JP3100305B2 - クラック検査装置 - Google Patents
クラック検査装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークに対するクラッ
ク有無の検査を画像処理によって行うクラック検査装置
に関するものである。
ク有無の検査を画像処理によって行うクラック検査装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワーク、例えばリングバリスタに
対するクラック有無の検査は下記のようにして行われて
いる。即ち、リングバリスタの検査面をＣＣＤカメラ等
で撮像してその画像を得た後、検査面画像を構成する画
素の中から素地輝度よりも低輝度の画素を抽出し、該低
輝度の画素が内外周を横切る場合にこれをクラック有り
として判定している。
対するクラック有無の検査は下記のようにして行われて
いる。即ち、リングバリスタの検査面をＣＣＤカメラ等
で撮像してその画像を得た後、検査面画像を構成する画
素の中から素地輝度よりも低輝度の画素を抽出し、該低
輝度の画素が内外周を横切る場合にこれをクラック有り
として判定している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来のもので
は、素地輝度よりも低輝度の画素を探すことによりクラ
ック判定を行うようにしているが、検査面の凹凸等とク
ラックとを画素輝度から区別することが難しく、内外周
を横切るような凹凸が検査面に存在するとこれがクラッ
ク有りとして判定される問題点がある。
は、素地輝度よりも低輝度の画素を探すことによりクラ
ック判定を行うようにしているが、検査面の凹凸等とク
ラックとを画素輝度から区別することが難しく、内外周
を横切るような凹凸が検査面に存在するとこれがクラッ
ク有りとして判定される問題点がある。
【０００４】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、ワークにおけるクラック
有無を正確に判定して検査精度を向上できるクラック検
査装置を提供することにある。
で、その目的とするところは、ワークにおけるクラック
有無を正確に判定して検査精度を向上できるクラック検
査装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明に係るクラック検査装置は、ワーク
の検査面を除く部分に検査用液を供給して該検査用液を
クラックに浸入させる手段と、検査用液供給後にワーク
の検査面を撮像してその画像を得る手段と、検査面画像
を構成する画素の中から素地輝度よりも低輝度の画素を
抽出して、その連続数が所定値以上のときにクラック有
りの判定を行う手段とを具備した、ことを特徴とする。
め、請求項１の発明に係るクラック検査装置は、ワーク
の検査面を除く部分に検査用液を供給して該検査用液を
クラックに浸入させる手段と、検査用液供給後にワーク
の検査面を撮像してその画像を得る手段と、検査面画像
を構成する画素の中から素地輝度よりも低輝度の画素を
抽出して、その連続数が所定値以上のときにクラック有
りの判定を行う手段とを具備した、ことを特徴とする。
【０００６】請求項２の発明に係るクラック検査装置
は、ワークの検査面を除く部分に検査用液を供給して該
検査用液をクラックに浸入させる手段と、検査用液供給
後にワークの検査面を撮像してその画像を得る手段と、
検査面画像を構成する画素の平均輝度を求め該平均輝度
から不良画素抽出のための下限輝度を決定する手段と、
検査面画像を構成する画素に対し前記下限輝度よりも高
輝度の良画素を所定の経路で追跡する手段と、経路終端
に行く手前で良画素の追跡ができなくなったときにクラ
ック有りの判定を行う手段とを具備した、ことを特徴と
する。
は、ワークの検査面を除く部分に検査用液を供給して該
検査用液をクラックに浸入させる手段と、検査用液供給
後にワークの検査面を撮像してその画像を得る手段と、
検査面画像を構成する画素の平均輝度を求め該平均輝度
から不良画素抽出のための下限輝度を決定する手段と、
検査面画像を構成する画素に対し前記下限輝度よりも高
輝度の良画素を所定の経路で追跡する手段と、経路終端
に行く手前で良画素の追跡ができなくなったときにクラ
ック有りの判定を行う手段とを具備した、ことを特徴と
する。
【０００７】請求項３の発明に係るクラック検査装置
