JP2002031728A - 波長選択性を有する光導波路素子 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造を容易にして、製造コストの低減を図っ
た波長選択性を有する光導波路素子を提供すること。 【解決手段】 波長選択性を有する光導波路素子１１
は、光導波路１２のチャンネル１３〜１６が一端面１７
に開口したガラス基板１８と、その一端面１７に形成さ
れた多層膜フィルタ１９とを備える。同フィルタ１９
は、その膜厚がチャンネル１３〜１６の各位置に応じて
連続的に変化するように形成されている。多層膜フィル
タ１９の透過光の中心波長がチャンネル１３〜１６毎に
異なる。混合光が各チャンネルを通ってフィルタ１９に
入射する場合、混合光はフィルタ１９により各チャンネ
ル毎に中心波長の異なる光に分けられる。光導波路素子
１１は、基板１８の一端面１７に、フィルタ１９を、そ
の膜厚が各チャンネル１３〜１６の位置に応じて連続的
に変化するように形成するだけで作製される。
た波長選択性を有する光導波路素子を提供すること。 【解決手段】 波長選択性を有する光導波路素子１１
は、光導波路１２のチャンネル１３〜１６が一端面１７
に開口したガラス基板１８と、その一端面１７に形成さ
れた多層膜フィルタ１９とを備える。同フィルタ１９
は、その膜厚がチャンネル１３〜１６の各位置に応じて
連続的に変化するように形成されている。多層膜フィル
タ１９の透過光の中心波長がチャンネル１３〜１６毎に
異なる。混合光が各チャンネルを通ってフィルタ１９に
入射する場合、混合光はフィルタ１９により各チャンネ
ル毎に中心波長の異なる光に分けられる。光導波路素子
１１は、基板１８の一端面１７に、フィルタ１９を、そ
の膜厚が各チャンネル１３〜１６の位置に応じて連続的
に変化するように形成するだけで作製される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信、例えば波
長多重通信等に用いられる光導波路素子に関し、特に、
波長の異なる光を多重化したり、多重化された光を波長
毎に分けたりするのに好適な波長選択性を有する光導波
路に関する。
長多重通信等に用いられる光導波路素子に関し、特に、
波長の異なる光を多重化したり、多重化された光を波長
毎に分けたりするのに好適な波長選択性を有する光導波
路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、光導波路を有する部材が光通
信用器材として用いられている。今後、光通信が広く普
及してくると、光通信用器材の小型化及び集積化がます
ます必要になってくる。また、光通信には、光りを波長
毎に選択的に透過或いは反射させて分波する技術が必要
となる。そのための光学フィルタとして、高屈折率誘電
体層と低屈折率誘電体層を交互に積層した多層膜フィル
タ、例えば、エッジフィルタ、狭帯域フィルタ等が知ら
れている。
信用器材として用いられている。今後、光通信が広く普
及してくると、光通信用器材の小型化及び集積化がます
ます必要になってくる。また、光通信には、光りを波長
毎に選択的に透過或いは反射させて分波する技術が必要
となる。そのための光学フィルタとして、高屈折率誘電
体層と低屈折率誘電体層を交互に積層した多層膜フィル
タ、例えば、エッジフィルタ、狭帯域フィルタ等が知ら
れている。
【０００３】このような光学フィルタを用いた従来の光
通信用器材として、例えば、図６に示すようなものが知
られている。この光通信用器材６０は、光導波路６１が
形成されたガラス基板６２を有し、光導波路６１のチャ
ンネル６３に入射した混合光を波長がλ１、λ２の光に
分けて光導波路６１のチャンネル６４，６５からそれぞ
れ出射するようになっている。即ち、ファイバーアレイ
６６からチャンネル６３に入射した混合光は、光学フィ
ルタ６７により波長がλ１の光とλ２の光を含む混合光
に分けられ、同混合光は、さらに光学フィルタ６８によ
り波長がλ１の光に分けられるとともに、光学フィルタ
６９により波長がλ２の光に分けられ、λ１，λ２の光
はそれぞれチャンネル６４，６５からファイバーアレイ
７０へ出射されるようになっている。
通信用器材として、例えば、図６に示すようなものが知
られている。この光通信用器材６０は、光導波路６１が
形成されたガラス基板６２を有し、光導波路６１のチャ
ンネル６３に入射した混合光を波長がλ１、λ２の光に
分けて光導波路６１のチャンネル６４，６５からそれぞ
れ出射するようになっている。即ち、ファイバーアレイ
６６からチャンネル６３に入射した混合光は、光学フィ
ルタ６７により波長がλ１の光とλ２の光を含む混合光
に分けられ、同混合光は、さらに光学フィルタ６８によ
り波長がλ１の光に分けられるとともに、光学フィルタ
６９により波長がλ２の光に分けられ、λ１，λ２の光
はそれぞれチャンネル６４，６５からファイバーアレイ
７０へ出射されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図６に示す上記従来技
術では、波長の異なる光を含む混合光を波長がλ１の光
とλ２の光に分ける（分波する）ために、３つの光学フ
ィルタ６７〜６９を用いている。ところが、それらの光
学フィルタ６７〜６９を光導波路６１の所定箇所に配置
するには、同フィルタが挿入される溝７１，７２を基板
６２に加工する機械加工と、光学フィルタ６７〜６９を
対応する溝７１，７２に組み付ける作業とを行う必要が
あり、作業工程が多くなってしまうという問題があっ
た。特に、光導波路６１のチャンネル数が多くなるほ
ど、使用する光学フィルタも多くなり、その分だけ作業
がより煩雑になって作業時間が長くなってしまう。しか
も、光通信用器材６０は小型であり、ガラス基板６２及
び光学フィルタ６７〜６９も小さいので、前記機械加工
や光学フィルタの組込み作業が非常に細かい作業とな
り、光通信用器材６０の作製が難しいという問題があっ
た。
術では、波長の異なる光を含む混合光を波長がλ１の光
とλ２の光に分ける（分波する）ために、３つの光学フ
ィルタ６７〜６９を用いている。ところが、それらの光
学フィルタ６７〜６９を光導波路６１の所定箇所に配置
するには、同フィルタが挿入される溝７１，７２を基板
６２に加工する機械加工と、光学フィルタ６７〜６９を
対応する溝７１，７２に組み付ける作業とを行う必要が
あり、作業工程が多くなってしまうという問題があっ
た。特に、光導波路６１のチャンネル数が多くなるほ
ど、使用する光学フィルタも多くなり、その分だけ作業
がより煩雑になって作業時間が長くなってしまう。しか
も、光通信用器材６０は小型であり、ガラス基板６２及
び光学フィルタ６７〜６９も小さいので、前記機械加工
や光学フィルタの組込み作業が非常に細かい作業とな
り、光通信用器材６０の作製が難しいという問題があっ
た。
【０００５】本発明は、このような従来の問題点に着目
してなされたもので、その目的は、製造を容易にして、
製造コストの低減を図った波長選択性を有する光導波路
素子を提供することにある。
してなされたもので、その目的は、製造を容易にして、
製造コストの低減を図った波長選択性を有する光導波路
素子を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明では、光導波路を有し、同光導
波路の複数のチャンネルがそれぞれ一端面に開口した基
板と、同基板の一端面に形成された多層膜フィルタとを
備え、同多層膜フィルタは、その膜厚が前記複数のチャ
ンネルの各位置に応じて連続的に変化するように形成さ
