JP2002076067A - テープキャリア用露光装置 - Google Patents
テープキャリア用露光装置Info
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- JP2002076067A JP2002076067A JP2000259704A JP2000259704A JP2002076067A JP 2002076067 A JP2002076067 A JP 2002076067A JP 2000259704 A JP2000259704 A JP 2000259704A JP 2000259704 A JP2000259704 A JP 2000259704A JP 2002076067 A JP2002076067 A JP 2002076067A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】配線パターンとデバイスホール等の位置合わせ
精度に優れた高精細化、高密度化対応のテープキャリア
用露光装置を提供することを目的とする。 【解決手段】ＵＶ光源１０、フォトマスク２０、ワーク
３０、開口部４１を有する定盤４０、フォトマスク２０
を保持するマスクホルダー５０、アライメント光照明手
段６０、撮像手段７０、画像処理手段８０及び制御手段
９０とから構成されており、アライメント光照明手段６
０が定盤４０より下部の位置に設けられており、アライ
メント光照明手段６０は光源６１、光学レンズ６２、光
源６１からの光路を左右２方向に分配する光路分配器６
３及び反射板６４から構成されている。
精度に優れた高精細化、高密度化対応のテープキャリア
用露光装置を提供することを目的とする。 【解決手段】ＵＶ光源１０、フォトマスク２０、ワーク
３０、開口部４１を有する定盤４０、フォトマスク２０
を保持するマスクホルダー５０、アライメント光照明手
段６０、撮像手段７０、画像処理手段８０及び制御手段
９０とから構成されており、アライメント光照明手段６
０が定盤４０より下部の位置に設けられており、アライ
メント光照明手段６０は光源６１、光学レンズ６２、光
源６１からの光路を左右２方向に分配する光路分配器６
３及び反射板６４から構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、テープキャリア等
のパターン露光の際に使用されるアライメント露光装置
に関する。
のパターン露光の際に使用されるアライメント露光装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】テープキャリアは、テレビ、携帯電話、
ゲーム機、ラジオ、音響機器、ＶＴＲ等の民生用電子機
器や、コンピュータ、ＯＡ機器、電子応用機器、電気計
測器、通信機等の産業用電子機器に広く用いられてい
る。近年、電子機器は小型化、高密度化、高性能化の要
望が高まり、これに基づいて、用いられる部品において
は配線の細線化、ビアホールの小径化、ランド、パッド
等の小径化、基材のフレキシブル化、多層化及び高精細
化が急速に進んでいる。
ゲーム機、ラジオ、音響機器、ＶＴＲ等の民生用電子機
器や、コンピュータ、ＯＡ機器、電子応用機器、電気計
測器、通信機等の産業用電子機器に広く用いられてい
る。近年、電子機器は小型化、高密度化、高性能化の要
望が高まり、これに基づいて、用いられる部品において
は配線の細線化、ビアホールの小径化、ランド、パッド
等の小径化、基材のフレキシブル化、多層化及び高精細
化が急速に進んでいる。
【０００３】一般的なテープキャリアの製造は、ポリイ
ミド等の絶縁フィルムに導体層が形成された絶縁フィル
ムテープの両端にフィルムテープ搬送用及び位置決め用
のスプロケットホールを形成し、そのスプロケットホー
ルをガイドにして絶縁フィルムテープ上の導体層にレジ
ストパターン形成、エッチング等のパターニング処理を
施して配線パターン及び電極パッド等を作製している。
特に、レジストパターン形成するための露光工程ではあ
らかじめ形成されたデバイスホール等との位置合わせを
必要とし、かなりの位置合わせ精度が要求されている。
ミド等の絶縁フィルムに導体層が形成された絶縁フィル
ムテープの両端にフィルムテープ搬送用及び位置決め用
のスプロケットホールを形成し、そのスプロケットホー
ルをガイドにして絶縁フィルムテープ上の導体層にレジ
