JP2001291394A - 半導体記憶装置およびその救済方法 - Google Patents
半導体記憶装置およびその救済方法Info
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Abstract
メモリーとしてフレキシブルに救済し、不良内容により
一部動作のみ制限して他の動作は可能とする。 【解決手段】 外部から書き込み可能な不揮発性記憶領
域に記憶させた不良メモリーセルのデータに基づいて、
不良メモリーセル領域(ブロック、バンクまたはそれ以
上に狭い領域も可)を非選択状態にし、それ以外の領域
は選択可能とする。不良ビットを予備メモリーセルに置
換してもなお不良が残る場合に、その不良領域分だけを
非選択化して、良品ビットを最大限活用する。さらに、
アドレス変換手段によって選択可能領域に外部アドレス
を連続的に割り当てることにより、不良領域が断片的に
存在しても、外部から連続したアドレスでアクセスでき
る。
Description
ー、FRAM(強誘電体メモリー)およびMRAM(磁
気メモリー)等の不揮発性半導体記憶装置、および一部
に不揮発性記憶領域を有する揮発性半導体記憶装置等の
半導体記憶装置およびその救済方法に関する。
リー)は、DRAM(DynamicRandom A
ccess Memory)やSRAM(Static
Random Access Memory)のよう
に電源を切ると記憶されているデータがリセットされる
揮発性メモリーと異なり、電源を切ってもメモリーセル
に記憶されているデータが消えないという特徴を有す
る。この不揮発性メモリーとしては、現在、携帯電話等
で多く使用されているフラッシュメモリー、ICカード
等で使用されているFRAM、開発が活発化してきてい
るMRAM等が挙げられる。本願明細書では、フラッシ
ュメモリーを例に挙げて説明を行うこととする。
半導体プロセスにより製造されるので、ある程度の割合
でメモリーセルに不良が発生するのは避けられない状況
になる。このため、本来使用されるメモリーセル以外に
も予備のメモリーセルを予め用意しておいて、不良が発
生した場合に、その予備のメモリーセルと不良メモリー
セルとを置き換えることにより不良を救済する方法が、
従来から採用されている。
とはチップサイズの増加につながるため、むやみに予備
のメモリーセル数を増やすことはできない。よって、現
状では、予備のメモリーセルは小容量しか用意されてお
らず、不良を救済できなかったチップは不良チップとし
て処理される。
は不良を救済できなかったチップに対して、不良メモリ
ーセル領域を選択しないようにすることによって本来の
容量を減らし、小容量の半導体記憶装置として活用する
方法が提案されている。
平11−162193号公等報に、ヒューズをレーザー
等で切断して正常なメモリーセルブロックのみを選択す
る方法が提案されている。また、不揮発性メモリーの場
合には、特開平9−7390号公報等に、置き換えるセ
ル情報をメモリーセルとは別の部分に用意した不揮発性
記憶セルに記憶し、正常メモリーセルブロックのみを選
択する方法が提案されている。
た従来の方法では、単純にあるAddress(アドレ
ス)を非選択化して、a Mbit(メガビット)の容
量をa/2 Mbit、または(a/2n;n=1、
2、3、4、・・・)の容量にすることにより、不良メ
モリーセルを有する半導体記憶装置を救済することぐら
いしかできなかった。よって、単に1つのメモリーに不
良があるだけでも、1/2単位で容量が減り、良品のメ
モリーセルを多く無駄にしていた。
ロック)を有する構成のものや、昨今フラッシュメモリ
ーで主流となりつつあるPrgram(プログラム)ま
たはErase(消去)中にRead(読み出し)を行
うことができるBank(バンク)を有する構成のもの
には、対応することができなかった。
ル領域の動作制限を行って、特定の動作のみを行うこと
が可能な正常領域として使用することもできなかった。
するためになされたものであり、不良メモリーセルが発
生した場合に、本来の容量から不良メモリーセル領域に
応じた任意の容量のメモリーとしてフレキシブルに救済
可能であり、さらに、不良メモリーセル領域の不良内容
によって動作制限を行って一部の動作を正常メモリーセ
ル領域と同様に行うことができる半導体記憶装置および
その救済方法を提供することを目的とする。
は、複数のメモリーセルからなるメモリーセル領域と、
外部から書き込み可能な不揮発性記憶領域と、該不揮発
性記憶領域に書き込まれたデータに基づいて、メモリー
セル領域の一部を非選択状態にする非選択化手段とを備
え、非選択状態にされていない選択可能メモリーセル領
域により動作を行い、そのことにより上記目的が達成さ
れる。
メモリーセル領域に対して、外部アドレスを連続的に割
り当てるアドレス変換手段を備えていてもよい。
メモリーセル領域に対して外部アドレスを連続的に割り
当てる際に、外部アドレスに所定値を加算して発生する
内部アドレスが、他の内部アドレスと重複している場
合、そのアドレスに該当するメモリーセル領域を非選択
とすることができる。
選択化手段は、前記不揮発性記憶領域に書き込まれたデ
ータに基づいて、前記メモリーセル領域の一部を、その
動作の一部に対して非選択状態にし、それ以外の動作に
対しては選択可能としてもよい。
な複数のメモリーブロックを有し、前記非選択化手段
は、前記不揮発性記憶領域に書き込まれたデータに基づ
いてメモリーセル領域の一部を非選択状態にする際に、
任意のメモリーブロックを非選択状態にしてもよい。
数のメモリーブロックには、容量の異なるものを含んで
いてもよい。
