JPH09167583A - 表示装置 - Google Patents

表示装置

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JPH09167583A
JPH09167583A JP7347094A JP34709495A JPH09167583A JP H09167583 A JPH09167583 A JP H09167583A JP 7347094 A JP7347094 A JP 7347094A JP 34709495 A JP34709495 A JP 34709495A JP H09167583 A JPH09167583 A JP H09167583A
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JP7347094A
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Shigeo Ito
Yoshio Makita
Mamoru Namikawa
Tatsuo Yamaura
茂生 伊藤
辰雄 山浦
衛 浪川
吉生 蒔田
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Futaba Corp
双葉電子工業株式会社
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    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/10Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
    • H01J31/12Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
    • H01J31/123Flat display tubes
    • H01J31/125Flat display tubes provided with control means permitting the electron beam to reach selected parts of the screen, e.g. digital selection
    • H01J31/127Flat display tubes provided with control means permitting the electron beam to reach selected parts of the screen, e.g. digital selection using large area or array sources, i.e. essentially a source for each pixel group
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    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/028Mounting or supporting arrangements for flat panel cathode ray tubes, e.g. spacers particularly relating to electrodes
    • HELECTRICITY
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    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/18Assembling together the component parts of electrode systems
    • H01J9/185Assembling together the component parts of electrode systems of flat panel display devices, e.g. by using spacers
    • HELECTRICITY
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    • H01J2329/8655Conductive or resistive layers

Abstract

(57)【要約】 【課題】 表示装置における蛍光体の発光効率の低下、
エミッタのエミッション能力の低下及びこれに伴う寿命
の短縮を防止する。 【解決手段】 表示装置の容器内でアノード基板4とカ
ソード基板10を支持する絶縁支柱3Aについて、支柱
本体3aに無アルカリ成分の材質によるグラスファイバ
を用いると共に、その表面に対して疎水性の材質による
コーティング層3bを形成して、絶縁支柱3Aからのア
ルカリ成分の拡散及び酸素の発生を抑制する

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【発明の属する技術分野】本発明は、画像等を表示する
ための蛍光体と、この蛍光体を励起する電子源を収納す
る表示用外囲器内に、対向するアノード基板とカソード
基板との間隔を所定間隔に保持するための支柱を備える
表示装置に関するものであり、特に電界放出カソードを
備える表示装置に適用して好適なものである。

【0002】

【従来の技術】金属または半導体表面の印加電界を10
9 [V/m]程度にするとトンネル効果により、電子が
障壁を通過して常温でも真空中に電子放出が行われる。
この現象は電界放出(Field Emission)といわれており
古くから知られた現象であるが、このような原理を利用
して電子を放出するカソードを電界放出カソード(Fiel
d Emission Cathode)と呼んでいる。近年、半導体微細
加工技術を駆使して、ミクロンサイズの前記電界放出カ
ソードの作成が可能となり、この電界放出カソードを基
板上に多数形成することにより、面放出型の電界放出ア
レイを作成することが可能となっている。このような電
界放出アレイは、表示装置、CRT、電子顕微鏡や電子
ビーム装置の電子源として適用することが提案されてい
る。

【0003】その適用例の一例である従来の表示装置の
断面構造を図2に示すが、この表示装置において、電界
放出アレイが形成されたガラス製のカソード基板10
と、蛍光体が形成された透明ガラス製のアノード基板4
とが所定間隔をもって対向配置されることにより、内部
を高真空に保持する外囲器が形成されている。このカソ
ード基板10に形成された電界放出アレイは、スパッタ
等により形成されたストライプ状のカソードライン電極
6と、その上に形成された抵抗層9と、さらにその上に
複数形成されたエミッタコーン群7と、このエミッタコ
ーン群7の先端近傍に形成されたゲートライン電極5と
により構成されたスピント(Spindt)型の電界放出アレ
イとされている。なお、抵抗層9上に絶縁層8が積層さ
れて、この絶縁層8上にゲートライン電極5は形成され
ている。

