JP2001348239A - ガラスルツボの芯出し装置 - Google Patents

ガラスルツボの芯出し装置

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JP2001348239A
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隆治 相場
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光一 鈴木
Kozo Ichie
浩三 市江
Kunihide Takami
邦英 高見
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雅芳 廣世
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    • C03B19/00—Other methods of shaping glass
    • C03B19/09—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラスルツボの姿勢を機械的に垂直に制
御する装置の提供。 【解決手段】 ガラスルツボを垂直に保持する装置であ
って、ルツボを載置する回転台、該回転台の傾斜手段、
ルツボの位置合わせ手段、ルツボの偏心量と傾斜量を測
定する手段を備え、このルツボの偏心量と傾斜量に応じ
てルツボの姿勢を垂直に制御することを特徴とするガラ
スルツボの芯出し装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラスルツボ、特
にシリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボ
について、その中心軸を検出して垂直に保持する芯出し
装置に関する。本装置はガラスルツボの加工や検査にお
いて、ルツボの姿勢制御を行う装置として有用である。
【０００２】
【従来技術】シリコン単結晶引き上げ用の石英ガラスル
ツボは、引き上げの生産性を高めるために次第に大型化
している。このガラスルツボの加工、例えば、溶融成形
後にルツボの開口縁部(リム)を一定幅切断する仕上加工
を施す場合、あるいは製造後のルツボの検査などの際
に、従来は手作業でルツボの姿勢を保持している。この
ためルツボを正確に垂直に保持することが難しい等の問
題があり、その機械化が求められていた。
【０００３】
【発明の解決課題】本発明は、従来の上記課題を解決し
たものであり、ガラスルツボを正確に垂直に保持し、ル
ツボの加工工程や検査工程などにおける作業効率および
精度を高めることができる芯出し装置を提供することを
目的とする。なお、本発明の芯出し装置は大型ガラスル
ツボのみならず従来のガラスルツボについても適用でき
る。
【０００４】
【課題を解決する手段】すなわち、本発明は、ガラスル
ツボを垂直に保持する装置であって、ルツボを載置する
回転台、該回転台の傾斜手段、ルツボの位置合わせ手
段、ルツボの偏心量と傾斜量および高さを測定する手段
を備え、このルツボの偏心量と傾斜量に応じてルツボの
姿勢を垂直に制御することを特徴とするガラスルツボの
芯出し装置に関する。本装置によれば、ガラスルツボの
姿勢を機械的に垂直に保持することができる。
【０００５】本発明の芯出し装置は、（イ）ルツボの位
置合わせ手段が回転台の周囲から中心に向かって往復動
自在に配設された複数のヘッドによって形成されている
芯出し装置、（ロ）ルツボの偏心量と傾斜量を測定する
手段が、回転台のルツボに対して垂直な基準位置からル
ツボ上側面までの距離とルツボ下側面までの距離とを測
定する手段によって形成されている芯出し装置を含む。
【０００６】さらに本発明は、上記芯出し装置におい
て、回転台、その傾斜手段、位置合わせ手段、およびル
ツボの偏心量と傾斜量を測定する手段を連係して操作す
る制御手段を有し、この制御手段によって、ルツボが回
転台の中心に位置決めされ、回転台が回転し、ルツボの
偏心量と傾斜量を測定する手段がルツボに向かって伸び
てルツボの偏心量と傾斜量が測定され、その差に応じて
傾斜手段が作動して自動的にルツボが垂直に保持される
ガラスルツボの芯出し装置に関する。
【０００７】
【発明の実施態様】以下、本発明を図面に示す実施態様
に即して具体的に説明する。図示するように、本発明の
芯出し装置１０は、ルツボ１を載置する回転台１１と、
