JP2002026494A - 電子部品の熱圧着装置 - Google Patents

電子部品の熱圧着装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数個の電子部品の同時熱圧着を高精度に行
う。 【解決手段】 熱圧着ヘッド44を固定ブロック41に
支持固定されつつ、ヒートブロック42の側面に接触さ
せ、上下(矢印Z)方向に摺動自在となるように構成す
る。従って、たとえヒートブロック42自体がヒータ4
5の熱を受け、上下方向に変形したとしても、固定ブロ
ック41に固定支持された熱圧着ヘッド44は上下(矢
印Z)方向に摺動してその変形荷重を受けないので、下
端面の平坦さを高精度に保持できる。その結果、基板2
上の多数の電子部品3に対する高品質な熱圧着を同時に
行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、異方性導電テー
プ(膜)等を介して、電子部品を液晶パネルに代表され
るフラットパネルディスプレイ等の基板上に熱圧着する
のに好適な電子部品の熱圧着装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】近年の電子機器の研究開発は目覚まし
く、ネットワークを介した情報技術(IT)の進歩発展
と相俟って、多種多様な機種製品が提供されるようにな
ってきた。
【0003】とりわけ、半導体技術の研究開発に伴う電
子機器等の軽薄短小化により、コンピュータを搭載した
通信機器のモバイル化の普及が図られている。
【0004】また、テレビジョン受像機等では、液晶パ
ネル製造技術等の進歩により、高精細で薄型大画面のデ
ィスプレイ装置が、カラーブラウン管に代わって採用さ
れるようになってきた。
【0005】液晶パネルは、TCP(Tape Car
rier Package)やFPC(Flexibl
e Printed Circuit)等の複数個の電
子部品が、異方性導電テープ(膜)等の接着材を介して
順次ガラス基板の電極部上に仮圧着され、さらに熱圧着
ヘッドによる複数個の電子部を共通にした本圧着により
固着実装されて製造される。
【0006】図3は、複数個の電子部品に対して本圧着
を行う従来の熱圧着装置の概略構成を示した要部斜視図
で、X−Y−θテーブル1上には(液晶ガラス)基板2
が載置され、その電極部上には複数個の電子部品3が予
め仮圧着されている。
【0007】X−Y−θテーブル1により搬送位置決め
された基板2上には、本圧着するための熱圧着ツール4
が不図示の上下動シリンダのプランジャに連結されて上
下動し、仮圧着された複数個の電子部品3が同時に本圧
着されるように構成されている。
【0008】熱圧着ツール4は、図4(a)の拡大正面
図、及び図4(a)のA−A線から矢印方向を見た図4
(b)の拡大断面図にそれぞれ示したように、固定ブロ
ック41には、ステンレス製のヒートブロック42が多
数の固定ねじ43aにより連結され、ヒートブロック4
2の底面には熱圧着ヘッド44がねじ441により固定
されている。そして、固定ブロック41は、不図示の上
下動シリンダのプランジャに連結固定され、その上下動
シリンダの作動により、熱圧着ヘッド44が基板2上の
複数個の電子部品3を同時に押圧して本圧着するように
構成されている。
【0009】ヒートブロック42には、その長手(横)
方向に、複数個のヒータ45が配列されて内蔵され、熱
圧着ヘッド44は加熱されたヒートブロック42の熱伝
導を受けつつ、基板2面との間に高精度に平行でかつ平
坦な下部先端面が形成されるように構成されている。す
なわち、固定ブロック41には、複数個の各固定ねじ4
3a間にそれぞれ調整ねじ43bがねじ込み貫通して設
けられており、各先端部によるヒートブロック42面の
押圧力を調整することで、熱圧着ヘッド44下端面の基
板2面に対する平行度及び平坦性が確保されるように構
成されている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上述のように従来の電
子部品の熱圧着装置では、熱圧着ヘッド44がねじ44
1によりヒートブロック42の底部に取り付け固定され
ていて、基板2上に仮圧着された複数個の電子部品3を
同時に熱圧着を行うためには、下端面が基板2面に対し
て高精度に平坦かつ平行であり、各基板2上の複数個の
電子部品に対し、均一な押圧力が同時にかかることが必
要とされる。
【0011】ところが、上記従来の熱圧着ヘッド44
は、ステンレス製のヒートブロック42の底面に密着固
定されていて、そのヒートブロック42は長手方向にヒ
ータ45を複数個配列して内蔵したので、図5に示すよ
うに、ヒートブロック42自体が各ヒータ45を中心に
熱膨張した。
【0012】その結果、ヒートブロック42の底面に密
着固定された熱圧着ヘッド44は、ヒートブロック42
の熱膨脹による変化を受けて、図5に示したように基板
2面に対して、平坦であるべき熱圧着ヘッド44の底面
