JP2002100647A - ボール検査方法及び検査装置 - Google Patents
ボール検査方法及び検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】素子のボール配置パターンを基本パターンの合
成としてとらえ、基本パターンを利用してボール検査を
行うことにより、素子のどのようなボール配置パターン
にも対応可能なボール検査方法を提供するものである。 【解決手段】ボールを搭載する装置のボール検査方法に
次の手段を採用した。第１に、ボールの画像を取り込む
画像取込手段を設ける。第２に、ボール配置パターンに
用いられる基本パターンを登録する基本パターン登録手
段を設ける。第３に、検査対象素子のボール配置パター
ンに用いられている基本パターンの組み合わせデータを
記憶した記憶手段を設ける。第４に、ボール配置パター
ンに用いられている基本パターンを記憶手段を基に基本
パターン登録手段から選択する。第５に、画像取込手段
で取り込まれた取込画像と選択された基本パターンとを
比較することによりボール搭載又はボール吸着の適否を
検査する。
成としてとらえ、基本パターンを利用してボール検査を
行うことにより、素子のどのようなボール配置パターン
にも対応可能なボール検査方法を提供するものである。 【解決手段】ボールを搭載する装置のボール検査方法に
次の手段を採用した。第１に、ボールの画像を取り込む
画像取込手段を設ける。第２に、ボール配置パターンに
用いられる基本パターンを登録する基本パターン登録手
段を設ける。第３に、検査対象素子のボール配置パター
ンに用いられている基本パターンの組み合わせデータを
記憶した記憶手段を設ける。第４に、ボール配置パター
ンに用いられている基本パターンを記憶手段を基に基本
パターン登録手段から選択する。第５に、画像取込手段
で取り込まれた取込画像と選択された基本パターンとを
比較することによりボール搭載又はボール吸着の適否を
検査する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搭載対象物へボー
ルを搭載する装置のボール検査方法及びその装置に関す
るもので、主としてウエハレベルマウントヘッドの半田
ボール吸着時の検査の方法及びウエハへ半田ボールを搭
載した後の完成検査の方法を主眼において開発したもの
である。
ルを搭載する装置のボール検査方法及びその装置に関す
るもので、主としてウエハレベルマウントヘッドの半田
ボール吸着時の検査の方法及びウエハへ半田ボールを搭
載した後の完成検査の方法を主眼において開発したもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハ上の各ボール配置パターン
は、シングルデバイスのボール配置パターンで言えば、
格子状又は千鳥状が一般的であり、ランダムな配置はま
れであった。従って、ボール検査装置においても、ボー
ル配置の基準パターンは格子状及び千鳥状のものが記憶
されているに過ぎなかった。
は、シングルデバイスのボール配置パターンで言えば、
格子状又は千鳥状が一般的であり、ランダムな配置はま
れであった。従って、ボール検査装置においても、ボー
ル配置の基準パターンは格子状及び千鳥状のものが記憶
されているに過ぎなかった。
【０００３】従って、シングルデバイスのウエハであっ
ても、格子状又は千鳥状以外のボール配置パターンの場
合、迅速なボール検査に対応できなかった。更に、ボー
ル配置パターンが異なる複数の素子が配置されたウエハ
の場合には、実際上ボール検査が行えないという問題点
を有していた。
ても、格子状又は千鳥状以外のボール配置パターンの場
合、迅速なボール検査に対応できなかった。更に、ボー
ル配置パターンが異なる複数の素子が配置されたウエハ
の場合には、実際上ボール検査が行えないという問題点
を有していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、検査対象素
子の具体的ボール配置パターンを基本パターンの合成と
してとらえ、検査対象素子のボール配置パターンに用い
られる基本パターンを利用してボール検査を行うことに
より、素子のどのようなボール配置パターンにも対応可
能なボール検査方法及びその装置を提供しようとするも
のである。
子の具体的ボール配置パターンを基本パターンの合成と
してとらえ、検査対象素子のボール配置パターンに用い
られる基本パターンを利用してボール検査を行うことに
より、素子のどのようなボール配置パターンにも対応可
能なボール検査方法及びその装置を提供しようとするも
のである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、搭載対象物へボールを搭載する装置のボ
