JP2001525763A

JP2001525763A - 液体を保存容器から補充するシステムおよび方法

Info

Publication number: JP2001525763A
Application number: JP50525495A
Authority: JP
Inventors: ラファエル・イアン・ピー．
Original assignee: マイクロバー・システムズ・インコーポレーテッド
Priority date: 1993-07-19
Filing date: 1994-07-18
Publication date: 2001-12-11
Anticipated expiration: 2018-01-07
Also published as: EP0708737A4; EP0708737A1; JP3361525B2; US5636762A; US5383574A; WO1995003245A1

Abstract

(57)【要約】補充システム１０は、第１および第２容器１４，１８から液体を伝達するために、それぞれ第１および第２容器１４，１８に通じる第１および第２ライン２２，３０を有し、第１状態において、バルブ２６，３４は液体が第１ライン２２を通して流れることを妨げて第２ライン３０を通じて流れるようにし、また、第２状態では、その逆になる。バルブ２６，３４につながっている貯蔵容器４０はバルブ２６，３４を通じて第１および第２ライン２２，３０から液体を受ける。伝達ラインセンサ装置４４，４８は第１および第２ライン２２，３０内の液体の存在をモニタし、液体が第１および第２ライン２２，３０のそれぞれからなくなった時に、第１および第２信号を発する。バルブ２６，３４は第１信号に対応した第１の状態および第２信号に対応した第２の状態に切り替えられる。真空発生装置１１０は貯蔵容器４０の前記液体のレベルより上のガスを取り除く。

Description

【発明の詳細な説明】発明の名称液体を保存容器から補充するシステムおよび方法本発明は、一般的に液体化学薬品のような液体を補充するシステムに係り、特に、少なくとも一組の液体源容器間で自動的に切り替えるようにしたシステムに関する。発明の背景ご存じのように，集積回路要素の多くは、単一の半導体基板ウエハ上に作製される。ウエハの歩留りを最大にするために（すなわち、無欠陥の回路要素の割合を最大にするために）、プロセスの環境を正確にコントロールすることが必要である。こうしたプロセスの第一歩として、ウエハをフォトレジストのような液体化学薬品を使った感光性層で覆う。望ましい回路のパターンは次のように定義される。（ｉ）特定の波長と輝度を持った光をマスクに当てることによって、感光性層を選択的に感光させて、かつ、（ii）例えば化学的なエッチャントを用いて、感光性層の感光していない部分を取り除く。ウエハの覆いの下にある集積回路部分は、化学的なエッチャントに触れると破壊されてしまうため、ウエハの歩留りを上げるためには、覆いをつけた部分が実質的に不連続でないことが必要である。こうした不連続性は、例えばフォトレジスト補充システムに存在する空気泡により生じることは周知である。それゆえ、ウエハは破壊されやすく、その結果、補充したフォトレジスト内の空気泡の相対量に比例して、ウエハの歩留りは減少する。手動の補充システムでは、フォトレジスト液は普通は小さなボトルや容器から注がれ、空になったら取り替えなければならない。しかし、フォトレジスト容器を手動で取り替える際、補充システムにおける多くの供給ラインにおいて空気が入り込みやすくなる。すなわち、取り替える前の容器が完全に空になった場合に空気が補充システム内に入り込むのであろう。このことにより、フォトレジスト層が不連続となり、また、浄化処理を行ってシステムから不要な空気を取り除く必要が生じる。こうした浄化処理は、補充ライン内に存在する残留したフォトレジストを浪費することになり、生産効率を減少させる。加えて、補充システム内の不要な空気は、結果的にはフォトレジスト表面を酸化させて粒子を形成する可能性もある。周知のとおり、フォトレジスト内のこうした粒子の存在は、ウエハ上に形成された回路ラインにおいて欠陥や不連続性を引き起こすこともありうる。フォトレジストや他のプロセス液がとても高価になり、手動の補充操作におけるプロセス液の浪費で、ウエハプロセスのコストが著しく増大することになる。発明の目的本発明の第１の目的は、システム周囲の空気がシステム内に入り込む可能性を低減する、液体補充システムを提供することである。本発明の次の目的は、供給容器間で自動的にスイッチを切り替えることができる液体化学薬品を補充するシステムを提供することである。そこでは、化学薬品の浪費を最小にし、また、空気がそこに入り込む可能性を低減するものである。本発明のさらなる目的は、周囲の空気によって実質的に汚染されない液体化学薬品を絶え間なく供給することができるシステムを提供することである。発明の要旨要旨として、本発明は、液体を第１容器および第２容器から補給するためのシステムである。本発明の液体補充システムでは、液体伝達路を通じて第１容器とつながり、第１容器から液体を伝達する第１メディア伝達ラインと、液体伝達路を通じて第２容器とつながり、第２容器から液体を伝達する第２メディア伝達ラインを備えている。第１状態の場合には、スイッチ切替え可能なバルブにより、液体が第１メディア伝達ラインから流れるのを妨げ、第２メディア伝達ラインを通して流れるようにする。第２状態の場合には、スイッチ切替え可能なバルブにより、液体が第２メディア伝達ラインから流れるのを妨げ、第１メディア伝達ラインを通して流れるようにする。スイッチ切替え可能バルブのついた液体伝達路と連結した液体貯蔵容器は、スイッチ切り替え可能バルブを通して送られてきた、第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインからの液体を貯蔵する。伝達ラインセンサ装置は、第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインに液体が存在するかどうかをモニタし、液体が第１メディア伝達ラインから、流れて空になった時は、第１スイッチ切り替え信号を発生する。また、液体が第２メディア伝達ラインから流れて空になった時は、第２スイッチ切り替え信号を発生する。スイッチ切り替え可能バルブは、第１スイッチ切り替え信号を受けて第１状態に切り替わり、第２スイッチ切り替え信号を受けて第２状態に切り替わるようになっている。真空発生装置は、中の液体レベルより上の位置に、液体貯蔵容器からガスを取り除くよう配置されている。図面の簡単な説明以下の詳述とクレームを図面と照らし合わせることによって、本発明のさらなる目的と特性が、より明らかになるだろう。図１は半導体プロセス化学薬品などの液体を、第１液体メディア容器と第２の液体メディア容器から補充するシステムの具体例を示すブロック図である。図２は本発明の補充システムに関する、液体貯蔵容器の断面側面図である。図３Ａ−図３Ｄは、図１の補充システムにおける液体貯蔵容器に液体を補充する過程を説明する、本発明のフローチャートである。実施例図１は、第１メディア容器１４および第２メディア容器１８から、半導体プロセス化学薬品のような液体を補充するシステム１０である。システム１０は、第１容器１４あるいは第２容器１８のどちらかから、容器内の液体がなくなるまで液体を補充するように動作する。その後、もう一方の容器から液体を補充するよう、自動的に切り替わるようになっている。液体は、第１バルブ２６とつながった液体伝達路である第１メディア供給ライン２２を通って第１容器１４から排水する。一方、第２バルブ３４とつながった液体伝達路である第２メディア供給ライン３０は、第２メディア容器から排水するように配置されている。図１において、バルブ２６とバルブ３４は通気制御されており、液体が容器１４、１８から貯蔵容器４０へ流れるのを選択的に操作している。より具体的に言えば、液体が第１容器１４から排水されている時、第２バルブ３４は液体が第２メディア供給ライン３０を流れないように作用している。このようにして、第２容器１８は、貯蔵容器４０への液体の流れを絶えざせずに、液体が補充される。同様にして、第１容器１４が空になると、第１バルブ２６は自動的に閉じ、それと同時に第２バルブ３４が開いて、第１容器１４内の液体が補充される。バルブ２６とバルブ３４は、例えばＦｌｏｕｗａｒｅＩｎｃ．ｏｆＣｈａｓｕａＭｉｎｎｅｓｏｔａ，ＰａｒｔＮｏ．ＰＶ２−１１４４により作製されたような二方向の通気制御バルブを使用してもよい。後に詳しく説明するように、第１の光学流れセンサ４４と第２の光学流れセンサ４８は、メディア供給ライン２２、３０をそれぞれ、フォトレジストがあるかどうかを調べて容器１４と１３が空になったら、電気的信号を送るように配置されている。