れていることを特徴とする波長選択性を有する光導波路
素子をその要旨としている。
に、請求項１に係る発明では、光導波路を有し、同光導
波路の複数のチャンネルがそれぞれ一端面に開口した基
板と、同基板の一端面に形成された多層膜フィルタとを
備え、同多層膜フィルタは、その膜厚が前記複数のチャ
ンネルの各位置に応じて連続的に変化するように形成さ
れていることを特徴とする波長選択性を有する光導波路
素子をその要旨としている。
【０００７】この構成によれば、多層膜フィルタの膜厚
が前記複数のチャンネルの各位置に応じて連続的に変化
しているので、多層膜フィルタの透過光の中心波長が複
数のチャンネル毎に異なる。このため、波長の異なる光
を含む混合光が光導波路の各チャンネルを通って多層膜
フィルタに入射する場合には、混合光は多層膜フィルタ
により各チャンネル毎に中心波長の異なる光に分けられ
る。例えば、光導波路のチャンネル数をｎとすると、中
心波長がλ１〜λｎの光を含む混合光（２nの情報量を
有する光信号）が各チャンネルを通って多層膜フィルタ
に入射する場合には、その混合光は多層膜フィルタによ
り中心波長がλ１〜λｎの光に分けられる。
が前記複数のチャンネルの各位置に応じて連続的に変化
しているので、多層膜フィルタの透過光の中心波長が複
数のチャンネル毎に異なる。このため、波長の異なる光
を含む混合光が光導波路の各チャンネルを通って多層膜
フィルタに入射する場合には、混合光は多層膜フィルタ
により各チャンネル毎に中心波長の異なる光に分けられ
る。例えば、光導波路のチャンネル数をｎとすると、中
心波長がλ１〜λｎの光を含む混合光（２nの情報量を
有する光信号）が各チャンネルを通って多層膜フィルタ
に入射する場合には、その混合光は多層膜フィルタによ
り中心波長がλ１〜λｎの光に分けられる。
【０００８】これとは逆に、中心波長がλ１〜λｎの光
を含む混合光が多層膜フィルタに入射する場合には、そ
の混合光は多層膜フィルタにより中心波長の異なる光に
分けられ、対応する各チャンネルに入る。例えば、混合
光は多層膜フィルタにより中心波長がλ１〜λｎの光に
分けられて対応する各チャンネルに入る。即ち、２nの
情報量を有する光信号が、各チャンネル毎に中心波長の
異なる光に分けられる。 こうした波長選択性を有する
光学素子は、基板の一端面に、多層膜フィルタを、その
膜厚が各チャンネルの位置に応じて連続的に変化するよ
うに形成するだけで作製される。そのため、上記従来技
術のように、光導波路を有する基板にフィルタを取り付
けるための溝を加工したり、その溝にフィルタを組み付
けたりする非常に細かい作業を行う必要がなく、工程数
と手間が大幅に削減される。こうして、光導波路を有す
る基板の製造工程と、同基板の一端面に多層膜フィルタ
を成膜する成膜工程の２工程で光導波路素子が作製され
る。しかも、光導波路のチャンネル数を増やしても、上
記従来技術のように、作業がより煩雑になったり、作業
時間が長くなったりしない。
を含む混合光が多層膜フィルタに入射する場合には、そ
の混合光は多層膜フィルタにより中心波長の異なる光に
分けられ、対応する各チャンネルに入る。例えば、混合
光は多層膜フィルタにより中心波長がλ１〜λｎの光に
分けられて対応する各チャンネルに入る。即ち、２nの
情報量を有する光信号が、各チャンネル毎に中心波長の
異なる光に分けられる。 こうした波長選択性を有する
光学素子は、基板の一端面に、多層膜フィルタを、その
膜厚が各チャンネルの位置に応じて連続的に変化するよ
うに形成するだけで作製される。そのため、上記従来技
術のように、光導波路を有する基板にフィルタを取り付
けるための溝を加工したり、その溝にフィルタを組み付
けたりする非常に細かい作業を行う必要がなく、工程数
と手間が大幅に削減される。こうして、光導波路を有す
る基板の製造工程と、同基板の一端面に多層膜フィルタ
を成膜する成膜工程の２工程で光導波路素子が作製され
る。しかも、光導波路のチャンネル数を増やしても、上
記従来技術のように、作業がより煩雑になったり、作業
時間が長くなったりしない。
【０００９】したがって、光導波路素子を容易に製造す
ることができ、その製造コストを低減することができ
る。請求項２に係る発明では、請求項１に記載の光導波
路素子において、前記多層膜フィルタの膜厚は、前記基
板の一端面内で、前記複数のチャンネルの並び方向の一
端側から他端側へ直線的に変化していることを特徴とし
ている。
ることができ、その製造コストを低減することができ
る。請求項２に係る発明では、請求項１に記載の光導波
路素子において、前記多層膜フィルタの膜厚は、前記基
板の一端面内で、前記複数のチャンネルの並び方向の一
端側から他端側へ直線的に変化していることを特徴とし
ている。
【００１０】この構成によれば、基板の一端面に開口し
た複数のチャンネルの各位置と、これらの位置にそれぞ
れ対応する多層膜フィルタ各部での中心波長との関係を
一義的に決定することができ、多層膜フィルタの各部の
中心波長を一次式で表すことができる。したがって、基
板の一端面での複数のチャンネルの各位置が変更された
り、チャンネル数が増減される等の設計変更に容易に対
応することができ、製造がより一層容易になる。
た複数のチャンネルの各位置と、これらの位置にそれぞ
れ対応する多層膜フィルタ各部での中心波長との関係を
一義的に決定することができ、多層膜フィルタの各部の
中心波長を一次式で表すことができる。したがって、基
板の一端面での複数のチャンネルの各位置が変更された
り、チャンネル数が増減される等の設計変更に容易に対
応することができ、製造がより一層容易になる。
【００１１】請求項３に係る発明では、請求項１又は２
に記載の光導波路素子において、前記光導波路は、前記
基板の他端側に開口した１以上のチャンネルを有してい
るとを特徴とする。
に記載の光導波路素子において、前記光導波路は、前記
基板の他端側に開口した１以上のチャンネルを有してい
るとを特徴とする。
【００１２】この構成によれば、基板の両端面のいずれ
の側からも光を入れることができるので、通常の光導波
路素子と同様に、双方向性を持つ光導波路素子として多
用途に使用することができる。
の側からも光を入れることができるので、通常の光導波
路素子と同様に、双方向性を持つ光導波路素子として多
用途に使用することができる。
【００１３】請求項４に係る発明では、請求項１〜３の
いずれか一項に記載の光導波路素子において、前記多層
膜フィルタには、同フィルタの前記各部に平行光を出射
する光信号発生部が一体化されていることを特徴とす
る。
いずれか一項に記載の光導波路素子において、前記多層
膜フィルタには、同フィルタの前記各部に平行光を出射
する光信号発生部が一体化されていることを特徴とす
る。
【００１４】この構成によれば、光信号発生部から出射
される平行光は、多層膜フィルタにより、各チャンネル
毎に中心波長の異なる光に分けられて各チャンネルに送
られる。こうして分けられた中心波長の異なる光を合流
させることにより、波長の異なる光を多重化した混合光
を作ることができる。例えば、基板の一端面側でのチャ
ンネル数をｎとすると、中心波長がλ１〜λｎの光を含
む混合光を作ることができる。
される平行光は、多層膜フィルタにより、各チャンネル
毎に中心波長の異なる光に分けられて各チャンネルに送
られる。こうして分けられた中心波長の異なる光を合流
させることにより、波長の異なる光を多重化した混合光
を作ることができる。例えば、基板の一端面側でのチャ