ール検査方法に次の手段を採用した。第１に、搭載対象
物に搭載されたボールの画像を取り込む手段又はマウン
トヘッドに吸着されたボールの画像を取り込む手段であ
る画像取込手段を採用する。第２に、ボール配置パター
ンに用いられる基本パターンを登録する基本パターン登
録手段を採用する。第３に、検査対象素子のボール配置
パターンに用いられている基本パターンの組み合わせデ
ータを記憶した記憶手段を採用する。第４に、検査対象
素子のボール配置パターンに用いられている基本パター
ンを記憶手段を基に基本パターン登録手段から選択す
る。第５に、上記画像取込手段で取り込まれた取込画像
と選択された基本パターンとを比較することによりボー
ル搭載又はボール吸着の適否を検査する。
め、本発明は、搭載対象物へボールを搭載する装置のボ
ール検査方法に次の手段を採用した。第１に、搭載対象
物に搭載されたボールの画像を取り込む手段又はマウン
トヘッドに吸着されたボールの画像を取り込む手段であ
る画像取込手段を採用する。第２に、ボール配置パター
ンに用いられる基本パターンを登録する基本パターン登
録手段を採用する。第３に、検査対象素子のボール配置
パターンに用いられている基本パターンの組み合わせデ
ータを記憶した記憶手段を採用する。第４に、検査対象
素子のボール配置パターンに用いられている基本パター
ンを記憶手段を基に基本パターン登録手段から選択す
る。第５に、上記画像取込手段で取り込まれた取込画像
と選択された基本パターンとを比較することによりボー
ル搭載又はボール吸着の適否を検査する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って、実施例と共
に本発明の実施の形態について説明する。本発明におけ
る半田ボールの搭載対象物は、ウエハ、フレーム等が考
えられるが、第１実施例では、シングルデバイスのウエ
ハを搭載対象物としている。そして、第１実施例の検査
方法及び検査装置は、ウエハへの半田ボール搭載前のマ
ウントヘッドの半田ボール吸着検査を前提にしている。
に本発明の実施の形態について説明する。本発明におけ
る半田ボールの搭載対象物は、ウエハ、フレーム等が考
えられるが、第１実施例では、シングルデバイスのウエ
ハを搭載対象物としている。そして、第１実施例の検査
方法及び検査装置は、ウエハへの半田ボール搭載前のマ
ウントヘッドの半田ボール吸着検査を前提にしている。
【０００７】本実施例のボール検査装置は、次の５つの
手段を有する。第１の手段は、マウントヘッドに吸着さ
れた半田ボールの画像を取り込む画像取込手段である。
例えば検査カメラが、画像取込手段となる。検査カメラ
にて、半田ボール吸着後、半田ボール搭載前のマウント
ヘッドの半田ボール吸着面を観察し、吸着された半田ボ
ールの画像を取り込むのである。ボール画像は２値化さ
れて抽出される（具体的には画像中白い固まりが全て抽
出される）。
手段を有する。第１の手段は、マウントヘッドに吸着さ
れた半田ボールの画像を取り込む画像取込手段である。
例えば検査カメラが、画像取込手段となる。検査カメラ
にて、半田ボール吸着後、半田ボール搭載前のマウント
ヘッドの半田ボール吸着面を観察し、吸着された半田ボ
ールの画像を取り込むのである。ボール画像は２値化さ
れて抽出される（具体的には画像中白い固まりが全て抽
出される）。
【０００８】第２の手段は、ボール配置に関する複数の
基本パターンを登録する基本パターン登録手段である。
例えば制御装置内の入力部と記憶部が基本パターン登録
手段となる。基本パターン登録手段では、規則性ある基
本パターン、例えば図１に示される第１の基本パターン
１及び第２の基本パターン２等を複数登録できるように
してある。尚、図１はボール検査方法を示す説明図であ
り、図中４は個々の半田ボールの位置である。
基本パターンを登録する基本パターン登録手段である。
例えば制御装置内の入力部と記憶部が基本パターン登録
手段となる。基本パターン登録手段では、規則性ある基
本パターン、例えば図１に示される第１の基本パターン
１及び第２の基本パターン２等を複数登録できるように
してある。尚、図１はボール検査方法を示す説明図であ
り、図中４は個々の半田ボールの位置である。
【０００９】第３の手段は、検査対象素子のボール配置
パターンに用いられている基本パターンの組み合わせデ
ータ７を記憶した記憶手段である。図１に示すように第
１の基本パターン１と第２の基本パターン２とにより第
１のボール配置パターン５が成立する。そこで第１の基
本パターン１と第２の基本パターン２との組み合わせを
データ７（００００００１１）として、例えば制御装置
内のデータ部に検査対象素子の位置データに関連付けて
