JP2001308406A - 圧電機能部品製造治具および圧電機能部品製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電素子に圧電機能を付加するための電極膜
形成および分極処理を行うときに、圧電素子へのダメー
ジをなくしてクラックや割れを防止するとともに、少量
のベースプレートで様々な圧電素子形状に適用すること
のできる圧電機能部品製造治具を提供する。 【解決手段】 圧電素子を搭載する圧電素子受け部材が
可動することを特徴とし、また、圧電素子を保持するた
めの圧電素子受け部を有する圧電素子受け部材と、圧電
素子受け部に圧電素子を位置決めして保持するための位
置決め手段と、圧電素子受け部材を保持するためのベー
スプレートと、ベースプレートに圧電素子受け部材を保
持させておくための保持部材と、圧電素子受け部の反対
面に配置する押圧手段と、を備えたことを特徴とし、さ
らに、押圧手段は、圧電機能を付加するための補助部材
に、圧電素子受け部材を介して圧電素子を一定の力で押
圧することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電素子に圧電機
能を付加するための圧電機能部品製造治具の改良に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、圧電素子に圧電機能を付加して、
圧電素子の圧電効果を利用する圧電機能部品が注目され
ている。従来、圧電素子に圧電機能を付加するための圧
電機能部品製造治具は、図５（ａ）に示すように、圧電
素子の上面がベースプレートより僅かに突出するように
し、かつ、圧電素子の形状に対応した彫り込みを、ベー
スプレートに形成し、圧電機能を付加するための補助部
材をベースプレートの上に固定して、圧電素子を挟み込
むように圧電素子を固定していた。また、多数個での同
時処理を実現するため、図６に示すように、彫り込みを
ベースプレート上に幾つも形成していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧電機能部品製造治具において、圧電素子をベースプレ
ートと圧電機能を付加するための補助部材で挟み込むよ
うに固定するので、彫り込み製作時の深さばらつきや、
圧電素子の厚さばらつきが、以下の問題点を発生させて
いた。

【０００４】圧電素子の厚さが規格値の公差上限近くに
なった場合や、ベースプレートに形成した彫り込みが浅
くなっていた場合は、図５（ｂ）に示すように、圧電素
子を挟み込む力が強くなり、圧電素子にダメージを与え
クラックや割れを多く発生させるという問題を有してい
た。

【０００５】また、圧電素子の厚さが規格値の公差下限
近くになった場合や、ベースプレートに形成した彫り込
みが深くなりすぎていた場合は、図５（ｃ）に示すよう
に、圧電素子を挟み込む力が弱くなるか、あるいは挟み
込む力が全く働かない状態となり、ベースプレートに形
成した彫り込みの中で圧電素子が動き回り、電極膜形成
時では所望の電極形状が得られないという問題を有して
いた。

【０００６】さらに、圧電素子の表面やベースプレート
の彫り込み表面にソリやうねり、突起物、付着物等が存
在していた場合は、図５（ｄ）に示すように、圧電素子
に局所的な力が作用し、圧電素子にダメージを与えクラ
ックや割れを多く発生させるという問題を有していた。

【０００７】一方、ベースプレートに形成される彫り込
みは、ある決められた圧電素子の厚みと形状に対応させ
ているため、厚みや形状の異なる圧電素子には適用でき
ない。そのため、ベースプレートに汎用性が全くなく、
厚みや形状の異なる個々の圧電素子の形状に対応したベ
ースプレートを多量に所有しなければならないという問
題も有していた。

【０００８】本発明の目的は、圧電素子を一定の力で圧
電機能を付加するための補助部材に押圧させることで、
圧電素子に与えるダメージをなくしてクラックや割れを
防止し、所望の電極形状を得るとともに、少量のベース
プレートで個々の圧電素子形状に適用することのできる
圧電機能部品製造治具を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】即ち、本課題の解決手段
は、圧電素子に圧電機能を付加するための圧電機能部品
製造治具であって、圧電素子を搭載する圧電素子受け部
材が可動することを特徴とし、また、圧電素子を保持す
るための圧電素子受け部を有する圧電素子受け部材と、
圧電素子受け部に圧電素子を位置決めして保持するため
の位置決め手段と、圧電素子受け部材を保持するための
ベースプレートと、ベースプレートに圧電素子受け部材
を保持させておくための保持部材と、圧電素子受け部の
反対面に配置する押圧手段と、を備えたことを特徴と
し、さらに、押圧手段は、圧電機能を付加するための補
助部材に、圧電素子受け部材を介して圧電素子を一定の
力で押圧することを特徴とする。

