JP2001300837A - ウェーハのノッチの研摩方法及び装置 - Google Patents
ウェーハのノッチの研摩方法及び装置Info
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- JP2001300837A JP2001300837A JP2000122965A JP2000122965A JP2001300837A JP 2001300837 A JP2001300837 A JP 2001300837A JP 2000122965 A JP2000122965 A JP 2000122965A JP 2000122965 A JP2000122965 A JP 2000122965A JP 2001300837 A JP2001300837 A JP 2001300837A
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】前工程の研削によりウェーハのノッチの面取り
面に形成された条痕等の傷を取り除き、ノッチの上側及
び下側の面取り面、端面を、極めて均一で表面粗さの小
さい連続的な世界最高水準の鏡面（表面粗さ２００オン
グストローム）に研摩することができるようにする。 【解決手段】ウェーハ１の面１ｅと垂直な方向に回転し
該ウェーハ１のノッチ１ａの最深部１ｄにまで余裕をも
って入り込むことができる程度に薄く形成されかつ研摩
剤を含有するゴムホイール８を、ウェーハ１の面１ｅ方
向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、かつ常に
ノッチ１ａとの接触状態を維持しながらノッチ１ａの上
側及び下側の面取り面１ｂ，１ｆを研摩した後、ゴムホ
イール８を同様にトラバースさせながらノッチ１ａの上
側及び下側の面取り面１ｂ，１ｆから端面１ｇに沿って
夫々移動させて該面取り面１ｂ，１ｆ及び該端面１ｇを
連続的に研摩することを特徴とする。
面に形成された条痕等の傷を取り除き、ノッチの上側及
び下側の面取り面、端面を、極めて均一で表面粗さの小
さい連続的な世界最高水準の鏡面（表面粗さ２００オン
グストローム）に研摩することができるようにする。 【解決手段】ウェーハ１の面１ｅと垂直な方向に回転し
該ウェーハ１のノッチ１ａの最深部１ｄにまで余裕をも
って入り込むことができる程度に薄く形成されかつ研摩
剤を含有するゴムホイール８を、ウェーハ１の面１ｅ方
向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、かつ常に
ノッチ１ａとの接触状態を維持しながらノッチ１ａの上
側及び下側の面取り面１ｂ，１ｆを研摩した後、ゴムホ
イール８を同様にトラバースさせながらノッチ１ａの上
側及び下側の面取り面１ｂ，１ｆから端面１ｇに沿って
夫々移動させて該面取り面１ｂ，１ｆ及び該端面１ｇを
連続的に研摩することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハのノッチ
の研摩方法及び装置に係り、特に研摩剤を含んだ１つの
薄いゴムホイール（ＲＢＷ＝Ｒｕｂｂｅｒ Ｂｏｎｄｅ
ｄ Ｗｈｅｅｌ）を適切に移動させながら研摩を行うこ
とで、前工程の研削によりウェーハのノッチの面取り面
に形成された条痕等の傷を取り除くことができ、またノ
ッチの上側及び下側の面取り面、端面、該端面と上側及
び下側の面取り面との間の夫々の角部を、極めて均一で
表面粗さの小さい連続的な世界最高水準の鏡面に研摩す
ることができるようにし、ウェーハの品質を著しく高め
ることを可能とする画期的なウェーハのノッチの研摩方
法及び装置に関する。
の研摩方法及び装置に係り、特に研摩剤を含んだ１つの
薄いゴムホイール（ＲＢＷ＝Ｒｕｂｂｅｒ Ｂｏｎｄｅ
ｄ Ｗｈｅｅｌ）を適切に移動させながら研摩を行うこ
とで、前工程の研削によりウェーハのノッチの面取り面
に形成された条痕等の傷を取り除くことができ、またノ
ッチの上側及び下側の面取り面、端面、該端面と上側及
び下側の面取り面との間の夫々の角部を、極めて均一で
表面粗さの小さい連続的な世界最高水準の鏡面に研摩す
ることができるようにし、ウェーハの品質を著しく高め
ることを可能とする画期的なウェーハのノッチの研摩方
法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコンウェーハには、シリコンの結晶
軸の方向を示す目印として、直線上にカットされたＯＦ
（オリエンテーションフラット）又はＶ溝状に切り欠か
れたノッチが形成されている。該ノッチは、主に直径２
００ｍｍφ以上のシリコンウェーハに形成され、ウェー
ハの外周のエッジと同様に、面取り研削及び研摩がなさ
れて鏡面に仕上げられるようになっている。
軸の方向を示す目印として、直線上にカットされたＯＦ
（オリエンテーションフラット）又はＶ溝状に切り欠か
れたノッチが形成されている。該ノッチは、主に直径２
００ｍｍφ以上のシリコンウェーハに形成され、ウェー
ハの外周のエッジと同様に、面取り研削及び研摩がなさ
れて鏡面に仕上げられるようになっている。
【０００３】ノッチの研削は、直径の小さなメタルボン
ドホイールで例えば上側の面取り面、端面及び下側の面
取り面が夫々形成されるように行うが、この際に砥粒の
摩耗や脱落により、図１４に示すように、ウェーハ１の
ノッチ１ａの上側の面取り面１ｂに不良箇所である、例
えば条痕１ｃが形成されてしまうことがあり、また多量
のウェーハ１を生産すると、この条痕１ｃの大きさや位
置が経時的に変化してしまい、対応が非常に難しかっ
た。
ドホイールで例えば上側の面取り面、端面及び下側の面
取り面が夫々形成されるように行うが、この際に砥粒の
摩耗や脱落により、図１４に示すように、ウェーハ１の
ノッチ１ａの上側の面取り面１ｂに不良箇所である、例
えば条痕１ｃが形成されてしまうことがあり、また多量
のウェーハ１を生産すると、この条痕１ｃの大きさや位
置が経時的に変化してしまい、対応が非常に難しかっ
た。
【０００４】ノッチを鏡面に仕上げるためには、この条
痕を研摩工程において完全に取り除く必要がある。特開
２０００−５２２１０で開示されているように、研摩剤
を含んだゴムホイールを研摩に用いると、スラリーを全
く用いずに良好な研摩を行うことができるので、ノッチ
よりも幅広でかつ比較的柔らかいゴムホイールを使用し
てノッチの面取り面及び端面を研摩することが検討され
ていた。
痕を研摩工程において完全に取り除く必要がある。特開
２０００−５２２１０で開示されているように、研摩剤
を含んだゴムホイールを研摩に用いると、スラリーを全
く用いずに良好な研摩を行うことができるので、ノッチ
よりも幅広でかつ比較的柔らかいゴムホイールを使用し
てノッチの面取り面及び端面を研摩することが検討され
ていた。
【０００５】ところが、これではノッチの最深部にまで
ゴムホイールが届きにくく、また軟らかいゴムホイール
では、研摩時の接触圧力が小さいことから研摩力も小さ
くなってしまい、条痕がなくなるまで研摩するのに多く
の時間を要するという不具合があった。
ゴムホイールが届きにくく、また軟らかいゴムホイール
では、研摩時の接触圧力が小さいことから研摩力も小さ
くなってしまい、条痕がなくなるまで研摩するのに多く
の時間を要するという不具合があった。
【０００６】一方ウェーハを平面的に見た場合のノッチ
の端面がなすＶ溝の角度は９０°前後であるのに対し、
面取り研削後のノッチの面取り面がなす角度は１４６°
程度に広がっており、このため端面を研摩するゴムホイ
ールと、面取り面を研摩するゴムホイールとでは、その
外周面の形状を若干変えなければならず、最低２つのゴ
ムホイールが必要であった。
の端面がなすＶ溝の角度は９０°前後であるのに対し、
面取り研削後のノッチの面取り面がなす角度は１４６°
程度に広がっており、このため端面を研摩するゴムホイ
ールと、面取り面を研摩するゴムホイールとでは、その
外周面の形状を若干変えなければならず、最低２つのゴ
ムホイールが必要であった。
【０００７】また従来の研摩方法は、まず上側の面取り
面、次に下側の面取り面、最後に端面の順に研摩するも
のであったが、研摩後の端面の表面粗さは研摩後の面取
り面に比べて粗くなる傾向があり、該端面の表面粗さを
小さくして表面粗さを均一化するための方策が必要とさ
れていた。
面、次に下側の面取り面、最後に端面の順に研摩するも
のであったが、研摩後の端面の表面粗さは研摩後の面取
り面に比べて粗くなる傾向があり、該端面の表面粗さを
小さくして表面粗さを均一化するための方策が必要とさ
れていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来技術の欠点を除くためになされたものであって、その
目的とするところは、ウェーハの面と垂直な方向に回転
し該ウェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り
込むことができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有
するゴムホイールを、ウェーハの面方向にトラバースさ
せながらノッチの面取り面から端面に沿って移動させて
該面取り面及び該端面を連続的に研摩し、該端面の研摩
完了後そのまま該端面方向にゴムホイールを逃がすこと
により、粗くなり易い端面を少なくとも２度研摩し、か
つ面取り面と連続した極めて表面粗さの小さい鏡面に研
摩できるようにすることである。
来技術の欠点を除くためになされたものであって、その
目的とするところは、ウェーハの面と垂直な方向に回転
し該ウェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り
込むことができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有
するゴムホイールを、ウェーハの面方向にトラバースさ
せながらノッチの面取り面から端面に沿って移動させて
該面取り面及び該端面を連続的に研摩し、該端面の研摩
完了後そのまま該端面方向にゴムホイールを逃がすこと
により、粗くなり易い端面を少なくとも２度研摩し、か
つ面取り面と連続した極めて表面粗さの小さい鏡面に研
摩できるようにすることである。
【０００９】また他の目的は、ウェーハの面と垂直な方
向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にまで余裕をも
って入り込むことができる程度に薄く形成されかつ研摩
剤を含有するゴムホイールを、ウェーハの面方向に一定
振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、かつノッチとの接
触状態を維持しながらノッチの面取り面を研摩すること
によって、前工程の研削で形成された条痕を速やかに除
去できるようにすることである。
向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にまで余裕をも
って入り込むことができる程度に薄く形成されかつ研摩
剤を含有するゴムホイールを、ウェーハの面方向に一定
振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、かつノッチとの接
触状態を維持しながらノッチの面取り面を研摩すること
によって、前工程の研削で形成された条痕を速やかに除
去できるようにすることである。
【００１０】更に他の目的は、上記方法に加えて、上側
の面取り面と端面との間の角部及び下側の面取り面と端
面との間の角部を夫々研摩することによって、面取り面
に形成された条痕を容易に除去すると共に、面取り面と
端面とがなす上下の角部を研摩により除去できるように
することである。
の面取り面と端面との間の角部及び下側の面取り面と端
面との間の角部を夫々研摩することによって、面取り面
に形成された条痕を容易に除去すると共に、面取り面と
端面とがなす上下の角部を研摩により除去できるように
することである。
【００１１】また他の目的は、上記したゴムホイールに
よるウェーハのノッチの面取り面の研摩と、該ゴムホイ
ールにより面取り面から端面まで連続的に行う研摩とを
組み合わせて行うことによって、上側及び下側の面取り
面だけでなく、上側及び下側の面取り面と端面とが夫々
なす上下の角部を丸めることができるようにすることで
あり、またこれによって１つのゴムホイールにより上側
及び下側の面取り面と端面とを連続した鏡面に研摩でき
るようにすることである。
よるウェーハのノッチの面取り面の研摩と、該ゴムホイ
ールにより面取り面から端面まで連続的に行う研摩とを
組み合わせて行うことによって、上側及び下側の面取り
面だけでなく、上側及び下側の面取り面と端面とが夫々
なす上下の角部を丸めることができるようにすることで
あり、またこれによって１つのゴムホイールにより上側
及び下側の面取り面と端面とを連続した鏡面に研摩でき
るようにすることである。
【００１２】更に他の目的は、上記したゴムホイールに
よるウェーハのノッチの上側及び下側の面取り面、端
面、上側及び下側の面取り面と端面との間の夫々の角部
の研摩と、該ゴムホイールにより面取り面から端面まで
連続的に行う研摩とを組み合わせて行うことによって、
１つのゴムホイールにより上側及び下側の夫々の面取り
面と端面とを、極めて均一で表面粗さの小さい連続的な
世界最高水準の鏡面（表面粗さ２００オングストロー
ム）に研摩できるようにすることである。
よるウェーハのノッチの上側及び下側の面取り面、端
面、上側及び下側の面取り面と端面との間の夫々の角部
の研摩と、該ゴムホイールにより面取り面から端面まで
連続的に行う研摩とを組み合わせて行うことによって、
１つのゴムホイールにより上側及び下側の夫々の面取り
面と端面とを、極めて均一で表面粗さの小さい連続的な
世界最高水準の鏡面（表面粗さ２００オングストロー
ム）に研摩できるようにすることである。
【００１３】また他の目的は、ウェーハのノッチの最深
部にまで余裕をもって入り込むことができる程度に薄く
形成されかつ研摩剤を含んだゴムホイールをウェーハの
面と直角方向に回転させるスピンドル部と、該スピンド
ル部が固定されノッチへゴムホイールを押圧付勢する弾
性体の押圧力を調節する研摩力調節機構が設けられた浮
動部と、該浮動部をリニアガイドを介して支持するテー
ブル部と、該テーブル部をゴムホイールの回転軸方向に
直進往復動させる駆動機構とを備え、テーブル部に対し
て浮動部をゴムホイールとノッチとが接近又は離脱する
方向にわずかに摺動自在に構成すると共に、ゴムホイー
ルを駆動機構により該ゴムホイールの回転軸方向に一定
振幅又は漸増振幅でトラバースさせながらノッチの上側
の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側の面取り
面と端面との間の角部及び前記下側の面取り面と端面と
の間の角部を夫々研摩可能に構成し、ゴムホイールを同
様にトラバースさせながら上側の面取り面又は下側の面
取り面から端面に沿って移動させて該面取り面から該端
面までを連続的に研摩するように構成することによっ
て、非常に取扱いの困難なスラッジの使用を不要としな
がら非常に表面粗さの小さいウェーハのノッチを得るこ
とである。
部にまで余裕をもって入り込むことができる程度に薄く
形成されかつ研摩剤を含んだゴムホイールをウェーハの
面と直角方向に回転させるスピンドル部と、該スピンド
ル部が固定されノッチへゴムホイールを押圧付勢する弾
性体の押圧力を調節する研摩力調節機構が設けられた浮
動部と、該浮動部をリニアガイドを介して支持するテー
ブル部と、該テーブル部をゴムホイールの回転軸方向に
直進往復動させる駆動機構とを備え、テーブル部に対し
て浮動部をゴムホイールとノッチとが接近又は離脱する
方向にわずかに摺動自在に構成すると共に、ゴムホイー
ルを駆動機構により該ゴムホイールの回転軸方向に一定
振幅又は漸増振幅でトラバースさせながらノッチの上側
の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側の面取り
面と端面との間の角部及び前記下側の面取り面と端面と
の間の角部を夫々研摩可能に構成し、ゴムホイールを同
様にトラバースさせながら上側の面取り面又は下側の面
取り面から端面に沿って移動させて該面取り面から該端
面までを連続的に研摩するように構成することによっ
て、非常に取扱いの困難なスラッジの使用を不要としな
がら非常に表面粗さの小さいウェーハのノッチを得るこ
とである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】要するに本発明（請求項
１）は、ウェーハの面と垂直な方向に回転し該ウェーハ
のノッチの最深部にまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ールを、前記ウェーハの面方向にトラバースさせながら
前記ノッチの面取り面から端面に沿って移動させて該面
取り面及び該端面を連続的に研摩し、該端面の研摩完了
後そのまま該端面方向に前記ゴムホイールを逃がすこと
を特徴とするものである。
１）は、ウェーハの面と垂直な方向に回転し該ウェーハ
のノッチの最深部にまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ールを、前記ウェーハの面方向にトラバースさせながら
前記ノッチの面取り面から端面に沿って移動させて該面
取り面及び該端面を連続的に研摩し、該端面の研摩完了
後そのまま該端面方向に前記ゴムホイールを逃がすこと
を特徴とするものである。
【００１５】また本発明（請求項２）は、ウェーハの面
と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にま
