JP2001305031A - 加熱濃縮装置 - Google Patents

加熱濃縮装置

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JP2001305031A JP2000118928A JP2000118928A JP2001305031A JP 2001305031 A JP2001305031 A JP 2001305031A JP 2000118928 A JP2000118928 A JP 2000118928A JP 2000118928 A JP2000118928 A JP 2000118928A JP 2001305031 A JP2001305031 A JP 2001305031A
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Akira Egawa
暁 江川
Mari Kametani
真理 亀谷
Tomohiro Kawakita
智博 河北
Akiko Umeka
明子 梅香
Masahide Kawamura
政英 川村
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Organo Corp
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Organo Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の加熱濃縮装置は微量成分を含む超純水
Lを微量分析可能な濃度まで加熱濃縮するのに長時間掛
かる。しかも加熱濃縮する間に超純水Lが周囲から汚染
される虞がある。 【解決手段】 本発明の加熱濃縮装置10は、超純水L
の入ったビーカ−Bを収納する凹陥部11Aが形成され
たアルミブロック11と、このアルミブロック11内に
埋設され且つ凹陥部11Aと接触するビーカ−Bを囲む
位置に配置されたコイルヒータ12とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、加熱濃縮装置に関
し、更に詳しくは、例えば化学分析における前処理とし
て試料液を所定濃度まで加熱、濃縮する際に使用する加
熱濃縮装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、試料液中に含まれる微量成分の
濃度が極めて低く、そのままの濃度では定量分析等の化
学分析ができないことがある。このような微量成分の化
学分析を行う場合には、化学分析の前処理として試料液
を加熱、濃縮し、微量成分を分析可能な所定の濃度まで
濃縮する操作が行われている。濃縮操作は試料液の周囲
からの汚染を防止するためにJIS K 0053の規定
に則って例えば図3に示す加熱濃縮装置を用いてクリー
ンルーム内で行われる。
【0003】而して、図3に示す加熱濃縮装置は、試料
液Lを加熱する加熱板1と、加熱板1を加熱するための
発熱体が内蔵された装置本体2と、装置本体2に取り付
けられた温度設定ダイヤル3とを有している。試料液と
して例えば超純水Lを濃縮する場合には、石英製または
四フッ化エチレン樹脂製のビーカー4内に所定量(例え
ば200〜250ml)の超純水Lを満たした後、ビー
カー4を加熱板1上に載置し、加熱板1上で超純水Lが
沸騰しない程度(例えば90〜95℃)まで超純水Lを
加熱し濃縮する。この際、必要に応じて途中で一定量の
超純水Lを複数回に分けて加え、微量分析等で有効な濃
度まで濃縮する。
【0004】しかしながら、この加熱濃縮装置ではビー
カー4の底面のみから加熱するため、加熱効率が悪くし
かもビーカー4の周面からの放熱があるため、所定の濃
度まで濃縮するには極めて長い時間を要する。このよう
にビーカー4からの放熱等によるエネルギーロスが大き
いため、加熱板1を300℃程度の高温に設定にしなけ
れば超純水Lを90〜95℃まで加熱することができな
い。この操作をドラフト内で行うとその時の高熱でドラ
フトの壁面等に用いられている塩化ビニール樹脂等の合
成樹脂が高熱による損傷を受ける虞すらある。しかも、
加熱容量が200〜250ml程度と少ないため、所定
の濃度を得るまでに超純水Lを複数回に亘って追加しな
くてはならないこともある。大容量のビーカー4を使用
すれば途中で超純水Lを追加しなくても済むが、大容量
のビーカー4は放熱量も大きいため90〜95℃の高温
まで加熱することが難しく、濃縮時間が益々長時間に及
ぶことになり現実的ではない。また、加熱板1の設定温
度を変更する必要が生じた場合にはオペレータがダイヤ
ル3を直接操作しなくてはならないが、オペレータ自身
が汚染源になる虞があるため、濃縮途中の設定温度の変
更は難しい状況にある。
【0005】また、JIS K 0053を発展させた手