【0004】このエミッタコーン群7のエミッタコーン
間のピッチは10ミクロン以下の寸法で作成することが
出来、このようなエミッタコーンを数万ないし数10万
個、1枚のカソード基板10上に設けるようにしてい
る。なお、この電界放出アレイにおいては、ゲート・カ
ソード間の距離をサブミクロンとすることが出来るた
め、ゲート・カソード間に僅か数10ボルトの電圧VGE
を印加することによりエミッタコーン群7から電子を放
出することが出来る。

【0005】ところで、アノード基板4にはアノード電
極1が形成されており、その上に蛍光体ドットパターン
2が積層して形成されている。そこで、アノード電極1
に正電圧VA を印加するようにすると、エミッタコーン
群7から放出された電子は、アノード電極1により捕捉
されるようになり、この時、捕捉される電子がアノード
電極1上に積層されている蛍光体ドットパターン2に衝
突してこれを励起するため、蛍光体ドットパターン2が
発光するようになる。この発光は透明のアノード基板4
を通して観察することができる。

【0006】さらに、この表示装置においては、カソー
ド基板10とアノード基板4とにより構成される外囲器
の内部が高真空とされて、大気圧の影響によりカソード
基板10とアノード基板4とが所定間隔を保持できない
場合が生じるので、カソード基板10とアノード基板4
との間に絶縁支柱3が配設されている。この絶縁支柱3
はガラス等の絶縁体により形成されて、カソード基板1
0とアノード基板4との間に所定間隔毎に複数個配設さ
れている。

【0007】そして、絶縁支柱3の上端はアノード基板
4上に形成されているアノード電極1に当接するように
配設されており、絶縁支柱3の下端はカソード基板10
における絶縁層8上に形成されたゲートライン電極6に
当接するよう配設されている。

【0008】なお、カソード基板10上に形成されたス
トライプ状の複数のカソードライン電極6と、このカソ
ードライン電極6と直交するよう形成されたストライプ
状のゲートライン電極5とでマトリクスが構成されてお
り、このマトリクスが図示しないカソード走査部とゲー
ト走査部とで走査される。これにより、画像信号に応じ
て選択的に電子がエミッタコーン群7から放出されて、
対応する蛍光体ドットパターン2が発光されるようにな
り、アノード基板4上に画像が表示されるようになる。
この場合、例えばゲート走査部に画像信号が印加されて
おり、1フィールドの走査が終了した時に1枚の画像が
アノード基板4上に表示される。

【0009】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな構成の表示装置においては、例えば蛍光体ドットパ
ターン2の発光効率の低下や、エミッタコーン群7のエ
ミッション能力の劣化と、これに伴う表示装置の寿命の
短縮等を招く要因をできるだけ排除して、特性的に向上
を図ることが好ましい。

【0010】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記目
的を達成するために、電子源が形成されているカソード
基板と、電子源から放出された電子により励起される発
光部が形成されているアノード基板と、このカソード基
板とアノード基板が所定間隔を保持して対向するよう
に、カソード基板とアノード基板との間に配設されてい
る支柱を備えた表示装置において、支柱にアルカリ成分
を含まないガラス質の材料を用いることとした。また、
支柱の表面を疎水性となるように構成することとした。
更には、支柱についてアルカリ成分を含まないガラス質
の材料を用いると共に、その表面を疎水性となるように
構成することとした。

【0011】上記構成のように、カソード基板とアノー
ド基板を保持する支柱についてアルカリ成分を含まない
ガラス質とすることで、支柱からはアルカリ成分が拡散
しないようにされる。また、支柱の表面を疎水性として
支柱表面に吸着する水分を極力少なくすることで、電子
源による電子線照射時の酸素の発生を抑えることが可能
となる。

【0012】

【発明の実施の形態】先ず、本発明の構成を説明する前
に本発明に至った経緯を説明する。図2に示した絶縁支
柱3は、例えばグラスファイバを所定長に切断したもの
を使用しており、そのグラスファイバの材質としては入
手の容易性などの観点からホウケイ酸ガラス等を用いる
ことが一般的とされている。