モリーブロックからなり、同時に動作可能な複数のバン
クを有し、前記非選択化手段は、前記不揮発性記憶領域
に書き込まれたデータに基づいてメモリーセル領域の一
部を非選択状態にする際に、任意のバンクを非選択状態
にしてもよい。
ンクは、容量の異なるメモリーブロックを含んでいても
よい。
ドレス変換手段は、容量の異なるメモリーブロックのア
ドレス位置を変化可能であってもよい。
揮発性記憶領域は、一度だけ書換可能な不揮発性メモリ
ーセル領域の一部に設けられていてもよい。
発明の半導体記憶装置に不良メモリーセルがある場合
に、該半導体記憶装置を救済する方法であって、前記不
揮発性記憶領域に不良メモリーセルのアドレスを記憶さ
せて、前記非選択化手段により、該不揮発性記憶領域に
書き込まれたデータに基づいて、不良メモリーセルを含
むメモリーセル領域を非選択状態にし、そのことにより
上記目的が達成される。
て、前記非選択化手段により、前記不揮発性記憶領域に
書き込まれたデータに基づいて、不良メモリーセルを含
むメモリーセル領域を、不良となる動作に対してのみ非
選択状態にしてもよい。
な不揮発性記憶領域に、不良メモリーセル(不良ビッ
ト)のアドレスを記憶させ、そのデータに基づいて、不
良メモリーセルを含むメモリーセル領域(ブロック、バ
ンクまたはそれ以上に狭いメモリーセル領域も可)を非
選択状態にし、それ以外の領域は選択可能とする。これ
により、あるメモリーセル領域に不良ビットが存在し、
それを予備メモリーセルを用いて良品ビットに置換して
もなお不良が残る場合に、そのメモリーセル領域を非選
択化して非活性状態にすることで、不良メモリーセル領
域、不良ブロックまたは不良バンク分だけ容量の少ない
半導体記憶装置として、良品ビットを最大限活用するこ
とが可能である。
可能メモリーセル領域に対して外部アドレスを連続的に
割り当てることが可能である。これにより、不良ビット
のために非活性状態にするメモリーセル領域が断片的に
存在しても、外部から連続したアドレスでアクセスする
ことが可能である。
て発生する内部アドレスが、他の内部アドレスと重複し
ている場合には、そのアドレス領域を非選択とすること
で、外部アドレスが内部アドレスからオーバーフローす
るのを検出することが可能である。
の動作のうち、不良モードに応じて動作の一部だけを非
選択化し、それ以外の動作を選択可能にすることができ
る。例えば、消去ができないような不良モードを有する
ブロックでは消去を行わないように動作を制限すること
により、そのメモリーセル領域をOTP(One Ti
me Program)領域として活用することが可能
である。
いて説明する。
不良メモリーセル(不良ビット)のアドレスを記憶する
ために、外部から書き込み可能な不揮発性記憶領域を備
えている。
(Content Addressable Memo
ry)回路を有し、入力されたAddressがどのB
lockであるかを判定して、適合したBlockにの
み”1”が出力されるようなデコード回路を容易してお
く。最初に半導体記憶装置(チップ)の動作確認テスト
を行った段階で、不良AddressがどのBlock
に存在するかは確認できるので、Blockに不良ビッ
トがなければCAMデータが”0”を出力するようにし
ておき、不良があった場合にはCAMデータが”1”を
出力するようにしておく。そして、CAMデータの出力
と、デコード回路の出力が一致した場合には、そのBl
ockは非選択にするべきBlockであるので、Bl
ock選択信号をenableにしないか、または別に
用意しておいた非選択信号をenableにすればよ
い。これは、簡単なNANDゲート等で実現可能であ
る。
ressを内部AddressにBlock毎に連続的
に割り当てる場合には、外部から非選択BlockのA
ddressが入力された場合に入力されたAddre
ssを選択せずに、加算回路を使用することにより、外
部Addressに対して内部Addressを”1”
加算して1つ上位のBlockの選択する方法を用いる
ことができる。この場合、1つ上位のBlockが不良
Addressであれば、そのBlockも選択不可能
であるので、”2”を加算する必要がある。このような
ことを考慮して、1つのBlock当たりに加算する数
の情報を持っていれば、外部Addressは連続的に
推移させ、内部的には任意のBlockを非選択にする
ことが可能である。このような情報は、上述したよう
に、チップの動作テストを行ったときに予め知ることが
できる。加算値の情報を格納するためには、例えば加算
する値が最大”8”までである場合には、”8”は2進
数では”1000”であるので、4ビット分のCAMが
必要になる。
リーと同様の構成のセルを使用する場合、CAM回路
は、図11に示すように、PチャンネルのMOSFET
(Metal Oxide Semiconducto
r Field EffectTransistor)
95と、NチャンネルのMOSFET96とフラッシュ
メモリーのセルトランジスタ97からなる一対の直列回
路を、電源VCCと接地との間に接続し、双方のMOS
FET95、95のゲートを他方のMOSFET95、
95のドレインに接続すると共に、MOSFET96、
96のゲートに約2Vのバイアス電圧を印加するように
した不揮発性記憶回路を必要なbit数分だけ備えたも
のである。このCAM回路は、セルトランジスタ97、
97の制御ゲートに例えば12Vの高電圧Vppを印加
して、CAMプログラム回路98により双方のセルトラ
ンジスタ97、97のドレインにいずれか一方が例えば
7Vで他方が0Vとなる相補的なプログラム電圧を印加
することにより、これらのセルトランジスタ97、97
