JP2002022841A - 放射線撮影装置及びそれを備えたシステム - Google Patents

放射線撮影装置及びそれを備えたシステム

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JP2002022841A
JP2002022841A JP2000202419A JP2000202419A JP2002022841A JP 2002022841 A JP2002022841 A JP 2002022841A JP 2000202419 A JP2000202419 A JP 2000202419A JP 2000202419 A JP2000202419 A JP 2000202419A JP 2002022841 A JP2002022841 A JP 2002022841A
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heat transfer
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radiation imaging
amplifying
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Osamu Yamamoto
理 山本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置外部又は内部で生じる振動によって、電
気信号のS/N比が悪化しないようにする。 【解決手段】 放射線を電気信号に変換する変換手段
と、前記変換手段によって変換された信号を増幅する増
幅手段と、該増幅手段で増幅された信号を処理する処理
手段と、前記変換手段から増幅手段への信号の伝達のた
めに第1信号線を有すると共に前記増幅手段から前記処
理手段への信号を伝達するために第2信号線を有する柔
軟性のある伝達部材と、前記増幅手段の発生熱を冷却手
段に伝熱する伝熱手段とを備えた放射線撮像装置におい
て、少なくとも、第1信号線を通る信号の電荷に影響す
る領域では、前記伝熱手段が前記伝達部材に対向しない
状態で、前記増幅手段に対応して構成されていることを
特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、医療診断用のX線
撮影装置、特にX線の受光媒体として複数の光電変換素
子が同一面上に配列されたエリアセンサを有する放射線
撮像装置及びそれを備えたシステムに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、医療診断を目的とする医療用X線
撮影、物質の非破壊検査等の様々な分野で、増感紙と放
射線写真フィルムとを組み合わせたいわゆる放射線写真
法が利用されている。この方法によれば、放射線画像
は、直接に放射線フィルム上に可視化された画像として
得ることができる。また、医療分野において近年では上
記の放射線写真フィルムの代りに、特開平08−116
044号公報で開示されているような、X線の受光媒体
として複数の光電変換素子と薄膜トランジスタTFTが
配列されたエリアセンサ面を有するX線撮影装置が提案
されている。
【0003】図1(a)、図1(b)は、それぞれ従来
のX線撮影装置の上面図、平面図である。図1には、光
電変換素子とTFTとを内包する画素が複数個形成され
たガラスを材質とするa−Siセンサ基板(以下、「セ
ンサ基板」と称する。)1と、センサ基板1とシフトレ
ジスタSR1とを接続するフレキシブル回路基板2とを
示している。
【0004】また、図1には、検出用集積回路IC(以
下、「IC」と称する。)が実装されセンサ基板1とシ
フトレジスタSR2とを接続するフレキシブル基板3
と、X線を可視光に変換する蛍光体4などのシンチレー
タと、フレキシブル回路基板2,3に接続された回路基
板PCB1,PCB2と、回路基板PCB1,PCB2
に接続されたメモリを実装した信号処理回路基板5とを
示している。
【0005】さらに、図1には、Siゴム等の弾性体を
材質とするダンパー6と、ダンパー6と共にセンサ基板
1を保持するフレーム7と、信号処理回路基板5に実装
されているメモリ8をX線照射から保護する目的でフレ
ーム7の裏側に貼付けられた鉛板9とを示している。な
お、図1(a)のA点,B点は、それぞれセンサ面上の
光電変換素子とTFTとを含む各1画素を概念的に示し
たものである。
【0006】図1に示すようなX線撮像装置は、X線が
照射される前には、シフトレジスタSR1,SR2とリ
