JP2001520118A - 水性剥離及び清浄用組成物 - Google Patents
水性剥離及び清浄用組成物Info
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Abstract
Description
剥離用組成物の改良に関する。さらに詳しくは、本発明は、没食子酸又は没食子
酸エステルである腐食抑制剤を提供することによって、極性溶媒及び有機又は無
機アミンから成る優れた水性剥離用組成物に関する。その水性剥離用組成物はヒ
ドロキシルアミンを含まない。
性の組成物、人及び環境に一般に危険な組成物、及び望ましくない毒性度を示す
反応性溶媒の混合体である組成物であった。さらに、これらの剥離用組成物は、
毒性のみならず、それらが危険な廃棄物であって、廃棄しなければならないので
、それらの廃棄は高コストである。さらに、これらの剥離用組成物は、一般に厳
しく限定された浴寿命を有し、大部分がリサイクル又は再利用できない。
腐食性材料を含有する組成物は、木材、金属又はシリコンウェファーのような基
材から塗料、ワニス、ラッカー、エナメル、ホトレジスト、粉末被膜、等を剥離
するための剥離用組成物として使用されてきた。熱アルカリ性組成物は、一般に
金属から被膜の除去及び木材から塩化メチレン組成物の除去に使用されてきた。
多くの場合に、それらの剥離用組成物は、比較的毒性で反応性溶媒混合体である
から、厳しい使用条件を受けなければならず、剥離用組成物との接触を回避する
ために使用者による危険な化学取扱い操作及び安全衣服及び服装品の着服を必要
とする。
発速度を受けやすいから、剥離用組成物はその貯蔵及び使用中に特別の人及び環
境安全の用心を必要とする。ヒドロキシルアミン及びアミン溶媒を使用するホト
レジストの剥離においては、チタンの腐食及びアルミニウムの腐食の基材の問題
がある。従って、かかる腐食用組成物が種々のホトレジストに使用できるような
腐食抑制剤を提供する必要がある。
2−ピロリドン及びアルカノールアミンを含む清浄用組成物を開示している。し
かしながら、比較研究において、出願人は、N−メチル−2−ピロリドンの使用
は発明の組成物でできる広範囲の清浄を提供できないことを見出した。
り抜きのアミン及び有機極性溶媒で調製される剥離用組成物を開示している。そ
の組成物は、約2〜98重量%のアミン化合物及び約98〜2重量%の有機極性
溶媒を使用して生成されている。
びアルカノールアミンから成る剥離用組成物を開示している。
ノエタノールアミン、約19重量%のヒドロキシルアミン、没食子酸及び没食子
酸エステル、及び水から成る組成物を塗布することによって、基材から有機被膜
を除去する方法を開示している。
性溶媒、及びアルカノーアミンと二環式化合物との反応生成物である抑制剤から
成るホトレジスト剥離用組成物を開示している。しかしながら、没食子酸及び没
食子酸エステルが抑制剤として開示されていない。
は、ヒドロキシルアミン、アルカノールアミン及びキレート化剤を含有する組成
物を開示しているが、そのキレート化剤は没食子酸又は没食子酸エステルではな
い。
ノールアミン、水及び腐食抑制剤から成り、ヒドロキシルアミンを含まない剥離
用組成物を開示している。
、人及び環境とよく両立する剥離用組成物及び剥離方法(それらは前記欠点及び
問題点を受けやすい)の使用の方向へのシフトを支持している。
めに過度に長井滞留時間又は反復塗布を必要とした。さらに、種々の被膜は、こ
れまで入手できる剥離用組成物での基材からの除去が困難であった。即ち、これ
ら従来の剥離用組成物は、除去困難な被膜の種々の基材からの適切な又は完全な
除去を提供しなかった。
成物を提供することが極めて望ましい。また、実質的に非引火性で、蒸発の傾向
が比較的少なく、一般に非反応性で、かつ人への毒性がなく、環境的に両立する