【0013】ところで、これらホウケイ酸ガラスにおい
ては、その成分中にNa(ナトリウム)、K(カリウ
ム)等のアルカリ分を含む。そして、実際にこのような
ホウケイ酸ガラスによる絶縁支柱3を用いて図2に示す
ような表示装置を製造した場合、その焼成、及び容器の
封着工程等において、絶縁支柱3に含まれるアルカリ成
分が絶縁支柱3の周囲の基板上に拡散していく現象が確
認された。また、表示装置の駆動時においては、図2に
示すアノード電極1には場合によっては400V程度の
高電圧が印加されるが、このようなアノードへの印加電
圧は絶縁支柱3に対しても印加され、これによっても絶
縁支柱3のアルカリ成分が移動して拡散することが確認
されている。なお、この状態を図2に破線の矢印により
模式的に示す。

【0014】上述のようにして絶縁支柱3から表示装置
の容器内に拡散されたアルカリ成分は、例えば蛍光体ド
ットパターン2にまで至った場合には蛍光体の発光効率
を低下させることが分かっている。このため、これまで
述べてきたようなアルカリ成分が拡散する現象は、製造
時及び表示駆動時の何れの場合においても出来るだけ防
止されることが望まれる。特に、ZnGaO4 :Mn等
のカラー蛍光体については上述のようなアルカリ成分に
よる影響が大きいものとされている。

【0015】次に、絶縁支柱3としてのグラスファイバ
の表面は、親水性とされて例えばOH基が付着しやすい
性質であることが分かっているが、このために、絶縁支
柱3の表面部は多量の水分が吸着している状態にある。
例えば図2にて説明したような表示装置において、グラ
フィックディスプレイなどの精細画像に対応する構成と
した場合には、絶縁支柱3と蛍光体ドットパターン2と
の距離が10μm程度にまで接近するが、このような構
造において表示装置が駆動された場合、エミッタコーン
群12から放出された電子は、絶縁支柱3に対しても照
射される可能性が高い。そして絶縁支柱3においては、
照射された電子線によってその表面に吸着している水分
が分解され、図2の( )内に示すように酸素(O2
が発生する。このような現象は、特に絶縁支柱3とアノ
ード電極1やゲートライン電極等との境界付近で顕著で
ある。

【0016】ところで、電界放出エミッタ(エミッタコ
ーン群12)からのエミッション特性に対しては、特定
種類のガスが悪影響を及ぼすことがすでに確認されてい
るが、そのガスのひとつとして上述の酸素が挙げられて
いる。酸素の場合には電界放出エミッタの表面を酸化さ
せてしまうことによって、そのエミッション能力を劣化
させる。また、電界放出エミッタの酸化により表示装置
としての寿命が短縮することも分かっている。従って、
図2に示したような表示装置においては、絶縁支柱3の
表面に吸着する水分量を出来るだけ少なくすることも要
求される。

【0017】絶縁支柱3の個々の表面積は微少である
が、表示装置容器内に実際に設けられる本数は、例えば
10cm×10cmの表示装置の場合であれば数十〜数千本
程度となり、これら絶縁支柱3の総合的な表面積として
は相当なものとなる。従って、図2に示したような表示
装置において、絶縁支柱3から拡散されるアルカリ成分
を抑え、その表面に吸着する水分量を少なくすること
は、表示装置の総合的特性の向上に大きな影響を与える
ことになる。

【0018】以上述べてきたような経緯に基づいて本発
明はなされたものであり、図1に本発明の実施の形態と
される表示装置の構造を断面により示す。なお、図2と
同一部分は同一符号を付して説明を省略する。この図に
示す表示装置においては、カソード基板とアノード基板
を保持する支柱として、絶縁支柱3Aが設けられる。こ
の絶縁支柱3Aの支柱本体3aには、アルカリ成分を含
まない、無アルカリグラスファイバが材料として用いら
れる。このような無アルカリグラスファイバとして、具
体的には石英ファイバや、ホウケイ酸の一種であるEガ
ラスファイバ等を用いることができ、入手も比較的容易
とされる。これにより、前述したような製造工程時及び
表示装置駆動時に拡散されるアルカリ成分の発生を抑え
ることが可能となり、蛍光体ドットパターン2の発光効
率の低下が防止される。

