JP2002053981A - 電子部品用材料、電子部品用材料の接続方法、ボールグリッドアレイ型電子部品およびボールグリッドアレイ型電子部品の接続方法 - Google Patents
電子部品用材料、電子部品用材料の接続方法、ボールグリッドアレイ型電子部品およびボールグリッドアレイ型電子部品の接続方法Info
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Abstract
に、はんだ付け性や外観を損なうことを防止し、あわせ
て、ウイスカーの発生を防止することができる電子部品
用材料を提供する。 【解決手段】 基材である金属材料上に設けられた、金
属Xと金属Yとを混在してなるめっきA層と、前記めっ
きA層の上に設けられた、金属Xからなるコーティング
B層と、を有する電子部品用材料。
Description
関し、詳しくは、はんだ付けを行い、基板や信号線など
と電気的に接続される接続部分を構成する電子部品用材
料に関する。また、本発明は、そのような電子部品用材
料の接続方法に関する。さらに、本発明は、ボールグリ
ッドアレイ型電子部品およびボールグリッドアレイ型電
子部品の接続方法に関する。
タクトピンは、コンタクトピンの濡れ性(はんだ付け
性)を向上させるために、はんだ付けを行って信号線と
電気的に接続される場合がある。コンタクトピンに対し
はんだ付けを行って信号線と電気的に接続する場合、非
常に厳しい接触抵抗が要求される場合は金めっきもしく
はパラジウムめっきが使用される。しかしながら、金め
っきもしくは白金めっきはコスト的にも高価であるた
め、銀めっき、錫めっきなどがコンタクトピンの表面に
使用される場合もある。
化により錫の結晶が成長して針状あるいは樹枝状の組織
(以下、ウイスカーという。)が表面に発生するという
問題がある。
は、錫めっき面をきわめて粗くし、接点・端子の接触抵
抗を増大させ、あるいは極板端子どうしが接触すること
で耐久性や信頼性を低下させる。したがってその発生を
防止する必要がある。
して、錫めっきに代えてはんだめっきを用いる方法があ
る。コンタクトピンの濡れ性(はんだ付け性)を向上さ
せるために、はんだめっきのひとつとして、錫−鉛のは
んだをコンタクトピンの表面にめっきされる技術があ
る。しかしながら、鉛は有害となる場合があるので環境
問題などの観点から鉛を用いない表面処理を施したコン
タクトピンが求められる。
銀のはんだ、錫−亜鉛のはんだなど種々のはんだが開発
されているが、そのようなはんだめっきのひとつとし
て、錫−銅のはんだをコンタクトピンの表面にめっきす
る技術がある。
めっきの仕上がり、特に従来からの錫−鉛はんだと比較
して光沢仕上がりが劣る傾向がある。
部品の保管中にめっきが酸化し経時変化し易く、その後
のフローあるいはリフロー・ソルダリングの際にはんだ
付け性が悪くなるという問題がある。
子機器は、小型軽量、高機能高性能の進展が著しいが、
これはICの小型化、高機能化によるところが大きい。
ICの小型化、高機能化には必然的にICチップの入出
力端子数の増大、狭ピッチが要求される。これらICの
実装形態は、従来リードフレームを利用したデュアル・
インライン・パッケージやクアッド・フラット・パッケ
ージが主流であったが、これらの実装方式は電極配列が
周辺構造であるため、電極をICの周辺から引き出すこ
としかできず、その入出力用ピン数の増大や狭ピッチに
は限界があった。そこで注目を浴びているのがボールグ
リッドアレイ型電子部品で、この実装方式は、はんだボ
ールの配列がマトリックス構造であるため、IC面内を
利用して電極を引き出すことができ、入出力端子の増
大、小型化に有利である。
合金で形成されている場合があるが、この錫−鉛の合金
で形成されたはんだボールは、はんだ付けを行う相手方
との濡れ性が悪い場合があるため、比較的強いフラック
スを使用する場合がある。しかしながら、強いフラック
スを使用した場合にあっては、はんだボールと相手方と
の電気伝導性を阻害する可能性がある。そのため、この
フラックスを除去するためにフロンなどを含有する洗浄
剤を用いて洗浄する場合があるが、周知のとおりフロン
は環境保護上問題がある。
錫−鉛の合金で形成されている場合、鉛は比較的有害性
を有する金属であるため、環境問題の観点から鉛の使用
を避けることが好ましい。しかしながら、鉛の使用を避
けるべく、電極部分であるはんだボールに錫−銅の合金
や錫−銀の合金を用いた場合、はんだボールに錫−鉛の
合金を用いた場合と比較して、はんだ付けの濡れ性が悪
くなる場合がある。
を解決するものであり、はんだ付けの濡れ性を良好に担
保するとともに、はんだ付け性や外観を損なうことを防
止し、あわせて、ウイスカーの発生を防止することがで
きる電子部品用材料を提供するものである。また、本発
明はそのような電子部品用材料を濡れ性良く他の部品と
接続できる、電子部品用材料の接続方法を提供するもの
である。また、本発明は、濡れ性良くはんだボールを接
続することできるボールグリッドアレイ型電子部品およ
びボールグリッドアレイ型電子部品の接続方法を提供す
るものである。
材料は、請求項1に記載のように、基材である金属材料
上に設けられた、金属Xと金属Yとを混在してなるめっ
きA層と、前記めっきA層の上に設けられた、金属Xか
らなるコーティングB層と、を有する電子部品用材料で
ある。
求項2に記載のように、請求項1記載の発明において、
前記金属Xは錫であり、前記金属Yは銅、銀、ビスマ
ス、もしくは、亜鉛である電子部品用材料である。
求項3に記載のように、基材である金属材料上に設けら
れ、銀、銅、亜鉛、ビスマス、もしくは、インジウムの
うち少なくとも一つを含有するとともに、錫を含有して
なるめっきA層と、前記めっきA層の上に設けられた、
錫からなるコーティングB層と、を有する電子部品用材
料である。
求項4に記載のように、請求項1〜3のいずれかに記載
の発明において、前記コーティングB層の厚みは、0.