ンネル数をｎとすると、中心波長がλ１〜λｎの光を含
む混合光を作ることができる。
【００１５】請求項５に係る発明では、前記光信号発生
部は、前記基板の一端面にそれぞれ開口した前記複数の
チャンネルにそれぞれ対応する複数のレンズを有するレ
ンズアレイと、前記複数のレンズをそれぞれ介して前記
多層膜フィルタへ光を出射する複数の光源とからなるこ
とを特徴としている。
部は、前記基板の一端面にそれぞれ開口した前記複数の
チャンネルにそれぞれ対応する複数のレンズを有するレ
ンズアレイと、前記複数のレンズをそれぞれ介して前記
多層膜フィルタへ光を出射する複数の光源とからなるこ
とを特徴としている。
【００１６】この構成によれば、各光源から出射される
光は、多層膜フィルタにより中心波長の異なる光に分け
られる。このため、各光源のＯＮ，ＯＦＦを個別に制御
するとともに、多層膜フィルタで分けられた光を合流す
ることにより、中心波長の異なる光を含む混合光を作る
ことができる。例えば、光源、レンズ及びチャンネルの
数をそれぞれｎとすると、中心波長がλ１〜λｎの光を
含む２nの情報量を有する混合光を作ることができる。
光は、多層膜フィルタにより中心波長の異なる光に分け
られる。このため、各光源のＯＮ，ＯＦＦを個別に制御
するとともに、多層膜フィルタで分けられた光を合流す
ることにより、中心波長の異なる光を含む混合光を作る
ことができる。例えば、光源、レンズ及びチャンネルの
数をそれぞれｎとすると、中心波長がλ１〜λｎの光を
含む２nの情報量を有する混合光を作ることができる。
【００１７】請求項６に係る発明では、前記レンズアレ
イは、前記複数のレンズとして複数のロッドレンズを有
するロッドレンズアレイであることを特徴としている。
この構成によれば、光導波路を有し多層膜フィルタが形
成された基板と、ロッドレンズアレイとの組み合わせに
より、波長選択性を有する小型の光導波路素子が得られ
る。
イは、前記複数のレンズとして複数のロッドレンズを有
するロッドレンズアレイであることを特徴としている。
この構成によれば、光導波路を有し多層膜フィルタが形
成された基板と、ロッドレンズアレイとの組み合わせに
より、波長選択性を有する小型の光導波路素子が得られ
る。
【００１８】請求項７に係る発明では、前記多層膜フィ
ルタには、波長の異なる光を多重化した混合光を前記多
層膜フィルタにより波長毎に分けた光を検出する光信号
検出部が一体化されていることを特徴としている。
ルタには、波長の異なる光を多重化した混合光を前記多
層膜フィルタにより波長毎に分けた光を検出する光信号
検出部が一体化されていることを特徴としている。
【００１９】この構成によれば、波長の異なる光を多重
化した混合光が各チャンネルを通って多層膜フィルタに
送られると、その混合光は多層膜フィルタにより中心波
長の異なる光に分けられて光信号検出部で受光される。
このため、同光信号検出部は、混合光に含まれる波長の
異なる光を波長毎に分けて検出することができる。例え
ば、混合光を２nの情報量を有する光信号とすると、そ
の混合光が多層膜フィルタにより各チャンネル毎に中心
波長の異なるλ１〜λｎの光に分けられて光信号検出部
に入射するので、光信号検出部は、２nの情報量を有す
る光信号を２nの情報量を有する電気信号に変換するこ
とができる。
化した混合光が各チャンネルを通って多層膜フィルタに
送られると、その混合光は多層膜フィルタにより中心波
長の異なる光に分けられて光信号検出部で受光される。
このため、同光信号検出部は、混合光に含まれる波長の
異なる光を波長毎に分けて検出することができる。例え
ば、混合光を２nの情報量を有する光信号とすると、そ
の混合光が多層膜フィルタにより各チャンネル毎に中心
波長の異なるλ１〜λｎの光に分けられて光信号検出部
に入射するので、光信号検出部は、２nの情報量を有す
る光信号を２nの情報量を有する電気信号に変換するこ
とができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した波長選
択性を有する光導波路素子の各実施形態を図面に基づい
て説明する。
択性を有する光導波路素子の各実施形態を図面に基づい
て説明する。
【００２１】［第１の実施形態］第１の実施形態に係る
光導波路素子を、図１〜図３に基づいて説明する。この
光導波路素子１１は、図１に示すように、光導波路１２
を有し、同光導波路１２の４つのチャンネル１３〜１６
が一端面１７に開口した基板としてのガラス基板１８
と、その一端面１７に形成された多層膜フィルタ１９と
を備えている。この多層膜フィルタ１９の、チャンネル
１３〜１６にそれぞれ対応する各部の膜厚は、同各部を
透過する光の中心波長が異なるように設定されている。
多層膜フィルタ１９の各部を透過する光の中心波長は、
その各部の膜厚が薄くなるほど中心波長が短くなる。
光導波路素子を、図１〜図３に基づいて説明する。この
光導波路素子１１は、図１に示すように、光導波路１２
を有し、同光導波路１２の４つのチャンネル１３〜１６
が一端面１７に開口した基板としてのガラス基板１８
と、その一端面１７に形成された多層膜フィルタ１９と
を備えている。この多層膜フィルタ１９の、チャンネル
１３〜１６にそれぞれ対応する各部の膜厚は、同各部を
透過する光の中心波長が異なるように設定されている。
多層膜フィルタ１９の各部を透過する光の中心波長は、
その各部の膜厚が薄くなるほど中心波長が短くなる。
【００２２】光導波路１２は、４つのチャンネル１３〜
１６がガラス基板１８の他端面２０側に形成された１つ
のチャンネル２１と合流するように形成されている。こ
のチャンネル２１は、ガラス基板１８の他端面２０に開
口している。ガラス基板１８の一端面１７は平坦面に加
工されており、この一端面１７の全面に多層膜フィルタ
１９が成膜されている。
１６がガラス基板１８の他端面２０側に形成された１つ
のチャンネル２１と合流するように形成されている。こ
のチャンネル２１は、ガラス基板１８の他端面２０に開
口している。ガラス基板１８の一端面１７は平坦面に加
工されており、この一端面１７の全面に多層膜フィルタ
１９が成膜されている。
【００２３】多層膜フィルタ１９は、高屈折率誘電体層
と低屈折率誘電体層とを交互に積層して作製した狭帯域
フィルタであり、真空中で物理的気相法によりガラス基
板１８の一端面１７に直接成膜されている。ここで、高
屈折率誘電体層には例えば酸化タンタルが用いられてお
り、低屈折率誘電体層には例えば酸化シリコンが用いら
れている。
と低屈折率誘電体層とを交互に積層して作製した狭帯域
フィルタであり、真空中で物理的気相法によりガラス基
板１８の一端面１７に直接成膜されている。ここで、高
屈折率誘電体層には例えば酸化タンタルが用いられてお
り、低屈折率誘電体層には例えば酸化シリコンが用いら
れている。
【００２４】また、多層膜フィルタ１９は、例えば図２
に示すような成膜装置２２を使った物理的気相法として
のスパッタリング法により成膜される。この成膜装置２
２にあっては、真空チャンバ２３内でターゲット２４は
ターゲット電極２５上に取り付けられている。この電極
２５には、直流電源或いは高周波電源により負電圧が印
加される。真空チャンバ２３には真空排気系（図示省
略）が取り付けられている。また、真空チャンバ２３内
に設けた回転ドラム２６の外周面には、１つ或いは複数
のガラス基板１８が固定されている。各ガラス基板１８
は、その一端面１７の長手方向とターゲット２４の長手
方向とが同方向になるとともに、一端面１７がターゲッ
ト２４に対して傾いた姿勢で正対するように、回転ドラ
