JP2002101631A - 磁石可動型電磁アクチュエータ - Google Patents

磁石可動型電磁アクチュエータ

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JP2002101631A JP2001162717A JP2001162717A JP2002101631A JP 2002101631 A JP2002101631 A JP 2002101631A JP 2001162717 A JP2001162717 A JP 2001162717A JP 2001162717 A JP2001162717 A JP 2001162717A JP 2002101631 A JP2002101631 A JP 2002101631A
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村 和 也 田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 起動時に大電圧を印加しなくても、応答性よ
く短時間で定常時の推力を発生でき、目的物を2位置に
安定的に保持できるようにした電磁アクチュエータを提
供する。 【解決手段】 環状の励磁コイル10と、励磁コイルの
周囲を包囲し、該励磁コイルの中心孔11の両端側に極
歯12a,12bを対向配置したメインヨーク12と、
上記励磁コイルの中心孔内に該孔の軸線方向に可動に配
置され、ラジアル方向に着磁された円筒状の永久磁石1
3とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、目的物を応答性よ
く移動させて位置決めできるようにした磁石可動型電磁
アクチュエータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、電磁的に目的物を移動させる往復
運動装置として、励磁コイルに電圧を印加し、磁気力に
よって可動鉄心に直線的な運動を与える電磁ソレノイド
(アクチュエータ)は、きわめて一般的に知られてい
る。この電磁ソレノイドは、構造が簡単ではあるが、鉄
心をコイルの内部に含んでいるため、電気的な応答をよ
くするのが難しく、また、電流を流していないときに推
力を発生させることができない点で、用途が制限される
という問題がある。そして、これらの問題に対処するた
め、起動時に大電圧を印加し、あるいはバネを用いて非
通電時の位置決めを行うようにしている。そのため、構
成が複雑化するとか部品点数が多くなるのを避けること
ができない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、従来の電磁ソレノイドのように起動時に大
電圧を印加しなくても、応答性よく短時間で定常時の推
力を発生させることができる磁石可動型電磁アクチュエ
ータを提供することにある。本発明の他の課題は、非通
電時における可動部材の保持が容易な磁石可動型電磁ア
クチュエータを提供することにある。本発明の更に他の
課題は、磁極がラジアル方向に着磁された円筒状の永久
磁石を用いるという簡単な構成によって上述した特長を
発揮することができる、部品点数が少なく、小型、且つ
安価な磁石可動型電磁アクチュエータを提供することに
ある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の第1の電磁アクチュエータは、環状の励磁
コイルと、上記励磁コイルの周囲を包囲し、その一部
に、該励磁コイルの中心孔の軸方向両端部に相対向して
位置する一対の極歯を備えたメインヨークと、上記励磁
コイルの中心孔内に該中心孔の軸線方向に可動に配置さ
れ、N極とS極とがラジアル方向に着磁された円筒状の
永久磁石とを備えたことを特徴とするものである。
【0005】また、本発明の第2の磁石可動型電磁アク
チュエータは、環状の励磁コイルと、上記励磁コイルの
周囲を包囲し、その一部に、該励磁コイルの外周の軸方