法として、例えば図4に示すようにアルミニウム製等の
金属製ブロック5を用いて加熱濃縮する方法がある。こ
の金属製ブロック5は同図に示すように凹陥部5Aを有
し、凹陥部5A内にビーカー4を収納して超純水Lを加
熱するようにしている。この場合には凹陥部5A内でビ
ーカー4を底面及び周面から均一に加熱することがで
き、しかもビーカー4周面からの放熱がないため、超純
水Lを効率良く加熱濃縮することができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、金属製
ブロック5を介して行われる加熱濃縮方法は、ビーカー
4を均一に加熱することができるものの、金属製ブロッ
ク5自体の加熱にかなりの時間を要するため、結果的に
は超純水等の試料液の濃縮に長時間を要するという課題
があった。また、金属製ブロック5自体が試料液の汚染
源になることもある。更に、金属製ブロック5を用いる
場合にも前述の濃縮加熱装置を使用するため、加熱板1
の設定温度を変更することが難しいという問題もある。
【0007】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、微量成分を含有する試料液を効率良く加熱
して濃縮時間を短縮することができると共に一度に加熱
できる容量を増やすことができ濃縮途中で試料液を追加
しなくても済む加熱濃縮装置を提供することを目的とし
ている。また、加熱濃縮装置自体からの汚染を極力排除
した加熱濃縮装置を併せて提供することを目的としてい
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に記載
の加熱濃縮装置は、所定濃度に満たない微量成分を含有
する試料液を入れた容器を加熱し、上記試料液内の微量
成分を所定濃度まで濃縮するためにクリーンルーム内で
使用される加熱濃縮装置において、上記容器を収納する
凹陥部が形成された金属製ブロックと、この金属製ブロ
ック内に埋設され且つ上記凹陥部の周囲に配置された発
熱体とを備えたことを特徴とするものである。
【0009】また、本発明の請求項2に記載の加熱濃縮
装置は、請求項1に記載の発明において、少なくとも上
記凹陥部を耐熱性樹脂により被覆したことを特徴とする
ものである。
【0010】また、本発明の請求項3に記載の加熱濃縮
装置は、請求項1または請求項2に記載の発明におい
て、上記金属製ブロック内に冷却手段を設けたことを特
徴とするものである。
【0011】また、本発明の請求項4に記載の加熱濃縮
装置は、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の発
明において、上記発熱体を遠隔操作する温度制御装置を
設けたことを特徴とするものである。
【0012】また、本発明の請求項5に記載の加熱濃縮
装置は、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の発
明において、上記試料液が超純水または純水であること
を特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図1及び図2に示す実施形
態に基づいて本発明を説明する。尚、図1は本発明の加
熱濃縮装置の一実施形態の一部を破断して示す斜視図、
図2は本発明の加熱濃縮装置の他の実施形態を示す側面
図である。
【0014】本実施形態の加熱濃縮装置10は、例えば
図1に示すように、微量成分(例えば、ng/Lの濃度
レベルの微量成分)を含む超純水あるいは純水等の試料
液Lの入った容器(ビーカー)Bを収納する矩形状のア
ルミニウム製のブロック(以下、単に「アルミブロッ
ク」と称する。)11と、このアルミブロック11内に
埋設された発熱体(例えばコイルヒータ)12と、この
コイルヒータ12にコネクタ(図示せず)及びケーブル
13を介して接続された温度コントローラ14とを備
え、温度コントローラ14を介してアルミブロック11
の温度を遠隔操作し、オペレータ自身が汚染源にならな
いようにしてある。この加熱濃縮装置10は例えば清浄
度クラス1000程度のクリーンルーム内で使用され
る。
【0015】上記アルミブロック11の中央には凹陥部
11Aが形成され、この凹陥部11A内にビーカーBを
収納するようにしてある。ビーカーBは例えば四フッ化
エチレン樹脂または石英によって形成されている。そし
て、凹陥部11AはビーカーBの底面及び周面が凹陥部
11Aと接触し、ビーカーBの開口端が多少突出する大
きさに形成されている。また、ビーカーBは、その底部
に濃縮水を効率良く集めるためにも四フッ化エチレン樹
脂製等の撥水性や平滑性に優れた材料によって形成され
ていることが好ましい。
【0016】上記コイルヒータ12は凹陥部11Aの底
面及び周面に沿って配置され、凹陥部11A内のビーカ