ム２６の外周面に固定されている。
に示すような成膜装置２２を使った物理的気相法として
のスパッタリング法により成膜される。この成膜装置２
２にあっては、真空チャンバ２３内でターゲット２４は
ターゲット電極２５上に取り付けられている。この電極
２５には、直流電源或いは高周波電源により負電圧が印
加される。真空チャンバ２３には真空排気系（図示省
略）が取り付けられている。また、真空チャンバ２３内
に設けた回転ドラム２６の外周面には、１つ或いは複数
のガラス基板１８が固定されている。各ガラス基板１８
は、その一端面１７の長手方向とターゲット２４の長手
方向とが同方向になるとともに、一端面１７がターゲッ
ト２４に対して傾いた姿勢で正対するように、回転ドラ
ム２６の外周面に固定されている。
【００２５】真空チャンバ２３内を真空排気系により高
真空にした後、同チャンバ２３内にＡｒ等の不活性ガス
を導入した状態で、ターゲット電極２５に負電圧を印加
すると、ターゲット電極２５表面近傍の気相中にプラズ
マ状態が作られ、スパッタリング現象によりターゲット
電極２５の表面から放出されたターゲット原子が、ガラ
ス基板１８の一端面１７に被着・堆積されて薄膜が形成
される。
真空にした後、同チャンバ２３内にＡｒ等の不活性ガス
を導入した状態で、ターゲット電極２５に負電圧を印加
すると、ターゲット電極２５表面近傍の気相中にプラズ
マ状態が作られ、スパッタリング現象によりターゲット
電極２５の表面から放出されたターゲット原子が、ガラ
ス基板１８の一端面１７に被着・堆積されて薄膜が形成
される。
【００２６】このようにして、一端面１７に薄膜を形成
する工程で、回転ドラム２６を所定の速度で回転させる
ことにより、各ガラス基板１８の一端面１７がターゲッ
ト２４の前を上記傾いた姿勢で通過する。このため、一
端面１７とターゲット２４との間の距離（以下、ターゲ
ット・基板間距離という。）が、一端面１７の長手方向
の一端１７ａ側では長く、その他端１７ｂ側に向かうに
つれて短くなっている。そのため、一端面１７の一端１
７ａ側では膜が薄く形成され、その他端１７ｂ側へ向か
うにつれて膜が厚く形成される。これにより、一端面１
７に形成される多層膜フィルタ１９の膜厚が、その一端
面１７内におけるチャンネル１３〜１６の並び方向の一
端１７ａ側からその他端１７ｂ側へ直線的に変化してい
る（図１参照）。
する工程で、回転ドラム２６を所定の速度で回転させる
ことにより、各ガラス基板１８の一端面１７がターゲッ
ト２４の前を上記傾いた姿勢で通過する。このため、一
端面１７とターゲット２４との間の距離（以下、ターゲ
ット・基板間距離という。）が、一端面１７の長手方向
の一端１７ａ側では長く、その他端１７ｂ側に向かうに
つれて短くなっている。そのため、一端面１７の一端１
７ａ側では膜が薄く形成され、その他端１７ｂ側へ向か
うにつれて膜が厚く形成される。これにより、一端面１
７に形成される多層膜フィルタ１９の膜厚が、その一端
面１７内におけるチャンネル１３〜１６の並び方向の一
端１７ａ側からその他端１７ｂ側へ直線的に変化してい
る（図１参照）。
【００２７】なお、多層膜フィルタ１９は、上述したス
パッタリング法以外に、物理的気相法として、真空蒸着
法や他のスパッタリング法等により成膜することができ
る。また、多層膜フィルタ１９についてより高い耐候性
を得るために、マグネトロンスパッタ法、イオンビーム
スパッタリング法、イオンアシスト蒸着法等を用いるこ
とができる。
パッタリング法以外に、物理的気相法として、真空蒸着
法や他のスパッタリング法等により成膜することができ
る。また、多層膜フィルタ１９についてより高い耐候性
を得るために、マグネトロンスパッタ法、イオンビーム
スパッタリング法、イオンアシスト蒸着法等を用いるこ
とができる。
【００２８】以上のように構成された第１の実施形態に
よれば、以下の作用効果を奏する。 （イ）多層膜フィルタ１９の透過光の中心波長が光導波
路１２の各チャンネル１３〜１６毎に異なる。このた
め、波長の異なる光を含む混合光、例えば図３（ａ）に
示すような波長依存性を持たない光（入射光）が、光導
波路１２のチャンネル２１に入射し、各チャンネル１３
〜１６を通って多層膜フィルタ１９に入射する場合に
は、同混合光は多層膜フィルタ１９によりその各部毎に
中心波長の異なる光（波長がλ１，λ２，λ３、λ４の
出射光Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）に分けられる（図３（ｂ）参
照）。即ち、中心波長がλ１〜λ４の光を含む混合光
（２4の情報量を有する光信号）が、多層膜フィルタ１
９により中心波長がλ１〜λ４の光に分けられる。
よれば、以下の作用効果を奏する。 （イ）多層膜フィルタ１９の透過光の中心波長が光導波
路１２の各チャンネル１３〜１６毎に異なる。このた
め、波長の異なる光を含む混合光、例えば図３（ａ）に
示すような波長依存性を持たない光（入射光）が、光導
波路１２のチャンネル２１に入射し、各チャンネル１３
〜１６を通って多層膜フィルタ１９に入射する場合に
は、同混合光は多層膜フィルタ１９によりその各部毎に
中心波長の異なる光（波長がλ１，λ２，λ３、λ４の
出射光Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）に分けられる（図３（ｂ）参
照）。即ち、中心波長がλ１〜λ４の光を含む混合光
（２4の情報量を有する光信号）が、多層膜フィルタ１
９により中心波長がλ１〜λ４の光に分けられる。
【００２９】上記とは逆に、中心波長がλ１〜λ４の光
を含む混合光が多層膜フィルタ１９に入射する場合に
は、混合光は多層膜フィルタ１９により中心波長の異な
る光（λ１〜λ４の光）に分けられ、対応する各チャン
ネル１３〜１６に入る。こうして、多層膜フィルタ１９
に入射する２4の情報量を有する光信号が、各チャンネ
ル１３〜１６毎に中心波長の異なる光（λ１〜λ４）に
分けられる。こうして分けられた波長がλ１〜λ４の各
光は、各チャンネル１３〜１６をそれぞれ通った後、チ
ャンネル２１に入って合流する。こうして波長の異なる
光が多重化された混合光、即ち２4の情報量を有する光
信号が、ガラス基板１８の他端面２０側から出射され
る。
を含む混合光が多層膜フィルタ１９に入射する場合に
は、混合光は多層膜フィルタ１９により中心波長の異な
る光（λ１〜λ４の光）に分けられ、対応する各チャン
ネル１３〜１６に入る。こうして、多層膜フィルタ１９
に入射する２4の情報量を有する光信号が、各チャンネ
ル１３〜１６毎に中心波長の異なる光（λ１〜λ４）に
分けられる。こうして分けられた波長がλ１〜λ４の各
光は、各チャンネル１３〜１６をそれぞれ通った後、チ
ャンネル２１に入って合流する。こうして波長の異なる
光が多重化された混合光、即ち２4の情報量を有する光
信号が、ガラス基板１８の他端面２０側から出射され
る。
【００３０】このような波長選択性を有する光導波路素
子１１を、簡単な構成で得ることができる。 （ロ）光導波路素子１１は、ガラス基板１８の一端面１
７に、多層膜フィルタ１９を、その膜厚が各チャンネル
１３〜１６の位置に応じて連続的に変化するように形成
するだけで作製される。そのため、上記従来技術のよう
に、光導波路を有する基板にフィルタを取り付けるため
の溝を加工したり、その溝にフィルタを組み付けたりす
る非常に細かい作業を行う必要がなく、工程数と手間が
大幅に削減される。
子１１を、簡単な構成で得ることができる。 （ロ）光導波路素子１１は、ガラス基板１８の一端面１
