JP2002057450A - はんだ付け装置 - Google Patents

はんだ付け装置

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JP2002057450A
JP2002057450A JP2000241131A JP2000241131A JP2002057450A JP 2002057450 A JP2002057450 A JP 2002057450A JP 2000241131 A JP2000241131 A JP 2000241131A JP 2000241131 A JP2000241131 A JP 2000241131A JP 2002057450 A JP2002057450 A JP 2002057450A
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JP
Japan
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gas
solder
gas supply
soldering
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JP2000241131A
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English (en)
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正信 ▲高▼橋
Masanobu Takahashi
Yoichi Yokoyama
洋一 横山
Takeshi Sakaguchi
剛士 坂口
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Ueda Japan Radio Co Ltd
Original Assignee
Ueda Japan Radio Co Ltd
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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 部品と基板とのより良好なはんだ接合状態を
得る。 【解決手段】 部品搬送アーム38,40は、基板B上
のはんだ接合位置に部品Wを搬送し、この位置で部品W
を所定の接合姿勢に維持する。ガス供給ノズル47は、
部品搬送アーム40に支持される部品保持ハンド46に
設けられ、部品Wが接合姿勢に維持された状態で、接合
部に予め塗布されたはんだを溶融する加熱ガス、および
溶融したはんだを冷却する冷却ガスを供給する。このよ
うな構成により、部品Wの保持位置とガス供給位置との
相対的な位置関係を固定し、部品Wを基板B上で所定の
接合姿勢に維持することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板に部品をはん
だ接合するはんだ付け装置に関し、特に、はんだ接合の
精度向上に関する。
【0002】
【従来の技術】プリント基板に対する電子部品の実装等
において、はんだ接合は従来より行われているが、製品
に対する小型軽量化のニーズに伴い、はんだ接合の対象
部品についても微細化が進み、その一層の精度向上が望
まれている。
【0003】ここで従来のはんだ付け方法について、図
7を参照して説明する。図7は、微小な部品Wを基板B
上に実装する様子を示す。ここで部品Wは直方体(例え
ば2mm×0.7mm×0.7mm)の電子部品であ
り、これを縦立させた状態でその下面(すなわち部品の
電極)と基板B上のパッドP(すなわち基板側の電極)
とをはんだ接合により接合する。操作者は、部品Wを吸
着保持したバキュームピンセット90を把持して基板B
上の接合位置に押し当て、この状態で別に把持したノズ
ル92によりはんだ接合部に向けて熱風を吹き付ける。
基板上のパッドPには予めクリームはんだ94が予め塗
布されており、この熱風によりはんだ94が溶融する。
次いでこれを所定時間放置してはんだを冷却させ、はん
だ接合が完了する。以上の工程は全て手作業により行わ
れている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術では、微小な基板と部品との接合が全て手作業
で行われていたため、時間を要する面倒な作業となって
いた。また、特に部品およびノズルの保持が作業者の素
手により行われていたため、はんだ溶融中に部品あるい
はノズルが動き、所望の接合状態(すなわち接合位置、