向両端部に相対向して位置する一対の極歯を備えたメイ
ンヨークと、上記励磁コイルの外周側に該コイルの軸線
方向に可動に配置され、N極とS極とがラジアル方向に
着磁された円筒状の永久磁石とを備えたことを特徴とす
るものである。
【0006】上記構成を有する第1及び第2の磁石可動
型電磁アクチュエータにおいて、励磁コイルに通電する
と、その電流の向きに応じてメインヨークの一方の極歯
がN極に、他方の極歯がS極になる。そして、これらの
極歯に発生した磁極と、それに対面する側の永久磁石の
磁極とが異極であればそれらの間に吸引力が、また同極
であれば反発力が作用するので、これらの力が永久磁石
に作用する軸線方向の推力となって、永久磁石がコイル
の中心孔内またはコイルの外側をその軸線方向に移動す
る。また、励磁コイルに逆方向に通電すると、メインヨ
ークの両極歯に生じるN及びSの磁極が上述した場合と
は逆になり、そのため、永久磁石に作用する推力も逆方
向に向いたものとなり、永久磁石が逆の方向に移動する
ことになる。このように本発明によれば、従来の電磁ソ
レノイドのように起動時に大電圧を印加しなくても、応
答性よく短時間で定常時の推力を発生させることができ
るという利点がある。
【0007】本発明においては、上記円筒状の永久磁石
を介して励磁コイルとは反対の側、すなわち、上記第1
の電磁アクチュエータにおいては永久磁石の内部に、ま
た第2の電磁アクチュエータにおいては永久磁石の外部
に、該永久磁石と同軸状に位置する円筒状のバックヨー
クを設けることができる。この構成により、一方の極歯
から永久磁石及びバックヨークを介して他方の極歯に至
る磁路を形成できるので、磁気抵抗を低減して永久磁石
の推力及び磁気吸着力を一層高めることができる。
【0008】上記バックヨークは、その厚を上記永久磁
石の起磁力で磁気飽和する厚さに形成することにより、
励磁コイルの非通電時に上記永久磁石を磁力で中立位置
に保持することができ、また、その厚を永久磁石の起磁
力で磁気飽和しない厚さに形成することにより、励磁コ
イルの非通電時に上記永久磁石を磁力で前進端又は後退
端の2位置に保持することができる。
【0009】また、本発明によれば、第3の電磁アクチ
ュエータとして、環状の励磁コイルと、上記励磁コイル
の周囲を包囲し、その一部に、該励磁コイルの中心孔の
軸方向両端部に相対向して位置する一対の極歯を備えた
環状のメインヨークと、上記メインヨークの軸方向両端
部にそれぞれ取り付けられ、該メインヨークと共にケー
シングを構成するカバー及びキャップと、上記ケーシン
グの内部に形成されて外周を上記励磁コイル及び一対の
極歯で取り囲まれた磁石室と、円筒状に形成されてラジ
アル方向にN極とS極とが着磁され、上記磁石室内に上
記励磁コイル及び極歯の内側においてケーシングの軸線
方向に移動自在なるように配設された永久磁石と、この
永久磁石を保持して該永久磁石と一緒に移動自在の磁石
ホルダーと、上記磁石室の中央部をケーシングの軸線方
向に摺動自在なるように貫通し、上記磁石ホルダーに結
合された出力用のシャフトとを備えたことを特徴とする
磁石可動型電磁アクチュエータが提供される。
【0010】上記ケーシングには、円筒形をしたバック
ヨークを、上記永久磁石の内側において該永久磁石と同
心状に位置するように固定的に取り付けることができ
る。また、上記磁石ホルダーは、スプリングで復帰方向
に弾発していても良い。
【0011】
【発明の実施の形態】図1は本発明に係る第1の磁石可
動型電磁アクチュエータの構成を原理的に示すものであ
る。この第1の電磁アクチュエータ1Aは、環状をした
一つの励磁コイル10と、該励磁コイル10の周囲を包
囲し、その一部に、該励磁コイル10の中心孔11の両
端部に相対向して位置する円筒状の極歯12a,12b
を備えた環状のメインヨーク12と、上記励磁コイルの
中心孔11内に該孔の軸線方向に可動に配置され、N極
とS極とがラジアル方向に着磁された円筒状の永久磁石
13とを備え、更に、該永久磁石13の内側に円筒状の