は下方に湾曲し、底面が基板2面との間で高さ位置が波
打つように変形した。従って、熱圧着ヘッド44の底面
と基板2面との面平行が崩れ、熱圧着ヘッド44が図示
矢印(Z)方向に降下して電子部品3を押圧しても、リ
ード32下の異方性導電テープ(膜)22に均一な熱押
圧力が加わらず、リード32と基板2の電極21との間
に、良好な電気的接続が得られないという現象が生じ
る。
【0013】そこで、ねじ43a,43bを締付けたり
緩めたりすることで熱圧着ヘッド44の底面の平行度お
よび平坦度を調整する必要が生じるが、この調整の際に
は、熱圧着ヘッド44自体の熱膨張により生じる熱圧着
ヘッド44底面の湾曲等の変形に加え、ヒートブロック
42の熱膨張による変形分をも調整しなければならず、
しかも、その調整はヒートブロック42を介して行なわ
なければならないため、非常に作業効率の悪いものとな
っていた。その上、ヒートブロック42の熱膨張による
変形が過大である場合には、ねじ43a,43bによる
調整では対応しきれず、基板2の電極21と電子部品3
のリード32との間の良好な電気的接続が得られないと
いう問題が生じていた。
【0014】そこで、本発明は、基板上に載置された電
子部品を均一に熱圧着可能な電子部品の熱圧着装置を提
供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板の位置決
めを行う位置決め機構と、この位置決め機構により位置
決めされた基板の電極上に、電子部品のリード線を熱圧
着する熱圧着ツールとを備えた電子部品の熱圧着装置に
おいて、熱圧着ツールは、固定ブロックに連結されたヒ
ートブロックと、固定ブロックに支持され、ヒートブロ
ックの側面に接しつつ上下方向に摺動可能に設けられた
熱圧着ヘッドとで構成されたことを特徴とする。
【0016】このように、本発明の電子部品の熱圧着装
置は、熱圧着ヘッドをヒートブロックの側面に接しつつ
上下方向に摺動可能に設けたので、仮にヒートブロック
の長手方向に内蔵された多数のヒータによりヒートブロ
ックが熱変形したとしても、熱圧着ヘッドはヒートブロ
ックとの接触面で上下方向に摺動して、下端面での平坦
さを確保することができる。
【0017】従って、熱圧着ヘッドの底面は平坦さを高
精度に保持しつつ、基板面との間に平行度が確保され、
複数個の電子部品に対する均一な熱圧着が可能となり、
基板に対する電子部品の高品質な実装が可能である。
【0018】
【発明の実施の形態】以下この発明による電子部品の熱
圧着装置の一実施の形態を図1及び図2を参照して詳細
に説明する。なお、図3ないし図5に示した従来の熱圧
着装置と同一構成には同一符号を付して詳細な説明は省
略する。
【0019】すなわち、図1は本発明による電子部品の
熱圧着装置の一実施の形態を示した要部斜視図で、X−
Y−θテーブル1上に載置された液晶ガラス基板2上に
は、複数個の電子部品3が予め仮圧着されて載置されて
いる。
【0020】X−Y−θテーブル1により位置決めされ
た基板2上には、本圧着するための熱圧着ツール4が不
図示の上下動シリンダの駆動制御を受けて、複数個の電
子部品3を基板2上に同時に熱圧着するように構成され
ている。
【0021】熱圧着ツール4は、図2(a)の拡大正面
図、及び図4(a)のA−A線から矢印方向を見た断面
図に示したように、固定ブロック41とステンレス製の
ヒートブロック42とは断熱部材46を介して連結固定
されており、熱圧着ヘッド44は固定ねじ43aにより
固定ブロック41に支持固定されるように構成されてい
る。
【0022】図2(b)に示すように、熱圧着ヘッド4
4には特に上下方向により径大な貫通孔44aが複数個
配列されて設けられていて、この貫通孔44aに遊びを
持たせて挿入された支持ボルト47の先端部はヒートブ
ロック42にねじ止め固定されている。また支持ボルト
47の頭部と熱圧着ヘッド44面との間には、コイルば
ね48が介装されていて、コイルばね48は熱圧着ヘッ
ド44をヒートブロック42面に押圧するので、熱圧着
ヘッド44はヒートブロック42面に接触しつつ支持ボ
ルト47に案内されて上下(矢印Z)方向に摺動自在と
なるように構成されている。
【0023】また、熱圧着ヘッド44は、固定ブロック
42に形成された貫通孔に挿通され、先端を熱圧着ヘッ
ド44の上部にねじ込まれた固定ねじ43aと、図2
(a)に示すように、固定ブロック41に形成された雌
ねじ部にねじ込まれ、先端を熱圧着ヘッド44の上面に
当接させて各固定ねじ43aの間に配置された複数個の
調整ねじ43bとにより固定ブロック42に連結され
る。そして、固定ねじ43a、調整ねじ43bを締付け
たり緩めたりすることで、熱圧着ヘッド44底面の平坦
度を微調整可能に構成されている。
【0024】上記のように、本発明による熱圧着装置に
よれば、熱圧着ヘッド44に特に上下方向に遊びの大き
い長孔型の貫通孔44aを設け、またコイルばね48に
よりヒートブロック42面に押圧されるので、ヒータ4