フレッシュ制御回路(図示せず)からの制御信号とによ
り、全画素がリフレッシュモードの状態にある。このと
き画素中のTFT(図示せず)はonの状態である。次
にリフレッシュ制御回路からの制御信号が切り替わると
画素中の光電変換素子(図示せず)は光電変換モードの
状態になり、光電変換素子中のコンデンサ等の蓄積部
(図示せず)が初期化される。
【0007】この状態でシフトレジスタSR1,SR2
による制御信号が切り替わるとTFTはoffの状態に
なり、全画素の光電変換素子のドレイン電極(図示せ
ず)はオープンになるが蓄積部によって電荷が保持され
る。この状態のときX線が照射されると、蛍光体4によ
って可視発光した光が光電変換素子に入射し、光電変換
素子において入射した光の強度に応じた量の信号電荷が
発生し蓄積部にそれぞれ蓄積される。蓄積された電荷は
ICにより順次増幅されて回路基板PCB2を介して信
号処理回路基板5に転送される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のX線撮
影装置は、装置内部や外部からの振動の影響によってS
/N比が変動し、良好な画像が得られないという不具合
があった。すなわち、出力側の増幅器の役割をなすIC
内には抵抗器が内蔵されているが、センサからの電荷を
増幅する際、この抵抗器に電流が流れ、そのとき電気エ
ネルギーの大部分が熱エネルギーに変換される。
【0009】すると、IC自体が熱源となり、フレキシ
ブル基板3内の信号線を通じて図1(a)のセンサ面に
おいてICからの距離に応じて温度勾配ができる。また
IC周辺の周囲温度も熱伝達によって上昇してセンサの
周囲温度も場所によって差が生じる。
【0010】光電変換素子には、初期化されても暗電流
が残留しているため、通常その量を差し引いて補正した
蓄積量を光電変換素子が検出した情報として利用してい
るが、光電変換素子の温度が変化するとそれに伴って暗
電流の量が変化し、補正した時点での温度とX線照射時
の温度で差があると実際の蓄積量と異なる値が出力され
る。
【0011】図10は、暗電流の値と温度の関係を表し
たグラフで、縦軸に暗電流の値、横軸に温度を示してい
る。図1(a)に示したA点,B点は、ICの発熱によ
ってセンサ面に温度勾配ができ、たとえばA点がt
1 ℃、B点がt2 ℃になると仮定すると、周囲温度がt
℃のときセンサ面上の全画素が補正された後、ICの発
熱によりAはt1 ℃、Bはt2 ℃になる。
【0012】A点は、センサ面上でB点より中心に近
く、ICより離れた距離にあるためt 1<t2 となる。
tとt1 では殆ど差がないため、A点の暗電流の値を補
正した時点の値と同等とみてよいが、tとt2 では差が
あり補正してB点の暗電流を差し引いたとしても、残り
の値分がノイズ成分として出力される。また、IC自体
の熱量が増加しすぎると、IC内部の抵抗が融解して必
要以上の電流がIC内部の回路に流れ、破壊をきたす恐
れがある。このようなノイズ成分の増加、ICの破壊を
防ぐために、たとえば以下に説明するような手法が採ら
れている。
【0013】図11は、IC自体が発する熱量を放熱す
るアルミニウム等の熱伝達率の高い金属を材質とする冷
却フィン10を、熱伝達部材11を介してICの表面に
設けている様子を示す図である。冷却フィン10及び熱
伝達部材11は、フレキシブル基板3のICを実装した
面と逆の面に設けた弾性体12及び固定板13をスリー
ブ14a,14bによって取り付けている。なお、11
a〜11cは、それぞれスリーブ14aと14bとの
間、紙面に対してそれぞれスリーブ14aの上側、スリ
ーブ14bの下側の領域を示している。ちなみに図11
において、図1と同様の部分には、同一の符号を付して
いる。
【0014】冷却フィン10に伝達された熱量は、冷却
フィン10の表面より装置内の空気中に輻射され、自然
冷却、又は装置内に設けられた冷却用ファン(図示せ
ず)を使用した強制冷却によって放熱される。熱伝達部
材11の材質は、たとえばシリコーンゴムや窒化ホウ素
など熱伝達率の高い物質が使用されている。またシリコ
ーンゴムは硬度が低く、ICを実装したフレキシブル基
板3と冷却フィン10の取付時の誤差などを弾性体とし
て吸収する役割を果たしている。
【0015】ICからの熱量を効果的に伝達するために
は、IC、熱伝達部材11、冷却フィン10の熱伝達を
行う各々の接触面の表面積を大きくとり、且つ各々の密
着性を高めることが必要である。そのため、図11に示
すように、固定板13と冷却フィン10との間をスリー
