JP2002056510A - シールド型磁気ヘッド並びに磁気再生装置 - Google Patents

シールド型磁気ヘッド並びに磁気再生装置

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JP2002056510A JP2000238630A JP2000238630A JP2002056510A JP 2002056510 A JP2002056510 A JP 2002056510A JP 2000238630 A JP2000238630 A JP 2000238630A JP 2000238630 A JP2000238630 A JP 2000238630A JP 2002056510 A JP2002056510 A JP 2002056510A
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conductive
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film
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Akio Kuroe
章郎 黒江
Akio Murata
明夫 村田
Sayuri Muramatsu
小百合 村松
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 シールド型高周波インピーダンスヘッドを、
信号磁界によって変化しないインピーダンス成分を相殺
し、信号磁界によって変化するインピーダンス成分のみ
を検出する高感度な磁気ヘッドとして構成する。 【解決手段】 シールド型磁気ヘッドを構成するギャッ
プ7中に、磁気記録媒体との対向面に平行な方向に延び
る複数本の導電性磁性膜1、2、3、4を、前記対向面
に垂直な方向に相互に間隔を設けて並べて配置した構成
とする。4本の導電性磁性膜によりブリッジ回路を形成
して、高周波キャリア信号を印加し、磁気記録媒体の信
号磁界による第1の導電性磁性膜1のインピーダンスの
変化を、高周波キャリア信号の変化として検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高周波インピーダ
ンス変化を用いた高感度なアクティブ方式のシールド型
磁気ヘッド及び高密度磁気再生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図6は、電子情報学会技報MR95−8
0に記載された、磁気インピーダンスの変化を用いた磁
気インピーダンス素子を用いたMIヘッドの動作原理を
示す。図6において、導電性金属薄膜からなる検出導体
膜20は、トラック幅Tにわたって軟磁性コア21a及
び21bによって挟持されている。軟磁性コア21a及
び21bは、パーマロイ膜PとSiO2膜Sの積層膜か
らなる。UHF帯の高周波発信器22により高周波信号
を抵抗23を介して印加して、電流24を検出導体膜2
0に通電し、検出導体薄膜20の両端に配備した端子2
5及び26間の磁気インピーダンスの変化に基づいて、
その端子間の電圧変化をを検出する。
【0003】磁気記録媒体27上の磁化28から発生す
る信号磁界が存在しない場合には、端子25及び26間
には、電流24と検出導体薄膜16の端子25及び26
間のインピーダンスとの積に相当するUHFキャリア信
号の電圧が発生する。磁気録媒体からの信号磁界を受け
た場合には、素子の軟磁性コアの磁化の容易磁化方向が
トラック幅方向に配向されているため、磁化が信号磁界
によって配向方向から傾き、磁気インピーダンスが小さ
くなる。従って、UHFキャリア信号が磁気記録媒体の
信号磁界によってAM変調された形で検出される。この
信号をAM検波することによって磁気記録媒体27上の
信号磁化28を読み出すことができる。
【0004】このヘッドが実現されると現在開発が進め
られているジャイアントMRヘッドの約10倍の出力が
得られる可能性が有る。図7は、図6に示す素子の動作
カーブを示すもので、キャリア信号周波数1.0GHz
として、上記素子をヘルムホルツコイルの中央部におい
てdc磁界を加えて求めたものである。図7から分かる
ように、感度良く信号を再生し、歪みの小さな波形を得
るには、直流バイアス29の設定が必要になる。上記モ
デルでは、キャリア信号と直流電流を導体中に流して直
流磁界を発生させバイアスとしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この方法で
は、検出導体の寸法、特に断面積を小さくすると抵抗値
が著しく大きくなり、また検出導体周りの磁性体膜厚を