接合姿勢あるいは接合強度等)を得られない場合が生じ
てしまうという問題があった。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題に鑑み、本発明
にかかるはんだ付け装置は、基板に部品をはんだ接合す
るはんだ付け装置において、基板上のはんだ接合位置に
部品を搬送し、この位置で部品を所定の接合姿勢に維持
する部品搬送アームと、前記部品搬送アームに設けら
れ、部品が前記所定の接合姿勢に維持された状態で、基
板と部品とのはんだ接合部に加熱ガスを供給し、該接合
部に予め塗布されたはんだを溶融する加熱ガス供給ノズ
ルと、を備える。
【0006】また本発明では、前記部品搬送アームに設
けられ、はんだ溶融後に部品が前記所定の接合姿勢に維
持された状態で、前記はんだ接合部に冷却ガスを供給し
て前記溶融したはんだを冷却する冷却ガス供給ノズルを
備えるのが好適である。
【0007】このような構成によれば、手作業によらず
はんだ接合を行うことができるので、はんだ接合に要す
る手間および時間を低減することができる。また部品搬
送アームに加熱ガス供給ノズルおよび/または冷却ガス
供給ノズルを備え、部品の保持位置と加熱ガス供給位置
もしくは冷却ガス供給位置との相対的な位置関係を固定
し、またガス供給中に部品を基板上で所定の接合姿勢に
維持することができるので、より良好な接合状態を得る
ことができる。
【0008】また本発明では、前記加熱ガス供給ノズル
あるいは前記冷却ガス供給ノズルは、部品を包囲するガ
ス流が形成されるようガスを供給するのが好適である。
このような構成によれば、はんだ接合部に対して加熱ガ
スあるいは冷却ガスを全体的により均等に供給すること
ができるため、はんだ接合部内の位置による接合強度の
ばらつきを低減することができる。さらに、この加熱ガ
スあるいは冷却ガスを不活性ガス例えば窒素等とするこ
とにより、はんだの酸化、フラックスの焦げ、あるいは
飛散等を防止することができる。
【0009】また本発明では、前記部品搬送アームは部
品を上方から保持する部品保持ハンドを備えるのが好適
である。このような構成によれば、部品下方のはんだ接
合部に供給される加熱ガスあるいは冷却ガスのガス流に
対する部品搬送アームの干渉を少なくし、はんだ接合部
に対してより均等にガスを供給することができる。
【0010】また本発明では、前記部品保持ハンドは、
部品を上方から吸着保持する吸着管を備え、前記加熱ガ
ス供給ノズルあるいは冷却ガス供給ノズルのガス噴出口
は、前記吸着管の周囲を囲むように設けられるのが好適
である。このような構成によれば、より簡素な構成によ
る部品保持を実現することができるとともに、はんだ接
合部に対して全体的により均等にガスを供給することが
できる。
【0011】また本発明では、前記加熱ガスと前記冷却
ガスとで共用する共用ガス通路と、前記共用ガス通路に
設けられ、該通路を通過するガスを加熱および/または
冷却して、前記加熱ガスおよび前記冷却ガスを調製する
温調器と、を備えるのが好適である。このような構成に
よれば、ガス管路を共用化して装置構成をより簡素化す
ることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第一の実施の形態
について図面を参照しながら説明する。図1は、本発明
の第一の実施の形態にかかるはんだ付け装置の外観図
を、図2は、該はんだ付け装置の機能ブロック図を、ま
た図3は、該はんだ付け装置のはんだ接合処理部の概略
構成図を示す。
【0013】本実施形態にかかるはんだ付け装置10
は、直方体の部品W(例えば2mm×0.7mm×0.
7mmの電子部品)を縦立した状態でその下面と基板B
上のパッドPとをはんだ接合する装置である。図1に示
すように、このはんだ付け装置10は、はんだ接合処理
部12を開閉自在な蓋13により被覆/解放自在とす
る。これによりはんだ接合処理を行う周囲の環境を装置
外の環境と隔離し、はんだ付けに適した環境(例えば不
活性ガス雰囲気、適切なはんだ接合部周辺温度等)を効
率よく実現することができる。また前面には、各種入力
指令を行う入力部16としての操作スイッチ、および各
種情報の出力を行う出力部14としての液晶ディスプレ
イを備える。
【0014】本実施形態にかかるはんだ付け装置10
は、大別して、基板B上の部品接合位置に部品Wを搬送
する部品搬送部18、部品搬送部18に備えられ部品W
を保持する部品保持部20、基板B上の部品Wに対して
加熱ガスあるいは冷却ガスを供給するガス供給部22、
該ガスの温度調整を行うガス温調部24、装置各部の制
御を行う制御部26、各種制御パラメータを記憶する記
