JP2002071346A - 表面性状測定機 - Google Patents
表面性状測定機Info
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- JP2002071346A JP2002071346A JP2001177278A JP2001177278A JP2002071346A JP 2002071346 A JP2002071346 A JP 2002071346A JP 2001177278 A JP2001177278 A JP 2001177278A JP 2001177278 A JP2001177278 A JP 2001177278A JP 2002071346 A JP2002071346 A JP 2002071346A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 比較的構造が簡単で、加工精度の管理が簡単
で、比較的長い寿命が得られる長さ測定機を得るにあ
る。 【解決手段】 被測定物に接触できる検出子Ｃを一方向
に伸びたガイド１７に沿って移動できるスライダ１８に
取付け、前記ガイド１７に平行な送りねじ３１で駆動さ
れるボールナット４１により前記スライダ１８をガイド
１７の長さ方向に移動させて測定を行う長さ測定機にお
いて、矩形断面の剛性ガイド４２を前記送りねじ３１及
びガイド１７が支持される機体フレーム３に固定して同
剛性ガイド４２に沿い移動できるコ字リテーナ４３に前
記ボールナット４１を固定し、前記前記ガイド１７をヤ
ング率の大きな矩形断面のセラミック製棒状体で構成
し、前記ガイド１７に略平行な状態に保った直線状ピア
ノ線片５１の両端部を前記スライダ１８の前記コ字リテ
ーナ４３に面した部分に固定し、前記コ字リテーナ４３
に基端部を固定した連結ピン６１の先端部を前記ピアノ
線片５１の略中間部に固定した表面性状測定機。
で、比較的長い寿命が得られる長さ測定機を得るにあ
る。 【解決手段】 被測定物に接触できる検出子Ｃを一方向
に伸びたガイド１７に沿って移動できるスライダ１８に
取付け、前記ガイド１７に平行な送りねじ３１で駆動さ
れるボールナット４１により前記スライダ１８をガイド
１７の長さ方向に移動させて測定を行う長さ測定機にお
いて、矩形断面の剛性ガイド４２を前記送りねじ３１及
びガイド１７が支持される機体フレーム３に固定して同
剛性ガイド４２に沿い移動できるコ字リテーナ４３に前
記ボールナット４１を固定し、前記前記ガイド１７をヤ
ング率の大きな矩形断面のセラミック製棒状体で構成
し、前記ガイド１７に略平行な状態に保った直線状ピア
ノ線片５１の両端部を前記スライダ１８の前記コ字リテ
ーナ４３に面した部分に固定し、前記コ字リテーナ４３
に基端部を固定した連結ピン６１の先端部を前記ピアノ
線片５１の略中間部に固定した表面性状測定機。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、被測定物の表面
粗さ、表面うねり、真円度、二次元や三次元の表面形状
を測定する、表面粗さ測定機、形状測定機、真円度測定
機、三次元測定機、画像測定機などの表面性状測定機に
関し、特にガイドに対して摺動可能に支持されたスライ
ダの駆動機構に関する。
粗さ、表面うねり、真円度、二次元や三次元の表面形状
を測定する、表面粗さ測定機、形状測定機、真円度測定
機、三次元測定機、画像測定機などの表面性状測定機に
関し、特にガイドに対して摺動可能に支持されたスライ
ダの駆動機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、被測定物の粗さやうねり
を測定する粗さ測定機、輪郭形状を測定する形状測定
機、真円度を測定する真円度測定機、三次元形状を測定
する三次元測定機などの表面性状測定機おいては、幾何
学的な直線状態にあるガイドに対してスライダを摺動可
能に支持し、ガイドの長さ方向の同スライダの位置及び
この長さ方向に直角な面内での変位を検出器により厳密
に検出して、測定を行う。つまり、これらの表面性状測
定機においては、ガイド方向にスライダを移動させるに
は、同ガイドに対して平行関係とされた送りねじを設
け、駆動モータまたは手動で駆動される同送りねじに螺
合されるボールナットを前記スライダに機械的に結合
し、送りねじの回転運動をボールナット及びスライダの
直線運動に変換している。
を測定する粗さ測定機、輪郭形状を測定する形状測定
機、真円度を測定する真円度測定機、三次元形状を測定
する三次元測定機などの表面性状測定機おいては、幾何
学的な直線状態にあるガイドに対してスライダを摺動可
能に支持し、ガイドの長さ方向の同スライダの位置及び
この長さ方向に直角な面内での変位を検出器により厳密
に検出して、測定を行う。つまり、これらの表面性状測
定機においては、ガイド方向にスライダを移動させるに
は、同ガイドに対して平行関係とされた送りねじを設
け、駆動モータまたは手動で駆動される同送りねじに螺
合されるボールナットを前記スライダに機械的に結合
し、送りねじの回転運動をボールナット及びスライダの
直線運動に変換している。
【０００３】ところで、このような目的に用いる送りね
じは、厳密に加工されたものであっても、僅かの偏心や
長さ方向の曲がりがあるから、送りねじの回転に伴っ
て、ボールナットが送りねじの長さ方向に対して直角な
面内で共回り現象を起し、この共回り現象の結果、スラ
イダがガイドの表面から浮動され、測定誤差の原因とな
るおそれがある。ボールナットの共回りによるスライダ
位置の不安定さを解消するため、従来では、特開平５−
１５７５０４号公報及び特許第２５７２８５３号公報に
より振れ止め機構が提案されている。即ち、「測定機の
駆動連結装置」と題された前者の振れ止め機構において
は、スライダとボールナットの間に自動調心軸受を介装
することにより、ボールナットからの共回り運動のスラ
イダへの伝達を阻止し、送りねじの長さ方向へのボール