5によるヒートブロック42からの熱伝導を受けつつ、
仮に支持ボルト47がヒートブロック42の熱膨脹によ
り上下(矢印Z)方向に位置ずれしても、熱圧着ヘッド
44はその高さ位置を一定に保持することができる。
【0025】すなわち、仮にヒートブロック42の長手
方向に内蔵された多数のヒータ45が内蔵され、それに
基づきヒートブロック42自体が上下方向に熱変形して
も、熱圧着ヘッド44はヒートブロック42に面接触し
つつ上下方向に摺動するので、ヒートブロック42から
の熱伝導を受けつつも、上下方向の変形荷重を受けるこ
となく、その底面の平坦さを高精度に保持することがで
きる。
【0026】なお、ヒートブロック42が熱膨脹によ
り、横方向(支持ボルト47の長さ方向)に変形したと
しても、熱圧着ヘッド44は若干横方向に偏移するのみ
であり、基板2との間の平行度、及び下端面の平坦さが
損なわれることはない。
【0027】また、上記実施の形態において、熱圧着ヘ
ッド44はコイルばね48によって、ヒートブロック4
2に押圧されるように構成されたが、熱圧着ヘッド44
はヒートブロック42にばね圧により押圧されつつ上下
方向に摺動できれば良いので、コイルばねに限らず、板
ばね等他の押圧手段で構成することができる。
【0028】また、ねじ43a,43bにて熱圧着ヘッ
ド44の底面の平坦度を調整する際にも、熱圧着ヘッド
44自体の熱膨脹等により生じる底面の湾曲等の変形
を、熱圧着ヘッド44に直接ねじ込まれ、或いは当接さ
れたねじ43a,43bを締付けたり緩めたりすること
で調整することができるので、熱圧着ヘッド44の底面
の平坦度の調整を効率よく、かつ高精度に行なうことが
できる。
【0029】以上、要するに本発明の熱圧着装置によれ
ば、基板上の複数個の電子部品に対して、均一な熱圧着
を同時に行うことができ、液晶パネル製造等における本
圧着工程に採用して、高品質な電子部品の実装が可能と
なるものであり、実用上顕著な効果を発揮することがで
きる。
【0030】なお、上記実施の形態において、熱圧着ヘ
ッド44に貫通孔44aを設け、この貫通孔44aを介
してヒートブロック42に支持ボルト47をねじ込み、
熱圧着ヘッド44とヒートブロック42とを連結した
が、これに限られるものではなく、例えばヒートブロッ
ク42に貫通孔を設け、この貫通孔を介して熱圧着ヘッ
ド44に支持ボルト47をねじ込み、熱圧着ヘッド44
とヒートブロック42とを連結してもよい。
【0031】
【発明の効果】本発明のよる熱圧着装置は、熱圧着ヘッ
ド底面の変形を防止し得るものであり、多数の電子部品
を同時に圧着する工程に採用して、実用上顕著な効果を
得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による熱圧着装置の一実施の形態の概
略構成を示す要部斜視図である。
【図2】図2(a)は図1に示す装置の要部拡大正面
図、図2(b)は図2(a)のA−A線から矢印方向を
見た断面図である。
【図3】従来の熱圧着装置の概略構成を示す要部斜視図
である。
【図4】図4(a)は図3に示す装置の要部拡大正面
図、図4(b)は図4(a)のA−A線から矢印方向を
見た断面図である。
【図5】図3に示した装置の熱圧着ヘッドの変形状態を
説明する拡大正面図である。
【符号の説明】
1 X−Y−θテーブル(位置決め機構) 2 (液晶ガラス)基板 3 電子部品 4 熱圧着ツール 41 固定ブロック 42 ヒータブロック 43a 固定ねじ 43b 調整ねじ 44 熱圧着ヘッド 45 ヒータ 46 断熱部材 47 支持ボルト 48 コイルばね
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H092 GA49 GA50 MA32 MA35 NA17 NA19 5E319 AA03 AA07 AB01 CC12

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板の電極に、電子部品のリードを熱圧
    着する熱圧着ツールを備えた電子部品の熱圧着装置にお
    いて、 前記熱圧着ツールは、 固定ブロックに連結されたヒートブロックと、 前記固定ブロックに支持され、前記ヒートブロックの側
    面に接しつつ上下方向に摺動可能に設けられた熱圧着ヘ
    ッドとで構成されたことを特徴とする電子部品の熱圧着
    装置。
  2. 【請求項2】 前記ヒートブロックは、断熱部材を介し
    て前記固定ブロックに連結されたことを特徴とする請求
    項1記載の電子部品の熱圧着装置。
  3. 【請求項3】 前記熱圧着ヘッドは、ばね圧により前記
    ヒートブロックに押圧接触するように構成されたことを
    特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子部品の
    熱圧着装置。
  4. 【請求項4】 前記熱圧着ヘッドは、前記固定ブロック
