JP2002043144A - コモンモードチョークコイル及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 巻線タイプ、積層タイプでは得られない、小
型、高精度で複数のラインを有するコモンモードチョー
クコイルを提供すること。 【解決手段】 誘電体あるいは磁性体からなる、柱状の
基台の表面に設けた導電膜の所要部分を、レーザートリ
ミング法などで除去し、表面に少なくとも１つの螺旋状
導体と端子部を形成し、コモンモードチョークコイル素
子とする。この素子の少なくとも１個を、誘電体あるい
は軟磁性体からなる部材に組み付け、コモンモードチョ
ークコイルとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電磁ノイズを抑制
するためのノイズフィルターであって、基板装着型のコ
モンモードチョークコイル、及びその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】電気機器の小型化、高周波化により、Ｅ
ＭＩ対策が重要性を増している。一般に、インピーダン
ス素子では、目的とする周波数のノイズをインピーダン
ス特性として遮蔽し、ＥＭＩ対策としている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】電磁ノイズフィルター
であるコモンモードチョークコイルには、巻線タイプの
ものと積層タイプのものがある。巻線タイプのものは、
小型化にするには導体の細線化などが必要であり、それ
による製造工程における不良も増加する。また、ピッチ
の変動などによる共振周波数とインダクタンスの誤差が
生じ、調整が困難となる。これらの理由により、より高
度の製造技術が必要となる。積層タイプでは、パターン
が決定してしまっているため、厚みなどのばらつきによ
りインダクタンスに誤差が生じる。また、積層構造であ
るために、巻線タイプとは異なった高度な製造技術が必
要となる。

【０００４】この対策の一環として、本発明者らは、レ
ーザートリミング法などによる基台に密着した螺旋状導
体を有するコモンモードチョークコイルを、特願平１１
−２８００７９により開示した。ここに開示されたコモ
ンモードチョークコイルは、共振周波数、インダクタン
スの誤差が小さく製造が容易という利点があるが、螺旋
状導体を２つだけ有するものであった。

【０００５】従って、本発明の技術的課題は、複数のラ
インを有するコモンモードチョークコイルを、簡便な製
造方法により、低コストで提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、従来の巻線タ
イプや積層タイプとまったく異なる方法でコモンモード
チョークコイル素子を得、これの複数個を軟磁性体また
は誘電体からなる部材に固定し、適宜接続することによ
り、複数のラインを有するコモンモードチョークコイル
を容易かつ低コストで提供するものである。

【０００７】即ち、本発明は、軟磁性体あるいは誘電体
からなる基台の表面に、互いに電気的に絶縁されて電気
長が略等しく形成された第１及び第２の螺旋状導体が、
前記基台の両端部のそれぞれに一対ずつ形成された第１
及び第２の端子部に接続されてなるコモンモードチョー
クコイル素子と、軟磁性体あるいは誘電体からなり、少
なくとも１個の前記コモンモードチョークコイル素子を
固着可能な凹部を有する部材とを組み合わせた構成を有
することを特徴とするコモンモードチョークコイルであ
る。

【０００８】また、本発明は、軟磁性体あるいは誘電体
からなる基台の表面に、互いに電気的に絶縁されて電気
長が略等しく形成された第１及び第２の螺旋状導体が、
前記基台の両端部のそれぞれに一対ずつ形成された第１
及び第２の端子部に接続されてなるコモンモードチョー
クコイル素子を、軟磁性体あるいは誘電体からなり、少
なくとも２個の前記コモンモードチョークコイル素子を
固着可能な凹部を有する部材の凹部に、直列または並列
に固定してなることを特徴とするコモンモードチョーク
コイルである。

【０００９】また、本発明は、軟磁性体あるいは誘電体
からなる基台の表面に、互いに電気的に絶縁されて電気
長が略等しく形成された第１及び第２の螺旋状導体が、
前記基台の両端部のそれぞれに一対ずつ形成された第１
及び第２の端子部に接続されてなるコモンモードチョー
クコイル素子と、軟磁性体あるいは誘電体からなる板状
の部材とを組み合わせた構成を有し、少なくとも２個の
前記コモンモードチョークコイル素子を、前記板状部材
の上に直列または並列に固定してなることを特徴とする
コモンモードチョークコイルである。