バックヨーク14を備えている。上記メインヨーク12
及びバックヨーク14は、それぞれ磁性素材により形成
されている。
【0012】上記円筒状の永久磁石13の好ましい長さ
は、両極歯12a,12b間にまたがる長さであり、特
に、永久磁石13の一端が励磁コイルの中心孔11内に
おいて一方の移動端まで達したときにも、永久磁石13
の他端が反対側の極歯と一部重複しているか、あるいは
近接するような長さであることが望ましい。また、上記
バックヨーク14は必ずしも設ける必要がないものであ
るが、それを設ける場合には、永久磁石13がどのよう
な移動位置にあってもその殆どをカバーできるような長
さのものを設置するのが望ましい。
【0013】一方、図2に示す本発明の第2の磁石可動
型電磁アクチュエータ1Bは、環状の励磁コイル20
と、該励磁コイル20の周囲を包囲し、その一部に、該
励磁コイル20の外周の軸方向両端部に相対向して位置
する円筒状の極歯22a,22bを備えた環状のメイン
ヨーク22と、上記励磁コイル20の外側に該コイルの
軸線方向に可動に配置され、N極とS極とがラジアル方
向に着磁された円筒状の永久磁石23とを備え、更に、
該永久磁石23の外側に配置された円筒状のバックヨー
ク24を備えている。上記永久磁石23及びバックヨー
ク24の長さ等に関しては、上述した第1の電磁アクチ
ュエータ1Aの場合と同様である。
【0014】この第2の電磁アクチュエータ1Bは、図
1に示す第1の電磁アクチュエータ1Aに比べ、励磁コ
イル、永久磁石及びバックヨークの配置が相違するだけ
で、機能的には実質的に相違するところがないので、以
下においては図1の第1の電磁アクチュエータ1Aの作
用についてのみ説明し、第2の電磁アクチュエータ1B
の作用については説明を省略する。
【0015】上記構成を有する第1の電磁アクチュエー
タ1Aにおいては、図1に示すように、永久磁石13
が、その外側がS極、内側がN極になるようにラジアル
方向に着磁されている。この状態で、上記励磁コイル1
0に、図1中に記号で示す方向に通電すると、その電流
の向きによりメインヨーク12の一方の極歯12aがN
極に、他方の極歯12bがS極になる。このため、上記
極歯12aに発生したN極とそれに対面する永久磁石1
3の外面側のS極との間に吸引力が作用すると共に、極
歯12bに発生したS極と永久磁石の上記S極との間に
反発力が作用するので、これらの力が永久磁石13に軸
線方向の推力を発生させ、この推力によって永久磁石1
3がコイルの中心孔11内をその軸線方向(図1におい
て右方)に移動する。
【0016】また、上記励磁コイル10に逆方向に通電
すると、メインヨーク12の両極歯12a,12bに生
じるN及びSの磁極が上述した場合とは逆の関係にな
り、そのため、永久磁石13に発生する推力の方向も逆
方向(図1において左方)になり、永久磁石13が上記
とは逆の方向に移動することになる。
【0017】ここで、上記バックヨーク14が設けられ
ている場合には、メインヨーク12におけるN極側の極
歯から永久磁石13を通じて該バックヨーク14に至
り、外部空間を通じて他方の極歯に至る磁路が形成され
るので、このバックヨーク14の磁気特性やその配置形
態等によって、上記磁路の磁気抵抗等を調整して上記永
久磁石13の推力及び磁気吸着力を調整することができ
る。
【0018】一方、励磁コイル10の非通電時における
上記永久磁石13の停止位置は、上記バックヨーク14
の有無や、該バックヨーク14の磁気飽和特性等によっ
て異なる。この点について以下に説明する。
【0019】先ず、上記バックヨーク14が設置されて
いないか、あるいは、設置されていても永久磁石13の
起磁力で磁気飽和する程度に薄肉である場合には、励磁
コイル10の非通電時に上記永久磁石13は、中立位置
に保持される。即ち、上記励磁コイル10に通電して永
久磁石13を極歯12a側のストローク端に前進させた
状態で、該励磁コイル10への通電を断つと、図3に示
すように、この前進端では、極歯12a側の磁路Saの