薄くするとインダクタンス、すなわちインピーダンスが
小さくなるという欠点があった。さらに線記録密度を向
上させるためには、検出部が磁気記録媒体に近接し強い
媒体からの信号磁界を検出するシールド型の磁気ヘッド
に適用できることが望まれた。
【0006】このように、高密度記録を実現する高感度
な磁気ヘッドの実現が望まれるが、そのためには、高周
波におけるインピーダンス変化を利用した新しい検出法
を考案しその動作特性を明らかにすることが必要であ
る。
【0007】従って本発明は、インピーダンスの変化分
のみを効率的に検出することが可能であって、解像度が
優れかつ高感度な高周波インピーダンス型磁気ヘッドを
実現することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明の基本構成におけるシールド型磁気ヘッド
は、シールド型磁気ヘッドを構成するギャップ中に、磁
気記録媒体との対向面に平行な方向に延びる複数本の導
電性磁性膜を、前記対向面に垂直な方向に相互に間隔を
設けて並べて配置した構成を有する。
【0009】この構成において好ましくは、複数本の導
電性磁性膜は、磁気記録媒体面と対向する側から順に配
置された第1から第4の導電性磁性膜を含み、4本の導
電性磁性膜によってブリッジ回路が構成される。また、
4本の導電性磁性膜のうち、第1の導電性磁性膜に磁気
記録媒体からの信号磁界が印加されるように、導電性磁
性膜間の距離が設定される。
【0010】さらに好ましくは、実質的に第1の導電性
磁性膜のみに磁気記録媒体からの信号磁界が印加される
ように、前記導電性磁性膜間の距離が設定される。
【0011】また、上記の基本構成において好ましく
は、ギャップを形成する1対のシールド用軟磁性体と、
磁気記録媒体面と対向する側から順に配置されギャップ
中に絶縁体膜を介して挟み込まれた第1から第4の導電
性磁性膜と、4本の導電性磁性膜によって形成されたブ
リッジ回路と、第1から第4の導電性磁性膜に直流磁界
を印加する手段と、ブリッジ回路に信号を供給するため
に用いられる第1及び第2の電極端子と、ブリッジ回路
から信号を検出するために用いられる第3及び第4の電
極端子と、第1及び第2の電極端子に接続した高周波発
信器と、第3及び第4の電極端子に接続した高周波増幅
器とを備える。そして、磁気記録媒体の信号磁界による
第1の導電性磁性膜のインピーダンスの変化を、高周波
キャリア信号の変化として検出する。
【0012】この構成において好ましくは、高周波キャ
リア信号周波数におけるシールド用軟磁性体の実効透磁
率を、導電性磁性膜の実効透磁率より小とする。また好
ましくは、導電性磁性膜の厚みを、高周波キャリア信号
周波数におけるスキンデプス以下に構成する。また好ま
しくは、シールド用軟磁性体は、導電性磁性膜に相対す
る面に配置された高周波特性の優れた第1の磁性体と、
その外側に配置され、磁気記録媒体から発生する信号に
応答する第2の磁性体とを含む構成とする。また好まし
くは、高周波キャリア信号電流に直流バイアスとして直
流電流を重畳させて導電性磁性膜に印加する。
【0013】本発明の磁気再生装置は、上記のいずれか
の構成のシールド型磁気ヘッドと、磁気的に信号が記録
されている記録媒体を保持する手段と、記録媒体上の所
定の位置へシールド磁気ヘッドを位置決めするための位
置決め手段とを備える。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図1〜図5を用いて、本発
明の実施の形態について詳細に説明する。
【0015】まず、本発明の原理について説明する。導
体に電流を流したときに発生する磁束と電流の差交数に
よってインダクタンスが決定することは、電磁気学的に
自明のことである。このときのインダクタンスを、内部
インダクタンスと外部インダクタンスに分けて考えるこ
とができる。内部インダクタンスは、導体内部の電流と
導体内部に発生した磁束できまるインダクタンス、外部
インダクタンスは、導体内部を流れる電流と導体の外部
に発生する磁束とで決まるインダクタンスである。例え
ば、磁性体の周りに非磁性の導体線を巻いたときのイン
ダクタンスや、非磁性の導体の周りに軟磁性体を形成し
たときのインダクタンスは外部インダクタンスと見てよ
い。
【0016】ところで、従来の磁気ヘッドの信号の検出
法としては、MRやGMRなどの様に抵抗変化を利用す
る方法、MI効果のように渦電流を利用し磁界で変化す
るスキンデプスによる抵抗変化により信号を検出する方
法、あるいは、従来例に示した様に軟磁性体とSiO2
膜を積層した膜によって導電性金属膜を挟み込んだ形に
形成することによって、外部インピーダンスを利用して
信号磁界印加により変化するインピーダンスを利用して
検出する方法がある。