７に、多層膜フィルタ１９を、その膜厚が各チャンネル
１３〜１６の位置に応じて連続的に変化するように形成
するだけで作製される。そのため、上記従来技術のよう
に、光導波路を有する基板にフィルタを取り付けるため
の溝を加工したり、その溝にフィルタを組み付けたりす
る非常に細かい作業を行う必要がなく、工程数と手間が
大幅に削減される。
【００３１】特に、上記従来技術では、光導波路のチャ
ンネル数が多くなるほど、使用する光学フィルタも多く
なり、その分だけ基板にフィルタ組付け用の溝を機械加
工する工数が増えるとともに、それらの溝に光学フィル
タを組み付ける工数も増え、作業がより煩雑になって作
業時間が長くなってしまう。これに対して、本実施形態
によれば、光導波路１２のチャンネル数が多くなった場
合でも、チャンネル数の増加分だけ、多層膜フィルタ１
９の、増加した各チャンネルにそれぞれ対応する各部の
膜厚を適宜設定するだけでよい。このため、チャンネル
数の増加により作業が繁雑になったり、作業時間が長く
なったりするのを防止することができる。したがって、
光導波路素子を容易に製造することができ、その製造コ
ストを低減することができる。
ンネル数が多くなるほど、使用する光学フィルタも多く
なり、その分だけ基板にフィルタ組付け用の溝を機械加
工する工数が増えるとともに、それらの溝に光学フィル
タを組み付ける工数も増え、作業がより煩雑になって作
業時間が長くなってしまう。これに対して、本実施形態
によれば、光導波路１２のチャンネル数が多くなった場
合でも、チャンネル数の増加分だけ、多層膜フィルタ１
９の、増加した各チャンネルにそれぞれ対応する各部の
膜厚を適宜設定するだけでよい。このため、チャンネル
数の増加により作業が繁雑になったり、作業時間が長く
なったりするのを防止することができる。したがって、
光導波路素子を容易に製造することができ、その製造コ
ストを低減することができる。
【００３２】（ハ）多層膜フィルタ１９の膜厚を、ガラ
ス基板１８の一端面１７内における複数（本例では４
つ）のチャンネル１３〜１６の並び方向の一端側から他
端側へ直線的に変化させてある。このため、一端面１７
に開口したチャンネル１３〜１６の各位置と、同各位置
にそれぞれ対応する多層膜フィルタ１９の各部での中心
波長との関係を一義的に決定することができ、多層膜フ
ィルタ１９の各部の中心波長を一次式で表すことができ
る。したがって、一端面１７での複数のチャンネルの各
位置が変更されたり、チャンネル数が増減される等の設
計変更に容易に対応することができ、製造がより一層容
易になる。
ス基板１８の一端面１７内における複数（本例では４
つ）のチャンネル１３〜１６の並び方向の一端側から他
端側へ直線的に変化させてある。このため、一端面１７
に開口したチャンネル１３〜１６の各位置と、同各位置
にそれぞれ対応する多層膜フィルタ１９の各部での中心
波長との関係を一義的に決定することができ、多層膜フ
ィルタ１９の各部の中心波長を一次式で表すことができ
る。したがって、一端面１７での複数のチャンネルの各
位置が変更されたり、チャンネル数が増減される等の設
計変更に容易に対応することができ、製造がより一層容
易になる。
【００３３】（ニ）情報量を増やすためにチャンネル数
（本例では４つあるチャンネル１３〜１６の数）を増や
す場合にも、増えたチャンネルにそれぞれ対応する多層
膜フィルタの各部の中心波長は、その各部の膜厚によっ
て一義的に規定される。したがって、上記従来技術のよ
うに、機械加工や組付け作業が増えたりしないので、チ
ャンネル数の増加に容易に対応することができる。
（本例では４つあるチャンネル１３〜１６の数）を増や
す場合にも、増えたチャンネルにそれぞれ対応する多層
膜フィルタの各部の中心波長は、その各部の膜厚によっ
て一義的に規定される。したがって、上記従来技術のよ
うに、機械加工や組付け作業が増えたりしないので、チ
ャンネル数の増加に容易に対応することができる。
【００３４】［第２の実施形態］次に、第２の実施形態
に係る光導波路素子１１を、図４及び図５に基づいて説
明する。この光導波路素子１１にあって、多層膜フィル
タ１９の外面に、同フィルタ１９の各部に平行光を出射
する光信号発生部３０が一体化されている。また、ガラ
ス基板１８には、その一端面１７にそれぞれ開口する８
つのチャンネル３１〜３８を有する光導波路１２が形成
されている。そして、光導波路１２は、８つのチャンネ
ル３１〜３８が、ガラス基板１８の他端面２０側に形成
された１つのチャンネル２１と合流するように形成され
ている。
に係る光導波路素子１１を、図４及び図５に基づいて説
明する。この光導波路素子１１にあって、多層膜フィル
タ１９の外面に、同フィルタ１９の各部に平行光を出射
する光信号発生部３０が一体化されている。また、ガラ
ス基板１８には、その一端面１７にそれぞれ開口する８
つのチャンネル３１〜３８を有する光導波路１２が形成
されている。そして、光導波路１２は、８つのチャンネ
ル３１〜３８が、ガラス基板１８の他端面２０側に形成
された１つのチャンネル２１と合流するように形成され
ている。
【００３５】光信号発生部３０は、８個のロッドレンズ
Ｌ１〜Ｌ８を一列に並べたロッドレンズアレイ４０と、
８個のレーザーダイオードＬＤ１〜ＬＤ８を一列に並べ
たレーザーダイオードアレイ４１とから構成されてい
る。
Ｌ１〜Ｌ８を一列に並べたロッドレンズアレイ４０と、
８個のレーザーダイオードＬＤ１〜ＬＤ８を一列に並べ
たレーザーダイオードアレイ４１とから構成されてい
る。
【００３６】ロッドレンズアレイ４０は、複数の（本例
では８個の）屈折率分布型光学素子であるロッドレンズ
Ｌ１〜Ｌ８間の隙間やその周囲に樹脂を充填し、不図示
の保持板により一体化されている。ロッドレンズＬ１〜
Ｌ８は、コリメータレンズとして機能し、各々の光軸が
平行になるように配置されている。また、ロッドレンズ
アレイ４０の両端面は、それぞれ平坦面に加工されてい
る。そして、レンズアレイ４０は、ロッドレンズＬ１〜
Ｌ８の各光軸がチャンネル３１〜３８の各開口端（各チ
ャンネルが前記一端面１７に開口した端部）と略一致し
ている。
では８個の）屈折率分布型光学素子であるロッドレンズ
Ｌ１〜Ｌ８間の隙間やその周囲に樹脂を充填し、不図示
の保持板により一体化されている。ロッドレンズＬ１〜
Ｌ８は、コリメータレンズとして機能し、各々の光軸が
平行になるように配置されている。また、ロッドレンズ
アレイ４０の両端面は、それぞれ平坦面に加工されてい
る。そして、レンズアレイ４０は、ロッドレンズＬ１〜
Ｌ８の各光軸がチャンネル３１〜３８の各開口端（各チ
ャンネルが前記一端面１７に開口した端部）と略一致し
ている。
【００３７】一方、レーザーダイオードアレイ４１は、
レーザーダイオードＬＤ１〜ＬＤ８の各中心がロッドレ
ンズＬ１〜Ｌ８の各光軸と略一致するように、ロッドレ
ンズアレイ４０と一体化されている。
レーザーダイオードＬＤ１〜ＬＤ８の各中心がロッドレ
ンズＬ１〜Ｌ８の各光軸と略一致するように、ロッドレ
ンズアレイ４０と一体化されている。
【００３８】そして、各レーザーダイオードＬＤ１〜Ｌ
Ｄ８として、例えば、同じ波長のレーザー光を出力する
ものが使用されている。各レーザーダイオードＬＤ１〜
ＬＤ８の半値幅は広くてもよい。即ち、本例では、各レ
ーザーダイオードＬＤ１〜ＬＤ８の半値幅の範囲で、８
種類の波長λ１〜λ８の光を多層膜フィルタ１９により
分けて各チャンネル３１〜３８に送るようになってい
る。即ち、レーザーダイオードＬＤ１から出力されるレ