05〜1.0μmである電子部品用材料である。
方法は、請求項5に記載のように、電子部品用材料に対
してはんだ付けを行って、他の部品と電気的に接続させ
る電子部品用材料の接続方法であって、請求項1〜4の
いずれかに記載の電子部品用材料に対して、金属Xを主
体とするはんだ付けを行い、前記はんだ付けの熱で、前
記コーティングB層の表面に存在する金属Xの酸化物を
移動させることにより、酸化されていない金属Xを露出
させる電子部品用材料の接続方法である。
型電子部品は、請求項6に記載のように、基板上のパタ
ーンにはんだボールを介して半導体チップを実装するボ
ールグリッドアレイ型電子部品において、前記はんだボ
ールは、金属Xと金属Yとの合金で形成されるととも
に、金属Xからなるコーティング層を有するボールグリ
ッドアレイ型電子部品である。
型電子部品は、請求項7に記載のように、基板上のパタ
ーンに半導体チップを実装するとともに前記基板に複数
のはんだボールを配置した構造のボールグリッドアレイ
型電子部品において、前記はんだボールは、金属X金属
Yとの合金で形成されるとともに、金属Xからなるコー
ティング層を有するボールグリッドアレイ型電子部品で
ある。
型電子部品は、請求項8に記載のように、請求項6また
は7記載の発明において、前記金属Xは錫であり、前記
金属Yは銅、銀、ビスマス、もしくは、亜鉛であるボー
ルグリッドアレイ型電子部品である。
型電子部品は、請求項9に記載のように、基板上のパタ
ーンにはんだボールを介して半導体チップを実装するボ
ールグリッドアレイ型電子部品において、前記はんだボ
ールは、銀、銅、亜鉛、ビスマス、もしくは、インジウ
ムのうち少なくとも一つを含有するとともに、錫を含有
してなる合金で形成されるとともに、錫からなるコーテ
ィング層を有するボールグリッドアレイ型電子部品であ
る。
型電子部品は、請求項10に記載のように、請求項6〜
9のいずれかに記載の発明において、前記コーティング
層の厚みは、0.05〜1.0μmであるボールグリッ
ドアレイ型電子部品である。
型電子部品の接続方法は、請求項11に記載のように、
ボールグリッドアレイ型電子部品のはんだボールに対し
てはんだ付けを行って、他の部品と電気的に接続させる
ボールグリッドアレイ型電子部品の接続方法であって、
請求項6〜10のいずれかに記載のボールグリッドアレ
イ型電子部品のはんだボールに対して、金属Xを主体と
するはんだ付けを行い、前記はんだ付けの熱で、前記コ
ーティング層の表面に存在する金属Xの酸化物を移動さ
せることにより、酸化されていない金属Xを露出させる
ボールグリッドアレイ型電子部品の接続方法である。
材である金属材料上に設けられた、金属Xと金属Yとを
混在してなるめっきA層と、前記めっきA層の上に設け
られた、金属XからなるコーティングB層と、を有す
る。
めっきA層を設け、そして前記めっきA層の上に金属X
からなるコーティングB層を設けることにより、めっき
A層中に含有された金属Xおよび金属Yの酸化を防止す
るとともに、前記コーティングB層中に酸化されていな
い金属Xの存在を担保することができるのである。
めっき層を設ける場合(従来の場合)と、基材上に金属
Xと金属Yとを混在してなるめっきA層を設け、そして
前記めっきA層の上に金属XからなるコーティングB層
を設ける場合(本発明の場合)とを比較すると、以下の
ような相違点がある。すなわち、従来に係るめっき層の
場合、電気的接続部分を行う個所において、めっき層中
に酸化されていない金属Xの存在を認めることは困難で
ある。一方、本発明に係るめっき層の場合、電気的接続
部分を行う個所において、コーティングB層およびめっ
きA層中には酸化されていない金属Xの存在が認められ
る。そして、この酸化されていない金属Xの存在が本願
発明の顕著な効果である良好なめっきの濡れ性を担保す
るのである。なお、現実に電子部品用材料を他の部品と
電気的接続を行う場合は、めっきを施したばかりのめっ
き上がり状態で電気的接続を行うのではなく、めっき上
がり状態から数日間経過した後に電気的接続を行うこと
はいうまでもない。
る金属Xは空気中に含有される酸素と反応し金属Xの酸
化物となる可能性がある。そのため、コーティングB層
中には、金属Xの酸化物が含有されていると考えられ
る。特に、金属Xの酸化物は、コーティングB層の表面
部分に高い割合にて存在すると考えられる。
り、基材と他の部品との電気的接続を行う場合には、は
んだ付けの熱により、コーティングB層の表面部分に存
在する金属Xの酸化物を電気的接続部分を実行する場所
から移動させることが可能となる。
B層に作用する。コーティングB層には、金属Xの酸化
物と金属Xとがそれぞれ存在すると考えられ、特に金属
Xの酸化物はコーティングB層の表面部分に比較的多く
存在すると予想される。はんだ付けの熱がコーティング
B層に作用すると、金属Xが、金属Xの酸化物よりも早
く溶融する傾向にある。金属Xが溶融し、金属Xの酸化
物が溶融していない場合にあっては、溶融状態の金属X
の上に、固体状の金属Xの酸化物が浮遊することにな
る。さらに、めっきA層中の金属Xと金属Yとがはんだ
付けの熱により溶融した場合にあっては、溶融した金属
Xおよび金属Yの上に、酸化した金属Xが浮遊する状態
となる。この浮遊状態の金属Xの酸化物は振動などの少
