JP2002097032A - 基板冷却装置 - Google Patents
基板冷却装置Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B25/00—Annealing glass products
- C03B25/04—Annealing glass products in a continuous way
- C03B25/06—Annealing glass products in a continuous way with horizontal displacement of the glass products
- C03B25/08—Annealing glass products in a continuous way with horizontal displacement of the glass products of glass sheets
Abstract
せてガラス基板を冷却する基板冷却装置においては、短
時間でガラス基板を急冷却するため、ガラス基板にサー
マルショックが生じやすく、この影響で、特にガラス基
板の端面の欠けが発生するという問題点がある。 【解決手段】冷却プレート1端部にサーマルショック緩
衝材11を設け、ガラス基板51の冷却時に、矩形のガ
ラス基板51の搬送方向の辺が、緩衝材11の上に位置
するようにすることにより、加熱されたガラス基板51
の冷却プレート1による急冷効果を基板欠けの生じ易い
ガラス基板周辺で緩和し、ガラス基板51の端部欠けを
減らすことが可能となる。
Description
に、ガラス基板を冷却する際に、サーマルショックによ
るガラス基板の端部の欠けを防止する装置に関する。
るガラス基板を冷却する冷却装置では、加熱されたガラ
ス基板をより短時間で、均一に冷却することがプラズマ
ディスプレイパネル製造上の重要な要素の一つとなって
いる。
板冷却装置200の上面図に示すように、冷却水を冷媒
水入口113から冷媒管112を通って冷却プレート1
01の内部を貫通させ、冷媒水出口114から排出させ
ることにより冷却プレート101を冷却する。次に、冷
却された冷却プレート101を一定間隔に同一レベルに
配設して広い冷却ゾーンを形成すると共に、各冷却プレ
ート間に搬送ローラー102(搬送ローラー102は、
主として、軸部121及びローラー部122により構成
される)を配設し、搬送ローラー102を上下動自在に
装着しておき、搬送ローラー102を用いて前工程側か
ら搬送されてくる加熱状態のガラス基板151を吸気ノ
ズル103により冷却プレート101に密着させて冷却
し、更に、一定時間この状態でガラス基板151を冷却
した後、吸気ノズル103によるガラス基板の吸着を解
いて、搬送ローラー102を白抜き矢印の方向に動かせ
て一旦ガラス基板151を水平に持ち上げ、ガラス基板
151を搬送し、冷却プレート101で支持する箇所を
変えて、再度冷却プレート101とガラス基板151を
密着させるという要領で、加熱されたガラス基板151
の冷却を行うものであった。
法では、短時間でガラス基板101を急冷却するため、
ガラス基板101にサーマルショックが生じやすく、こ
の影響で、特にガラス基板101の端面の欠けが発生す
るという問題点がある。よって、ガラス基板101の端
面へのサーマルショックを少しでも和らげる必要があ
る。
板を冷却する際に生じるサーマルショックのガラス基板
端面への影響を和らげ、ガラス基板端面欠けを低減させ
る機能を有する基板冷却装置を提供することにある。
レートにガラス基板を吸着させる際、ガラス基板と冷却
プレートとの接触によって発生するガラス基板端面欠け
の低減機能を有する基板冷却装置を提供することにあ
る。
は、プレート内に冷却水を導入し、プレートの被冷却物
搭載部を冷却して被冷却物を被冷却物搭載部に接触させ
ることにより被冷却物の冷却を行う冷却プレートと、被
冷却物が被冷却物搭載部に接触する前後にそれぞれ被冷
却物を被冷却物搭載部に搬送、被冷却物搭載部から搬出
する搬送ローラーと、被冷却物を被冷却物搭載部に接触
させるべく被冷却物を被冷却物搭載部に押圧する吸着部
とを備える基板冷却装置であって、前記冷却プレート
は、少なくともその長さ方向の端部の表面に被冷却物の
冷却速度を緩和する冷却緩衝材が貼付されている構成を
基本構成とする。本発明の基板冷却装置は、次のような
種々の適用形態を採る。
トの長さ方向の端部の表面及びその表面に続く側面に貼
付される。
なり、前記耐熱テープは、ポリイミド、テフロンのいず
れかからなる。
らなり、前記冷却プレートの長さ方向の端部の表面に貼
付される。
記被冷却物は、前記被冷却物の搬送方向に平行な辺が、
前記冷却緩衝材の冷却プレートの長さ方向の幅の概略中