に1bit分のCAMデータを不揮発性記憶させること
ができる。また、セルトランジスタ97、97の制御ゲ
ートに電圧Vccを印加することにより、記憶内容に応
じて一方のMOSFET95のソース電位が電源電圧V
ccまたは接地電圧となるので、これをインバータ99
を介して1bit分のCAMデータとして読み出すこと
ができる。このようにして読み出したCAMデータに基
づいて、スイッチ回路を制御することができる。
記憶領域に格納したデータを利用して、不良メモリーセ
ルを含むメモリーセル領域を非選択状態にし、それ以外
の領域は選択可能とする非選択化手段を有する。さら
に、読み出し、書き込みおよび消去等の動作のうち、不
良モードに応じて動作の一部だけを非選択化し、それ以
外の動作を選択可能にすることもできる。
rogram、Read動作について、そのBlock
が不良かどうかを判断するCAM領域を用意しておく。
そして、Erase動作のみ非選択で、Program
およびRead動作については選択可能なBlockが
存在した場合、Eraseの可否を判断するCAMデー
タの出力を例えば”1”にし、ProgramおよびR
eadに関しては選択可能であるので”0”を出力する
ように設定しておく。フラッシュメモリーでは、Era
seおよびProgram動作は通常コマンドにより制
御されるため、Erase動作を行う場合、Erase
コマンドを入力してEraseさせたいBlockを含
むAddressを入力することによりErase動作
が始まる。このとき、入力されたAddressが選択
可能なBlockであれば、Erase動作をenab
leにし、非選択Blockであればdisableに
することで実現可能である。
領域に対応する外部アドレスを良品のメモリーセル領域
の内部アドレスに連続的に割り当てることが可能であ
る。このアドレス変換手段は、例えば後述するような加
算回路等により実現することができる。
るAddressの流れを説明するための図である。
essが入力され、読み出し動作の場合には、入力PA
D1からのAddressがマルチプレクサ2を通して
内部に信号として転送される。書き込み動作や消去動作
の場合には、命令とAddressを入力することで、
内部CPU(Central ProcessingU
nit)が命令に対してどのような動作を行うかを判断
し、命令入力時に予めLatchされたAddress
またはCPUが判断したAddressを発生する。フ
ラッシュメモリーでは、通常、このような動作をライト
ステートマシーンと称するコントロール回路で実施して
いる。書き込み動作や消去動作の場合には、このように
してAddress発生回路8で発生したAddres
sがマルチプレクサ2を通して内部に転送される。
lockのAddressを示しているかを判定するB
lock Address選択回路(デコーダー)3
と、加算回路5に入力される信号とに分けられる。予め
書き込まれていたCAM情報により、不良Blockが
無い場合には、加算回路5に入力された信号は変換され
ることなく、そのままメモリーセルを選択するデコーダ
ー(Decoder)6に入力され、該当するメモリー
セルが選択される。不良Blockが存在する場合に
は、加算回路enable信号加算数発生回路4から、
加算回路5をenableにする信号および加算数を加
算回路5に伝達し、外部Address9に対して加算
回路5にて加算された内部Address10が転送さ
れてメモリーセルアレイ7に伝達される。
sに変換する手段としては、上述したように、加算回路
のenable信号がenableになったときのみ加
算回路5を動作させることができる。または、enab
le信号を使用せずに、Addressを変換しないと
きには加算数を全て”0”にして外部Addressに
対して”0”を加算することにより、外部Addres
sと内部Addressとを同一Addressにし、
外部Addressに”0”以外の値を加算するときに
は外部Addressに対して該当する加算数を加算す
ることにより、外部Addressに対して内部Add
ressを変換することもできる。この場合には、加算
回路のenable信号は必要ではない。
がオーバーフローして内部Addressと重複するA
ddressを示した場合には、オーバオフロー検出回
路によってエラー(オーバーフロー検出信号)を発生
し、メモリーセルアレイ7からメモリーセルセルが選択
されないようにする。以上により、本発明を実現するこ
とが可能である。
装置によれば、不良ビット(メモリーセル)が存在して
も、容量の低減量を少なくし、良品ビットを最大限に利
用した半導体記憶装置として活用することができる。さ
らに、不良ビットを有するメモリーセル領域が断片的に
存在しても、外部からはアドレスが連続しているように
見えるので、通常のアクセス方法で使用することができ
る。
すようなBlock(ブロック)構成の32Mフラッシ
ュメモリーを例に挙げて説明する。ここでは、最近主流
になりつつある複数のBank(バンク)を有し、各々
のBankで同時動作が可能なフラッシュメモリー(以
下、Dual Work動作と称する)を例として挙げ
ている。
シュメモリーの場合には、各Bankで同時動作が可能
であるというメリットがある。例えば、フラッシュメモ
リーでは、Read(読み出し)に比べて、Erase
(消去)およびProgram(プログラム)に非常に
時間がかかる。このため、EraseまたはProgr
am中に別のBankを用いてReadを行うことがで
きるような構造のフラッシュメモリーが主流になりつつ
ある。
MbitのLarge Bankと、4MbitのSm