ーザー光は、ロッドレンズＬ１により平行にされて多層
膜フィルタ１９に入射することにより、同フィルタ１９
により中心波長がλ１の光となってチャンネル３１に入
射する。同様に、レーザーダイオードＬＤ２〜ＬＤ８か
らそれぞれ出力されるレーザー光は、ロッドレンズＬ２
〜Ｌ８によりそれぞれ平行にされて多層膜フィルタ１９
に入射することにより、同フィルタ１９により中心波長
がλ２〜λ８の光となってチャンネル３２〜３８にそれ
ぞれ入射する。
Ｄ８として、例えば、同じ波長のレーザー光を出力する
ものが使用されている。各レーザーダイオードＬＤ１〜
ＬＤ８の半値幅は広くてもよい。即ち、本例では、各レ
ーザーダイオードＬＤ１〜ＬＤ８の半値幅の範囲で、８
種類の波長λ１〜λ８の光を多層膜フィルタ１９により
分けて各チャンネル３１〜３８に送るようになってい
る。即ち、レーザーダイオードＬＤ１から出力されるレ
ーザー光は、ロッドレンズＬ１により平行にされて多層
膜フィルタ１９に入射することにより、同フィルタ１９
により中心波長がλ１の光となってチャンネル３１に入
射する。同様に、レーザーダイオードＬＤ２〜ＬＤ８か
らそれぞれ出力されるレーザー光は、ロッドレンズＬ２
〜Ｌ８によりそれぞれ平行にされて多層膜フィルタ１９
に入射することにより、同フィルタ１９により中心波長
がλ２〜λ８の光となってチャンネル３２〜３８にそれ
ぞれ入射する。
【００３９】このような構成を有する第２の実施形態に
よれば、以下の作用効果を奏する。 （ヘ）レーザーダイオードＬＤ１〜ＬＤ８のうち、ＯＮ
にされたレーザーダイオードに応じて選択された波長の
光のみが多層膜フィルタ１９から対応するチャンネル３
１〜３８に送られる。このことを、下記の表１を参照し
て説明する。
よれば、以下の作用効果を奏する。 （ヘ）レーザーダイオードＬＤ１〜ＬＤ８のうち、ＯＮ
にされたレーザーダイオードに応じて選択された波長の
光のみが多層膜フィルタ１９から対応するチャンネル３
１〜３８に送られる。このことを、下記の表１を参照し
て説明する。
【００４０】
【表１】 レーザーダイオードＬＤ１のみがＯＮになったときに
は、同ダイオードから出力されるレーザー光の半値幅の
範囲内から多層膜フィルタ１９により選択される波長λ
１の光がチャンネル３１に入る。また、レーザーダイオ
ードＬＤ２のみがＯＮになったときには、多層膜フィル
タ１９により選択される波長λ２の光がチャンネル３２
に入る。以下同様にして、レーザーダイオードＬＤ３〜
ＬＤ８のいずれか１つのみがＯＮになったときには、Ｏ
Ｎになったレーザーダイオードから出力されるレーザー
光の半値幅の範囲内で、そのレーザーダイオードに対応
する波長の光が多層膜フィルタ１９により選択され、そ
の光が対応するチャンネル３３〜３８のいずれかに入
る。
は、同ダイオードから出力されるレーザー光の半値幅の
範囲内から多層膜フィルタ１９により選択される波長λ
１の光がチャンネル３１に入る。また、レーザーダイオ
ードＬＤ２のみがＯＮになったときには、多層膜フィル
タ１９により選択される波長λ２の光がチャンネル３２
に入る。以下同様にして、レーザーダイオードＬＤ３〜
ＬＤ８のいずれか１つのみがＯＮになったときには、Ｏ
Ｎになったレーザーダイオードから出力されるレーザー
光の半値幅の範囲内で、そのレーザーダイオードに対応
する波長の光が多層膜フィルタ１９により選択され、そ
の光が対応するチャンネル３３〜３８のいずれかに入
る。
【００４１】こうして、レーザーダイオードＬＤ１〜Ｌ
Ｄ８のＯＮ、ＯＦＦを不図示の制御回路により制御する
ことにより、２8の情報量を有する電気信号を、２8の情
報量を有する光信号に変換して出力することができる。
したがって、波長の異なる光を多重化した混合光を出射
する光導波路素子として使用することができる。
Ｄ８のＯＮ、ＯＦＦを不図示の制御回路により制御する
ことにより、２8の情報量を有する電気信号を、２8の情
報量を有する光信号に変換して出力することができる。
したがって、波長の異なる光を多重化した混合光を出射
する光導波路素子として使用することができる。
【００４２】［変形例］なお、以上説明した各実施形態
は、以下のように構成を変更して実施することができ
る。
は、以下のように構成を変更して実施することができ
る。
【００４３】・上記第１の実施形態では、ガラス基板１
８に設けた光導波路１２は、ガラス基板１８の一端面１
７側でのチャンネル数を４、その他端面２０側でのチャ
ンネル数を１にしてあるが、本発明はこのような構成に
限定されない。
８に設けた光導波路１２は、ガラス基板１８の一端面１
７側でのチャンネル数を４、その他端面２０側でのチャ
ンネル数を１にしてあるが、本発明はこのような構成に
限定されない。
【００４４】・上記第１の実施形態において、ガラス基
板１８の一端面１７に膜厚が直線的に変化した多層膜フ
ィルタ１９を形成する方法は、図２を用いて上述した方
法に限られない。例えば、ターゲット２４の表面の一部
を補正板によって遮蔽することにより、前記一端面１７
に対して露出するターゲット２４表面の開口幅が、一端
面１７の長手方向の一端側からその他端側へ向かって次
第に変化するようにする。このように構成したターゲッ
ト２４表面と一端面１７とが正対するように、ガラス基
板１８をターゲット２４に対して水平移動させる。これ
によって、一端面１７には、ターゲット２４表面の開口
幅に応じた膜厚に、即ち、その開口幅が狭くなるほど膜
厚が薄くなり、逆に、その開口幅が広くなるほど膜厚が
厚くなる。こうして、膜厚が直線的に変化した多層膜フ
ィルタ１９をガラス基板１８の一端面１７に形成するこ
とができる。
板１８の一端面１７に膜厚が直線的に変化した多層膜フ
ィルタ１９を形成する方法は、図２を用いて上述した方
法に限られない。例えば、ターゲット２４の表面の一部
を補正板によって遮蔽することにより、前記一端面１７
に対して露出するターゲット２４表面の開口幅が、一端
面１７の長手方向の一端側からその他端側へ向かって次
第に変化するようにする。このように構成したターゲッ
ト２４表面と一端面１７とが正対するように、ガラス基
板１８をターゲット２４に対して水平移動させる。これ
によって、一端面１７には、ターゲット２４表面の開口
幅に応じた膜厚に、即ち、その開口幅が狭くなるほど膜
厚が薄くなり、逆に、その開口幅が広くなるほど膜厚が
厚くなる。こうして、膜厚が直線的に変化した多層膜フ
ィルタ１９をガラス基板１８の一端面１７に形成するこ
とができる。
【００４５】・上記第２の実施形態では、光信号発生部
３０をレーザーダイオードアレイ４１とレンズアレイ４
０とで構成してあるが、本発明はこのような構成に限定
されない。例えば、波長の異なる光を含む混合光（例え
ば２8の情報量を有する光信号）を各ロッドレンズＬ１
〜Ｌ８を介して平行光で多層膜フィルタ１９に入射させ
るか、或いは、その混合光をロッドレンズＬ１〜Ｌ８を
使わずに平行光で多層膜フィルタ１９に入射させるよう
に構成してもよい。
３０をレーザーダイオードアレイ４１とレンズアレイ４
０とで構成してあるが、本発明はこのような構成に限定
されない。例えば、波長の異なる光を含む混合光（例え
ば２8の情報量を有する光信号）を各ロッドレンズＬ１
〜Ｌ８を介して平行光で多層膜フィルタ１９に入射させ
るか、或いは、その混合光をロッドレンズＬ１〜Ｌ８を
使わずに平行光で多層膜フィルタ１９に入射させるよう
に構成してもよい。
【００４６】このような構成のいずれを採用した場合で
も、２8の情報量を有する光信号を多層膜フィルタ１９
により各チャンネル３１〜３８毎に波長の異なる光（λ