ナットの運動のみをスライダへ伝達しようとするもので
ある。
じは、厳密に加工されたものであっても、僅かの偏心や
長さ方向の曲がりがあるから、送りねじの回転に伴っ
て、ボールナットが送りねじの長さ方向に対して直角な
面内で共回り現象を起し、この共回り現象の結果、スラ
イダがガイドの表面から浮動され、測定誤差の原因とな
るおそれがある。ボールナットの共回りによるスライダ
位置の不安定さを解消するため、従来では、特開平５−
１５７５０４号公報及び特許第２５７２８５３号公報に
より振れ止め機構が提案されている。即ち、「測定機の
駆動連結装置」と題された前者の振れ止め機構において
は、スライダとボールナットの間に自動調心軸受を介装
することにより、ボールナットからの共回り運動のスラ
イダへの伝達を阻止し、送りねじの長さ方向へのボール
ナットの運動のみをスライダへ伝達しようとするもので
ある。
【０００４】そして、後者の振れ止め機構では、表面に
ボールナット字溝を形成した変位板をスライダとボール
ナットの間に介在させ、前記スライダ及びボールナット
にそれぞれ固定する２つのジョイントピースのＹ方向及
び同Ｙ方向に直角なＸ方向ピンを前記ボールナット字溝
に係合させ、ボールナットの共回り運動の伝達を防止す
る。
ボールナット字溝を形成した変位板をスライダとボール
ナットの間に介在させ、前記スライダ及びボールナット
にそれぞれ固定する２つのジョイントピースのＹ方向及
び同Ｙ方向に直角なＸ方向ピンを前記ボールナット字溝
に係合させ、ボールナットの共回り運動の伝達を防止す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来の振れ止め機構は、多数の部材から構成されるの
で、製造原価が高くなるばかりでなく、各構成部品の加
工精度が直接に共回り現象の防止やスライダの位置精度
に影響を与えるから、加工精度の管理がやっかいで、各
部材間に摺動部が多いため、寿命が比較的短い問題があ
る。本発明の目的は、以上に述べたような従来の振れ止
め機構の問題に鑑み、比較的構造が簡単で、加工精度の
管理が簡単で、比較的長い寿命が得られる表面性状測定
機を得るにある。
の従来の振れ止め機構は、多数の部材から構成されるの
で、製造原価が高くなるばかりでなく、各構成部品の加
工精度が直接に共回り現象の防止やスライダの位置精度
に影響を与えるから、加工精度の管理がやっかいで、各
部材間に摺動部が多いため、寿命が比較的短い問題があ
る。本発明の目的は、以上に述べたような従来の振れ止
め機構の問題に鑑み、比較的構造が簡単で、加工精度の
管理が簡単で、比較的長い寿命が得られる表面性状測定
機を得るにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明は、被測定物を測定する検出器を取付けた測
定スライダと、この測定スライダを一方向にガイドする
測定ガイドと、前記測定スライダを前記一方向に駆動す
る測定スライダ駆動手段とを備え、この測定スライダ駆
動手段は、駆動スライダと、この駆動スライダを前記一
方向にガイドする駆動ガイドと、この駆動スライダを前
記一方向に駆動する駆動スライダ駆動手段と、前記測定
スライダと前記駆動スライダを連結する連結手段とを備
えた表面性状測定機を提案するものである。
め、本発明は、被測定物を測定する検出器を取付けた測
定スライダと、この測定スライダを一方向にガイドする
測定ガイドと、前記測定スライダを前記一方向に駆動す
る測定スライダ駆動手段とを備え、この測定スライダ駆
動手段は、駆動スライダと、この駆動スライダを前記一
方向にガイドする駆動ガイドと、この駆動スライダを前
記一方向に駆動する駆動スライダ駆動手段と、前記測定
スライダと前記駆動スライダを連結する連結手段とを備
えた表面性状測定機を提案するものである。
【０００７】後述する本発明の好ましい実施例の説明に
おいては、 1)前記連結手段は、両端を前記測定スライダの２個所の
係合点にそれぞれ係合した牽引部材と、この牽引部材の
略中間点と前記駆動スライダとを連結する連結部材とを
備える構造、 2)前記牽引部材の略中間点は、測定スライダの前記一方
向重心位置に略一致する構造、 3)前記スライダの２個所の係合点は前記一方向に並んで
前記スライダに設けられ、前記牽引部材は前記一方向に
真直ぐ伸びた状態で前記スライダの係合点に係合される
構造、 4)前記牽引部材の前記略中間点は前記一方向に直交する
方向に変位可能である構造、 5)前記牽引部材としてワイヤ状部材を用いた構造、 6)前記測定スライダは前記測定ガイドに対して複数のガ
イドポイントでガイドされ、この複数のガイドポイント
を、前記一方向に直交して前記係合点を含む面内に投影
した場合に、前記複数のガイドポイントの投影点の重心
位置が前記係合点に略一致する構造、 7)前記駆動スライダ駆動手段は、送りねじとボールナッ
トを含み、前記駆動スライダはこのボールナットに結合
される構造、 8)前記測定ガイドと前記測定スライダと前記駆動ガイド
と前記駆動スライダの少なくとも一つはセラミック製部
材を含む構造、 9)測定機ベースに立設されたガイドと、このガイドに設
けられた上下動ガイドにガイドされて上下動可能に支持
された上下可動台を更に備え、前記測定ガイドと前記駆
動ガイドは前記上下可動台に固定され、前記上下動ガイ
ドはセラミック製部材を含む構造が説明される。
おいては、 1)前記連結手段は、両端を前記測定スライダの２個所の
係合点にそれぞれ係合した牽引部材と、この牽引部材の
略中間点と前記駆動スライダとを連結する連結部材とを
備える構造、 2)前記牽引部材の略中間点は、測定スライダの前記一方
向重心位置に略一致する構造、 3)前記スライダの２個所の係合点は前記一方向に並んで
前記スライダに設けられ、前記牽引部材は前記一方向に
真直ぐ伸びた状態で前記スライダの係合点に係合される
構造、 4)前記牽引部材の前記略中間点は前記一方向に直交する
方向に変位可能である構造、 5)前記牽引部材としてワイヤ状部材を用いた構造、 6)前記測定スライダは前記測定ガイドに対して複数のガ