は、リング状ワークの検査面を除く部分に検査用液を供
給して該検査用液をクラックに浸入させる手段と、検査
用液供給後にワークの検査面を撮像してその検査面画像
を得る手段と、検査面画像の内外周エッジを除く環状部
分を構成する画素の平均輝度を求め該平均輝度から不良
画素抽出のための下限輝度を決定する手段と、検査面画
像の前記環状部分を構成する画素に対し前記下限輝度よ
りも高輝度の良画素を環状部分に沿う経路で追跡する手
段と、経路終端に行く手前で良画素の追跡ができなくな
ったときにクラック有りの判定を行う手段とを具備し
た、ことを特徴とする。
は、リング状ワークの検査面を除く部分に検査用液を供
給して該検査用液をクラックに浸入させる手段と、検査
用液供給後にワークの検査面を撮像してその検査面画像
を得る手段と、検査面画像の内外周エッジを除く環状部
分を構成する画素の平均輝度を求め該平均輝度から不良
画素抽出のための下限輝度を決定する手段と、検査面画
像の前記環状部分を構成する画素に対し前記下限輝度よ
りも高輝度の良画素を環状部分に沿う経路で追跡する手
段と、経路終端に行く手前で良画素の追跡ができなくな
ったときにクラック有りの判定を行う手段とを具備し
た、ことを特徴とする。
【０００８】請求項４の発明に係るクラック検査装置
は、請求項３記載のクラック検査装置において、検査面
画像の内外周エッジを除く環状部分をマスクを用いて抽
出した、ことを特徴とする。
は、請求項３記載のクラック検査装置において、検査面
画像の内外周エッジを除く環状部分をマスクを用いて抽
出した、ことを特徴とする。
【０００９】請求項５の発明に係るクラック検査装置
は、請求項３または４記載のクラック検査装置におい
て、良画素の追跡が検査面画像の内外周の中間位置を通
る追跡基準ラインに沿って行われる、ことを特徴とす
る。
は、請求項３または４記載のクラック検査装置におい
て、良画素の追跡が検査面画像の内外周の中間位置を通
る追跡基準ラインに沿って行われる、ことを特徴とす
る。
【００１０】請求項６の発明に係るクラック検査装置
は、請求項１乃至５何れか１項記載のクラック検査装置
において、ワークに検査用液を供給する手段が、検査用
液を収容する液槽と、液槽上部に回動自在に配置されそ
の上面でワークを支持する多孔性のディスクと、検査用
液の液面をディスク上面にワーク厚みよりも薄い液層が
形成されるように管理する液面管理手段とから成り、ワ
ークがディスク上に載置した状態のまま撮像される、こ
とを特徴とする。
は、請求項１乃至５何れか１項記載のクラック検査装置
において、ワークに検査用液を供給する手段が、検査用
液を収容する液槽と、液槽上部に回動自在に配置されそ
の上面でワークを支持する多孔性のディスクと、検査用
液の液面をディスク上面にワーク厚みよりも薄い液層が
形成されるように管理する液面管理手段とから成り、ワ
ークがディスク上に載置した状態のまま撮像される、こ
とを特徴とする。
【００１１】
【作用】請求項１の発明では、ワークの検査面を除く部
分に検査用液が供給され、検査用液供給後にワークの検
査面が撮像される。ワークにクラックがある場合は、供
給された検査用液がクラックに浸入してこれがワークの
検査面に滲みとして現れる。この検査用液の滲みにより
クラックの輝度は素地輝度よりも極端に低くなるため、
この低輝度の画素を抽出してその連続性を見ればクラッ
ク判定を容易に行うことができる。
分に検査用液が供給され、検査用液供給後にワークの検
査面が撮像される。ワークにクラックがある場合は、供
給された検査用液がクラックに浸入してこれがワークの
検査面に滲みとして現れる。この検査用液の滲みにより
クラックの輝度は素地輝度よりも極端に低くなるため、
この低輝度の画素を抽出してその連続性を見ればクラッ
ク判定を容易に行うことができる。
【００１２】請求項２の発明では、不良画素抽出のため
の下限輝度が検査面画像を構成する画素の平均輝度から
決定される。クラックの探索は検査面画像を構成する画
素に対し前記下限輝度よりも高輝度の良画素を追跡する
ことにより行われ、この良画素の追跡ができなくなった
とき、つまりクラックに相当する不良画素が追跡経路を
横切るように連続して存在するときにクラック有りの判
定が下される。
の下限輝度が検査面画像を構成する画素の平均輝度から
決定される。クラックの探索は検査面画像を構成する画
素に対し前記下限輝度よりも高輝度の良画素を追跡する