【００１０】これによれば、圧電素子受け部材は圧電素
子の厚さに応じて可動し、圧電素子を一定の力で圧電機
能を付加するための補助部材に押圧することができる。
したがって、圧電素子の厚さが規格値の公差上限近くに
なった場合や、圧電素子や圧電素子受け部にソリやうね
り、突起物、付着物等が存在していた場合でも、圧電素
子受け部材は押圧手段により圧電素子に過度の力が掛か
らないように可動するため、クラックや割れを防止する
ことができる。

【００１１】また、圧電素子の厚さが規格値の公差下限
近くになった場合でも圧電素子は動き回ることもなく、
電極膜形成時においても所望の電極形状が得られる。

【００１２】さらに、ベースプレートには圧電素子の厚
さに対応した彫り込みが存在しないので、彫り込みの深
さのばらつきに起因する圧電素子のクラックや割れ、電
極形状不良の問題は発生しない。

【００１３】また、圧電素子受け部材には、圧電素子を
保持する圧電素子受け部に、圧電素子を位置決めして保
持するための凹形状、凸形状または、凹凸形状の位置決
め手段を有することを特徴とする。

【００１４】これによれば、圧電素子は、圧電素子受け
部の凹凸形状で位置決めされ保持されるので、圧電素子
受け部を上から見た形状やその面積は、個々の圧電素子
の形状や面積に必ずしも対応させる必要がない。すなわ
ち個々の圧電素子の形状に対応する位置決め手段が設け
られるように、圧電素子受け部材の形状や面積を設定す
るだけで良く、圧電素子受け部材のみを交換すること
で、個々の圧電素子の形状に対応できる。したがって、
圧電素子受け部材に対応したベースプレートと保持部材
を少量のみ所有しておくだけで、個々の圧電素子の形状
に対応可能となる。

【００１５】さらに、異なる形状の位置決め手段を有す
る圧電素子受け部材を、同じベースプレートに複数組み
合わせて組み込むことが可能となるため、少量多品種の
圧電素子に圧電機能を同時に付加することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図４を参照して本発
明に係わる実施の形態を詳細に説明する。 ［実施例１］図１は、本発明の第１の実施例を説明する
図であり、図１（ａ）は本発明の圧電機能部品製造治具
１の構造を示し、図１（ｂ）と図１（ｃ）は本発明の圧
電機能部品製造治具１の動作を説明する図である。

【００１７】図１（ａ）において、圧電機能部品製造治
具１の構造は、圧電素子受け部材７には、圧電素子受け
部５と、圧電素子８を位置決めして保持する凸形状の位
置決め手段６を設けており、この圧電素子受け部材７
は、ベースプレート２の下に配置された保持部材３と、
保持部材３と圧電素子受け部材７との間に配置した押圧
手段４と、でベースプレート２内に保持されている。こ
こで、押圧手段４には、例えば、バネ部材や曲げワッシ
ャー、シリコン系やウレタン系等の弾性を示す樹脂やゴ
ム、スポンジ等の高発泡体、クッション材、等の金属、
非金属問わず弾性を示す部材からなる。

【００１８】次に圧電機能部品製造治具１の動作を説明
する。まず、図１（ｂ）において、圧電素子８を圧電素
子受け部５に載せる。このとき、圧電素子８には中央部
に穴が設けてあるので、凸形状の位置決め手段６によっ
て圧電素子受け部５に位置決めされ保持される。

【００１９】次に、図１（ｃ）において、圧電素子８を
圧電機能を付加するための補助部材９と圧電素子受け部
材７とで挟み込むように、圧電機能を付加するための補
助部材９をベースプレート２の上に固定する。ここで、
圧電機能を付加するための補助部材９には、例えば圧電
素子８に圧電機能を付与するための電極膜形成工程で使
用する蒸着マスクやスクリーン印刷用の版であったり、
圧電素子８に圧電機能を付与するための分極工程で使用
する電気端子であったりする。