ブ14a、14bで各々固定することにより、ICの冷
却フィン10に対する密着性を高めている。
【0016】この状態で、固定板13と冷却フィン10
との間隔はIC、フレキシブル基板3、熱伝達部材1
1、弾性体12の各々の厚みを加算した寸法より小さく
設定されており、そのため熱伝達部材11、弾性体12
が適度に圧縮して密着性を高めている。
【0017】しかし、図11に示すように、冷却ファン
10等を備えると、構成だと以下のような不具合が生じ
ていた。図12(a)、12(b)は、その不具合の状
況を説明するためにIC、フレキシブル基板3、熱伝達
部材11の構成を模式的に表した図である。
【0018】図12に示すように、熱伝達部材11の端
面は固定されていないため、領域11b,11cは装置
内部の冷却用ファンや装置外部の振動によって図12
(a)の矢印方向に揺れを生じる。また、フレキシブル
基板3も同様に図12(a)の矢印方向に揺れを生じ
る。領域11b,11cは、図12(a)のように、フ
レキシブル基板3内を通る信号線と熱伝達部材11との
距離が変わり、これらが近づくことのある部分である。
なお、図12(b)の領域11b,11cに示している
フレキシブル基板3、熱伝達部材11の各々に空いた2
つの穴は、スリーブ14a、14bを各々通す穴であ
る。
【0019】センサ基板1上で蓄積された電荷をIC、
PCB2を介して信号処理回路基板5に転送する際に、
図12(a)の矢印方向に揺れが生じると、熱伝達部材
11とフレキシブル基板3との距離が変わり、熱伝達部
材11に残留している静電容量が、フレキシブル基板3
内の信号線を通る電荷の容量を不安定化させる。特に、
センサ基板1からICまでのフレキシブル基板3内の信
号線を通る電荷に対しては、静電容量の変化の影響を受
けてノイズ成分を加えた電荷がそのままICで増幅され
るため影響度が大きい。
【0020】このような不具合が生じた画像をCRT
や、プリンタ等で出力すると、実際にX線によって分布
される照射濃度と差が生じる部分ができ、撮影した患者
の病変がその部分に存在する場合には、その病変を発見
できない場合もある。
【0021】そこで、本発明は、装置外部又は内部で生
じる振動によって、電気信号のS/N比が悪化しないよ
うにすることを課題とする。
【0022】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、放射線を電気信号に変換する変換手段
と、前記変換手段によって変換された信号を増幅する増
幅手段と、該増幅手段で増幅された信号を処理する処理
手段と、前記変換手段から増幅手段への信号の伝達のた
めに第1信号線を有すると共に前記増幅手段から前記処
理手段への信号を伝達するために第2信号線を有する柔
軟性のある伝達部材と、前記増幅手段の発生熱を冷却手
段に伝熱する伝熱手段とを備えた放射線撮像装置におい
て、少なくとも、第1信号線を通る信号の電荷に影響す
る領域では、前記伝熱手段が前記伝達部材に対向しない
状態で、前記増幅手段に対応して構成されていることを
特徴とする。
【0023】また、本発明は、放射線を電気信号に変換
する変換手段と、前記変換手段によって変換された信号
を増幅する増幅手段と、該増幅手段で増幅された信号を
処理する処理手段と、前記変換手段から増幅手段への信
号の伝達のために第1信号線を有すると共に前記増幅手
段から前記処理手段への信号を伝達するために第2信号
線を有する柔軟性のある伝達部材と、前記増幅手段の発
生熱を冷却手段に伝熱する伝熱手段とを備えた放射線撮
像装置において、前記増幅手段と前記伝熱手段との間に
絶縁体を備え、前記冷却手段をアースに落とすことを特
徴とする。
【0024】さらに、本発明は、放射線を電気信号に変
換する変換手段と、前記変換手段によって変換された信
号を増幅する増幅手段と、該増幅手段で増幅された信号
を処理する処理手段と、前記変換手段から増幅手段への
信号の伝達のために第1信号線を有すると共に前記増幅
手段から前記処理手段への信号を伝達するために第2信
号線を有する柔軟性のある伝達部材と、前記増幅手段の
発生熱を冷却手段に伝熱する伝熱手段とを備えた放射線
撮像装置において、前記伝熱手段と前記冷却手段とを前
記第1信号線側で固定部材によって固定し、該固定部材
をアースに落とすことを特徴とする。
【0025】さらにまた、本発明の放射線線撮像システ
ムは、上記いずれかに記載の放射線撮像装置と、前記放
射線撮像装置からの信号を処理する信号処理手段と、前
記信号処理手段からの信号を記録するための記録手段
と、前記信号処理手段からの信号を表示するための表示
