JP2002104839A - 電子線励起ディスプレイ素子用ガラススペーサ及び電子線励起ディスプレイ素子 - Google Patents
電子線励起ディスプレイ素子用ガラススペーサ及び電子線励起ディスプレイ素子Info
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Abstract
膨張係数と同等の無アルカリガラス製電子線励起ディス
プレイ素子用ガラススペーサを提供する。 【解決手段】 SiO210〜35質量%、RO(但
し、Rはアルカリ土類金属を示す)20〜60質量%、
B2O39〜30質量%、及びAl2O30〜10質量
%を含み、実質的にアルカリ金属を含有しないガラス組
成を有し、かつ、線膨張係数が76〜92×10−7/
℃の無アルカリガラスで構成される電子線励起ディスプ
レイ素子用ガラススペーサ。このガラススペーサを用い
た電子線励起ディスプレイ素子。
Description
レイ素子用ガラススペーサ及びこのガラススペーサを用
いた電子線励起ディスプレイ素子に係り、特に、実質的
にアルカリ金属を含有せず、しかもソーダライムシリカ
ガラスと同等の線膨張係数を有する無アルカリガラスよ
りなる電子線励起ディスプレイ素子用ガラススペーサ
と、このガラススペーサを用いた電子線励起ディスプレ
イ素子に関する。
れると共に視野角も広いフラット型ディスプレイとし
て、電子線源から放出される電子ビームを蛍光体に照射
して蛍光を発生させることにより画像を形成する自発光
型の電子線励起ディスプレイが、近年広く実用に供され
ている。
子ビームを蛍光体に照射して画像を形成するため、電子
線源、蛍光体、その他の構成部品を約10−3Pa以下
の真空雰囲気の真空容器内に組み込む必要があり、例え
ば、図1に示すような耐大気圧構造の真空容器が提案さ
れている(特開平7−230776号公報)。
イの分解斜視図であり、ガラス板15及びこのガラス板
15の内面に形成された画像形成部材5からなる前面板
1と、後述する電子放出素子群を搭載した背面板2とを
備える。画像形成部材5は、該電子放出素子から電子ビ
ームが照射されて発光する蛍光体を有する。前面板1と
背面板2とは、図1のA−A断面図である図2に示すよ
うに支持枠3を介して気密的に接合され、支持枠3と共
に気密の耐大気圧構造を形成する。さらに、前面板1と
背面板2の間には大気圧支持部材として複数のガラスス
ペーサ4が挿入される。
0.2mm、高さ5mmの平板状に加工され、下端が接
着部材8を介して背面板2に固定されている。このガラ
ススペーサ4は、上端が接着部材8を介して前面板1に
固定されてもよく、また、上下端が接着部材8を介して
前面板1及び背面板2に夫々固定されてもよい。
板21上にマトリックス状に配列された厚さ100nm
のNiからなる複数個の素子部23と、これらの素子部
23に給電すべくガラス基板21上に形成された厚さ2
μmのAgからなる複数の配線部24とを備える。素子
部23の各々には、電子放出素子25が形成されてい
る。配線部24の配線パターンは平行線のパターンであ
り、隣り合う一対の配線部24を通して、これらの配線
部24に沿う複数の電子放出素子25に同時に給電され
る。さらに、図示はされていないが、SiO2絶縁層を
介し、ガラス基板21の10μm上方に50μm径の電
子通過孔を有する変調電極が配置されている。
2上では2列の電子放出素子25の中間の配線材24上
に当接されており、また前面板1上では、画像形成部材
15の蛍光体のうち電子放出素子25から電子が照射さ
れない部分であるブラックストライプ上に当接されてい
る。
のような電子線励起ディスプレイ素子のガラススペーサ
を精度良く製造する方法として、断面形状がガラススペ
ーサの所望の断面形状とほぼ相似形である母材ガラスを
準備し、この母材ガラスをその粘度が105〜109ポ
アズになるように加熱しつつ延伸する方法が提案されて
いる。
スとの断面形状の相似性の程度を向上させ、容易に所望
形状のガラススペーサを製造することができる。
号公報には、ガラススペーサを構成するガラス組成とし
て、次のような組成が記載されている。
ムシリカガラスで構成されている。
電子線励起ディスプレイ素子用ガラススペーサは、大気
圧真空容器の前面板と背面板との間で両者の間隔を一定
に保つものであるが、このガラススペーサは電子放出素
子に晒されるため、ガラススペーサを構成するガラスに
Na成分のような可動イオンが含まれていると、バイア
ス電圧でイオンが偏在することにより電界破壊が起こる
という問題がある。従って、このような不具合を防止す
るためには、ガラススペーサを構成するガラスは無アル