【００２０】このとき、圧電機能を付加するための補助
部材９によって圧電素子８と圧電素子受け部材７は押し
下げられると同時に、圧電素子８は圧電素子受け部材７
を介して押圧手段４によって圧電機能を付加するための
補助部材９に押圧され固定される。従って、圧電素子８
に厚みのばらつき、そりやうねり、突起物、付着物等が
存在していた場合でも、圧電素子８には過度の力が掛か
ることなく圧電機能を付加するための補助部材９に押圧
され固定されるので、圧電素子８へのダメージが無くな
り割れやクラックが防止されるばかりでなく、所望の電
極形状が必ず得られるようになった。

【００２１】図３は、圧電機能部品製造治具１に使用さ
れる圧電素子受け部材７の実施例を説明する図であり、
図３（ａ）と図３（ｂ）は圧電素子受け部材７の基本形
状を示し、図３（ｃ）〜（ｍ）は圧電素子受け部５に圧
電素子８を位置決めして保持するための位置決め手段６
の様々な形態を説明する図である。

【００２２】圧電機能部品製造治具１に使用される圧電
素子受け部材７の基本形状は、例えば、図３（ａ）と図
３（ｂ）に示すように、圧電素子８の外形形状にこだわ
らず、圧電素子受け部５の形状が丸形状または多角形状
などいずれの形状でよく、図３（ｌ）〜（ｍ）に示すよ
うに、圧電素子８を位置決めして保持するための位置決
め手段６を設けてやればよい。また、図３（ｃ）〜
（ｋ）に示すように、圧電素子８の外形形状や中央部の
穴を利用して、位置決めして保持するための位置決め手
段６は、凸形状または凹形状、または凹凸形状のいずれ
でもよい。

【００２３】次に、圧電素子８に圧電機能を付加するた
めの圧電機能部品の製造方法について説明する。まず、
圧電素子８に圧電機能を付加するための電極膜形成につ
て説明する。圧電素子８に所望の電極形状を得るため
に、圧電機能を付加するための補助部材９には蒸着マス
クを用いた。圧電機能部品製造治具１には、保持部材３
で圧電素子受け部材７と押圧手段４とが、ベースプレー
ト２にあらかじめ保持されている。

【００２４】圧電素子８を位置決め手段６で保持される
ように圧電素子受け部５に載せ、蒸着マスクである圧電
機能を付加するための補助部材９ａをベースプレート２
の上に固定する。このようにセットされた圧電機能部品
製造治具１を蒸着装置の中へセットし、圧電素子８の表
面に電極膜を形成した。

【００２５】次に、圧電機能部品製造治具１を蒸着機か
ら取り出し、蒸着マスクである圧電機能を付加するため
の補助部材９ａを外し、圧電素子８を取り出す。そし
て、電極が形成された反対側の面を上にして、再び位置
決め手段６で保持されるように圧電素子受け部５に載
せ、再び蒸着マスクである圧電機能を付加するための補
助部材９ａをベースプレート２の上に固定する。ここ
で、表裏異なる電極形状とする場合には、先ほどと形状
が異なった蒸着マスクである、圧電機能を付加するため
の補助部材９ｂをベースプレート２の上に固定してもよ
い。このようにセットされた圧電機能部品製造治具１を
再び蒸着装置の中へセットし、圧電素子８の裏面に電極
膜を形成したのち、圧電機能部品製造治具１を蒸着機か
ら取り出し、蒸着マスクである圧電機能を付加するため
の補助部材９ａを外した。ここで、圧電素子８はそのま
ま圧電素子受け部５に載せままにしておいてよい。

【００２６】次に、圧電素子８に圧電機能を付加するた
めの分極処理について説明する。圧電機能を付加するた
めの補助部材９には圧電素子に電圧が加えられるような
電気端子が備わった分極治具を用いた。圧電機能部品製
造治具１には、既に圧電素子８が圧電素子受け部５に載
せられているので、分極治具である圧電機能を付加する
ための補助部材９ｃをベースプレート２の上に固定し、
分極治具の電気端子に分極電源を接続する。このように
セットされた圧電機能部品製造治具１を加熱装置の中へ
セットして温度と電圧を付与し、圧電素子８の分極処理
を行った。その後、圧電機能部品製造治具１を加熱装置
から取り出し、電気端子に接続された分極電源を外し、
分極治具である圧電機能を付加するための補助部材９ｃ
を外し、圧電素子８を取り出す。