すなわち、メディア供給ラインのうちの１つの内部に空気が存在するということは、液体伝達路でつながっている容器１４、１８が空になったことを示している。この方法で、バルブ２６と３４は、容器１４と容器１３の間でスイッチを切り替えなから、空気が貯蔵容器４０に侵入しないように制御している。光学センサ４４、４８はそれぞれ、例えばフォトマイクロセンサ（ＰａｒｔＮｏ．ＥＥ−ＳＰＸ４０３、ＯｍｒｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＩｎｃ．ｏｆＳｈａｕｍｂｕrｇ，Ｉｌｌｉｎｏｉｓ作製）のような、供給ラインまたはコンジット内に不透明な液体物質の存在をモニタして識別できる測光装置であってもよい。また、測光装置は家屋内に設置して、そこを通って調べた上で液体供給ラインまたはパイプに流れるようにしてもよい。この装置においては、液体供給ラインまたはパイプは光学的に透明な、テフロンチューブのようなものを用いて、測光装置から発する光が、チューブ内に存在する液体と作用し合うようにする。ゆえに、液体供給ラインまたはパイプはそれぞれ、システム１０を流れる液体に接触せずに調べることができる。図１の実施例では、容器１４、１８は、フォトレジストなどの半導体プロセス化学薬品を貯蔵するのに適した光遮蔽ガラスあるいはプラスチック容器であってもよい。図１に示すように、メディア供給ライン２２および３０はそれぞれ導管４９、５０により導かれ、容器１４、１８のほとんど底まで達している。システム１０を第１状態で動作したとき、第１バルブ２６が開いて第２バルブ３４が閉じ、液体は第１容器１４から供給ライン２２、貯蔵容器供給ライン５２を通って貯蔵容器４０へと伝達される。同様にして、第２状態で動作したとき、液体は第２容器１８からメディア供給ライン３０、貯蔵容器供給ライン５２を通って貯蔵容器４０へと伝達される。図１において、バルブ２６、３４の通気制御は、第１パイプ５６と第２パイプ６０に、加圧した窒素ガスを送ると有効である。パイプ５６、６０を通ったガスの流れは、特に最大圧力６０ｐｓｉ時に、電気的に動作したソレノイドバルブによりコントローラあるいはバルブ動作ネットワーク１２０内で調整される。これは、パイブ５６、６０とつながったソレノイドバルブがコントローラ１２０の電気的操作により開いて、加圧窒素ガスが、パイプ５６、６０を通過するためと理解できる。図２では、貯蔵容器４０が示されている。貯蔵容器供給ライン５２は、バルブ２６、３４から伸びて貯蔵容器４０内部の下の方まで達している。貯蔵容器４０は、およそ７００ｍｌの液体貯蔵能力をもっている。また、図１の容器は、底壁８０、円筒状の側壁８４、上壁８８とする。１つあるいはそれ以上の補充ポンプ９６へつながるポンプ供給ライン９２は、底壁８０を通り、貯蔵容器４０の内部とつながる液体伝達路となっている。液体の高低レベルを検知するセンサ９８、９９が側壁８４に配置され、それぞれ貯蔵容器内の液体のレベルが満水位を越えたか、低水位より下がったかを知らせる信号を送る。冗長高レベルセンサ１００（ＨＩ−ＨＩ）が高レベルセンサ９８の上方に配置され、、冗長低レベルセンサ１０１（ＬＯ−ＬＯ）が低レベルセンサ９９の下方に配置されている。センサ１００、１０１は安全に固定され、貯蔵容器があふれるか、もしくは完全に空になることのないようにして、汚れないようにしている。特に、高レベルセンサ９８が動作不能となり、万一、貯蔵容器４０の液体がそのレベルを越えることがあれは、ＨI−ＨＩセンサ１００が信号を送る。このようにしてその後、液体がガス排出パイプ１０２へ侵入しないよう、貯蔵容器４０の補充が中止される。同様にしてＬＯ−ＬＯセンサ１０１は、低レベルセンサ９９が動作しない場合、貯蔵容器４０がほとんど空になった時に信号を送るようになっている。こうして、ＬＯ−ＬＯセンサ１０１は空気あるいはガスがポンプ供給ライン９２へ侵入しないようにしている。ＨＩ−ＨＩセンサ１００、ＬＯ−ＬＯセンサ１０１は、高レベルセンサ９８、低レベルセンサ９９からそれぞれ、ほぼ１０ｍｍ以内に配置するのが望ましい。さらに貯蔵容器４０は、貯蔵供給ライン５２の注入口１０３と取り入れ口１０４の間にほぼ３５ｍｌの容量が入るように作るのがよい。このことにより、貯蔵容器４０はたとえ液体レベルがＬＯ−ＬＯセンサ１０１位置にまで下がっても空にはならないのである。さらに、注入口１０３より出てくるガスの泡が、貯蔵容器４０に補充する際に浮き上がってくるので、こうした泡が取り入れ口１０４を通ってポンプ供給ライン９２に侵入するのを防ぐ。実施例では、貯蔵容器４０の望ましい規格として、低レベルセンサ９９と注入口１０３との間、およそ６０ｍｌの容量。高レベルセンサ９８と９９との間、およそ４５０ｍｌの容量。高レベルセンサ９８は上壁８８とおよそ９０ｍｌの容量分、離れている。センサ９８−１０１はそれぞれ、例えば、ＯｍｒｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＩｎｃ．作製のＰａｒｔＮｏ．Ｅ２Ｋ・Ｆ１０ＭＣ２の容量型近接センサのような容量型近接センサを用いてもよい。このセンサは貯蔵容器４０の外側に配置され、排気口を側壁８４に設ける必要なく、内部の液体の存在を検知することができる。上壁８８は排気口が設けられており、排出パイプ１０２はそこからのびて、第１の三方向ガス動作バルブ１０５とつながったガス伝達路と貯蔵容器４０の内部を連結している。三方向バルブ１０５は、案内パイプ１０８を通して送られる窒素などのような加圧ガスで通気的に制御されている。図１では、三方向バルブ１０５の、普段は閉じているポート１０７は、ＡｉｒＶａｃｏｆＭｉｌｆｏｒｄＣｏｎｎ．，ＰａｒｔＮｏ．ＡＶＲ−０３８Ｈにより作製されたような、通常の真空発生装置１１０の真空ポート（Ｖ）とガス伝達路でつながっている。ポート１０７は、ガスが貯蔵容器４０から真空発生装置１１０により排気されたときに開き、そうでないときは閉じている。三方向バルブ１０５の通常のポート１１０は、貯蔵容器４０の内部とつながり、ガス排気パイプ１０２を通って連続してガスを伝達するようになっている。ガスは、貯蔵容器４０から通常閉じているポート１０７を通って排出されず、通常開いている排気口１１２に送られた窒素ガスが通常のポート１１０を通って、大気圧よりほんの少し高い圧力で、貯蔵容器４０に注入される。ここで、図１におけるこの注入システム１０の操作が評価される。本発明では貯蔵容器４０の補充が、液体レベルセンサ９８、９９からの信号に従って行われ、一方、容器４１と１８の切り替えも第１光学センサ４４と第２光学センサ４８からの信号に支配されることをねらいとしていることを思い出してほしい。まず最初に、ポンプ９６が貯蔵容器４０から液体を排出し、それと同時に貯蔵容器４０は第１容器１４から液体を補充されるとしよう。この間に、真空発生装置１１０により容器内の圧力を滅じることによって液体は排出されて貯蔵容器４０へ注入される。こうした環境のもとでは、コントローラおよびバルブ動作ネットワーク１２０は、第１の三方向バルブ１０５にある通常は閉じたポート１０７を開け、通常開いたポート１１２を閉じるためにパイプ１０８に加圧する。液体を排出している間、貯蔵容器４０の内部は真空発生装置１１０の真空排気口（Ｖ）とつながり、ガスを伝達する。液体は、センサ９８がコントローラ１２０へ貯蔵容器４０内の液体レベルが入り口までいっぱいになったことを知らせる信号を送るまで、容器１４から排出される。コントローラ１２０はその後、バルブ６４とポート１０７を閉じるように電気的に信号を送り、パイプ５６と１０８の加圧を中止する。その結果、第１の通気制御されたバルブ２６と通常閉じたポート１０７が閉じるために、容器１４から送られた液体が貯蔵容器４０へ入るのを止め、真空発生装置１１０がそこからガスを排気するのを中止する。ポンプ９６は液体を貯蔵容器４０から排出し続けるので、容器中の液体レベルは減少し、第２センサ９９により検知されるレベルより下がってしまう。この時点で、第２センサ９９はコントローラ１２０へ、貯蔵容器４０を満たすよう信号を送る。その後、コントローラ１２０は、オペレータ（図示なし）の指定する容器において、補充の手順にとりかかる。例えば、オペレータ（図示なし）がコントローラ１２０に対し、第１容器１４から液体を排出して貯蔵容器４０へ補充するように指示し、光学センサ４４が、液体がメディア供給ライン２２に存在することを知らせると、コントローラ１２０は、バルブ２６および通常閉じた排気口１０７を開けて通常開いたポート１１２を閉じるのに必要な電気信号を送る。これにより、加圧窒素ガスがパイプ５６、、１０８へ入り込み、通気制御11されたバルブ２６と通常閉じたポート１０７を開ける。このようにして、容器１４は貯蔵容器４０の内部と液体伝達路でつながり、液体を容器１４から貯蔵容器４０へ吸入するために、真空発生装置１１０により、そこからガスを排気する。