記憶する。尚、組み合わせデータ７（００００００１
１）は、基本パターン登録手段で登録された基本パター
ンが８個あり、その内の２個の基本パターンの組み合わ
せデータ、すなわち第１の基本パターン１と第２の基本
パターン２の組み合わせデータを記憶する場合の例であ
る。
パターンに用いられている基本パターンの組み合わせデ
ータ７を記憶した記憶手段である。図１に示すように第
１の基本パターン１と第２の基本パターン２とにより第
１のボール配置パターン５が成立する。そこで第１の基
本パターン１と第２の基本パターン２との組み合わせを
データ７（００００００１１）として、例えば制御装置
内のデータ部に検査対象素子の位置データに関連付けて
記憶する。尚、組み合わせデータ７（００００００１
１）は、基本パターン登録手段で登録された基本パター
ンが８個あり、その内の２個の基本パターンの組み合わ
せデータ、すなわち第１の基本パターン１と第２の基本
パターン２の組み合わせデータを記憶する場合の例であ
る。
【００１０】第４の手段は、選択手段であって、検査対
象素子のボール配置パターン５に用いられている第１の
基本パターン１と第２の基本パターン２を、記憶手段の
組み合わせデータ７（００００００１１）を基に基本パ
ターン登録手段から選択する手段である。
象素子のボール配置パターン５に用いられている第１の
基本パターン１と第２の基本パターン２を、記憶手段の
組み合わせデータ７（００００００１１）を基に基本パ
ターン登録手段から選択する手段である。
【００１１】第５の手段は、比較手段であって、上記画
像取込手段で取り込まれた取込画像と選択された基本パ
ターンとを比較する手段であり、実質的に検査手段であ
る。詳細は後述する。
像取込手段で取り込まれた取込画像と選択された基本パ
ターンとを比較する手段であり、実質的に検査手段であ
る。詳細は後述する。
【００１２】本実施例の検査方法を実施するに当たって
は、予め基本パターンの登録と基本パターンの組み合わ
せデータの記憶を完了しておく。本実施例の検査方法の
第１の手順は、上記状態のもとで検査カメラ等にて吸着
ボールの画像を取り込むことである。
は、予め基本パターンの登録と基本パターンの組み合わ
せデータの記憶を完了しておく。本実施例の検査方法の
第１の手順は、上記状態のもとで検査カメラ等にて吸着
ボールの画像を取り込むことである。
【００１３】第２の手順は、記憶手段から検査対象素子
の位置データに関連付けられた組み合わせデータを読み
込み、その組み合わせデータに基づいて吸着ボールが対
応するウエハ上の検査対象素子のボール配置パターンに
使用される基本パターンを選択することである。例えば
検査対象素子の吸着ボールが、図１中符号５のボール配
置パターンを有する場合、図示されている第１の基本パ
ターン１と第２の基本パターン２を選択するのである。
尚、第１の手順と第２の手順は何れが先でも、又、同時
でも良い。
の位置データに関連付けられた組み合わせデータを読み
込み、その組み合わせデータに基づいて吸着ボールが対
応するウエハ上の検査対象素子のボール配置パターンに
使用される基本パターンを選択することである。例えば
検査対象素子の吸着ボールが、図１中符号５のボール配
置パターンを有する場合、図示されている第１の基本パ
ターン１と第２の基本パターン２を選択するのである。
尚、第１の手順と第２の手順は何れが先でも、又、同時
でも良い。
【００１４】次に第３の手順として、取り込み吸着ボー
ル画像の実際のボール状況と選択された基本パターンと
のボールの状態とを比較することによりボール吸着の適
否を検査する。ボール検査は、抽出したボール１個毎に
基本パターンとの比較を行って、ボールの位置ズレ、余
剰ボール、ボール不足を判定し、判定結果を記憶する。
ル画像の実際のボール状況と選択された基本パターンと
のボールの状態とを比較することによりボール吸着の適
否を検査する。ボール検査は、抽出したボール１個毎に
基本パターンとの比較を行って、ボールの位置ズレ、余
剰ボール、ボール不足を判定し、判定結果を記憶する。
【００１５】具体的には、取り込んだ画像から抽出した
ボール１個についてまず第１の基本パターン１の中で合
致するボールがあるか否かチェックする。次に第２の基
本パターン２の中で合致するボールがあるか否かチェッ
クする。第１及び第２の基本パターン１，２の何れにも
なければ、余剰ボールである。又、１つの素子分の取込
画像中のボール全てのチェックが終了したのに第１及び
第２の基本パターン１，２中に余りのボールがあれば、
ボール不足（歯抜け状態）である。尚、所定範囲内にズ
レて存在する場合が位置ズレである。この判定結果を記
憶する。
ボール１個についてまず第１の基本パターン１の中で合
致するボールがあるか否かチェックする。次に第２の基