【００１０】また、本発明は、前記のコモンモードチョ
ークコイルにおいて、前記コモンモードチョークコイル
素子の第１及び第２の螺旋状導体が、メッキ法、スパッ
タ法、蒸着法のいずれかの少なくとも１種類の方法を用
いて設けられた導体層を、レーザートリミング法、サン
ドブラスト法、ウォータージェット法のいずれかの少な
くとも１種類の方法で部分的に除去することにより、基
台表面に交互に形成されてなることを特徴とするコモン
モードチョークコイルである。

【００１１】また、本発明は、前記のコモンモードチョ
ークコイルにおいて、前記コモンモードチョークコイル
素子は、基台表面にメッキ法、スパッタ法、蒸着法のい
ずれかの少なくとも１種類の方法を用いて設けられた導
体層を、レーザートリミング法、サンドブラスト法、ウ
ォータージェット法のいずれかの少なくとも１種類の方
法で部分的に除去することにより形成されてなる第１の
螺旋状導体と、第１の螺旋状導体を被覆する絶縁層の上
に第１の螺旋状導体と同様の方法で形成されてなる第２
の螺旋状導体からなることを特徴とするコモンモードチ
ョークコイルである。

【００１２】また、本発明は、前記のコモンモードチョ
ークコイルにおいて、前記コモンモードチョークコイル
素子の螺旋状導体が形成されている部分の基台の断面積
が、端子が形成されている部分の基台の断面積よりも小
さく、前記螺旋状導体部が前記部材に固定され、前記端
子部が前記部材の外側にあることを特徴とするコモンモ
ードチョークコイルである。

【００１３】また、本発明は、前記のコモンモードチョ
ークコイルにおいて、前記コモンモードチョークコイル
素子の螺旋状導体が形成されている部分の基台の断面積
が、端子が形成されている部分の基台の断面積よりも小
さく、前記部材が前記コモンモードチョークコイル素子
の螺旋状導体の形状に略対応した凸部を有し、前記部材
は前記螺旋状導体部と前記端子部を覆っていることを特
徴とするコモンモードチョークコイルである。

【００１４】また、本発明は、前記のコモンモードチョ
ークコイルにおいて、前記部材を構成する軟磁性体もし
くは誘電体の直流比抵抗が１０^８Ω・ｍ以上であること
を特徴とするコモンモードチョークコイルである。

【００１５】また、本発明は、前記のコモンモードチョ
ークコイルにおいて、前記コモンモードチョークコイル
素子の第１及び第２の端子は、前記基台の長手方向に平
行な第１面とこれに対向する第２面の長手方向、及び長
手方向に垂直な面に連続した溝により分離形成され、電
気的に絶縁されてなることを特徴とするコモンモードチ
ョークコイルである。

【００１６】また、本発明は、前記のコモンモードチョ
ークコイルにおいて、前記コモンモードチョークコイル
素子の第１及び第２の端子は、前記基台の両端部に形成
されてなる導体層を、長手方向に平行な第１面とこれに
対向する第２面の長手方向、及び長手方向に垂直な面に
おいて、連続した溝を形成するように除去することによ
り分離形成され、電気的に絶縁されてなることを特徴と
するコモンモードチョークコイルである。

【００１７】また、本発明は、前記のコモンモードチョ
ークコイルにおいて、前記コモンモードチョークコイル
素子の第１及び第２の端子は、前記基台の長手方向に平
行な第１面以外の面の前記導体層が除去されてなること
を特徴とするコモンモードチョークコイルである。

【００１８】また、本発明は、前記のコモンモードチョ
ークコイルにおいて、前記コモンモードチョークコイル
素子の導体層の除去方法は、レーザートリミング法、サ
ンドブラスト法、ウォータージェット法のいずれかの少
なくとも１種類であることを特徴とするコモンモードチ
ョークコイルである。

【００１９】また、本発明は、前記のコモンモードチョ
ークコイルにおいて、前記コモンモードチョークコイル
素子の第１及び第２の端子が形成されている面の少なく
とも１つの面が露出するように、前記コモンモードチョ
ークコイル素子が前記部材に嵌合されてなることを特徴
とするコモンモードチョークコイルである。