１〜λ８の光）に分けてから、その後に、λ１〜λ８の
光を多重化して２8の情報量を有する光信号に再び戻し
てから同光信号を出射することができる。
も、２8の情報量を有する光信号を多層膜フィルタ１９
により各チャンネル３１〜３８毎に波長の異なる光（λ
１〜λ８の光）に分けてから、その後に、λ１〜λ８の
光を多重化して２8の情報量を有する光信号に再び戻し
てから同光信号を出射することができる。
【００４７】・上記第２の実施形態において、レーザー
ダイオードＬＤ１〜ＬＤ８に代えて、フォトディテクタ
ー等の光電変換素子を配置してもよい。この場合、ロッ
ドレンズＬ１〜Ｌ８と、これらと同数のフォトディテク
ターとにより、光信号検出部が構成される。この構成に
よれば、波長の異なる光を多重化した混合光が各チャン
ネル３１〜３８を通って多層膜フィルタ１９に送られる
と、その混合光は多層膜フィルタ１９により中心波長の
異なる光（λ１〜λ８）に分けられ、ロッドレンズＬ１
〜Ｌ８を介して各フォトディテクターで受光される（下
記の表２を参照）。このため、同光信号検出部では、前
記混合光に含まれる波長の異なる光を波長毎に分けて検
出することができる。例えば、混合光を２nの情報量を
有する光信号とすると、その混合光が多層膜フィルタ１
９により中心波長の異なるλ１〜λｎの光に分けられる
ので、光信号検出部により、２nの情報量を有する光信
号を２nの情報量を有する電気信号に変換することがで
きる。
ダイオードＬＤ１〜ＬＤ８に代えて、フォトディテクタ
ー等の光電変換素子を配置してもよい。この場合、ロッ
ドレンズＬ１〜Ｌ８と、これらと同数のフォトディテク
ターとにより、光信号検出部が構成される。この構成に
よれば、波長の異なる光を多重化した混合光が各チャン
ネル３１〜３８を通って多層膜フィルタ１９に送られる
と、その混合光は多層膜フィルタ１９により中心波長の
異なる光（λ１〜λ８）に分けられ、ロッドレンズＬ１
〜Ｌ８を介して各フォトディテクターで受光される（下
記の表２を参照）。このため、同光信号検出部では、前
記混合光に含まれる波長の異なる光を波長毎に分けて検
出することができる。例えば、混合光を２nの情報量を
有する光信号とすると、その混合光が多層膜フィルタ１
９により中心波長の異なるλ１〜λｎの光に分けられる
ので、光信号検出部により、２nの情報量を有する光信
号を２nの情報量を有する電気信号に変換することがで
きる。
【００４８】
【表２】 以下、上記各実施形態から把握できる技術思想について
説明する。
説明する。
【００４９】（イ） 請求項１〜５のいずれか一項に記
載の波長選択性を有する光導波路素子の製造方法であっ
て、前記多層膜フィルタを、物理的気相堆積法により前
記基板の一端面に直接成膜することを特徴とする。
載の波長選択性を有する光導波路素子の製造方法であっ
て、前記多層膜フィルタを、物理的気相堆積法により前
記基板の一端面に直接成膜することを特徴とする。
【００５０】この製造方法によれば、膜厚が各チャンネ
ルの位置に応じて連続的に変化する多層膜フィルタを、
基板の一端面に容易に形成することができる。 （ロ） 上記（イ）に記載の波長選択性を有する光導波
路素子の製造方法であって、前記多層膜フィルタを、成
膜面である前記基板の一端面を蒸発源或いはターゲット
に対し傾けて正対させた状態で成膜することを特徴とす
る。
ルの位置に応じて連続的に変化する多層膜フィルタを、
基板の一端面に容易に形成することができる。 （ロ） 上記（イ）に記載の波長選択性を有する光導波
路素子の製造方法であって、前記多層膜フィルタを、成
膜面である前記基板の一端面を蒸発源或いはターゲット
に対し傾けて正対させた状態で成膜することを特徴とす
る。
【００５１】この製造方法によれば、蒸発源或いはター
ゲットに対する基板の傾き角度を変えることにより、多
層膜フィルタの膜厚の傾きを容易に変更することができ
る。
ゲットに対する基板の傾き角度を変えることにより、多
層膜フィルタの膜厚の傾きを容易に変更することができ
る。
【００５２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板の一端面に、多層膜フィルタを、その膜厚が各チャ
ンネルの位置に応じて連続的に変化するように形成する
だけで作製される。即ち、光導波路を有する基板の製造
工程と、同基板の一端面に多層膜フィルタを成膜する成
膜工程の２工程で光導波路素子が作製される。しかも、
光導波路のチャンネル数を増やしても、上記従来技術の
ように、作業がより煩雑になったり、作業時間が長くな
ったりしない。
基板の一端面に、多層膜フィルタを、その膜厚が各チャ
ンネルの位置に応じて連続的に変化するように形成する
だけで作製される。即ち、光導波路を有する基板の製造
工程と、同基板の一端面に多層膜フィルタを成膜する成
膜工程の２工程で光導波路素子が作製される。しかも、
光導波路のチャンネル数を増やしても、上記従来技術の
ように、作業がより煩雑になったり、作業時間が長くな
ったりしない。
【００５３】したがって、光導波路素子を容易に製造す
ることができ、その製造コストを低減することができ
る。
ることができ、その製造コストを低減することができ
る。
【図１】 第１の実施形態に係る光導波路素子を示す平
面図。
面図。
【図２】 図１の光導波路素子の製造に用いる成膜装置
の概略構成を示す斜視図。
の概略構成を示す斜視図。
【図３】 （ａ）は波長依存性のない入射光を示すグラ
フ、（ｂ）は入射光が分波されることの説明図。
フ、（ｂ）は入射光が分波されることの説明図。
【図４】 第２の実施形態に係る光導波路素子を示す平
面図。
面図。
【図５】 図４の光導波路素子を示す斜視図。
【図６】 従来の光導波路素子を示す斜視図。
１１…光導波路素子、１２…光導波路、１３〜１６,３
１〜３８…チャンネル、２１…チャンネル、１７…一端
面、１８…ガラス基板（基板）、１９…多層膜フィル
タ、３０…光信号出力部、３１〜３８…チャンネル、４
０…ロッドレンズアレイ、４１…レーザーダイオードア
レイ、Ｌ１〜Ｌ８…ロッドレンズ、ＬＤ１〜ＬＤ８…レ
ーザーダイオード。
１〜３８…チャンネル、２１…チャンネル、１７…一端
面、１８…ガラス基板（基板）、１９…多層膜フィル
タ、３０…光信号出力部、３１〜３８…チャンネル、４
０…ロッドレンズアレイ、４１…レーザーダイオードア
レイ、Ｌ１〜Ｌ８…ロッドレンズ、ＬＤ１〜ＬＤ８…レ
ーザーダイオード。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 6/293 Ｇ０２Ｂ 6/12 Ｆ 6/42 Ｂ Ｈ０１Ｓ 5/40 6/28 Ｃ Ｆターム(参考） 2H037 AA01 BA03 BA05 BA12 BA14 CA16 CA34 CA37 2H046 AA06 AD22 AZ02 2H047 KA03 KA12 KA15 LA12 LA18 2H048 GA07 GA13 GA17 GA24 GA33 GA62 5F073 AB05 AB27 BA01 EA02 FA06
Claims (7)
- 【請求項１】 光導波路を有し、同光導波路の複数のチ
ャンネルがそれぞれ一端面に開口した基板と、同基板の
一端面に形成された多層膜フィルタとを備え、同多層膜
フィルタは、その膜厚が前記複数のチャンネルの各位置
に応じて連続的に変化するように形成されていることを
特徴とする波長選択性を有する光導波路素子。 - 【請求項２】 前記多層膜フィルタの膜厚は、前記基板
の一端面内で、前記複数のチャンネルの並び方向の一端