【0017】本発明の検出方法は、第1の磁性体である
リボン状の導電性磁性薄膜の内部インダクタンスの信号
磁界による変化を主として検出するものである。またこ
れに加えて、シールドコアの表面に第2の磁性体膜を形
成することによって外部インピーダンスを組み合わせ
て、内部及び外部インピーダンスの磁界による変化を信
号検出法として用いることもできる。
【0018】一般に導電性金属膜では、その厚みが減少
するにつれて抵抗成分が増加することはよく知られてい
る。軟磁性体に直接通電してMI効果を使用する場合に
は、渦電流によるスキンデプスを発生させその大小を利
用することが必要なため、軟磁性体の寸法をスキンデプ
スよりかなり厚くする必要があり、磁気ヘッドに組み込
むには寸法的な制限が生じる。導体性金属膜の周りに軟
磁性体膜を形成し外部インピーダンスを利用する従来例
の場合でも、抵抗成分は磁気回路を貫通する導体膜の断
面積に関係し、特に金属導体の断面積を小さくすると、
磁界によって変化しない抵抗成分が極めて大きくなっ
て、信号磁界によるインピーダンスの変化が大幅にマス
クされることが分かった。
【0019】したがって、非常に大きい抵抗成分を相殺
して、変化分のみを検出することが望ましい。本発明で
は、シールド型磁気ヘッドのシールドコア間に配置した
複数の導電性磁性体膜により、ホイーストンブリッジ回
路を構成する。それにより、軟磁性体膜が薄くなること
に起因して大幅に増加する抵抗成分を相殺し、信号磁界
によって変化するインピーダンス成分のみを検出するこ
とを可能とする。
【0020】本発明では、シールド型の磁気ヘッドのよ
うに、例えば0.1μm以下の狭ギャップの中に導電性
磁性体膜を挿入する。したがって、導電性磁性体膜の厚
みは500Å以下となり、極めて薄いので、変化しない
抵抗成分が大幅に増加する。このように内部インダクタ
ンスを利用して検出する方式、すなわち、渦電流によっ
てスキンデプスが発生し得ない程度の厚みの薄膜に直接
高周波電流を通電し、印加磁界によって変化する透磁率
によって生じる内部インダクタンス変化を利用して信号
を検出する方式の磁気ヘッドは、従来存在しなかった。
【0021】また本発明の磁気ヘッドは、構造上はMR
やGMRの構造と同じような形態を示しているが、それ
らが直流電流を通電し、磁界による抵抗変化を利用して
いるのに対して、本発明の実施の形態では、高周波キャ
リア信号を用い、導電性磁性薄膜とシールド用軟磁性体
上に形成した第2の磁性体の高周波透磁率をシールド用
軟磁性体の高周波透磁率と変えている点で、異なってい
る。さらに、導電性磁性薄膜を薄くすることによる抵抗
の増大する成分を、4本の導電性磁性薄膜を用いて相殺
する点で、異なっている。したがって、構造は同じよう
に見えても、単に、従来のMRやGMRヘッドの導体薄
膜に高周波電流を通電しても、高周波インピーダンスは
大きな抵抗成分にマスクされ、所望の出力が得られな
い。
【0022】(実施の形態1)図1は実施の形態1にお
ける磁気ヘッドの構成を示す正面断面図、図2は側面図
を示す。図1に示すように、第1の導電性磁性膜1、第
2の導電性磁性膜2、第3の導電性磁性体3及び第4の
導電性磁性膜4からなる4本の導電性磁性膜が、CoN
bZrとSiO2の積層膜からなるシールドコア5及び
6間の、SiO2からなる絶縁体のギャップ7中に配置
されている。8は磁気記録媒体を示す。
【0023】図2の磁気ヘッド14は、図1の矢印12
方向に見た側面が示されている。導電性磁性膜1、2、
3、4はブリッジに接続され、その出力は高周波増幅器
13に印加される。また、直流電源15からの直流バイ
アス電流と、高周波発信器16からの高周波キャリア信
号電流とが重畳され、抵抗17を介してブリッジ回路に
印加される。
【0024】このように構成した磁気ヘッドを、図1に
示すように磁気記録媒体8と対向させて走行させると、
磁気記録媒体8の信号磁化9からの磁束10及び11
は、第1の導電性磁性膜1、及びシールドコア5及びシ
ールドコア6を通る。この場合、第1導電性磁性膜1と
第2の導電性磁性膜2の間隔wを十分大きくとることに
よって、磁束が、第2、第3、第4の導電性磁性膜2、
3、4を通過しないように設計できる。
【0025】図3は、図2において導電性磁性膜1、
2、3、4により構成されるホイーストンブリッジ回路
を示す回路図である。インピーダンスZ1、Z2、Z
3、Z4は、導電性磁性膜1、2、3、4に対応する。
接点(a)及び(c)間に高周波信号発生器16より高
周波信号を加える。そのブリッジ回路の出力を接点
(b)及び(d)間で検出する。導電性磁性膜1、2、
3、4のインピーダンスZ1、Z2、Z3、Z4が各々
等しい場合には接点(b)及び(d)間には電圧が生じ