【００２０】また、本発明は、軟磁性体もしくは誘電体
からなる柱状の基台の表面に、メッキ法、スパッタ法、
蒸着法のいずれかの少なくとも１種類の方法を用いて導
体層を形成し、前記導体層の所要部分を、レーザートリ
ミング法、サンドブラスト法、ウォータージェット法の
いずれかの少なくとも１種類の方法で除去することによ
り、前記基台の表面に螺旋状導体及び端子を形成してコ
モンモードチョークコイル素子を得ることを特徴とす
る、前記のコモンモードチョークコイルの製造方法であ
る。

【００２１】

【作用】本発明においては、基台表面に予め形成した導
体層の不要部分を、前記の方法を用いて除去するという
方法で、コモンモードチョークコイル素子を作製する。
このため、ＮＣ旋盤のような数値制御によって操作され
る各種の工作機械を加工に用いることができるので、従
来の巻線タイプや積層タイプのものと異なり、小型で高
精度の素子が得られる。

【００２２】また、本発明によるコモンモードチョーク
コイルは、前記コモンモードチョークコイル素子の複数
個を適宜組み合わせて用いるので、設計の自由度が大き
く、幅広い要求特性に対応可能である。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
の実施の形態を説明する。

【００２４】図１は、本発明の代表的な実施の形態を示
す図で、２個のコモンモードチョークコイル素子１０１
を、軟磁性体あるいは誘電体からなる部材１０２に組み
付けて、コモンモードチョークコイル１００とした状態
を示す。

【００２５】コモンモードチョークコイル素子の製造方
法は、前記の方法を仕様に応じて適宜用いることができ
る。また、素子を組み付ける部材は、軟磁性体または誘
電体のブロックを切削加工して得ることができるが、量
産性を考慮するとプレス成形して焼結したものが好適で
ある。また、磁性体や誘電体の粉末を、適当な結合材で
成形したものも使用可能である。なお、用いる材料の直
流抵抗は、コモンモードチョークコイル素子間で十分な
絶縁が取れるように、１０^８Ω・ｍ以上必要である。

【００２６】

【実施例】（実施例１）まず、コモンモードチョークコ
イル素子の製造法について説明する。図２は、素子を得
るための基台２００の概略を示す図である。これは、誘
電体あるいは軟磁性体からなるが、この場合はμ′＝３
０の軟磁性体を用いた。寸法及び形状は、１.６ｍｍ×
１.０ｍｍ×１.０ｍｍの角柱状で螺旋状導体を形成する
部分２０１は、端子を形成する部分２０２より０.２ｍ
ｍ凹んでいて、断面の形状は一辺が０.６ｍｍの正方形
となっている。また、端子を形成する部分２０２の幅
は、０.３ｍｍである。

【００２７】まず、基台２０に、厚さ１０μｍとなるよ
うに、銅メッキを施した。この導体膜を設けた基台表面
に、レーザートリミング法により、２０μｍの深さで第
１の溝を形成した。次に、開始点をずらし、第１の溝の
間に第２の溝を形成した。これによって電気的に絶縁さ
れた螺旋状の溝を形成した。また、端子を形成する部分
の導体膜も、レーザートリミング法で所要部分を除去し
て端子とし、半田メッキを施した。この場合、螺旋状導
体を形成する部分の断面形状は四角柱であるが、多角
柱、円柱形状でもよい。各稜部は、ＲやＣの面取り加工
を施すことが望ましい。

【００２８】図３は、前記の方法で得られたコモンモー
ドチョークコイル素子３００を示す図である。図３
（ａ）は正面図、図３（ｂ）は側面図である。この図に
示したように、この素子には、隣接して設けられた第１
の溝３０１と、第２の溝３０２によって、第１の螺旋状
導体３０３と、第２の螺旋状導体３０４が形成されてい
る。そして、前記溝が端子形成部に延長された溝３０
５、３０６によって、基台の両端に一対ずつ端子３０
７、３０８、３０９、３１０が形成され、螺旋状導体３
０３が、端子３０７と端子３１０に、螺旋状導体３０２
が端子３０８と３０９にそれぞれ接続されている。

