の
除去装置は、前記セラミックスラリーを循環させる場合
において、セラミックスラリー中のセラミック粒子の堆
積・凝集を防止することができるように構成されている
ことを特徴としている。

【００４７】セラミックスラリーを循環させる場合にお
いて、セラミックスラリー中のセラミック粒子の堆積・
凝集を防止するようにした場合、請求項１〜１４の粗大
セラミック粒子の除去方法を確実に実施して、粗大セラ
ミック粒子が確実に除去された、微細なセラミックスラ
リー又はセラミック粒子を得ることが可能になる。

【００４８】また、請求項１７の粗大セラミック粒子の
除去装置は、前記スラリー循環機構が、循環ラインにセ
ラミックスラリーを循環させる場合に、セラミックスラ
リー中の凝集したセラミック粒子を分散させることが可
能な剪断力を与えることができるように構成されている
ことを特徴としている。

【００４９】スラリー循環機構が、循環ラインにセラミ
ックスラリーを循環させる場合に、セラミックスラリー
中の凝集したセラミック粒子を分散させることが可能な
剪断力を与えることができるように構成されている場
合、単にセラミックスラリーを流動させるだけの場合よ
りもさらに確実にセラミック粒子を分散させることが可
能になり、本願発明をより実効あらしめることができ
る。

【００５０】また、請求項１８の粗大セラミック粒子の
除去装置は、前記スラリーチャンバー又は循環ライン
に、超音波分散処理を施すための超音波印加手段が配設
されていることを特徴としている。

【００５１】スラリーチャンバー又は循環ラインに、超
音波分散処理を施すための超音波印加手段を配設するこ
とにより、スラリーチャンバー又は循環ラインにて、超
音波分散処理を施し、セラミックスラリー中のセラミッ
ク粒子をより確実に分散させることが可能になり、セラ
ミックスラリー中のセラミック粒子の堆積・凝集をさら
に確実に防止することが可能になり、本願発明をより実
効あらしめることができる。

【００５２】また、請求項１９の粗大セラミック粒子の
除去装置は、セラミックスラリーをリザーバータンクか
ら前記スラリーチャンバーに供給するようにしている場
合において、リザーバータンクに高速攪拌を行うための
高速撹拌機が配設されていることを特徴としている。

【００５３】セラミックスラリーをリザーバータンクか
らスラリーチャンバーに供給するようにしている場合に
おいて、リザーバータンクに高速撹拌機を配設すること
により、さらに確実にセラミックスラリー中のセラミッ
ク粒子の堆積・凝集を防止することが可能になり、本願
発明をより実効あらしめることができる。

【００５４】また、本願発明（請求項２０）のセラミッ
クグリーンシートの製造方法は、請求項１〜１４のいず
れかに記載の方法により粗大セラミック粒子を除去した
セラミックスラリーを、所定の基材上にシート状に成形
して、厚さが０．１〜１０μmのセラミックグリーンシ
ートを形成することを特徴としている。

【００５５】請求項１〜１４のいずれかに記載の方法に
より粗大セラミック粒子を除去したセラミックスラリー
を、所定の基材上にシート状に成形して、厚さが０．１
〜１０μmのセラミックグリーンシートを形成すること
により、膜厚を薄くした場合にも欠陥のない、信頼性の
高いセラミックグリーンシートを得ることが可能にな
る。

【００５６】また、本願発明（請求項２１）の積層セラ
ミック電子部品の製造方法は、請求項２０のセラミック
グリーンシートに内部電極パターンを形成し、該シート
を積層、切断、焼成した後、外部電極を形成することを
特徴としている。

【００５７】請求項２０のセラミックグリーンシートに
内部電極パターンを形成し、該シートを積層、切断、焼
成した後、外部電極を形成することにより、セラミック
層の膜厚が薄く、しかも、粗大セラミック粒子による内
部欠陥のない、小型、高性能の積層セラミック電子部品
を効率よく製造することができるようになる。

【００５８】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。［実施形態１］この実施形態１では、平均粒径が０．１
〜０．２μmのセラミック粒子（例えば、チタン酸バリ
ウム系の誘電体セラミック粒子）を主成分とし、粒径が
１．０μm以上の粗大セラミック粒子（チタン酸バリウ
ム系の誘電体セラミック粒子）を一部含有するセラミッ
クスラリーから、粗大セラミック粒子を除去する場合を
例にとって説明する。