イドポイントでガイドされ、この複数のガイドポイント
を、前記一方向に直交して前記係合点を含む面内に投影
した場合に、前記複数のガイドポイントの投影点の重心
位置が前記係合点に略一致する構造、 7)前記駆動スライダ駆動手段は、送りねじとボールナッ
トを含み、前記駆動スライダはこのボールナットに結合
される構造、 8)前記測定ガイドと前記測定スライダと前記駆動ガイド
と前記駆動スライダの少なくとも一つはセラミック製部
材を含む構造、 9)測定機ベースに立設されたガイドと、このガイドに設
けられた上下動ガイドにガイドされて上下動可能に支持
された上下可動台を更に備え、前記測定ガイドと前記駆
動ガイドは前記上下可動台に固定され、前記上下動ガイ
ドはセラミック製部材を含む構造が説明される。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、被測定物の二次元的な形状
を測定する表面性状測定機に本発明を施した実施例の詳
細を説明する。図１に示すように、本発明による表面性
状測定機は測定機ベースＡの表面のテーブルＢ上に被測
定物を位置し、同被測定物の表面に検出子Ｃの先端を接
触させることにより、二次元的な形状や表面粗さを測定
するのに用いられる。
を測定する表面性状測定機に本発明を施した実施例の詳
細を説明する。図１に示すように、本発明による表面性
状測定機は測定機ベースＡの表面のテーブルＢ上に被測
定物を位置し、同被測定物の表面に検出子Ｃの先端を接
触させることにより、二次元的な形状や表面粗さを測定
するのに用いられる。
【０００９】前記測定機ベースＡの右側寄りの後部には
垂直方向に伸びた剛性の高いＶ軸コラムＤが据え付けら
れ、図示の場合、ヤング率の大きな矩形断面のセラミッ
ク製棒状体で構成される同Ｖ軸コラムＤには、図示を省
略するＶ軸駆動モータまたは図１のＶ軸手動つまみ１で
上下方向に移動される上下可動台Ｅが支持される。即
ち、図４から理解されるように、前記上下可動台Ｅは前
記Ｖ軸コラムＤを包囲する矩形枠状のスライド部２及び
Ｖ軸コラムＤの略前方に張り出された可動台フレーム３
からなり、この可動台フレーム３中には前記検出子Ｃを
備えた検出器をＸ軸方向（図１において左右方向）に駆
動する後述の駆動機構が組み込まれる。
垂直方向に伸びた剛性の高いＶ軸コラムＤが据え付けら
れ、図示の場合、ヤング率の大きな矩形断面のセラミッ
ク製棒状体で構成される同Ｖ軸コラムＤには、図示を省
略するＶ軸駆動モータまたは図１のＶ軸手動つまみ１で
上下方向に移動される上下可動台Ｅが支持される。即
ち、図４から理解されるように、前記上下可動台Ｅは前
記Ｖ軸コラムＤを包囲する矩形枠状のスライド部２及び
Ｖ軸コラムＤの略前方に張り出された可動台フレーム３
からなり、この可動台フレーム３中には前記検出子Ｃを
備えた検出器をＸ軸方向（図１において左右方向）に駆
動する後述の駆動機構が組み込まれる。
【００１０】前記上下可動台Ｅのスライド部２は基準案
内面であるＶ軸コラムＤの前面及び左側面に摺接する複
数のターカイト４，５を備え、同スライド部２の後壁及
び右側壁（図示せず）には前記ターカイト４，５を対応
基準案内面に押圧するプッシュユニット７，８が取り付
けられる。これらのプッシュユニット７，８はスライド
部２にねじ込み固定される取付ブッシュ７ａ，８ａを備
え、この取付ブッシュ７ａ，８ａの内部には押圧ヘッド
７ｂ，８ｂをＶ軸コラムＤの表面に押圧する押圧スプリ
ング７ｃ，８ｃが内蔵してある。また、前記Ｖ軸コラム
Ｄの前面中央に形成された上下方向の収容溝９中には、
前記Ｖ軸駆動モータで回転駆動される垂直方向のＶ軸送
りねじ１０が位置され、このＶ軸送りねじ１０の中間部
に螺合される送りナット１１のブラケット１１ａは前記
スライド部２に強固に固定される。
内面であるＶ軸コラムＤの前面及び左側面に摺接する複
数のターカイト４，５を備え、同スライド部２の後壁及
び右側壁（図示せず）には前記ターカイト４，５を対応
基準案内面に押圧するプッシュユニット７，８が取り付
けられる。これらのプッシュユニット７，８はスライド
部２にねじ込み固定される取付ブッシュ７ａ，８ａを備
え、この取付ブッシュ７ａ，８ａの内部には押圧ヘッド
７ｂ，８ｂをＶ軸コラムＤの表面に押圧する押圧スプリ
ング７ｃ，８ｃが内蔵してある。また、前記Ｖ軸コラム
Ｄの前面中央に形成された上下方向の収容溝９中には、
前記Ｖ軸駆動モータで回転駆動される垂直方向のＶ軸送
りねじ１０が位置され、このＶ軸送りねじ１０の中間部
に螺合される送りナット１１のブラケット１１ａは前記
スライド部２に強固に固定される。
【００１１】前記上下可動台Ｅの上下方向の位置を検出
するため、前記Ｖ軸コラムＤの左側面には垂直方向（上
下方向）に延長した反射型スケール１２が固定され、こ
の反射型スケール１２に臨んだスライド部２の内面には
発光部と受光部を備えたＶ軸検出器１３が固定してあ
る。なお、後述する駆動機構を含んだ上下可動台Ｅの重
量は、前記Ｖ軸コラムＤの前側に設けられる一対のガイ
ドロッド１４に嵌めたリテーナスプリング１５，１６の
力で平衡され、上下可動台Ｅの重量による大きな前後方
向の曲げモーメントがＶ軸コラムＤに加わるのが防止さ
れる。
するため、前記Ｖ軸コラムＤの左側面には垂直方向（上
下方向）に延長した反射型スケール１２が固定され、こ
の反射型スケール１２に臨んだスライド部２の内面には
発光部と受光部を備えたＶ軸検出器１３が固定してあ
る。なお、後述する駆動機構を含んだ上下可動台Ｅの重
量は、前記Ｖ軸コラムＤの前側に設けられる一対のガイ
ドロッド１４に嵌めたリテーナスプリング１５，１６の
力で平衡され、上下可動台Ｅの重量による大きな前後方
向の曲げモーメントがＶ軸コラムＤに加わるのが防止さ
れる。
【００１２】図３及び図４は前記検出子ＣのＸ軸方向
（図３の左右方向）の送りを担当する駆動機構の詳細を
示し、上下可動台Ｅの可動台フレーム３の内部には左右