ことにより行われ、この良画素の追跡ができなくなった
とき、つまりクラックに相当する不良画素が追跡経路を
横切るように連続して存在するときにクラック有りの判
定が下される。
【００１３】請求項３の発明では、検査用液の供給によ
りリング状ワークの内外周エッジに滲みの発生し易いこ
とから、不良画素抽出ための下限輝度が、検査面画像の
内外周エッジを除く環状部分を構成する画素の平均輝度
から決定される。クラックの探索は検査面画像の前記環
状部分を構成する画素に対し前記下限輝度よりも高輝度
の良画素を追跡することにより行われ、この良画素の追
跡ができなくなったとき、つまりクラックに相当する不
良画素が追跡経路を横切るように連続して存在するとき
に下される。
りリング状ワークの内外周エッジに滲みの発生し易いこ
とから、不良画素抽出ための下限輝度が、検査面画像の
内外周エッジを除く環状部分を構成する画素の平均輝度
から決定される。クラックの探索は検査面画像の前記環
状部分を構成する画素に対し前記下限輝度よりも高輝度
の良画素を追跡することにより行われ、この良画素の追
跡ができなくなったとき、つまりクラックに相当する不
良画素が追跡経路を横切るように連続して存在するとき
に下される。
【００１４】請求項４の発明では、検査面画像の内外周
エッジを除く環状部分がマスクによって抽出される。他
の作用は請求項３の発明と同様である。
エッジを除く環状部分がマスクによって抽出される。他
の作用は請求項３の発明と同様である。
【００１５】請求項５の発明では、良画素の追跡が検査
面画像の内外周の中間位置を通る追跡基準ラインに沿っ
て行われる。他の作用は請求項３または４の発明と同様
である。
面画像の内外周の中間位置を通る追跡基準ラインに沿っ
て行われる。他の作用は請求項３または４の発明と同様
である。
【００１６】請求項６の発明では、多孔性のディスクを
通じて該ディスク上に載置されたワークに検査用液が供
給され、同状態のままワークの検査面が撮像される。他
の作用は請求項１乃至５何れか１項の発明と同様であ
る。
通じて該ディスク上に載置されたワークに検査用液が供
給され、同状態のままワークの検査面が撮像される。他
の作用は請求項１乃至５何れか１項の発明と同様であ
る。
【００１７】
【実施例】図１には本発明によるクラック検査装置の全
体構成を示してある。同図において、１は所定の内外径
と厚みを有するリングバリスタ、１１はワーク支持ユニ
ット、２１はＣＣＤカメラ、３１は画像処理ユニット、
４１はモニターである。
体構成を示してある。同図において、１は所定の内外径
と厚みを有するリングバリスタ、１１はワーク支持ユニ
ット、２１はＣＣＤカメラ、３１は画像処理ユニット、
４１はモニターである。
【００１８】ワーク支持ユニット１１は、図２にも示す
ように、上端開口の液槽１２と、該液槽１２の開口部に
回動自在に配置されたディスク１３と、図示省略のディ
スク回動機構及び検査用液循環機構とから構成されてい
る。液槽１２の側面には検査用液Ｆ槽内に供給するため
の入口管１２ａが設けられ、底面中央にはその上端高さ
をディスク１３の上面よりも僅かに低く設定したオーバ
ーフロー管１２ｂが設けられている。ディスク１３はそ
のほぼ全面に多数の通液孔１３ａを有し、その中央にオ
ーバーフロー管用の配設孔１３ｂを有している。ちなみ
に、上記の検査用液Ｆには、イソプロピルアルコール等
のアルコール系のものやフッ素系のものや界面活性剤を
添加した水溶液等が利用できる。
ように、上端開口の液槽１２と、該液槽１２の開口部に
回動自在に配置されたディスク１３と、図示省略のディ
スク回動機構及び検査用液循環機構とから構成されてい
る。液槽１２の側面には検査用液Ｆ槽内に供給するため
の入口管１２ａが設けられ、底面中央にはその上端高さ
をディスク１３の上面よりも僅かに低く設定したオーバ
ーフロー管１２ｂが設けられている。ディスク１３はそ
のほぼ全面に多数の通液孔１３ａを有し、その中央にオ
ーバーフロー管用の配設孔１３ｂを有している。ちなみ
に、上記の検査用液Ｆには、イソプロピルアルコール等
のアルコール系のものやフッ素系のものや界面活性剤を
添加した水溶液等が利用できる。
【００１９】検査対象となるリングバリスタ１は、図示
省略のパーツフィーダを通じてディスク１３上に周方向
に等間隔で投入，載置され、ディスク１３で支持された
状態のまま間欠的或いは一定速度で回動する。ディスク