【００５９】図１はこの実施形態１において用いた、粗
大セラミック粒子の除去装置（以下、単に「除去装置」
ともいう）を示す図、図２はその要部構成を示す図であ
る。この除去装置は、図１及び２に示すように、セラミ
ックスラリー３１が供給される、フィルター本体４０の
内部に形成されたスラリーチャンバー３２と、スラリー
チャンバー３２内に配設された、外周面が濾過面となる
円筒状のフィルター３３と、スラリーチャンバー３２内
のセラミックスラリー３１を抜き出し、所定の経路で循
環させて再びスラリーチャンバー３２に戻すスラリー循
環機構３６とを備えており、スラリー循環機構３６は、
循環ライン３４と循環ライン３４に設けられた循環ポン
プ３５を備えている。なお、この実施形態１において
は、フィルター３３として、目開きが１．０μmの、メ
ンブラン状の濾材からなるものが用いられている。ま
た、フィルター３３には、濾過面積が大きくなるよう
に、稜線が軸方向と略平行となるようなひだ（山と谷）
が、その全周にわたって形成されている。

【００６０】また、スラリー循環機構３６に関しては、
循環ライン３４にセラミックスラリー３１を循環させる
場合において、セラミックスラリー３１中の、凝集した
セラミック粒子を分散させることが可能な剪断力が働く
ように、流路の形状（循環ライン３４の内径など）や循
環されるセラミックスラリー３１の流速などの条件が設
定されている。

【００６１】循環ラインは、単一でもよく、また、フィ
ルター本体の周方向に所定の間隔をおいて複数配設して
もよい。この実施形態１では、フィルター本体の周方向
に所定の間隔をおいて複数の循環ラインを配設した除去
装置（濾過装置）を用いたが、図１及び２では、１つの
循環ライン３４だけを示している。なお、本願発明にお
いて、循環ライン３４の配設数、配設態様（配設位置）
には特別の制約はなく、スラリーの性状やフィルター本
体の寸法などの具体的な条件を考慮して、適切な配設数
や配設態様を決定することが望ましい。

【００６２】また、この実施形態１の除去装置は、セラ
ミックスラリー３１をリザーバータンク３７から、供給
ポンプ４２により、供給ライン３８を経てスラリーチャ
ンバー３２に供給するように構成されており、リザーバ
ータンク３７には、高速攪拌を行うことが可能な高速撹
拌機３９が配設されている。また、この実施形態１の除
去装置においては、粗大セラミック粒子が除去されたセ
ラミックスラリーは、スラリー貯蔵タンク４１に貯めら
れるように構成されている。

【００６３】上述のように構成された除去装置を用い
て、セラミックスラリー３１中の粗大セラミック粒子を
除去するにあたっては、まず、リザーバータンク３７に
おいて高速攪拌されたセラミックスラリー３１が、供給
ライン３８を経てスラリーチャンバー３２に供給され
る。

【００６４】そして、スラリーチャンバー３２内に供給
されたセラミックスラリー３１は、スラリー循環機構３
６を構成する循環ポンプ３５により、循環ライン３４を
経て循環され、流動することにより、図３に示すよう
に、フィルター３３の目開きに対応する所定の粒径以下
のセラミック粒子４３が十分に分散した状態でフィルタ
ー３３を通過する一方、所定の粒径（この実施形態１で
は１．０μm）以上の粗大セラミック粒子（特に図示せ
ず）がフィルター３３により除去、分離される。

【００６５】その結果、フィルター３３の閉塞による濾
過速度の低下を招いたりすることなく、粒径が１．０μ
m以上の粗大セラミック粒子を含まず、平均粒径が０．
１〜０．２μmの微細なセラミック粒子のみを含むセラ
ミックスラリーを効率よく得ることが可能になる。