しの力学的エネルギーにて、電気的接続部分を実行する
場所から移動させることができるのである。
続部分を実行する場所から移動した場合にあっては、電
気的接続部分を実行する場所には、金属の酸化物などな
いフレッシュな溶融金属が存在することになる。したが
って、極めて濡れ性良く、基材と他の部品との電気的接
続を行うことができるのである。
無酸素銅、タフピッチ銅、黄銅、青銅、Cu−Fe合
金、Cu−Be系合金、Cu−Ti系合金、Cu−Ni
系合金などを用いることが可能である。基材は、はんだ
の溶融温度よりも高い耐熱温度を有し、また少なくとも
その表面が導電性を有する材料であれば使用できる。ま
た、形状も線、条などの形状を使用可能である。
Xと金属Yとを混在してなるめっき層である。めっきA
層は、たとえば、電気めっき、溶融めっき、無電解めっ
きなどの公知のめっき方法にて形成することが可能であ
る。
り、めっきA層の上に被覆するように設けられる。めっ
きB層は、電気めっき、溶融めっき、無電解めっき、ス
パッタリング、蒸着などの公知のめっき方法にて形成す
ることが可能である。
能である。そして、前記金属Yは銅、銀、ビスマス、も
しくは、亜鉛を使用することが可能である。
材である金属材料上に設けられ、銀、銅、亜鉛、ビスマ
ス、もしくは、インジウムのうち少なくとも一つを含有
するとともに、錫を含有してなるめっきA層と、そのめ
っきA層の上に設けられた、錫からなるコーティングB
層とを有する電子部品用材料とすることができる。係る
構成によれば、使用時においてはんだ接合部の信頼性
(特に繰り返し疲労特性など)をさらに向上させ、ま
た、実装時のはんだ付け温度を比較的下げることも可能
である。
含有し混在してなるめっきA層と、錫からなるコーティ
ングB層とを設けることにより、使用時においてはんだ
接合部の信頼性をさらに向上させることができる。係る
場合、Sn−3.5Ag−0.75Cuからなるめっき
A層とすることが可能である。また、錫、銀、さらに、
ビスマスをそれぞれ含有し混在してなるめっきA層と、
錫からなるコーティングB層とを設けることにより、使
用時においてはんだ接合部の信頼性をさらに向上させる
ことができる。係る場合、Sn−3.5Ag−6Biか
らなるめっきA層とすることが可能である。
れぞれ含有し混在してなるめっきA層と、錫からなるコ
ーティングB層とを設けることにより、実装時のはんだ
付け温度を比較的下げることができる。係る場合、Sn
−2Ag−3Bi−0.75CuからなるめっきA層と
することが可能であり、実装時のはんだ付け温度を約2
30℃にすることができる。また、たとえば、Sn−3
Ag−5Bi−0.7CuからなるめっきA層とするこ
とも可能であり、実装時のはんだ付け温度を約230℃
にすることができる。
1.0μmとすることが可能である。コーティングB層
の厚みが0.05μmよりも小さい場合にあっては、コ
ーティングの厚さとしては不十分であり、酸化が非常に
進んだ場合は、めっきA層にまで酸化が発生する可能性
があるからである。一方、コーティングB層の厚みが
1.0μmよりも大きい場合にあっては、たとえば、金
属Xとして錫を使用した場合、表面部分にウイスカーが
発生する場合があるからである。
ら数十μmの厚みとすることができ、具体的には、基材
に使用される金属の種類やめっきの用途によって適宜相
違するものであるが、1μm〜50μmとすることが可
能である。
m〜50μmの範囲に限定するものではなく、要する
に、めっきA層の厚みとコーティングB層の厚みとの関
係が、めっきA層の厚み>>コーティングB層の厚みと
なることが必要なのである。換言すれば、(めっきA層
の厚み)/(コーティングB層の厚み)=0.001〜
1と設定することが可能である。
属Xを主体とするはんだ付けを行い、そのはんだ付けの
熱で、コーティングB層の表面に存在する金属Xの酸化
物を移動させることにより、酸化されていない金属Xを
露出させ、極めて濡れ性良く、はんだ付けを行うことが
できる。
化物が存在することが考えられ、この金属Xの酸化物が
はんだの濡れ性を阻害し良好なはんだ付けを妨げると考
えられる。しかしながら、本発明に係る電子部品用材料
の接続方法では、はんだ付けの熱を作用させた際、コー
ティングB層の表面近傍に存在すると考えられる金属X
の酸化物を、電気的接続の実行部分から、移動させるこ
とができる。すなわち、はんだ付けの熱を作用させた
際、コーティングB層に存在する金属XおよびめっきA
層を構成する金属Xと金属Yは溶融するものの、コーテ
ィングB層の表面近傍に存在すると考えられる金属Xの
酸化物は固体状態である。したがって、はんだ付けの熱
を作用させると、溶融金属の上に金属Xの酸化物が浮遊
していることになり、電気的接続の実行部分から容易に
移動させることができるのである。電気接続を行う際、
金属Xの酸化物は存在せず、フレッシュな金属だけ関与
させることが可能となるから、極めて濡れ性良くはんだ
付けを行うことができるのである。なお、金属Xとして
は錫を使用することが可能であり、金属Yとしては銅、
銀、ビスマス、もしくは、亜鉛を使用することが可能で
ある。
半導体チップを実装するボールグリッドアレイ型電子部
品において、前記はんだボールを金属Xと金属Yとの合