ーBを底面及び周面の間近から均一に加熱するようにし
てある。このように凹陥部11A内のビーカーBを底面
及び周面の間近から均一に加熱するため、従来と比較し
てエネルギーロスが極めて少なくなり、従来よりも低い
設定温度(例えば、180℃前後)でもビーカーBを加
熱濃縮に必要な温度(例えば、95℃)まで短時間で加
熱することができ、しかも試料液Lを途中で追加しなく
て済む容量(例えば、1000ml程度)まで試料液L
を増量することができる。また、図1には図示してない
が、アルミブロック11には例えば熱電対等の温度セン
サが設けられ、温度センサによる検出信号を温度コント
ローラ14へ出力するようにしてある。温度コントロー
ラ14は温度センサからの検出信号に基づいてコイルヒ
ータ12の発熱量を増減させてアルミブロック11の設
定温度を制御している。尚、アルミブロック11の設定
温度と超純水Lの加熱温度の関係を予め求めておけばア
ルミブロック11の設定温度に基づいて超純水Lの温度
を適宜設定することができる。
【0017】上記アルミブロック11は全面が図1の
(b)に示すように四フッ化エチレン樹脂15によって
隈無く被覆され、アルミブロック11自体が汚染源にな
らないようになっている。例えば、クリーンルームの窓
枠や空調機等にアルミニウム素材が用いられていると、
試料液L中の微量成分として含まれているアルミニウム
を分析する場合に、分析の再現性が低下するとの報告も
あるため(分析信頼性実務者レベル講習会:第3回水中
の微量金属成分分析、1999年10月19日〜200
0年1月18日、(社)日本分析化学会主催)、クリー
ンルーム内にアルミニウム等の金属素材の使用を避け、
塩化ビニール樹脂等の合成樹脂を使用することが好まし
い。アルミブロック11に起因した極僅かなアルミニウ
ムが試料液L中に混入しないようにするためにアルミブ
ロック11全面を四フッ化エチレン樹脂15で被覆する
ことが好ましいが、四フッ化エチレン樹脂15は少なく
とも温度が最も高くなる領域である凹陥部11Aを被覆
してあれば良い場合もある。
【0018】また、上記アルミブロック11内には冷媒
の流路11Bが形成され、この流路11B内を流れる冷
媒(例えば、冷却水)を介してアルミブロック11を冷
却するようにしてある。例えば、ビーカーB内の試料液
Lを所定の濃度まで濃縮した後、常温まで冷却する場合
に流路11Bに冷却水を流すことにより試料液Lを短時
間で冷却することができる。冷却水も温度コントローラ
14によって管理するようにしてある。
【0019】上記温度コントローラ14には温度設定用
ダイヤル14Aが取り付けられ、温度設定用ダイヤル1
4Aによって試料液Lの温度を設定する。温度設定用ダ
イヤル14Aの隣には温度表示部14Bが配置され、温
度表示部14Bには温度センサによる検出温度を表示す
る。
【0020】また、図2に示す加熱濃縮装置20は、逆
円錐台形状のビーカーB’を使用する場合に用いられ
る。この加熱濃縮装置20は、図2に示すように、アル
ミブロック21に逆円錐台形状の凹陥部21Aが形成さ
れている以外は全て図1に示す加熱濃縮装置10に準じ
て構成されている。ビーカーB’が逆円錐台形状に形成
されているため、少ない試料液でも底部に効率良く集め
ることができる。尚、図2において、26は温度コント
ローラ(図示せず)と接続するためのコネクタ部であ
る。
【0021】次に、加熱濃縮装置10を用いて試料液L
を加熱濃縮する場合について説明する。まず、オペレー
タ自身が汚染源にならないようにクリーンウエアを着用
し、マスクは勿論のこと、内側にクリーン手袋、外側に
ビニール製手袋を付けて手袋を二重にし、作業前に超純
水で十分に手袋を洗浄する。また、試料液Lを入れるビ
ーカーBを超純水で十分に洗浄して付着した汚染源を確
実に除去すると共に、超純水をビーカーBの使用温度ま
で加熱してビーカーB自体から溶出する不純物をも確実
に除去する。
【0022】その後、ビーカーB内に試料液(例えば、
超純水)Lを入れ、クリーンドラフト内に設置されたア
ルミブロック11の凹陥部11A内にビーカーBを収納
する。次いで、クリーンドラフトから遠く離れた位置か
ら温度コントローラ14を介して超純水Lの加熱温度を
設定する。例えば、超純水Lを95℃に設定する場合に
はアルミブロック11を180℃に設定する。この状態
で超純水Lを加熱して蒸発させて微量成分を所定の濃度
まで濃縮すれば、温度コントローラ14を介してコイル
ヒータ12を電源を切る。この際、アルミブロック11
の流路11Bに冷却水を流すことによって超純水Lを短
時間で常温まで戻すことができる。
【0023】以上説明したように本実施形態によれば、
ビーカーBを収納する凹陥部11Aが形成されたアルミ
ブロック11と、このアルミブロック11内に埋設され
且つ凹陥部11Aと接触するビーカーBを囲む位置に配