【００２９】このコモンモードチョークコイル素子３０
０を、やはりμ′＝３０の軟磁性体からなり、素子３０
０が嵌合し得る凹部を有する部材に組み付けて、２個並
列に固定することにより、４ラインのコモンモードチョ
ークコイルとした。図４は、この部材の斜視図である。
寸法は、高さが０.９ｍｍ、幅が２.４ｍｍ、奥行きが
０.８ｍｍで、凹部が０.４ｍｍの間隔で２箇所形成され
ていて、その寸法は高さが０.５ｍｍ、幅が０.６ｍｍで
ある。

【００３０】このコモンモードチョークコイルのコモン
モードインピーダンスを、インピーダンスアナライザに
より測定したところ、１００ＭＨｚにおけるインピーダ
ンスが５０７Ωであった。ディファレンシャルモードイ
ンピーダンスは、５.０Ωであった。また、同一形状で
基台の材質をＢａＴｉＯ_３系の誘電体としたものでは、
１００ＭＨｚにおけるインピーダンスは１００Ωであっ
た。

【００３１】（実施例２）次に、第２の実施例として端
子の構造を変えた例を示す。図５は、第２の実施例に用
いたコモンモードチョークコイル素子を示す図で、図５
（ａ）は正面図、図５（ｂ）は側面図である。この図に
示したように、本実施例では、端子５０１、５０２、５
０３、５０４を形成する導体を、基台の底面には形成し
ていない。これを第１の実施例に用いたものと同一の、
軟磁性体からなる部材に組み込んでコモンモードチョー
クコイルとした。なお、螺旋状導体の形成法は、第１の
実施例と同様とした。

【００３２】このコモンモードチョークコイルのコモン
モードのインピーダンスを、インピータンスアナライザ
により測定した。その結果、１００ＭＨｚにおけるイン
ピーダンスが５１９Ωとなり、ディファレンシャルモー
ドのインピーダンスは５.１Ωとなった。

【００３３】（実施例３）次に、第３の実施例として、
やはり端子の構造を変えた例を示す。図６、図７は、端
子の形成状態を示す図である。図６は、端子６０１、６
０２を基台の正面部分にのみ形成した例であり、図７
は、端子７０１、７０２を基台の正面及び側面に亘って
形成した例である。螺旋状導体の形成法は、第１の実施
例と同様とした。

【００３４】このコモンモードチョークコイル素子を、
第１の実施例に用いたものと同一の、軟磁性体からなる
部材に組み込んでコモンモードチョークコイルとした。
そして、インピーダンス特性を測定した結果、コモンモ
ードでは５１０Ω、ディファレンシャルモードでは５.
４Ωとなった。

【００３５】（実施例４）第４の実施例として、レーザ
ートリミングではなく、サンドブラスト法により螺旋状
導体の形成を行い、第１の実施例とまったく同じコモン
モードチョークコイルを作製した。これについてインピ
ーダンスを測定したが、第１の実施例と何らの有意差も
認められなかった。

【００３６】（実施例５）第５の実施例として、ウォー
タージェット法で螺旋状導体を形成して、第１の実施例
とまったく同じコモンモードチョークコイルを作製し
た。これについてもインピーダンスを測定したが、第１
の実施例と何らの有意差も認められなかった。

【００３７】（実施例６）次に、第６の実施例として、
コモンモードチョークコイル素子を組み付ける部材の形
状を変えた例を示す。図８は、本実施例のコモンモード
チョークコイルを示す図であり、図８（ａ）は斜視図
を、図８（ｂ）はＡＡの面における断面を示す。ここで
用いたコモンモードチョークコイル素子は、第１の実施
例に用いたものと同一である。組み付ける部材８０１
は、図に示したように、奥行きがコモンモードチョーク
コイル素子の全体の長さと略等しくなっている。即ち、
その寸法は、幅２.４ｍｍ、高さ１.０ｍｍ、奥行き１.
６ｍｍである。また、コモンモードチョークコイル素子
を組み付ける部分には、図８（ｂ）に示したように、コ
モンモードチョークコイル素子の螺旋状導体部の形状に
対応した凸部が設けられている。

【００３８】このコモンモードチョークコイルのコモン
モードのインピーダンスを、インピーダンスアナライザ
により測定した結果、１００ＭＨｚにおけるインピーダ
ンスが、コモンモードでは５２６Ω、ディファレンシャ
ルモードでは５.２Ωとなった。