央に位置すべく配置される。
イパネル用ガラス基板であるときは、前記冷却緩衝材の
厚さが100〜200μmである。
ス基板であるときは、前記冷却緩衝材の厚さが50〜1
00μmである。
装置において、ガラス基板冷却時のサーマルショックに
よる基板端面欠け低減を目的とし、基板端部と冷却プレ
ートが接触する位置に緩衝材を設けたことにある。
板冷却装置の上面図及び断面図を示す。図1がガラス基
板冷却装置の上面図であり、図2(a)が図1の切断線
A−A’における断面図である。
置の冷却プレート上におけるガラス基板端部が接する位
置に、冷却プレート1の短辺幅Mの区間に渡って耐熱テ
ープ11を貼付するものである。この冷却プレート1に
貼付する耐熱テープ11は、サーマルショックから生じ
るガラス基板51の端面の欠けを防止するための緩衝材
としての役目を果たす。従って、基板冷却によるサーマ
ルショックから生じるガラス基板51の端面欠けを無く
すという効果が得られる。
態をさらに詳細に説明する。
は、冷媒流路を貫通させた冷却プレート1が設けられ、
冷却プレート1が水平に並んで装着されていると共に冷
却プレート1の下面に冷媒管12が蛇行された姿に装着
され、且つ、冷却プレート1の冷媒水入口13から冷媒
(水)が供給されて冷却プレート1の冷媒水出口14へ
流れ出る。
レート1が冷却され、前工程側から搬送ローラー2によ
り搬送されてきた加熱状態のガラス基板51を冷却プレ
ート1で所定の時間支持して所定温度に冷却することが
出来る。その際、ガラス基板51は吸気ノズル3で吸引
され冷却プレート1に密着している。
ル3によるガラス基板1の吸引が解かれ、搬送ローラー
2が上方に移動するに従ってガラス基板1も一緒に水平
に持ち上げられて冷却プレートから離される。次いで、
搬送ローラー2が駆動回転されてガラス基板1がガラス
基板冷却装置100の冷却ゾーンから後工程側へ搬出さ
れる。
形態では、冷却プレート1の上には、ガラス基板1との
緩衝材として耐熱テープ11が貼付されている。
00は、冷却プレート1の上において、ガラス基板51
の端部が接触する位置に耐熱テープ11を貼付すること
により、ガラス基板51を短時間で均一な冷却状態に保
持し、且つ、サーマルショックによる基板の端面欠けを
防止する効果も得られる構造を有している。
熱テープ)は、図1に示すように、冷却プレート1の短
辺幅Bにおいて、ガラス基板51の端面が接触するよ
う、広めに基板端面接触部付近に貼付される。
(耐熱テープ)は確実に固定させるために、冷却プレー
ト1の側面から反対側の側面まで貼付しておく。緩衝材
としては、加熱された基板温度に耐え得るもので、且
つ、ガラス基板51を所定温度まで冷却させ得る適度な
厚みであることが条件である。これらを考慮すると、緩
衝材としては、ポリイミド、テフロン等からなる耐熱テ
ープが有効である。
も、加熱された基板の温度に耐え、且つ、基板を所定温
度まで冷却可能な厚みのものでれば、適応可能である。
具体的な数値で表すと、耐熱テープ厚み、或いは、耐熱
樹脂プレート厚みが100〜200μm程度が望まし
い。
ルミニウムや銅又はそれらの合金製のものであって、同
一の大きさ、すなわち全長がL、幅がMの長方形の形状
であると共に、その全長方向に複数の冷媒流路を貫通さ
せた構造である。
送ローラー2と吸気ノズル3が配設されているが、搬送
ローラー2は水平に保たれながら上下動し得ると共に、
駆動回転が可能であるように装着され、且つ、搬送ロー
ラー2は、軸部21より大径のローラー部22を所定間
隔に複数形成している。そのため、図2(a)において
示されているように、搬送ローラー2を下方へ移動させ
た状態において、冷却プレート1でガラス基板51を支
持させ得ると共に、複数の吸気ノズル3で吸引して、ガ
ラス基板51を冷却プレート1に密着させる構造となっ
ている。
数の吸気ノズル3による吸引を停止したまま、若しく
は、吸引中の状態において、搬送ローラー2を一緒に上
方へ移動させてガラス基板51を水平に持ち上げ、ガラ
ス基板51を冷却プレート1から離間させることができ
ると共にその後、搬送ローラー2を駆動回転させてガラ
ス基板51を後工程に搬送する仕組みになっている。
実施形態の基板冷却装置は、サーマルショック起因のガ
ラス基板端面欠けに対して次のような効果をもたらす。
即ち、従来構造の基板冷却装置において、サーマルショ
ックによるガラス基板の端面欠け発生率が、冷却処理数
の15%を占めていたのに対して、冷却プレートとガラ
ス基板の間に緩衝材を貼付することにより、発生率は約
10分の1の1.3%まで低減した。
本実施形態適用前は、端面欠け部の直径がガラス基板厚
である2.8mm全てが欠け落ちている形状であったの
に対し、本実施形態適用後は、直径1mm〜2mmにま
で小さくなった。なお、緩衝材である耐熱テープの貼付