方向に延長した測定ガイドとなるＸ軸ガイド１７の両端
部が固定され、図示実施例の場合、同Ｘ軸ガイド１７は
例えばアルミナセラミックなどの加工性が高く、ヤング
率の大きな矩形断面のセラミック製棒状体で構成してあ
る。図４から理解されるように、前記Ｘ軸ガイド１７を
取り囲む矩形枠として製作されて測定スライダとなるス
ライダ１８がＸ軸ガイド１７に沿ってＸ軸方向（左右方
向）に移動可能に支持される。同スライダ１８は例えば
アルミナセラミック製である。このスライダ１８には基
準案内面であるＸ軸ガイド１７の上面及び後側面に摺接
する複数のターカイト２１，２２，２３を備え、同Ｘ軸
ガイド１７の下壁及び前側壁には前記ターカイト２１，
２２，２３を対応基準案内面に押圧するプッシュユニッ
ト２４，２５が取り付けられる。これらのプッシュユニ
ット２４，２５は、スライド部２について前述したプッ
シュユニット７，８と同様に、ねじ込み固定される取付
ブッシュを備え、この取付ブッシュの内部には押圧ヘッ
ドをＸ軸ガイド１７の表面に押圧する押圧スプリングが
内蔵される構造である。また、前述したスライダ１８の
下部には箱状の検出器取付部２６が垂下され、この検出
器取付部２６中には取り付けられた検出子Ｃの先端の微
小な上下変位（Ｚ軸変位）を電気信号に変換する変位検
出器２７（図２）が内蔵される。
（図３の左右方向）の送りを担当する駆動機構の詳細を
示し、上下可動台Ｅの可動台フレーム３の内部には左右
方向に延長した測定ガイドとなるＸ軸ガイド１７の両端
部が固定され、図示実施例の場合、同Ｘ軸ガイド１７は
例えばアルミナセラミックなどの加工性が高く、ヤング
率の大きな矩形断面のセラミック製棒状体で構成してあ
る。図４から理解されるように、前記Ｘ軸ガイド１７を
取り囲む矩形枠として製作されて測定スライダとなるス
ライダ１８がＸ軸ガイド１７に沿ってＸ軸方向（左右方
向）に移動可能に支持される。同スライダ１８は例えば
アルミナセラミック製である。このスライダ１８には基
準案内面であるＸ軸ガイド１７の上面及び後側面に摺接
する複数のターカイト２１，２２，２３を備え、同Ｘ軸
ガイド１７の下壁及び前側壁には前記ターカイト２１，
２２，２３を対応基準案内面に押圧するプッシュユニッ
ト２４，２５が取り付けられる。これらのプッシュユニ
ット２４，２５は、スライド部２について前述したプッ
シュユニット７，８と同様に、ねじ込み固定される取付
ブッシュを備え、この取付ブッシュの内部には押圧ヘッ
ドをＸ軸ガイド１７の表面に押圧する押圧スプリングが
内蔵される構造である。また、前述したスライダ１８の
下部には箱状の検出器取付部２６が垂下され、この検出
器取付部２６中には取り付けられた検出子Ｃの先端の微
小な上下変位（Ｚ軸変位）を電気信号に変換する変位検
出器２７（図２）が内蔵される。
【００１３】図３に示すように、前記可動台フレーム３
の左右側壁には前記Ｘ軸ガイド１７と平行な方向に延長
するＸ軸送りねじ３１が一対の軸受３２，３３を用いて
回転可能に支持され、このＸ軸送りねじ３１はその軸端
に固定するＸ軸手動つまみ３４で手動で回転できる。ま
た、このＸ軸送りねじ３１は、図４に示すＸ軸駆動モー
タ３５により、Ｘ軸駆動モータ３５の駆動軸に設ける主
動プーリ３６、Ｘ軸送りねじ３１の軸端の従動プーリ３
７、これらの主動プーリ３６と従動プーリ３７との間に
掛けられるＶベルト３８を介して回転駆動できる。同Ｘ
軸送りねじ３１の長さ方向中間部にはＸ軸送りねじ３１
のねじ溝内で循環運動される多数のボールを内蔵するボ
ールナット４１が螺合され、このボールナット４１によ
ってＸ軸送りねじ３１の回転運動が左右方向の送り運動
に変換される。
の左右側壁には前記Ｘ軸ガイド１７と平行な方向に延長
するＸ軸送りねじ３１が一対の軸受３２，３３を用いて
回転可能に支持され、このＸ軸送りねじ３１はその軸端
に固定するＸ軸手動つまみ３４で手動で回転できる。ま
た、このＸ軸送りねじ３１は、図４に示すＸ軸駆動モー
タ３５により、Ｘ軸駆動モータ３５の駆動軸に設ける主
動プーリ３６、Ｘ軸送りねじ３１の軸端の従動プーリ３
７、これらの主動プーリ３６と従動プーリ３７との間に
掛けられるＶベルト３８を介して回転駆動できる。同Ｘ
軸送りねじ３１の長さ方向中間部にはＸ軸送りねじ３１
のねじ溝内で循環運動される多数のボールを内蔵するボ
ールナット４１が螺合され、このボールナット４１によ
ってＸ軸送りねじ３１の回転運動が左右方向の送り運動
に変換される。
【００１４】図４に示すように、前記可動台フレーム３
の後側壁の前面には前記Ｘ軸送りねじ３１と平行な方向
に延長して、駆動ガイドとなる矩形断面の剛性ガイド４
２が固定され、ヤング率の大きなセラミックで棒状に作
られる同剛性ガイド４２には前記ボールナット４１に固
定されるコ字リテーナ４３のコ字部が嵌められ、Ｘ軸送
りねじ３１の回転に伴うボールナット４１の上下方向の
共回り運動が抑制される。このコ字リテーナ４３は例え
ばアルミナセラミックから作られる。
の後側壁の前面には前記Ｘ軸送りねじ３１と平行な方向
に延長して、駆動ガイドとなる矩形断面の剛性ガイド４
２が固定され、ヤング率の大きなセラミックで棒状に作
られる同剛性ガイド４２には前記ボールナット４１に固
定されるコ字リテーナ４３のコ字部が嵌められ、Ｘ軸送
りねじ３１の回転に伴うボールナット４１の上下方向の
共回り運動が抑制される。このコ字リテーナ４３は例え
ばアルミナセラミックから作られる。
【００１５】一方、前記ボールナット４１に面した前記
Ｘ軸ガイド１７の頂面にはＸ軸ガイド１７の長さ方向に
伸びる頂面溝４４が形成され、前記スライダ１８の左右
端に基部を固定する一対の取付ブラケット４５，４６の
下端取付部４５ａ，４６ａが同頂面溝４４中に挿入さ
れ、これらの下端取付部４５ａ，４６ａ間にはＸ軸方向
に伸びる真直ぐなピアノ線片５１の両端部が固定され
る。即ち、このピアノ線片５１は長さ方向には大きな坑
張力を示し、同長さ方向に対して直角な方向の荷重で容
易に変形する性質があるから、ピアノ線片５１の長さ方