【００６６】また、この実施形態１では、リザーバータ
ンク３７に高速撹拌機３９を配設し、リザーバータンク
３７内でセラミックスラリー３１を高速攪拌することに
より、セラミック粒子が十分に分散したセラミックスラ
リー３１をスラリーチャンバー３２に供給するようにし
ているので、より確実にセラミックスラリー３１中のセ
ラミック粒子の堆積・凝集を防止することができる。

【００６７】［実施形態２］図４に示すように、リザー
バータンク３７において高速攪拌されたセラミックスラ
リー３１が供給される供給ライン３８に、超音波分散処
理を行うための超音波印加手段４４が配設された除去装
置を用いたことを除いては、上記実施形態１と同じ構成
を有する除去装置を用いて、セラミックスラリー中の粗
大セラミック粒子を除去する。

【００６８】この実施形態２では、供給ライン３８に超
音波印加手段４４を配設して、超音波分散処理を施し、
セラミックスラリー３１中のセラミック粒子を十分に分
散させた状態で、スラリーチャンバー３２に供給すると
とともに、循環ライン３４を循環させながらフィルター
３３を通過させて粗大セラミック粒子を除去するように
しているので、セラミックスラリー３１中のセラミック
粒子の堆積・凝集をより確実に防止することが可能にな
り、粒径が１．０μm以上の粗大セラミック粒子を含ま
ず、平均粒径が０．１〜０．２μmの微細なセラミック
粒子のみを含むセラミックスラリーを得ることができ
る。なお、この実施形態２では、超音波印加手段４４
を、供給ライン３８に設けているが、スラリーチャンバ
ー３２に超音波印加手段を設けるように構成することも
可能である。

【００６９】［実施形態３］セラミックスラリー３１
に、分散剤（この実施形態では脂肪酸エステル（ライオ
ン（株）製））を添加して、セラミックスラリー３１中
のセラミック粒子の分散性を向上させるようにしたこと
を除いて、上記実施形態２の場合と同様に、図４に示す
除去装置を用いて粗大セラミック粒子を除去する。

【００７０】この実施形態３においては、セラミックス
ラリー３１に低分子量分散剤を添加して、セラミック粒
子を分散させるとともに、上記実施形態２の場合と同様
に、供給ライン３８にて超音波分散処理を施し、セラミ
ックスラリー３１中のセラミック粒子を十分に分散させ
た状態でスラリーチャンバー３２に供給し、かつ、循環
ライン３４を循環させながら、フィルター３３により濾
過して粗大セラミック粒子を除去するようにしているの
で、さらに確実にセラミックスラリー３１中のセラミッ
ク粒子の堆積・凝集を防止して、効率よく、しかも確実
に、粒径が１．０μm以上の粗大セラミック粒子を含ま
ず、平均粒径が０．１〜０．２μmの微細なセラミック
粒子のみを含むセラミックスラリーを得ることができ
る。

【００７１】なお、この実施形態３の場合には、粗大セ
ラミック粒子を除去した後のセラミックスラリーを第二
のフィルター（図示せず）を用いて濾過した後、洗浄
し、再度溶剤に分散させることにより、分散剤を含まな
いセラミックスラリーを得ることができる。

【００７２】また、この実施形態３では、分散剤を添加
するようにしているが、本願発明は、分散剤の他に、バ
インダー、可塑剤、帯電防止剤、溶剤などを含有するセ
ラミックスラリーから粗大セラミック粒子を除去する場
合にも、広く適用することが可能であり、その場合に
も、上記各実施形態の場合と同様の効果を得ることがで
きる。

【００７３】なお、溶剤としては、例えば、トルエン、
キシレンなどの芳香族系や、エチルアルコール、イソプ
ロピルアルコール、ブチルアルコールなどのアルコール
系などの種々の溶剤を含んでいてもよく、これらのうち
の１種が単独で用いられていても、あるいは混合して用
いられていてもよい。また、溶剤が、さらに他の種類の
溶剤であってもよく、水であってもよい。

【００７４】また、バインダーとして、セルロース樹
脂、アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂、ポリビニルブチラ
ール樹脂、ポリビニルアルコール樹脂などを含有してい
てもよい。