該回転台１１を傾斜する手段１２、ルツボの位置合わせ
手段１３、回転するルツボの偏心量と傾斜量を測定する
手段１４を有する。なお、ルツボの高さを測定手段(図
示省略)を付設しても良い。
【０００８】図１および図２に示すように、回転台１１
の上面には複数の溝１５が回転台の中心から放射状に形
成されており、この溝１５に設けたヘッド１６によって
ルツボの位置合わせ手段１３が形成されている。該ヘッ
ド１６の下端は回転台１１の下側に設けた伸縮ロッドな
いしモータ等の駆動手段１７に連結されており、ヘッド
１６はこの駆動手段１７によって中心に向かい、溝１５
に沿って往復動自在に形成されている。回転台１１に載
せられたルツボ１は上記ヘッド１６によって回転台の中
心に向かって押圧され、ルツボ１の位置が調整される。
【０００９】図２に示すように、回転台１１はフレーム
１８によって支えられており、回転台１１とフレーム１
８の間に傾斜手段１２が付設されており、またギア１９
を介して回転台１１を回転する手段２０が設けられてい
る。
【００１０】図３、図４に示すように、ルツボの偏心量
と傾斜量を測定する手段１４は、回転台１１の側方に設
けられており、回転台１１のルツボ１に対して垂直な基
準位置１４ｃからルツボ上側面までの距離Ｌ1を測定す
る手段１４ａと、ルツボ下側面までの距離Ｌ2とを測定
する手段１４ｂを有する。この測定手段１４ａ,１４ｂ
は基準位置からルツボ側面に接触するように伸びる伸縮
自在なロッドによって形成されている。なお、このよう
な機械的な手段に代えて光学的に距離を測定するもので
も良い。この上側の距離Ｌ1と下側の距離Ｌ2の差によっ
てルツボの傾きが測定され、またルツボの回転に伴う距
離Ｌ1,Ｌ2の変動によって回転中心からの偏心量が測定
される。このＬ1,Ｌ2の差が実質的に零になるように回
転台１１を傾斜することによってルツボの中心軸Ｍを垂
直に制御することができ、また、Ｌ1,Ｌ2の変動量が実
質的に零になるようにルツボの位置を上記位置合わせ手
段１３によって調整することによってルツボの中心軸Ｍ
を回転中心に合わせることができる。
【００１１】本発明の上記芯出し装置は、好ましくは、
回転台、その傾斜手段、位置合わせ手段、およびルツボ
の偏心量と傾斜量を測定する手段を連係して操作する制
御手段(制御回路)を有する。この制御手段によって、ル
ツボが回転台の中心に位置決めされ、回転台が回転し、
ルツボの偏心量と傾斜量を測定する手段がルツボに向か
って伸びてルツボの偏心量と傾斜量が測定され、その差
に応じて傾斜手段が作動して自動的にルツボが垂直に保
持される。
【００１２】すなわち、ルツボ１を下向きにして回転台
１１に載置し、制御回路に始動信号を送ると、位置合わ
せ手段のヘッド１６がルツボ１に向かって移動し、ルツ
ボ１を押付けて回転台１１の中心に位置決めする。その
信号を受けて回転台１１が始動し、同時に測定手段１４
がルツボ１に向かって伸び、基準位置１４ｃからルツボ
上側面までの距離Ｌ1とルツボ下側面までの距離Ｌ2とを
測定し、その差によってルツボ１の偏心量および傾斜量
が把握される。この測定結果に基づく信号が回転台１１
の傾斜手段１２に送られ、傾斜手段１２によって回転台
１１を傾け、ルツボの姿勢を垂直に(Ｌ1とＬ2の差が実
質的にゼロになるように)制御する。
【００１３】
【発明の効果】本発明に係るガラスルツボの芯出し装置
は、ルツボを機械的に精度良く垂直に保持することがで
きるので、ガラスルツボの加工や検査において、ルツボ
の姿勢を垂直に制御する必要がある場合などに有用であ
る。さらに、本発明の装置はルツボを回転台に設置して
姿勢制御するので大型のガラスルツボについても短時間
に姿勢を制御することができる。さらに、ルツボの設置
からその偏心量、傾斜量の測定、および回転台の傾斜に
至る一連の動作を自動化できるので作業効率を大幅に高
めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 芯出し装置の回転台の概略を示す部分外観図
【図２】 上記回転台の構造例を示す概略断面図
【図３】 測定手段の一例を示す部分概略外観図
【図４】 測定方法を示す説明図
【符号の説明】
１−ルツボ、１０−芯出し装置、１１−回転台、１２−
傾斜手段、１３−位置合わせ手段、１４−測定手段、１
５−溝、１６−ヘッド、１７−移動手段、１８−フレー