【００３９】また、この部材にコモンモードチョークコ
イル素子を１個固定した場合の１００ＭＨｚにおけるイ
ンピーダンスは、コモンモードでは５３２Ω、ディファ
レンシャルモードでは５.７Ωであった。なお、本実施
例では、コモンモードチョークコイル素子として、第１
の実施例と同じものを用いたが、このような部材を用い
る場合は、第３の実施例に示した端子構造の方が好適で
ある。

【００４０】（実施例７）次に、第７の実施例として、
コモンモードチョークコイル素子を、板状の部材に組み
付ける例を示す。図９は、本実施例のコモンモードチョ
ークコイルの斜視図である。ここで用いた部材の寸法
は、幅が２.０ｍｍ、高さが０.４ｍｍ、奥行きが１.６
ｍｍである。

【００４１】このコモンモードチョークコイルのインピ
ーダンスを、インピーダンスアナライザにより測定した
結果、１００ＭＨｚにおけるコモンモードのインピーダ
ンスが５０７Ωとなった。ディファレンシャルモードの
インピーダンスは５.１Ωとなった。また、この部材９
００に１個だけ固定したコモンモードチョークコイル素
子のインピーダンス特性は、コモンモードでは５０９
Ω、ディファレンシャルモードでは５.１Ωとなった。

【００４２】（実施例８）実施例１で用いたコモンモー
ドチョークコイル素子と同等品を４個用意し、４箇所の
凹部を有する部材を用いて８ラインのコモンモードチョ
ークコイルを形成した。図１０は、このコモンモードチ
ョークコイル１０００の側面を示す。部材１００１の外
形寸法は、幅が４.４ｍｍ、高さが０.９ｍｍ、奥行きが
０.８ｍｍである。

【００４３】このコモンモードチョークコイルのコモン
モードのインピーダンスを、インピーダンスアナライザ
により測定した。その結果、１００ＭＨｚにおけるイン
ピ一ダンスが５１６Ωとなった。ディファレンシャルモ
ードのインピーダンスは、５.１Ωとなった。また、コ
モンモードチョークコイル素子を２個以上並列に並べた
場合でも同等の結果が得られる。

【００４４】（実施例９）実施例９は、コモンモードチ
ョークコイル素子として、螺旋状導体を基台表面に絶縁
層を介して、積層して形成したものを使用した。図１１
は、本実施例に使用するコモンモードチョークコイル素
子１１００を示す。この素子は、第１の実施例とまった
く同様に、第１の螺旋状導体を形成した後、絶縁層を形
成し、更に第１の螺旋状導体層と同様の方法で第２の螺
旋状導体を形成したものである。図１１には、第２の螺
旋状導体のみが示されている。

【００４５】このコモンモードチョークコイル素子を第
１の実施例と同様に軟磁性体からなる部材に組み付けコ
モンモードチョークコイルを得た。このコモンモードチ
ョークコイルのコモンモードのインピーダンスを、イン
ピーダンスアナライザにより測定した結果、１００ＭＨ
ｚにおけるインピーダンスが５１７Ωとなり、ディファ
レンシャルモードのインピーダンスは５.２Ωとなっ
た。

【００４６】また、第１の実施例に用いたコモンモード
チョークコイル素子を１個だけ部材に組み付けた場合
と、本実施例のコモンモードチョークコイル素子を１個
だけ部材に組み付けた場合についても、インピーダンス
特性を測定したところ、両者ともコモンモードでは５２
１Ω、ディファレンシャルモードでは５.９Ωとなっ
た。

【００４７】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、軟磁性体または誘電体にからなる基台表面に、互い
に電気的に絶縁された複数の螺旋状導体を形成したコモ
ンモードチョークコイル素子と、それを嵌合することが
できる凹部を有する部材からなり、少なくとも1個以上
のコモンモードチョークコイル素子を、前記部材並列に
固定することにより、共振周波数、インダクタンスのば
らつきが少ないコモンモードチョークコイルを、容易か
つ低コストで提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のコモンモードチョークコイルの一例を
示す図。