【００２７】このように本発明の圧電機能部品製造治具
１で圧電機能を付加するための電極膜形成と分極処理を
行った圧電素子８は圧電機能部品となり、圧電アクチュ
エータ、圧電ブザー、圧電スピーカ、圧電センサ、圧電
トランス、圧電フィルタ等、圧電効果を利用する製品に
応用できる。

【００２８】［実施例２］図２は、本発明の第２の実施
例を説明する図であり、図２（ａ）は本発明の圧電機能
部品製造治具１１の構造を示し、図２（ｂ）と図２
（ｃ）は本発明の圧電機能部品製造治具１１の動作を説
明する図である。

【００２９】図２（ａ）において、圧電機能部品製造治
具１１の構造は、圧電素子受け部材１７には、圧電素子
受け部１５と、圧電素子１８を位置決めして保持する凸
形状の位置決め手段１６を設けており、この圧電素子受
け部材１７は、ベースプレート１２の上に配置された保
持部材１３と、ベースプレート１２と圧電素子受け部材
１７との間に配置した押圧手段１４と、でベースプレー
ト１２内に保持されている。ここで、押圧手段１４に
は、例えば、バネ部材や曲げワッシャー、シリコン系や
ウレタン系等の弾性を示す樹脂やゴム、スポンジ等の高
発泡体、クッション材、等の金属、非金属問わず弾性を
示す部材からなる。

【００３０】次に圧電機能部品製造治具１１の動作を説
明する。まず、図２（ｂ）において、圧電素子８を圧電
素子受け部１５に載せる。このとき、圧電素子１８には
中央部に穴が設けてあるので、凸形状の位置決め手段１
６によって圧電素子受け部１５に位置決めされ保持され
る。

【００３１】ここで圧電素子受け部材１７は、実施例１
と同様に、圧電素子１８の外形形状にこだわらず、圧電
素子受け部１５の形状が丸形状または多角形状などいず
れの形状をしていてもよい。また、圧電素子１８の外形
形状や中央部の穴を利用して、位置決めして保持するた
めの位置決め手段１６は、凸形状または凹形状、または
凹凸形状のいずれでもよい。

【００３２】次に、図２（ｃ）において、圧電素子１８
を圧電機能を付加するための補助部材１９と圧電素子受
け部材１７とで挟み込むように、圧電機能を付加するた
めの補助部材１９を保持部材１３の上に固定する。ここ
で、圧電機能を付加するための補助部材１９には、例え
ば圧電素子１８に圧電機能を付与するための電極膜形成
工程で使用する蒸着マスクやスクリーン印刷用の版であ
ったり、圧電素子１８に圧電機能を付与するための分極
工程で使用する電気端子であったりする。

【００３３】このとき、圧電機能を付加するための補助
部材１９によって圧電素子１８と圧電素子受け部材１７
は押し下げられると同時に、圧電素子１８は圧電素子受
け部材１７を介して押圧手段１４によって圧電機能を付
加するための補助部材１９に押圧され固定される。従っ
て、圧電素子１８に厚みのばらつき、そりやうねり、突
起物、付着物等が存在していた場合でも、圧電素子１８
には過度の力が掛かることなく圧電機能を付加するため
の補助部材１９に押圧され固定されるので、圧電素子１
８へのダメージが無くなり割れやクラックが防止される
ばかりでなく、所望の電極形状が必ず得られるようにな
った。

【００３４】圧電素子１８に圧電機能を付加するための
圧電機能部品の製造方法は、本発明の第１の実施例と同
様に行ったので、ここでの説明は省略する。このように
本発明の圧電機能部品製造治具１１で圧電機能を付加す
るための電極膜形成と分極処理を行った圧電素子１８は
圧電機能部品となり、圧電アクチュエータ、圧電ブザ
ー、圧電スピーカ、圧電センサ、圧電トランス、圧電フ
ィルタ等、圧電効果を利用する製品に応用できる。