ストパターン形成、エッチング等のパターニング処理を
施して配線パターン及び電極パッド等を作製している。
特に、レジストパターン形成するための露光工程ではあ
らかじめ形成されたデバイスホール等との位置合わせを
必要とし、かなりの位置合わせ精度が要求されている。
【０００４】レジストパターン形成の露光工程に使用さ
れる従来の露光装置のアライメントは、フォトマスクの
上部よりアライメント照明を行って、ワークからの反射
光によりフォトマスクとワークのアライメントマークを
読みとりパターン位置合わせを行っている。このような
反射照明系のアライメントではワークからの反射光を利
用してフォトマスクとワークのアライメントマークを読
みとっているため、ワークの反射率及び読みとり倍率等
により、反射光の光量が減少し、フォトマスクとワーク
のアライメントマークの所望のコントラストが得られ
ず、パターン位置合わせ精度を維持するのが難しいとい
う問題を有しており、高精細化、高密度化対応のテープ
キャリアの製造に支障をきたしている。
れる従来の露光装置のアライメントは、フォトマスクの
上部よりアライメント照明を行って、ワークからの反射
光によりフォトマスクとワークのアライメントマークを
読みとりパターン位置合わせを行っている。このような
反射照明系のアライメントではワークからの反射光を利
用してフォトマスクとワークのアライメントマークを読
みとっているため、ワークの反射率及び読みとり倍率等
により、反射光の光量が減少し、フォトマスクとワーク
のアライメントマークの所望のコントラストが得られ
ず、パターン位置合わせ精度を維持するのが難しいとい
う問題を有しており、高精細化、高密度化対応のテープ
キャリアの製造に支障をきたしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題点に
鑑み考案されたもので、配線パターンとデバイスホール
等の位置合わせ精度に優れた高精細化、高密度化対応の
テープキャリア用露光装置を提供することを目的とす
る。
鑑み考案されたもので、配線パターンとデバイスホール
等の位置合わせ精度に優れた高精細化、高密度化対応の
テープキャリア用露光装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を解決するため、まず請求項１においては、少なくとも
ＵＶ光源と、フォトマスクと、ワークと、定盤と、アラ
イメント機構とを有する露光装置であって、前記アライ
メント機構がアライメント光照明手段と、撮影手段と、
画像処理手段と、制御手段とを備えていることを特徴と
するテープキャリア用露光装置としたものである。
を解決するため、まず請求項１においては、少なくとも
ＵＶ光源と、フォトマスクと、ワークと、定盤と、アラ
イメント機構とを有する露光装置であって、前記アライ
メント機構がアライメント光照明手段と、撮影手段と、
画像処理手段と、制御手段とを備えていることを特徴と
するテープキャリア用露光装置としたものである。
【０００７】また、請求項２においては、前記アライメ
ント光照明手段は前記定盤より下部に設けてあり、前記
定盤の開口部よりの透過照明にて前記ワーク及び前記フ
ォトマスクのアライメントマークを照射し、前記ワーク
及び前記フォトマスクのパターン位置合わせを行うこと
を特徴とする請求項１記載のテープキャリア用露光装置
としたものである。
ント光照明手段は前記定盤より下部に設けてあり、前記
定盤の開口部よりの透過照明にて前記ワーク及び前記フ
ォトマスクのアライメントマークを照射し、前記ワーク
及び前記フォトマスクのパターン位置合わせを行うこと
を特徴とする請求項１記載のテープキャリア用露光装置
としたものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は本発明のテープキャリア用
露光装置の一実施例を示すテープキャリア用露光装置１
００の構成概略図である。本発明のテープキャリア１０
０用露光装置は図１に示すように、ＵＶ光源１０、フォ
トマスク２０、ワーク３０、開口部４１を有する定盤４
０、フォトマスク２０を保持するマスクホルダー５０、
アライメント光照明手段６０、撮像手段７０、画像処理
手段８０及び制御手段９０とから構成されており、アラ
イメント光照明手段６０が定盤４０より下部の位置に設
けられ、定盤４０の開口部４１よりワーク３０及びフォ
トマスク２０のアライメント光を透過照明で照射できる