で余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成さ
れかつ研摩剤を含有するゴムホイールを、前記ウェーハ
の面方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、か
つ前記ノッチとの接触状態を維持しながら前記ノッチの
面取り面を研摩することを特徴とするものである。
と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にま
で余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成さ
れかつ研摩剤を含有するゴムホイールを、前記ウェーハ
の面方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、か
つ前記ノッチとの接触状態を維持しながら前記ノッチの
面取り面を研摩することを特徴とするものである。
【００１６】また本発明（請求項３）は、ウェーハの面
と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にま
で余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成さ
れかつ研摩剤を含有するゴムホイールを、前記ウェーハ
の面方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、か
つ常に前記ノッチとの接触状態を維持しながら前記ノッ
チの上側の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側
の面取り面と前記端面との間の角部及び前記下側の面取
り面と前記端面との間の角部を夫々研摩することを特徴
とするものである。
と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にま
で余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成さ
れかつ研摩剤を含有するゴムホイールを、前記ウェーハ
の面方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、か
つ常に前記ノッチとの接触状態を維持しながら前記ノッ
チの上側の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側
の面取り面と前記端面との間の角部及び前記下側の面取
り面と前記端面との間の角部を夫々研摩することを特徴
とするものである。
【００１７】また本発明（請求項４）は、ウェーハの面
と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にま
で余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成さ
れかつ研摩剤を含有するゴムホイールを、前記ウェーハ
の面方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、か
つ常に前記ノッチとの接触状態を維持しながら前記ノッ
チの上側及び下側の面取り面を研摩した後、前記ゴムホ
イールを前記ウェーハの面方向にトラバースさせながら
前記ノッチの上側の面取り面から端面に沿って移動させ
て該面取り面及び該端面を連続的に研摩してそのまま下
方向に前記ゴムホイールを逃がし、次に前記ゴムホイー
ルを同様にトラバースさせながら前記ノッチの下側の面
取り面から端面に沿って移動させて該面取り面及び該端
面を連続的に研摩してそのまま上方向に前記ゴムホイー
ルを逃がすことを特徴とするものである。
と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にま
で余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成さ
れかつ研摩剤を含有するゴムホイールを、前記ウェーハ
の面方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、か
つ常に前記ノッチとの接触状態を維持しながら前記ノッ
チの上側及び下側の面取り面を研摩した後、前記ゴムホ
イールを前記ウェーハの面方向にトラバースさせながら
前記ノッチの上側の面取り面から端面に沿って移動させ
て該面取り面及び該端面を連続的に研摩してそのまま下
方向に前記ゴムホイールを逃がし、次に前記ゴムホイー
ルを同様にトラバースさせながら前記ノッチの下側の面
取り面から端面に沿って移動させて該面取り面及び該端
面を連続的に研摩してそのまま上方向に前記ゴムホイー
ルを逃がすことを特徴とするものである。
【００１８】また本発明（請求項５）は、ウェーハの面
と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にま
で余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成さ
れかつ研摩剤を含有するゴムホイールを、前記ウェーハ
の面方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、か
つ常に前記ノッチとの接触状態を維持しながら前記ノッ
チの上側の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側
の面取り面と前記端面との間の角部及び前記下側の面取
り面と前記端面との間の角部を夫々研摩した後、前記ゴ
ムホイールを前記ウェーハの面方向にトラバースさせな
がら前記ノッチの上側の面取り面から端面に沿って移動
させて該面取り面及び該端面を連続的に研摩してそのま
ま下方向に前記ゴムホイールを逃がし、次に前記ゴムホ
イールを同様にトラバースさせながら前記ノッチの下側
の面取り面から端面に沿って移動させて該面取り面及び
該端面を連続的に研摩してそのまま上方向に前記ゴムホ
イールを逃がすことを特徴とするものである。
と垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にま
で余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成さ
れかつ研摩剤を含有するゴムホイールを、前記ウェーハ
の面方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさせ、か
つ常に前記ノッチとの接触状態を維持しながら前記ノッ
チの上側の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側
の面取り面と前記端面との間の角部及び前記下側の面取
り面と前記端面との間の角部を夫々研摩した後、前記ゴ
ムホイールを前記ウェーハの面方向にトラバースさせな
がら前記ノッチの上側の面取り面から端面に沿って移動
させて該面取り面及び該端面を連続的に研摩してそのま
ま下方向に前記ゴムホイールを逃がし、次に前記ゴムホ
イールを同様にトラバースさせながら前記ノッチの下側
の面取り面から端面に沿って移動させて該面取り面及び
該端面を連続的に研摩してそのまま上方向に前記ゴムホ
イールを逃がすことを特徴とするものである。
【００１９】また本発明（請求項６）は、ウェーハのノ
ッチの最深部にまで余裕をもって入り込むことができる
程度に薄く形成されかつ研摩剤を含んだゴムホイールを
前記ウェーハの面と直角方向に回転させるスピンドル部
と、該スピンドル部が固定され前記ノッチへ前記ゴムホ
イールを押圧付勢する弾性体の押圧力を調節する研摩力
調節機構が設けられた浮動部と、該浮動部をリニアガイ
ドを介して支持するテーブル部と、該テーブル部を前記
ゴムホイールの回転軸方向に直進往復動させる駆動機構
とを備え、前記テーブル部に対して前記浮動部を前記ゴ
ムホイールと前記ノッチとが接近又は離脱する方向にわ
ずかに摺動自在に構成すると共に、前記ゴムホイールを
前記駆動機構により該ゴムホイールの回転軸方向に一定
振幅又は漸増振幅でトラバースさせながら前記ノッチの
上側の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側の面
取り面と前記端面との間の角部及び前記下側の面取り面
と前記端面との間の角部を夫々研摩可能に構成し、前記
ゴムホイールを同様にトラバースさせながら前記上側の
面取り面又は前記下側の面取り面から前記端面に沿って
移動させて該面取り面から該端面までを連続的に研摩す
るように構成したことを特徴とするものである。
ッチの最深部にまで余裕をもって入り込むことができる
程度に薄く形成されかつ研摩剤を含んだゴムホイールを
前記ウェーハの面と直角方向に回転させるスピンドル部