磁気抵抗が極歯12b側の磁路Sbの磁気抵抗より小さ
いため、永久磁石13の起磁力により発生する磁束のう
ち、磁路Sbを通る磁束Φbは磁路Saを通る磁束Φa
より多くなり、この結果、永久磁石13は極歯12b側
に吸引されて移動する。そして、該永久磁石13が中立
位置まで移動すると、上記磁路SaとSbとにおける磁
気抵抗が等しくなって磁束ΦaとΦbとが均衡するた
め、該永久磁石13はこの中立位置に停止する。一方、
上記永久磁石13を極歯12b側の後退ストローク端に
移動させた状態で励磁コイル10への通電を断った場合
には、上記の場合とは逆に、該永久磁石13は極歯12
b側に吸引されて移動し、中立位置まで移動すると停止
してその位置に保持される。
【0020】従って、上記永久磁石13に駆動しようと
する目的物を連結しておき、上記励磁コイル10に正又
は逆方向に通電して該永久磁石13を前進又は後退させ
たあと、その通電を解除することにより、その目的物を
永久磁石13の中立位置に位置決めすることができる。
また、この構成は、上記永久磁石13の両側に機械的な
復帰スプリングを設けたことと等価であるため、該永久
磁石13を連続的に往復駆動するような用途において
は、共振的現象により永久磁石13の切り換わりが助長
されるため、効率的である。
【0021】次に、上記バックヨーク14の厚さが、永
久磁石13の起磁力で磁気飽和しない程度に厚い場合に
は、励磁コイル10の非通電時に上記永久磁石13は、
前進端又は後退端の2位置に保持される。即ち、上記励
磁コイル10に通電して永久磁石13を極歯12a側の
ストローク端に前進させた状態で、該励磁コイル10へ
の通電を断つと、図4に示すように、永久磁石13から
発生する磁束は、N極からバックヨーク14及び極歯1
2aを通ってS極に至る磁束Φaと、N極からバックヨ
ーク14及び極歯12bを通ってS極に至る磁束Φb
と、N極からバックヨーク14、極歯12b、メインヨ
ーク12、及び極歯12aを通ってS極に至る磁束Φc
とに分かれる。従って、上記極歯12aを通ってS極に
入る磁束はΦa+Φcとなり、極歯12bを通ってS極
に入るΦbより多いため、永久磁石13は極歯12a側
に吸引されたまま前進端に保持される。このことは、永
久磁石13を極歯12b側のストローク端に移動させた
状態で励磁コイル10への通電を断った場合も同様で、
この場合に永久磁石13は、極歯12b側に吸引された
まま後退端に保持される。
【0022】従って、上記永久磁石13に駆動しようと
する目的物を連結しておき、上記励磁コイル10に正又
は逆方向に通電して該永久磁石13を前進又は後退させ
たあと、その通電を解除することにより、その目的物を
前進端又は後退端の2位置に確実に位置決めすることが
できる。
【0023】図5には、上記永久磁石13の動作位置
と、該永久磁石13に自身の起磁力により発生する推力
の大きさ及び方向との関係が示されている。図中グラフ
mは、バックヨーク14が設けられていないか、あるい
は永久磁石13の起磁力で磁気飽和する程度に薄肉のバ
ックヨークが設けられている場合であり、グラフnは、
永久磁石13の起磁力で磁気飽和しない程度に厚いバッ
クヨーク14が設けられている場合である。
【0024】上記グラフmは、永久磁石13が図3に示
すように前進端にある場合には、該永久磁石13には負
方向(後退方向)の推力が作用し、逆に後退端にある場
合には、正方向(前進方向)の推力が作用し、中立位置
では推力が作用しないことを示している。従って永久磁
石13は、前進端にあっても後退端にあっても、中立位
置まで移動して該中立位置に保持されることが分かる。
【0025】また、上記グラフnは、永久磁石13が図
4に示すように前進端にある場合には、該永久磁石13
には正方向(前進方向)の推力が作用し、逆に後退端に
ある場合には、負方向(後退方向)の推力が作用するこ
とを示しており、従って永久磁石13はそれぞれの位置
に保持されることが分かる。なお、この場合にも、永久