憶部28、そして入力部16および出力部14を備え
る。以下これら各部の構成について詳しく説明する。
【0015】まず部品搬送部18の構成について説明す
る。本実施形態にかかるはんだ付け装置10は、部品搬
送部18として、部品収容部32にランダムに収容され
た部品Wを所定の部品取得位置34に送出する部品準備
機構30と、部品取得位置34で部品Wを取得して所定
の位置まで搬送する部品搬送アーム38,40とを備え
る。本実施形態では、部品収容部32は、円錐状(すり
鉢形状)に構成される。部品収容部32の底部には、例
えば十字形の図示しない回動羽根が設けられ、この回動
羽根の回動により、部品Wは、部品収容部32の内周壁
に沿って回動する。部品収容部32の内周壁には、螺旋
状に部品搬送路36が設けられ、部品Wが一つずつ所定
の部品取得位置34までこの部品搬送路36に沿って上
昇する。
【0016】部品搬送アーム38,40は、異なる方向
に移動自在な搬送アームを複数備える。本実施形態で
は、第一の方向(例えばはんだ接合処理部12の底面に
平行な水平方向;X方向)に移動自在な第一の部品搬送
アーム38と、第二の方向(例えばはんだ接合処理部1
2底面に垂直な鉛直方向;Z方向)に移動自在な第二の
部品搬送アーム40との二つを備える。これら第一およ
び第二の部品搬送アーム38,40は、それぞれ例えば
案内レール38a,40aと該案内レールに案内される
移動台38b,40bとを備えたACサーボモータ駆動
式リニアスライド機構として構成される。そしてこれら
部品搬送アーム38,40の動作は部品搬送アーム駆動
機構42例えばACサーボモータにより駆動され、また
これらの移動位置はそれぞれ部品位置検出機構44(例
えばACサーボモータに内蔵されるレゾルバ)により検
出される。この部品位置検出機構44による位置検出結
果は制御部26に送られ、制御部26は、この位置検出
結果に基づいて部品搬送アーム駆動機構42の動作を制
御する。なお、本実施形態では、基板Bを載置する載置
台48が第三の方向(例えばはんだ接合処理部12の底
面に平行な水平方向でありかつ前記X方向に垂直な方
向:Y方向)に移動自在に構成される。
【0017】また部品搬送アーム40には、部品Wを保
持する部品保持ハンド46が設けられる。本実施形態で
は、部品保持ハンド46は第二の部品搬送アーム40に
設けられる。この部品搬送アーム40には、部品Wを適
切な押圧力で基板B上に押圧する部品押圧機構が設けら
れる。ここで、この部品押圧機構について図4を参照し
て説明する。図4は、部品押圧機構の概略構成図であ
り、このうち図4(b)はこれを図3の矢視A方向から
見た図を示す。この部品押圧機構は、基板Bの部品載置
面に対して垂直な方向に押圧力が発生するよう設けられ
る。
【0018】本実施形態では、部品保持ハンド46は、
第二の部品搬送アーム40に、基板Bの部品設置面に対
して垂直な方向(すなわち鉛直方向)への移動を自在
に、弾性部材49例えばスプリングを介して支持され
る。このような構成では、部品Wが搬送中の位置、すな
わち所定の接合位置に載置される手前の位置にある際に
は、弾性部材49は部品保持ハンド46に作用する重力
(Fh)と部品に作用する重力(Fw)との合計重力:
Ft(=Fh+Fw)の分だけ伸長または圧縮してい
る。ここで、制御部26は、部品Wが所定の接合位置に
到達した時点から、さらに基板Bの部品設置面に対して
垂直にかつ基板B側に部品Wを押圧する方向(すなわち
本実施形態では鉛直下方)に第二の部品搬送アーム40
を移動させる。すると前記合計重力Ftによる弾性部材
49の伸長または圧縮は、移動距離dLに応じて緩和さ
れる。すなわち、弾性部材49に作用する伸張または圧
縮力Fsは、力dF=k×dl(k:弾性部材49の弾
性係数(例えばバネ常数))だけ小さくなり、Fs=F
t−dFとなる。逆に部品Wにはこの緩和された分の力
dFが部品保持ハンド46側から基板B側に向けて作用
することとなり、この力dFが部品Wを基板Bに押圧す
る押圧力となる。なお、第二の部品搬送アーム40に
は、垂直方向に移動自在なスライダ50aを備えるスラ
イドベアリング50が固定され、部品保持ハンド46は
このスライダ50aに固定される。また、第二の部品搬
送アーム40には、部品保持ハンド46を第二の部品搬
送アーム40にロックするロック機構57例えばエアシ
リンダ機構が設けられる。
【0019】また本実施形態では、部品Wの基板Bへの
押圧を検知する押圧センサ52例えば押圧スイッチが設
けられる。この押圧センサ52は、部品Wが所定の接合
位置に到達した地点から、前記基板Bの部品設置面に対