１３には不良品排出位置，良品排出位置，強制排出位置
及び部品投入位置が夫々決められており、エアパット，
エアチャック等のハンドを持つマニプレータよりリング
バリスタ１の排出及び投入が適宜施される。また、液槽
１２内に収容された検査用液Ｆの液面はディスク１３の
上面にリングバリスタ１の厚みよりも薄い液層が形成さ
れるように管理される。
省略のパーツフィーダを通じてディスク１３上に周方向
に等間隔で投入，載置され、ディスク１３で支持された
状態のまま間欠的或いは一定速度で回動する。ディスク
１３には不良品排出位置，良品排出位置，強制排出位置
及び部品投入位置が夫々決められており、エアパット，
エアチャック等のハンドを持つマニプレータよりリング
バリスタ１の排出及び投入が適宜施される。また、液槽
１２内に収容された検査用液Ｆの液面はディスク１３の
上面にリングバリスタ１の厚みよりも薄い液層が形成さ
れるように管理される。
【００２０】ＣＣＤカメラ２１は、ディスク１３上のリ
ングバリスタ１を照明する照明器２２を備え、その真下
位置にきたリングバリスタ１の検査面を背景と共に所定
の撮像視野をもって撮像する。図６にその画像を示すよ
うに、ＣＣＤカメラ２１の撮像視野Ｒの中央にはリング
バリスタ１の検査面画像Ｐ１が位置し、これ以外の部分
に背景画像Ｐ２が現れる。
ングバリスタ１を照明する照明器２２を備え、その真下
位置にきたリングバリスタ１の検査面を背景と共に所定
の撮像視野をもって撮像する。図６にその画像を示すよ
うに、ＣＣＤカメラ２１の撮像視野Ｒの中央にはリング
バリスタ１の検査面画像Ｐ１が位置し、これ以外の部分
に背景画像Ｐ２が現れる。
【００２１】画像処理ユニット３１は、図３に示すよう
に、ＣＣＤカメラ２１で得られた撮像視野Ｒの輝度デー
タを記憶する輝度データメモリ３２と、後述するマスク
Ｍに係わるデータを記憶するマスクデータメモリ３３
と、画像処理及びクラック判定を行うマイクロコンピュ
ータ構成の処理判定部３４とから構成されている。
に、ＣＣＤカメラ２１で得られた撮像視野Ｒの輝度デー
タを記憶する輝度データメモリ３２と、後述するマスク
Ｍに係わるデータを記憶するマスクデータメモリ３３
と、画像処理及びクラック判定を行うマイクロコンピュ
ータ構成の処理判定部３４とから構成されている。
【００２２】マスクＭは、図７に示すように、検査面画
像Ｐ１の内外周エッジを除く環状部分Ｐ３の輝度データ
を抽出するためのもので、良品内径よりも大きな内径と
良品外径よりも小さい外径から成るリング状の非マスク
部分Ｍａを有している。
像Ｐ１の内外周エッジを除く環状部分Ｐ３の輝度データ
を抽出するためのもので、良品内径よりも大きな内径と
良品外径よりも小さい外径から成るリング状の非マスク
部分Ｍａを有している。
【００２３】以下に、図４乃至図１０を参照して、上述
の外観検査装置によるクラック検査の手順について説明
する。
の外観検査装置によるクラック検査の手順について説明
する。
【００２４】まず、検査対象となるリングバリスタ１
を、ワーク支持ユニット１１のディスク１３上に投入す
る。検査用液Ｆの液面がディスク１３の上面にリングバ
リスタ１の厚みよりも薄い液層が形成されるように管理
されているため、図４に示すように、ディスク１３上に
載置されたリングバリスタ１にはその下面及び内外周面
に検査用液Ｆが供給されることになる。
を、ワーク支持ユニット１１のディスク１３上に投入す
る。検査用液Ｆの液面がディスク１３の上面にリングバ
リスタ１の厚みよりも薄い液層が形成されるように管理
されているため、図４に示すように、ディスク１３上に
載置されたリングバリスタ１にはその下面及び内外周面
に検査用液Ｆが供給されることになる。
【００２５】リングバリスタ１がクラックの無い良品の
場合は、検査用液Ｆが検査面の内外周エッジまで回り込
んで同部分に図５（ａ）に示すような滲みＮが発生す
る。一方、リングバリスタ１がクラックの有る不良品の
場合は、クラック１ａ内に検査用液Ｆが浸入し、図５
（ｂ）に示すように内外周エッジの滲みＮがクラック１
ａ部分で連続するようになる。
場合は、検査用液Ｆが検査面の内外周エッジまで回り込
んで同部分に図５（ａ）に示すような滲みＮが発生す
る。一方、リングバリスタ１がクラックの有る不良品の
場合は、クラック１ａ内に検査用液Ｆが浸入し、図５
（ｂ）に示すように内外周エッジの滲みＮがクラック１