ム、１９−ギア、２０−回転手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 光一 秋田県秋田市茨島５丁目14番３号 三菱マ テリアルクォーツ株式会社秋田工場内 (72)発明者 市江 浩三 富山県魚津市本江2410番地 株式会社スギ ノマシン内 (72)発明者 高見 邦英 富山県魚津市本江2410番地 株式会社スギ ノマシン内 (72)発明者 廣世 雅芳 富山県魚津市本江2410番地 株式会社スギ ノマシン内 Ｆターム(参考） 4G014 AH00

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ガラスルツボを垂直に保持する装置であ
    って、ルツボを載置する回転台、該回転台の傾斜手段、
    ルツボの位置合わせ手段、ルツボの偏心量と傾斜量を測
    定する手段を備え、このルツボの偏心量と傾斜量に応じ
    てルツボの姿勢を垂直に制御することを特徴とするガラ
    スルツボの芯出し装置。
  2. 【請求項２】 請求項１の芯出し装置において、ルツボ
    の位置合わせ手段が回転台の周囲から中心に向かって往
    復動自在に配設された複数のヘッドによって形成されて
    いるガラスルツボの芯出し装置。
  3. 【請求項３】 請求項１または２の芯出し装置におい
    て、ルツボの偏心量と傾斜量を測定する手段が、回転台
    のルツボに対して垂直な基準位置からルツボ上側面まで
    の距離とルツボ下側面までの距離とを測定する手段によ
    って形成されているガラスルツボの芯出し装置。
  4. 【請求項４】 請求項１の芯出し装置において、回転
    台、その傾斜手段、位置合わせ手段、およびルツボの偏
    心量と傾斜量を測定する手段を連係して操作する制御手
    段を有し、この制御手段によって、ルツボが回転台の中
    心に位置決めされ、回転台が回転し、ルツボの偏心量と
    傾斜量を測定する手段がルツボに向かって伸びてルツボ
    の偏心量と傾斜量が測定され、その差に応じて傾斜手段
    が作動して自動的にルツボが垂直に保持されるガラスル
    ツボの芯出し装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009116476A1 (ja) * 2008-03-19 2009-09-24 ジャパンスーパークォーツ株式会社 ガラスルツボの切断方法および切断装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4948475A (ja) * 1972-05-10 1974-05-10
JPH08278117A (ja) * 1995-02-06 1996-10-22 Mitsubishi Materials Corp 作業対象面に対する作業器具の姿勢制御装置とこれを有するルツボの計測装置および塗装装置
JP2001226134A (ja) * 2000-02-15 2001-08-21 Mitsubishi Material Quartz Kk ガラスルツボのリムカット装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4948475A (ja) * 1972-05-10 1974-05-10
JPH08278117A (ja) * 1995-02-06 1996-10-22 Mitsubishi Materials Corp 作業対象面に対する作業器具の姿勢制御装置とこれを有するルツボの計測装置および塗装装置
JP2001226134A (ja) * 2000-02-15 2001-08-21 Mitsubishi Material Quartz Kk ガラスルツボのリムカット装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2009116476A1 (ja) * 2008-03-19 2009-09-24 ジャパンスーパークォーツ株式会社 ガラスルツボの切断方法および切断装置
JP5288384B2 (ja) * 2008-03-19 2013-09-11 株式会社Ｓｕｍｃｏ ガラスルツボの切断方法および切断装置
US9555555B2 (en) 2008-03-19 2017-01-31 Sumco Corporation Apparatus for cutting vitreous silica crucible

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