金で形成するとともに、金属Xからなるコーティング層
を設けることにより、はんだボールの濡れ性を担保しつ
つ、基板と半導体チップとの電気的接続を可能とするこ
とができる。すなわち、金属Xと金属Yとの合金で形成
されるとともに、金属Xからなるコーティング層を有す
るはんだボールに対して、金属Xを主体とするはんだ付
けを行う。すると、前記はんだ付けの熱で、前記コーテ
ィング層の表面に存在する金属Xの酸化物を移動させる
ことにより、酸化されていない金属Xを露出させること
により、はんだボールの濡れ性を担保しつつ、基板と半
導体チップとの電気的接続を可能とすることができる。
だボールをあらかじめ接続配置して、金属Xを主体とす
るはんだ付けを行うことにより、はんだボールの濡れ性
を担保しつつ、基板と半導体チップとの電気的接続をす
ることができる。
層を有するはんだボールをあらかじめ接続配置して、金
属Xを主体とするはんだ付けを行うことにより、はんだ
ボールの濡れ性を担保しつつ、基板と半導体チップとの
電気的接続をすることができる。
グ層を有するはんだボールをあらかじめ接続配置すると
ともに、基板上に前記コーティング層を有するはんだボ
ールをあらかじめ接続配置して、金属Xを主体とするは
んだ付けを行うことにより、半導体チップ上に接続配置
されたはんだボールと基板上に接続配置されたはんだボ
ールとの濡れ性を担保しつつそれらを接続して、基板と
半導体チップとの電気的接続をすることができる。
ボールを有するボールグリッドアレイ型電子部品のはん
だボールに対して、金属Xからなるコーティング層を設
け、金属Xを主体とするはんだ付けを行い、前記はんだ
付けの熱で、前記コーティング層の表面に存在する金属
Xの酸化物を移動させることにより、酸化されていない
金属Xを露出させることにより、はんだボールの濡れ性
を担保しつつ、ボールグリッドアレイ型電子部品を接続
することができる。
属Xとがそれぞれ存在すると考えられ、特に金属Xの酸
化物はコーティング層の表面部分に比較的多く存在する
と予想される。はんだ付けの熱がコーティング層に作用
すると、金属Xが、金属Xの酸化物よりも早く溶融する
傾向にある。金属Xが溶融し、金属Xの酸化物が溶融し
ていない場合にあっては、溶融状態の金属Xの上に、固
体状の金属Xの酸化物が浮遊することになる。この浮遊
状態の金属Xの酸化物は振動などの少しの力学的エネル
ギーにて、電気的接続部分を実行する場所から移動させ
ることができる。このように、金属Xの酸化物が、電気
的接続部分を実行する場所から移動した場合にあって
は、電気的接続部分を実行する場所には、金属の酸化物
などないフレッシュな溶融金属が存在することになる。
したがって、極めて濡れ性良く、ボールグリッドアレイ
型電子部品の接続を行うことができるのである。
記金属Yは銅、銀、ビスマス、もしくは、亜鉛であるこ
とが可能である。
部品は、基板上のパターンにはんだボールを介して半導
体チップを実装するボールグリッドアレイ型電子部品に
おいて、前記はんだボールは、銀、銅、亜鉛、ビスマ
ス、もしくは、インジウムのうち少なくとも一つを含有
するとともに、錫を含有してなる合金で形成されるとと
もに、錫からなるコーティング層を有するボールグリッ
ドアレイ型電子部品とすることができる。
含有し混在してなるはんだボールと、錫からなるコーテ
ィング層とを設けることにより、使用時においてはんだ
接合部の信頼性をさらに向上させることができる。係る
場合、Sn−3.5Ag−0.75Cuからなるはんだ
ボールとすることが可能である。また、錫、銀、さら
に、ビスマスをそれぞれ含有し混在してなるはんだボー
ルと、錫からなるコーティング層とを設けることによ
り、使用時においてはんだ接合部の信頼性をさらに向上
させることができる。係る場合、Sn−3.5Ag−6
Biからなるはんだボールとすることが可能である。
れぞれ含有し混在してなるはんだボールと、錫からなる
コーティング層とを設けることにより、実装時のはんだ
付け温度を比較的下げることができる。係る場合、Sn
−2Ag−3Bi−0.75Cuからなるはんだボール
とすることが可能であり、実装時のはんだ付け温度を約
230℃にすることができる。また、たとえば、Sn−
3Ag−5Bi−0.7Cuからなるはんだボールとす
ることも可能であり、実装時のはんだ付け温度を約23
0℃にすることができる。
1.0μmとすることが可能である。コーティング層の
厚みが0.05μmよりも小さい場合にあっては、コー
ティングの厚さとして薄すぎであり、酸化が非常に進ん
だ場合は、コーティング層内に酸化されていない金属X
の存在を担保することが困難だからである。一方、コー
ティング層の厚みが1.0μmよりも大きい場合にあっ
ては、たとえば、金属Xとして錫を使用した場合、表面
部分にウイスカーが発生する場合があるからである。
部品のはんだボールに対して、金属Xを主体とするはん
だ付けを行い、前記はんだ付けの熱で、前記コーティン
グ層の表面に存在する金属Xの酸化物を移動させること
により、酸化されていない金属Xを露出させ、極めて濡
れ性良くはんだ付けを行うことができる。
ドックス114(ジャパンメタルフィニッシングカンパ
ニー商品名)などの脱脂剤を用い、陰極脱脂および陽極
脱脂を行い、水洗後、H2SO4・HCl・HBF4によ