【００７５】また、可塑剤として、ポリエチレングリコ
ール、フタル酸エステル、アルキッド樹脂などの種々の
可塑剤を含有していてもよい。

【００７６】また、セラミックスラリーに用いられる種
々の帯電防止剤などを含有していてもよい。

【００７７】また、上記実施形態１〜３では、セラミッ
ク粒子（粉末）が、誘電体セラミック粒子（粉末）であ
る場合を例にとって説明したが、本願発明は、セラミッ
ク粒子がフェライト系などの磁性体セラミック粒子、圧
電体セラミック粒子、アルミナ、シリカなどの絶縁体セ
ラミック粒子などの種々のセラミック粒子である場合
に、広く適用することが可能である。

【００７８】また、セラミック粒子は、添加物を含有す
るものであってもよく、例えば、主成分がチタン酸バリ
ウムである場合に、添加剤としてガラス、酸化マグネシ
ウム、酸化マンガン、酸化バリウム、希土類酸化物、酸
化カルシウム成分などを含有していてもよい。また、原
料に由来し、あるいは、製造工程で混入する夾雑物を含
有していてもよい。

【００７９】［実施形態４］この実施形態４では、上記
実施形態１〜３の方法で作製した、粗大セラミック粒子
を含まないセラミックグリーンシートを用いて積層セラ
ミックコンデンサを製造する方法について説明する。上記実施形態１〜３の方法で得たセラミックスラリー
を、ドクターブレード法によりシート成形して厚みが
１．５μmのセラミックグリーンシートを作製する。それから、このセラミックグリーンシートに、ニッケ
ル粒子を導電成分とする導電ペーストを塗布して、容量
形成用の内部電極２を形成することにより、電極配設シ
ート１１（図５）を作製する。次に、図６に示すように、電極配設シート１１を所定
枚数積層し、さらにその上下両面側に電極の配設されて
いないセラミックグリーンシート（外層用シート）２１
を積層、圧着することにより、各内部電極２の一端側が
交互に異なる側の端面に引き出された積層体（未焼成の
積層体）１ａを形成する。そして、この積層体１ａを所定の条件で焼成してセラ
ミックを焼結させた後、焼成後の積層体（セラミック素
子）１（図５）の両端部に導電性ペーストを塗布、焼付
けして、内部電極２と導通する外部電極３ａ、３ｂ（図
５）を形成することにより、図５に示すような積層セラ
ミックコンデンサが得られる。

【００８０】この実施形態４においては、粗大セラミッ
ク粒子を含まず、平均粒径が０．１〜０．２μmの微細
なセラミック粒子を含むセラミックスラリーから形成さ
れた、膜厚が１．５μmと薄く、平滑性に優れたセラミ
ックグリーンシートを用いているので、ショート不良な
どがなく、小型、大容量で、信頼性の高い積層セラミッ
クコンデンサを得ることができる。

【００８１】なお、本願発明は上記各実施形態に限定さ
れるものではなく、フィルターを構成する濾材の種類や
構造などの具体的な構成、循環ラインの配設態様などに
関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形
を加えることが可能である。

【００８２】

【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
粗大セラミック粒子の除去方法は、スラリーチャンバー
から、セラミックスラリーを抜き出し、所定の経路で循
環させて再びスラリーチャンバーに戻す循環ラインを設
け、セラミックスラリーを循環させながら、所定の目開
きのフィルターにより濾過するようにしているので、ス
ラリーチャンバー内におけるセラミックスラリー中のセ
ラミック粒子の堆積・凝集を確実に防止し、フィルター
（濾材）の閉塞による濾過速度の低下を招くことなく、
所定の目開きのフィルターに対応する粒径のセラミック
粒子を確実に通過させる一方、所定の粒径以上の粗大セ
ラミック粒子を確実に除去（濾去）することが可能にな
り、粗大セラミック粒子を含まず、所望の粒径を有する
微細なセラミック粒子を含むセラミックスラリーを得る
ことができる。

【００８３】また、請求項２の粗大セラミック粒子の除
去方法のように、セラミックスラリーを循環させる場合
において、セラミックスラリー中のセラミック粒子の堆
積・凝集を防止しつつ、フィルターにより濾過するよう
にした場合、さらに確実にフィルター（濾材）の閉塞に
よる濾過速度の低下を招くことなく、所定の目開きのフ
ィルターに対応する粒径のセラミック粒子を確実に通過
させる一方、所定の粒径以上の粗大セラミック粒子を確
実に除去（濾去）することが可能になり、粗大セラミッ
ク粒子を含まず、所望の粒径を有する微細なセラミック
粒子を含むセラミックスラリーを得ることが可能にな
る。

