JP2001345481A - 光電変換素子の検査方法及び装置 - Google Patents
光電変換素子の検査方法及び装置Info
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- JP2001345481A JP2001345481A JP2000163483A JP2000163483A JP2001345481A JP 2001345481 A JP2001345481 A JP 2001345481A JP 2000163483 A JP2000163483 A JP 2000163483A JP 2000163483 A JP2000163483 A JP 2000163483A JP 2001345481 A JP2001345481 A JP 2001345481A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、チップＬＥＤ等の光電変換素子に外
傷を与えることなく電極部の断線不良が確実に検出でき
る光電変換素子の検査方法を提供するものである。 【解決手段】本発明は以下の手段を有する光電変換素子
の検査方法である。第１に、下面側に電極、上面側に発
光部もしくは受光部を備えた光電変換素子の電極に通電
部材を接触させて検査する光電変換素子の検査方法とす
る。第２に、側面を保持された素子の下面側の電極に通
電部材を接触させる。第３に上面側に透光性を有する接
触部材を接触させる。第４に、通電部材と接触部材で素
子を挟んだ状態で検査する。
傷を与えることなく電極部の断線不良が確実に検出でき
る光電変換素子の検査方法を提供するものである。 【解決手段】本発明は以下の手段を有する光電変換素子
の検査方法である。第１に、下面側に電極、上面側に発
光部もしくは受光部を備えた光電変換素子の電極に通電
部材を接触させて検査する光電変換素子の検査方法とす
る。第２に、側面を保持された素子の下面側の電極に通
電部材を接触させる。第３に上面側に透光性を有する接
触部材を接触させる。第４に、通電部材と接触部材で素
子を挟んだ状態で検査する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光電変換素子の検
査装置の改良に関するものであって、主として、検査装
置における検査用プローブの接触方式に主眼をおいて開
発された発明である。
査装置の改良に関するものであって、主として、検査装
置における検査用プローブの接触方式に主眼をおいて開
発された発明である。
【０００２】
【従来の技術】光電変換素子、特にチップＬＥＤ等の発
光素子の検査装置での測定項目は、ダイオード特性の他
に輝度、色調の検査が必要であるため、上面側発光部
（図６及び図７中符号３１）上方を開放する必要があ
り、一般には図６に示すようにチップＬＥＤ１の基板面
２を吸引ノズル３にて吸着して搬送し、横から検査用プ
ローブ４，５を電極部６に接触させる方式か、あるい
は、チップＬＥＤを横からクランプして搬送し、下面側
より検査用プローブを入れる方式であった。
光素子の検査装置での測定項目は、ダイオード特性の他
に輝度、色調の検査が必要であるため、上面側発光部
（図６及び図７中符号３１）上方を開放する必要があ
り、一般には図６に示すようにチップＬＥＤ１の基板面
２を吸引ノズル３にて吸着して搬送し、横から検査用プ
ローブ４，５を電極部６に接触させる方式か、あるい
は、チップＬＥＤを横からクランプして搬送し、下面側
より検査用プローブを入れる方式であった。
【０００３】しかし、チップＬＥＤ１の基板面２を吸引
ノズル３で吸着保持し、横から検査用プローブ４，５を
入れる方式では、検査用プローブ５の当接部分より手前
側の電極部６（メッキ部）の断線部分７や不良部分が検
出できず、図７に示すように基板８に断線部分７を有し
た通電しないチップＬＥＤ１の実装の危険性を有してい
た。
ノズル３で吸着保持し、横から検査用プローブ４，５を
入れる方式では、検査用プローブ５の当接部分より手前
側の電極部６（メッキ部）の断線部分７や不良部分が検
出できず、図７に示すように基板８に断線部分７を有し
た通電しないチップＬＥＤ１の実装の危険性を有してい
た。