と、該スピンドル部が固定され前記ノッチへ前記ゴムホ
イールを押圧付勢する弾性体の押圧力を調節する研摩力
調節機構が設けられた浮動部と、該浮動部をリニアガイ
ドを介して支持するテーブル部と、該テーブル部を前記
ゴムホイールの回転軸方向に直進往復動させる駆動機構
とを備え、前記テーブル部に対して前記浮動部を前記ゴ
ムホイールと前記ノッチとが接近又は離脱する方向にわ
ずかに摺動自在に構成すると共に、前記ゴムホイールを
前記駆動機構により該ゴムホイールの回転軸方向に一定
振幅又は漸増振幅でトラバースさせながら前記ノッチの
上側の面取り面、下側の面取り面、端面、前記上側の面
取り面と前記端面との間の角部及び前記下側の面取り面
と前記端面との間の角部を夫々研摩可能に構成し、前記
ゴムホイールを同様にトラバースさせながら前記上側の
面取り面又は前記下側の面取り面から前記端面に沿って
移動させて該面取り面から該端面までを連続的に研摩す
るように構成したことを特徴とするものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示す実施例に
基いて説明する。本発明に係るウェーハのノッチの研摩
装置２は、図２において、スピンドル部３と、浮動部４
と、テーブル部５と、駆動機構６とを備えている。
基いて説明する。本発明に係るウェーハのノッチの研摩
装置２は、図２において、スピンドル部３と、浮動部４
と、テーブル部５と、駆動機構６とを備えている。
【００２１】スピンドル部３は、図２から図４に示すよ
うに、ウェーハ１のノッチ１ａの最深部１ｄにまで余裕
をもって入り込むことができる程度に薄く形成され、か
つ研摩剤（図示せず）を含んだゴムホイール８をウェー
ハ１の面１ｅと直角方向に回転させるためのものであっ
て、浮動部４の浮動板１０に挿通し、ゴムホイール８が
下方に突き出るようにブロック１１及びブロック１２に
よって挾持されている。該スピンドル部３は縦型スピン
ドルであり、先端部３ａで回転方向が横軸回転に変換さ
れるようになっており、該先端部３ａにゴムホイール８
を取り付けて、その軸８ａを中心としてウェーハ１の面
１ｅと直角方向に回転させることができる構造になって
いる。
うに、ウェーハ１のノッチ１ａの最深部１ｄにまで余裕
をもって入り込むことができる程度に薄く形成され、か
つ研摩剤（図示せず）を含んだゴムホイール８をウェー
ハ１の面１ｅと直角方向に回転させるためのものであっ
て、浮動部４の浮動板１０に挿通し、ゴムホイール８が
下方に突き出るようにブロック１１及びブロック１２に
よって挾持されている。該スピンドル部３は縦型スピン
ドルであり、先端部３ａで回転方向が横軸回転に変換さ
れるようになっており、該先端部３ａにゴムホイール８
を取り付けて、その軸８ａを中心としてウェーハ１の面
１ｅと直角方向に回転させることができる構造になって
いる。
【００２２】浮動部４は、スピンドル部３が固定され、
ウェーハ１のノッチ１ａへゴムホイール８を押圧付勢す
る弾性体（図示せず）の押圧力を調節する研摩力調節機
構９が設けられたものであって、水平に配置された断面
コの字形の浮動板１０にスピンドル部３と、研摩力調節
機構９とが取り付けられたものである。
ウェーハ１のノッチ１ａへゴムホイール８を押圧付勢す
る弾性体（図示せず）の押圧力を調節する研摩力調節機
構９が設けられたものであって、水平に配置された断面
コの字形の浮動板１０にスピンドル部３と、研摩力調節
機構９とが取り付けられたものである。
【００２３】浮動部４は、リニアガイド１３を介してテ
ーブル部５に取り付けられており、研摩時にテーブル部
５に対してゴムホイール８とノッチ１ａとが接近又は離
脱する方向にわずかに摺動自在となるように構成されて
いる。
ーブル部５に取り付けられており、研摩時にテーブル部
５に対してゴムホイール８とノッチ１ａとが接近又は離
脱する方向にわずかに摺動自在となるように構成されて
いる。
【００２４】研摩力調節機構９は、図示しない弾性体の
研摩力をウェーハ１の材質に応じて調節するためのもの
であって、浮動板１０の上面１０ａに固定されたブロッ
ク１４内に弾性体を収納し、該弾性体のばね力を調節す
る調節ねじ１５と、浮動部４の後退時にテーブル部５の
垂直テーブル１５に当接し、ブロック１４内に押し込ま
れることによって弾性体を押し縮めて研摩力を発生させ
るピン１６とを弾性体と同軸上に配設してなっており、
調節ねじ１５によって弾性体を予め変形させることによ
って、研摩力を変化させることができるようになってい
る。
研摩力をウェーハ１の材質に応じて調節するためのもの
であって、浮動板１０の上面１０ａに固定されたブロッ
ク１４内に弾性体を収納し、該弾性体のばね力を調節す
る調節ねじ１５と、浮動部４の後退時にテーブル部５の
垂直テーブル１５に当接し、ブロック１４内に押し込ま
れることによって弾性体を押し縮めて研摩力を発生させ
るピン１６とを弾性体と同軸上に配設してなっており、
調節ねじ１５によって弾性体を予め変形させることによ
って、研摩力を変化させることができるようになってい
る。
【００２５】テーブル部５は、浮動部４をリニアガイド
１８を介して支持するための土台となる部分であって、
断面凸の字形の水平テーブル１９を上に凸に水平に配置
し、該水平テーブル１９と直角に配設された垂直テーブ
ル２０に固定してなるもので、上下動も可能に構成され
ている。また水平テーブル１９には、スピンドル部３が
貫通する図示しない長穴が穿孔されており、浮動部４の
浮動時にスピンドル部３が水平テーブル１９に干渉しな
いようになっている。垂直テーブル２０には、例えば４
個のガイドブロック２１が固着され、該ガイドブロック
２１はベース板２２に取り付けられたガイドレール２３
上を摺動するようになっている。
１８を介して支持するための土台となる部分であって、
断面凸の字形の水平テーブル１９を上に凸に水平に配置
し、該水平テーブル１９と直角に配設された垂直テーブ
ル２０に固定してなるもので、上下動も可能に構成され
ている。また水平テーブル１９には、スピンドル部３が
貫通する図示しない長穴が穿孔されており、浮動部４の
浮動時にスピンドル部３が水平テーブル１９に干渉しな
いようになっている。垂直テーブル２０には、例えば４
個のガイドブロック２１が固着され、該ガイドブロック
２１はベース板２２に取り付けられたガイドレール２３
上を摺動するようになっている。
【００２６】駆動機構６は、テーブル部５をゴムホイー
ル８の回転軸方向に直進往復動させるためのものであっ
て、垂直テーブル２０をボールねじ２４と図示しないサ
ーボモータによりゴムホイール８の回転軸方向、即ち矢
印Ａ又はＢ方向に直進往復動させることができるように
なっている。
ル８の回転軸方向に直進往復動させるためのものであっ
て、垂直テーブル２０をボールねじ２４と図示しないサ
ーボモータによりゴムホイール８の回転軸方向、即ち矢
印Ａ又はＢ方向に直進往復動させることができるように
なっている。
【００２７】垂直テーブル１５を矢印Ａ又はＢ方向に直
進往復動させることによって、ゴムホイール８もそれに
伴って直進往復動するので、研摩時には該機構を用いて
ゴムホイール８をトラバースさせながら研摩できるよう
になっている。
進往復動させることによって、ゴムホイール８もそれに
伴って直進往復動するので、研摩時には該機構を用いて
ゴムホイール８をトラバースさせながら研摩できるよう
になっている。
【００２８】また駆動機構６は、図３に示すように、ゴ
ムホイール８をウェーハ１に対して相対的に上下方向、
即ち矢印Ｃ又はＤ方向に往復動させることができるよう
になっている。ウェーハ１は、図示しない機構によりゴ
ムホイール８と接近又は離間する方向、即ち矢印Ｅ又は
Ｆ方向に移動できるようになっている。
ムホイール８をウェーハ１に対して相対的に上下方向、
即ち矢印Ｃ又はＤ方向に往復動させることができるよう
になっている。ウェーハ１は、図示しない機構によりゴ
ムホイール８と接近又は離間する方向、即ち矢印Ｅ又は
Ｆ方向に移動できるようになっている。
【００２９】また本発明方法（請求項１）は、ウェーハ
１の面１ｅと垂直な方向に回転し該ウェーハ１のノッチ
１ａの最深部１ｄにまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ール８を、ウェーハ１の面１ｅ方向にトラバースさせな
がらノッチ１ａの面取り面１ｂ，１ｆから端面１ｇに沿
って移動させて該面取り面１ｂ，１ｆ及び該端面１ｇを
連続的に研摩し、該端面１ｇの研摩完了後そのまま該端
面１ｇ方向にゴムホイール８を逃がす方法である。
１の面１ｅと垂直な方向に回転し該ウェーハ１のノッチ
１ａの最深部１ｄにまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ール８を、ウェーハ１の面１ｅ方向にトラバースさせな
がらノッチ１ａの面取り面１ｂ，１ｆから端面１ｇに沿