【００８４】また、請求項３の粗大セラミック粒子の除
去方法のように、セラミックスラリー中の凝集したセラ
ミック粒子を分散させることが可能な剪断力が凝集セラ
ミック粒子にかかるような条件で、セラミックスラリー
を循環させることにより、単にセラミックスラリーを流
動させるだけの場合よりもさらに確実にセラミック粒子
を分散させることが可能になり、本願発明をより実効あ
らしめることができる。

【００８５】また、請求項４の粗大セラミック粒子の除
去方法のように、スラリーチャンバー又は循環ラインに
おいて、超音波分散処理を施し、セラミックスラリー中
のセラミック粒子を分散させるようにした場合、セラミ
ックスラリー中のセラミック粒子の堆積・凝集をさらに
確実に防止することが可能になり、本願発明をさらに実
効あらしめることができる。

【００８６】また、請求項５の粗大セラミック粒子の除
去方法のように、セラミックスラリーをリザーバータン
クからスラリーチャンバーに供給する場合において、リ
ザーバータンクにてセラミックスラリーを高速攪拌する
ようにした場合、さらに確実にセラミックスラリー中の
セラミック粒子の堆積・凝集を防止することが可能にな
る。

【００８７】また、請求項６の粗大セラミック粒子の除
去方法のように、セラミックスラリーに分散剤を添加す
ることにより、セラミックスラリー自体の分散性を向上
させて、セラミックスラリー中のセラミック粒子の堆積
・凝集を確実に防止することが可能になり、本願発明を
さらに実効あらしめることができる。

【００８８】また、請求項７の粗大セラミック粒子の除
去方法のように、粗大セラミック粒子を分離した後のセ
ラミックスラリーからセラミック粒子を回収するように
した場合、セラミック粒子を秤量可能な形態にすること
が可能になり、その後の秤量工程で、液付着のない精密
な秤量が可能となる。

【００８９】また、請求項８の粗大セラミック粒子の除
去方法のように、分散剤として低分子量分散剤を用い、
粗大セラミック粒子を分離した後のセラミックスラリー
を第二のフィルターで濾過して固液を分離し、該第二の
フィルターにトラップされたセラミック粒子を回収する
ようにした場合、粗大セラミック粒子が分離され、か
つ、分散剤溶液が分離された、所望の粒径の微細なセラ
ミック粒子を確実に得ることが可能になる。

【００９０】また、請求項９の粗大セラミック粒子の除
去方法のように、分散剤として、低沸点分散剤を用い、
粗大セラミック粒子を分離した後のセラミックスラリー
から、分散剤及び溶剤を蒸留除去するようにした場合に
も、粗大セラミック粒子が分離され、かつ、分散剤及び
溶剤が分離された、所望の粒径の微細なセラミック粒子
を得ることができる。

【００９１】また、本願発明は、請求項１０の粗大セラ
ミック粒子の除去方法のように、粗大セラミック粒子の
粒径が、セラミックスラリーを構成するセラミック粒子
の主要部の平均粒径の２倍以上である場合に特に効果的
である。

【００９２】また、セラミックスラリーを構成するセラ
ミック粒子の主要部の平均粒径が０．５μm以下（請求
項１１）である場合や、粗大セラミック粒子が粒径１μ
m以上（請求項１２）である場合のような、従来の粗大
セラミック粒子の除去方法では、効率よく分離すること
が困難な条件下においても、本願発明を適用することに
より、粗大セラミック粒子を効率よく分離して、所望の
粒径の微細なセラミック粒子を得ることが可能になる。