液体補充の手順において、液体を第１容器１４あるいは第２容器１８のどちらから補充できるかを決めるために、流れ光学センサ４４、４８により発せられた信号がコントローラ１２０により検知される。光学センサ４４が、液体が供給ライン２２にはないという信号を発した場合、コントローラ１２０はパイプ５６を加圧するのを禁じられ、容器１４が空であるという警戒信号を発する。同様に、光学センサ４８が、液体が供給ライン３０にはないという信号を発した場合、コント、ローラ１２０はパイプ６０を加圧するのを禁じられ、容器１８が空であるという警戒信号を発する。再び図１を見てみると、システム１０には、一定の圧力のガス調整弁およびゲージ１４２とガス伝達路でつながった、加圧窒素（Ｎ₂）ガス源１４０がある。ゲージ１４２は通常はだいたい６０ｐｓｉの圧力に設定されていて、第２の三方向動作バルブ１５０の常時開いた通常のポート１４４に連結している。第１の三方向動作バルブ１０５および第２の三方向動作バルブ１５０は、例えば、ＣｌｉｐｐａｒｄｏｆＣｉｎｃｉｎａｔｉ．Ｏｈｉｏ，ＰａｒｔＮｏ．ＣＬＰ− ２０１２により作製されたような、三方向ベントリバルブのようなものでもよい。貯蔵容器４０が容器１４あるいは容器１８のどちらからも補充されでいない時、ガス源１４０から送られた加圧窒素が、バルブ１５０の通常開いたポート１５４を通って、可変ニードルバルブ１５６へと運ばれる。このニードルバルブ１５６はほぼ３ｐｓｉ、流量割合２ｌ／分に設定するのがよい。図１に示すように、ニードルバルブ１５６Ｎ₂ガスフィルター１６０と、窒素供給ライン１６２で一つながっている。フィルター１６０は、例えばＡｃｒｏｄｉｓｋｏｆＡｎｎＡｒｂｏｒ，Ｍｉｃｈｉｇａｎ，ＰａｒｔＮｏ．ＧＥＬ−４２２５で作製されたような、０．１あるいは０．２μｍのガスフィルターであってもよい。図１で示すように、窒素供給ライン１６２には、窒素ガス流の一部を排出するためのＮ₂排出口１６６を設けてある。排出口１６６から排出されたＮ₂ガスは、不活性の窒素ガスの状態でシステム１０を満たす。そのため、大気中の非不活性ガスが侵入しやすくなるのを低減する。さらに排出口１６６は、フィルター１６０から排出されて通常開いたポート１１２へと送られるＮ₂ガスの圧力を、大気圧よりもほんの少し高く固定するように作用する。その結果、貯蔵容器が補充されていない時、つまり、バルブ１０５によって真空発生装置１１０の真空排気口（Ｖ）と絶縁されているときは、Ｎ₂ガス流が貯蔵容器４０の内部へ「注入」される。それと対照的に、貯蔵容器４０に液体を補充している間、ネットワーク１２０は、通常開いたポート１５４を閉じて通常閉じたポート１７４を開くためにコントロールコンジェット１７０を加圧する。このことにより、Ｎ₂ガス流は、調整弁ゲージ1４２からコントコール排気口（Ｐ）へと流れを変える。真空発生装置１１０により貯蔵容器４０から排気される窒素ガスば、コントロール排気口（Ｐ）にある窒素ガス流も合わせてすべて、真空発生装置１１０の排気ポート（Ｅ）から放出される。図３Ａ−図３Ｄは、貯蔵容器４０が補充される手順を説明した、本発明の一連のフリーチャートである。図３Ａでは、補充の手順が、貯蔵容皿から抜き取るルーチン２００から始まっている。貯蔵容器から抜き取るルーチン２００の間では、貯蔵容器４０内の液体のレべルに対応する１組の状態表示器が動作している。例えば、ステップ２１０では、センサ９８を通して貯蔵容器４０が満水であると判断された場合、状態表示器はステップ２１２に更新され、液体はオペレータにより選択された液体メディア容器ｎからは現在排水されていないという反応を出す。同様に、センサ１００がステップ２２０において満水位を越えた状態を示すと、コントローラ１２０がステップ２４０において、適切な状態表示器を動作し、警戒信号２４４を発する。もし、これらの状態のどちらかであれば、ステップ２５０でコントローラ１２０内の貯蔵容器の抜き取りラッチが動作不能となる。一方、貯蔵容器が満水でもなくあふれてもいない場合、ステップ２５２において、コントローラ１２０内の貯蔵容器抜き取りラッチがセットされ、低水位に対応する状態表示器が２５４で動作し、容器ｎと関係する状態表示器が２５６で動作する。図３Ｂでは、貯蔵容器抜き取りルーチン２００の次に、注水モード選択手順２６０が続き、そこではシステム１０を自動補充モードにおいて動作させるかどうか判断される。最初のステップ２７０では供給ライン２２、３０を調べて、液体メディアが容器１４および１８に入っているかどうかを判断する。もし入っていないならば、容器空警戒信号を発してオペレータに警告する。あるいは、ステップ３１２では自動モード可能ラッチがセットされて、選択した容器からの補充が許可される。図３Ｃでは、メディア選択およびコントロール手順３２０、注水モード選択手順と続き、その手順において、オペレータにより選択された容器から上記方法により液体が補充される。例えは、ステップ３３０、３４０では、流れセンサ４４、１８からの信号をコントローラ１２０で分析し、液体メディア、すなわちＭＥＤＩＡＡおよびＭＥＤＩＡＢが第１容器１４および第２容器１８にあるかどうかを判断する。もし入っていれば、ステップ３５０および３６０で適切な状態表示器に更新され、ＭＥＤＩＡＡおよびＭＥＤＩＡＢを用いて、補充を行ってもよいという反応を出す。もし入っていないならば、ステップ３７０および３８０において、コントローラ１２０内のメディア空ラッチがセットされ、空の容器から注水するということが起こらないようにする。もし、ステップ３３０および３４０において液体が容器１４および１８に入っていると判断された場合、コントローラ１２０はステップ、４２０、４３０において、液体をどちらの容器から補充したらよいかの判断を問われる。次に、オペレータにより選択された容器と対応する、コントローラ１２０内のメディア選択ラッチがステップ４４０、４５０においてセットされる。もしステップ３３０、３４０において、センサ４４、４８によりメディア供給ライン２２、３０（図１）でガスが検出された場合、ＭＥＤＩＡＡおよびＭＥＤＩＡＢの空警報がステップ４７０で動作する。図３Ｄでは、貯蔵容器４０は、貯蔵容器補充手順５００の中に含まれるヌテップと対応して補充される。ステップ５０５、５１０では、貯蔵容器４０へ補充する液体源として第１容器１４あるいは第２容器１８のどちらが選択されたか判断される。しかし、ステップ５１５、５２０および５２５において貯蔵容器抜き取りラッチ、自動モード選択ラッチ、そしてメディア選択ラッチがセットされてはじめて、貯蔵容器への補充が開始する。さらに加えて、ステップ５３０において貯蔵容器空ビットがリセットされたかどうかを判断する。その後、貯蔵容器４０がまだ補充されていないか（ステップ５５０）、あるいはあふれるほどは満たさ灯ていない（ステップ５４５）ことがわかった場合は、ステップ５４０あるいは５４２において貯蔵容器への補充が開始される。本発明はいくつかの特定の具体例を参照して説明してきたが、これら具体例は、説明的に用いたもので、これに限るものではない。例えば図１では、貯蔵容器に補充する際、２つの容器間で自動切り替えをしているが、単独で直接に注入する容器を用いでもよい。こうした実施例においては、容器内に伸びるメディア供給ラインを光学的にモニタするようにしてもよい。もし、内部にガスが入っていると判断された場合、すなわち容器が空になったと判断された時は、貯蔵容器への補充を中止する。技術的な知識をもった人にとって、クレームで定義されるような、本発明の本質と範囲から逸脱しない範囲で、他にもさまざまな変形が可能であろう。

【手続補正書】特許法第１８４条の８【提出日】平成７年１月６日（１９９５．１．６）【補正内容】本願出願の当初の請求の範囲の請求項１〜請求項２２を以下のように補正１．第１容器および第２容器から液体を補充するシステムにおいて、前記第１容器から液体を伝達するために、前記第１容器どつながって液体を伝達するように配置された第１メディア伝達ライン手段と、前記第２容器から液体を伝達するために、前記第２容器とつながって液体を伝達するように配置された第２メディア伝達ライン手段と、第１状態において、液体が前記第１メディア伝達ライン手段を通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ライン手段を通って流れるようにし、第２状態において、液体が前記第２メディア伝達ライン手段を通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ライン手段を通って流れるようにするための、スイッチ切り替え可能なバルブ手段と、前記バルブを通って前記第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段から受け取った液体を貯蔵するために、前記バルブ手段と液体伝達路でつながった液体貯蔵容器と、前記液体貯蔵容器へガスを選択的に注入するための、注入バルブ手段と、前記液体貯蔵容器内へ貯蔵された液体を排出するためのポンプ手段と、第１容器および第２容器内に液体が入っているかどうか第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段を調べるためと、前記第１メディア伝達ラインの液体が空になった時、第１切り替え信号を発し、前記第２メディア伝達ラインの液体が空になった時、第２スイッチ切り替え信号を発するための伝達ラインセンサ手段と、前記第１スイッチ切り替え信号に応答して、前記バルブ手段を前記第１状態へ切り替え、また、前記第２スイッチ切り替え信号に応答して、前期バルブ手段を前記第２状態へ切り替えることにより、前記第１容器および第２容器のどちらかと前記貯蔵容器とを液体伝達路で連結するための、容器スイッチ切り替え手段と、液体を前記伝達ライン手段から前記液体貯蔵容器へ流れるようにするための手段とを有する、液体を保存容器から補充するシステム。