本パターン２の中で合致するボールがあるか否かチェッ
クする。第１及び第２の基本パターン１，２の何れにも
なければ、余剰ボールである。又、１つの素子分の取込
画像中のボール全てのチェックが終了したのに第１及び
第２の基本パターン１，２中に余りのボールがあれば、
ボール不足（歯抜け状態）である。尚、所定範囲内にズ
レて存在する場合が位置ズレである。この判定結果を記
憶する。
【００１６】記憶した判定結果により素子対応吸着ボー
ル画像毎に適正か否かの判定を行う。全ての検査項目が
適正の場合にマウントヘッドはウエハへ移動し、半田ボ
ールをマウントする。
ル画像毎に適正か否かの判定を行う。全ての検査項目が
適正の場合にマウントヘッドはウエハへ移動し、半田ボ
ールをマウントする。
【００１７】１つでもＮＧがあった場合、ＮＧ対応措置
がなされるが、ＮＧが余剰ボールである場合には、吸着
ヘッドが除去ノズル位置に移動し、余剰ボールが吸引除
去され、その後、吸着ヘッドはウエハ上に移動し、ウエ
ハにボールを搭載する。他方、ＮＧがボール不足であっ
た場合には、直接ボールを供給するボール供給部へ戻
り、再度ボールを吸着する。
がなされるが、ＮＧが余剰ボールである場合には、吸着
ヘッドが除去ノズル位置に移動し、余剰ボールが吸引除
去され、その後、吸着ヘッドはウエハ上に移動し、ウエ
ハにボールを搭載する。他方、ＮＧがボール不足であっ
た場合には、直接ボールを供給するボール供給部へ戻
り、再度ボールを吸着する。
【００１８】上記第１実施例はボール搭載前のマウント
ヘッドのボール吸着時点でのボール検査方法であるが、
この検査方法は、ウエハ等にボールを搭載した後に搭載
ボールの適否を検査する際にも利用可能である。そのと
きには、マウントヘッドに吸着されたボールの画像を取
り込む手段の代わりにウエハに搭載されたボールの画像
を取り込む手段が採用される。
ヘッドのボール吸着時点でのボール検査方法であるが、
この検査方法は、ウエハ等にボールを搭載した後に搭載
ボールの適否を検査する際にも利用可能である。そのと
きには、マウントヘッドに吸着されたボールの画像を取
り込む手段の代わりにウエハに搭載されたボールの画像
を取り込む手段が採用される。
【００１９】第２実施例は、ボール配置パターンが異な
る複数の素子が配置されたウエハへのボールマウント装
置のボール検査方法に関するものである。
る複数の素子が配置されたウエハへのボールマウント装
置のボール検査方法に関するものである。
【００２０】図３が、２種類のボール配置パターンの素
子対応マウントヘッドの説明図であり、図３に示すよう
にＡパターンとＢパターンという異なるボール配置パタ
ーンの素子が存在するウエハに半田ボールを搭載するボ
ールマウント装置の吸着ヘッドのボール吸着を検査する
装置においても、第１実施例と同様に下記の５つの手段
を採用する。
子対応マウントヘッドの説明図であり、図３に示すよう
にＡパターンとＢパターンという異なるボール配置パタ
ーンの素子が存在するウエハに半田ボールを搭載するボ
ールマウント装置の吸着ヘッドのボール吸着を検査する
装置においても、第１実施例と同様に下記の５つの手段
を採用する。
【００２１】第１の手段は、マウントヘッドに吸着され
たボールの画像を取り込む手段、例えば検査カメラであ
る。検査カメラにて、半田ボール吸着後、ボール搭載前
のマウントヘッドのボール吸着面を観察し、吸着ボール
の画像を取り込むのである。ボール画像は２値化されて
抽出される。
たボールの画像を取り込む手段、例えば検査カメラであ
る。検査カメラにて、半田ボール吸着後、ボール搭載前
のマウントヘッドのボール吸着面を観察し、吸着ボール
の画像を取り込むのである。ボール画像は２値化されて
抽出される。
【００２２】第２の手段は、ボール配置に関する複数の
基本パターンを登録する基本パターン登録手段であり、
例えば制御装置内の入力部と記憶部である。基本パター
ン登録手段では、規則性のある基本パターン、例えば図
２に示される第１の基本パターン１、第２の基本パター
ン２、第８の基本パターン３等を複数登録できるように
してある。尚、図中４は個々の半田ボール位置である。
基本パターンを登録する基本パターン登録手段であり、
例えば制御装置内の入力部と記憶部である。基本パター
ン登録手段では、規則性のある基本パターン、例えば図
２に示される第１の基本パターン１、第２の基本パター
ン２、第８の基本パターン３等を複数登録できるように
してある。尚、図中４は個々の半田ボール位置である。
【００２３】第３の手段は、検査対象素子のボール配置
パターンに用いられている複数の基本パターンの組み合
わせデータ７，１７を記憶した記憶手段である。図３
は、２種類のボール配置パターンの素子対応マウントヘ