手段と、前記信号処理手段からの信号を伝送するための
伝送処理手段と、前記放射線を発生させるための放射線
源とを具備することを特徴とする。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。
【0027】(実施形態1)図1(a)は、本発明の実
施形態1のX線撮像装置の構成を示す平面図である。図
1(b)は、図1(a)の断面図である。図1におい
て、光電変換素子とTFTとを内包する変換手段である
画素が複数個形成されたガラスを材質とするa−Siセ
ンサ基板(以下、「センサ基板」と称する。)1と、増
幅手段であるところの検出用集積回路IC(以下、「I
C」と称する。)が実装されセンサ基板1とシフトレジ
スタSR2とを接続する伝達部材であるところのフレキ
シブル基板3と、X線を可視光に変換する蛍光体4など
のシンチレータと、フレキシブル基板3に接続された回
路基板PCB2と、回路基板PCB2に接続されたメモ
リを実装した処理手段であるところの信号処理回路基板
5とを示している。
【0028】また、図1には、Siゴム等の弾性体を材
質とするダンパー6と、ダンパー6と共にセンサ基板1
を保持するフレーム7と、信号処理回路基板5に実装さ
れているメモリ8をX線照射から保護する目的でフレー
ム7の裏側に貼付けられた鉛板9とを示している。
【0029】図2(a)は、図1(a)のフレキシブル
基板3の周辺図である。図2(b)は、冷却手段である
ところの冷却フィン10側から見た伝熱手段であるとこ
ろの熱伝達部材15の周辺図である。図2には、IC自
体が発する熱量を放熱するアルミニウム等の熱伝達率の
高い金属を材質とする冷却フィン10と、冷却フィン1
0に熱を伝達する熱伝達部材15と、フレキシブル基板
3のICを実装した面と逆の面に設けた弾性体12及び
固定板13と、弾性体12及び固定板13と冷却フィン
10及び熱伝達部材11とを接続するスリーブ14a,
14bとを示している。なお、フレキシブル基板3を通
る信号線のうちスリーブ14a側の信号線を第1信号
線、スリーブ14b側の信号線を第2信号線としてい
る。
【0030】図2に示すように、本実施形態では、IC
とフレキシブル基板3との実装面の面積以下の面積の熱
伝達部材15を備えている。これにより、熱伝達部材1
5とフレキシブル基板3の信号線との距離が振動等によ
って変わらないようにしている。また、熱伝達部材15
を、ICと冷却フィン10との間に押し付けるように設
けている。
【0031】(実施形態2)図3は、本発明の実施形態
2のX線撮像装置に係る熱伝達部材16の周辺図であ
る。なお、図3において16aは、熱伝達部材16のう
ちICに接触していない領域を示している。また、図3
において図1(b)と同様の部分には、同一の符号を付
している。
【0032】図3に示すように、本実施形態では、第2
保持部材であるところのスリーブ14bによって固定で
きるような形状の熱伝達部材16を用いている。熱伝達
部材16を用いると、スリーブ14b側で熱伝達部材1
6とICとの位置合わせが容易となる。
【0033】ところで、このような熱伝達部材16を用
いると、冷却ファンの駆動などによって生じた振動によ
って、領域16aとフレキシブル基板3内の信号線との
距離が変動する場合があるが、第2信号線を通る信号
は、すでにICで増幅されている。そこで、増幅後の信
号が領域16aの電荷による影響は小さい場合には、図
3に示すように熱伝達部材16を用いるとよい。
【0034】(実施形態3)図4は、本発明の実施形態
3のX線撮像装置に係る熱伝達部材17の周辺図であ
る。なお、図4において17a〜17cは、それぞれ熱
伝達部材17のうちICに接触している領域、ICに接
触していない領域のうち第1保持部材であるところのス
リーブ14a側、14b側の領域を示している。また、
図4において図1(b)と同様の部分には、同一の符号
を付している。
【0035】本実施形態では、スリーブ14a、14b
によって位置決めされ、且つフレキシブル基板3内の信
号線に接触しない形状の熱伝達部材17を用いている。
具体的には、領域17a、17bの形状は、端面にそれ
ぞれスリーブ14a、14bに接触するU字型の溝を有
しており、このU字型の溝を、スリーブ14a、14b
に接触させることで、実施形態2と同様に、熱伝達部材
17の位置決めを容易にしている。
【0036】また、領域17b、17cの図面短手方向
の距離x1、x2を、S/N比を悪化させないような長
さとすることが必要である。これは、領域17b、17