って移動させて該面取り面１ｂ，１ｆ及び該端面１ｇを
連続的に研摩し、該端面１ｇの研摩完了後そのまま該端
面１ｇ方向にゴムホイール８を逃がす方法である。
【００３０】また本発明方法（請求項２）は、ウェーハ
１の面１ｅと垂直な方向に回転し該ウェーハ１のノッチ
１ａの最深部１ｄにまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ール８を、ウェーハ１の面１ｅ方向に一定振幅又は漸増
振幅でトラバースさせ、かつノッチ１ａとの接触状態を
維持しながらノッチ１ａの面取り面１ｂ，１ｆを研摩す
る方法である。
１の面１ｅと垂直な方向に回転し該ウェーハ１のノッチ
１ａの最深部１ｄにまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ール８を、ウェーハ１の面１ｅ方向に一定振幅又は漸増
振幅でトラバースさせ、かつノッチ１ａとの接触状態を
維持しながらノッチ１ａの面取り面１ｂ，１ｆを研摩す
る方法である。
【００３１】また本発明方法（請求項３）は、ウェーハ
１の面１ｅと垂直な方向に回転し該ウェーハ１のノッチ
１ａの最深部１ｄにまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ール８を、ウェーハ１の面１ｅ方向に一定振幅又は漸増
振幅でトラバースさせ、かつ常にノッチ１ａとの接触状
態を維持しながらノッチ１ａの上側の面取り面１ｂ、下
側の面取り面１ｆ、端面１ｇ、上側の面取り面１ｂと端
面１ｇとの間の角部１ｈ及び下側の面取り面１ｆと端面
１ｇとの間の角部１ｉを夫々研摩する方法である。
１の面１ｅと垂直な方向に回転し該ウェーハ１のノッチ
１ａの最深部１ｄにまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ール８を、ウェーハ１の面１ｅ方向に一定振幅又は漸増
振幅でトラバースさせ、かつ常にノッチ１ａとの接触状
態を維持しながらノッチ１ａの上側の面取り面１ｂ、下
側の面取り面１ｆ、端面１ｇ、上側の面取り面１ｂと端
面１ｇとの間の角部１ｈ及び下側の面取り面１ｆと端面
１ｇとの間の角部１ｉを夫々研摩する方法である。
【００３２】また本発明方法（請求項４）は、ウェーハ
１の面１ｅと垂直な方向に回転し該ウェーハ１のノッチ
１ａの最深部１ｄにまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ール８を、ウェーハ１の面１ｅ方向に一定振幅又は漸増
振幅でトラバースさせ、かつ常にノッチ１ａとの接触状
態を維持しながらノッチ１の上側及び下側の面取り面１
ｂ，１ｆを研摩した後、ゴムホイール８をウェーハ１の
面１ｅ方向にトラバースさせながらノッチ１ａの上側の
面取り面１ｂから端面１ｇに沿って移動させて該面取り
面１ｂ及び該端面１ｇを連続的に研摩してそのまま下方
向にゴムホイー８ルを逃がし、次にゴムホイール８を同
様にトラバースさせながらノッチ１の下側の面取り面１
ｆから端面１ｇに沿って移動させて該面取り面１ｆ及び
該端面１ｇを連続的に研摩してそのまま上方向にゴムホ
イール８を逃がす方法である。
１の面１ｅと垂直な方向に回転し該ウェーハ１のノッチ
１ａの最深部１ｄにまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ール８を、ウェーハ１の面１ｅ方向に一定振幅又は漸増
振幅でトラバースさせ、かつ常にノッチ１ａとの接触状
態を維持しながらノッチ１の上側及び下側の面取り面１
ｂ，１ｆを研摩した後、ゴムホイール８をウェーハ１の
面１ｅ方向にトラバースさせながらノッチ１ａの上側の
面取り面１ｂから端面１ｇに沿って移動させて該面取り
面１ｂ及び該端面１ｇを連続的に研摩してそのまま下方
向にゴムホイー８ルを逃がし、次にゴムホイール８を同
様にトラバースさせながらノッチ１の下側の面取り面１
ｆから端面１ｇに沿って移動させて該面取り面１ｆ及び
該端面１ｇを連続的に研摩してそのまま上方向にゴムホ
イール８を逃がす方法である。
【００３３】また本発明方法（請求項５）は、ウェーハ
１の面１ｅと垂直な方向に回転し該ウェーハ１のノッチ
１ａの最深部１ｄにまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ール１を、ウェーハ１の面１ｅ方向に一定振幅又は漸増
振幅でトラバースさせ、かつ常にノッチ１ａとの接触状
態を維持しながらノッチ１の上側の面取り面１ｂ、下側
の面取り面１ｆ、端面１ｇ、上側の面取り面１ｂと端面
１ｇとの間の角部１ｈ及び下側の面取り面１ｆと端面１
ｇとの間の角部１ｉを夫々研摩した後、ゴムホイール８
をウェーハ１の面１ｅ方向にトラバースさせながらノッ
チ１ａの上側の面取り面１ｂから端面１ｇに沿って移動
させて該面取り面１ｂ及び該端面１ｇを連続的に研摩し
てそのまま下方向にゴムホイール８を逃がし、次にゴム
ホイール８を同様にトラバースさせながらノッチ１の下
側の面取り面１ｆから端面１ｇに沿って移動させて該面
取り面１ｆ及び該端面１ｇを連続的に研摩してそのまま
上方向にゴムホイール８を逃がす方法である。
１の面１ｅと垂直な方向に回転し該ウェーハ１のノッチ
１ａの最深部１ｄにまで余裕をもって入り込むことがで
きる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴムホイ
ール１を、ウェーハ１の面１ｅ方向に一定振幅又は漸増
振幅でトラバースさせ、かつ常にノッチ１ａとの接触状
態を維持しながらノッチ１の上側の面取り面１ｂ、下側
の面取り面１ｆ、端面１ｇ、上側の面取り面１ｂと端面
１ｇとの間の角部１ｈ及び下側の面取り面１ｆと端面１
ｇとの間の角部１ｉを夫々研摩した後、ゴムホイール８
をウェーハ１の面１ｅ方向にトラバースさせながらノッ
チ１ａの上側の面取り面１ｂから端面１ｇに沿って移動
させて該面取り面１ｂ及び該端面１ｇを連続的に研摩し
てそのまま下方向にゴムホイール８を逃がし、次にゴム
ホイール８を同様にトラバースさせながらノッチ１の下
側の面取り面１ｆから端面１ｇに沿って移動させて該面
取り面１ｆ及び該端面１ｇを連続的に研摩してそのまま
上方向にゴムホイール８を逃がす方法である。
【００３４】本発明は、上記のように構成されており、
以下その作用について説明する。まず図４において、ゴ
ムホイール８は、スピンドル部３の回転方向により、矢
印Ｇ又はＨ方向に回転し、駆動機構６により矢印Ａ又は
Ｂ方向にトラバースすることができ、またウェーハ１は
ゴムホイール８と接近又は離脱するように矢印Ｅ又はＦ
方向に移動することができる。
以下その作用について説明する。まず図４において、ゴ
ムホイール８は、スピンドル部３の回転方向により、矢
印Ｇ又はＨ方向に回転し、駆動機構６により矢印Ａ又は
Ｂ方向にトラバースすることができ、またウェーハ１は
ゴムホイール８と接近又は離脱するように矢印Ｅ又はＦ
方向に移動することができる。
【００３５】ウェーハ４のノッチ１ａを研摩する際に
は、特定の場所が集中的に研摩されて掘れてしまうこと
を防ぐために、ゴムホイール８を常にトラバースさせて
おくようにしている。その振幅は、図５に示す振幅線図
Ｌ１のような漸増振幅の場合と、図６に示す振幅線図Ｌ
２のような一定振幅の場合とがある。
は、特定の場所が集中的に研摩されて掘れてしまうこと
を防ぐために、ゴムホイール８を常にトラバースさせて
おくようにしている。その振幅は、図５に示す振幅線図
Ｌ１のような漸増振幅の場合と、図６に示す振幅線図Ｌ
２のような一定振幅の場合とがある。
【００３６】漸増振幅の場合には、回転するゴムホイー
ル８をノッチ１ａの最深部１ｄに接触させ次第にトラバ
ースの振幅を増加させながら、例えば２乃至４往復研摩
を行い、一定振幅の場合には、回転するゴムホイール８
をノッチ１ａの最深部１ｄに接触させトラバースの振幅
を一定に保ちながら、例えば２乃至４往復研摩を行う。
ル８をノッチ１ａの最深部１ｄに接触させ次第にトラバ
ースの振幅を増加させながら、例えば２乃至４往復研摩
を行い、一定振幅の場合には、回転するゴムホイール８
をノッチ１ａの最深部１ｄに接触させトラバースの振幅
を一定に保ちながら、例えば２乃至４往復研摩を行う。
【００３７】なお、図５及び図６において、振幅線図Ｌ
１，Ｌ２は、単にトラバース中の振幅を示しているもの
であり、ゴムホイール８とノッチ１ａとの距離を示して
いるものではない。従ってトラバースの回数の増加と共
にゴムホイール８がノッチ１ａから離間して行くわけで
はなく、ゴムホイール８は常にノッチ１ａに接触した状
態で研摩が行われる。
１，Ｌ２は、単にトラバース中の振幅を示しているもの
であり、ゴムホイール８とノッチ１ａとの距離を示して
いるものではない。従ってトラバースの回数の増加と共
にゴムホイール８がノッチ１ａから離間して行くわけで
はなく、ゴムホイール８は常にノッチ１ａに接触した状
態で研摩が行われる。