２．請求項１記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記貯蔵容器内の液体レベルをモニタし、前記貯蔵容器内の液体レベルが、予め決められた第１のレベルより低くなった時に、貯蔵容器低水位信号を発するためのレベルセンシング手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。３．請求項２記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、液体を流すための前記手段は真空発生装置であり、さらに前記システムは、前記真空発生装置と前記貯蔵容器手段をつなげてガスを伝達するための第１の三方向バルブ手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。４．請求項１記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記スイッチ切り替え可能バルブ手段は、第１メディア伝達ラインと液体伝達路でつながった第１バルブと、第２メディア伝達ラインと液体伝達路でつながった第２バルブからなり、前記バルブ手段が、前記第１状態にある時は、前記第１バルブおよび第２バルブはそれぞれ閉じた形、開いた形であり、前記第２状態にある時は、前記第１バルブおよび第２バルブはそれぞれ開いた形、閉じた形となる、液体を保存容器から補充するシステム。５．請求項４記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記第１バルブおよび第２バルブは、ガス動作通気制御バルブであり、前記スイッチ切り替え手段は、前記第１バルブおよび第２バルブを前記開いた形、および前記閉じた形に切り替えるために、加圧されたガスを前記第１バルブおよび第２バルブへ送る案内バルブ手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。６．請求項１記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、伝達ラインセンサ手段は、前記第１スイッチ切り替え信号を出すための第１光学センサと、前記第２スイッチ切り替え信号を出すための第２光学センサからなり、前記第１光学センサは、前記第１メディア伝達ライン手段と光学的に一直配線に並んでおり、前記第２光学センサは、前記第２メディア伝達ライン手段と光学的に一直線に並んでいる、液体を保存容器から補充するシステム。７．請求項３記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記レベルセンシング手段は、前記貯蔵容器低水位信号を発するために、前記貯蔵容器において予め決められた第１の位置に配置された第１低レベルセンサと、前記貯蔵容器内の液体が予め決められた第２レベルよりも高くなった陽合、前記貯蔵容器高水位信号を発するために、前記貯蔵容器において、予め決められた第２の位置に配置された第１高レベルセンサからなる、液体を保存容器から補充するシステム。８．請求項７記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記第１の三方向バルブ手段は、前記レベルセンシング手段から発せられた前記貯蔵容器高水位信号を受けて、前記貯蔵容器手段と前記真空発生装置との間の伝達を遮断するために動作する、液体を保存容器から補充するシステム。９．請求項７記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記スイッチ切り替え可能バルブ手段は、前記レベルセンシング手段から発せられた前記貯蔵容器高水位信号を受けて、前記第１バルブおよび第２バルブを前記閉じた形にするための手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。１０．請求項７記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記レベルセンシング手段は、前記貯蔵容器内の液体の水位が予め決められたオーバーフィルレベルより越えた場合にオーバーフィル信号を発するために、前記貯蔵容器において、前記第１高レベルセンサより上の、予め決められた位置に配置された第２高水位レベルセンサからなる、液体を保存容器から補充するシステム。１１．液体を第１容器および第２容器から補充するためのシステムにおいて、前記第１容器から液体を伝達するために、前記第１容器とつながって液体を伝達するように配置された第１メディア伝達ライン手段と、前記第２容器から液体を伝達するために、前記第２容器とつながって液体を伝達するように配置された第２メディア伝達ライン手段と、第１状態において、液体が前記第１メディア伝達ライン手段を通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ラインを通って流れるようにし、第２状態において、液体が前記第２メディア伝達ライン手段を通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ラインを通って流れるようにするための、スイッチ切り替え可能なバルブ手段と前記バルブ手段を通って前記第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段から受け取った液体を貯蔵するために、前記バルブ手段と液体伝達路でつながった液体貯蔵容器と、前記貯蔵容器内の液体レベルをモニタし、前記貯蔵容器内の液体レベルが、予め決められた第１のレベルより低くなった時に、貯蔵容器低水位信号を発するためのレベルセンシング手段は、前記貯蔵容器低水位信号を発するために、前記貯蔵容器において予め決められた第１の位置に配置された第１低レベルとセンサと、前記貯蔵容器内の液体が予め決められた第２のレベルよりも高くなった場合、前記貯蔵容器高水位信号を発するために、前記貯蔵容器において予め決められた第２の位置に配置された第１高レベルセンサからなり、さらに、前記レベルセンシング手段は、前記貯蔵容器内の液体の水位が予め決められたオーバーフィルレベルより越えた陽合にオーバーフィル信号を発するために、前記貯蔵容器において前記第１高レベルセンサより上の、予め決められた位置に配置された第２高水位レベルからなる、レベルセンシング手段と、前記液体貯蔵容器内に貯蔵された液体を排出するためのポンプ手段と、第１容器および第２容器内に液体が入っているかどうか第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段を調べるためと、前記第１メディア伝達ライン手段の液体が空になった時、第１スイッチ切り替え信号を発し、前記第２メディア伝達ライン手段の液体が空になった時、第２スイッチ切り替え信号を発するための伝達ラインセンサ手段と、前記第１スイッチ切り替え信号に応答して、前記切り替え可能バルブを前記第１状態に切り替え、前記第２スイッチ切り替え信号に応答して、前記切り替え可能バルブを前記第２状態に切り替えるためのバルブスイッチ切り替え手段と、液体を前記伝達ライン手段から前記貯蔵容器へ流れるようにするための手段で、液体を流す前記手段は真空発生装置であり、前記レベルセンシング手段から貯蔵容器低水位信号を受けて、前記真空発生装置を前記貯蔵容器手段とつなげてガスを伝達するための三方向バルブ手段で前記レベルセンシング手段から発せられた前記貯蔵容器高水位信号を受けて、前記貯蔵容器手段と前記真空発生装置との間の伝達を遮断するために動作する、三方向バルブ手段とからなる、液体を保存容器から補充するシステム。１２．