カリガラスであることが望ましいが、一方で、ガラスス
ペーサは電子線励起ディスプレイ素子の背面板に低融点
ガラスフリットを用いて約500℃以下の温度で融着・
固定される工程を経るため、その線膨張係数が前面板及
び背面板を構成するソーダライムシリカガラスの線膨張
係数と同等であることが必要となる。
号公報に記載される無アルカリガラスの線膨張係数は3
5〜40×10−7/℃と、ソーダライムシリカガラス
の線膨張係数とは大きく異なり、電子線励起ディスプレ
イ素子用ガラススペーサとしては適当ではない。
張係数がソーダライムシリカガラスの線膨張係数と同等
の無アルカリガラス製電子線励起ディスプレイ素子用ガ
ラススペーサとこのガラススペーサを用いた電子線励起
ディスプレイ素子を提供することを目的とする。
スプレイ素子用ガラススペーサは、SiO210〜35
質量%、RO(但し、Rはアルカリ土類金属を示す)2
0〜60質量%、B2O39〜30質量%、及びAl2
O30〜10質量%を含み、実質的にアルカリ金属を含
有しないガラス組成を有し、かつ、線膨張係数が76〜
92×10−7/℃の無アルカリガラスで構成されるこ
とを特徴とする。
リを含まない無アルカリガラスよりなるため、アルカリ
成分に起因する電界破壊等の不具合を引き起こすことが
ない。しかも、この無アルカリガラスは、その線膨張係
数が76〜92×10−7/℃と、ソーダライムシリカ
ガラスの線膨張係数とほぼ同等であるため、熱膨張差に
起因する破壊等の問題もない。
る無アルカリガラスは、特に線膨張係数が78〜88×
10−7/℃であることが好ましい。
2O30〜30質量%、ZnO0〜8質量%及びTiO
20〜5質量%を含んでいても良い。
このような本発明の電子線励起ディスプレイ素子用ガラ
ススペーサを用いたものである。
温度30〜400℃の間の線膨張係数の平均値である。
に説明する。
子用ガラススペーサを構成する無アルカリガラスのガラ
ス組成の限定理由について説明する。
ラススペーサを構成する無アルカリガラスは、 SiO2:10〜35質量% RO(但し、Rはアルカリ土類金属を示す):20〜6
0質量% B2O3:9〜30質量% 及び Al2O3:0〜10質量% を含むみ、更に必要に応じて La2O3:0〜30質量% ZnO:0〜8質量% 及び TiO2:0〜5質量% を含み、実質的にアルカリ金属を含有しないものであ
る。
リ金属を含有しない」とは、K,Na等のアルカリ金属
含有量が5000ppm以下であることを指す。
須成分であるが、無アルカリガラスにおいてその含有量
が多いと線膨張係数が小さくなりソーダライムシリカガ
ラスの線膨張係数と同等の76〜92×10−7/℃の
線膨張係数を達成することができない。即ち、無アルカ
リガラスは一般的にソーダライムシリカガラスの線膨張
係数に比べて線膨張係数が小さいが、一方でSiO
2は、線膨張係数を小さくする作用がある。このため、
本発明では、線膨張係数の小さい無アルカリガラスの線
膨張係数を大きくしてソーダライムシリカガラスの線膨
張係数と同等とするために、線膨張係数を小さくする作
用を有するSiO2を少なく、35質量%以下とする。
ただし、SiO2が10質量%よりも少ないとガラスを
形成し得なくなるため、SiO2は10〜35質量%、
好ましくは13〜34質量%とする。
の成分であるが、このAl2O3もまた、SiO2と同
様に線膨張係数を小さくする作用を有することから、そ
の含有量を少なく、0〜10質量%、好ましくは0〜8
質量%とする。
め、或いは溶解助剤としても使用される成分であり、本
発明では9〜30質量%、特に10〜28質量%とす
る。
rO等のアルカリ土類金属酸化物の1種又は2種以上
は、ガラスの耐久性の向上、粘度調整等に用いられる
が、特に、線膨張係数を大きくする作用を有するもので
あり、本発明では、線膨張係数76〜92×10−7/
℃を達成するために20質量%以上が必要である。ただ
し、ROの含有量が多過ぎると、相対的に他の成分の含
有量が少なくなり、良好なガラスを形成し得なくなるこ
とから、ROの含有量は20〜60質量%、特に30〜
55質量%とする。
子用ガラススペーサは、更にLa2O30〜30質量
%、ZnO0〜8質量%、TiO20〜5質量%が含ま
れていても差支えない。
であれば、アルカリ金属を実質的に含まない無アルカリ
ガラスであるにもかかわらず、ソーダライムシリカガラ
スの線膨張係数と同等の76〜92×10−7/℃、好
ましくは78〜88×10− 7/℃の線膨張係数を有
し、電子線励起ディスプレイ素子用ガラススペーサとし
てソーダライムシリカガラス製前面板及び背面板と良好