all Bankと、16MbitのLarge Ba
nkとを有する32Mbitのフラッシュメモリーであ
る。このようなフラッシュメモリーでは、Large
BankとSmall Bankとで別々の動作を同時
に行うことが可能であり、例えばLarge Bank
に書き込み中にSmall Bankを読み出すといっ
たことが可能である。
kを有するメモリーの救済はごく限られた方法でしか実
現することができなかった。
数のBankを有するDual Work可能なメモリ
ーにおいて、様々な救済方法が可能であることを示す。
なお、ここでは32Mbitのメモリーを16Mbit
のメモリーとして救済する方法について説明を行うが、
後述するように、さらに小さいBlock単位での救済
も可能である。
(アドレス)構成は、例えばBlock Addres
sが6bit、Row Addressが11bit、
Column Addressが4bitの計21bi
tであり、一度に16bitのデータを入出力すること
ができるものとする。そして、Block Addre
ssの最上位Addressによって左右の16Mアレ
イを切り換えるものとし、それ以外のAddressに
よってどのBlockを選択するかを決定する。
ank中に不良ビットが存在する場合に、Dual W
ork動作が可能なままで16Mbitの良品メモリー
として救済するためには、Large Bankを正常
領域として残す必要がある。
すように、右側のLarge Bankに不良が存在す
る場合に、左側のLarge Bankを正常領域とし
て使用することが可能である。
ddressがどこにあるかを確認することができるた
め、必要に応じてCAM回路へのプログラムを行う。そ
して、右側のLarge Bankを示すBlock
Addressが入力された場合には、CAMデータに
基づいて最上位Addressの入力バッファを固定す
る等により、全て左側のLarge Bankを示すA
ddressが内部Addressとして渡されるよう
にすればよい。
lock Addressの最上位Addressであ
るA20を”H”に固定して右側のLarge Ban
kを無効領域にすることにより、左側の12Mbitの
Large Bankと4MbitのSmall Ba
nkの計16Mbitとすることができる。
側のLarge Bankに不良が存在する場合には、
左側のLarge Bankを示すBlock Add
ressが入力されたときのみ、右側のLarge B
ankを示すAddressに切り換えればよい。
ddressは変更しないので、単純に入力を固定する
方法ではなく、入力されたAddress(外部Add
ress)がLarge Bankを示す場合のみ、最
上位Addressを変更すればよい。例えば、2入力
のXOR回路に入力AddressとCAMデータとを
入力し、CAMデータが”L”の場合には入力Addr
essをそのまま内部Addressとして出力し、C
AMデータが”H”の場合にはAddressデータを
反転して出力するようにすればよい。さらに、入力Ad
dressがLarge Bankを示すかSmall
Bankを示すかは、Block Addressに
より簡単に判別可能であるため、Bankを判別するた
めの回路を設けておけばよい。
AMにZアドレスの入れ替えを設定することにより、左
側のLarge Bankと右側のLarge Ban
kの12Mbit分を入れ替え、A20を”H”に固定
してCAM設定で右側のLarge Bankの4Mb
it分を無効領域にすることにより、右側の12Mbi
tのLarge Bankと4MbitのSmall
Bankの計16Mbitとすることができる。
下4Mbit分が不良領域となり、救済できないが、こ
れについては、後述する実施形態2のように加算回路を
使用することにより救済することが可能である。
側のLarge BankとSmall Bankに不
良がまたがる場合には、Dual Work動作機能を
省いた16Mbitの良品メモリーとしてであれば、救
済することが可能である。
essが入力されても、CAMデータに基づいてBlo
ck Addressの最上位Addressの入力バ
ッファを固定する等により、全て右側の領域を示すAd
dressにすればよい。
lock Addressの最上位Addressであ
るA20を”L”に固定して左側の領域を無効領域にす
ることにより、右側の16MbitのLarge Ba
nkのみとすることができる。
作機能を備えた複数のBankを有するフラッシュメモ
リーに不良メモリーセルが存在しても、良品メモリーと
して救済することができる。
機能を備えた複数のBankを有するフラッシュメモリ
ーについては考慮していなかった。例えば、上述したよ
うに、12Mbitという2の階乗ではないBlock
を救済することは、従来の方法ではできなかった。
持たない半導体記憶装置であっても、2の階乗分の1の
容量しか救済することができず、不良ビットの位置によ
って救済可能な容量が大きく変化し、実際には正常領域
であるにも関わらず、救済できないBlockがあっ
た。
2Mbitのフラッシュメモリーにおいて、3Bloc
kに不良ビットが存在する場合に、従来の方法では、図
2(b−2)に示すように、正常領域として8Mbit
までしか救済することができなかった。
れば全て救済して良品とすることができ、非常にフレキ
シブルな救済を行うことが可能となる。例えば、Blo
ck単位で構成されているフラッシュメモリーであれ
ば、Block単位でよりフレキシブルな救済を行うこ
とが可能である。この場合には、不良Blockのデー