して垂直な方向にさらに所定距離dlの分第二の部品搬
送アーム40が移動したことを検知する。すなわち、押
圧センサ52と、このセンサに当接する当接部54と
は、第二の部品搬送アーム40および部品保持ハンド4
6に、対を成すよう設けられる(図4の例では、押圧セ
ンサ52を第二の部品搬送アーム40に備え、当接部5
4を部品保持ハンド46に備える)。また、これらは第
二の部品搬送アーム40の移動方向に所定距離dl離間
するよう設けられる。そして、第二の部品搬送アーム4
0が前記所定距離dl移動して押圧センサ52と当接部
54とが当接すると、この当接が押圧センサ52により
検出される。制御部26は、この押圧センサ52よりこ
の当接が検出されると、部品搬送アーム駆動機構を停止
して第二の部品搬送アーム40を停止させる。このよう
にして部品Wはこの接合位置において接合姿勢に維持さ
れる。
【0020】なお本実施形態では、押圧センサ52が作
用する所定距離dlを調整自在に構成される。これは押
圧センサ52と押圧センサ52に当接する当接部54と
の離間距離を調整自在とすることにより実現される。例
えば本実施形態では、押圧センサ52の当接部54を、
マイクロメータ56の備える進退自在な測定棒とし、こ
のマイクロメータ56の測定棒の突出量を調整すること
により、前記離間距離を調整自在とする。このような構
成によれば、その突出量すなわち調整代を読みとること
ができる。
【0021】部品保持ハンド46は吸着管74を備え、
部品Wを吸着保持する。このため、本実施形態では、部
品保持部20として、部品保持ハンド46の他、吸引力
を発生する図示しないバキュームポンプ58、吸引力を
制御する図示しない吸引制御弁60、および所定の吸引
力が発生したか否かを検出する吸引センサ62を備え
る。これらバキュームポンプ58、および吸引制御弁6
0は制御部26によりその動作を制御される。また吸引
センサ62は、吸着管74先端の吸着口74aからバキ
ュームポンプ58までの間の吸引管路の圧力を検出する
圧力センサとして設けることができる。
【0022】また本実施形態では、ガス供給ノズル47
は、加熱ガスと冷却ガスとの共用ノズルとして設けられ
る。そしてこれらガスで共用される共用ガス通路には、
該通路を通過するガスを加熱および/または冷却して、
加熱ガスまたは冷却ガスを調製する温調器64例えばヒ
ータあるいはペルチェ素子等を備える。本実施形態で
は、温調器64として電熱式ヒータを備える。制御部2
6は、ガス温度センサ84により検出されたガス温度に
基づいてこの温調器64の動作を制御する。
【0023】ここで、部品保持ハンド46の先端部に形
成されたガス供給ノズル47および部品吸着管74の構
成について図5を参照して説明する。図5は、部品保持
ハンド46の先端部の側面図(一部断面図)である。図
において、破線の矢印は吸引空気の流れを、また実線の
矢印は噴射ガスの流れを示す。本実施形態では、部品保
持ハンド46の先端部は、部品Wを吸着保持する吸着管
74を取り囲む環状のガス供給ノズル47を設けた二重
管構造を備える。
【0024】部品保持ハンド46の基台66には、ノズ
ルアーム68が挿入される。このノズルアーム68の根
元側は中空すなわち管状に、また先端側は中実に形成さ
れる。ノズルアーム68には、中実部68bを被覆し先
細部70aを備えた外筒70が取り付けられる。中実部
68bから中空部68aにかけては軸方向に平行な二面
による面取り68cが施され、これにより中実部68b
と外筒70との間に空間が形成されるとともに、この空
間と中空部68aとが連通してガス供給通路が形成され
る。外筒70の先端部にはガス噴射口72が設けられ、
ここからガスが噴射される。また、中空部68aには棒
状の電熱ヒータが挿入されている。
【0025】中実部68bには嵌装孔が設けられ、この
嵌装孔に吸着管74が嵌装される。この吸着管74はガ
ス噴射口72から外筒70の外側に突出し、このような
構成により、吸着管74を取り囲む環状のガス噴射口7
2が形成される。なお、吸着管74には、側方から外筒
70を貫通して吸引配管76が連通される。
【0026】本実施形態では、ガス供給ノズル47は、
部品保持ハンド46に設けられる。このため、保持した
部品Wとガス供給位置との相対的な位置関係が固定さ
れ、ガス供給時(すなわち、加熱ガスあるいは冷却ガス
の供給時)において、はんだ接合部に対するガスの供給
位置を一定に保ち、ガス供給により行う処理(例えば加
熱ガスの供給によるはんだの溶融処理、あるいは冷却ガ
スの供給による溶融したはんだの冷却処理等)の処理精
度を向上することができる。