に一体化することができる。
子用ガラススペーサの製造方法には特に制限はなく、好
ましくは特開平12−203857号公報に記載される
方法に従って製造される。
所定のアスペクト比(高さ/厚さ比)の断面形状とほぼ
相似形の断面形状を有する母材ガラスをそのガラスが実
質的に軟化変形する温度に加熱しつつ延伸し、この延伸
されたガラス部材を所定の長さに切断することにより製
造される。
イは、図1及び図2を参照して述べたように、ガラス板
15及びガラス板15の内面に形成された画像形成部材
5からなる前面板1と、電子放出素子群を搭載した背面
板2とを備える。画像形成部材5は、電子放出素子から
の電子ビームが照射されて発光する蛍光体を有する。前
記前面板1と背面板2とは支持枠3を介して気密的に接
合され、支持枠3と共に気密の耐大気圧構造を形成す
る。さらに、前面板1と背面板2の間には大気圧支持部
材として複数のガラススペーサ4が挿入される。
ば、厚さ0.2mm、高さ5mmの平板状に加工され、
下端が接着部材8を介して背面板2に固定されるが、こ
れに代えて、上端が接着部材8を介して前面板1に固定
されるか、又は、上下端が接着部材8を介して前面板1
及び背面板2の夫々に固定されてもよい。ガラススペー
サ4の断面形状のアスペクト比(高さ/厚さ比)は通常
4〜50である。
0.25mmであるのがよい。即ち、ガラススペーサ4
が前面板1又は背面板2と接触する部分はディスプレイ
が発光表示できないことから、厚さは薄いほうが好まし
いが、0.03mm未満では薄過ぎて、ガラススペーサ
4の絶対強度が不足し取り扱いが困難となる。また、デ
ィスプレイの開口率を上げるためにガラススペーサ4を
配線部24に配置することになるが、その配線部24の
幅は一般的に最大0.25mmであるのでガラススペー
サ4の厚さが配線部24の幅を超えるのは好ましくな
い。
に0.7〜5mmであり、好ましくは1〜5mmである
のがよい。フラット型電子励起ディスプレイでは、蛍光
体の利用効率を高めるために、一般的に5000〜60
00ボルトの高加速電圧を用いるので、ガラススペーサ
で形成される前面板1と背面板2との間隔が1mm未満
では双方の絶縁性を確保するのが難しく、5mmを超え
ると電子線源から放出された電子ビームが広がりすぎて
隣接する画素まで発光してしまうので好ましくない。
の大きさやその製造方法に依存して決定され、一般的に
10〜1000mmである。
前記組成及び線膨張係数の無アルカリガラスよりなるガ
ラススペーサを用いて、例えば図1,2に示すように構
成される。
り具体的に説明する。
移点及び屈伏点を調べ、結果を表2に示した。
はアルカリを含まず、しかも線膨張係数がソーダライム
シリカガラスの線膨張係数と同等であることがわかる。
が多い比較例1,2のガラスでは、線膨張係数がソーダ
ライムシリカガラスの線膨張係数と大きく異なり、電子
線励起ディスプレイ素子用ガラススペーサとして不適当
である。
的にアルカリを含まない無アルカリガラスであって、線
膨張係数が前面板及び背面板を構成するソーダライムシ
リカガラスの線膨張係数と同等の無アルカリガラスより
なる電子線励起ディスプレイ素子用ガラススペーサが提
供され、このガラススペーサにより、電界破壊や熱膨張
差による損傷等の問題のない高品質電子線励起ディスプ
レイ素子が提供される。
図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 SiO210〜35質量%、RO(但
し、Rはアルカリ土類金属を示す)20〜60質量%、
B2O39〜30質量%、及びAl2O30〜10質量
%を含み、実質的にアルカリ金属を含有しないガラス組
成を有し、かつ、線膨張係数が76〜92×10−7/
℃の無アルカリガラスで構成されることを特徴とする電
子線励起ディスプレイ素子用ガラススペーサ。 - 【請求項2】 請求項1において、該無アルカリガラス
の線膨張係数が78〜88×10−7/℃であることを
特徴とする電子線励起ディスプレイ素子用ガラススペー
サ。 - 【請求項3】 請求項1又は2において、該無アルカリ
ガラスが更にLa2O30〜30質量%、ZnO0〜8
質量%及びTiO20〜5質量%を含むことを特徴とす
る電子線励起ディスプレイ素子用ガラススペーサ。 - 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれか1項の電子
線励起ディスプレイ素子用ガラススペーサを用いたこと
を特徴とする電子線励起ディスプレイ素子。
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