り酸洗いを行い、再度水洗を行い、下地めっきとして銅
めっきまたはニッケルめっきを行い下地めっき層を設け
た。めっき液としては硫酸浴、ピロリン酸浴、ホウフッ
化浴、スルファミン酸浴、青化浴などを使用することが
できる。また、めっき液には、チオカルボニル、ポリス
ルフィドなどの有機硫黄化合物を光沢成分として含有さ
せることが可能であり、フェナジン、トリエタノールア
ミン、アジン、ゼラチン、デンプン、デキストリンなど
を平滑成分として含有させることが可能であり、ポリエ
ーテルなどのノニオン活性剤や硫酸エステルなどのアニ
オン活性剤を分散成分として含有させることが可能であ
る。
層の上に、めっきA層を設ける。めっきA層は、錫−銅
はんだめっきを行う。めっき浴としては、0.9N〜
1.4Nの範囲にあって平均濃度1.28Nの酸成分
と、40g/l〜60g/lの範囲にあって平均濃度51
g/lの錫成分と、0.5g/l〜5g/lの範囲にあっ
て平均濃度1.1g/lの銅成分と、40cc/l〜60
cc/lの範囲にあって平均濃度50cc/lの添加剤と
を含有するものである。なお、添加剤は、光沢成分・平
滑成分・分散成分を含有するものであり、具体的な成分
としては上述したものを使用することができる。温度条
件は25℃〜33℃の範囲にあって平均温度は28℃で
あった。電流密度は4A/dm3〜20A/dm3範囲にあ
って平均電流密度は10A/dm3であった。アノード電
極は錫100%のものを使用した。
に、コーティングB層を設ける。コーティングB層は錫
めっきを行う。めっき浴としては、0.9N〜1.4N
の範囲にあって平均濃度1.1Nの酸成分と、40g/
l〜65g/lの範囲にあって平均濃度55g/lの錫成
分と、10cc/l〜30cc/lの範囲にあって平均濃
度20cc/lの添加剤とを含有するものである。な
お、添加剤は、光沢成分・平滑成分・分散成分を含有す
るものであり、具体的な成分としては上述したものを使
用することができる。温度条件は20℃〜30℃の範囲
にあって平均温度は29℃であった。電流密度は1A/
dm3〜20A/dm3範囲にあって平均電流密度は4A/
dm3であった。アノード電極は錫極板を使用した。な
お、酸成分としては、置換または未置換のアルカンスル
ホン酸、ベンゼンスルホン酸およびナフタレンスルホン
酸から選ばれる1種以上の有機スルホン酸を使用するこ
とが可能であり、具体的な有機スルホン酸としては、た
とえば、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸、プロパ
ンスルホン酸、2−プロパンスルホン酸、ブタンスルホ
ン酸、2−ブタンスルホン酸、ペンタンスルホン酸、ク
ロルプロパンスルホン酸、2−ヒドロキシエタン−1−
スルホン酸、2−ヒドロキシプロパン−1−スルホン
酸、2−ヒドロキシブタン−1−スルホン酸、2−ヒド
ロキシペンタン−1−スルホン酸、アリルスルホン酸、
2−スルホン酢酸、2−スルホプロピオン酸、3−スル
ホプロピオン酸、スルホこはく酸、スルホマレイン酸、
スルホフマル酸、ベンゼンスルホン酸、トルエンスルホ
ン酸、キシレンスルホン酸、ニトロベンゼンスルホン
酸、スルホ安息香酸、スルホサルチル酸、ベンズアルデ
ヒドスルホン酸、p−フェノールスルホン酸などを使用
することが可能である。
設けた後、リン酸処理を行い、乾燥させた。めっきA層
としての錫−銅はんだめっき層の厚みは3.21μmで
あった。錫−銅はんだめっき層における銅の含有率は
1.5重量%であった。また、コーティングB層として
の錫めっき層の厚みは0.5μmであった。したがっ
て、実施例1において、めっきA層とコーティングB層
との全体としての層厚は3.71μmであった。この結
果を表1に示す。なおめっき膜厚の測定は蛍光X線膜厚
測定機を使用した。めっき層中の銅含有率の測定はEP
MAにて測定を行った。
法にて、下地めっき層の上に、めっきA層およびコーテ
ィングB層を設けた。めっきA層としての錫−銅はんだ
めっき層の厚みは4.22μmであった。錫−銅はんだ
めっき層における銅の含有率は6.1重量%であった。
また、コーティングB層としての錫めっき層の厚みは
0.7μmであった。したがって、実施例2において、
めっきA層とコーティングB層との全体としての層厚は
4.92μmであった。この結果を表1に示す。
ンドックス114などの脱脂剤を用い、陰極脱脂および
陽極脱脂を行い、水洗後、H2SO4・HCl・HBF4
により酸洗いを行い、再度水洗を行い、下地めっきとし
て銅めっきを行い下地めっき層を設けた。めっき液とし
ては硫酸浴、ピロリン酸浴、ホウフッ化浴、スルファミ
ン酸浴、青化浴などを使用することができる。また、め
っき液には、チオカルボニル、ポリスルフィドなどの有
機硫黄化合物を光沢成分として含有させることが可能で
あり、フェナジン、トリエタノールアミン、アジン、ゼ
ラチン、デンプン、デキストリンなどを平滑成分として
含有させることが可能であり、ポリエーテルなどのノニ
オン活性剤や硫酸エステルなどのアニオン活性剤を分散
成分として含有させることが可能である。
層の上に、錫−銅はんだめっきを行うことで、錫−銅め
っき層を設ける。この錫−銅めっき層は、本発明のめっ
きA層に対応するのもである。めっき浴としては、0.