磁石が中立位置にあるときには推力は作用しない。
【0026】このように、励磁コイル10の非通電時に
永久磁石13に作用する推力の大きさは、バックヨーク
14の材質や厚さ、一対の極歯12a,12b間の間
隔、永久磁石13の長さ等を変えることによって自由に
調節することができる。その一例として図6には、一対
の極歯の間隔が推力特性に与える影響について示されて
おり、この図から、極歯の間隔が小さいほど推力も小さ
くなることが分かる。あるいは図7に示すように、永久
磁石に作用する推力をその全ストロークにおいて極力小
さくすることも可能であり、この場合には、上記永久磁
石やそれに保持された目的物等を、任意の位置に停止さ
せてその位置に保持させることができる。そして、この
ような特性を持つ電磁アクチュエータは、制御性が良い
ため、制御用モーター等に応用することができる。
【0027】図8には、図1に示す第1の電磁アクチュ
エータ1Aを具体化した実施例について示されている。
この電磁アクチュエータ1Cは、ボビン31に巻線32
を捲回することにより構成した環状の励磁コイル30
と、該励磁コイル30の周囲を包囲する環状のメインヨ
ーク33とを備えている。このメインヨーク33は、ケ
ーシングの外壁を兼ねる外筒部34aと一方の極歯34
bとが一体化されているアウタヨーク34と、他方の極
歯35aを備えた断面L字形のボトムヨーク35とから
なっていて、これらのアウタヨーク34とボトムヨーク
35とを、上記一対の極歯35a,34bが励磁コイル
30の中心孔の両端部に位置して互いに対向するように
組み合わせ、ねじ止め等の手段で相互に結合している。
【0028】また、上記メインヨーク33の軸線方向の
一端側にはカバー37がねじ38により固定され、他端
側にはキャップ39がC型止め輪40により固定され、
これらのメインヨーク33とカバー37とキャップ39
とによってケーシング41が構成されている。このケー
シング41の内部には、外周を上記励磁コイル30と一
対の極歯35a,34bとで囲まれた磁石室42が形成
され、この磁石室42内に、その中心を貫通して軸線方
向に摺動自在の中空の出力用シャフト45が設けられる
と共に、このシャフト45の回りに円筒形をした磁石ホ
ルダ46が、該シャフト45と一緒に変移するように取
付けられ、この磁石ホルダ46の外周面に、円筒形の永
久磁石47が、上記励磁コイル30及び一対の極歯35
a,34bの内部においてこれらのコイル30及び極歯
35a,34bと対面するように取付けられている。
【0029】上記永久磁石47は、N極とS極とがラジ
アル方向に着磁されていて、メインヨーク33の両極歯
35a,34b間にまたがる長さを有し、しかも、永久
磁石47の一端が励磁コイル30の中心孔内において移
動端まで達したときにも、永久磁石47の他端が反対側
の極歯と一部重複しているか、あるいは近接するような
長さを有するものである。
【0030】上記永久磁石47の内部には、図8中に鎖
線で示しているように、円筒形をしたバックヨーク48
を、上記キャップ39に取付けることによって該永久磁
石47と同軸状かつ固定的に配設することができる。こ
のバックヨーク48を設ける場合には、その長さを、永
久磁石47がどのような移動位置にあっても該永久磁石
と対向するような長さとするのが望ましい。なお、前述
したようにこのバックヨーク48は、必ずしも設ける必
要がないものである。
【0031】なお、図8において、50はカバー37に
設けられてシャフト45を摺動自在に支持する軸受、5
1,52はカバー37及びキャップ39に設けられて磁
石ホルダ46をストローク端で緩衝的に停止させるダン
パ、53は電磁アクチュエータを所定の場所に取付ける
ためのねじ孔、55は非通電状態のとき上記シャフト4
5を復帰位置に戻すための復帰用スプリングである。
【0032】上記構成を有する電磁アクチュエータ1C
は、上記シャフト45を目的物に連結して該目的物の搬
送等に使用される。いま、図8の下半に示すようにシャ