ない。このためには、導電性磁性膜1、2、3、4をギ
ャップ中に等間隔に並べることが望ましい。それによ
り、GHz帯のキャリアに対して境界条件を同一にする
ことができるため、インピーダンスZ1、Z2、Z3、
Z4が等しくなり易いからである。
【0026】このように構成したシールド型磁気ヘッド
14では、磁気記録媒体8からの信号磁界が無い場合に
は、導電性磁性膜1、2、3、4のインピーダンスが等
しいため、ブリッジ回路の接点(b)及び(d)に各々
接続した電極端子(e)及び(f)間には出力電圧が発
生しない。磁気記録媒体8から信号磁界が発生すると、
第1の導電性磁性膜1にのみ磁気記録媒体8からの信号
の磁束10、11が流れる。それにより、第1の導電性
磁性膜1のインピーダンスZ1のみが変化し、磁界によ
って変化しないインピーダンス成分は相殺される。した
がって信号磁界によるインピーダンス変化分のみが、ブ
リッジ回路の出力として電極端子(e)及び(f)間に
検出されることになる。この信号を高周波増幅器13に
より増幅する。
【0027】なお、接点(a)、(b)、(c)、
(d)は、導電性の良いCu、Al、Au、Agなどの
導電性の良い材料膜で、なるべく厚めに形成することに
よって、精度の良好なブリッジ回路を形成できる。ま
た、導電性磁性膜1、2、3、4とシールドコア5、6
の材料の実効透磁率の周波数特性は、図4に示すように
設定する。すなわち、高周波キャリア信号周波数を1G
Hzとした時、導電性磁性膜1、2、3、4の実効透磁
率μ1が、シールドコア5、6の実効透磁率μcより大
となるように構成する。それにより、高周波キャリア信
号と磁気記録媒体からの信号成分に応答する領域を、導
電性磁性膜とシールドコアによって役割を分担する形に
なっている。
【0028】導電性磁性膜としては、FeTaN膜に限
らず、NiFe、FeCo系、FeN系などの軟磁性体
の全てが有効である。
【0029】(実施の形態2)図5は、実施の形態2の
シールド型磁気ヘッドの断面図を示す。本実施の形態
は、実施の形態1と動作原理は同様であるので、詳細な
説明については省略する。実施の形態1との違いは、シ
ールドコア5及び6のギャップ面側の面に、キャリア信
号周波数に応答する透磁率をもつ第2の軟磁性体膜18
を形成した点である。
【0030】このように形成すると、磁気記録媒体8か
ら発生している信号磁束は、第2の軟磁性膜18中を通
過するため、外部インピーダンスが発生し、各一本当た
りのインピーダンスが大きくなる効果がある。インピー
ダンスが大きくなることによって、信号磁界によって変
化する電圧が増大する効果が得られる。
【0031】この場合、第2の軟磁性体膜18として
は、4本の導電性磁性体膜と同じFeTaNに限られ
ず、NiFe、FeCo系、FeN系などの軟磁性体の
全てが有効である。
【0032】なお、実施の形態1及び2では、導電性磁
性薄膜としてFeTaN膜を用いた例を示したが、パー
マロイなど比抵抗の小さな磁性体の方がより好適であ
る。FeTaN膜の比抵抗が75Ω・cmであるのにに
対して、パーマロイ膜の比抵抗は20Ω・cmであり、
例えば膜厚が500Å、長さ:0.5μm、幅:0.5
μmの場合、15オーム程度から4オーム程度まで引き
下げることができる。磁界によって変化するインピーダ
ンスに対して、相殺すべき抵抗値が大幅に大きい場合に
は、相殺の誤差が大きくなるが、比抵抗の小さな材料を
選ぶことにより、誤差を小さくすることができるので、
有効である。
【0033】また、ギャップを形成する誘電体として、
上記の実施の形態ではSiO2を用いた例を示したが、
更にアルミナ、ガラスなどの無機質の誘電体膜が有効で
ある、またシールド用軟磁性体膜として、渦電流が生じ
ないようにCoZrNb金属磁性体とSiO2との積層
膜を用いたが、他の金属磁性体としてFe系及びCo系
金属磁性体、フェライト酸化物などが有効である。
【0034】
【発明の効果】本発明によれば、シールド型高周波イン
ピーダンスヘッドのギャップ間に複数本の導電性磁性膜
を配置して、ブリッジ回路を形成することによって、信
号磁界によって変化しないインピーダンス成分を相殺
し、信号磁界によって変化するインピーダンス成分のみ
を検出する、高感度な磁気ヘッド実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における磁気ヘッドの断
面図
【図2】図1の磁気ヘッドの側面図
【図3】図1の磁気ヘッドの要部を構成するブリッジ回
路の図
【図4】実施の形態1における磁気ヘッドに用いた磁気
材料の透磁率特性図
【図5】実施の形態2の磁気ヘッドの断面図
【図6】従来のMIヘッドの動作原理を示す斜視図