ようにして、フォトマスク２０とワーク３０の位置合わ
せができるようにしたものである。
露光装置の一実施例を示すテープキャリア用露光装置１
００の構成概略図である。本発明のテープキャリア１０
０用露光装置は図１に示すように、ＵＶ光源１０、フォ
トマスク２０、ワーク３０、開口部４１を有する定盤４
０、フォトマスク２０を保持するマスクホルダー５０、
アライメント光照明手段６０、撮像手段７０、画像処理
手段８０及び制御手段９０とから構成されており、アラ
イメント光照明手段６０が定盤４０より下部の位置に設
けられ、定盤４０の開口部４１よりワーク３０及びフォ
トマスク２０のアライメント光を透過照明で照射できる
ようにして、フォトマスク２０とワーク３０の位置合わ
せができるようにしたものである。
【０００９】以下テープキャリア用露光装置１００の各
構成要素について説明する。ＵＶ光源１０はワーク３０
上の感光層にパターン露光に必要な照度で露光するため
の光源である。フォトマスク２０はガラス基板上にアラ
イメントマーク及び所定のパターンが形成されたもので
ある。ワーク３０は、あらかじめ絶縁フィルムテープの
両端にスプロケットホール及びアライメントマークが、
内部にデバイスホール、スリットホール及び銅箔からな
る導体層等が形成されたもので、ここでは、配線パター
ン及び電極パッド等を形成するための感光層が導体層上
に形成された中間工程のテープキャリアを指す。
構成要素について説明する。ＵＶ光源１０はワーク３０
上の感光層にパターン露光に必要な照度で露光するため
の光源である。フォトマスク２０はガラス基板上にアラ
イメントマーク及び所定のパターンが形成されたもので
ある。ワーク３０は、あらかじめ絶縁フィルムテープの
両端にスプロケットホール及びアライメントマークが、
内部にデバイスホール、スリットホール及び銅箔からな
る導体層等が形成されたもので、ここでは、配線パター
ン及び電極パッド等を形成するための感光層が導体層上
に形成された中間工程のテープキャリアを指す。
【００１０】定盤４０はワーク３０を保持する支持台で
あると同時に、アライメント照明手段からのアライメン
ト照明光をワーク３０及びフォトマスク２０のアライメ
ントマークに照射するするための開口部４１を有してい
る。開口部４１はワーク３０及びフォトマスク２０のア
ライメントマークに対応する位置に設けられている。さ
らに、定盤４０は露光時にワーク３０をフォトマスク２
０に密着させたり、アライメント作業中にワーク３０と
フォトマスク２０を所定間隔離反させる上下移動機構に
連結している。
あると同時に、アライメント照明手段からのアライメン
ト照明光をワーク３０及びフォトマスク２０のアライメ
ントマークに照射するするための開口部４１を有してい
る。開口部４１はワーク３０及びフォトマスク２０のア
ライメントマークに対応する位置に設けられている。さ
らに、定盤４０は露光時にワーク３０をフォトマスク２
０に密着させたり、アライメント作業中にワーク３０と
フォトマスク２０を所定間隔離反させる上下移動機構に
連結している。
【００１１】アライメント光照明手段６０は光源６１、
光学レンズ６２、光源６１からの光路を左右２方向に分
配する光路分配器６３及び反射板６４から構成されてお
り、定盤４０よりも下部の位置に設けられている。
光学レンズ６２、光源６１からの光路を左右２方向に分
配する光路分配器６３及び反射板６４から構成されてお
り、定盤４０よりも下部の位置に設けられている。
【００１２】撮像手段７０はワーク３０とフォトマスク
２０のアライメントマークの画像を読みとるもので、通
常ＣＣＤカメラが用いられる。画像処理手段８０は撮像
手段７０で読みとったアライメントマークのずれ量を判
定処理するもので、ワーク３０或いはフォトマスク２０
のアライメントマークを基準にしてＸ、Ｙ及び角度θの
ずれ量を算出する。制御手段９０は画像処理手段８０に
て算出したＸ、Ｙ及び角度θのずれ量のデータをマスク
ホルダー５０に連結されたステージの制御装置に送り込
み、所定量移動させてワーク３０とフォトマスク２０の
位置合わせを行う。
２０のアライメントマークの画像を読みとるもので、通
常ＣＣＤカメラが用いられる。画像処理手段８０は撮像
手段７０で読みとったアライメントマークのずれ量を判
定処理するもので、ワーク３０或いはフォトマスク２０
のアライメントマークを基準にしてＸ、Ｙ及び角度θの