剥離用組成物を提供することが望ましい。
で高効率の剥離をするホトレジスト剥離用組成物を提供することが望ましい。
材に腐食作用を示さないホトレジスト剥離用組成物を提供することが望ましい。
要しない有効な剥離用組成物の提供が望ましい。剥離用組成物の生産及び使用を
監督する規制局によって望ましいと見なされる剥離用組成物及びその使用が極め
て望ましい。
去に対して個々の成分では常に得られない剥離効力及び剥離結果を与える相乗剥
離作用を示す上記望ましい特性をもった剥離用組成物の提供が最も有利である。
囲が著しく拡大される適当な剥離及び清浄用組成物が、本発明の教示に従って得
られることがわかった。
離及び清浄用組成物において、次の一般式
用組成物が提供される。
。没食子酸は、カテコールより有効な酸素補そく剤であって、配位子結合により
多くの部位を有するので、カテコールより有効な抑制剤である。即ち、没食子酸
は、より有効な共有結合を有する。抑制剤の好適な量は約0.1〜10重量%で
ある。本発明の組成物は非水性にできる、又は水を含むことができる。
又はアルキルアミドのような他の剥離成分との組合せからは不可能な低温での相
乗的増大剥離作用及び剥離能力を腐食を発生することなく示す。
に、基材への金属イオンの再析出、例えば、アルカリ土類及びアルカリ金属イオ
ンの再析出を防止する。
発明の別の目的は、特にアルミニウム及びシリコンに非腐食性であるホトレジス
ト剥離用組成物の提供にある。
組成物の提供にある。さらに、本発明の目的は、腐食抑制剤としてカテコールよ
りも安く、かつ有効な抑制剤を提供することである。
るコーテッド基材の剥離法を提供することである。
完全に理解されるであろう。
び有機又は無機アミンの混合物から成る。
ールアミン、約30〜40重量%のジメチルスルホキシド、約1〜4重量%の没
食子酸及び水から成る。必要ならば、腐食抑制剤として約5重量%までのアント
ラニリル酸も添加できる。
ば、プロピレングリコール、グリコール、グリセロール、ポリエチレングリコー
ル、等、ジメチルスルホキシド(DMSO),プチロラクトン、グリコールエー
テル、N−アルキルピロリドン、例えば、N−メチルピロリドン、ジエチレング
リコールモノアルキルエーテルを含むテトラヒドロフラン(THF)グリコール
エーテル、エチレンジアミン、エチレントリアミン、ジメチルアセトアミド(D
MAC),等を含む。
4号及び4、617、251号に記載されているようなジアミノ又はアミノヒド
ロキシ化合物、テトラアクキルアンモニウムヒドロキシド、アルカノールアミン
(それらは炭素原子数が1〜5の第一級、第二級又は第三級である)、モルホリ
ン、N−メチルアミノエタノール、等を含む。任意成分としては界面活性剤を含
む。
有用かつ有利である。その剥離用組成物は、水溶性、非腐食性、非引火性、及び
環境に対して低毒性である。本剥離用組成物は、広範囲の被膜及び基材に対して
低温で高剥離効率を示す。それらは、金属イオン、特にナトリウム及びカリウム
イオンの再析出も防止するから、特にそれらはホトレジスト及び集積回路の製造
に使用されるプラズマ処理からの残留物の除去に適する。本発明の剥離用組成物
は、成分を室温で混合するだけで容易に調製される。
)として、有機又は金属−有機重合体、無機塩、酸化物、水酸化物又は錯体又は
それらの混合体を、記載した剥離用組成物と接触させることによって実施される
。実際の条件、即ち、温度、時間、等は、除去される錯体(ホトレジスト及び/
又はサイドウォール重合体物質の性質及び厚さ、並びに当業者が周知の他の要素
に左右される。一般に、ホトレジストの剥離には、ホトレジストを剥離用組成物
を含有する容器中に25〜75℃の温度で約5〜30分間浸漬又は接触させ、水
で洗浄し、次に不活性ガスで乾燥する。
、イオンビームレジスト、等を含む。有機重合体物質の特例は、フェノールホル