ａ部分で連続するようになる。
【００２６】次に、ディスク１３上に載置されたリング
バリスタ１がディスク１３の回動によってＣＣＤカメラ
２１の真下位置にきたところで、該ＣＣＤカメラ２１を
作動してリングバリスタ１の検査面を背景と共に撮像す
る。撮像視野Ｒ（図６参照）の輝度データは２値化処理
等を経てメモリ３２に記憶される（図１０のステップＳ
Ｔ１，ＳＴ２）。
バリスタ１がディスク１３の回動によってＣＣＤカメラ
２１の真下位置にきたところで、該ＣＣＤカメラ２１を
作動してリングバリスタ１の検査面を背景と共に撮像す
る。撮像視野Ｒ（図６参照）の輝度データは２値化処理
等を経てメモリ３２に記憶される（図１０のステップＳ
Ｔ１，ＳＴ２）。
【００２７】次に、図６に示すように、撮像視野Ｒの輝
度データから予め設定したウィンドウＷ１〜Ｗ４に対応
するデータを抽出し、各ウィンドウＷ１〜Ｗ４内におけ
る輝度境界の座標からリングバリスタ１の検査面画像Ｐ
１の中心座標Ｓｐを求める（図１０のステップＳＴ
３）。
度データから予め設定したウィンドウＷ１〜Ｗ４に対応
するデータを抽出し、各ウィンドウＷ１〜Ｗ４内におけ
る輝度境界の座標からリングバリスタ１の検査面画像Ｐ
１の中心座標Ｓｐを求める（図１０のステップＳＴ
３）。
【００２８】次に、マスクＭに係わるデータをメモリ３
３から読み込み、図７に示すように、マスクＭをその中
心Ｓｍが検査面画像Ｐ１の中心座標Ｓｐに合致するよう
に重ね合わせ、マスキング後の輝度データ、即ち、検査
面画像Ｐ１の内外周エッジを除く環状部分Ｐ３の輝度デ
ータを抽出する（図１０のステップＳＴ４，ＳＴ５）。
３から読み込み、図７に示すように、マスクＭをその中
心Ｓｍが検査面画像Ｐ１の中心座標Ｓｐに合致するよう
に重ね合わせ、マスキング後の輝度データ、即ち、検査
面画像Ｐ１の内外周エッジを除く環状部分Ｐ３の輝度デ
ータを抽出する（図１０のステップＳＴ４，ＳＴ５）。
【００２９】次に、上記環状部分Ｐ３を構成する画素の
平均輝度を求め、この平均輝度から不良画素抽出のため
の下限輝度、即ち、平均輝度よりも低い不良画素判定値
を決定する（図１０のステップＳＴ６，ＳＴ７）。
平均輝度を求め、この平均輝度から不良画素抽出のため
の下限輝度、即ち、平均輝度よりも低い不良画素判定値
を決定する（図１０のステップＳＴ６，ＳＴ７）。
【００３０】次に、図８に示すように、検査面画像Ｐ１
の中心座標Ｓｐを通るＸ軸と、検査面画像Ｐ１の内周と
外周の中間位置を通る仮想円との交点を夫々求め、これ
を素地追跡の開始点Ｋとすると共に、検査面画像Ｐ１の
中心座標Ｓｐを通るＹ軸と、検査面画像Ｐ１の内周と外
周の中間位置を通る仮想円との交点を夫々求め、これを
素地追跡の終了点Ｅとする。そして、２つの追跡開始点
Ｋから各々の終了点Ｅに向かう上記仮想円に沿った上下
方向の１／４周ラインを追跡基準ラインＬ１〜Ｌ４とす
る（図１０のステップＳＴ８，ＳＴ９）。
の中心座標Ｓｐを通るＸ軸と、検査面画像Ｐ１の内周と
外周の中間位置を通る仮想円との交点を夫々求め、これ
を素地追跡の開始点Ｋとすると共に、検査面画像Ｐ１の
中心座標Ｓｐを通るＹ軸と、検査面画像Ｐ１の内周と外
周の中間位置を通る仮想円との交点を夫々求め、これを
素地追跡の終了点Ｅとする。そして、２つの追跡開始点
Ｋから各々の終了点Ｅに向かう上記仮想円に沿った上下
方向の１／４周ラインを追跡基準ラインＬ１〜Ｌ４とす
る（図１０のステップＳＴ８，ＳＴ９）。
【００３１】次に、上記各追跡開始点Ｋから追跡基準ラ
インＬ１〜Ｌ４夫々に沿って、上記下限輝度よりも高輝
度の良画素を追跡する（図１０のステップＳＴ１０）。
つまり、各追跡基準ラインＬ１〜Ｌ４周辺の画素の輝度
と上記の下限輝度とを比較しながら、下限輝度よりも高
輝度の良画素を追跡終了点Ｅまで追跡して行く。
インＬ１〜Ｌ４夫々に沿って、上記下限輝度よりも高輝
度の良画素を追跡する（図１０のステップＳＴ１０）。
つまり、各追跡基準ラインＬ１〜Ｌ４周辺の画素の輝度
と上記の下限輝度とを比較しながら、下限輝度よりも高
輝度の良画素を追跡終了点Ｅまで追跡して行く。
【００３２】上記の追跡基準ラインＬ１〜Ｌ４はあくま
でも素地追跡上の基準ラインであり、同ラインＬ１〜Ｌ
４上に下限輝度に満たない画素が存在してもこれに隣接
して下限輝度以上の画素がある場合には、これを拾いな
がら各追跡基準ラインＬ１〜Ｌ４に沿って良画素の追跡
は続行される。
でも素地追跡上の基準ラインであり、同ラインＬ１〜Ｌ