【００３８】ノッチ１ａは、Ｖ溝であるので、トラバー
ス時には浮動部４と共にゴムホイール８が適切に移動
し、該ノッチ１ａの形状に追従しながら研摩が行われ
る。またこれによりウェーハ１を折損することなく研摩
することが可能である。
ス時には浮動部４と共にゴムホイール８が適切に移動
し、該ノッチ１ａの形状に追従しながら研摩が行われ
る。またこれによりウェーハ１を折損することなく研摩
することが可能である。
【００３９】次に実際の研摩工程における作用について
説明する。ウェーハ１のノッチ１ａは前工程で面取り研
削されて、図７及び図１４に示すように、上側の面取り
面１ｂ、下側の面取り面１ｆ及び端面１ｇが形成された
状態になっているが、研削工程で上側の面取り面１ｂ等
に条痕１ｃが残ってしまっているものとする。
説明する。ウェーハ１のノッチ１ａは前工程で面取り研
削されて、図７及び図１４に示すように、上側の面取り
面１ｂ、下側の面取り面１ｆ及び端面１ｇが形成された
状態になっているが、研削工程で上側の面取り面１ｂ等
に条痕１ｃが残ってしまっているものとする。
【００４０】上側の面取り面１ｂ及び下側の面取り面１
ｆを夫々研摩する２面研摩では、ゴムホイール８を矢印
Ｇ方向に回転させながら、高さを一定にしたまま矢印Ｉ
方向に移動させて上側の面取り面１ｂに接触させ、上記
した一定振幅又は漸増振幅のトラバースを行いながら例
えば２乃至４往復させて研摩を行う。これにより上側の
面取り面１ｂに残っていた条痕１ｃを消すことができ
る。研摩後はゴムホイール８が矢印Ｊ方向に引かれ、ウ
ェーハ１から離間する。
ｆを夫々研摩する２面研摩では、ゴムホイール８を矢印
Ｇ方向に回転させながら、高さを一定にしたまま矢印Ｉ
方向に移動させて上側の面取り面１ｂに接触させ、上記
した一定振幅又は漸増振幅のトラバースを行いながら例
えば２乃至４往復させて研摩を行う。これにより上側の
面取り面１ｂに残っていた条痕１ｃを消すことができ
る。研摩後はゴムホイール８が矢印Ｊ方向に引かれ、ウ
ェーハ１から離間する。
【００４１】下側の面取り面１ｆの研摩においては、ゴ
ムホイール８の回転方向が矢印Ｈ方向となるだけで、そ
の他の作用は上側の面取り面１ｂの研摩における作用と
同様であり、下側の面取り面１ｆの条痕（図示せず）も
容易に消すことができる。
ムホイール８の回転方向が矢印Ｈ方向となるだけで、そ
の他の作用は上側の面取り面１ｂの研摩における作用と
同様であり、下側の面取り面１ｆの条痕（図示せず）も
容易に消すことができる。
【００４２】なお、矢印Ｉ方向及び矢印Ｊ方向は、ゴム
ホイール８を移動させる場合の方向を示しており、ゴム
ホイール８とウェーハ１との接近及び離間はあくまで相
対的なものである。従って、図３において、ウェーハ１
を移動させる場合には、矢印Ｉ方向が矢印Ｅ方向に相当
し、矢印Ｊ方向が矢印Ｆ方向に相当する。
ホイール８を移動させる場合の方向を示しており、ゴム
ホイール８とウェーハ１との接近及び離間はあくまで相
対的なものである。従って、図３において、ウェーハ１
を移動させる場合には、矢印Ｉ方向が矢印Ｅ方向に相当
し、矢印Ｊ方向が矢印Ｆ方向に相当する。
【００４３】上記の２面研摩が終了した後、半軌跡研摩
を行う。図５及び図６、図１０及び図１１に示すよう
に、ゴムホイール８を矢印Ｇ方向に回転させ、ウェーハ
１の面１ｅ方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさ
せながら、まずノッチ１ａの上側の面取り面１ｂから端
面１ｇに沿って移動させて該面取り面１ｂ及び該端面１
ｇを連続的に研摩し、そのまま矢印Ｋ方向、即ち下方向
にゴムホイール８を逃がすことにより、図１１に示すよ
うに、上側の面取り面１ｂと端面１ｇとの間の角部１ｈ
が丸められ、極めて表面粗さの小さい連続した鏡面に研
摩される。
を行う。図５及び図６、図１０及び図１１に示すよう
に、ゴムホイール８を矢印Ｇ方向に回転させ、ウェーハ
１の面１ｅ方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバースさ
せながら、まずノッチ１ａの上側の面取り面１ｂから端
面１ｇに沿って移動させて該面取り面１ｂ及び該端面１
ｇを連続的に研摩し、そのまま矢印Ｋ方向、即ち下方向
にゴムホイール８を逃がすことにより、図１１に示すよ
うに、上側の面取り面１ｂと端面１ｇとの間の角部１ｈ
が丸められ、極めて表面粗さの小さい連続した鏡面に研
摩される。
【００４４】次に図５及び図６、図１２及び図１３に示
すように、ゴムホイール８を矢印Ｈ方向に回転させ、同
様にトラバースさせながら、ノッチ１ａの下側の面取り
面１ｆから端面１ｇに沿って移動させて該面取り面１ｂ
及び該端面１ｇを連続的に研摩し、そのまま矢印Ｍ方
向、即ち上方向にゴムホイール８を逃がすことにより、
図１３に示すように、下側の面取り面１ｆと端面１ｇと
の間の角部１ｉが丸められ、極めて表面粗さの小さい連
続した鏡面に研摩される。ここで端面１ｇについても２
回の研摩が行われたことになる。
すように、ゴムホイール８を矢印Ｈ方向に回転させ、同
様にトラバースさせながら、ノッチ１ａの下側の面取り
面１ｆから端面１ｇに沿って移動させて該面取り面１ｂ
及び該端面１ｇを連続的に研摩し、そのまま矢印Ｍ方
向、即ち上方向にゴムホイール８を逃がすことにより、
図１３に示すように、下側の面取り面１ｆと端面１ｇと
の間の角部１ｉが丸められ、極めて表面粗さの小さい連
続した鏡面に研摩される。ここで端面１ｇについても２
回の研摩が行われたことになる。
【００４５】このように、２面研摩と半軌跡研摩を行う
ことにより、図１３に示すように、上側の面取り面１
ｂ、端面１ｇ及び下側の面取り面１ｆが極めて均一で表
面粗さの小さい連続的な世界最高水準の鏡面（表面粗さ
２００オングストローム）に研摩される。
ことにより、図１３に示すように、上側の面取り面１
ｂ、端面１ｇ及び下側の面取り面１ｆが極めて均一で表
面粗さの小さい連続的な世界最高水準の鏡面（表面粗さ
２００オングストローム）に研摩される。
【００４６】一方上側の面取り面１ｂ、下側の面取り面
１ｆ、端面１ｇ、上側の面取り面１ｂと端面１ｇとの間
の角部１ｈ及び下側の面取り面１ｆと端面１ｇとの間の
角部１ｉを夫々研摩する５面研摩では、図８に示すよう
に、まずゴムホイール８を矢印Ｇ方向に回転させなが
ら、高さを一定にしたまま矢印Ｉ方向に移動させて上側
の面取り面１ｂに接触させ、上記した一定振幅又は漸増
振幅のトラバースを行いながら例えば２乃至４往復させ
て研摩を行う。これにより上側の面取り面１ｂに残って
いた条痕１ｃを消すことができる。研摩後はゴムホイー
ル８が矢印Ｊ方向に引かれ、ウェーハ１から離間する。
１ｆ、端面１ｇ、上側の面取り面１ｂと端面１ｇとの間
の角部１ｈ及び下側の面取り面１ｆと端面１ｇとの間の
角部１ｉを夫々研摩する５面研摩では、図８に示すよう
に、まずゴムホイール８を矢印Ｇ方向に回転させなが
ら、高さを一定にしたまま矢印Ｉ方向に移動させて上側
の面取り面１ｂに接触させ、上記した一定振幅又は漸増
振幅のトラバースを行いながら例えば２乃至４往復させ
て研摩を行う。これにより上側の面取り面１ｂに残って
いた条痕１ｃを消すことができる。研摩後はゴムホイー
ル８が矢印Ｊ方向に引かれ、ウェーハ１から離間する。
【００４７】次にゴムホイール８を矢印Ｈ方向に回転さ
せ、同様にゴムホイール８を移動させて、トラバースを
行いながら下側の面取り面１ｆの研摩を行い、更にゴム
ホイール８を矢印Ｇ又はＨ方向に回転させ、同様にゴム
ホイール８を移動させて、トラバースを行いながら端面
１ｇの研摩を行う。
せ、同様にゴムホイール８を移動させて、トラバースを
行いながら下側の面取り面１ｆの研摩を行い、更にゴム
ホイール８を矢印Ｇ又はＨ方向に回転させ、同様にゴム
ホイール８を移動させて、トラバースを行いながら端面
１ｇの研摩を行う。
【００４８】そしてゴムホイール８を夫々矢印Ｇ，Ｈ方
向に回転させ、同様にゴムホイール８を移動させて、ト
ラバースを行いながら角部１ｈ及び角部１ｉの研摩を行
う。
向に回転させ、同様にゴムホイール８を移動させて、ト
ラバースを行いながら角部１ｈ及び角部１ｉの研摩を行
う。
【００４９】５面研摩を行うと、角部１ｈ，１ｉも面取
りされたような形状となるため、図９に示すように、ノ
ッチ１ａの断面が５角形となる。そこで図１０から図１
２に示す上記した半軌跡研摩をあわせて行うと、図１３
に示すように、上側の面取り面１ｂ、端面１ｇ及び下側
の面取り面１ｆが極めて均一で表面粗さの小さい連続的
な世界最高水準の鏡面（表面粗さ２００オングストロー
ム）に研摩される。端面１ｇについては、３回の研摩が
行われ、２面研摩よりも更に良好な仕上がりとなる。
りされたような形状となるため、図９に示すように、ノ
ッチ１ａの断面が５角形となる。そこで図１０から図１
２に示す上記した半軌跡研摩をあわせて行うと、図１３
に示すように、上側の面取り面１ｂ、端面１ｇ及び下側