【０００４】この問題点を解消しようと、チップＬＥＤ
を横からクランプして搬送し、下面より検査用プローブ
を入れる方式が存在するが、この方式では、ワークであ
るチップＬＥＤに外力がかかり、チップＬＥＤの基板部
が損傷したり、あるいは、電極部（メッキ部）に傷が付
く等の問題があった。特に近年チップＬＥＤの微小化が
進んでいるため、この点は大きな問題となっている。
を横からクランプして搬送し、下面より検査用プローブ
を入れる方式が存在するが、この方式では、ワークであ
るチップＬＥＤに外力がかかり、チップＬＥＤの基板部
が損傷したり、あるいは、電極部（メッキ部）に傷が付
く等の問題があった。特に近年チップＬＥＤの微小化が
進んでいるため、この点は大きな問題となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、下面側より
検査用プローブ（通電部材）を入れる方式であっても、
チップＬＥＤに外傷を与えることなく電極部の断線不良
も検出できる光電変換素子の検査装置を提供しようとす
るものである。
検査用プローブ（通電部材）を入れる方式であっても、
チップＬＥＤに外傷を与えることなく電極部の断線不良
も検出できる光電変換素子の検査装置を提供しようとす
るものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、第１の発明は、下面側に電極を備え上面側に発光部
もしくは受光部を備えた光電変換素子の電極に、通電部
材を接触させて検査を行う光電変換素子の検査方法にお
いて、側面を保持された素子の下面側の電極に通電部材
を接触させると共に上面側に透光性を有する接触部材を
接触させ、通電部材と接触部材で素子を挟んだ状態で検
査することを特徴とする光電変換素子の検査方法を提供
せんとするものである。
め、第１の発明は、下面側に電極を備え上面側に発光部
もしくは受光部を備えた光電変換素子の電極に、通電部
材を接触させて検査を行う光電変換素子の検査方法にお
いて、側面を保持された素子の下面側の電極に通電部材
を接触させると共に上面側に透光性を有する接触部材を
接触させ、通電部材と接触部材で素子を挟んだ状態で検
査することを特徴とする光電変換素子の検査方法を提供
せんとするものである。
【０００７】第２及び第３の発明は、上記検査法方法の
発明を実行するための検査装置に関する発明で、下面側
に電極、上面側に発光部を備えた光電変換素子を通電さ
せて、発光部からの光を受光手段で受光して発光状態を
検査する光電変換素子の検査装置であって、素子の側面
を保持する保持手段と、素子の上面側に接触する透光性
を有する接触部材と、素子の下面側の電極に接触して通
電する通電部材とを備えると共に、接触部材と通電部材
の少なくともいずれか一方を素子に対して接離させる移
動機構を備え、通電部材と接触部材で素子を挟んだ状態
で検査することを特徴とする光電変換素子の検査装置で
ある。
発明を実行するための検査装置に関する発明で、下面側
に電極、上面側に発光部を備えた光電変換素子を通電さ
せて、発光部からの光を受光手段で受光して発光状態を
検査する光電変換素子の検査装置であって、素子の側面
を保持する保持手段と、素子の上面側に接触する透光性
を有する接触部材と、素子の下面側の電極に接触して通
電する通電部材とを備えると共に、接触部材と通電部材
の少なくともいずれか一方を素子に対して接離させる移
動機構を備え、通電部材と接触部材で素子を挟んだ状態
で検査することを特徴とする光電変換素子の検査装置で
ある。
【０００８】第３の発明は、第２の発明とは逆に、下面
側に電極、上面側に受光部を備えた光電変換素子の受光
部に、発光手段からの光を受光させて通電状態を検査す
る光電変換素子の検査装置であって、素子の側面を保持
する保持手段と、素子の上面側に接触する透光性を有す
る接触部材と、素子の下面側の電極に接触する通電部材
とを備えると共に、接触部材と通電部材の少なくともい
ずれか一方を素子に対して接離させる移動機構を備え、
通電部材と接触部材で素子を挟んだ状態で検査すること
を特徴とする光電変換素子の検査装置である。
側に電極、上面側に受光部を備えた光電変換素子の受光
部に、発光手段からの光を受光させて通電状態を検査す