9N〜1.4Nの範囲にあって平均濃度1.28Nの酸
成分と、40g/l〜60g/lの範囲にあって平均濃度
51g/lの錫成分と、0.5g/l〜5g/lの範囲に
あって平均濃度1.1g/lの銅成分と、40cc/l〜
60cc/lの範囲にあって平均濃度50cc/lの添加
剤とを含有するものである。なお、添加剤は、光沢成分
・平滑成分・分散成分を含有するものであり、具体的な
成分としては上述したものを使用することができる。温
度条件は25℃〜33℃の範囲にあって平均温度は28
℃であった。電流密度は4A/dm3〜20A/dm3範囲
にあって平均電流密度は10A/dm3であった。アノー
ド電極は錫100%のものを使用した。
行い、乾燥させた。錫−銅めっき層の厚みは3.51μ
mであった。錫−銅めっき層における銅の含有率は1.
5重量%であった。この結果を表1に示す。
法にて、下地めっき層の上に、錫−銅めっき層を設け
た。錫−銅めっき層の厚みは4.12μmであった。錫
−銅めっき層における銅の含有率は6.1重量%であっ
た。この結果を表1に示す。
けるめっき層を使用し、表面分析試験を行った。めっき
層を設けた直後の状態をめっき上がり状態とし、設けた
めっき層に対して150℃で4時間加熱した状態を酸化
後の状態とするが、以下の説明では、酸化後の状態のも
のに対して表面分析試験を行った。図1は、実施例1と
比較例1におけるめっき層を使用して、それぞれのめっ
き層の表面における銅の含有量を測定したものである。
すなわち、実施例1の場合では、コーティングB層の表
面部分における銅の含有量を試験し、比較例1の場合で
は、錫−銅めっき層の表面部分における銅の含有量を試
験することになる。表面分析試験はKRATOS社のア
クシスウルトラエスカを使用した。表面分析試験の結果
を図1に示す。図1において、横軸は原子間の結合エネ
ルギーを示し、縦軸はそれぞれの結合エネルギーにおけ
る強度である。図1によれば、実施例1に係る分析結果
は、比較例1に係る分析結果と比較して銅の含有量が極
めて少ないことが明らかとなった。これは、実施例1で
は比較例1と異なり、錫めっき層であるコーティングB
層が設けられているからである。
ウルトラエスカを用い、実施例1と比較例1におけるめ
っき層を使用して、それぞれのめっき層の表面における
元素もしくは化合物の存在率を測定した。すなわち、実
施例1の場合では、コーティングB層の表面部分におけ
る元素もしくは化合物の存在率を測定し、比較例1の場
合では、錫−銅めっき層の表面部分における元素もしく
は化合物の存在率を測定することになる。この測定結果
を図2に示す。
存在を示すピークである。実施例1における487eV
におけるピークは、比較例1におけるそれと比較して大
きくなっている。これは、実施例1のコーティングB層
は錫めっき層であるのに対して、比較例1は錫−銅めっ
き層だから、錫の酸化物の存在は実施例1の方が大きく
なることに起因する。
ていない錫)の存在を示すピークである。実施例1にお
いては485eVにおけるピークが観察されるのに対し
て、比較例1におけるそれは観察されない。これは、実
施例1におけるコーティングB層には、その表面部分に
存在する錫の酸化物と、同じ表面部分に存在する錫(酸
化されていない錫)とが含まれており、そのうち、表面
部分に存在する錫が検出されていることを示す。比較例
1においては、酸化されていない錫の存在を示すピーク
は検出されない。
分には比較例と同様に錫の酸化物が存在するが、その一
方で比較例には見られない酸化されていない錫がある。
そして、この比較例には見られない酸化されていない錫
の存在が、他の部品と電気的接続を行う際にはんだ付け
の熱により局部的に溶融し、それによって錫の酸化物を
浮遊移動させ、もってめっきA層の酸化されていない錫
を露出させるから、濡れ性良くはんだ付けを行うことが
できるのである。一方、比較例1では、酸化されていな
い錫の存在を示すピークの発見は困難であり、濡れ性良
くはんだ付けを行うことは難しいことが予想される。
2、比較例1および比較例2におけるめっき層を使用
し、ゼロクロス時間を測定することにより、はんだ濡れ
性の評価を行った。なお、ゼロクロス時間は濡れるまで
の時間を表現するものであり、ゼロクロス時間が短いほ
どはんだの濡れ性が良好であることを示す。一方、ゼロ
クロス時間が多い場合は逆にはんだの濡れ性が悪いこと
を意味し、ゼロクロス時間が5.0秒以上である場合
は、濡れ性が極めて悪い傾向にある。
り状態とし、設けためっき層に対して150℃で4時間
加熱した状態を酸化後の状態とし、実施例1、実施例
2、比較例1および比較例2におけるめっき層を、めっ
き上がり状態と酸化後の状態とにおいて、それぞれゼロ
クロス時間を測定した。ゼロクロス時間の測定は、田村
製作所のソルダーグラフを使用して測定した。測定温度
は230℃であった。はんだ付けは、錫−鉛共晶はんだ
で使用し、錫と鉛との重量比は6:4であった。はんだ
濡れ性の評価試験は、めっき上がり状態と酸化後の状態
とにおいて、さらに、フラックスを使用する場合とフラ
ックスを使用しない場合とに分けて、それぞれゼロクロ
ス時間を測定した。なお、フラックスは、ロジン25重
量%をイソプロピルアルコールで希釈したものを使用し
た。
型コネクターピンを使用した。くし型コネクターピンに
は下地めっきとして膜厚約1.5〜2.5μmの銅めっ
きを施した。くし型コネクターピンは、略直線形状のく
し母基部と、その母基部に並列して複数設けられている
くし歯部とから構成される。くし歯部は、それぞれ、薄
型の略長方形状の広面積部と、その広面積部の短辺に付
着して設けられている薄型の略長方形状の狭面積部とか
ら構成される。広面積部および狭面積部の厚さは0.2
mmである。くし母基部の長手方向の長さは75mmで
ある。広面積部の長辺は8.5mmであり、短辺は0.