タをCAMデータに書き込んでおき、入力されたAdd
ressがその領域であれば、選択しないようにAdd
ressをマスクすればよい。
lockが512k(キロ)bitの容量を有するフラ
ッシュメモリーにおいて、図2(a−1)に示すように
3Blockに不良ビットが存在する場合、本発明によ
れば、図2(a−2)に示すように、正常領域として Large Bankの28Mbit−3×0.5M
(=26.5Mbit)+Small Bankの4M
bit=30.5Mbit まで救済することが可能である。このことについて、以
下の実施形態2において説明する。
すようなAddressマップを有する8Mbit(1
6bitI/0(入出力))フラッシュメモリーを例に
挙げて説明する。
けて、通常ワード線をデコードするRow Addre
ss(X Address)、ビット線をデコードする
Column Address(Y Addres
s)、ブロックをデコードするBlock Addre
ss(Z Address)に分けられる。
が11bit、Column Addressが4bi
t、Block Addressが4bitの計19b
itの例を挙げている。
リーセルを縦断するようにワード線が配線され、Col
umn方向にメモリーセルを横切るようにビット線が配
線されているマトリクス構成とする。メモリーセル上に
配線されているワード線は、各Block固有のX D
ecoder(Local X Decoder)に接
続されている。各Blockのワード線は、Row A
ddressの組み合わせとBlock Addres
sの組み合わせによって、Block毎に選択される。
同様に、Column Address用にY、Z D
ecoderを有し、1回の入出力用に使用されるビッ
ト本数は16本である。
発性半導体記憶装置(Block一括消去型1チップフ
ラッシュメモリー)の回路構成を示す図である。
としてフローティングゲートを有し、書き込みはチャネ
ルホットエレクトロン注入により行い、消去はファウラ
ーノードハイム電流によるトンネル消去により行う構成
としたフローティングゲート型MOS(Metal O
xide Semiconductor)トランジスタ
を用いている。
・・、MAkは、上記フローティングゲート型MOSト
ランジスタがマトリクス状に配列され、同一行のトラン
ジスタのコントロールゲートが共通接続されてワード線
を構成し、同一列のトランジスタのドレインが共通接続
されてビット線を構成し、さらに、マトリクスを構成す
る全てのトランジスタのソースが共通接続されて共通ソ
ースを構成しているメモリーセルアレイBlockであ
る。
1、MA2、・・・、MAkは、データ書き込み時およ
び読み出し時に、入力アドレス信号の行選択信号部分の
信号値に応じて、所定のワード線選択信号を出力する行
デコーダXD1、XD2、・・・、XDkを有する。こ
の行デコーダXD1、XD2、・・・、XDkの出力
は、各メモリーセルアレイBlockの各ワード線に接
続されている。また、各メモリーセルアレイBlock
MA1、MA2、・・・、MAkは、入力アドレス信
号の列選択信号部分の信号値に応じて、選択されたビッ
ト線を各データバスDB1、DB2、・・・、DBkに
接続する列デコーダYD1、YD2、・・・、YDkを
有する。さらに、各メモリーセルアレイBlock M
A1、MA2、・・・、MAkは、上記共通ソースに、
書き込み時、消去時および読み出し時に所定電圧(書き
込み時および読み出し時はGND(接地電圧)、消去時
はVHH(高電圧))が選択的に印加される。なお、本
発明はこれに限定されるものではなく、消去時に上記コ
ントロールゲートに負電圧のワード線選択信号を印加し
て、上記共通ソースに接地電圧を印加する方式等にも適
用することが可能である。なお、11は各メモリセルア
レイBlockに対する書き込みおよび消去を制御する
ための制御部であり、L1、L2、・・・、Lkは、各
Block毎の書き込み時および一括消去時に各Blo
ckと制御部11との接続を選択的に行うスイッチング
部である。さらに、この行デコーダXD1、XD2、・
・・、XDkの出力は、各メモリーセルアレイBloc
kの各ワード線に接続されている。
メモリーセル形状を縮小化するために、Erase動作
をBlock単位で行う方式を取っているので、本実施
形態でもBlock単位の救済について説明する。
itのフラッシュメモリーにおいて全てのBlockが
正常な場合には、全てのメモリーセル領域を使用するこ
とができるので、外部Addressに対応して各内部
Addressを順次選択し、全てのBlockを使用
することができる。
ある1つのBlockに不良ビットが存在し、予め用意
されている予備セルでも救済できなかった場合には、そ
のBlock以外のBlockが正常であれば、不良B
lockを除いたメモリーセル領域のみを使用可能な良
品として救済することができる。
場合、そのBlock以外を良品として、 8Mbit−512kbit=7.5Mbit の良品として使用することができる。
sが不連続になるが、これは、以下のようにして回避す
ることができる。
あり、そのAddress範囲はZAddressが”
0110”の領域である。通常は、このAddress
を入力すると、不良Blockが選択されることにな
る。
が不良メモリーセル領域であるので、外部Addres
sに対して、内部Addressとして、このBloc
kよりも大きいAddressを有するBlockのB
lock Addressを”+1”を加える。このこ
とにより、外部的には見掛け上、連続Addressを
入力しているにも関わらず、内部的には不良Block