る光電変換素子の検査装置であって、素子の側面を保持
する保持手段と、素子の上面側に接触する透光性を有す
る接触部材と、素子の下面側の電極に接触する通電部材
とを備えると共に、接触部材と通電部材の少なくともい
ずれか一方を素子に対して接離させる移動機構を備え、
通電部材と接触部材で素子を挟んだ状態で検査すること
を特徴とする光電変換素子の検査装置である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って、実施例と共
に本発明の実施の形態について説明する。図５は、検査
装置１２の平面説明図であり、検査装置１２は、パーツ
フィーダ９、搬送レール１０、ピックアンドプレース１
１とを付属装置として備えている。
に本発明の実施の形態について説明する。図５は、検査
装置１２の平面説明図であり、検査装置１２は、パーツ
フィーダ９、搬送レール１０、ピックアンドプレース１
１とを付属装置として備えている。
【００１０】チップＬＥＤ１はパーツフィーダ９に投入
され、表裏を揃え一列に整列させられて、搬送レール１
０に搬送され、ピックアンドプレース１１により、搬送
レール１０から一つずつ検査装置１２へと受け渡され
る。
され、表裏を揃え一列に整列させられて、搬送レール１
０に搬送され、ピックアンドプレース１１により、搬送
レール１０から一つずつ検査装置１２へと受け渡され
る。
【００１１】検査対象となるチップＬＥＤ１は、図６及
び図７に示されるもので、上面側に発光部３１、下面側
に電極部６を備えた平面視で矩形状（長方形）のもので
ある。実施例では発光素子としてチップＬＥＤ１を検査
対象とするが、本発明では、これに限定されるものでは
ない。
び図７に示されるもので、上面側に発光部３１、下面側
に電極部６を備えた平面視で矩形状（長方形）のもので
ある。実施例では発光素子としてチップＬＥＤ１を検査
対象とするが、本発明では、これに限定されるものでは
ない。
【００１２】検査装置１２では、回転体１３の外周にチ
ップＬＥＤ１の側面を吸着して保持する保持部１４が等
間隔の８箇所に配置されている。保持部１４は、図２に
示すようにバキューム孔３０が水平方向に設けられ、チ
ップＬＥＤ１を直接吸着保持するもので、外周ガイド及
び下面レールのない搬送方式とされている。
ップＬＥＤ１の側面を吸着して保持する保持部１４が等
間隔の８箇所に配置されている。保持部１４は、図２に
示すようにバキューム孔３０が水平方向に設けられ、チ
ップＬＥＤ１を直接吸着保持するもので、外周ガイド及
び下面レールのない搬送方式とされている。
【００１３】回転体１３は間欠的に回転移動し、供給位
置１５で、チップＬＥＤ１を受け取り、検査位置１６
で、検査を行い、排出位置１７で、検査済みチップＬＥ
Ｄ１を排出シュート１８に送り出し、排出後、検査結果
に応じて分類される。本発明は、上記検査装置１２の検
査位置１６の構成に特徴を有する。
置１５で、チップＬＥＤ１を受け取り、検査位置１６
で、検査を行い、排出位置１７で、検査済みチップＬＥ
Ｄ１を排出シュート１８に送り出し、排出後、検査結果
に応じて分類される。本発明は、上記検査装置１２の検
査位置１６の構成に特徴を有する。
【００１４】図１は検査装置１２の検査位置１６の詳細
を示す要部側面図であり、検査位置１６の保持部１４の
上方側には受光手段としての検査カメラ１９が、チップ
ＬＥＤ１に向かって配置されており、同保持部１４の下
方に検査用プローブ４，５が配置されている。尚、チッ
プＬＥＤ１を保持部１４に反転状態で、電極部６を上向
きに保持する場合には、検査用プローブ４，５が、チッ
プＬＥＤ１の上方に位置し、検査カメラ１９がチップＬ
ＥＤ１の下方に配置される。
を示す要部側面図であり、検査位置１６の保持部１４の
上方側には受光手段としての検査カメラ１９が、チップ
ＬＥＤ１に向かって配置されており、同保持部１４の下
方に検査用プローブ４，５が配置されている。尚、チッ
プＬＥＤ１を保持部１４に反転状態で、電極部６を上向
きに保持する場合には、検査用プローブ４，５が、チッ
プＬＥＤ１の上方に位置し、検査カメラ１９がチップＬ
ＥＤ１の下方に配置される。
【００１５】検査用プローブ４，５は、チップＬＥＤ１
の下面側の電極部６に接触して通電する通電部材として