【図7】図6のMIヘッドの動作を示すグラフ
【符号の説明】
1 導電性磁性薄膜 2 導電性磁性薄膜 3 導電性磁性薄膜 4 導電性磁性薄膜 5 シールドコア 6 シールドコア 7 ギャップ 8 磁気記録媒体 9 信号磁化 10 磁束 11 磁束 12 矢印 13 高周波増幅器 14 磁気ヘッド 15 直流電源 16 高周波発信器 17 抵抗 18 軟磁性膜 20 検出導体膜 21a、21b 軟磁性コア 22 高周波発信器 23 抵抗 24 電流 25 端子 26 端子 27 磁気記録媒体 28 信号磁化 29 直流バイアス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村松 小百合 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2G017 AA01 AC01 AD51 AD65 5D091 DD03 HH20

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シールド型磁気ヘッドを構成するギャッ
    プ中に、磁気記録媒体との対向面に平行な方向に延びる
    複数本の導電性磁性膜を、前記対向面に垂直な方向に相
    互に間隔を設けて並べて配置したことを特徴とするシー
    ルド型磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記複数本の導電性磁性膜は、前記磁気
    記録媒体面と対向する側から順に配置された第1から第
    4の導電性磁性膜を含み、前記4本の導電性磁性膜によ
    ってブリッジ回路が構成され、前記4本の導電性磁性膜
    のうち、前記第1の導電性磁性膜に前記磁気記録媒体か
    らの信号磁界が印加されるように、前記導電性磁性膜間
    の距離が設定されたことを特徴とする請求項1記載のシ
    ールド型磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】 実質的に前記第1の導電性磁性膜のみに
    前記磁気記録媒体からの信号磁界が印加されるように、
    前記導電性磁性膜間の距離が設定されたことを特徴とす
    る請求項2記載のシールド型磁気ヘッド。
  4. 【請求項4】 前記ギャップを形成する1対のシールド
    用軟磁性体と、前記磁気記録媒体面と対向する側から順
    に配置され前記ギャップ中に絶縁体膜を介して挟み込ま
    れた第1から第4の導電性磁性膜と、前記4本の導電性
    磁性膜によって形成されたブリッジ回路と、前記第1か
    ら第4の導電性磁性膜に直流磁界を印加する手段と、前
    記ブリッジ回路に信号を供給するために用いられる第1
    及び第2の電極端子と、前記ブリッジ回路から信号を検
    出するために用いられる第3及び第4の電極端子と、前
    記第1及び第2の電極端子に接続した高周波発信器と、
    前記第3及び第4の電極端子に接続した高周波増幅器と
    を備え、前記磁気記録媒体の信号磁界による前記第1の
    導電性磁性膜のインピーダンスの変化を、前記高周波キ
    ャリア信号の変化として検出することを特徴とする請求
    項1記載のシールド型磁気ヘッド。
  5. 【請求項5】 高周波キャリア信号周波数における前記
    シールド用軟磁性体の実効透磁率が前記導電性磁性膜の
    実効透磁率より小であることを特徴とする請求項4記載
    のシールド型磁気ヘッド。
  6. 【請求項6】 前記導電性磁性膜の厚みを、高周波キャ
    リア信号周波数におけるスキンデプス以下に構成したこ
    とを特徴とする請求項4記載のシールド型磁気ヘッド。
  7. 【請求項7】 前記シールド用軟磁性体は、前記導電性
    磁性膜に相対する面に配置された高周波特性の優れた第
    1の磁性体と、その外側に配置され、磁気記録媒体から
    発生する信号に応答する第2の磁性体とを含むことを特
    徴とする請求項4記載のシールド型磁気ヘッド。
  8. 【請求項8】 高周波キャリア信号電流に直流バイアス
    として直流電流を重畳させて導電性磁性膜に印加するこ
    とを特徴とする請求項第4記載のシールド型磁気ヘッ
    ド。
  9. 【請求項9】 請求項1〜8のいずれかに記載のシール
    ド型磁気ヘッドと、磁気的に信号が記録されている記録
    媒体を保持する手段と、前記記録媒体上の所定の位置へ
    前記磁気ヘッドを位置決めするための位置決め手段とを
    備えたことを特徴とする磁気再生装置。
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