JP7425476B2 - 接合装置 - Google Patents
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Description
図1は、接合装置1を使用して製造するワーク10の構成の1例を示す図である。図1(a)は平面図、図1(b)は、図1(a)のA-A切断線で切断した断面図である。ワーク10は、基板11と電子部品12A~12Dの間に接合材13を介在させて加熱・加圧することによって接合されたものである。本例においては、接合対象部材として、Au又はCuなどの回路パターンが形成された基板11を例にあげて説明するが、被接合部材としては基板に限らずリードフレーム、金属、ガラス、セラミックなどを材料とする板状部材にも適合可能である。
以下に接合装置1の構成例について図2~図5を参照して説明する。なお、図2~図5においては、電子部品12Aを接合する場合を代表例として説明する。
続いて、電子部品12A~12Dの接合方法について図6~図8を参照して説明する。ここでは、図5に示す接合装置1を使用し、4個の電子部品12A~12Dを基板11に接合する場合について、図6に示す工程フロー図に従い説明する。
Claims (5)
- 被接合部材と接合対象部材との間に所定の形状に成形された接合材を介在させ、加熱・加圧して被接合部材に接合対象部材を接合する接合装置であって、
前記接合材を前記被接合部材の上面に供給し加圧する接合材接合ヘッドと、
前記被接合部材に接合された前記接合材の上面に前記接合対象部材を供給し加熱・加圧する接合対象部材接合ヘッドと、
前記接合材の前記被接合部材への接合、及び前記接合対象部材の前記被接合部材への接合を行う接合加工室と、
を有し、
前記接合加工室は、対向する側壁部から水平方向に不活性ガスを噴出する側部噴出し孔、及び前記接合加工室の天井板部から垂直方向下方に前記不活性ガスを噴出する上部噴出し孔を有しており、
前記接合加工室は、低酸素濃度に常時制御されている、
ことを特徴とする接合装置。 - 請求項1に記載の接合装置において、
前記接合加工室には、前記接合材接合ヘッド又は前記接合対象部材接合ヘッドが水平方向及び垂直方向に移動することが可能な開口部が設けられており、
前記接合加工室の上部には、前記開口部の一部を閉鎖することが可能なシャッタープレートがさらに配設されている、
ことを特徴とする接合装置。 - 請求項2に記載の接合装置において、
前記シャッタープレートは、前記接合材接合ヘッド又は前記接合対象部材接合ヘッドが垂直方向に出入可能な孔部を有し、
前記開口部のうち、前記孔部と交差する範囲以外の領域を閉鎖することが可能である、
ことを特徴とする接合装置。 - 請求項2又は請求項3に記載の接合装置において、
前記接合材接合ヘッド、前記接合対象部材接合ヘッド及び前記シャッタープレートから構成される接合ユニットを1ユニットとしたとき、
前記被接合部材に接合すべき複数の前記接合対象部材のそれぞれに対応する前記接合ユニットが所定の間隔を有して配列され、
前記接合加工室は、複数の前記接合ユニットの配置位置全部に亘って延長されており、
前記接合加工室は、対向する前記側壁部から水平方向に前記不活性ガスを噴出する前記側部噴出し孔と、前記天井板部から垂直方向下方に前記不活性ガスを噴出する前記上部噴出し孔と、を有している、
ことを特徴とする接合装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の接合装置において、
接合時に、前記被接合部材と前記接合対象部材とを前記接合材を介して接合させる接合領域の酸素濃度が100ppm以下に制御されている、
ことを特徴とする接合装置。
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