幅は、確実に基板端面が接するように、より広く保つこ
とで、欠け低減により効果をもたらす。
プレイパネル用のガラス基板に適応したが、液晶表示パ
ネル用のガラス基板に対しても適応することができる。
加熱状態の液晶表示パネル用のガラス基板を常温まで冷
却する際、冷媒管を貫通させた冷却プレートに基板を密
着させて冷却する方法が用いられるが、この際、冷却プ
レートと基板間に生じるサーマルショックによって生じ
やすくなる基板端部の欠け発生を防止する為、冷却プレ
ート上に緩衝材を設ける本発明が有効である。
いては、本発明適用により、基板欠け発生率が0.5%
から0.1%へ低減し、欠け発生防止効果が顕著に見ら
れた。特に、液晶表示パネル用のガラス基板は、板厚が
0.7mm程度と薄い為、緩衝材の厚みには、ガラス基
板が冷却プレートから浮いてしまうことが無く、且つ、
欠け低減に効果をもたらす様、最適な50〜100μm
程度の厚みに設定されることが求められる。
却装置は、冷却プレート端部にサーマルショック緩衝材
を設け、基板の冷却時に、矩形の基板の搬送方向の辺
が、緩衝材の上に位置するようにすることにより、加熱
された基板の冷却プレートによる急冷効果を基板欠けの
生じ易い基板周辺で緩和し、基板の端部欠けを減らすこ
とが可能となる。
る。
するための断面図である。
Claims (8)
- 【請求項1】 プレート内に冷却水を導入し、プレート
の被冷却物搭載部を冷却して被冷却物を被冷却物搭載部
に接触させることにより被冷却物の冷却を行う冷却プレ
ートと、被冷却物が被冷却物搭載部に接触する前後にそ
れぞれ被冷却物を被冷却物搭載部に搬送、被冷却物搭載
部から搬出する搬送ローラーと、被冷却物を被冷却物搭
載部に接触させるべく被冷却物を被冷却物搭載部に押圧
する吸着部とを備える基板冷却装置であって、前記冷却
プレートは、少なくともその長さ方向の端部の表面に被
冷却物の冷却速度を緩和する冷却緩衝材が貼付されてい
ることを特徴とする基板冷却装置。 - 【請求項2】 前記冷却緩衝材は、前記冷却プレートの
長さ方向の端部の表面及びその表面に続く側面に貼付さ
れる請求項1記載の基板冷却装置。 - 【請求項3】 前記冷却緩衝材は、耐熱テープからなる
請求項1又は2記載の基板冷却装置。 - 【請求項4】 前記耐熱テープは、ポリイミド、テフロ
ン(登録商標)のいずれかからなる請求項3記載の基板
冷却装置。 - 【請求項5】 前記冷却緩衝材は、樹脂プレートからな
り、前記冷却プレートの長さ方向の端部の表面に貼付さ
れる請求項1記載の基板冷却装置。 - 【請求項6】 前記被冷却物が矩形であるとき、前記被
冷却物は、前記被冷却物の搬送方向に平行な辺が、前記
冷却緩衝材の冷却プレートの長さ方向の幅の概略中央に
位置すべく配置される請求項1乃至5のいずれかに記載
の基板冷却装置。 - 【請求項7】 前記被冷却物がプラズマディスプレイパ
ネル用ガラス基板であるときは、前記冷却緩衝材の厚さ
が100〜200μmである請求項1乃至6のいずれか
に記載の基板冷却装置。 - 【請求項8】 前記被冷却物が液晶パネル用ガラス基板
であるときは、前記冷却緩衝材の厚さが50〜100μ
mである請求項1乃至6のいずれかに記載の基板冷却装
置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2000286616A JP3638119B2 (ja) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | 基板冷却装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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KR101085673B1 (ko) * | 2008-08-05 | 2011-11-22 | 가부시키가이샤 코와 | 가열 기능을 구비한 컨베이어 |
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CN112456774A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-03-09 | 成都金杉玻璃工艺有限公司 | 一种玻璃生产用快速冷却装置 |
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- 2000-09-21 JP JP2000286616A patent/JP3638119B2/ja not_active Expired - Fee Related
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