ずれ量を算出する。制御手段９０は画像処理手段８０に
て算出したＸ、Ｙ及び角度θのずれ量のデータをマスク
ホルダー５０に連結されたステージの制御装置に送り込
み、所定量移動させてワーク３０とフォトマスク２０の
位置合わせを行う。
【００１３】以下、本発明のテープキャリア用露光装置
１００を用いてテープキャリアを作製する事例について
説明する。図２（ａ）は本発明のテープキャリア用露光
装置１００を用いて作製したテープキャリアの一例を示
すテープキャリア３０ｃの平面図を、図２（ｂ）は図２
（ａ）の平面図をＡ−Ａ線で切断した断面図を、図３
（ａ）はテープキャリアの作製工程の一工程を示すテー
プキャリア３０ａの平面図を、図３（ｂ）は図３（ａ）
の平面図をＡ−Ａ線で切断した断面図を、図４（ａ）は
テープキャリアの作製工程の一工程を示すテープキャリ
ア３０ｂの平面図を、図４（ｂ）は図４（ａ）の平面図
をＡ−Ａ線で切断した断面図を、図５（ａ）はフォトマ
スクに設けたアライメントマークの一例を示すアライメ
ントマーク２１の拡大平面図を、図５（ｂ）はワークに
設けたアライメントマークの一例を示すアライメントマ
ーク３４の拡大平面図をそれぞれ示す。
１００を用いてテープキャリアを作製する事例について
説明する。図２（ａ）は本発明のテープキャリア用露光
装置１００を用いて作製したテープキャリアの一例を示
すテープキャリア３０ｃの平面図を、図２（ｂ）は図２
（ａ）の平面図をＡ−Ａ線で切断した断面図を、図３
（ａ）はテープキャリアの作製工程の一工程を示すテー
プキャリア３０ａの平面図を、図３（ｂ）は図３（ａ）
の平面図をＡ−Ａ線で切断した断面図を、図４（ａ）は
テープキャリアの作製工程の一工程を示すテープキャリ
ア３０ｂの平面図を、図４（ｂ）は図４（ａ）の平面図
をＡ−Ａ線で切断した断面図を、図５（ａ）はフォトマ
スクに設けたアライメントマークの一例を示すアライメ
ントマーク２１の拡大平面図を、図５（ｂ）はワークに
設けたアライメントマークの一例を示すアライメントマ
ーク３４の拡大平面図をそれぞれ示す。
【００１４】まず、接着剤付きの絶縁フィルムを所定幅
に断裁した絶縁フィルムテープ３１の両端にスプロケッ
トホール３３及びアライメントマーク３４を、内部にデ
バイスホール３５及びスリットホール３６を型抜き等で
形成したテープキャリア３０ａを作製する（図３（ａ）
及び（ｂ）参照）。アライメントマーク３４はスプロケ
ットホール３３の形成時に同時に打ち抜きで形成し、ア
ライメントマーク３４の設置間隔は個片化されるテープ
キャリアの左右両端に配置されるスプロケットホール列
に対し少なくとも１個配置されるようにスプロケットホ
ール３３間に設ける。アライメントマーク３４の形状は
図５（ｂ）にその一例を示すが、円形、十字形、正方
形、長方形等各種形状パターンが適用でき、要求される
精度によって適宜選択される。
に断裁した絶縁フィルムテープ３１の両端にスプロケッ
トホール３３及びアライメントマーク３４を、内部にデ
バイスホール３５及びスリットホール３６を型抜き等で
形成したテープキャリア３０ａを作製する（図３（ａ）
及び（ｂ）参照）。アライメントマーク３４はスプロケ
ットホール３３の形成時に同時に打ち抜きで形成し、ア
ライメントマーク３４の設置間隔は個片化されるテープ
キャリアの左右両端に配置されるスプロケットホール列
に対し少なくとも１個配置されるようにスプロケットホ
ール３３間に設ける。アライメントマーク３４の形状は
図５（ｂ）にその一例を示すが、円形、十字形、正方
形、長方形等各種形状パターンが適用でき、要求される
精度によって適宜選択される。
【００１５】次に、テープキャリア３０ａの所定位置に
銅箔からなる導体層３２を加熱、加圧接着し、さらに、
加熱して接着剤を硬化させてテープキャリア３０ｂを作
製する（図４（ａ）及び（ｂ）参照）。さらに、テープ
キャリア３０ｂの導体層３２上に感光層を形成したワー
ク３０を本発明のテープキャリア用露光装置１００にセ
ットして、アライメント光照明手段６０よりアライメン
ト光を定盤４０の開口部４１よりワーク３０及びフォト
マスク２０のアライメントマークに照射し、撮像手段７
０、画像処理手段８０及び制御手段９０にてワーク３０
とフォトマスク２０のパターン位置合わせを行い、位置
合わせが完了したところでワーク３０とフォトマスク２
０を密着し、ＵＶ光源より所定量の照度でフォトマスク
２０を通してワーク３０の感光層を露光し、感光層にパ