ムアルデヒド樹脂、又はポリ(p−ビニルフェノール)、ポリメチルメタクリレ
ート含有レジスト、等を含む。プラズマ処理残留物(サイドウォール重合体)の
例は、金属−有機複合体及び/又は無機塩類、酸化物、水酸化物又はフィルム又
は残留物を単独で又はホトレジストの有機重合体樹脂と組み合って残留物を形成
する複合体を含む。有機物質及び/又はSWPは、当業者が周知の通常の基材、
例えば、ケイ素、二酸化ケイ素、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金
、等から除去できる。
実施例に示したデータによって説明する。特に断らない限り、部及びパーセンテ
ージは全て重量表示である。
含有する金属/ケイ素ウェーハ基材を180℃で60分間ポストベークした。そ
れらの基材は、冷却し、剥離用組成物を含有する容器に浸漬して、磁気かくはん
機でかくはんした。剥離用組成物を含有する容器は、50℃と55℃に維持され
た。剥離用組成物との接触時間は20〜30分であった。基材は脱イオン水で洗
浄し、窒素で乾燥させた。それらの結果は、光学顕微鏡及び走査電子顕微鏡検査
によって決定し、次の表に示す:
はBIASにおいて75℃で若干のSWP残留物又は腐食を示した。試料2、4
及び7は、他の試料よりもアルミニウムに対して良い抑制剤性能を示した。
ット ペンタヒドレート(TMAH) ジプロピレングリコール モノエチルエーテル 21.0% DMSO 69.3%
Claims (12)
- 【請求項1】 水溶性極性溶媒及び有機又は無機アミンの混合物から成る剥離
及び清浄用組成物において、次の一般式 【化1】 式中のRは低級アルキル又は水素である) を有する有効量の腐食抑制剤との混合物から成ることを特徴とする剥離及び清浄
用組成物。 - 【請求項2】 前記腐食抑制剤が、0.1〜10重量%から成ることを特徴と
する請求項1記載の剥離及び清浄用組成物。 - 【請求項3】 水を含むことを特徴とする請求項1記載の剥離及び清浄用組成
物。 - 【請求項4】 58〜63重量%のN−モノエタノールアミン、30〜40重
量%のジメチルスルホキシド、1〜4重量%の没食子酸及び残り水から成る請求
項1記載の剥離及び清浄用組成物。 - 【請求項5】 5重量%までのアントラニル酸を含むことを特徴とする請求項
1記載の剥離及び清浄用組成物。 - 【請求項6】 前記極性溶媒が、ジメチルスルホキシドであることを特徴とす
る請求項1記載の剥離及び清浄用組成物。 - 【請求項7】 前記極性溶媒が、ジメチルアセトアミドであることを特徴とす
る請求項1記載の剥離及び清浄用組成物。 - 【請求項8】 前記極性溶媒と前記有機アミンが同一であることを特徴とする
請求項1記載の剥離及び清浄用組成物。 - 【請求項9】 前記抑制剤が、アントラニル酸を含むことを特徴とする請求項
1記載の剥離及び清浄用組成物。 - 【請求項10】 請求項1記載の有効量の剥離及び清浄用組成物をコーテッド
基材に塗布し、該剥離用組成物を前記コーテッド基材上に剥離に有効な時間残留
させ、該コーテッド基材から被膜を除去する工程から成ることを特徴とするコー
テッド基材から被膜を除去する方法。 - 【請求項11】 請求項3記載の有効量の剥離及び清浄用組成物をコーテッド
基材に塗布し、前記剥離用組成物を前記コーテッド基材上に剥離に有効な時間残
留させ、該コーテッド基材から被膜を除去する工程から成ることを特徴とするコ
ーテッド基材から被膜を除去する方法。 - 【請求項12】 請求項8記載の有効量の剥離及び清浄用組成物をコーテッド
基材に塗布し、前記剥離用組成物を前記コーテッド基材上に剥離に有効な時間残
留させ、該コーテッド基材から被膜を除去する工程から成ることを特徴とするコ
ーテッド基材から被膜を除去する方法。
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