【図２】本発明のコモンモードチョークコイル素子に用
いる基台を示す図。

【図３】本発明の第１の実施例に用いるコモンモードチ
ョークコイル素子を示す図、図３（ａ）は正面図、図３
（ｂ）は側面図。

【図４】本発明の第１の実施例に用いる部材を示す図。

【図５】本発明の第２の実施例に用いるコモンモードチ
ョークコイル素子を示す図、図５（ａ）は正面図、図５
（ｂ）は側面図。

【図６】本発明の第３の実施例に用いるコモンモードチ
ョークコイル素子の端子の形成状態を示す図。

【図７】本発明の第３の実施例に用いるコモンモードチ
ョークコイル素子の端子の形成状態を示す図。

【図８】本発明の第６の実施例のコモンモードチョーク
コイルを示す図、図８（ａ）は全体の斜視図、図８
（ｂ）はＡＡに対応する断面図。

【図９】本発明の第７の実施例のコモンモードチョーク
コイルを示す図。

【図１０】本発明の第８の実施例のコモンモードチョー
クコイルを示す図。

【図１１】本発明の第９の実施例に用いるコモンモード
チョークコイル素子を示す図。

【符号の説明】

１００，８００，１０００ コモンモードチョークコ
イル １０１，３００，５００ コモンモードチョークコイ
ル素子 １０２，４００，８０１，９００，１００１ 部材 ２００ 基台 ２０１ 螺旋状導体形成部分 ３０１，３０２，３０５，３０６，１１０２ 溝 ３０３，３０４，１１０１ 螺旋状導体 ３０７，３０８，３０９，３１０，５０１，５０２，５
０３，５０４ 端子 ６０１，６０２，７０１，７０２，１１０３，１１０４
端子