【0027】また、本実施形態では、ガス供給ノズル4
7は、吸着管74の周囲を囲むように設けられる。この
ため、部品保持ハンド46により保持した部品Wの周囲
に沿って、はんだ接合部に対して全体的により均等にガ
スを供給することができるので、はんだ接合部の位置に
よる接合強度のばらつきを抑制し、接合精度をより向上
することができる。
【0028】また、本実施形態では、図5に示すよう
に、部品Wを包囲するようにガスが供給される。このた
め、はんだ接合部全体におけるはんだの酸化、フラック
スの焦げ、あるいは飛散等を抑制し、はんだ接合の精度
を向上することができる。
【0029】また、本実施形態では、部品Wを保持する
部品保持ハンド46は、基板Bおよび部品Wの上方から
部品Wを保持している。ガスが部品上方から供給されて
いる状態で、部品保持ハンド46が部品Wに対して側方
からアプローチした場合には、その部品保持ハンド46
の下方側(すなわち下流側)でガス流が乱れてしまう。
これに対し、本実施形態にかかる構成によれば、上方か
ら供給するガス流を、部品Wの周囲に沿って、はんだ接
合部に対して全体的により均等に供給することができる
ので、はんだ接合部の位置による接合強度のばらつきの
発生を抑制することができる。
【0030】なお、本実施形態では、この加熱ガスある
いは冷却ガスとして不活性ガス例えば窒素を用いる。こ
れにより、はんだ接合部のガス供給部分におけるはんだ
の酸化、フラックスの焦げ、あるいは飛散等を抑制し、
はんだ接合の精度を向上することができる。
【0031】また、本実施形態では、ガス供給部22と
して、窒素を生成する窒素生成器78、この窒素を供給
するガス供給ポンプ80、およびガスの供給量を制御す
るガス供給制御弁82を備える。これら窒素生成器7
8、ガス供給ポンプ80、ガス供給制御弁82はそれぞ
れ制御部26に制御される。
【0032】次に、本実施形態にかかるはんだ付け装置
における一つの部品を基板上にはんだ接合する手順につ
いて説明する。図6は、このはんだ付け手順を示すフロ
ーチャートである。
【0033】まず、はんだ付け装置10は、前記取得位
置に送出された部品Wを部品保持ハンド46により確保
し(搬送する部品の保持工程:S1)、部品搬送アーム
38,40により、この部品Wを、基板Bの所定位置の
手前の位置(例えば接合位置より所定高さ上方の位置)
まで搬送する(接合位置の手前の位置への搬送工程:S
2)。
【0034】次いで、部品搬送アーム38,40を移動
例えば下降させ、部品Wを基板B上の接合位置に当接さ
せ、その後も引き続き部品搬送アーム38,40を移動
例えば下降させる。そして押圧センサ52により部品W
の基板B上への押圧が検出された時点で、該下降を停止
する(部品搬送アームを下降する工程:S3)。これに
より、前述したように、部品Wが基板B上に押圧され
る。すなわち、部品Wは基板B上に所定の接合姿勢で維
持される。また、この工程S3における部品Wの搬送速
度v3は、前の工程S2における部品Wの搬送速度v2
より遅く設定する。これにより、工程S2において部品
Wを所定位置(接合位置の手前の位置)へ素早く移動し
てスループットの向上を図るともに、工程S3において
部品Wの基板Bへの当接あるいは押圧時に部品Wに加わ
る衝撃の低減を図ることができる。
【0035】次いで、加熱ガスを供給する(加熱ガスの
供給工程:S4)。この加熱ガスは、本実施形態では、
共通ガス通路に設けられた温調器64例えば電熱ヒータ
により例えば加熱されることにより調製される。温調器
64による温調(例えば電熱ヒータの加熱)は、この工
程S4の開始より前、かつ現工程で処理する前の部品W
に対する冷却ガスの供給工程(すなわち前の部品に対す
る工程S5)が終了した時点以降に開始することができ
る。これにより、温調器64による温調を速やかに開始
することができる。
【0036】次いで、冷却ガスを供給する(冷却ガスの
供給工程:S5)。本実施形態では、温調器64による
温調を停止して冷却ガスを調製する。また、本実施形態
では、この工程S5におけるガス流量を、前の工程S4
におけるガス流量より多く設定し、このガスにより電熱
ヒータを素早く冷却し、速やかな冷却ガスの調製を図
る。
【0037】そして、部品保持ハンド46から部品Wを
解放する(部品の解放工程:S6)。次いで、部品搬送
アーム38,40を少なくとも押圧センサ52による押
圧が検出されなくなる位置まで移動例えば上昇させ(部
品解放後の部品搬送アームの上昇行程:S7)、部品搬
送アーム38,40を移動し、次の部品取得待機位置ま
で移動する(部品搬送アームの移動工程:S8)。この