の面取り面１ｆが極めて均一で表面粗さの小さい連続的
な世界最高水準の鏡面（表面粗さ２００オングストロー
ム）に研摩される。端面１ｇについては、３回の研摩が
行われ、２面研摩よりも更に良好な仕上がりとなる。
【００５０】
【発明の効果】本発明は、上記のようにウェーハの面と
垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にまで
余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成され
かつ研摩剤を含有するゴムホイールを、ウェーハの面方
向にトラバースさせながらノッチの面取り面から端面に
沿って移動させて該面取り面及び該端面を連続的に研摩
し、該端面の研摩完了後そのまま該端面方向にゴムホイ
ールを逃がすようにしたので、粗くなり易い端面を少な
くとも２度研摩し、かつ面取り面と連続した極めて表面
粗さの小さい鏡面に研摩できるという効果がある。
垂直な方向に回転し該ウェーハのノッチの最深部にまで
余裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成され
かつ研摩剤を含有するゴムホイールを、ウェーハの面方
向にトラバースさせながらノッチの面取り面から端面に
沿って移動させて該面取り面及び該端面を連続的に研摩
し、該端面の研摩完了後そのまま該端面方向にゴムホイ
ールを逃がすようにしたので、粗くなり易い端面を少な
くとも２度研摩し、かつ面取り面と連続した極めて表面
粗さの小さい鏡面に研摩できるという効果がある。
【００５１】またウェーハの面と垂直な方向に回転し該
ウェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り込む
ことができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有する
ゴムホイールを、ウェーハの面方向に一定振幅又は漸増
振幅でトラバースさせ、かつノッチとの接触状態を維持
しながらノッチの面取り面を研摩するようにしたので、
前工程の研削で形成された条痕を速やかに除去できると
いう効果がある。
ウェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り込む
ことができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有する
ゴムホイールを、ウェーハの面方向に一定振幅又は漸増
振幅でトラバースさせ、かつノッチとの接触状態を維持
しながらノッチの面取り面を研摩するようにしたので、
前工程の研削で形成された条痕を速やかに除去できると
いう効果がある。
【００５２】更には、上記方法に加えて、上側の面取り
面と端面との間の角部及び下側の面取り面と端面との間
の角部を夫々研摩するようにしたので、面取り面に形成
された条痕を容易に除去することができると共に、面取
り面と端面とがなす上下の角部を研摩により除去できる
という効果が得られる。
面と端面との間の角部及び下側の面取り面と端面との間
の角部を夫々研摩するようにしたので、面取り面に形成
された条痕を容易に除去することができると共に、面取
り面と端面とがなす上下の角部を研摩により除去できる
という効果が得られる。
【００５３】また上記したゴムホイールによるウェーハ
のノッチの面取り面の研摩と、該ゴムホイールにより面
取り面から端面まで連続的に行う研摩とを組み合わせて
行うようにしたので、上側及び下側の面取り面だけでな
く、上側及び下側の面取り面と端面とが夫々なす上下の
角部を丸めることができ、またこの結果１つのゴムホイ
ールにより上側及び下側の面取り面と端面とを連続した
鏡面に研摩できるという効果がある。
のノッチの面取り面の研摩と、該ゴムホイールにより面
取り面から端面まで連続的に行う研摩とを組み合わせて
行うようにしたので、上側及び下側の面取り面だけでな
く、上側及び下側の面取り面と端面とが夫々なす上下の
角部を丸めることができ、またこの結果１つのゴムホイ
ールにより上側及び下側の面取り面と端面とを連続した
鏡面に研摩できるという効果がある。
【００５４】更には、上記したゴムホイールによるウェ
ーハのノッチの上側及び下側の面取り面、端面、上側及
び下側の面取り面と端面との間の夫々の角部の研摩と、
該ゴムホイールにより面取り面から端面まで連続的に行
う研摩とを組み合わせて行うようにしたので、１つのゴ
ムホイールにより上側及び下側の夫々の面取り面と端面
とを、極めて均一で表面粗さの小さい連続的な世界最高
水準の鏡面（表面粗さ２００オングストローム）に研摩
できるという優れた効果が得られる。
ーハのノッチの上側及び下側の面取り面、端面、上側及
び下側の面取り面と端面との間の夫々の角部の研摩と、
該ゴムホイールにより面取り面から端面まで連続的に行
う研摩とを組み合わせて行うようにしたので、１つのゴ
ムホイールにより上側及び下側の夫々の面取り面と端面
とを、極めて均一で表面粗さの小さい連続的な世界最高
水準の鏡面（表面粗さ２００オングストローム）に研摩
できるという優れた効果が得られる。
【００５５】また、ウェーハのノッチの最深部にまで余
裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成されか
つ研摩剤を含んだゴムホイールをウェーハの面と直角方
向に回転させるスピンドル部と、該スピンドル部が固定
されノッチへゴムホイールを押圧付勢する弾性体の押圧
力を調節する研摩力調節機構が設けられた浮動部と、該
浮動部をリニアガイドを介して支持するテーブル部と、
該テーブル部をゴムホイールの回転軸方向に直進往復動
させる駆動機構とを備え、テーブル部に対して浮動部を
ゴムホイールとノッチとが接近又は離脱する方向にわず
かに摺動自在に構成すると共に、ゴムホイールを駆動機
構により該ゴムホイールの回転軸方向に一定振幅又は漸
増振幅でトラバースさせながらノッチの上側の面取り
面、下側の面取り面、端面、前記上側の面取り面と端面
との間の角部及び下側の面取り面と前記端面との間の角
部を夫々研摩可能に構成し、ゴムホイールを同様にトラ
バースさせながら上側の面取り面又は下側の面取り面か
ら端面に沿って移動させて該面取り面から該端面までを
連続的に研摩するように構成することによって、非常に
取扱いの困難なスラッジの使用を不要としながら非常に
表面粗さの小さいウェーハのノッチを得ることができる
効果が得られる。
裕をもって入り込むことができる程度に薄く形成されか
つ研摩剤を含んだゴムホイールをウェーハの面と直角方
向に回転させるスピンドル部と、該スピンドル部が固定
されノッチへゴムホイールを押圧付勢する弾性体の押圧
力を調節する研摩力調節機構が設けられた浮動部と、該
浮動部をリニアガイドを介して支持するテーブル部と、
該テーブル部をゴムホイールの回転軸方向に直進往復動
させる駆動機構とを備え、テーブル部に対して浮動部を
ゴムホイールとノッチとが接近又は離脱する方向にわず
かに摺動自在に構成すると共に、ゴムホイールを駆動機
構により該ゴムホイールの回転軸方向に一定振幅又は漸
増振幅でトラバースさせながらノッチの上側の面取り
面、下側の面取り面、端面、前記上側の面取り面と端面
との間の角部及び下側の面取り面と前記端面との間の角
部を夫々研摩可能に構成し、ゴムホイールを同様にトラ
バースさせながら上側の面取り面又は下側の面取り面か
ら端面に沿って移動させて該面取り面から該端面までを
連続的に研摩するように構成することによって、非常に
取扱いの困難なスラッジの使用を不要としながら非常に
表面粗さの小さいウェーハのノッチを得ることができる
効果が得られる。
【図１】図１から図１３は、本発明の実施例に係り、図
１は、ノッチ及びＯＦが形成され、面取り研削がされた
ウェーハの斜視図である。
１は、ノッチ及びＯＦが形成され、面取り研削がされた
ウェーハの斜視図である。
【図２】ウェーハのノッチに対するゴムホイールの位置
を示す要部平面図である。
を示す要部平面図である。
【図３】ウェーハのノッチの研摩装置の斜視図である。
【図４】ゴムホイールの回転方向、移動方向、及びウェ
ーハの移動方向を示す要部斜視図である。
ーハの移動方向を示す要部斜視図である。
【図５】ノッチ研摩時にゴムホイールを漸増振幅でトラ
バースさせる場合の、振幅の変化を示す平面図である。
バースさせる場合の、振幅の変化を示す平面図である。
【図６】ノッチ研摩時にゴムホイールを一定振幅でトラ
バースさせる場合の振幅の変化を示す平面図である。
バースさせる場合の振幅の変化を示す平面図である。
【図７】２面研摩時のゴムホイールの回転方向及び移動
方向、並びにウェーハとの位置関係を示す縦断面図であ
る。
方向、並びにウェーハとの位置関係を示す縦断面図であ
る。
【図８】５面研摩時のゴムホイールの回転方向及び移動