向に対して直角な平面内で生じるボールナット４１の共
回り運動を吸収できる。すなわちこのピアノ線片５１の
略中間部はＸ軸に対して直交する方向には容易に変位し
てボールナット４１の共回り運動を吸収できる。また、
前記コ字リテーナ４３の下部には連結ブロック５２が取
付ねじ５３，５４で固定され、この連結ブロック５２に
基端部６１ａを固定される垂直方向の連結ピン６１の下
端部６１ｂが前記ピアノ線片５１の略中間部に固定され
る。
Ｘ軸ガイド１７の頂面にはＸ軸ガイド１７の長さ方向に
伸びる頂面溝４４が形成され、前記スライダ１８の左右
端に基部を固定する一対の取付ブラケット４５，４６の
下端取付部４５ａ，４６ａが同頂面溝４４中に挿入さ
れ、これらの下端取付部４５ａ，４６ａ間にはＸ軸方向
に伸びる真直ぐなピアノ線片５１の両端部が固定され
る。即ち、このピアノ線片５１は長さ方向には大きな坑
張力を示し、同長さ方向に対して直角な方向の荷重で容
易に変形する性質があるから、ピアノ線片５１の長さ方
向に対して直角な平面内で生じるボールナット４１の共
回り運動を吸収できる。すなわちこのピアノ線片５１の
略中間部はＸ軸に対して直交する方向には容易に変位し
てボールナット４１の共回り運動を吸収できる。また、
前記コ字リテーナ４３の下部には連結ブロック５２が取
付ねじ５３，５４で固定され、この連結ブロック５２に
基端部６１ａを固定される垂直方向の連結ピン６１の下
端部６１ｂが前記ピアノ線片５１の略中間部に固定され
る。
【００１６】ピアノ線片５１に対する連結ピン６１の結
合位置は、前記検出器取付部２６を含んだスライダ１８
の重心のＸ軸方向の位置を選んでその下端部をピアノ線
片５１の略中間部に固定するから、ボールナット４１の
移動時にスライダ１８に重心回りの重量モーメントが作
用すること、つまり同重量モーメントによりＸ軸送りね
じ３１に沿って移動されるスライダ１８の姿勢が不安定
になるのを防止できる。図６は、Ｘ軸に直交し、ピアノ
線片５１の一端を固定する取付ブラケット４６の下端取
付部４６ａ（係合点）を含む面において、Ｘ軸ガイド１
７、ターカイト２１、２２、２３、プッシュユニット２
４、２５の配置位置関係を示している。この図におい
て、ターカイト２１、２２、２３にそれぞれ対向するす
るＸ軸ガイド１７の基準案内面の中心位置（３個所）
と、プッシュユニット２４、２５の押圧位置（２個所）
の計５個所のガイドポイントで形成される５角形の重心
位置はピアノ線片５１の係合点に一致している。従っ
て、ボールナット４１の移動時にスライダ１８はピアノ
線片５１によってガイドポイントに関する重心位置で牽
引されるので、スライダ１８はその姿勢が変化すること
なく、正確にＸ軸方向に移動することが可能である。
尚、剛性ガイド４２は、送りねじ３１の回転に伴うボー
ルナット４１の回転止めを兼ねている。
合位置は、前記検出器取付部２６を含んだスライダ１８
の重心のＸ軸方向の位置を選んでその下端部をピアノ線
片５１の略中間部に固定するから、ボールナット４１の
移動時にスライダ１８に重心回りの重量モーメントが作
用すること、つまり同重量モーメントによりＸ軸送りね
じ３１に沿って移動されるスライダ１８の姿勢が不安定
になるのを防止できる。図６は、Ｘ軸に直交し、ピアノ
線片５１の一端を固定する取付ブラケット４６の下端取
付部４６ａ（係合点）を含む面において、Ｘ軸ガイド１
７、ターカイト２１、２２、２３、プッシュユニット２
４、２５の配置位置関係を示している。この図におい
て、ターカイト２１、２２、２３にそれぞれ対向するす
るＸ軸ガイド１７の基準案内面の中心位置（３個所）
と、プッシュユニット２４、２５の押圧位置（２個所）
の計５個所のガイドポイントで形成される５角形の重心
位置はピアノ線片５１の係合点に一致している。従っ
て、ボールナット４１の移動時にスライダ１８はピアノ
線片５１によってガイドポイントに関する重心位置で牽
引されるので、スライダ１８はその姿勢が変化すること
なく、正確にＸ軸方向に移動することが可能である。
尚、剛性ガイド４２は、送りねじ３１の回転に伴うボー
ルナット４１の回転止めを兼ねている。
【００１７】前述したＸ軸ガイド１７に対するスライダ
１８の厳密な位置は、Ｘ軸ガイド１７とスライダ１８の
間に設けるレーザホログラムユニットで検出できる。即
ち、このレーザホログラムユニットはＸ軸ガイド１７の
前面下部に固定されるＸ軸方向の透明ホログラムスケー
ル７１を有し、同透明ホログラムスケール７１に臨ませ
てスライダ１８の下壁に固定したコ字ブロック７２には
透明ホログラムスケール７１の下部を挟むレーザ素子７
３及びＸ軸検出器７４（回折受光素子）が支持される。
１８の厳密な位置は、Ｘ軸ガイド１７とスライダ１８の
間に設けるレーザホログラムユニットで検出できる。即
ち、このレーザホログラムユニットはＸ軸ガイド１７の
前面下部に固定されるＸ軸方向の透明ホログラムスケー
ル７１を有し、同透明ホログラムスケール７１に臨ませ
てスライダ１８の下壁に固定したコ字ブロック７２には
透明ホログラムスケール７１の下部を挟むレーザ素子７
３及びＸ軸検出器７４（回折受光素子）が支持される。
【００１８】図示実施例による表面性状測定機は、以上
のような構成であるから、Ｖ軸コラムＤに対する上下可
動台Ｅの垂直方向の位置調整で、テーブルＢ上の被測定
物の表面に検出子Ｃの先端を接触させた状態とし、スラ
イダ１８をＸ軸方向に送りながら、検出子Ｃの微小なＺ
軸変位を検出することにより、被測定物の二次元的な表
面形状または表面粗さなどの表面性状を測定できる。
のような構成であるから、Ｖ軸コラムＤに対する上下可
動台Ｅの垂直方向の位置調整で、テーブルＢ上の被測定
物の表面に検出子Ｃの先端を接触させた状態とし、スラ
イダ１８をＸ軸方向に送りながら、検出子Ｃの微小なＺ
軸変位を検出することにより、被測定物の二次元的な表
面形状または表面粗さなどの表面性状を測定できる。
【００１９】即ち、垂直方向のＶ軸コラムＤに沿った上
下可動台Ｅの位置、つまりスライダ１８の上下方向の高