【００３５】［実施例３］図４は、本発明の第３の実施
例を説明する図であり、図４（ａ）は、形状の異なる位
置決め手段２６を有する圧電素子受け部材２７を複数組
み合わせてベースプレート２２に組み込んだ状態の圧電
機能部品製造治具２１の外観を示し、図４（ｂ）は、圧
電素子２８と圧電機能を付加するための補助部材２９を
セットした状態の圧電機能部品製造治具２１の断面図を
示す。

【００３６】図４（ａ）において、圧電素子受け部材２
７の圧電素子受け部２５の形状は丸形状を用い、ベース
プレート２２には圧電素子受け部２５の丸形状に対応し
た形状が加工されている。それぞれ、図３（ｅ）のよう
に円盤状の圧電素子２８ａの外周を保持するような位置
決め手段２６ａが設けてあるものと、図３（ｃ）のよう
に円盤状の圧電素子２８ｂの中央部の穴を保持するよう
な位置決め手段２６ｂが設けてあるものと、図３（ｌ）
のような多角形上の圧電素子２８ｃの外周を保持するよ
うな位置決め手段２６ｃが設けてあるものと、を有する
圧電素子受け部材２７を押圧手段２４とともに、保持部
材２３でベースプレート２２に組み込んだ。ここで、ベ
ースプレートに２２組み込む圧電素子受け部材２７の位
置決め手段２６は、上記の組合せに限ることなく、どの
様な組合せでもよい。

【００３７】次に、図４（ｂ）において、大きさ、形
状、厚さの異なる圧電素子２８を、それぞれ対応した位
置決め手段２６を設けた圧電素子受け部２５にセット
し、さらに、圧電機能を付加するための補助部材２９を
ベースプレート２２の上に固定する。このとき、圧電機
能を付加するための補助部材２９によって圧電素子２８
と圧電素子受け部材２７は押し下げられると同時に、圧
電素子２８は圧電素子受け部材２７を介して押圧手段２
４によって圧電機能を付加するための補助部材２９に押
圧され固定される。従って、様々な形状や厚みの圧電素
子２８には過度の力が掛かることなく圧電機能を付加す
るための補助部材２９に押圧され固定されるので、圧電
素子２８へのダメージが無くなり割れやクラックが防止
されるばかりでなく、少量多品種の圧電素子に圧電機能
を同時に付加することができた。

【００３８】圧電素子２８に圧電機能を付加するための
圧電機能部品の製造方法は、本発明の第１の実施例と同
様に行ったので、ここでの説明は省略する。このように
本発明の圧電機能部品製造治具２１で圧電機能を付加す
るための電極膜形成と分極処理を行った圧電素子２８は
圧電機能部品となり、圧電アクチュエータ、圧電ブザ
ー、圧電スピーカ、圧電センサ、圧電トランス、圧電フ
ィルタ等、圧電効果を利用する製品に応用できる。

【００３９】また、圧電素子受け部材２７の圧電素子受
け部２５の形状は多角形状を用いる場合は、ベースプレ
ート２２には圧電素子受け部２５の多角形状に対応した
形状に加工したものを用い、それぞれ様々な位置決め手
段２６を有した圧電素子受け部材２７をベースプレート
２２組み込んでもよい。

【００４０】

【発明の効果】以上の説明から明らかのように、圧電素
子を搭載する圧電素子受け部材を可動とし、圧電素子を
圧電機能を付加するための補助部材に、圧電素子受け部
材を介して一定の力で押圧するようにしたので、圧電素
子の厚みばらつき、そりやうねり、突起物、付着物等が
存在していた場合でも、圧電素子へのダメージが無くな
り割れやクラックが防止され、かつ、所望の電極形状が
必ず得られるようになる。

【００４１】また、異なる形状の位置決め手段を有する
圧電素子受け部材を、同じベースプレートに複数組み合
わせて組み込むことを可能にしたので、少量のベースプ
レートで少量多品種の圧電素子に圧電機能を同時に付加
できるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を説明する図であり、図
１（ａ）は本発明の圧電機能部品製造治具の構造を示
し、図１（ｂ）と図１（ｃ）は本発明の圧電機能部品製
造治具の動作を説明する図である。