液体を第１容器および第２容器から補充するシステムにおいて、前記第１容器から液体を伝達するために、前記第１容器とつながって液体を伝達するように配置された第１メディア伝達ライン手段と、前記第２容器から液体を伝達するために、前記第２容器とつながって液体を伝達するように配置された第２メディア伝達ライン手段と、第１状態において、液体が前記第１メディア伝達ライン手段を通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ライン手段を通って流れるようにし、第２状態において、液体が前記第２メディア伝達ライン手段を通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ライン手段を通って流れるようにするための、スイッチ切り替え可能なバルブ手段と、前記バルブ手段を通って前記第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段から受けとった液体を貯蔵するために、前記バルブ手段と液体伝達路でつながった液体貯蔵容器と、前記貯蔵容器内の液体レベルをモニタし、前記貯蔵容器内の液体レベルが、予め決められた第１のレベルより低くなった時に、貯蔵容器低水位信号を発するためのレベルセンシング手段と、前記液体貯蔵容器内に貯蔵された液体を排出するためのポンプ手段と、第１容器および第２容器内に液体が入っているかどうか第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段を調べるためと、前記第１メディア伝達ライン手段の液体が空になった時、第１スイッチ切り替え信号を発し、前記第２メディア伝達ライン手段の液体が空になった時、第２スイッチ切り替え信号を発するための伝達ラインセンサ手段と、前記第１スイッチ切り替え信号に応答して、前記バルブを前記第１状態に切り替え、前記第２スイッチ切り替え信号に応答して、前記バルブを前記第２状態に切り替えるためのバルブスイッチ切り替え手段と、液体を前記伝達ライン手段から前記貯蔵容器へ流れるようにするための手段で、液体を流す前記手段は真空発生装置であり、前記レベルセンシング手段から貯蔵容器低水位信号を受けて、前記真空発生装置を前記貯蔵容器手段とつなげてガスを伝達するための第１の三方向バルブ手段と、前記貯蔵容器手段と前記真空発生装置との間のガス伝達路が遮断された時に、前記第１の三方向バルブ手段を通って前記貯蔵容器手段へガスを送り込むためのガス供給手段とからなる、液体を保存容器から補充するシステム。１３．請求項１２記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記ガス供給手段は、前記真空発生装置のコントロールポートおよび前記第１の三方向バルブ手段とつながってガスを伝達する第２の二方向バルブ手段からなる、液体を保存容器から補充するシステム。１４．第１容器および第２容器から液体メディアを補充するためのシステムにおいて、第１容器から前記第１メディア伝達ラインを通って、あるいは、第２容器から前記第２メディア伝達ラインを通って、選択的に液体貯蔵容器へ前記メディアを伝達するための手段と、前記メディア伝達ラインを通って前記メディアが伝達されるのをモニタし、また、メディアが前記メディア伝達ラインのうちの一方を通って伝達されていない場合に、前記容器間で液体の流れを切り替えるための手段と、ガスを前記液体貯蔵容器へ選択的に送り込むための手段と、ガスを前記液体貯蔵容器へ選択的に排出するための手段からなり、前記メディア伝達は、前記選択的なガスの排出によって、前記伝達ラインを通り、促進される、液体を保存容器から補充するシステム。１５．第１容器および第２容器から液体メディアを補充する方法において、第１容器から前記第１メディア伝達ラインを通って、あるいは、第２容器から前記第２メディア伝達ラインを通って、選択的に前記メディアを伝達し、前記メディア伝達ラインを通って前記メディアが伝達されるのをモニタし、また、メディアが前記メディア伝達ラインのうちの一方を通って伝達されていない場合に、前記容器間で液体の流れを切り替え、ガスを前記液体貯蔵容器へ選択的に送り込み、液体を前記第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインから前記貯蔵容器へ流れるようにするために、ガスを前記液体貯蔵容器から選択的に排出するための、液体を保存容器から補充する方法。１６．第１容器および第２容器から液体メディアを補充する方法において、前記第１容器から第１メディア伝達ラインを通って、液体貯蔵容器へ液体を伝達し、前記第２容器からメディア伝達ラインを通って、前記液体貯蔵容器へ液体を伝達し、前記液体貯蔵容器内に貯蔵された液体を排出し、ガスを前記液体貯蔵容器へ選択的に送り込み、液体を前記第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインから前記貯蔵容器へ流れるようにするために、ガスを前記液体貯蔵容器から選択的に排出し、前記第１メディア伝達ラインの液体が空になった時、第１スイッチ切り替え信号を発し、また前記第２メディア伝達ラインの液体が空になった時、第２スイッチ切り替え信号を発し、前記第１スイッチ切り替え信号を受けて、液体が前記第１メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ラインを流れるようにし、また、前記第２スイッチ切り替え信号を受けて、液体が前記第２メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ラインを流れるようにする、液体を保存容器から補充する方法。１７．請求項１６における液体を保存容器から補充する方法において、前記貯蔵容器内の液体レベルをモニタし、前記貯蔵容器内の液体レベルが予め決められた第１レベルより低くなった時に、貯蔵容器低水位信号を発する方法からなる、液体を保存容器から補充する方法。１８．請求項１７における液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記液体は液体化学薬品である、液体を保存容器から補充するシステム。１９．請求項１における液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記液体は液体化学薬品であり、さらに、前記システムは、前記注入バルブ手段を通って前記液体貯蔵容器とつながってガスを送る、切り替え可能な不活性ガス源からなる、液体を保存容器から補充するシステム。２０．液体を第１容器および第２容器から補充するためのシステムにおいて、前記第１容器から液体を伝達するために、前記第１容器とつながって液体を伝達するように配置された第１メディア伝達ラインと、前記第２容器から液体を伝達するために、前記第２容器とつながって液体を伝達するように配置された第２メディア伝達ラインと、第１状態において、液体が前記第１メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ラインを通って流れるようにし、第２状態において、液体が前記第２メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ラインを通って流れるようにするための、スイッチ切り替え可能なバルブと、前記バルブを通って前記第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインから受け取った液体を貯蔵するために、前記バルブと液体伝達路でつながった液体貯蔵容器と、前記液体貯蔵容器と切り替え可能なガス伝達路でつながった、不活性ガス源と、前記液体貯蔵容器内に貯蔵された液体を排出するためのポンプと、第１容器および第２容器内に液体が入っているかどうか第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインを調べるためと、前記第１メディア伝達ラインの液体が空になった時、第１スイッチ切り替え信号を発し、前記体第２メディア伝達ラインの液体が空になった時、第２スイッチ切り替え信号を発するための伝達ラインセンサ装置と、前記第１スイッチ切り替え信号に応答して、前記切り替え可能バルブを前記第１状態に切り替え、前記第２スイッチ切り替え信号に応答して、前記切り替え可能バルブを前記第２状態に切り替えるためのバルブスイッチ切り替え手段と、液体を前記第１伝達ラインおよび第２伝達ラインから前記液体貯蔵容器へと流れるようにするための真空発生装置とを有する、液体を保存容器から補充するシステム。２１．請求項２０記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、さらに、前記貯蔵容器内の前記液体が前記貯蔵容器から排出されていない時、前記不活性ガスを前記液体貯蔵容器とつなげてガスを送る、第１バルブからなる、液体を保存容器から補充するシステム。２２．