さはスライド部２のＶ軸検出器１３（反射型検出器）で
知ることができ、同スライダ１８のＸ軸方向の変位即ち
検出子ＣのＸ軸変位はＸ軸検出器７４（回折受光素子）
で厳密に知ることができる。したがって、スライダ１８
のＸ軸変位に対する検出子ＣのＺ軸方向の微小変位を変
位検出器２７で観測することにより、被測定物の表面形
状や表面粗さを測定できるわけである。
下可動台Ｅの位置、つまりスライダ１８の上下方向の高
さはスライド部２のＶ軸検出器１３（反射型検出器）で
知ることができ、同スライダ１８のＸ軸方向の変位即ち
検出子ＣのＸ軸変位はＸ軸検出器７４（回折受光素子）
で厳密に知ることができる。したがって、スライダ１８
のＸ軸変位に対する検出子ＣのＺ軸方向の微小変位を変
位検出器２７で観測することにより、被測定物の表面形
状や表面粗さを測定できるわけである。
【００２０】図２は本発明による表面性状測定機の信号
系統のブロックダイヤグラムであり、前述したＶ軸検出
器１３、変位検出器２７、Ｘ軸検出器７４の各出力信号
は、マイクロコンピュータなどで構成する制御装置CPU
に入力され、同制御装置CPUにおいて測定目的に応じた
演算が行われる。この演算結果は、上下可動台ＥのＶ軸
位置、スライダ１８のＸ軸位置、（Ｚ軸方向の）微小変
位などのデジタル量として表示器８１に表示されるが、
この表示器８１とは別に、測定データを解析するコンピ
ュータ及びその処理結果をグラフ化表示できるＣＲＴ表
示器を用いる場合もある。
系統のブロックダイヤグラムであり、前述したＶ軸検出
器１３、変位検出器２７、Ｘ軸検出器７４の各出力信号
は、マイクロコンピュータなどで構成する制御装置CPU
に入力され、同制御装置CPUにおいて測定目的に応じた
演算が行われる。この演算結果は、上下可動台ＥのＶ軸
位置、スライダ１８のＸ軸位置、（Ｚ軸方向の）微小変
位などのデジタル量として表示器８１に表示されるが、
この表示器８１とは別に、測定データを解析するコンピ
ュータ及びその処理結果をグラフ化表示できるＣＲＴ表
示器を用いる場合もある。
【００２１】被測定物の表面形状の測定や表面粗さの測
定の場合、図示実施例の構造では、Ｘ軸送りねじ３１の
回転に伴ったボールナット４１の共回りの悪影響で測定
精度が劣化するのを回避できる。Ｘ軸手動つまみ３４や
Ｘ軸駆動モータ３５でＸ軸送りねじ３１を回転させる
と、同Ｘ軸送りねじ３１の偏心や長さ方向の曲がりなど
でボールナット４１がＸ軸送りねじ３１の長さ方向に対
して直角な面内で揺れ動く共回り現象を起すが、ある程
度以上のこの共回り運動は、剛性ガイド４２によるコ字
リテーナ４３の位置規制により抑制されることになる。
定の場合、図示実施例の構造では、Ｘ軸送りねじ３１の
回転に伴ったボールナット４１の共回りの悪影響で測定
精度が劣化するのを回避できる。Ｘ軸手動つまみ３４や
Ｘ軸駆動モータ３５でＸ軸送りねじ３１を回転させる
と、同Ｘ軸送りねじ３１の偏心や長さ方向の曲がりなど
でボールナット４１がＸ軸送りねじ３１の長さ方向に対
して直角な面内で揺れ動く共回り現象を起すが、ある程
度以上のこの共回り運動は、剛性ガイド４２によるコ字
リテーナ４３の位置規制により抑制されることになる。
【００２２】したがって、ボールナット４１及びコ字リ
テーナ４３は、厳密な意味では、若干の共回り運動が残
留するが、ピアノ線片５１による牽引機構によってこの
共回り運動によりスライダ１８のＸ軸方向の位置が変化
したり、スライダ１８の運動が不安定になってＸ軸ガイ
ド１７から浮きあがり不安定な測定を余儀なくされるこ
とはない。つまり、ボールナット４１の共回りによって
連結ピン６１もＸ軸送りねじ３１の長さ方向に対して直
角な面内で若干の共回り運動を行うが、同共回り運動は
ピアノ線片５１が変形し易い中間部の曲げ変形で吸収さ
れ、スライダ１８に対しては、連結ピン６１のＸ軸方向
への変位のみがピアノ線片５１を介して伝えられる。こ
のため、仮にボールナット４１が共回り運動を起こして
も、同共回り運動がスライダ１８に伝達されるのを確実
に防止できる。勿論、この共回り防止構造は、構成が非
常に簡単であるので、製造原価が高くなったり、製造上
の加工精度管理がやっかいになる不都合もなくなる。
テーナ４３は、厳密な意味では、若干の共回り運動が残
留するが、ピアノ線片５１による牽引機構によってこの
共回り運動によりスライダ１８のＸ軸方向の位置が変化
したり、スライダ１８の運動が不安定になってＸ軸ガイ
ド１７から浮きあがり不安定な測定を余儀なくされるこ
とはない。つまり、ボールナット４１の共回りによって
連結ピン６１もＸ軸送りねじ３１の長さ方向に対して直
角な面内で若干の共回り運動を行うが、同共回り運動は
ピアノ線片５１が変形し易い中間部の曲げ変形で吸収さ
れ、スライダ１８に対しては、連結ピン６１のＸ軸方向
への変位のみがピアノ線片５１を介して伝えられる。こ
のため、仮にボールナット４１が共回り運動を起こして
も、同共回り運動がスライダ１８に伝達されるのを確実
に防止できる。勿論、この共回り防止構造は、構成が非
常に簡単であるので、製造原価が高くなったり、製造上
の加工精度管理がやっかいになる不都合もなくなる。
【００２３】本件発明は、以上の実施例の他に、駆動ス
ライダ駆動手段としてリニヤモータを使用することもで
きる。この場合、ボールナットに代るリニヤモータの可
動子を駆動スライダに結合させ、リニヤモータの直進ガ
イドを駆動ガイドとすれば良く、このようにすれば、リ
ニヤモータの磁界変動や直進ガイドの真直度誤差に起因
する可動子の微少な姿勢変化の影響を抑制することがで
きる。更に、この実施例においては、駆動ガイドと駆動
スライダは１組のみを使用する構成を示したが、この他
に直交するそれぞれの面（例えば、ＸＹ平面とＸＺ平
面）に各１組の駆動ガイドと駆動スライダを設け、第１
の駆動スライダとボールナットを直結し、第１の駆動ス
ライダによって第２の駆動スライダをワイヤ牽引し、第
２の駆動スライダによって測定スライダをワイヤ牽引す
る構成としてもよい。また、スライダのガイドポイント