置されたコイルヒータ12とを備えているため、加熱効
率が格段に高まり、従来の加熱板の設定温度(例えば、
300℃)よりも格段に低いアルミブロック11の設定
温度(例えば、180℃)で超純水Lを所定の温度(例
えば、95℃)まで加熱することができると共に加熱濃
縮時間を格段に短縮することができる。しかも、一度に
加熱できる超純水Lの容量を格段に増量することがで
き、濃縮途中でオペレータが超純水Lを追加する必要が
なく、オペレータに起因する汚染を格段に抑制すること
ができる。また、加熱濃縮時間を短縮できるため、超純
水Lの周囲からの汚染をより確実に防止することができ
る。
【0024】また、本実施形態によれば、アルミブロッ
ク11の少なくとも凹陥部11Aを四フッ化エチレン樹
脂15により被覆したため、アルミブロック11自体が
超純水Lの汚染源になることはない。また、四フッ化エ
チレン樹脂15でアルミブロック11を被覆してもその
耐熱温度範囲(300〜220℃)内でアルミブロック
11を設定温度することができるため、四フッ化エチレ
ン樹脂層15が劣化することがなく、長時間に亘って四
フッ化エチレン樹脂15による被覆効果を持続すること
ができる。また、アルミブロック11内に冷却水を流す
流路11Bを設けたため、加熱濃縮後の超純水Lを短時
間で常温に戻すことができ、超純水Lの周囲からの汚染
をより一層防止することができる。更に、コイルヒータ
12の発熱量を遠隔操作する温度コントローラ14を設
けたため、アルミブロック11の設定温度を自由に変更
することができ、加熱濃縮装置10の使い勝手が格段に
向上する。
【0025】[試験例]本試験例では下記表1の各金属
イオンを超純水中に溶かし、1.0ng/Lの試料液を
調製した。次いで、図1に示す加熱濃縮装置10を用い
て各試料液の金属イオン濃度が100倍になるまで12
時間で濃縮し、それぞれの濃度を測定し、それぞれの結
果を下記表1に示した。表1に示す結果によれば、それ
ぞれの濃度の平均値が0.92〜1.16ng/Lの範
囲で、標準偏差が0.08〜0.11ng/Lの精度で
測定することができ、本実施形態の加熱濃縮装置10は
殆ど汚染されることなく短時間で加熱濃縮できることが
判った。
【0026】
【表1】
【0027】尚、本発明は上記各実施形態に何等制限さ
れるものではなく、必要に応じて各構成要素を設計変更
することができる。例えば、上記各実施形態では金属製
ブロックとしてアルミニウムを用いた場合について説明
したが、金属製ブロックの材料としては例えばステンレ
ス等の耐食性のある金属であれば適宜使用することがで
きる。また、アルミブロックの被覆材料として四フッ化
エチレン樹脂を用いた場合について説明したが、被覆材
料としては耐熱性に優れた樹脂であれば適宜使用するこ
とができる。また、金属製ブロック内に断熱材を組み込
み、加熱効率をより高めることができる。
【0028】
【発明の効果】本発明の請求項1に記載の発明によれ
ば、微量成分を含有する試料液を効率良く加熱して濃縮
時間を短縮することができると共に一度に加熱できる容
量を増やすことができ濃縮途中で試料液を追加しなくて
も済む加熱濃縮装置を提供することができる。
【0029】また、本発明の請求項2に記載の発明によ
れば、請求項1に記載の発明において、加熱濃縮装置自
体からの汚染を極力排除した加熱濃縮装置を提供するこ
とができる。
【0030】また、本発明の請求項3及び4に記載の発
明によれば、請求項1または請求項2に記載の発明にお
いて、濃縮後の試料液を加熱温度から常温に短時間で戻
すことができ、試料液の周囲からの汚染をより一層防止
することができる加熱濃縮装置を提供することができ
る。
【0031】また、本発明の請求項4に記載の発明によ
れば、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の発明
において、オペレータからの汚染を防止することができ
る加熱濃縮装置を提供することができる。
【0032】また、本発明の請求項5に記載の発明によ
れば、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の発明
において、超純水または純水を加熱濃縮する時に超純水
または純水の汚染を最大限に防止することができる加熱
濃縮装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の加熱濃縮装置の一実施形態の一部を破
断して示す斜視図である。
【図2】本発明の加熱濃縮装置の他の実施形態を示す側
面図である。
【図3】従来の加熱濃縮装置を用いて加熱濃縮する一例
を示す正面図である。
【図4】従来の加熱濃縮装置を用いて加熱濃縮する他の
例を示す正面図である。
【符号の説明】