cが振動によりフレキシブル基板3との距離が近づくこ
とがあるため、あまり長いと、振動によって領域17
b、17cとフレキシブル基板3とが近づくことで、フ
レキシブル基板3内の信号線を通る電荷が不安定となる
からである。
【0037】(実施形態4)図5(a)は、本発明の実
施形態4のX線撮像装置に係る熱伝達部材11の周辺図
である。図5(b)は、図5(a)のA−B間の断面図
を図面の矢印方向から見た図である。固定部材19本実
施形態では、熱伝達部材11と冷却フィン10とを固定
部材18,19によって固定している。具体的には、固
定部材18によって、冷却フィン10と領域11bとを
挟み込み、固定部材19によって、冷却フィン10と領
域11cとを挟み込んでいる。
【0038】ここで、振動によってフレキシブル基板3
と領域11b、11cとの距離が近づく場合があるた
め、固定部材18,19の材質を導電体とし、冷却フィ
ン10を電位0のアースに落として図5(a)のように
固定部材18,19と冷却フィン10をアース線20を
介して接続する。
【0039】また、冷却フィン10を電位0のアースに
落とせない場合には、装置内の他の図示しない電位0の
筐体にアースを落とすことで、領域11b,11cとフ
レキシブル基板3との間に固定部材18,19によって
導電体が挿入された形となり、たとえフレキシブル基板
3が振動によって揺れが生じても、熱伝達部材11内に
内包する静電容量の影響を受け難くなる。
【0040】なお、熱伝達部材11の領域11c側で
は、実施形態2で説明したように、ICによって増幅さ
れた後の信号が、振動によって領域11cとフレキシブ
ル基板3との距離が変動することによって、静電容量の
影響を受けない場合には、固定部材19を用いなくても
よい。
【0041】(実施形態5)図6は、本発明の実施形態
5のX線撮像装置に係る熱伝達部材22の周辺図であ
る。本実施形態では、熱伝達部材22とICとの間に絶
縁体24を設けている。また、熱伝達部材22には、シ
リコーンゴム、窒化ホウ素などの熱伝達率の高い物質と
ポリアミドと銀とを織りあわせた導電性繊維を用いてい
る。また、冷却フィン10には、アルミニウムや銅等熱
伝達率の高い金属を用い、冷却フィン10が熱伝達部材
22と接触する面には、酸化防止等のため膜処理がなさ
れていないため、冷却フィン10と熱伝達部材22は電
位差0となる。
【0042】また冷却フィン10は装置内の他の図示し
ない電位0の筐体のアースに落とされているため、熱伝
達部材22も同様に電位0となる。したがって、熱伝達
部材22とフレキシブル基板3は振動により揺れが生じ
ても、フレキシブル基板3内の信号線を通る電荷に影響
を与える静電容量が熱伝達部材22内に存在しないた
め、S/N比が悪化しない。
【0043】ところで、ICは、通常IC内部の回路を
保護するための筐体を有しているが、より薄型化するた
めやIC内の抵抗の熱量を効率よくICの外へ逃がすた
めに筐体を有していないものや、筐体も回路の一部とし
て電位を与えているものがある。この場合、絶縁体24
は、導電体である熱伝達部材22とICが直接接触する
ことを防ぐという役割も果たしている。したがって表面
に電位のあるICに対しても、熱伝達部材の利点を有効
に利用することができる。
【0044】(実施形態6)図7(a)は、本発明の実
施形態6のX線撮像装置に係る熱伝達部材11の周辺図
である。図7(b)は、図7(a)のA−B間を図面矢
印方向から見た断面図である。本実施形態では、フレキ
シブル基板3と冷却フィン10とを固定部材25により
固定し、さらにフレキシブル基板3と領域11b、11
cとの間にスペーサー26を設けてこれらの距離が変わ
らないようにしている。
【0045】固定部材25は、図7(a)、図7(b)
に示すように、冷却フィン10、熱伝達部材11、スペ
ーサー26及びフレキシブル基板3を挟み込むような形
状としている。スペーサー26には、ポリカーボネート
等の樹脂系で絶縁体であり、その厚みはICのフレキシ
ブル基板3上の厚みと同等としている。
【0046】また、固定部材25によって領域11b,
11cとフレキシブル基板3とが固定されるため、振動
によってこれらの距離が変わらない。したがってフレキ
シブル基板3内の信号線を通る電荷に影響を与える静電
容量は変化せず、S/N比は悪化しない。
【0047】なお、熱伝達部材11の領域11c側で
は、実施形態2で説明したように、ICによって増幅さ
れた後の信号が、振動によって領域11cとフレキシブ
ル基板3との距離が変動することによって、静電容量の
影響を受けない場合には、固定部材25を用いなくても