【００９３】本願発明は、請求項１３の粗大セラミック
粒子の除去方法ように、セラミックスラリーを構成する
セラミック粒子が、一般式（Ａ_1-xＲ_x）_yＢＯ₃（ただ
し、ＡはＢａ，Ｓｒ，Ｃａ及びMｇからなる群より選ば
れる少なくとも１種、Ｒは希土類元素の中から選ばれる
少なくとも１種、ＢはＴｉ，Ｚｒ及びＳｎからなる群よ
り選ばれる少なくとも１種）で表されるペロブスカイト
型組成物である場合に適用することが可能であり、かか
る場合に、粗大セラミック粒子を効率よく分離して、平
均粒径が０．５μm以下の微細なセラミック粒子を得る
ことが可能になる。

【００９４】また、本願発明は、請求項１４の粗大セラ
ミック粒子の除去方法のように、種々の用途に広く用い
られているチタン酸バリウム粒子をセラミック粒子とす
るセラミックスラリーに対しても適用することが可能で
あり、その場合には、粗大チタン酸バリウム粒子を含ま
ない微細で均質なチタン酸バリウムスラリーを確実に得
ることができるようになる。

【００９５】また、本願発明（請求項１５）の粗大セラ
ミック粒子の除去装置は、セラミックスラリーが供給さ
れるスラリーチャンバーと、スラリーチャンバー内のセ
ラミックスラリーを通過させ、セラミックスラリーに含
まれる粗大セラミック粒子を濾去する所定の目開きのフ
ィルターと、スラリーチャンバー内のセラミックスラリ
ーを循環させるためスラリー循環機構を備えており、こ
の装置を用いることにより、本願発明の粗大セラミック
粒子の除去方法を確実に実施して、粗大セラミック粒子
が確実に除去された、微細なセラミック粒子のみを含有
するセラミックスラリーを得ることができる。

【００９６】また、請求項１６の粗大セラミック粒子の
除去装置のように、セラミックスラリーを循環させる場
合において、セラミックスラリー中のセラミック粒子の
堆積・凝集を防止するようにした場合、請求項１〜１４
の粗大セラミック粒子の除去方法を確実に実施して、粗
大セラミック粒子が確実に除去された、微細なセラミッ
クスラリー又はセラミック粒子を得ることができる。

【００９７】また、請求項１７の粗大セラミック粒子の
除去装置のように、スラリー循環機構が、循環ラインに
セラミックスラリーを循環させる場合に、セラミックス
ラリー中の凝集したセラミック粒子を分散させることが
可能な剪断力を与えることができるように構成されてい
る場合、単にセラミックスラリーを流動させるだけの場
合よりもさらに確実にセラミック粒子を分散させること
が可能になり、本願発明をより実効あらしめることがで
きる。

【００９８】また、請求項１８の粗大セラミック粒子の
除去装置のように、スラリーチャンバー又は循環ライン
に、超音波分散処理を施すための超音波印加手段を配設
することにより、スラリーチャンバー又は循環ラインに
て、超音波分散処理を施し、セラミックスラリー中のセ
ラミック粒子をより確実に分散させることが可能にな
り、セラミックスラリー中のセラミック粒子の堆積・凝
集をさらに確実に防止することが可能になり、本願発明
をより実効あらしめることができる。

【００９９】また、請求項１９の粗大セラミック粒子の
除去装置のように、セラミックスラリーをリザーバータ
ンクからスラリーチャンバーに供給するようにしている
場合において、リザーバータンクに高速撹拌機を配設す
ることにより、さらに確実にセラミックスラリー中のセ
ラミック粒子の堆積・凝集を防止することが可能にな
り、本願発明をより実効あらしめることができる。

【０１００】また、本願発明（請求項２０）のセラミッ
クグリーンシートの製造方法は、請求項１〜１４のいず
れかに記載の方法により粗大セラミック粒子を除去した
セラミックスラリーを、所定の基材上にシート状に成形
して、厚さが０．１〜１０μmのセラミックグリーンシ
ートを形成するようにしているので、膜厚を薄くした場
合にも欠陥のない、信頼性の高いセラミックグリーンシ
ートを得ることが可能になる。

【０１０１】また、本願発明（請求項２１）の積層セラ
ミック電子部品の製造方法は請求項２０のセラミック
グリーンシートに内部電極パターンを形成し、該シート
を積層、切断、焼成した後、外部電極を形成することに
より、セラミック層の膜厚が薄く、しかも、粗大セラミ
ック粒子による内部欠陥のない、小型、高性能の積層セ
ラミック電子部品を効率よく製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の一実施形態にかかる粗大セラミック
粒子の除去装置の構成を示す図である。