用いられる。検査用プローブ４，５のチップＬＥＤ１に
対する接離移動機構としては、図１に示すようにシリン
ダ２０が用いられ、シリンダ２０にて上下動摺動するス
ライド部材２１の上端に検査用プローブ４，５が上向き
に配置されている。
の下面側の電極部６に接触して通電する通電部材として
用いられる。検査用プローブ４，５のチップＬＥＤ１に
対する接離移動機構としては、図１に示すようにシリン
ダ２０が用いられ、シリンダ２０にて上下動摺動するス
ライド部材２１の上端に検査用プローブ４，５が上向き
に配置されている。
【００１６】本実施例では、チップＬＥＤ１の上面側に
接触する透明な接触部材としてのサファイアガラス２２
が検査カメラ１９とチップＬＥＤ１の間に存在する。サ
ファイアガラス２２は、屈折率が低く、硬度が高いため
接触部材として最適であるが、本発明では透光性を有
し、チップＬＥＤ１を検査用プローブ４，５と共に挟む
ことができる硬度を有すれば他の素材であっても良い。
接触する透明な接触部材としてのサファイアガラス２２
が検査カメラ１９とチップＬＥＤ１の間に存在する。サ
ファイアガラス２２は、屈折率が低く、硬度が高いため
接触部材として最適であるが、本発明では透光性を有
し、チップＬＥＤ１を検査用プローブ４，５と共に挟む
ことができる硬度を有すれば他の素材であっても良い。
【００１７】チップＬＥＤ１に対してサファイアガラス
２２を接離させる移動機構としても、シリンダ２３が利
用されている。シリンダ２３にて上下摺動するスライド
部材２４に吊り下げ具２５を用いて、サファイアガラス
２２を吊り下げ保持している。尚、吊り下げ具２５は検
査時の光線を遮断しないように、開口部２６，２７が形
成されている。
２２を接離させる移動機構としても、シリンダ２３が利
用されている。シリンダ２３にて上下摺動するスライド
部材２４に吊り下げ具２５を用いて、サファイアガラス
２２を吊り下げ保持している。尚、吊り下げ具２５は検
査時の光線を遮断しないように、開口部２６，２７が形
成されている。
【００１８】検査位置１６では、保持部材１４の移動が
停止している間に、下面より検査用プローブ４，５を上
昇させ、上面よりサファイアガラス２２を下降させ、両
者で保持部１４に保持されたチップＬＥＤ１を挟んだ状
態（図２中点線部分がこの状態を示す。）、すなわち、
接触部材と通電部材で素子を挟んだ状態で検査が行われ
る。
停止している間に、下面より検査用プローブ４，５を上
昇させ、上面よりサファイアガラス２２を下降させ、両
者で保持部１４に保持されたチップＬＥＤ１を挟んだ状
態（図２中点線部分がこの状態を示す。）、すなわち、
接触部材と通電部材で素子を挟んだ状態で検査が行われ
る。
【００１９】かようにチップＬＥＤ１を検査用プローブ
４，５とサファイアガラス２２で挟んで保持しているの
で、チップＬＥＤ１を側面で保持した状態で検査用プロ
ーブ４，５を電極部６に押し付けてもチップＬＥＤ１が
飛ばされることなく、確実に通電可能な状態とすること
ができる。つまり、チップＬＥＤ１の側面を強く保持し
なくても確実に検査できるのである。尚、検査は、検査
用プローブ４，５にて通電し、発光したチップＬＥＤ１
をサファイアガラス２２を通して検査カメラ１９にて検
査するのである。
４，５とサファイアガラス２２で挟んで保持しているの
で、チップＬＥＤ１を側面で保持した状態で検査用プロ
ーブ４，５を電極部６に押し付けてもチップＬＥＤ１が
飛ばされることなく、確実に通電可能な状態とすること
ができる。つまり、チップＬＥＤ１の側面を強く保持し
なくても確実に検査できるのである。尚、検査は、検査
用プローブ４，５にて通電し、発光したチップＬＥＤ１
をサファイアガラス２２を通して検査カメラ１９にて検
査するのである。
【００２０】本実施例では接触部材を素子に対して接離
させる移動機構と通電部材を素子に対して接離させる移
動機構とを共に備えた光電変換素子の検査装置である
が、本発明では、いずれか一方の移動機構を有すれば足
るものである。
させる移動機構と通電部材を素子に対して接離させる移
動機構とを共に備えた光電変換素子の検査装置である
が、本発明では、いずれか一方の移動機構を有すれば足
るものである。
【００２１】図３は、通電部材である検査用プローブ