よい。
【0048】(実施形態7)図8(a)、図8(b)は
本発明の実施形態7のX線検出装置の実装例の模式的構
成図及び模式的断面図である。光電変換素子とTFT
(トランジスタ)はa−Siセンサ基材6011内に複
数個形成され、シフトレジスタSR1と検出用集積回路
ICが実装されたフレキシブル回路基板6010が接続
されている。
【0049】フレキシブル回路基板6010の逆側は回
路基板PCB1、PCB2に接続されている。前記a−
Siセンサ基材6011の複数枚が基台6012の上に
接着され大型の光電変換装置を構成する基台6012の
下には処理回路6018内のメモリ6014をX線から
保護するため鉛板6013が実装されている。
【0050】a−Siセンサ基材6011上にはX線を
可視光に変換するためのシンチレータ6030たとえば
CsIが、蒸着されている。図8(b)に示されるよう
に全体をカーボンファイバー製のケース6020に収納
している。
【0051】図9は、図8のX線検出装置のX線診断シ
ステムへの応用例を示したものである。X線チューブ6
050で発生したX線6060は患者あるいは被験者6
061の胸部6062を透過し、シンチレータを上部に
実装した光電変換装置6040に入射する。この入射し
たX線には患者6061の体内部の情報が含まれてい
る。
【0052】X線の入射に対応してシンチレータは発光
し、これを光電変換して、電気的情報を得る。この情報
はディジタルに変換されイメージプロセッサ6070に
より画像処理され制御室のディスプレイ6080で観察
できる。
【0053】また、この情報は電話回線6090等の伝
送手段により遠隔地へ転送でき、別の場所のドクタール
ームなどディスプレイ6081に表示もしくは光ディス
ク等の保存手段に保存することができ、遠隔地の医師が
診断することも可能である。またフィルムプロセッサ6
100によりフィルム6110に記録することもでき
る。
【0054】なお、以上説明した本発明の各実施形態で
は、X線撮像装置を用いた場合を例に説明したが、α,
β,γ線等の放射線を用いることができる。また、光は
光電変換素子により検出可能な波長領域の電磁波であ
り、可視光を含む。さらに、たとえば放射線を含む電磁
波を電気信号に変換する電磁波電気信号変換装置にも適
用することができる。
【0055】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、第1信
号線を通る信号の電荷に影響する領域では、伝熱手段が
伝達部材に対向しない状態で、増幅手段に対応して構成
されているため、装置外部又は内部で生じる振動によっ
て、電気信号のS/N比が悪化しないようにすることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1のX線撮像装置の構成を示
す平面図及び断面図である。
【図2】図1のフレキシブル基板の周辺図である。
【図3】本発明の実施形態2のX線撮像装置に係る熱伝
達部材の周辺図である。
【図4】本発明の実施形態3のX線撮像装置に係る熱伝
達部材の周辺図である。
【図5】本発明の実施形態4のX線撮像装置に係る熱伝
達部材の周辺図である。
【図6】本発明の実施形態5のX線撮像装置に係る熱伝
達部材の周辺図である。
【図7】本発明の実施形態6のX線撮像装置に係る熱伝
達部材の周辺図である。
【図8】本発明の実施形態7のX線検出装置の実装例の
模式的構成図及び模式的断面図である。
【図9】図8のX線検出装置のX線診断システムへの応
用例を示したものである。
【図10】暗電流の値と温度の関係を表したグラフで、
縦軸に暗電流の値、横軸に温度を示している。
【図11】冷却フィンを熱伝達部材を介してICの表面
に設けている様子を示す図である。
【図12】フレキシブル回路基板、熱伝達部材の構成を
模式的に表した図である。
【符号の説明】
1 センサ基板 3 フレキシブル基板 10 冷却フィン 11,15,16,17,22 熱伝達部材 18,19,25 固定部材 24 絶縁体 26 スペーサー PCB2 回路基板 IC 検出用集積回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 31/09 H01L 31/00 A Fターム(参考) 2G088 EE03 EE29 FF02 GG19 GG20 GG21 JJ05 JJ09 JJ37 LL21 LL23 4C093 AA03 CA06 EB12 EB13 EB17 EB20 5F088 AB05 BA03 BA10 BB07 EA04 EA07 GA02 HA15 JA16 LA07 LA08