【図２】本願発明の一実施形態にかかる粗大セラミック
粒子の除去装置の要部構成を示す図である。

【図３】本願発明の一実施形態にかかる粗大セラミック
粒子の除去装置を用いて粗大セラミック粒子を分離（濾
過）している状態を模式的に示す図である。

【図４】本願発明の他の実施形態にかかる粗大セラミッ
ク粒子の除去装置の構成を示す図である。

【図５】セラミックグリーンシートを積層して製造され
る積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図であ
る。

【図６】積層セラミックコンデンサの製造方法を示す図
である。

【図７】従来の粗大セラミック粒子の除去方法を示す図
である。

【図８】従来の粗大セラミック粒子の除去方法におい
て、セラミック粒子が沈降して凝集する状態を示す図で
ある。

【符号の説明】

１積層体（セラミック素子）１ａ未焼成の積層体２内部電極３ａ，３ｂ外部電極１１電極配設シート２１外層用シート３１セラミックスラリー３２スラリーチャンバー３３フィルター３４循環ライン３５循環ポンプ３６スラリー循環機構３７リザーバータンク３８供給ライン３９高速撹拌機４０フィルター本体４１製品タンク４２供給ポンプ４３セラミック粒子４４超音波印加手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０５Ｋ 1/03 ６１０Ｂ２８Ｂ 11/00 ＺＣ０４Ｂ 35/00 ＣＧＦターム(参考） 4D066 BB07 BB18 BB33 4D071 AA05 AB15 AB25 AB45 DA20 4G030 AA08 AA09 AA10 AA11 AA16 AA17 AA39 CA01 GA01 GA11 GA36 4G052 DB11 4G055 AA08 AC09 BA22