とき、工程S8における部品搬送アーム38,40の移
動速度を、工程S7における部品搬送アーム38,40
の移動速度より大きく設定する。これにより、工程S7
においては部品の解放により部品Wに作用する力を低減
するとともに、工程S8においては部品搬送アーム3
8,40を素早く移動させスループットの向上を図る。
また、工程S7の上昇を、押圧センサ52による押圧が
検出されなくなる位置までとすることにより、工程S8
より遅い移動速度による移動距離を極力小さくし、これ
によりスループットの向上を図ることができる。
【0038】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
手作業によらずはんだ接合を行うことができるので、は
んだ接合に要する手間および時間を低減することができ
る。また、部品の保持位置と加熱ガス供給位置もしくは
冷却ガス供給位置との相対的な位置関係を固定し、また
ガス供給中に部品を基板上で所定の接合姿勢に維持する
ことができるので、より良好な接合状態を得ることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態にかかるはんだ付け装置の
外観図である。
【図2】 本発明の実施形態にかかるはんだ付け装置の
機能ブロック図である。
【図3】 本発明の実施形態にかかるはんだ付け装置の
はんだ接合処理部の概略構成図である。
【図4】 本発明の実施形態にかかるはんだ付け装置の
部品押圧機構の概略構成図である。
【図5】 本発明の実施形態にかかるはんだ付け装置の
部品保持ハンドの概略構成図である。
【図6】 本発明の実施形態にかかるはんだ付け装置に
よるはんだ付け方法を示すフローチャートである。
【図7】 従来のはんだ付け手法を示す説明図である。
【符号の説明】
10 はんだ付け装置、38,40 部品搬送アーム、
46 部品保持ハンド、47 ガス供給ノズル(加熱ガ
ス供給ノズル、冷却ガス供給ノズル)、64温調器、6
5 共用ガス通路、B 基板、W 部品。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B23K 31/02 310 B23K 31/02 310H (72)発明者 坂口 剛士 長野県上田市踏入2丁目10番19号 上田日 本無線株式会社内 Fターム(参考) 5E319 AA03 AC01 CC12 CC49 CC58 GG03 GG15

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板に部品をはんだ接合するはんだ付け
    装置において、 基板上のはんだ接合位置に部品を搬送し、この位置で部
    品を所定の接合姿勢に維持する部品搬送アームと、 前記部品搬送アームに設けられ、部品が前記所定の接合
    姿勢に維持された状態で、基板と部品とのはんだ接合部
    に加熱ガスを供給し、該接合部に予め塗布されたはんだ
    を溶融する加熱ガス供給ノズルと、 を備えることを特徴とするはんだ付け装置。
  2. 【請求項2】 前記部品搬送アームに設けられ、はんだ
    溶融後に部品が前記所定の接合姿勢に維持された状態
    で、前記はんだ接合部に冷却ガスを供給して前記溶融し
    たはんだを冷却する冷却ガス供給ノズルを備えることを
    特徴とする請求項1に記載のはんだ付け装置。
  3. 【請求項3】 前記加熱ガス供給ノズルあるいは前記冷
    却ガス供給ノズルは、部品を包囲するガス流が形成され
    るようガスを供給することを特徴とする請求項1または
    2に記載のはんだ付け装置。
  4. 【請求項4】 前記部品搬送アームは部品を上方から保
    持する部品保持ハンドを備えることを特徴とする請求項
    1乃至3のいずれかに記載のはんだ付け装置。
  5. 【請求項5】 前記部品保持ハンドは、部品を上方から
    吸着保持する吸着管を備え、 前記加熱ガス供給ノズルあるいは冷却ガス供給ノズルの
    ガス噴出口は、前記吸着管の周囲を囲むように設けられ
    ることを特徴とする請求項4に記載のはんだ付け装置。
  6. 【請求項6】 前記加熱ガスと前記冷却ガスとで共用す
    る共用ガス通路と、 前記共用ガス通路に設けられ、該通路を通過するガスを
    加熱および/または冷却して、前記加熱ガスおよび前記
    冷却ガスを調製する温調器と、 を備える請求項2乃至5のいずれかに記載のはんだ付け
    装置。
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