４，５だけを移動させる他実施例を示すもので、回転体
１３にサファイアガラス２２からなる載置面を形成し、
該載置面に反転状態のチップＬＥＤ１を載置して吸着保
持し、上方から検査用プローブ４，５だけを進退させ、
チップＬＥＤ１を検査用プローブ４，５とサファイアガ
ラス２２で挟んだ状態とするものである。
４，５だけを移動させる他実施例を示すもので、回転体
１３にサファイアガラス２２からなる載置面を形成し、
該載置面に反転状態のチップＬＥＤ１を載置して吸着保
持し、上方から検査用プローブ４，５だけを進退させ、
チップＬＥＤ１を検査用プローブ４，５とサファイアガ
ラス２２で挟んだ状態とするものである。
【００２２】他方、図４は、接触部材であるサファイア
ガラス２２だけを移動させる他実施例を示すもので、回
転体１３に通電部材４’を有する載置面を形成し、該載
置面に正立状態のチップＬＥＤ１を載置して吸着保持
し、上方からサファイアガラス２２だけを進退させ、チ
ップＬＥＤ１を通電部材４’を有する載置面とサファイ
アガラス２２で挟んだ状態とするものである。尚、通電
部材４’を有する載置面とサファイアガラス２２の位置
関係は逆転しても良いことは勿論である。
ガラス２２だけを移動させる他実施例を示すもので、回
転体１３に通電部材４’を有する載置面を形成し、該載
置面に正立状態のチップＬＥＤ１を載置して吸着保持
し、上方からサファイアガラス２２だけを進退させ、チ
ップＬＥＤ１を通電部材４’を有する載置面とサファイ
アガラス２２で挟んだ状態とするものである。尚、通電
部材４’を有する載置面とサファイアガラス２２の位置
関係は逆転しても良いことは勿論である。
【００２３】いずれの場合にあってもチップＬＥＤ１を
検査用プローブ４，５や通電部材４’を有する載置面と
サファイアガラス２２で挟んで保持しているので、チッ
プＬＥＤ１を側面で保持した状態で検査用プローブ４，
５等を電極部６に押し付けてもチップＬＥＤ１が飛ばさ
れることなく、確実に通電可能な状態とすることができ
る。
検査用プローブ４，５や通電部材４’を有する載置面と
サファイアガラス２２で挟んで保持しているので、チッ
プＬＥＤ１を側面で保持した状態で検査用プローブ４，
５等を電極部６に押し付けてもチップＬＥＤ１が飛ばさ
れることなく、確実に通電可能な状態とすることができ
る。
【００２４】他実施例として、図示されていないが、第
２の発明に相応する実施例として、第１の発明とは逆
に、上面に受光部を有する受光素子（例えばホトダイオ
ード）の上面側に発光手段を設け、発光手段からの光を
受光させて、通電状態を検査する検査装置の場合にも、
検査カメラ１９を赤外線ライトのような発光手段に置き
換えることにより、同様の構成で検査を行うことが可能
となる。
２の発明に相応する実施例として、第１の発明とは逆
に、上面に受光部を有する受光素子（例えばホトダイオ
ード）の上面側に発光手段を設け、発光手段からの光を
受光させて、通電状態を検査する検査装置の場合にも、
検査カメラ１９を赤外線ライトのような発光手段に置き
換えることにより、同様の構成で検査を行うことが可能
となる。
【００２５】この検査装置の場合、受光素子の側面を吸
着して保持して、上面側のサファイアガラス２２と下面
側の検査用プローブ４，５とでチップＬＥＤ１を挟ん
で、チップＬＥＤ１に赤外線を照射し、これにより通電
状態となるか否かを検査することになり、確実に通電可
能な状態とすることができる。
着して保持して、上面側のサファイアガラス２２と下面
側の検査用プローブ４，５とでチップＬＥＤ１を挟ん
で、チップＬＥＤ１に赤外線を照射し、これにより通電
状態となるか否かを検査することになり、確実に通電可
能な状態とすることができる。
【００２６】
【発明の効果】本発明は、如上のように構成され、検査
されるため光電変換素子に外傷を与えることなく電極部
の断線不良も検出できる安全確実な光電変換素子の検査
装置となった。
されるため光電変換素子に外傷を与えることなく電極部
の断線不良も検出できる安全確実な光電変換素子の検査
装置となった。
【図１】検査装置の第１実施例を示す要部側面図
【図２】同拡大説明図
【図３】第２実施例の要部拡大説明図
【図４】第３実施例の要部拡大説明図
【図５】検査装置の平面説明図