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】セラミック粒子を主たる固形分として含有
するスラリー（以下「セラミックスラリー」）をフィル
ターにより濾過して、所定の粒径以上の粗大セラミック
粒子を除去する方法において、フィルターを通過させるべきセラミックスラリーが供給
される、フィルター前室として機能するスラリーチャン
バーから、セラミックスラリーを抜き出し、所定の経路
で循環させて再びスラリーチャンバーに戻す循環ライン
を設け、前記循環ラインにセラミックスラリーを循環させつつ、
スラリーチャンバー内のセラミックスラリーを所定の目
開きのフィルターにより濾過して、粗大セラミック粒子
を除去することを特徴とする粗大セラミック粒子の除去
方法。
【請求項２】前記セラミックスラリーを循環させる場合
において、セラミックスラリー中のセラミック粒子の堆
積・凝集を防止しつつ、スラリーチャンバー内のセラミ
ックスラリーを所定の目開きのフィルターにより濾過し
て、粗大セラミック粒子を除去することを特徴とする請
求項１記載の粗大セラミック粒子の除去方法。
【請求項３】前記循環ラインにセラミックスラリーを循
環させる場合において、セラミックスラリー中の凝集し
たセラミック粒子を分散させることが可能な剪断力を与
えることができるような条件で、セラミックスラリーを
循環させることを特徴とする請求項１又は２記載の粗大
セラミック粒子の除去方法。
【請求項４】スラリーチャンバー又は循環ラインにて、
超音波分散処理を施し、セラミックスラリー中のセラミ
ック粒子を分散させるようにしたことを特徴とする請求
項１〜３のいずれかに記載の粗大セラミック粒子の除去
方法。
【請求項５】セラミックスラリーをリザーバータンクか
らスラリーチャンバーに供給する場合において、リザー
バータンクにて高速攪拌を行うことを特徴とする請求項
１〜４のいずれかに記載の粗大セラミック粒子の除去方
法。
【請求項６】セラミックスラリーに分散剤を添加するこ
とにより、セラミックスラリーの分散性を向上させるよ
うにしたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記
載の粗大セラミック粒子の除去方法。
【請求項７】粗大セラミック粒子を分離した後のセラミ
ックスラリーから、セラミック粒子を回収することを特
徴とする請求項１〜６のいずれか記載の粗大セラミック
粒子の除去方法。
【請求項８】前記分散剤として低分子量分散剤を用い、
粗大セラミック粒子を分離した後のセラミックスラリー
を第二のフィルターで濾過して固液を分離し、該第二の
フィルターにトラップされたセラミック粒子を回収する
ことを特徴とする請求項７記載の粗大セラミック粒子の
除去方法。
【請求項９】前記分散剤として、低沸点分散剤を用い、
粗大セラミック粒子を分離した後のセラミックスラリー
から、分散剤及び溶剤を蒸留除去することにより、セラ
ミック粒子を回収することを特徴とする請求項７記載の
粗大セラミック粒子の除去方法。
【請求項１０】前記粗大セラミック粒子の粒径が、前記
セラミックスラリーを構成するセラミック粒子の主要部
の平均粒径の２倍以上であることを特徴とする請求項１
〜９のいずれかに記載の粗大セラミック粒子の除去方
法。
【請求項１１】前記セラミックスラリーを構成するセラ
ミック粒子の主要部の平均粒径が０．５μm以下である
ことを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の粗
大セラミック粒子の除去方法。
【請求項１２】前記粗大セラミック粒子が粒径１μm以
上のセラミック粒子であることを特徴とする請求項１０
記載の粗大セラミック粒子の除去方法。
【請求項１３】前記セラミックスラリーを構成するセラ
ミック粒子が、一般式（Ａ_1-xＲ_x）_yＢＯ₃（ただし、Ａ
はＢａ，Ｓｒ，Ｃａ及びMｇからなる群より選ばれる少
なくとも１種、Ｒは希土類元素の中から選ばれる少なく
とも１種、ＢはＴｉ，Ｚｒ及びＳｎからなる群より選ば
れる少なくとも１種）で表されるペロブスカイト型組成
物であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに
記載の粗大セラミック粒子の除去方法。
【請求項１４】前記セラミックスラリーを構成するセラ
ミック粒子が、チタン酸バリウム粒子であることを特徴
とする請求項１３記載の粗大セラミック粒子の除去方
法。
【請求項１５】セラミックスラリーが供給されるスラリ
ーチャンバーと、前記スラリーチャンバー内のセラミックスラリーと接
し、セラミックスラリーに含まれる粗大セラミック粒子
を濾去しつつ、セラミックスラリーを通過させる、所定
の目開きのフィルターと、前記スラリーチャンバー内のセラミックスラリーを循環
させるため循環ラインを備えたスラリー循環機構とを具
備することを特徴とする粗大セラミック粒子の除去装
置。
【請求項１６】前記セラミックスラリーを循環させる場
合において、セラミックスラリー中のセラミック粒子の
堆積・凝集を防止しすることができるように構成されて
いることを特徴とする請求項１５記載の粗大セラミック
粒子の除去装置。
【請求項１７】前記スラリー循環機構が、循環ラインに
セラミックスラリーを循環させる場合に、セラミックス
ラリー中の凝集したセラミック粒子を分散させることが
可能な剪断力を与えることができるように構成されてい
ることを特徴とする請求項１５記載の粗大セラミック粒
子の除去装置。
【請求項１８】前記スラリーチャンバー又は循環ライン
に、超音波分散処理を施すための超音波印加手段が配設
されていることを特徴とする請求項１５〜１７のいずれ
かに記載の粗大セラミック粒子の除去装置。
【請求項１９】セラミックスラリーをリザーバータンク
から前記スラリーチャンバーに供給するようにしている
場合において、リザーバータンクに高速攪拌を行うため
の高速撹拌機が配設されていることを特徴とする請求項
１５〜１８のいずれかに記載の粗大セラミック粒子の除
去装置。
【請求項２０】請求項１〜１４のいずれかに記載の方法
により粗大セラミック粒子を除去したセラミックスラリ
ーを、所定の基材上にシート状に成形して、厚さが０．
１〜１０μmのセラミックグリーンシートを形成するこ
とを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項２１】請求項２０のセラミックグリーンシート
に内部電極パターンを形成し、該シートを積層、切断、
焼成した後、外部電極を形成することを特徴とする積層
セラミック電子部品の製造方法。