請求項２０記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、さらに、前記真空発生装置が前記第１伝達ラインおよび第２伝達ラインから前記液体貯蔵容器へ液体を流すように動作していない時、前記不活性ガスを前記液体貯蔵容器とつなげてガスを送る、第１バルブからなる、液体を保存容器から補充するシステム。２３．液体を第１容器および第２容器から補充するためのシステムにおいて、前記第１容器との液体伝達路として、前記第１容器から液体を伝達する第１メディア伝達ラインと、前記第２容器との液体伝達路として、前記第２容器から液体を伝達する第２メディア伝達ラインと、第１状態において、液体が前記第１メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ラインを通って流れるようにし、また第２状態において、液体が前記第２メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ラインを流れるようにするための、スイッチ切り替え可能バルブと、前記バルブを通り、前記第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインから受け取った液体を貯蔵するための、前記バルブと液体液体路で連結した液体貯蔵容器と、前記液体貯蔵容器と切り替え可能なガス伝達路でつながった、不活性ガス源と、前記貯蔵容器内に貯蔵された前記液体の水位をモニタするための貯蔵容器水位センサ手段と、前記液体貯蔵容器内に貯蔵された液体を排出するためのポンプと、前記第１容器から、実質的にすべての前記液体が取り除かれたことに応答して、前記スィッチ切り替え可能バルブを前記第１状態に切り替えるための、容器切り替え手段と、前記第２容器から、実質的にすべての前記液体が取り除かれたことに応答して、前記スイッチ切り替え可能バルブを前記第２状態に切り替えるための、容器切り替え手段と、前記貯蔵容器内に貯蔵された前記液体のレベルを、貯蔵容器の上方満水レベルと下方満水レベルとの間に保つために、前記貯蔵容器水位センサ手段に応答して、液体を、前記第１伝達ラインおよび第２伝達ラインを通って前記液体貯蔵容器へ流れるようにするための、真空発生装置からなる、液体を保存容器から補充するシステム。２４．請求項２３の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記容器切り替え手段は、前記第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインに液体が入っているかどうかを調べ、また、液体が前記第１メディア伝達ラインに入っていない場合は第１スイッチ切り替え信号を発し、液体が前記第２メディア伝達ラインに入っていない場合は第２スイッチ切り替え信号を発するための、伝達ラインセンサ装置と、前記第１スイッチ切り替え信号に応答して、前記スイッチ切り替え可能バルブを前記第１状態へ切り替え、また、前記第２スイッチ切り替え信号に応答して、前記スイッチ切り替え可能バルブを前記第２状態へ切り替えるための、バルブスイッチ切り替え手段からなる、液体を保存容器から補充するシステム。２５．請求項２３の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記貯蔵容器水位センサ手段は、前記貯蔵容器の前記上方満水レベルと下方満水レベルとの間に配置された上方センサおよび下方センサからなり、前記上方満水レベルおよび下方満水レベルは、前記貯蔵容器内の上方満水レベルと下方満水レベルの間にある液体量が、実質的に前記下方満水レベルより下方にある液体量を越えるように選択される、液体を保存容器から補充するシステム。【手続補正書】【提出日】平成８年１月１８日（１９９６．１．１８）【補正内容】特許請求の範囲の範囲を下記のように補正する。１．第１容器および第２容器から液体を補充するシステムにおいて、前記第１容器から液体を伝達するために、前記第１容器とつながって液体を伝達するように配置された第１メディア伝達ライン手段と、前記第２容器から液体を伝達するために、前記第２容器とつながって液体を伝達するように配置された第２メディア伝達ライン手段と、第１状態において、液体が前記第１メディア伝達ライン手段を通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ライン手段を通って流れるようにし、第２状態において、液体が前記第２メディア伝達ライン手段を通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ライン手段を通っで流れるようにするための、スイッチ切り替え可能なバルブ手段と、前記バルブを通って前記第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段から受け取った液体を貯蔵するために、前記バルブ手段と液体伝達路でつながった液体貯蔵容器と、前記液体貯蔵容器へガスを選択的に注入するための、注入バルブ手段と、前記液体貯蔵容器内へ貯蔵された液体を排出するためのポンプ手段と、第１容器および第２容器内に液体が入っているかどうか第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段を調べるためと、前記第１メディア伝達ラインの液体が空になった時、第１切り替え信号を発し、前記第２メディア伝達ラインの液体が空になった時、第２スイッチ切り替え信号を発するための伝達ラインセンサ手段と、前記第１スイッチ切り替え信号に応答して、前記バルブ手段を前記第１状態へ切り替え、また、前記第２スイッチ切り替え信号に応答して、前期バルブ手段を前記第２状態へ切り替えることにより、前記第１容器および第２容器のどちらかと前記貯蔵容器とを液体伝達路で連結するための、容器スイッチ切り替え手段と、液体を前記伝達ライン手段から前記液体貯蔵容器へ流れるようにするための手段とを有する、液体を保存容器から補充するシステム２．請求項１記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記貯蔵容器内の液体レベルをモニタし、前記貯蔵容器内の液体レベルが、予め決められた第１のレベルより低くなった時に、貯蔵容器低水位信号を発するためのレベルセンシング手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。３．請求項２記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、液体を流すための前記手段は真空発生装置であり、さらに前記システムは、前記真空発生装置と前記貯蔵容器手段をつなげてガスを伝達するための第１の三方向バルブ手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。４．請求項１記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記スイッチ切り替え可能バルブ手段は、第１メディア伝達ラインと液体伝達路でつながった第１バルブと、第２メディア伝達ラインと液体伝達路でつながった第２バルブからなり、前記バルブ手段が、前記第１状態にある時は、前記第１バルブおよび第２バルブはそれぞれ閉じた形、開いた形であり、前記第２状態にある時は、前記第１バルブおよび第２バルブはそれぞれ開いた形、閉じた形となる、液体を保存容器から補充するシステム。５．請求項４記栽の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記第１バルブおよび第２バルブは、ガス動作通気制御バルブであり、前記スイッチ切り替え手段は、前記第１バルブおよび第２バルブを前記開いた形、および前記閉じた形に切り替えるために、加圧されたガスを前記第１バルブおよび第２バルブへ送る案内バルブ手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。６。請求項１記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、伝達ラインセンサ手段は、前記第１スイッチ切り替え信号を出すための第１光学センサと、前記第２スイッチ切り替え信号を出すための第２光学センサからなり、前記第１光学センサは、前記第１メディア伝達ライン手段と光学的に一直配線に並んでおり、前記第２光学センサは、前記第２メディア伝達ライン手段と光学的に一直線に並んでいる、液体を保存容朋から補充するシステム。７．請求項３記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記レベルセンシング手段は、前記貯蔵容器低水位信号を発するために、前記貯蔵容器において予め決められた第１の位置に配置された第１低レベルセンサと、前記貯蔵容器内の液体が予め決められた第２レベルよりも高くなった場合、前記貯蔵容器高水位信号を発するために、前記貯蔵容器において、予め決められた第２の位置に配置された第１高レベルセンサからなる、液体を保存容器から補充するシステム。