は５ケ所に限定されるものではなく、必要に応じて増減
を行ってもよい。その場合でも、重心位置で牽引するこ
とにより、スライダ姿勢を一定に保つことができる。さ
らに、本発明の表面性状測定機の各部は、剛性の強化あ
るいは耐摩耗性の改善のためにアルミナセラミック等の
セラミック製としても良い。また、本発明の実施形態で
は牽引部材としてワイヤ状のピアノ線を使用したが、牽
引部材はこれに限らず、適度な弾性を有するコイルばね
や、板ばねを使用しても良い。例えば板ばねを使用した
場合、その中間部において板ばねを90度ひねった構造と
すれば、板ばねの中間部は長手方向に対して直交する方
向には任意方向へ変位可能となる。なお、前記実施例に
おいては、被測定物の二次元的な表面形状や表面粗さを
測定する表面性状測定機に本発明を施した例を説明した
が、本発明は、他の目的の３次元測定機などに適用する
ことができるのは、改めて指摘するまでもない。
ライダ駆動手段としてリニヤモータを使用することもで
きる。この場合、ボールナットに代るリニヤモータの可
動子を駆動スライダに結合させ、リニヤモータの直進ガ
イドを駆動ガイドとすれば良く、このようにすれば、リ
ニヤモータの磁界変動や直進ガイドの真直度誤差に起因
する可動子の微少な姿勢変化の影響を抑制することがで
きる。更に、この実施例においては、駆動ガイドと駆動
スライダは１組のみを使用する構成を示したが、この他
に直交するそれぞれの面（例えば、ＸＹ平面とＸＺ平
面）に各１組の駆動ガイドと駆動スライダを設け、第１
の駆動スライダとボールナットを直結し、第１の駆動ス
ライダによって第２の駆動スライダをワイヤ牽引し、第
２の駆動スライダによって測定スライダをワイヤ牽引す
る構成としてもよい。また、スライダのガイドポイント
は５ケ所に限定されるものではなく、必要に応じて増減
を行ってもよい。その場合でも、重心位置で牽引するこ
とにより、スライダ姿勢を一定に保つことができる。さ
らに、本発明の表面性状測定機の各部は、剛性の強化あ
るいは耐摩耗性の改善のためにアルミナセラミック等の
セラミック製としても良い。また、本発明の実施形態で
は牽引部材としてワイヤ状のピアノ線を使用したが、牽
引部材はこれに限らず、適度な弾性を有するコイルばね
や、板ばねを使用しても良い。例えば板ばねを使用した
場合、その中間部において板ばねを90度ひねった構造と
すれば、板ばねの中間部は長手方向に対して直交する方
向には任意方向へ変位可能となる。なお、前記実施例に
おいては、被測定物の二次元的な表面形状や表面粗さを
測定する表面性状測定機に本発明を施した例を説明した
が、本発明は、他の目的の３次元測定機などに適用する
ことができるのは、改めて指摘するまでもない。
【００２４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本件発
明によれば、比較的簡単で、厳密な加工精度管理を必要
としない構造により、送りねじの回転によるボールナッ
トの共回り運動を完全に吸収して、送りねじの長さ方向
の送り運動のみをスライダに伝達できる長さ測定機を得
ることができる。また、連結ピンの移動量がスライダの
重心位置でスライダに伝達されるため、スライダの姿勢
が安定し測定精度の向上を期待でき、更にセラミック部
材でガイドを構成することによって、その測定精度の向
上を達成できる。
明によれば、比較的簡単で、厳密な加工精度管理を必要
としない構造により、送りねじの回転によるボールナッ
トの共回り運動を完全に吸収して、送りねじの長さ方向
の送り運動のみをスライダに伝達できる長さ測定機を得
ることができる。また、連結ピンの移動量がスライダの
重心位置でスライダに伝達されるため、スライダの姿勢
が安定し測定精度の向上を期待でき、更にセラミック部
材でガイドを構成することによって、その測定精度の向
上を達成できる。
【図１】本発明による表面性状測定機の正面図である。
【図２】同表面性状測定機のブロックダイヤグラムであ
る。
る。
【図３】同表面性状測定機の要部拡大断面図である。
【図４】同表面性状測定機の図１の４−４線に沿う要部
拡大断面図である。
拡大断面図である。
【図５】同表面性状測定機の要部分解拡大斜視図であ
る。
る。
【図６】同表面性状測定機の原理図である。
Ａ 測定機ベース Ｂ テーブル Ｃ 検出子 Ｄ Ｖ軸コラム Ｅ 上下可動台 ２ スライド部 ３ 可動台フレーム １３ Ｖ軸検出器 １７ Ｘ軸ガイド １８ スライダ ２６ 検出器取付部 ２７ 変位検出器 ４１ ボールナット ４２ 剛性ガイド ４３ コ字リテーナ ５１ ピアノ線片 ６１ 連結ピン ７４ Ｘ軸検出器
Claims (10)
- 【請求項１】 被測定物を測定する検出器を取付けた測
定スライダと、この測定スライダを一方向にガイドする
測定ガイドと、前記測定スライダを前記一方向に駆動す
る測定スライダ駆動手段とを備え、この測定スライダ駆
動手段は、駆動スライダと、この駆動スライダを前記一
方向にガイドする駆動ガイドと、この駆動スライダを前
記一方向に駆動する駆動スライダ駆動手段と、前記測定
スライダと前記駆動スライダを連結する連結手段とを備
えることを特徴とする表面性状測定機。 - 【請求項２】 前記連結手段は、両端を前記測定スライ
ダの２個所の係合点にそれぞれ係合した牽引部材と、こ
の牽引部材の略中間点と前記駆動スライダとを連結する
連結部材とを備えることを特徴とする請求項１に記載の
表面性状測定機。 - 【請求項３】 前記牽引部材の略中間点は、測定スライ
ダの前記一方向重心位置に略一致することを特徴とする
請求項２に記載の表面性状測定機。 - 【請求項４】 前記スライダの２個所の係合点は前記一
方向に並んで前記スライダに設けられ、前記牽引部材は
前記一方向に真直ぐ伸びた状態で前記スライダの係合点
に係合していることを特徴とする請求項２又は請求項３
に記載の表面性状測定機。 - 【請求項５】 前記牽引部材の前記略中間点は前記一方
向に直交する方向に変位可能であることを特徴とする請