7mmである。また、狭面積部の短辺は0.4mmであ
る。広面積部の面積は0.05dm2である。ゼロクロ
ス時間を測定する際には、くし歯部をくし母基部から取
り外して使用する。
例2におけるめっき層に対するゼロクロス時間の測定結
果を表2に示す。
を作製した後の状態について検討する。フラックスを使
用する場合にせよ、フラックスを使用しない場合にせ
よ、いずれの場合であっても、本発明に係るめっき層
は、比較例のめっき層と比較してゼロクロス時間が顕著
に短縮されていることが理解される。すなわち、本発明
のめっき層は比較例と比べて濡れ性が極めて良好なので
ある。
き層を酸化させた場合について検討する。フラックスを
使用しない場合にあっては、本発明のめっき層と比較例
のめっき層はともにゼロクロス時間が5.0以上であ
り、濡れ性が極めて悪いことを意味する。しかしなが
ら、フラックスを使用した場合にあっては、本発明に係
るめっき層は、比較例のめっき層と比較してゼロクロス
時間が短縮されていることが理解される。すなわち、本
発明のめっき層は比較例と比べて濡れ性が良好なのであ
る。
を使用し、金属Yとしては銅を使用したが、本発明の効
果は、この場合に限定されるものではない。
用リードフレーム、半導体チップ部品用電極端子、挿入
型半導体部品用電極端子ピン、電子・電気回路を有する
回路基板電極、電子・電気回路を有する回路基板スルー
フォール、光ファイバー・光プリアンプなどの光半導体
デバイスならびに電子半導体デバイスを有してなる光半
導体モジュールパッケージなどがある。
の接続方法を、下記に示すような端子部分に実施するこ
とができる。すなわち、携帯電話、PDA(パーソナル
デジタルアシスタント(計算機機能、通信機能などを有
する電子手帳))などの各種情報端末機器の液晶、プラ
ズマ、EL(エレクトロルミネッセンス)、蛍光表示管
などの表示器部品とこれを駆動する電気電子回路基板と
の接続端子部分、それらの情報端末機器の電源と電気電
子回路基板とを接続するコネクター部の端子部分、それ
らの情報端末機器に加え、パソコン、プリンター、ファ
ックス、電子カメラ、DVDを始めとする汎用情報端末
機器やテレビ、冷蔵庫、洗濯機などの家電製品さらには
汎用カメラ、電子カメラやカーナビなどの自動車に搭載
される各種電子機器などに用いられる電気電子回路基板
の電極端子部分、また、これらの用途に用いられる各種
の実装用基板において、特に高密度高精細な積層基板に
おける層内ならびに層間接続用スルーフォールめっき部
とそれらの直上に設けられる電極パッド部との接合部
分、さらには光ファイバー、光プリアンプなどの光半導
体デバイスならびに電子半導体デバイスが収納されるキ
ャンと呼ばれる収納部品(総称的に光パッケージと呼ば
れる)の接続端子部分などに本発明に係る電子部品用材
料の接続方法を実施することができる。なお、いわゆる
光パッケージの接続端子部分のはんだ付けには高信頼性
・無洗浄接合の観点からAuめっきが一般的であるが、
IT関連通信網などの急速なインフラ整備による爆発的
な需要増加に対応するための大幅なコストダウンからそ
れらのAuめっきに代わる安価なはんだめっきとしてS
n/Ag系はんだめっきが用いられ、かつ無洗浄接合に
対応したはんだ付け良好なはんだめっきが要求されてい
る。さらにその収納部品のガス機密性確保のためにも同
様な要件を満たした機密封止用はんだめっきが要求され
ているため、本発明に係る電子部品用材料や電子部品用
材料の接続方法は、その分野への適用が考えられる。
ラ、携帯型ゲーム機などの携帯型情報端末機器にあっ
て、小型・軽量・薄型・高機能・高速(高周波数)・大
容量(メモリーなど)の諸特性が要求される前記機器類
において用いられる各種半導体パッケージ部品は、その
半導体チップとパッケージ内に収納された回路基板の接
合がこれまでのワイヤーボンドからボールグリッドアレ
イと呼ばれるはんだバンプが用いられる。さらに、前記
パッケージ内回路基板と上記機器側に搭載された電機電
子回路基板(これは一般的にはマザーボードとよばれ
る)との電気接合点も同じくボールグリッドアレイと呼
ばれるはんだバンプが用いられる。本発明に係るボール
グリッドアレイは、そのようなボールグリッドアレイと
して使用することができる。
それらの機器間での情報のやり取りはこれまで電線ケー
ブルや無線などによるメディア媒体が一般的であった。
しかしながら、これらの既存の方式に加え、半導体メモ
リーカードは、各種情報端末機器に配信された情報を直
接そのメモリーカードに入力記憶させ、これをメディア
媒体として持ち運び使用する第3のメディア媒体であ
り、データ格納形フラッシュメモリーを使用したメモリ
ーカードが使用される。メモリーカードに使用される半
導体部品は、汎用の半導体パッケージ部品とは異なり、
そのパッケージ形状は全てボールグリッドアレイであ
り、特に薄型小型化の必要性からそのパッケージの大き
さが使用される半導体チップとほぼ同じサイズが要求さ
れることから、いわゆるCSP(チップサイズパッケー
ジ)と呼ばれるパッケージが使用されたり、あるいは半
導体チップをそのままの形態(すなわち、パッケージ化
せずに裸のチップの状態で使用する。これをベアーチッ
プ実装とよぶ。)で使用したりする。これらいずれの形
態が用いられるにせよ、電気接合点において、はんだボ
ールやはんだバンプが用いられ、そのようなはんだボー
ルやはんだバンプを、金属X金属Yとの合金で形成する