８．請求項７記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記第１の三方向バルブ手段は、前記レベルセンシング手段から発せられた前記貯蔵容器高水位信号を受けて、前記貯蔵容器手段と前記真空発生装置との間の伝達を遮断するために動作する、液体を保存容器から補充するシステム。９．（削除）１０．（削除）１１．（削除）１２．（削除）１３．（削除）１４．（削除）１５．（削除）１６．第１容器および第２容器から液体メディアを補充する方法において、前記第１容器から第１メディア伝達ラインを通って、液体貯蔵容器へ液体を伝達し、前記第２容器からメディア伝達ラインを通って、前記液体貯蔵容器へ液体を伝達し、前記液体貯蔵容器内に貯蔵された液体を排出し、ガスを前記液体貯蔵容賭へ選択的に送り込み、液体を前記第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインから前記貯蔵容器へ流れるようにするために、ガスを前記液体貯蔵容器から選択的に排出し、前記第１メディア伝達ラインの液体が空になった時、第１スイッチ切り替え信号を発し、また前記第２メディア伝達ラインの液体が空になった時、第２スイッチ切り替え信号を発し、前記第１スイッチ切り替え信号を受けて、液体が前記第１メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ラインを流れるようにし、また、前記第２スイッチ切り替え信号を受けて、液体が前記第２メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ラインを流れるようにする、液体を保存容器から補充する方法。１７．請求項１６における液体を保存容器から補充する方法において、前記貯蔵容器内の液体レベルをモニタし、前記貯蔵容器内の液体レベルが予め決められた第１レベルより低くなった時に、貯蔵容器低水位信号を発する方法からなる、液体を保存容器から補充する方法１８．（削除）１９．（削除）２０．（削除）２１．（削除）２２．（削除）２３．（削除）２４．（削除）２５．（削除）

Claims

【特許請求の範囲】１．第１容器および第２容器から液体を補充するシステムにおいて、前記第１容器から液体を伝達するために、前記第１容器とつながっている液体を伝達するように配置された第１メディア伝達ライン手段と、前記第２容器から液体を伝達するために、前記第２容器とつながっている液体を伝達するように配置された第２メディア伝達ライン手段と、第１状態において、液体が前記第１メディア伝達ライン手段を通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ライン手段を通って流れるようにし、第２状態において液体が前記第２メディア伝達ライン手段を通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ライン手段を通って流れるようにするための、スイッチ切り替え可能なバルブ手段と、前記バルブを通って前記第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段から受け取った液体を貯蔵するために、前記バルブ手段と液体伝達路でつながった液体貯蔵容器と、前記液体貯蔵容器内に貯蔵された液体を排出するためのポンプ手段と、第１容器および第２容器内に液体が入っているかどうか第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段を調べるためと、前記第１メディア伝達ラインの液体が空になった時、第１スイッチ切り替え信号を発し、前記第２メディア伝達ラインの液体が空になった時、第２スイッチ切り替え信号を発するための伝達ラインセンサ手段と、前記第１スイッチ切り替え信号に応答して、前記バルブ手段を前記第１状態に切り替え、前記第２スイッチ切り替え信号に応答して、前記バルブ手段を前記第２状態に切り替えるためのバルブスイッチ切り替え手段と、液体を前記伝達ライン手段から前記液体貯蔵容器へと流れるようにするための手段とを有する、液体を保存容器から補充するシステム。２．請求項１記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記貯蔵容器内の液体レベルをモニタし、前記貯蔵容器内の液体レベルが、予め決められた第１のレベルより低くなった時に、貯蔵容器低水位信号を発するためのレベルセンシング手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。３．請求項２記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、液体を流すための前記手段は真空発生装置であり、さらに前記システムは、前記真空発生装置と前記貯蔵容器手段をつなげてガスを伝達するための第１の三方向バルブ手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。４．請求項１記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記スイッチ切り替え可能バルブ手段は、第１メディア伝達ラインと液体伝達路でつながった第１バルブと、第２メディア伝達ラインと液体伝達路でつながった第２バルブからなり、前記バルブ手段が前記第１状態にある時は、前記第１バルブおよび第２バルブはそれぞれ閉じた形、開いた形であり、前記第２状態にある時は、前記第１バルブおよび第２バルブはそれぞれ開いた形、閉じた形となる、液体を保存容器から補充するシステム。５．請求項４記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記第１バルブおよび第２バルブはガス動作通気制御バルブであり、前記スイッチ切り替え手段は、前記第１バルブおよび第２バルブを前記開いた形、および前記閉じた形に切り替えるために、加圧されたガスを前記第１バルブおよび第２バルブへ送る案内バルブ手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。６．請求項１記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、伝達ラインセンサ手段は、前記第１スイッチ切り替え信号を出すための第１光学センサと、前記第２スイッチ切り替え信号を出すための第２光学センサからなり、前記第１光学センサは前記第１メディア伝達ライン手段と光学的に一直線に並んでおり、前記第２光学センサは前記第２メディア伝達ライン手段と光学的に一直線に並んでいる、液体を保存容器から補充するシステム。７．請求項３記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記レベルセンシング手段は、前記貯蔵容器低水位信号を発するために、前記貯蔵容器において予め決められた第１の位置に配置された第１低レベルセンサと、前記貯蔵容器内の液体が予め決められた第２のレベルよりも高くなった場合、前記貯蔵容器高水位信号を発するために、前記貯蔵容器において予め決められた第２の位置に配置された第１高レベルセンサからなる、液体を保存容器から補充するシステム。８．請求項７記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記第１の三方向バルブ手段は、前記レベルセンシング手段から発せられた前記貯蔵容器高水位信号を受けて、前記貯蔵容器手段と前記真空発生装置との間の伝達を遮断するために動作する、液体を保存容器から補充するシステム。９．請求項７記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記スイッチ切り替え可能バルブ手段は前記レベルセンシング手段から発せられた前記貯蔵容器高水位信号を受けて、前記第１バルブおよび第２バルブを前記閉じた形にするための手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。１０．請求項４記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記レベルセンシング手段は、前記貯蔵容器内の液体の水位が予め決められたオーバーフィルレベルより越えた場合にオーバーフィル信号を発するために、前記貯蔵容器において前記第１高レベルセンサより上の、予め決められた位置に配置された第２高水位レベルセンサを有する、液体を保存容器から補充するシステム。１１．