４上に下限輝度に満たない画素が存在してもこれに隣接
して下限輝度以上の画素がある場合には、これを拾いな
がら各追跡基準ラインＬ１〜Ｌ４に沿って良画素の追跡
は続行される。
【００３３】リングバリスタ１がクラックの無い良品の
場合には、図８に示すように、各追跡基準ラインＬ１〜
Ｌ４に沿って開始点Ｋから終了点Ｅまで良画素の追跡が
継続され、これに依ってクラック無しの判定が下される
（図１０のステップＳＴ１１，ＳＴ１２）。
場合には、図８に示すように、各追跡基準ラインＬ１〜
Ｌ４に沿って開始点Ｋから終了点Ｅまで良画素の追跡が
継続され、これに依ってクラック無しの判定が下される
（図１０のステップＳＴ１１，ＳＴ１２）。
【００３４】一方、リングバリスタ１がクラックの有る
不良品の場合、即ち、環状部分Ｐ３の一部に下限輝度に
満たない画素が横断して存在する場合には、図９に示す
ように、追跡基準ラインＬ４における良画素の追跡が該
ラインＬ４から大きく外れ、該良画素の追跡が終了点Ｅ
まで継続できなくなり、これに依ってクラック有りの判
定が下される（図１０のステップＳＴ１１，ＳＴ１
３）。
不良品の場合、即ち、環状部分Ｐ３の一部に下限輝度に
満たない画素が横断して存在する場合には、図９に示す
ように、追跡基準ラインＬ４における良画素の追跡が該
ラインＬ４から大きく外れ、該良画素の追跡が終了点Ｅ
まで継続できなくなり、これに依ってクラック有りの判
定が下される（図１０のステップＳＴ１１，ＳＴ１
３）。
【００３５】本実施例によれば、検査用液Ｆをクラック
１ａに浸入させて滲みを発生させることにより、検査面
におけるクラックの輝度を素地輝度よりも低減させるこ
とができるので、輝度に基づいてクラックを凹凸等と的
確に識別することができ、これによりクラック有無を正
確に判定して検査精度を大幅に向上できる。
１ａに浸入させて滲みを発生させることにより、検査面
におけるクラックの輝度を素地輝度よりも低減させるこ
とができるので、輝度に基づいてクラックを凹凸等と的
確に識別することができ、これによりクラック有無を正
確に判定して検査精度を大幅に向上できる。
【００３６】また、検査面画像Ｐ１の環状部分Ｐ３に対
し周方向の良画素追跡ができなくなったときこれをクラ
ック有りとして判定しているので、検査面の内外周エッ
ジに検査用液Ｆの滲みがある場合でも該滲みの影響を排
除してクラック検査を的確に行うことができる。
し周方向の良画素追跡ができなくなったときこれをクラ
ック有りとして判定しているので、検査面の内外周エッ
ジに検査用液Ｆの滲みがある場合でも該滲みの影響を排
除してクラック検査を的確に行うことができる。
【００３７】さらに、環状部分Ｐ３の抽出にマスクＭを
用いているので、背景像Ｐ２を含む全体画像から素地追
跡に必要な環状素地部Ｐ３のみを簡単に特定することが
できる。
用いているので、背景像Ｐ２を含む全体画像から素地追
跡に必要な環状素地部Ｐ３のみを簡単に特定することが
できる。
【００３８】さらにまた、素地追跡時の基準ラインをリ
ングバリスタ１の内外周の中間位置を通るようにしてあ
るので、内外周エッジの滲みの形状や大きさにばらつき
がある場合でもその像に邪魔されることなく良画素追跡
を的確に実施することができる。
ングバリスタ１の内外周の中間位置を通るようにしてあ
るので、内外周エッジの滲みの形状や大きさにばらつき
がある場合でもその像に邪魔されることなく良画素追跡
を的確に実施することができる。
【００３９】さらにまた、液面管理されたワーク支持ユ
ニット１１のディスク１３上にリングバリスタ１を載置
することにより、該リングバリスタ１に必要充分量の検
査用液を与えることができ、これにより微細クラックへ
の検査用液の浸入を促進させて検査精度を高めることが
できる。
ニット１１のディスク１３上にリングバリスタ１を載置
することにより、該リングバリスタ１に必要充分量の検
査用液を与えることができ、これにより微細クラックへ
の検査用液の浸入を促進させて検査精度を高めることが
できる。
【００４０】尚、検査対象はリングバリスタに限られる
ものではなく、リング状或いはこれ以外の形状の電子部
品等のワークであって同様のクラック検査を実施でき
る。また、追跡基準ラインには１／２周のものや１周す
るものを採用してもよく、良画素追跡が可能であれば該
基準ラインは必ずしも円弧状である必要はない。
ものではなく、リング状或いはこれ以外の形状の電子部