を飛ばして正常Blockにのみアクセスすることが可
能になる。
合に、その不良Block情報に基づいて、Block
6〜Block15のAddressを”+1”を加え
るような加算回路を設ければよい。このような不良Bl
ock情報と”+1”を加えるという加算情報は、不揮
発性半導体記憶領域に記憶させておけばよい。なお、実
際の内部Addressは連続していないので、Add
ressをシフトさせる必要がある。このことは以下の
例についても同様である。
連続したAddressを入力し、内部的にはAddr
essを自動的に変更して対応させることにより、不良
Blockを選択せずに7.5Mbit分の正常品とし
て、ユーザーはAddressの不連続性を気にするこ
となく使用することができる。
k15に対応する内部Addressが無くなってしま
う。そして、外部からBlock15を選択した場合、
ZAddress”1111”に対して”+1”を加え
ると、”10000”とオーバーフローして下位4bi
tが”0000”となり、Block0の内部Addr
essと同じになってしまう。これを防ぐために、オー
バーフロー検出機能を持たせておいて、加算した結果が
他の内部Addressと重複する場合には、オーバー
フローと見なしてどのAddressも選択しないよう
にすることができる。例えば、Z Addressに4
を作っておき、Z4が”1”になった場合にはオーバー
フローと見なして、そのAddressに対応するメモ
リーセル領域を非選択になるようにする。
こでは2つのBlock)に不良ビットが存在する場合
にも、同様に、不良BlockのAddress情報を
不揮発性記憶領域に記憶し、その場所によって”+1”
から”+15”を加算するような加算回路を設ければよ
い。
良である場合には、Block5までは従来通りに外部
Addressと内部Addressは同様でよい。B
lock6は不良Blockのため、外部から入力され
たBlock Addressに対して内部Addre
ssは”+1”を加えてBlock7を選択する。ま
た、Block7に対しても、入力された外部Addr
essに”+1”を加えてBlock8を選択する。さ
らに、Block8も不良Blockのため、外部から
入力されたBlock Addressに対して内部A
ddressは”+2”を加えてBlock9を選択す
る。Block10以上に対しても同様に、Block
6とBlock9が不良Blockであるので、入力さ
れた外部Addressに”+2”を加えて内部Add
ressを作成する。
不良Blockであるため、使用可能なフラッシュメモ
リーの容量は 8Mbit−0.5Mbit×2=7Mbit となるが、外部からは7Mbit分連続したAddre
ssを入力して使用することができる。
BlockのAddress情報と共に、入力されたB
lock Addressに対してAddressをい
くら加算するのかという情報(加算しないという情報も
含む)を記憶しておいて、必要に応じて使用することが
できる。
ock14、Block15に対応する内部Addre
ssが無くなってしまい、外部からBlock14また
はBlock15を選択した場合、他のBlockの内
部Addressと同じになってしまう。これを防ぐた
めに、例えば、Z Addressに4を作っておき、
Z4が”1”になった場合にはオーバーフローと見なし
て、そのAddressに対応するメモリーセル領域を
非選択になるようにする。
シュメモリーについて説明したが、例えば全ビット容量
がpMbitでBlock容量がqMbitである場
合、r個のBlockに不良が発生した場合、(p−r
×q)Mbitの良品として救済することができる。こ
の場合、外部Addressを内部Addressに割
り当てるために必要な加算数は10進数で”(p/
q)”である。さらに、使用目的によっては、加算回路
の加算範囲を絞ることも可能である。例えば、上述の例
で、8Mbitの半導体記憶装置を0.5Mbitの良
品として使用するメリットが少なく、1Mbit以上の
容量で良品にする場合には、1Block分加算する数
が減少するので、加算回路の加算数を”1”減らす等、
使用目的に応じて使い分けることができる。
が均等な大きさである512kbitのBlockを持
つ例について説明したが、ユーザーの使用方法によって
は、512kbit構成のBlockでは大きすぎるた
め、図6(a)に示すように、一部のBlockだけさ
らに細かいBlockに分割されて、容量の異なる複数
のBlockが含まれている構成もよく見られる。この
場合には、BlockAddressのみでは不足する
ため、さらに下位のAddress(ここではColu
mn Address)も使用される。
すように、外部AddressにColumn Add
ressを用いている領域のBlockが不良の場合に
は、Column Addressをシフトさせること
により、外部Addressを正常なBlockの内部
Addressに連続的に割り当てることができる。
するフラッシュメモリーの場合、例えば図7に示すよう
に、容量が小さいBlockが外部Addressの小
さい方(下位側)に存在するか、または大きい方(上位
側)に存在するかによって、外部Addressに対す
るBlockの容量が変わってくる。これは、ユーザー
の使用の仕方によって、容量の小さいBlockのAd
dressがAddressの下位にあった方が良い
か、上位にあった方が良いかが異なるからである。図7
では、小容量のBlockがAddressの小さい方
に存在している。
憶領域を使用して、内部AddressのBlock