フト45が左端にある動作状態において、励磁コイル3
0に通電して、一方の極歯35aがN極になり且つ他方
の極歯34bがS極になる方向の電流を流すと、極歯3
5aに発生したN極と永久磁石47の外面側のS極との
間に吸引力が作用すると共に、極歯34bに発生したS
極と永久磁石の上記S極との間に反発力が作用するの
で、これらの力が永久磁石47に軸線方向の推力となっ
て作用し、該永久磁石47がシャフト45と共に図8の
上半に示す右方端まで前進する。
【0033】また、上記永久磁石47が前進端にある状
態で上記励磁コイル30に逆方向の電流を流すと、両極
歯35a,34bに上述した場合とは逆の磁極が発生す
るため、永久磁石47及びシャフト45は、この磁力に
よる推力と復帰用スプリング55の弾発力との合成力に
よって復帰端まで速やかに後退する。あるいは、上記前
進端で励磁コイル30への通電を解除しても、上記永久
磁石47及びシャフト45は、スプリング55の弾発力
で図8の下半部に示す後退端まで移動する。
【0034】このように、復帰用スプリング55が設け
られている場合には、永久磁石47は前進端と後退端と
の2位置に切り換えられるが、スプリング55が設けら
れていない場合には、上記バックヨーク48の有無や、
該バックヨーク48が永久磁石47の起磁力で磁気飽和
するか否か等の条件に応じて、ストローク端で励磁コイ
ル30に逆方向の電流を流す場合と、通電を遮断する場
合とで、切換動作が異なる。これらの切換動作について
は、上記第1の電磁アクチュエータ1Aについて説明し
た場合と実質的に同じであるから、ここでの説明は省略
する。
【0035】なお、上記電磁アクチュエータ1Cにおい
ては、磁極をラジアル方向に着磁した永久磁石47を用
いているため、シャフト45、磁石ホルダ46及び可動
磁石47を含む可動部分に働く横荷重が小さく、そのた
め、シャフト45を支持する軸受50も簡単なものでよ
く、コストの低減、小さい横荷重に起因する耐久性の向
上を期待することができる。
【0036】更に、上記電磁アクチュエータ1Cにおい
ては、励磁コイル30の内部に設ける鉄製部材を少なく
できるため、該励磁コイルのインダクタンスを低減させ
ることができ、そのため、該コイルにステップ電圧を印
加したときの電流の立ち上がりがよく、電気的応答性を
向上させることができ、結果的に、短時間(数ms程
度)で定常時の推力を発生させることが可能になる。
【0037】
【発明の効果】以上に詳述した本発明の電磁アクチュエ
ータによれば、ラジアル方向に着磁された円筒状の永久
磁石を用いるという簡単な手段によって、従来の電磁ソ
レノイドのように起動時に大電圧を印加しなくても、応
答性よく短時間で定常時の推力を発生させることができ
る。しかも、永久磁石を利用した上記構成により、非通
電時に目的物を必要な動作位置に確実に保持させること
ができ、部品点数の減少によるコストの低減、耐久性の
向上を図ることができる。また、本発明の電磁アクチュ
エータによれば、上述した構成に基づき、外形寸法が同
サイズの従来の電磁ソレノイドに比べ大きな推力を発生
でき、外形寸法が同サイズであればより大きな推力を発
生でき、更に、同程度の推力を発生させる場合には外形
寸法を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る第1の磁石可動型電磁アクチュエ
ータの構成を原理的に示す断面図である。
【図2】本発明に係る第2の磁石可動型電磁アクチュエ
ータの構成を原理的に示す断面図である。
【図3】第1の電磁アクチュエータの一例についての切
換動作を説明するための断面図である。
【図4】第1の電磁アクチュエータの他例についての切
換動作を説明するための断面図である。
【図5】バックヨークの有無による非通電時の動作特性
を示す線図である。
【図6】非通電時における極歯の間隔と推力との関係を
示す線図である。
【図7】非通電時における推力を全ストロークにおいて
極力小さくした場合の動作特性を示す線図である。