側から他端側へ直線的に変化していることを特徴とする
請求項１に記載の波長選択性を有する光導波路素子。 - 【請求項３】 前記光導波路は、前記基板の他端側に開
口した１以上のチャンネルを有していることを特徴とす
る請求項１又は２に記載の波長選択性を有する光導波路
素子。 - 【請求項４】 前記多層膜フィルタには、同フィルタの
前記各部に平行光を出射する光信号発生部が一体化され
ていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に
記載の波長選択性を有する光導波路素子。 - 【請求項５】 前記光信号発生部は、前記基板の一端面
にそれぞれ開口した前記複数のチャンネルにそれぞれ対
応する複数のレンズを有するレンズアレイと、前記複数
のレンズをそれぞれ介して前記多層膜フィルタへ光を出
射する複数の光源とからなることを特徴とする請求項４
に記載の波長選択性を有する光導波路素子。 - 【請求項６】 前記レンズアレイは、前記複数のレンズ
として複数のロッドレンズを有するロッドレンズアレイ
であることを特徴とする請求項５に記載の波長選択性を
有する光導波路素子。 - 【請求項７】 前記多層膜フィルタには、波長の異なる
光を多重化した混合光を前記多層膜フィルタにより波長
毎に分けた光を検出する光信号検出部が一体化されてい
ることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載
の波長選択性を有する光導波路素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000214378A JP2002031728A (ja) | 2000-07-14 | 2000-07-14 | 波長選択性を有する光導波路素子 |
| PCT/JP2001/006011 WO2002006872A1 (fr) | 2000-07-14 | 2001-07-11 | Dispositif de guide d'onde optique a selectivite de longueurs d'ondes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000214378A JP2002031728A (ja) | 2000-07-14 | 2000-07-14 | 波長選択性を有する光導波路素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002031728A true JP2002031728A (ja) | 2002-01-31 |
Family
ID=18709964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000214378A Pending JP2002031728A (ja) | 2000-07-14 | 2000-07-14 | 波長選択性を有する光導波路素子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002031728A (ja) |
| WO (1) | WO2002006872A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005250118A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Hitachi Cable Ltd | 波長多重光送信モジュール |
| JP2007256613A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Hitachi Cable Ltd | 光合分波モジュール |
| JP2011191647A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光部品 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE60336646D1 (de) | 2003-08-07 | 2011-05-19 | Nat Health Research Institutes | Indol-Verbindungen als Inhibitoren der Tubulin-Polymerisation zur Behandlung von angiogenesisbezogenen Erkrankungen |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3257260B2 (ja) * | 1994-07-26 | 2002-02-18 | 松下電器産業株式会社 | 波長多重発光装置および波長多重伝送システム |
| JPH08110282A (ja) * | 1994-10-11 | 1996-04-30 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ線路の監視方法 |
| JPH08237203A (ja) * | 1995-02-23 | 1996-09-13 | Fujitsu Ltd | 光フィルタアレイ、光送信機及び光送信システム |
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| EP0848270A1 (en) * | 1996-12-10 | 1998-06-17 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Optical transmitter and receiver device |
| JPH10221550A (ja) * | 1997-02-06 | 1998-08-21 | Oki Electric Ind Co Ltd | 光波長フィルタおよび光波長選択ルータ |
-
2000
- 2000-07-14 JP JP2000214378A patent/JP2002031728A/ja active Pending
-
2001
- 2001-07-11 WO PCT/JP2001/006011 patent/WO2002006872A1/ja active Application Filing
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005250118A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Hitachi Cable Ltd | 波長多重光送信モジュール |
| JP2007256613A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Hitachi Cable Ltd | 光合分波モジュール |
| JP4504935B2 (ja) * | 2006-03-23 | 2010-07-14 | 日立電線株式会社 | 光合分波モジュール |
| JP2011191647A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光部品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2002006872A1 (fr) | 2002-01-24 |
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