方向、並びにウェーハとの位置関係を示す縦断面図であ
る。
方向、並びにウェーハとの位置関係を示す縦断面図であ
る。
【図９】５面研摩により角部が面取り状態となり、断面
が５角形となったウェーハのノッチ部の縦断面図であ
る。
が５角形となったウェーハのノッチ部の縦断面図であ
る。
【図１０】ウェーハのノッチの上側の面取り面から端面
までを半軌跡研摩により研摩する状態を示す縦断面図で
ある。
までを半軌跡研摩により研摩する状態を示す縦断面図で
ある。
【図１１】半軌跡研摩により上側の面取り面と端面との
間の角部が丸く研摩され、上側の面取り面から端面まで
が連続的な鏡面に研摩された状態を示すウェーハのノッ
チの縦断面図である。
間の角部が丸く研摩され、上側の面取り面から端面まで
が連続的な鏡面に研摩された状態を示すウェーハのノッ
チの縦断面図である。
【図１２】ウェーハのノッチの下側の面取り面から端面
までを半軌跡研摩により研摩する状態を示す縦断面図で
ある。
までを半軌跡研摩により研摩する状態を示す縦断面図で
ある。
【図１３】半軌跡研摩により下側の面取り面と端面との
間の角部が丸く研摩され、上側の面取り面、端面及び下
側の面取り面までが連続的な鏡面に研摩された状態を示
すウェーハのノッチ部の縦断面図である。
間の角部が丸く研摩され、上側の面取り面、端面及び下
側の面取り面までが連続的な鏡面に研摩された状態を示
すウェーハのノッチ部の縦断面図である。
【図１４】従来例に係り、面取り研削により面取り面に
条痕が残されたウェーハのノッチの斜視図である。
条痕が残されたウェーハのノッチの斜視図である。
１ ウェーハ １ａ ノッチ １ｂ 上側の面取り面 １ｃ 条痕 １ｄ 最深部 １ｅ 面 １ｆ 下側の面取り面 １ｇ 端面 １ｈ 角部 １ｉ 角部 ２ ウェーハのノッチの研摩装置 ３ スピンドル部 ４ 浮動部 ５ テーブル部 ６ 駆動機構 ８ ゴムホイール ９ 研摩力調節機構
Claims (6)
- 【請求項１】 ウェーハの面と垂直な方向に回転し該ウ
ェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り込むこ
とができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴ
ムホイールを、前記ウェーハの面方向にトラバースさせ
ながら前記ノッチの面取り面から端面に沿って移動させ
て該面取り面及び該端面を連続的に研摩し、該端面の研
摩完了後そのまま該端面方向に前記ゴムホイールを逃が
すことを特徴とするウェーハのノッチの研摩方法。 - 【請求項２】 ウェーハの面と垂直な方向に回転し該ウ
ェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り込むこ
とができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴ
ムホイールを、前記ウェーハの面方向に一定振幅又は漸
増振幅でトラバースさせ、かつ前記ノッチとの接触状態
を維持しながら前記ノッチの面取り面を研摩することを
特徴とするウェーハのノッチの研摩方法。 - 【請求項３】 ウェーハの面と垂直な方向に回転し該ウ
ェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り込むこ
とができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴ
ムホイールを、前記ウェーハの面方向に一定振幅又は漸
増振幅でトラバースさせ、かつ常に前記ノッチとの接触
状態を維持しながら前記ノッチの上側の面取り面、下側
の面取り面、端面、前記上側の面取り面と前記端面との
間の角部及び前記下側の面取り面と前記端面との間の角
部を夫々研摩することを特徴とするウェーハのノッチの
研摩方法。 - 【請求項４】 ウェーハの面と垂直な方向に回転し該ウ
ェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り込むこ
とができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴ
ムホイールを、前記ウェーハの面方向に一定振幅又は漸
増振幅でトラバースさせ、かつ常に前記ノッチとの接触
状態を維持しながら前記ノッチの上側及び下側の面取り
面を研摩した後、前記ゴムホイールを前記ウェーハの面
方向にトラバースさせながら前記ノッチの上側の面取り
面から端面に沿って移動させて該面取り面及び該端面を
連続的に研摩してそのまま下方向に前記ゴムホイールを
逃がし、次に前記ゴムホイールを同様にトラバースさせ
ながら前記ノッチの下側の面取り面から端面に沿って移
動させて該面取り面及び該端面を連続的に研摩してその
まま上方向に前記ゴムホイールを逃がすことを特徴とす
るウェーハのノッチの研摩方法。 - 【請求項５】 ウェーハの面と垂直な方向に回転し該ウ
ェーハのノッチの最深部にまで余裕をもって入り込むこ
とができる程度に薄く形成されかつ研摩剤を含有するゴ
ムホイールを、前記ウェーハの面方向に一定振幅又は漸
増振幅でトラバースさせ、かつ常に前記ノッチとの接触
状態を維持しながら前記ノッチの上側の面取り面、下側
の面取り面、端面、前記上側の面取り面と前記端面との
間の角部及び前記下側の面取り面と前記端面との間の角
部を夫々研摩した後、前記ゴムホイールを前記ウェーハ
の面方向にトラバースさせながら前記ノッチの上側の面
取り面から端面に沿って移動させて該面取り面及び該端
面を連続的に研摩してそのまま下方向に前記ゴムホイー
ルを逃がし、次に前記ゴムホイールを同様にトラバース
させながら前記ノッチの下側の面取り面から端面に沿っ
て移動させて該面取り面及び該端面を連続的に研摩して
そのまま上方向に前記ゴムホイールを逃がすことを特徴
とするウェーハのノッチの研摩方法。 - 【請求項６】 ウェーハのノッチの最深部にまで余裕を
もって入り込むことができる程度に薄く形成されかつ研
摩剤を含んだゴムホイールを前記ウェーハの面と直角方
向に回転させるスピンドル部と、該スピンドル部が固定
され前記ノッチへ前記ゴムホイールを押圧付勢する弾性
体の押圧力を調節する研摩力調節機構が設けられた浮動
部と、該浮動部をリニアガイドを介して支持するテーブ
ル部と、該テーブル部を前記ゴムホイールの回転軸方向
に直進往復動させる駆動機構とを備え、前記テーブル部
に対して前記浮動部を前記ゴムホイールと前記ノッチと
が接近又は離脱する方向にわずかに摺動自在に構成する
と共に、前記ゴムホイールを前記駆動機構により該ゴム
ホイールの回転軸方向に一定振幅又は漸増振幅でトラバ
ースさせながら前記ノッチの上側の面取り面、下側の面
取り面、端面、前記上側の面取り面と前記端面との間の
角部及び前記下側の面取り面と前記端面との間の角部を
夫々研摩可能に構成し、前記ゴムホイールを同様にトラ
バースさせながら前記上側の面取り面又は前記下側の面
取り面から前記端面に沿って移動させて該面取り面から
該端面までを連続的に研摩するように構成したことを特
徴とするウェーハのノッチの研摩装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000122965A JP4323058B2 (ja) | 2000-04-24 | 2000-04-24 | ウェーハのノッチの研摩装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000122965A JP4323058B2 (ja) | 2000-04-24 | 2000-04-24 | ウェーハのノッチの研摩装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001300837A true JP2001300837A (ja) | 2001-10-30 |
| JP4323058B2 JP4323058B2 (ja) | 2009-09-02 |
Family
ID=18633374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000122965A Expired - Lifetime JP4323058B2 (ja) | 2000-04-24 | 2000-04-24 | ウェーハのノッチの研摩装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4323058B2 (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2000
- 2000-04-24 JP JP2000122965A patent/JP4323058B2/ja not_active Expired - Lifetime
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