ッドの説明図であり、図３に示すようなＡパターンとＢ
パターンという異なるボール配置パターン５，６の素子
が存在するウエハに半田ボールを搭載するボールマウン
ト装置の吸着ヘッドのボール吸着を検査する場合につい
て説明する。
パターンに用いられている複数の基本パターンの組み合
わせデータ７，１７を記憶した記憶手段である。図３
は、２種類のボール配置パターンの素子対応マウントヘ
ッドの説明図であり、図３に示すようなＡパターンとＢ
パターンという異なるボール配置パターン５，６の素子
が存在するウエハに半田ボールを搭載するボールマウン
ト装置の吸着ヘッドのボール吸着を検査する場合につい
て説明する。
【００２４】図２に示すようにＡパターンの素子にあっ
ては、第１の基本パターン１と第２の基本パターン２と
により第１のボール配置パターン５が成立する。そこで
第１の基本パターン１と第２の基本パターン２との組み
合わせをデータ７（００００００１１）として、例えば
制御装置内のデータ部に検査対象素子の位置データに関
連付けて記憶する。
ては、第１の基本パターン１と第２の基本パターン２と
により第１のボール配置パターン５が成立する。そこで
第１の基本パターン１と第２の基本パターン２との組み
合わせをデータ７（００００００１１）として、例えば
制御装置内のデータ部に検査対象素子の位置データに関
連付けて記憶する。
【００２５】他方Ｂパターンの素子にあっては、第１の
基本パターン１と第８の基本パターン３とにより第２の
ボール配置パターン６が成立する。そこで第１の基本パ
ターン１と第８の基本パターン３との組み合わせをデー
タ１７（１００００００１）として、同じく制御装置内
のデータ部に検査対象素子の位置データに関連付けて記
憶する。尚、組み合わせデータ７，１７（００００００
１１及び１００００００１）は、基本パターン登録手段
で登録された基本パターンが８個あり、その内の第１の
基本パターン１と第２の基本パターン２の組み合わせデ
ータ、及び第１の基本パターン１と第８の基本パターン
３の組み合わせデータを記憶する場合の例である。
基本パターン１と第８の基本パターン３とにより第２の
ボール配置パターン６が成立する。そこで第１の基本パ
ターン１と第８の基本パターン３との組み合わせをデー
タ１７（１００００００１）として、同じく制御装置内
のデータ部に検査対象素子の位置データに関連付けて記
憶する。尚、組み合わせデータ７，１７（００００００
１１及び１００００００１）は、基本パターン登録手段
で登録された基本パターンが８個あり、その内の第１の
基本パターン１と第２の基本パターン２の組み合わせデ
ータ、及び第１の基本パターン１と第８の基本パターン
３の組み合わせデータを記憶する場合の例である。
【００２６】第４の手段は、選択手段であって、検査対
象素子の第１のボール配置パターン５に用いられている
第１の基本パターン１と第２の基本パターン２を、記憶
手段の組み合わせデータ７（００００００１１）を基に
基本パターン登録手段から選択し、第２のボール配置パ
ターン６に用いられている第１の基本パターン１と第８
の基本パターン３を、記憶手段の組み合わせデータ１７
（１００００００１）を基に基本パターン登録手段から
選択する手段である。
象素子の第１のボール配置パターン５に用いられている
第１の基本パターン１と第２の基本パターン２を、記憶
手段の組み合わせデータ７（００００００１１）を基に
基本パターン登録手段から選択し、第２のボール配置パ
ターン６に用いられている第１の基本パターン１と第８
の基本パターン３を、記憶手段の組み合わせデータ１７
（１００００００１）を基に基本パターン登録手段から
選択する手段である。
【００２７】第５の手段は、比較手段であって、上記画
像取込手段で取り込まれた取込画像と選択された基本パ
ターンとを比較する手段であり、実質的に検査手段であ
る。
像取込手段で取り込まれた取込画像と選択された基本パ
ターンとを比較する手段であり、実質的に検査手段であ
る。
【００２８】本実施例の検査方法を実施するに当たって
は、予め基本パターンの登録と基本パターンの組み合わ
せデータの記憶を完了しておく。本実施例の検査方法の
第１の手順は、上記状態のもとで検査カメラ等にて吸着
ボールの画像を取り込むことである。
は、予め基本パターンの登録と基本パターンの組み合わ
せデータの記憶を完了しておく。本実施例の検査方法の
第１の手順は、上記状態のもとで検査カメラ等にて吸着
ボールの画像を取り込むことである。
【００２９】第２の手順は、記憶手段から検査対象素子
の位置データに関連付けられた組み合わせデータを読み
込み、その組み合わせデータに基づいて吸着ボールが対
応するウエハ上の検査対象素子のボール配置パターンに