10 加熱濃縮装置 11 アルミブロック(金属製ブロック) 11A 凹陥部 11B 流路(冷却手段) 12 コイルヒータ(発熱体) 14 温度コントローラ(温度制御装置) 15 四フッ化エチレン樹脂(耐熱性樹脂) L 試料液(超純水等)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 亀谷 真理 東京都江東区新砂1丁目2番8号 オルガ ノ株式会社内 (72)発明者 河北 智博 東京都江東区新砂1丁目2番8号 オルガ ノ株式会社内 (72)発明者 梅香 明子 東京都江東区新砂1丁目2番8号 オルガ ノ株式会社内 (72)発明者 川村 政英 東京都中野区本町5丁目10番5号 ジャス ト株式会社内 Fターム(参考) 2G042 AA01 EA02 GA01 4G057 AD01

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定濃度に満たない微量成分を含有する
    試料液を入れた容器を加熱し、上記試料液の微量成分を
    所定濃度まで濃縮するためにクリーンルーム内で使用さ
    れる加熱濃縮装置において、上記容器を収納する凹陥部
    が形成された金属製ブロックと、この金属製ブロック内
    に埋設され且つ上記凹陥部の周囲に配置された発熱体と
    を備えたことを特徴とする加熱濃縮装置。
  2. 【請求項2】 少なくとも上記凹陥部を耐熱性樹脂によ
    り被覆したことを特徴とする請求項1に記載の加熱濃縮
    装置。
  3. 【請求項3】 上記金属製ブロック内に冷却手段を設け
    たことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の加
    熱濃縮装置。
  4. 【請求項4】 上記発熱体を遠隔操作する温度制御装置
    を設けたことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれ
    か1項に記載の加熱濃縮装置。
  5. 【請求項5】 上記試料液が超純水または純水であるこ
    とを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記
    載の加熱濃縮装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012181092A (ja) * 2011-03-01 2012-09-20 Taiyo Nippon Sanso Corp 加熱濃縮装置、及び加熱濃縮方法
CN103373732A (zh) * 2012-04-16 2013-10-30 浙江晟辉科技有限公司 一种硅料去金属杂质装置
JP2020201159A (ja) * 2019-06-11 2020-12-17 キヤノンメディカルシステムズ株式会社 自動分析装置
JP2021081271A (ja) * 2019-11-18 2021-05-27 株式会社住化分析センター 分析用容器、分析方法、および分析用キット
JPWO2022124260A1 (ja) * 2020-12-07 2022-06-16

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012181092A (ja) * 2011-03-01 2012-09-20 Taiyo Nippon Sanso Corp 加熱濃縮装置、及び加熱濃縮方法
CN103373732A (zh) * 2012-04-16 2013-10-30 浙江晟辉科技有限公司 一种硅料去金属杂质装置
JP2020201159A (ja) * 2019-06-11 2020-12-17 キヤノンメディカルシステムズ株式会社 自動分析装置
JP7309467B2 (ja) 2019-06-11 2023-07-18 キヤノンメディカルシステムズ株式会社 自動分析装置
JP2021081271A (ja) * 2019-11-18 2021-05-27 株式会社住化分析センター 分析用容器、分析方法、および分析用キット
JP7350632B2 (ja) 2019-11-18 2023-09-26 株式会社住化分析センター 分析方法、および分析用キット
JPWO2022124260A1 (ja) * 2020-12-07 2022-06-16
WO2022124260A1 (ja) * 2020-12-07 2022-06-16 株式会社日立ハイテク 蒸発濃縮機構、これを備えた分析装置、および、蒸発濃縮機構の制御方法
JP7456004B2 (ja) 2020-12-07 2024-03-26 株式会社日立ハイテク 蒸発濃縮機構、これを備えた分析装置、および、蒸発濃縮機構の制御方法

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