品等のワークであって同様のクラック検査を実施でき
る。また、追跡基準ラインには１／２周のものや１周す
るものを採用してもよく、良画素追跡が可能であれば該
基準ラインは必ずしも円弧状である必要はない。
【００４１】上述の実施例では、検査面画像を構成する
画素に対し下限輝度よりも高輝度の良画素を所定の経路
で追跡し、経路終端に行く手前で良画素の追跡ができな
くなったときにクラック有りの判定を行うようにした
が、検査面画像を構成する画素の中から素地輝度よりも
低輝度の画素を抽出して、その連続数や合計数が所定値
以上のときにクラック有りの判定を行うようにしても同
様のクラック検査を行うことができる。
画素に対し下限輝度よりも高輝度の良画素を所定の経路
で追跡し、経路終端に行く手前で良画素の追跡ができな
くなったときにクラック有りの判定を行うようにした
が、検査面画像を構成する画素の中から素地輝度よりも
低輝度の画素を抽出して、その連続数や合計数が所定値
以上のときにクラック有りの判定を行うようにしても同
様のクラック検査を行うことができる。
【００４２】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
検査用液をクラックに浸入させて滲みを発生させること
により、検査面におけるクラックの輝度を素地輝度より
も低減させることができるので、輝度に基づいてクラッ
クを凹凸等と的確に識別することができ、これによりク
ラック有無を正確に判定して検査精度を大幅に向上でき
る。
検査用液をクラックに浸入させて滲みを発生させること
により、検査面におけるクラックの輝度を素地輝度より
も低減させることができるので、輝度に基づいてクラッ
クを凹凸等と的確に識別することができ、これによりク
ラック有無を正確に判定して検査精度を大幅に向上でき
る。
【図１】本発明に係るクラック検査装置の概略構成図
【図２】ワーク支持ユニットの断面図
【図３】画像処理ユニットの構成図
【図４】ディスク上にリングバリスタを載置した状態を
示す図
示す図
【図５】リングバリスタにおける検査用液の滲み状態を
示す図
示す図
【図６】中心検出の説明図
【図７】環状部分抽出の説明図
【図８】良品の場合の良画素追跡の説明図
【図９】不良品の場合の良画素追跡の説明図
【図１０】クラック検査のフローチャート
１…リングバリスタ、１ａ…クラック、１１…ワーク支
持ユニット、１２…液槽、１２ａ…入口管、１２ｂ…オ
ーバーフロー管、１３…ディスク、１３ａ…通液孔、Ｆ
…検査用液、２１…ＣＣＤカメラ、３１…画像処理ユニ
ット、３２…輝度データメモリ、３３…マスクデータメ
モリ、３４…処理判定部、Ｎ…滲み、Ｐ１…検査面画
像、Ｓｐ…中心座標、Ｍ…マスク、Ｐ３…環状部分、Ｋ
…追跡開始点、Ｅ…追跡終了点、Ｌ１〜Ｌ４…追跡基準
ライン。
持ユニット、１２…液槽、１２ａ…入口管、１２ｂ…オ
ーバーフロー管、１３…ディスク、１３ａ…通液孔、Ｆ
…検査用液、２１…ＣＣＤカメラ、３１…画像処理ユニ
ット、３２…輝度データメモリ、３３…マスクデータメ
モリ、３４…処理判定部、Ｎ…滲み、Ｐ１…検査面画
像、Ｓｐ…中心座標、Ｍ…マスク、Ｐ３…環状部分、Ｋ
…追跡開始点、Ｅ…追跡終了点、Ｌ１〜Ｌ４…追跡基準
ライン。
Claims (6)
- 【請求項１】 ワークの検査面を除く部分に検査用液を
供給して該検査用液をクラックに浸入させる手段と、 検査用液供給後にワークの検査面を撮像してその画像を
得る手段と、 検査面画像を構成する画素の中から素地輝度よりも低輝
度の画素を抽出して、その連続数が所定値以上のときに
クラック有りの判定を行う手段とを具備した、 ことを特徴とするクラック検査装置。 - 【請求項２】 ワークの検査面を除く部分に検査用液を
供給して該検査用液をクラックに浸入させる手段と、 検査用液供給後にワークの検査面を撮像してその画像を
得る手段と、 検査面画像を構成する画素の平均輝度を求め該平均輝度
から不良画素抽出のための下限輝度を決定する手段と、 検査面画像を構成する画素に対し前記下限輝度よりも高
輝度の良画素を所定の経路で追跡する手段と、 経路終端に行く手前で良画素の追跡ができなくなったと
きにクラック有りの判定を行う手段とを具備した、 ことを特徴とするクラック検査装置。 - 【請求項３】 リング状ワークの検査面を除く部分に検
査用液を供給して該検査用液をクラックに浸入させる手