【図8】図1の電磁アクチュエータを具体化した実施例
を、上半部と下半部とで異なる動作状態にして示す断面
図である。
【符号の説明】
1A,1B,1C 電磁アクチュエータ 10,20,30 励磁コイル 11 中心孔 12,22,33 メインヨーク 12a,12b,22a,22b,34b,35a
極歯 13,23,47 永久磁石 14,24,48 バックヨーク 37 カバー 39 キャップ 42 磁石室 45 シャフト 46 磁石ホルダ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】環状の励磁コイルと、 上記励磁コイルの周囲を包囲し、その一部に、該励磁コ
    イルの中心孔の軸方向両端部に相対向して位置する一対
    の極歯を備えたメインヨークと、 上記励磁コイルの中心孔内に該中心孔の軸線方向に可動
    に配置され、N極とS極とがラジアル方向に着磁された
    円筒状の永久磁石と、を備えたことを特徴とする磁石可
    動型電磁アクチュエータ。
  2. 【請求項2】環状の励磁コイルと、 上記励磁コイルの周囲を包囲し、その一部に、該励磁コ
    イルの外周の軸方向両端部に相対向して位置する一対の
    極歯を備えたメインヨークと、 上記励磁コイルの外周側に該コイルの軸線方向に可動に
    配置され、N極とS極とがラジアル方向に着磁された円
    筒状の永久磁石と、を備えたことを特徴とする磁石可動
    型電磁アクチュエータ。
  3. 【請求項3】上記円筒状の永久磁石を介して励磁コイル
    とは反対の側に、該永久磁石と同軸状に位置する円筒状
    のバックヨークを有することを特徴とする請求項1また
    は2に記載の電磁アクチュエータ。
  4. 【請求項4】上記バックヨークを、上記永久磁石の起磁
    力で磁気飽和する厚さに形成することにより、励磁コイ
    ルの非通電時に上記永久磁石が磁力で中立位置に保持さ
    れるように構成したことを特徴とする請求項3に記載の
    電磁アクチュエータ。
  5. 【請求項5】上記バックヨークを、上記永久磁石の起磁
    力で磁気飽和しない厚さに形成することにより、励磁コ
    イルの非通電時に上記永久磁石が磁力で前進端又は後退
    端の2位置に保持されるように構成したことを特徴とす
    る請求項3に記載の電磁アクチュエータ。
  6. 【請求項6】環状の励磁コイルと、 上記励磁コイルの周囲を包囲し、その一部に、該励磁コ
    イルの中心孔の軸方向両端部に相対向して位置する一対
    の極歯を備えた環状のメインヨークと、 上記メインヨークの軸方向両端部にそれぞれ取り付けら
    れ、該メインヨークと共にケーシングを構成するカバー
    及びキャップと、 上記ケーシングの内部に形成されて外周を上記励磁コイ
    ル及び一対の極歯で取り囲まれた磁石室と、 円筒状に形成されてラジアル方向にN極とS極とが着磁
    され、上記磁石室内に上記励磁コイル及び極歯の内側に
    おいてケーシングの軸線方向に移動自在なるように配設
    された永久磁石と、 上記永久磁石を保持して該永久磁石と一緒に移動自在の
    磁石ホルダーと、 上記磁石室の中央部をケーシングの軸線方向に摺動自在
    なるように貫通し、上記磁石ホルダーに結合された出力
    用のシャフトと、を備えたことを特徴とする磁石可動型
    電磁アクチュエータ。
  7. 【請求項7】円筒形をしたバックヨークが、上記ケーシ
    ングに、上記永久磁石の内側において該永久磁石と同心
    状に位置するように固定的に取り付けられていることを
    特徴とする請求項6に記載の電磁アクチュエータ。
  8. 【請求項8】上記磁石ホルダーが、スプリングで復帰方
    向に弾発されていることを特徴とする請求項6又は7に
    記載の電磁アクチュエータ。
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