    に形成された貫通孔に挿通され、先端部を前記熱圧着ヘ
    ッドに形成された雌ねじ部にねじ込ませた固定ねじと、
    前記固定ブロックに形成された雌ねじ部にねじ込まれ、
    先端部を前記熱圧着ヘッドに当接させた調整ねじとによ
    り前記固定ブロックに支持されたことを特徴とする請求
    項1ないし3のいずれか1項に記載の電子部品の熱圧着
    装置。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100756411B1 (ko) * 2005-09-08 2007-09-10 삼성전자주식회사 열압착 공구 및 이를 포함한 열압착 장치
JP2009076775A (ja) * 2007-09-21 2009-04-09 Panasonic Corp 熱圧着装置
CN101856770A (zh) * 2010-06-21 2010-10-13 苏州工业园区赫光科技有限公司 热压头
CN101862895A (zh) * 2010-06-25 2010-10-20 苏州工业园区赫光科技有限公司 大尺寸热压头
US8177862B2 (en) 2010-10-08 2012-05-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Thermal compressive bond head
US8317077B2 (en) 2010-09-01 2012-11-27 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Thermal compressive bonding with separate die-attach and reflow processes
US8381965B2 (en) * 2010-07-22 2013-02-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Thermal compress bonding
JP2017054957A (ja) * 2015-09-10 2017-03-16 株式会社太陽機械製作所 圧着ヘッド
CN115942645A (zh) * 2023-03-15 2023-04-07 中电科风华信息装备股份有限公司 活动式大尺寸pcb下压台机构

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100756411B1 (ko) * 2005-09-08 2007-09-10 삼성전자주식회사 열압착 공구 및 이를 포함한 열압착 장치
US7992619B2 (en) 2005-09-08 2011-08-09 Samsung Electronics Co., Ltd. Hot pressing tool and hot pressing apparatus having the same
JP2009076775A (ja) * 2007-09-21 2009-04-09 Panasonic Corp 熱圧着装置
CN101856770A (zh) * 2010-06-21 2010-10-13 苏州工业园区赫光科技有限公司 热压头
CN101862895A (zh) * 2010-06-25 2010-10-20 苏州工业园区赫光科技有限公司 大尺寸热压头
US8381965B2 (en) * 2010-07-22 2013-02-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Thermal compress bonding
US8556158B2 (en) 2010-07-22 2013-10-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Thermal compress bonding
US8317077B2 (en) 2010-09-01 2012-11-27 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Thermal compressive bonding with separate die-attach and reflow processes
US8177862B2 (en) 2010-10-08 2012-05-15 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Thermal compressive bond head
JP2017054957A (ja) * 2015-09-10 2017-03-16 株式会社太陽機械製作所 圧着ヘッド
CN115942645A (zh) * 2023-03-15 2023-04-07 中电科风华信息装备股份有限公司 活动式大尺寸pcb下压台机构

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