使用される基本パターンを選択することである。例えば
検査対象素子の吸着ボールが図中５のボール配置パター
ン（Ａパターン）を有する場合、図示されている第１の
基本パターン１と第２の基本パターン２を選択するので
ある。他の素子が図中６のボール配置パターン（Ｂパタ
ーン）を有する場合には第１の基本パターン１と第８の
基本パターン３を選択するのである。
の位置データに関連付けられた組み合わせデータを読み
込み、その組み合わせデータに基づいて吸着ボールが対
応するウエハ上の検査対象素子のボール配置パターンに
使用される基本パターンを選択することである。例えば
検査対象素子の吸着ボールが図中５のボール配置パター
ン（Ａパターン）を有する場合、図示されている第１の
基本パターン１と第２の基本パターン２を選択するので
ある。他の素子が図中６のボール配置パターン（Ｂパタ
ーン）を有する場合には第１の基本パターン１と第８の
基本パターン３を選択するのである。
【００３０】次に第３の手順として、１つの素子の取り
込み吸着ボール画像の実際のボール状況とその素子のボ
ール配列に使用されている基本パターン、例えばボール
配置パターン５（Ａパターン）に選択された第１及び第
２の基本パターン１，２とのボールの状態とを比較する
ことによりボール吸着の適否を検査する。ボール検査
は、抽出したボール１個毎に第１及び第２の基本パター
ン１，２との比較を行って、ボールの位置ズレ、余剰ボ
ール、ボール不足を判定し、判定結果を記憶する。
込み吸着ボール画像の実際のボール状況とその素子のボ
ール配列に使用されている基本パターン、例えばボール
配置パターン５（Ａパターン）に選択された第１及び第
２の基本パターン１，２とのボールの状態とを比較する
ことによりボール吸着の適否を検査する。ボール検査
は、抽出したボール１個毎に第１及び第２の基本パター
ン１，２との比較を行って、ボールの位置ズレ、余剰ボ
ール、ボール不足を判定し、判定結果を記憶する。
【００３１】具体的には、取り込んだ画像から抽出した
ボール１個についてまず第１の基本パターン１の中で合
致するボールがあるか否かチェックする。次に第２の基
本パターン２の中で合致するボールがあるか否かチェッ
クする。第１及び第２の基本パターン１，２の何れにも
なければ、余剰ボールである。又、１つの素子分の取込
画像中のボール全てのチェックが終了したのに第１及び
第２の基本パターン１，２中に余りのボールがあれば、
ボール不足（歯抜け状態）である。尚、所定範囲内にズ
レて存在する場合が位置ズレである。この判定結果を記
憶する。
ボール１個についてまず第１の基本パターン１の中で合
致するボールがあるか否かチェックする。次に第２の基
本パターン２の中で合致するボールがあるか否かチェッ
クする。第１及び第２の基本パターン１，２の何れにも
なければ、余剰ボールである。又、１つの素子分の取込
画像中のボール全てのチェックが終了したのに第１及び
第２の基本パターン１，２中に余りのボールがあれば、
ボール不足（歯抜け状態）である。尚、所定範囲内にズ
レて存在する場合が位置ズレである。この判定結果を記
憶する。
【００３２】この判定は、各素子毎に行う。すなわち、
Ａパターンのボール配置パターン５を有する素子に関し
ての判定及び結果記憶を全てを行った後に、Ｂパターン
のボール配置パターン６を有する素子に関しての判定全
てを行い、記憶するのである。そして、記憶した判定結
果により素子対応吸着ボール画像毎に適正か否かの判定
を行う。全ての検査項目が適正の場合にマウントヘッド
はウエハへボールをマウントする。
Ａパターンのボール配置パターン５を有する素子に関し
ての判定及び結果記憶を全てを行った後に、Ｂパターン
のボール配置パターン６を有する素子に関しての判定全
てを行い、記憶するのである。そして、記憶した判定結
果により素子対応吸着ボール画像毎に適正か否かの判定
を行う。全ての検査項目が適正の場合にマウントヘッド
はウエハへボールをマウントする。
【００３３】１つでもＮＧがあった場合、ＮＧ対応措置
がなされるが、ＮＧが余剰ボールである場合には、吸着
ヘッドが除去ノズル位置に移動し、余剰ボールが吸引除
去され、その後、吸着ヘッドはウエハ上に移動し、ウエ
ハにボールを搭載する。他方、ＮＧがボール不足であっ
た場合には、直接ボールを供給するボール供給部へ戻
り、再度ボールを吸着する。
がなされるが、ＮＧが余剰ボールである場合には、吸着
ヘッドが除去ノズル位置に移動し、余剰ボールが吸引除
去され、その後、吸着ヘッドはウエハ上に移動し、ウエ
ハにボールを搭載する。他方、ＮＧがボール不足であっ
た場合には、直接ボールを供給するボール供給部へ戻
り、再度ボールを吸着する。
【００３４】上記第２実施例は、ボール配置パターンが