請求項１０記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記第１の三方向バルブ手段は、前記レベルセンシング手段から発せられた前記オーバーフィル信号を受けて、前記貯蔵容器手段と前記真空発生装置との間のガス伝達路を遮断するために動作する、液体を保存容器から補充するシステム。１２．請求項３記載の液体を保存容器から補充するシステムにおいて、さらに、前記貯蔵容器手段と前記真空発生装置との間のガス伝達路が遮断された時に、前記三方向バルブ手段を通って前記貯蔵容器手段へガスを送り込むためのガス供給手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。１３．請求項１２記載の液体を保存容器から捕充するシステムにおいて、前記ガス供給手段は、前記真空発生装置のコントロールポート、および前記第１の三方向バルブ手段とに、ガス伝達路でつながった、第２の三方向バルブ手段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。１４．第１容器および第２容器から液体メディアを補充するためのシステムにおいて、第１容器から前記第１メディア伝達ラインを通って、あるいは、第２容器から前記第２メディア伝達ラインを通って、選択的に液体貯蔵容器へ前記メディアを伝達するための手段と、前記メディア伝達ラインを通って前記メディアが伝達されるのをモニタし、また、メディアが前記メディア伝達ラインのうちの一方を通って伝達されていない場合に、前記容器間で液体の流れを切り替えるための手段とを有する、液体を保存容器から補充するシステム。１５．第１容器および第２容器から液体メディアを補充する方法において、第１容器から前記第１メディア伝達ラインを通って、あるいは、第２容器から前記第２メディア伝達ラインを通って、液体貯蔵容器へ、選択的に前記メディアを伝達し、前記メディア伝達ラインを通って前記メディアが伝達され、また、メディアが前記メディア伝達ラインのうちの一方を通って伝達されていない場合に前記液体貯蔵容器へ前記容器聞で液体の流れの切り替えをモニタする、液体を保存容器から補充するシステム。１６．第１容器および第２容器から液体メディアを補充する方法において、前記第１容器から第１メディア伝達ラインを通って、液体貯蔵容器へ液体を伝達し、前記第２容器から第２メディア伝達ラインを通って、前記液体貯蔵容器へ液体を伝達し、前記液体貯蔵容器内に貯蔵された液体を排出し、前記第１メディア伝達ラインの液体が空になった時、第１スイッチ切り替え信号を発し、また前記第２メディア伝達ラインの液体が空になった時、第２スイッチ切り替え信号を発し、前記第１スイッチ切り替え信号を受けて、液体が前記第１メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ラインを通って流れるようにし、また、前記第２スイッチ切り替え信号を受けて、液体が前記第２メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ラインを通って流れるようにする、液体を保存容器から補充する方法。１７．請求項１６における液体を保存容器から補充する方法において、前記貯蔵容器内の液体レベルをモニタし、前記貯蔵容器内の液体レベルが予め決められた第１レベルより低くなった時に、貯蔵容器低水位信号を発する、液体を保存容器から補充する方法。１８．請求項１７における液体を保存容器から補充する方法において、前記液体は液体化学薬品である、液体を保存容器から補充する方法。１９．請求項１における液体を保存容器から補充するシステムにおいて、前記液体は液体化学薬品である、液体を保存容器から補充するシステム。２０．液体を第１容器および第２容器から補充するためのシステムにおいて、前記第１容器との液体伝達路として、前記第１容器から液体を伝達する第１メディア伝達ライン手段と、前記第２容器との液体伝達路として、前記第２容器から液体を伝達する第２メディア伝達ライン手段と、第１状態において、液体が前記第１メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ラインを通って流れるようにし、また、第２状態において、液体が前記第２メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ラインを通って流れるようにするための、スイッチ切り替え可能バルブ手段と、前記バルブ手段を通り、前記第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段から受け取った液体を貯蔵するための、前記バルブ手段と液体伝達路で連結した液体貯蔵容器と、前記液体貯蔵容器へガスを選択的に注入するための、注入バルブ手段と、前記液体貯蔵容器内に貯蔵された液体を排出するためのポンプ手段と、液体が入っているかどうか、前記第１メディア伝達ライン手段および第２メディア伝達ライン手段を調べ、また、前記第１メディア伝達ラインの液体が空になった時に第１スイッチ切り替え信号を発し、前記第２メディア伝達ラインの液体が空になった時に第２スイッチ切り替え信号を発するための伝達ラインセンサ手段と、前記第１スイッチ切り替え信号に応答して、前記バルブ手段を前記第１状態へ切り替え、また前記第２スイッチ切り替え信号に応答して、前記バルブ手段を前記第２状態め切り替えることにより、前記第１容器および第２容器のどちらかと前記貯蔵容器とを液体伝達路で連結するための、容器スイッチ切り替え手段と、液体を、前記伝達ライン手段から前記液体貯蔵容器へ流れるようにするための下段を有する、液体を保存容器から補充するシステム。２１．液体を前記第１容器および第２容器から補充するための方法において、液体を、前記第１容器から第１メディア伝達ラインを通って液体貯蔵容器へ伝達し、液体を、前記第２容器から第２メディア伝達ラインを通って前記液体貯蔵容器へ伝達し、前記貯蔵容器内に貯蔵された液体を排出し、前記液体貯蔵容器内にガスを選択的に注入し、液体が前記第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインを通って前記貯蔵容器へ流れるようにするために、前記貯蔵容器内からガスを選択的に排出し、前記第１メディア伝達ラインの液体が空になった時、第１スイッチ明り替え信号を発し、および前記第２メディア伝達ラインの液体が空になった時、第２スイッチ切り替え信号を発し、前記第１スイッチ切り替え信号に応答して、液体が前記第１メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第２メディア伝達ラインを通って流れるようにし、また、前記第２スイッチ切り替え信号に応答して、液体が前記第２メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げて前記第１メディア伝達ラインを通って流れるようにする、液体を保存容器から補充する方法。２２．液体を第１容器および第２容器から補充するためシステムにおいて、前記第１容器から液体を補充するために、前記第１容器とつながって液体を伝達するように配置された第１メディア伝達ラインと、前記第２容器から液体を伝達するために、前記第２容器とつながって液体を伝達するように配置された第２メディア伝達ラインと、第１状態において、液体が前記第１メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げ、前記第２メディア伝達ラインを通って流れるようにし、第２状態において、液体が前記第２メディア伝達ラインを通って流れるのを妨げ、前記第１メディア伝達ラインを通って流れるようにするスイッチ切り替え可能なバルブと、前記バルブを通って前記第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインから受け取った液体を貯蔵するために、前記バルブと液体伝達路でつながった液体貯蔵容器と、前記液体貯蔵容器と、切り替え可能なガス伝達路でつながった、不活性ガス源と、前記液体貯蔵容器内に貯蔵された液体を排出するためのポンプと、第１容器および第２容器内に液体が入っているかどうか第１メディア伝達ラインおよび第２メディア伝達ラインを調べるためと、前記第１メディア伝達ラインの液体が空になった時、第１スイッチ切り替え信号を発し、前記第２メディア伝達ラインの液体が空になった時、第２スイッチ切り替え信号を発するための伝達ラインセンサ装置と、前記第１スイッチ切り替え信号に応答して、前記切り替え可能バルブを前記第１状態に切り替え、前記第２スイッチ切り替え信号に応答して、前記切り替え可能バルブを前記第２状態に切り替えるためのバルブスイッチ切り替え手段と、液体を前記第１伝達ラインおよび第２伝達ラインから前記液体貯蔵容器へと流れるようにするための真空発生装置とを有する、液体を保存容器から補充するシステム。