段と、 検査用液供給後にワークの検査面を撮像してその検査面
画像を得る手段と、 検査面画像の内外周エッジを除く環状部分を構成する画
素の平均輝度を求め該平均輝度から不良画素抽出のため
の下限輝度を決定する手段と、 検査面画像の前記環状部分を構成する画素に対し前記下
限輝度よりも高輝度の良画素を環状部分に沿う経路で追
跡する手段と、 経路終端に行く手前で良画素の追跡ができなくなったと
きにクラック有りの判定を行う手段とを具備した、 ことを特徴とするクラック検査装置。 - 【請求項４】 検査面画像の内外周エッジを除く環状部
分をマスクを用いて抽出した、 ことを特徴とする請求項３記載のクラック検査装置。 - 【請求項５】 良画素の追跡が検査面画像の内外周の中
間位置を通る追跡基準ラインに沿って行われる、 ことを特徴とする請求項３または４記載のクラック検査
装置。 - 【請求項６】 ワークに検査用液を供給する手段が、検
査用液を収容する液槽と、液槽上部に回動自在に配置さ
れその上面でワークを支持する多孔性のディスクと、検
査用液の液面をディスク上面にワーク厚みよりも薄い液
層が形成されるように管理する液面管理手段とから成
り、ワークがディスク上に載置した状態のまま撮像され
る、 ことを特徴とする請求項１乃至５何れか１項記載のクラ
ック検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07057430A JP3100305B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | クラック検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07057430A JP3100305B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | クラック検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08255249A JPH08255249A (ja) | 1996-10-01 |
| JP3100305B2 true JP3100305B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=13055449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07057430A Expired - Fee Related JP3100305B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | クラック検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3100305B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011163804A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Seiko Epson Corp | 異物検出装置および異物検出方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5126148B2 (ja) * | 2009-04-06 | 2013-01-23 | 三菱自動車工業株式会社 | 潤滑剤の塗布状態検査装置及び塗布状態検査方法 |
| JP2012068140A (ja) * | 2010-09-24 | 2012-04-05 | Tdk Corp | 外観検査装置 |
-
1995
- 1995-03-16 JP JP07057430A patent/JP3100305B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011163804A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Seiko Epson Corp | 異物検出装置および異物検出方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08255249A (ja) | 1996-10-01 |
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