とともに、金属Xからなるコーティング層を有するもの
とすることができる。金属Xとして錫を用い、金属Yと
して銅、銀、ビスマス、もしくは、亜鉛を用いること
で、鉛フリーおよび無洗浄実装方式を実現するととも
に、はんだ付け性の良好なはんだボールならびにはんだ
バンプの形成技術を達成することができる。
すべての点で例示であって制限的なものではないと考え
られるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではな
くて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と
均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれるこ
とが意図される。
極形状や種類によらずに実施することができる。すなわ
ち、挿入型部品、リードフレーム型の表面実装部品、な
らびに、はんだボールによるボールグリッド型部品に適
宜実施することが可能である。
れ性を極めて良好に担保できた電子部品用材料を提供す
ることができた。しかも、本発明によれば、はんだ付け
性や外観を損なうことを防止し、あわせて、ウイスカー
の発生を防止することができる。さらに、本発明の電子
部品用材料の接続構造によれば、他の部品と極めて濡れ
性良くはんだ付けを行うことができた。他の部品として
は基板、信号線など種々の部品を採用することが可能で
あり、本発明による利益は計り知れない。さらに、本発
明の構成によれば、ボールグリッドアレイを濡れ性良く
接続することができた。しかもフラックスを積極的に使
用する必要性もないので環境問題をも解決することがで
きた。
物の存在ピークを説明する図である。
Claims (11)
- 【請求項1】 基材である金属材料上に設けられ、金属
Xと金属Yとを混在してなるめっきA層と、 前記めっきA層の上に設けられた、金属Xからなるコー
ティングB層と、 を有する電子部品用材料。 - 【請求項2】 前記金属Xは錫であり、前記金属Yは
銀、銅、亜鉛、ビスマス、もしくは、インジウムである
請求項1記載の電子部品用材料。 - 【請求項3】 基材である金属材料上に設けられ、銀、
銅、亜鉛、ビスマス、もしくは、インジウムのうち少な
くとも一つを含有するとともに、錫を含有してなるめっ
きA層と、 前記めっきA層の上に設けられた、錫からなるコーティ
ングB層と、 を有する電子部品用材料。 - 【請求項4】 前記コーティングB層の厚みは、0.0
5〜1.0μmである請求項1〜3のいずれかに記載の
電子部品用材料。 - 【請求項5】 電子部品用材料に対してはんだ付けを行
って、他の部品と電気的に接続させる電子部品用材料の
接続方法であって、 請求項1〜4のいずれかに記載の電子部品用材料に対し
て、金属Xを主体とするはんだ付けを行い、前記はんだ
付けの熱で、前記コーティングB層の表面に存在する金
属Xの酸化物を移動させることにより、酸化されていな
い金属Xを露出させる電子部品用材料の接続方法。 - 【請求項6】 基板上のパターンにはんだボールを介し
て半導体チップを実装するボールグリッドアレイ型電子
部品において、 前記はんだボールは、金属Xと金属Yとの合金で形成さ
れるとともに、金属Xからなるコーティング層を有する
ボールグリッドアレイ型電子部品。 - 【請求項7】 基板上のパターンに半導体チップを実装
するとともに前記基板に複数のはんだボールを配置した
構造のボールグリッドアレイ型電子部品において、 前記はんだボールは、金属Xと金属Yとの合金で形成さ
れるとともに、金属Xからなるコーティング層を有する
ボールグリッドアレイ型電子部品。 - 【請求項8】 前記金属Xは錫であり、前記金属Yは
銅、銀、ビスマス、もしくは、亜鉛である請求項6また
は7記載のボールグリッドアレイ型電子部品。 - 【請求項9】 基板上のパターンにはんだボールを介し
て半導体チップを実装するボールグリッドアレイ型電子
部品において、 前記はんだボールは、銀、銅、亜鉛、ビスマス、もしく
は、インジウムのうち少なくとも一つを含有するととも
に、錫を含有してなる合金で形成されるとともに、錫か
らなるコーティング層を有するボールグリッドアレイ型
電子部品。 - 【請求項10】 前記コーティング層の厚みは、0.0
5〜1.0μmである請求項6〜9のいずれかに記載の
ボールグリッドアレイ型電子部品。 - 【請求項11】 ボールグリッドアレイ型電子部品のは
んだボールに対してはんだ付けを行って、他の部品と電
気的に接続させるボールグリッドアレイ型電子部品の接
続方法であって、 請求項6〜10のいずれかに記載のボールグリッドアレ
イ型電子部品のはんだボールに対して、金属Xを主体と
するはんだ付けを行い、前記はんだ付けの熱で、前記コ
ーティング層の表面に存在する金属Xの酸化物を移動さ
せることにより、酸化されていない金属Xを露出させる
ボールグリッドアレイ型電子部品の接続方法。
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JP2000233195A JP3350026B2 (ja) | 2000-08-01 | 2000-08-01 | 電子部品用材料、電子部品用材料の接続方法、ボールグリッドアレイ型電子部品およびボールグリッドアレイ型電子部品の接続方法 |
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