求項２から請求項４のいずれかに記載の表面性状測定
機。 - 【請求項６】 前記牽引部材はワイヤ状であることを特
徴とする請求項２から請求項５のいずれかに記載の表面
性状測定機。 - 【請求項７】 前記測定スライダは前記測定ガイドに対
して複数のガイドポイントでガイドされ、この複数のガ
イドポイントを、前記一方向に直交して前記係合点を含
む面内に投影した場合に、前記複数のガイドポイントの
投影点の重心位置が前記係合点に略一致することを特徴
とする請求項２から請求項６のいずれかに記載の表面性
状測定機。 - 【請求項８】 前記駆動スライダ駆動手段は、送りねじ
とボールナットを含み、前記駆動スライダはこのボール
ナットに結合されることを特徴とする請求項１から請求
項７のいずれかに記載の表面性状測定機。 - 【請求項９】 前記測定ガイド、前記測定スライダ、前
記駆動ガイド及び前記駆動スライダの少なくとも一つ
は、セラミック製部材を含むことを特徴とする請求項１
から請求項８のいずれかに記載の表面性状測定機。 - 【請求項１０】 測定機ベースに立設されたコラムと、
このコラムに設けられ、セラミック製部材を含む上下動
ガイドと、この上下動ガイドにガイドされて上下動可能
に支持された上下可動台と、を更に備え、前記測定ガイ
ドと前記駆動ガイドは前記上下可動台に固定されること
を特徴とする請求項１から請求項９に記載の表面性状測
定機。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2000176290 | 2000-06-13 | ||
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| CN107796286A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-03-13 | 张化机（苏州）重装有限公司 | 吊篮筒体圆度检测机构 |
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|---|---|---|---|---|
| DE10329698B4 (de) * | 2003-07-02 | 2005-09-22 | Hexagon Metrology Gmbh | Koordinatenmessmaschine |
| DE102013102474B4 (de) | 2013-03-12 | 2018-09-13 | Carl Mahr Holding Gmbh | Eindimensional messende Tasteinrichtung |
| JP6283249B2 (ja) * | 2014-04-08 | 2018-02-21 | 株式会社ミツトヨ | 並進機構及び三次元測定機 |
| DE102017107373B4 (de) * | 2017-04-06 | 2019-04-25 | Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh | Oberflächenmessgerät |
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| CN110966903B (zh) * | 2019-10-17 | 2021-10-22 | 河南平高通用电气有限公司 | 一种箱变铜排测量工装 |
| CN113446921A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-09-28 | 启东锦桥轴承有限公司 | 一种带法兰的滚珠螺母球道至法兰面内侧距离的检验装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2572853B2 (ja) * | 1989-08-01 | 1997-01-16 | 株式会社ミツトヨ | 測定機 |
| JPH0794961B2 (ja) * | 1991-12-04 | 1995-10-11 | 株式会社ミツトヨ | 測定機の駆動連結装置 |
-
2001
- 2001-06-12 JP JP2001177278A patent/JP2002071346A/ja active Pending
- 2001-06-13 DE DE2001128624 patent/DE10128624B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-04-14 JP JP2006111897A patent/JP2006194909A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7373807B2 (en) | 2005-03-04 | 2008-05-20 | Mitutoyo Corporation | Drive unit |
| CN107796286A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-03-13 | 张化机（苏州）重装有限公司 | 吊篮筒体圆度检测机构 |
| CN107796286B (zh) * | 2017-11-24 | 2024-06-04 | 张化机（苏州）重装有限公司 | 吊篮筒体圆度检测机构 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE10128624B4 (de) | 2011-03-10 |
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| JP2006194909A (ja) | 2006-07-27 |
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Legal Events
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