Addressを変換させるという方法が取られる。こ
の不揮発性記憶領域は、不良メモリーセルの情報を記憶
させるものと別に設けてもよく、兼用してもよい。
ressとCAMデータとを入力し、CAMデータが”
L”の場合には入力Addressをそのまま内部Ad
dressとして出力し、CAMデータが”H”の場合
にはAddressデータを反転して出力するようにす
ればよい。後者の場合、図7に示すように、反転された
Addressが内部に伝わっていくため、内部のBl
ock構成を変更することなく、ユーザーの使用の仕方
に対応することができる。本発明はこのような場合にも
対応可能であり、どの部分に不良があっても、本来の容
量から不良領域に応じた任意の容量の良品として救済す
ることが可能である。
のBlockが含まれ、小容量のBlockがAddr
essの小さい方に存在している構成の半導体記憶装置
において、小容量のBlockで不良が発生した場合
に、小容量Blockのみ救済して、ユーザーの使用目
的に応じて小容量Blockと大容量Blockの各々
で連続Addressにし、両者の境界でも連続Add
ressにすることができる。または、図9に示すよう
に、小容量Blockと大容量Blockの各々で連続
Addressにし、両者の境界では不連続Addre
ssにすることができる。これらは、Address変
換のために加算回路を加えるか、減算回路を加えるかだ
けの違いであり、容易に実現することができる。
1つのBlockが不良メモリーセルを有する場合を示
しているが、複数有する場合についても上記と同様であ
る。
救済の他に、上記実施形態1に示したような、現在主流
となりつつある複数のBankを有するフラッシュメモ
リーに対しても、救済することが可能である。このよう
に複数のBankを有するフラッシュメモリーの場合に
は、各Bankで同時動作が可能であるということが特
徴である。よって、Bankを越えてAddressを
置き換えることは、Bankの境界を変更してしまうこ
とになるため、好ましくない。よって、この場合には、
各Bank内で不良BlockのAddressを置き
換えることにより、同時動作機能を保ちながら、低容量
の良品フラッシュメモリーとして使用することができ
る。
クAおよびバンクBの2つのBankで構成された8M
bitのフラッシュメモリーの場合、バンクAとバンク
Bの各々において、図10(b)に示すように、内部A
ddressと外部Addressの関係を変えること
により、各Bankに対する救済が可能になり、7Mb
it分のメモリーセル領域を使用可能となる。
が特定の動作に対してだけであり、それ以外の動作には
問題が生じないばあいには、動作機能を絞って良品とす
ることも可能である。例えば、何らかの原因で、あるB
lockのErase動作のみができず、そのBloc
kのProgram動作およびRead動作を行うこと
は全く問題無いものとする。このような場合、本発明で
は、そのBlockを不良Blockとしてもよいが、
EraseのみできないBlock(例えばOTP(O
ne Time Protect)のような使用法)と
して使用することが可能である。具体的には、各Blo
ckにはBlock毎にEraseを実行できるような
回路が組まれているので、Erase用の電源を供給す
る選択回路をON状態にしないようにする等の方法で簡
単に実現することができる。さらに、Program動
作が不可でErase動作とRead動作が可能という
場合についても、動作機能を絞って良品とすることが可
能である。
通常の容量とは別に上述したOTP領域を有するメモリ
ーも存在する。このOTP領域は、一般に、全ての容量
を使い切ってしまうほど使用されることはないので、こ
のOTP領域の一部を上記不揮発性記憶領域として使用
することもできる。例えば、装置の電源が投入されてか
ら、OTP領域のデータを用いて、冗長救済用のデータ
のみ内部レジスタ等に読み込んでおくこと等により、実
現可能である。
ーの容量が変わっても救済することが可能であり、Bl
ockの容量およびBankの構成等が任意であること
は言うまでもない。また、不揮発性メモリーであれば、
どのようなメモリー構成であっても救済することが可能
である。フラッシュメモリーでは、メモリーセルの面積
を小さくする必要があるため、Erase動作がBlo
ck単位でしかできないが、FRAM等のErase、
ProgramおよびReadをランダムに行うことが
可能なメモリーであれば、上述したようなBlock毎
の救済よりもさらに小さい単位での救済が可能である。
さらに、揮発性メモリーであっても、一部に不揮発性記
憶領域を有するメモリーであれば、本発明を適用するこ
とが可能である。
半導体記憶装置の製造工程の最終段階等において、通常
のメモリーセル領域とは別に設けた不揮発性記憶領域に
CAMデータ等として不良メモリーセルのデータを保存
しておくことによって、不良メモリーセル領域に対して
一部の動作を制限したり、または全ての動作に対して非
選択状態にする。これによって、不良メモリーセルが存
在しても、良品ビットを最大限利用して、容量の低減が
少ない半導体記憶装置として活用することができる。
能メモリーセル領域に対して外部アドレスを連続的に割
り当てることができるので、不良メモリーセル領域が断
片的に存在しても、外部からは連続したアドレスでアク
セルすることができるため、良品として救済した半導体
記憶装置を通常の方法で使用することができる。
つのBankを有する同時動作可能な32Mbitフラ
ッシュメモリーのBlock構成を示す図であり、(a
−1)および(a−2)は右側のLarge Bank