【図６】従来の検査装置を示す説明図
【図７】従来の検査の問題点を示す説明図
１．．．．．チップＬＥＤ ２．．．．．基板面 ３．．．．．吸引ノズル ４，５．．．検査用プローブ ６．．．．．電極部 ７．．．．．断線部分 ８．．．．．基板 ９．．．．．パーツフィーダ １０．．．．搬送レール １１．．．．ピックアンドプレース １２．．．．検査装置 １３．．．．回転体 １４．．．．保持部 １５．．．．供給位置 １６．．．．検査位置 １７．．．．排出位置 １８．．．．排出シュート １９．．．．検査カメラ ２０，２３．シリンダ ２１，２４．スライド部材 ２２．．．．サファイアガラス ２５．．．．吊り下げ具 ２６，２７．開口部 ３０．．．．バキューム孔 ３１．．．．発光部
Claims (3)
- 【請求項１】下面側に電極を備え上面側に発光部もしく
は受光部を備えた光電変換素子の電極に、通電部材を接
触させて検査を行う光電変換素子の検査方法において、
側面を保持された素子の下面側の電極に通電部材を接触
させると共に上面側に透光性を有する接触部材を接触さ
せ、通電部材と接触部材で素子を挟んだ状態で検査する
ことを特徴とする光電変換素子の検査方法。 - 【請求項２】下面側に電極、上面側に発光部を備えた光
電変換素子を通電させて、発光部からの光を受光手段で
受光して発光状態を検査する光電変換素子の検査装置に
おいて、素子の側面を保持する保持手段と、素子の上面
側に接触する透光性を有する接触部材と、素子の下面側
の電極に接触して通電する通電部材とを備えると共に、
接触部材と通電部材の少なくともいずれか一方を素子に
対して接離させる移動機構を備え、通電部材と接触部材
で素子を挟んだ状態で検査することを特徴とする光電変
換素子の検査装置。 - 【請求項３】下面側に電極、上面側に受光部を備えた光
電変換素子の受光部に、発光手段からの光を受光させて
通電状態を検査する光電変換素子検査装置において、素
子の側面を保持する保持手段と、素子の上面側に接触す
る透光性を有する接触部材と、素子の下面側の電極に接
触する通電部材とを備えると共に、接触部材と通電部材
の少なくともいずれか一方を素子に対して接離させる移
動機構を備え、通電部材と接触部材で素子を挟んだ状態
で検査することを特徴とする光電変換素子の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000163483A JP3709541B2 (ja) | 2000-05-31 | 2000-05-31 | 光電変換素子の検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000163483A JP3709541B2 (ja) | 2000-05-31 | 2000-05-31 | 光電変換素子の検査方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001345481A true JP2001345481A (ja) | 2001-12-14 |
| JP3709541B2 JP3709541B2 (ja) | 2005-10-26 |
Family
ID=18667225
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000163483A Expired - Fee Related JP3709541B2 (ja) | 2000-05-31 | 2000-05-31 | 光電変換素子の検査方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3709541B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005020338A1 (ja) * | 2003-08-26 | 2005-03-03 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 半導体発光素子搭載部材、それを用いた発光ダイオード構成部材、およびそれを用いた発光ダイオード |
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