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 放射線を電気信号に変換する変換手段
    と、前記変換手段によって変換された信号を増幅する増
    幅手段と、該増幅手段で増幅された信号を処理する処理
    手段と、前記変換手段から増幅手段への信号の伝達のた
    めに第1信号線を有すると共に前記増幅手段から前記処
    理手段への信号を伝達するために第2信号線を有する柔
    軟性のある伝達部材と、前記増幅手段の発生熱を冷却手
    段に伝熱する伝熱手段とを備えた放射線撮像装置におい
    て、 少なくとも、第1信号線を通る信号の電荷に影響する領
    域では、前記伝熱手段が前記伝達部材に対向しない状態
    で、前記増幅手段に対応して構成されていることを特徴
    とする放射線撮像装置。
  2. 【請求項2】 前記伝熱手段と前記増幅手段とを接触さ
    せ、且つ前記伝熱手段の前記増幅手段と接触している面
    の総面積を、前記増幅手段の前記伝熱手段と接触してい
    る面の総面積よりも小さくすることを特徴とする請求項
    1に記載の放射線撮像装置。
  3. 【請求項3】 前記伝熱手段は、前記第1,第2信号線
    側の双方で前記冷却手段と前記増幅手段との距離を保つ
    第1,第2保持部材によって保持されていることを特徴
    とする請求項1又は2に記載の放射線撮像装置。
  4. 【請求項4】 前記伝熱手段は、前記第2保持部材を通
    す孔が設けられており、前記孔に前記第2保持部材を通
    すことによって放熱手段本体の位置を保持することを特
    徴とする請求項3に記載の放射線撮像装置。
  5. 【請求項5】 前記伝熱手段は、前記第1,第2保持手
    段によって位置決めされるような形状としていることを
    特徴とする請求項3に記載の放射線撮像装置。
  6. 【請求項6】 放射線を電気信号に変換する変換手段
    と、前記変換手段によって変換された信号を増幅する増
    幅手段と、該増幅手段で増幅された信号を処理する処理
    手段と、前記変換手段から増幅手段への信号の伝達のた
    めに第1信号線を有すると共に前記増幅手段から前記処
    理手段への信号を伝達するために第2信号線を有する柔
    軟性のある伝達部材と、前記増幅手段の発生熱を冷却手
    段に伝熱する伝熱手段とを備えた放射線撮像装置におい
    て、 前記増幅手段と前記伝熱手段との間に絶縁体を備え、前
    記冷却手段をアースに落とすことを特徴とする放射線撮
    像装置。
  7. 【請求項7】 放射線を電気信号に変換する変換手段
    と、前記変換手段によって変換された信号を増幅する増
    幅手段と、該増幅手段で増幅された信号を処理する処理
    手段と、前記変換手段から増幅手段への信号の伝達のた
    めに第1信号線を有すると共に前記増幅手段から前記処
    理手段への信号を伝達するために第2信号線を有する柔
    軟性のある伝達部材と、前記増幅手段の発生熱を冷却手
    段に伝熱する伝熱手段とを備えた放射線撮像装置におい
    て、 前記伝熱手段と前記冷却手段とを前記第1信号線側で固
    定部材によって固定し、該固定部材をアースに落とすこ
    とを特徴とする放射線撮像装置。
  8. 【請求項8】 前記固定部材は、さらに、前記伝熱部材
    と前記伝達部材との間に絶縁体を介して前記冷却手段側
    と該伝達部材とを固定することを特徴とする請求項7に
    記載の放射線撮像装置。
  9. 【請求項9】 前記伝熱手段と前記冷却手段とを前記第
    2信号線側で固定部材によって固定し、該固定部材をア
    ースに落とすことを特徴とする請求項7又は8に記載の
    放射線撮像装置。
  10. 【請求項10】 請求項1から9のいずれかに記載の放
    射線撮像装置と、 前記放射線撮像装置からの信号を処理する信号処理手段
    と、 前記信号処理手段からの信号を記録するための記録手段
    と、 前記信号処理手段からの信号を表示するための表示手段
    と、 前記信号処理手段からの信号を伝送するための伝送処理
    手段と、 前記放射線を発生させるための放射線源とを具備するこ
    とを特徴とする放射線撮像システム。
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