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 軟磁性体あるいは誘電体からなる基台の
   表面に、互いに電気的に絶縁されて電気長が略等しく形
   成された第１及び第２の螺旋状導体が、前記基台の両端
   部のそれぞれに一対ずつ形成された第１及び第２の端子
   部に接続されてなるコモンモードチョークコイル素子
   と、軟磁性体あるいは誘電体からなり、少なくとも１個
   の前記コモンモードチョークコイル素子を固着可能な凹
   部を有する部材とを組み合わせた構成を有することを特
   徴とするコモンモードチョークコイル。
2. 【請求項２】 軟磁性体あるいは誘電体からなる基台の
   表面に、互いに電気的に絶縁されて電気長が略等しく形
   成された第１及び第２の螺旋状導体が、前記基台の両端
   部のそれぞれに一対ずつ形成された第１及び第２の端子
   部に接続されてなるコモンモードチョークコイル素子
   を、軟磁性体あるいは誘電体からなり、少なくとも２個
   の前記コモンモードチョークコイル素子を固着可能な凹
   部を有する部材の凹部に、直列または並列に固定してな
   ることを特徴とするコモンモードチョークコイル。
3. 【請求項３】 軟磁性体あるいは誘電体からなる基台の
   表面に、互いに電気的に絶縁されて電気長が略等しく形
   成された第１及び第２の螺旋状導体が、前記基台の両端
   部のそれぞれに一対ずつ形成された第１及び第２の端子
   部に接続されてなるコモンモードチョークコイル素子
   と、軟磁性体あるいは誘電体からなる板状の部材とを組
   み合わせた構成を有し、少なくとも２個の前記コモンモ
   ードチョークコイル素子を、前記板状部材の上に直列ま
   たは並列に固定してなることを特徴とするコモンモード
   チョークコイル。
4. 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれかに記
   載のコモンモードチョークコイルにおいて、前記コモン
   モードチョークコイル素子の第１及び第２の螺旋状導体
   が、メッキ法、スパッタ法、蒸着法のいずれかの少なく
   とも１種類の方法を用いて設けられた導体層を、レーザ
   ートリミング法、サンドブラスト法、ウォータージェッ
   ト法のいずれかの少なくとも１種類の方法で部分的に除
   去することにより、基台表面に交互に形成されてなるこ
   とを特徴とするコモンモードチョークコイル。
5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項３のいずれかに記
   載のコモンモードチョークコイルにおいて、前記コモン
   モードチョークコイル素子は、基台表面にメッキ法、ス
   パッタ法、蒸着法のいずれかの少なくとも１種類の方法
   を用いて設けられた導体層を、レーザートリミング法、
   サンドブラスト法、ウォータージェット法のいずれかの
   少なくとも１種類の方法で部分的に除去することにより
   形成されてなる第１の螺旋状導体と、第１の螺旋状導体
   を被覆する絶縁層の上に第１の螺旋状導体と同様の方法
   で形成されてなる第２の螺旋状導体からなることを特徴
   とするコモンモードチョークコイル。
6. 【請求項６】 請求項１ないし請求項５のいずれかに記
   載のコモンモードチョークコイルにおいて、前記コモン
   モードチョークコイル素子の螺旋状導体が形成されてい
   る部分の基台の断面積が、端子が形成されている部分の
   基台の断面積よりも小さく、前記螺旋状導体部が前記部
   材に固定され、前記端子部が前記部材の外側にあること
   を特徴とするコモンモードチョークコイル。
7. 【請求項７】 請求項１ないし請求項５のいずれかに記
   載のコモンモードチョークコイルにおいて、前記コモン
   モードチョークコイル素子の螺旋状導体が形成されてい
   る部分の基台の断面積が、端子が形成されている部分の
   基台の断面積よりも小さく、前記部材が前記コモンモー
   ドチョークコイル素子の螺旋状導体の形状に略対応した
   凸部を有し、前記部材は前記螺旋状導体部と前記端子部
   を覆っていることを特徴とするコモンモードチョークコ
   イル。
8. 【請求項８】 請求項１ないし請求項７のいずれかに記
   載のコモンモードチョークコイルにおいて、前記部材を
   構成する軟磁性体もしくは誘電体の直流比抵抗が１０^８
   Ω・ｍ以上であることを特徴とするコモンモードチョー
   クコイル。
9. 【請求項９】 請求項１ないし請求項８のいずれかに記
   載のコモンモードチョークコイルにおいて、前記コモン
   モードチョークコイル素子の第１及び第２の端子は、前
   記基台の長手方向に平行な第１面とこれに対向する第２
   面の長手方向、及び長手方向に垂直な面に連続した溝に
   より分離形成され、電気的に絶縁されてなることを特徴
   とするコモンモードチョークコイル。
10. 【請求項１０】 請求項１ないし請求項８のいずれかに
    記載のコモンモードチョークコイルにおいて、前記コモ
    ンモードチョークコイル素子の第１及び第２の端子は、
    前記基台の両端部に形成されてなる導体層を、長手方向
    に平行な第１面とこれに対向する第２面の長手方向、及
    び長手方向に垂直な面において、連続した溝を形成する
    ように除去することにより分離形成され、電気的に絶縁
    されてなることを特徴とするコモンモードチョークコイ
    ル。
11. 【請求項１１】 請求項１０に記載のコモンモードチョ
    ークコイルにおいて、前記コモンモードチョークコイル
    素子の第１及び第２の端子は、前記基台の長手方向に平
    行な第１面以外の面の前記導体層が除去されてなること
    を特徴とするコモンモードチョークコイル。
12. 【請求項１２】 請求項１０もしくは請求項１１のいず
    れかに記載のコモンモードチョークコイルにおいて、前
    記コモンモードチョークコイル素子の導体層の除去方法
    は、レーザートリミング法、サンドブラスト法、ウォー
    タージェット法のいずれかの少なくとも１種類であるこ
    とを特徴とするコモンモードチョークコイル。
13. 【請求項１３】 請求項１ないし請求項１２のいずれか
    に記載のコモンモードチョークコイルにおいて、前記コ
    モンモードチョークコイル素子の第１及び第２の端子が
    形成されている面の少なくとも１つの面が露出するよう
    に、前記コモンモードチョークコイル素子が前記部材に
    嵌合されてなることを特徴とするコモンモードチョーク
    コイル。
14. 【請求項１４】 軟磁性体もしくは誘電体からなる柱状
    の基台の表面に、メッキ法、スパッタ法、蒸着法のいず
    れかの少なくとも１種類の方法を用いて導体層を形成
    し、前記導体層の所要部分を、レーザートリミング法、
    サンドブラスト法、ウォータージェット法のいずれかの
    少なくとも１種類の方法で除去することにより、前記基
    台の表面に螺旋状導体及び端子を形成してコモンモード
    チョークコイル素子を得ることを特徴とする、請求項１
    ないし請求項１３のいずれかに記載のコモンモードチョ
    ークコイルの製造方法。