【図２】本発明の第２の実施例を説明する図であり、図
２（ａ）は本発明の圧電機能部品製造治具の構造を示
し、図２（ｂ）と図２（ｃ）は本発明の圧電機能部品製
造治具の動作を説明する図である。

【図３】圧電機能部品製造治具に使用される圧電素子受
け部材の実施例を説明する図であり、図３（ａ）と図３
（ｂ）は圧電素子受け部材の基本形状を示し、図３
（ｃ）〜（ｌ）は圧電素子受け部に圧電素子を位置決め
して保持するための位置決め手段の様々な形態を説明す
る図である。

【図４】本発明の第３の実施例を説明する図であり、図
４（ａ）は、形状の異なる位置決め手段を有する圧電素
子受け部材を複数組み合わせてベースプレートに組み込
んだ状態の圧電機能部品製造治具の外観を示し、図４
（ｂ）は、圧電素子と圧電機能を付加するための補助部
材をセットした状態の圧電機能部品製造治具の断面図を
示す。

【図５】従来技術の圧電機能部品製造治具を説明する図
であり、図５（ａ）は従来技術の圧電機能部品製造治具
の構造を示し、図５（ｂ）〜（ｄ）は従来技術の圧電機
能部品製造治具の課題を説明する図である。

【図６】従来技術の圧電機能部品製造治具を説明する図
であり、図６（ａ）〜（ｂ）はベースプレートに圧電素
子の形状に対応した彫り込みを幾つも形成したことを説
明する図である。

【符号の説明】

１，１１，２１，１０１ 圧電機能部品製造治具 ２，１２，２２，１０２ ベースプレート ３，１３，２３ 保持部材 ４，１４，２４ 押圧手段 ５，１５，２５ 圧電素子受け部 ６，１６，２６ 位置決め手段 ７，１７，２７ 圧電素子受け部材 ８，１８，２８，１０８ 圧電素子 ９，１９，２９，１０９ 圧電機能を付加するための補
助部材 １１０ 彫り込み １１１ 付着物

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電素子に圧電機能を付加するための圧
   電機能部品製造治具であって、圧電素子を搭載する圧電
   素子受け部材が可動することを特徴とする圧電機能部品
   製造治具。
2. 【請求項２】 圧電素子に圧電機能を付加するための圧
   電機能部品製造治具であって、圧電素子を保持するため
   の圧電素子受け部を有する圧電素子受け部材と、圧電素
   子受け部に圧電素子を位置決めして保持するための位置
   決め手段と、圧電素子受け部材を保持するためのベース
   プレートと、ベースプレートに圧電素子受け部材を保持
   させておくための保持部材と、圧電素子受け部の反対面
   に配置する押圧手段と、を備えたことを特徴とする圧電
   機能部品製造治具。
3. 【請求項３】 前記押圧手段は、圧電素子受け部材と保
   持部材との間に配置し、ベースプレートの上に固定され
   る圧電機能を付加するための補助部材に、圧電素子受け
   部材を介して圧電素子を一定の力で押圧することを特徴
   とする請求項２記載の圧電機能部品製造治具。
4. 【請求項４】 前記押圧手段は、圧電素子受け部材とベ
   ースプレートとの間に配置し、保持部材上に固定される
   圧電機能を付加するための補助部材に、圧電素子受け部
   材を介して圧電素子を一定の力で押圧することを特徴と
   する請求項２記載の圧電機能部品製造治具。
5. 【請求項５】 前記位置決め手段は、圧電素子を位置決
   めして保持するための凹形状であることを特徴とする請
   求項２から４記載の圧電機能部品製造治具。
6. 【請求項６】 前記位置決め手段は、圧電素子を位置決
   めして保持するための凸形状であることを特徴とする請
   求項２から４記載の圧電機能部品製造治具。
7. 【請求項７】 前記位置決め手段は、圧電素子を位置決
   めして保持するための凹凸形状であることを特徴とする
   請求項２から４記載の圧電機能部品製造治具。
8. 【請求項８】 圧電素子に圧電機能を付加するための圧
   電機能部品製造方法であって、請求項１から７のいずれ
   かに記載の圧電機能部品製造治具で、圧電機能を付加す
   るための電極膜形成および分極処理を行うことを特徴と
   する圧電機能部品製造方法。