ターン潜像を形成する。さらに、現像、エッチング等の
一連のパターンニング処理及び必要に応じてめっき処理
を施してテープキャリア３０ｃを得る。
銅箔からなる導体層３２を加熱、加圧接着し、さらに、
加熱して接着剤を硬化させてテープキャリア３０ｂを作
製する（図４（ａ）及び（ｂ）参照）。さらに、テープ
キャリア３０ｂの導体層３２上に感光層を形成したワー
ク３０を本発明のテープキャリア用露光装置１００にセ
ットして、アライメント光照明手段６０よりアライメン
ト光を定盤４０の開口部４１よりワーク３０及びフォト
マスク２０のアライメントマークに照射し、撮像手段７
０、画像処理手段８０及び制御手段９０にてワーク３０
とフォトマスク２０のパターン位置合わせを行い、位置
合わせが完了したところでワーク３０とフォトマスク２
０を密着し、ＵＶ光源より所定量の照度でフォトマスク
２０を通してワーク３０の感光層を露光し、感光層にパ
ターン潜像を形成する。さらに、現像、エッチング等の
一連のパターンニング処理及び必要に応じてめっき処理
を施してテープキャリア３０ｃを得る。
【００１６】本発明のテープキャリア用露光装置１００
は、アライメント光照明手段６０を定盤４０より下部の
位置に設けているため、ワーク３０及びフォトマスク２
０のアライメントマークを透過照明で照射でき、撮像手
段７０でのアライメントマーク画像のコントラストが向
上し、ワーク３０とフォトマスク２０の位置合わせ精度
が格段に向上する。
は、アライメント光照明手段６０を定盤４０より下部の
位置に設けているため、ワーク３０及びフォトマスク２
０のアライメントマークを透過照明で照射でき、撮像手
段７０でのアライメントマーク画像のコントラストが向
上し、ワーク３０とフォトマスク２０の位置合わせ精度
が格段に向上する。
【００１７】
【発明の効果】上記したように、本発明のテープキャリ
ア用露光装置はアライメント照明手段を定盤より下部の
位置に設けているため、撮像手段でのアライメントマー
ク画像のコントラストが向上し、結果的に位置合わせ精
度に優れた高精度のテープキャリアを得ることができ
る。さらに、高精度のテープキャリアを用いることによ
り、半導体チップ等の実装工程及び検査工程で優れた位
置合せ精度が得られると共に、半導体装置の歩留まりが
向上し、テープキャリア分野において、優れた実用上の
効果を発揮する。
ア用露光装置はアライメント照明手段を定盤より下部の
位置に設けているため、撮像手段でのアライメントマー
ク画像のコントラストが向上し、結果的に位置合わせ精
度に優れた高精度のテープキャリアを得ることができ
る。さらに、高精度のテープキャリアを用いることによ
り、半導体チップ等の実装工程及び検査工程で優れた位
置合せ精度が得られると共に、半導体装置の歩留まりが
向上し、テープキャリア分野において、優れた実用上の
効果を発揮する。
【図１】本発明のテープキャリア用露光装置の一実施例
を示すテープキャリア用露光装置１００の構成概略図で
ある。
を示すテープキャリア用露光装置１００の構成概略図で
ある。
【図２】（ａ）は、本発明のテープキャリア用露光装置
１００を用いて作製したテープキャリアの一例を示すテ
ープキャリア３０ｃの平面図である。（ｂ）は、（ａ）
の平面図をＡ−Ａ線で切断した断面図である。
１００を用いて作製したテープキャリアの一例を示すテ
ープキャリア３０ｃの平面図である。（ｂ）は、（ａ）
の平面図をＡ−Ａ線で切断した断面図である。
【図３】（ａ）は、テープキャリアの作製工程の一工程
を示すテープキャリア３０ａの平面図である。（ｂ）
は、（ａ）の平面図をＡ−Ａ線で切断した断面図であ
る。
を示すテープキャリア３０ａの平面図である。（ｂ）
は、（ａ）の平面図をＡ−Ａ線で切断した断面図であ
る。
【図４】（ａ）は、テープキャリアの作製工程の一工程
を示すテープキャリア３０ｂの平面図である。（ｂ）
は、（ａ）の平面図をＡ−Ａ線で切断した断面図であ
る。
を示すテープキャリア３０ｂの平面図である。（ｂ）
は、（ａ）の平面図をＡ−Ａ線で切断した断面図であ
る。
【図５】（ａ）は、フォトマスクに設けたアライメント
マークの一例を示すアライメントマーク２１の拡大平面
図である。（ｂ）は、ワークに設けたアライメントマー
クの一例を示すアライメントマーク３４の拡大平面図で
ある。
マークの一例を示すアライメントマーク２１の拡大平面
図である。（ｂ）は、ワークに設けたアライメントマー