異なる複数の素子が配置されたウエハへのボール搭載前
のマウントヘッドのボール吸着時点でのボール検査方法
であるが、この検査方法は、ウエハ等に半田ボールを搭
載した後に搭載ボールの適否を検査する際にも利用可能
である。そのときには、マウントヘッドの吸着ボールの
画像を取り込む手段の代わりに搭載ボールの画像を取り
込む手段が採用される。
異なる複数の素子が配置されたウエハへのボール搭載前
のマウントヘッドのボール吸着時点でのボール検査方法
であるが、この検査方法は、ウエハ等に半田ボールを搭
載した後に搭載ボールの適否を検査する際にも利用可能
である。そのときには、マウントヘッドの吸着ボールの
画像を取り込む手段の代わりに搭載ボールの画像を取り
込む手段が採用される。
【００３５】
【発明の効果】本発明は、検査対象素子の具体的ボール
配置パターンを基本パターンの合成としてとらえ、検査
対象素子のボール配置パターンに利用される基本パター
ンを利用してボール検査を行うものであるので、搭載対
象物の素子が、どのようなボール配置パターンとされて
いたとしても、対応可能なボール検査方法及び検査装置
となった。
配置パターンを基本パターンの合成としてとらえ、検査
対象素子のボール配置パターンに利用される基本パター
ンを利用してボール検査を行うものであるので、搭載対
象物の素子が、どのようなボール配置パターンとされて
いたとしても、対応可能なボール検査方法及び検査装置
となった。
【００３６】マウントヘッドへのボール吸着状態を検査
することができるので、ウエハ等ボールの搭載対象物へ
の正確なボール搭載が可能となった。
することができるので、ウエハ等ボールの搭載対象物へ
の正確なボール搭載が可能となった。
【００３７】更に、請求項３のように構成することによ
り、ボール配置パターンが異なる複数の素子が配置され
た搭載対象物へボールを搭載する装置のボール検査方法
及び検査装置にも容易に対応できるものとなった。
り、ボール配置パターンが異なる複数の素子が配置され
た搭載対象物へボールを搭載する装置のボール検査方法
及び検査装置にも容易に対応できるものとなった。
【図１】ボール検査方法を示す説明図
【図２】２種類のボール配置パターンのボール検査方法
を示す説明図
を示す説明図
【図３】２種類のボール配置パターンの素子対応マウン
トヘッドの説明図
トヘッドの説明図
１．．．．．第１の基本パターン ２．．．．．第２の基本パターン ３．．．．．第８の基本パターン ４．．．．．ボール位置 ５．．．．．第１のボール配置パターン ６．．．．．第２のボール配置パターン ７，１７．．組み合わせデータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木戸口 賢 石川県金沢市大豆田本町甲58 澁谷工業株 式会社内 (72)発明者 化生 徹 石川県金沢市大豆田本町甲58 澁谷工業株 式会社内 (72)発明者 橋野 英児 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内 Ｆターム(参考） 2F065 AA03 AA61 CC17 CC26 CC28 DD06 FF04 QQ04 QQ24 QQ39 RR06 UU05 4M106 AA01 AD26 BA20 CA38 DB04 DB21 DJ11 DJ18 DJ20
Claims (5)
- 【請求項１】搭載対象物へボールを搭載する装置のボー
ル検査方法において、搭載対象物に搭載されたボールの
画像を取り込む手段又はマウントヘッドに吸着されたボ
ールの画像を取り込む手段である画像取込手段と、ボー
ル配置パターンに用いられる基本パターンを登録する基
本パターン登録手段と、検査対象素子のボール配置パタ
ーンに用いられている基本パターンの組み合わせデータ
を記憶した記憶手段とを有し、検査対象素子のボール配
置パターンに用いられている基本パターンを記憶手段を
基に基本パターン登録手段から選択し、上記画像取込手
段で取り込まれた取込画像と選択された基本パターンと
を比較することによりボール搭載又はボール吸着の適否
を検査することを特徴とするボール検査方法。 - 【請求項２】搭載対象物が複数存在し、記憶手段に各搭
載対象物の素子の位置データと各素子のボール配置パタ
ーンに用いられている基本パターンの組み合わせデータ
とが関連付けられて記憶されていることを特徴とする請
求項１記載のボール検査方法。 - 【請求項３】ボール配置パターンが異なる複数の素子が
配置された搭載対象物へボールを搭載する装置のボール
検査方法において、複数の素子に搭載されたボールの画
像を取り込む手段又はマウントヘッドに吸着されたボー
ルの画像を取り込む手段である画像取込手段と、ボール
配置パターンに用いられる基本パターンを登録する基本