に不良がある場合の救済方法を示し、(b−1)および
(b−2)は左側のLarge Bankに不良がある
場合の救済方法を示し、(c−1)および(c−2)は
左側のLargeBankおよびSmall Bank
にわたって不良がある場合の救済方法を示す。
の形態を説明するための2つのBankを有する同時動
作可能な32MbitフラッシュメモリーのBlock
構成を示す図であり、(b−1)および(b−2)は、
従来の救済方法を説明するための32Mbitフラッシ
ュメモリーのBlock構成を示す図である。
tフラッシュメモリーのBlock構成を示す図であ
る。
tフラッシュメモリーのBlock構成を示す図であ
り、(a)は正常品を示し、(b)は1つのBlock
に不良があった場合の救済方法の例を示す。
tフラッシュメモリーのBlock構成を示す図であ
り、2つのBlockに不良があった場合の救済方法の
例を示す。
tフラッシュメモリーのBlock構成を示す図であ
り、(a)は容量の異なる複数のBlockを含む正常
品を示し、(b)は1つのBlockに不良があった場
合の救済方法の例を示す。
tフラッシュメモリーのBlock構成を示す図であ
り、容量の異なる複数のBlockを含む正常品におい
て、小容量のBlockがAddressの小さい方に
ある場合を示す。
tフラッシュメモリーのBlock構成を示す図であ
り、容量の異なる複数のBlockを含み、Addre
ssの小さい方にある小容量のBlockが不良を有す
る場合に、小容量のBlockと大容量のBlockと
の境界でAddressを連続させる救済方法の例を示
す。
tフラッシュメモリーのBlock構成を示す図であ
り、容量の異なる複数のBlockを含み、Addre
ssの小さい方にある小容量のBlockが不良を有す
る場合に、小容量のBlockと大容量のBlockの
各々でAddressを連続させて、両者の境界ではA
ddressを不連続にする救済方法の例を示す。
Bankを有する同時動作可能な8Mbitフラッシュ
メモリーのBlock構成を示す図であり、(a)は正
常品を示し、(b)は各Bankの救済方法の例を示
す。
図である。
ddressの流れを説明するための図である。
憶装置の回路構成を示す図である。
Claims (12)
- 【請求項1】 複数のメモリーセルからなるメモリーセ
ル領域と、 外部から書き込み可能な不揮発性記憶領域と、 該不揮発性記憶領域に書き込まれたデータに基づいて、
メモリーセル領域の一部を非選択状態にする非選択化手
段とを備え、 非選択状態にされていない選択可能メモリーセル領域に
より動作を行う半導体記憶装置。 - 【請求項2】 前記選択可能メモリーセル領域に対し
て、外部アドレスを連続的に割り当てるアドレス変換手
段を備えた請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 【請求項3】 前記選択可能メモリーセル領域に対して
外部アドレスを連続的に割り当てる際に、外部アドレス
に所定値を加算して発生する内部アドレスが他の内部ア
ドレスと重複している場合、そのアドレスに該当するメ
モリーセル領域を非選択とする請求項2に記載の半導体
記憶装置。 - 【請求項4】 前記非選択化手段は、前記不揮発性記憶
領域に書き込まれたデータに基づいて、前記メモリーセ
ル領域の一部を、その動作の一部に対して非選択状態に
し、それ以外の動作に対しては選択可能とする請求項1
乃至請求項3のいずれかに記載の半導体記憶装置。 - 【請求項5】 一括消去可能な複数のメモリーブロック
を有し、前記非選択化手段は、前記不揮発性記憶領域に
書き込まれたデータに基づいてメモリーセル領域の一部
を非選択状態にする際に、任意のメモリーブロックを非
選択状態にする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載
の半導体記憶装置。 - 【請求項6】 前記複数のメモリーブロックには、容量
の異なるものを含む請求項5に記載の半導体記憶装置。 - 【請求項7】 前記複数のメモリーブロックからなり、
同時に動作可能な複数のバンクを有し、前記非選択化手
段は、前記不揮発性記憶領域に書き込まれたデータに基
づいてメモリーセル領域の一部を非選択状態にする際
に、任意のバンクを非選択状態にする請求項5に記載の
半導体記憶装置。 - 【請求項8】 前記バンクは、容量の異なるメモリーブ
ロックを含む請求項7に記載の半導体記憶装置。 - 【請求項9】 前記アドレス変換手段は、容量の異なる
メモリーブロックのアドレス位置を変化可能である請求
項6または請求項8に記載の半導体記憶装置。 - 【請求項10】 前記不揮発性記憶領域は、一度だけ書
換可能な不揮発性メモリーセル領域の一部に設けられて
いる請求項1乃至請求項9のいずれかに記載の半導体記
憶装置。 - 【請求項11】 請求項1乃至請求項10のいずれかに
記載の半導体記憶装置に不良メモリーセルがある場合
に、該半導体記憶装置を救済する方法であって、 前記不揮発性記憶領域に不良メモリーセルのアドレスを
記憶させて、 前記非選択化手段により、該不揮発性記憶領域に書き込
まれたデータに基づいて、不良メモリーセルを含むメモ
リーセル領域を非選択状態にする半導体記憶装置の救済
方法。 - 【請求項12】 前記非選択化手段により、前記不揮発
性記憶領域に書き込まれたデータに基づいて、不良メモ
リーセルを含むメモリーセル領域を、不良となる動作に
対してのみ非選択状態にする請求項11に記載の半導体
記憶装置の救済方法。
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