【0019】また、本実施の形態の絶縁支柱3Aの支柱
本体3aに対しては、疎水性膜によるコーティング層3
bを施すことにより、絶縁支柱3Aの表面に吸着する水
分量を低減させ、電界放出エミッタのエミッション能力
の劣化及び表示装置としての寿命の短縮を防止するよう
にされる。この疎水性のコーティング層3bを形成する
材料としては、絶縁支柱3Aが有するべき絶縁性等を考
慮して、SiN(チッ化シリコン),Si(シリコ
ン)、Cr23 (酸化クロム)等を用いることができ
る。また、絶縁支柱3Aに対してコーティング層3bを
形成する方法としては、例えば、SiN(チッ化シリコ
ン),Si(シリコン)の場合であれば、気相成長法
(CVD:Chemical Vapor Deposition)を採用すること
ができ、Cr23 (酸化クロム)であれば、スパッタ
法を採用することができる。

【0020】なお、本発明としては絶縁支柱がアルカリ
分を含まない材料により形成されると共に、その表面が
疎水性を有するように構成されればよい。従って、絶縁
支柱のグラスファイバ本体及びコーティング層の材質等
は、実際の各種諸条件に応じて変更が可能とされ、上述
したものに限定されるものではない。また、本実施の形
態として電界放出型表示装置に本発明を適用した場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限ることはなく、例
えば蛍光表示管等の外囲器内に絶縁支柱が設けられてい
る表示装置に対しても適用することができるものであ
る。

【0021】

【発明の効果】本発明は以上説明したように、表示装置
の真空外囲器を内部から支持する支柱について、無アル
カリ成分の材質を用いるようにしたことで、蛍光体の発
光効率の低下を防止することが可能とされる。また、支
柱の表面に疎水性の材質をコーティングするなどして疎
水性を与えることで、外囲器内の酸素の発生が抑制さ
れ、例えば電界放出素子のエミッション能力の劣化を防
止すると共に、これに伴って表示装置の寿命を延ばすこ
とが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図1】本発明の一実施の形態としての表示装置の構造
を示す側断面図とされる。

【図2】従来の表示装置の構造を示す側断面図である。

【符号の説明】

1 アノード電極 2 蛍光体ドットパターン 3A 絶縁支柱 3a 支柱本体 3b コーティング層 4 アノード基板 5 ゲートライン電極 6 カソードライン電極 7 エミッタコーン群 8 絶縁層 9 抵抗層 10 カソード基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浪川 衛 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子源が形成されているカソード基板
    と、 前記電子源から放出された電子により励起される発光部
    が形成されているアノード基板と、 前記カソード基板と前記アノード基板が所定間隔を保持
    して対向するように、前記カソード基板と前記アノード
    基板との間に配設されている支柱を備えた表示装置にお
    いて、 前記支柱は、アルカリ成分を含まないガラス質の材料が
    用いられることを特徴とする表示装置。
  2. 【請求項2】 電子源が形成されているカソード基板
    と、 前記電子源から放出された電子により励起される発光部
    が形成されているアノード基板と、 前記カソード基板と前記アノード基板が所定間隔を保持
    して対向するように、前記カソード基板と前記アノード
    基板との間に配設されている支柱を備えた表示装置にお
    いて、 前記支柱は、その表面が疎水性とされていることを特徴
    とする表示装置。
  3. 【請求項3】 電子源が形成されているカソード基板
    と、 前記電子源から放出された電子により励起される発光部
    が形成されているアノード基板と、 前記カソード基板と前記アノード基板が所定間隔を保持
    して対向するように、前記カソード基板と前記アノード
    基板との間に配設されている支柱を備えた表示装置にお
    いて、 前記支柱は、アルカリ成分を含まないガラス質の材料が
    用いられると共に、その表面が疎水性とされていること
    を特徴とする表示装置。
JP7347094A 1995-12-15 1995-12-15 表示装置 Granted JPH09167583A (ja)

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US08/766,313 US5872420A (en) 1995-12-15 1996-12-13 Display apparatus having spacers of non-alkali component and hydrophobic coating
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KR1019960065632A KR100256395B1 (ko) 1995-12-15 1996-12-14 표시장치

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FR (1) FR2742579B1 (ja)
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