パターン登録手段と、検査対象素子のボール配置パター
ンに用いられている基本パターンの組み合わせデータを
記憶した記憶手段とを有し、検査対象素子のボール配置
パターンに用いられている基本パターンを記憶手段を基
に基本パターン登録手段から選択し、上記画像取込手段
で取り込まれた取込画像と選択された基本パターンとを
比較することによりボール搭載又はボール吸着の適否を
検査することを特徴とするボール検査方法。 - 【請求項４】記憶手段に各素子の位置データと各素子の
ボール配置パターンに用いられている基本パターンの組
み合わせデータとが関連付けられて記憶されていること
を特徴とする請求項３記載のボール検査方法。 - 【請求項５】搭載対象物へボールを搭載する装置のボー
ル検査装置において、搭載対象物に搭載されたボールの
画像を取り込む手段又はマウントヘッドに吸着されたボ
ールの画像を取り込む手段である画像取込手段と、ボー
ル配置パターンに用いられる基本パターンを登録する基
本パターン登録手段と、検査対象素子のボール配置パタ
ーンに用いられている基本パターンの組み合わせデータ
を記憶した記憶手段と、検査対象素子のボール配置パタ
ーンに用いられている基本パターンを記憶手段を基に基
本パターン登録手段から選択する選択手段と、上記画像
取込手段で取り込まれた取込画像と選択された基本パタ
ーンとを比較する比較手段とを有することを特徴とする
ボール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000287895A JP4389096B2 (ja) | 2000-09-22 | 2000-09-22 | ボール検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000287895A JP4389096B2 (ja) | 2000-09-22 | 2000-09-22 | ボール検査方法及び検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002100647A true JP2002100647A (ja) | 2002-04-05 |
| JP4389096B2 JP4389096B2 (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=18771567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000287895A Expired - Fee Related JP4389096B2 (ja) | 2000-09-22 | 2000-09-22 | ボール検査方法及び検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4389096B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033070A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Techno Horon:Kk | 位置検出方法 |
| JP2013510366A (ja) * | 2009-11-05 | 2013-03-21 | コグネックス・コーポレイション | ボールグリッドアレイデバイスの位置合わせ及び検査のためのシステム及び方法 |
| JP2018092650A (ja) * | 2018-02-14 | 2018-06-14 | Ｎｅｃプラットフォームズ株式会社 | 通帳処理装置 |
-
2000
- 2000-09-22 JP JP2000287895A patent/JP4389096B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4706366B2 (ja) * | 2005-07-22 | 2011-06-22 | 株式会社テクノホロン | 位置検出方法 |
| JP2013510366A (ja) * | 2009-11-05 | 2013-03-21 | コグネックス・コーポレイション | ボールグリッドアレイデバイスの位置合わせ及び検査のためのシステム及び方法 |
| JP2018092650A (ja) * | 2018-02-14 | 2018-06-14 | Ｎｅｃプラットフォームズ株式会社 | 通帳処理装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4389096B2 (ja) | 2009-12-24 |
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