クの一例を示すアライメントマーク３４の拡大平面図で
ある。
１０……ＵＶ光源 ２０……フォトマスク ２１……アライメントマーク ２１ａ……透過部 ２１ｂ……遮光部 ３０……ワーク ３０ａ、３０ｂ……中間工程のテープキャリア ３０ｃ……テープキャリア ３１……絶縁フィルムテープ ３２……導体層 ３２ａ……配線パターン ３３……スプロケットホール ３４……アライメントマーク ３４ａ……透過部 ３４ｂ……遮光部 ３５……デバイスホール ３６……スリットホール ４０……定盤 ４１……開口部 ５０……マスクホルダー ６０……アライメント光照明手段 ６１……光源 ６２、６５……光学レンズ ６３……光路分配器 ６４……反射板 ７０……撮像手段 ８０……画像処理手段 ９０……制御手段 １００……テープキャリア用露光装置
Claims (2)
- 【請求項１】少なくともＵＶ光源と、フォトマスクと、
ワークと、定盤と、アライメント機構とを有する露光装
置であって、前記アライメント機構がアライメント光照
明手段と、撮影手段と、画像処理手段と、制御手段とを
備えていることを特徴とするテープキャリア用露光装
置。 - 【請求項２】前記アライメント照明光手段は前記定盤よ
り下部に設けてあり、前記定盤の開口部よりの透過照明
にて前記ワーク及び前記フォトマスクのアライメントマ
ークを照射し、前記ワーク及び前記フォトマスクのパタ
ーン位置合わせを行うことを特徴とする請求項１記載の
テープキャリア用露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000259704A JP4501257B2 (ja) | 2000-08-29 | 2000-08-29 | テープキャリア用露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000259704A JP4501257B2 (ja) | 2000-08-29 | 2000-08-29 | テープキャリア用露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002076067A true JP2002076067A (ja) | 2002-03-15 |
| JP4501257B2 JP4501257B2 (ja) | 2010-07-14 |
Family
ID=18747835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000259704A Expired - Fee Related JP4501257B2 (ja) | 2000-08-29 | 2000-08-29 | テープキャリア用露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4501257B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100479078B1 (ko) * | 2002-08-14 | 2005-03-25 | 엘지전자 주식회사 | 노광장치의 이송식 기판 스테이지 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03196651A (ja) * | 1989-12-26 | 1991-08-28 | Kuroda Precision Ind Ltd | Ｔａｂ用テープの製造方法 |
| JPH05323621A (ja) * | 1991-05-21 | 1993-12-07 | Ushio Inc | フィルム露光装置におけるフィルムとレチクルの位置合わせ方法 |
| JPH11340120A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-10 | Ushio Inc | 裏面アライメント機能を備えた露光装置 |
| JP2001109168A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板位置決め装置 |
-
2000
- 2000-08-29 JP JP2000259704A patent/JP4501257B2/ja not_active Expired - Fee Related
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